TWI448438B - Assembly method and scribing method for multi - stroke thread loading - Google Patents

Description

多劃線頭裝載劃線裝置及劃線方法

本發明係關於一種可於脆性材料基板上形成複數切割線之多劃線頭裝載劃線裝置，及一種將劃線裝置上所搭載之刀輪保持具進行自動更換之刀輪保持具自動更換系統。

以往液晶顯示面板或液晶投影機基板等之平板顯示器(FPD)等，係於製造過程中貼合母玻璃基板後裁斷使其成為既定大小之單獨面板。該母玻璃基板等之脆性材料基板之裁斷包含劃線步驟與斷裂步驟，而於劃線步驟中有使用劃線裝置。FPD之製造，則係對一片母基板進行劃線、斷裂加工而得到複數個面板基板。然而當母基板尺寸增加且面板基板數量變多時，為了提高劃線效率而使用具有搭載複數劃線頭之多劃線頭裝載劃線裝置。

圖1係表示習知之一多劃線頭裝載劃線裝置例之概略立體圖。此劃線裝置100中，移動台101被保持成能沿著一對導軌102a,102b，於y軸方向移動自如。滾珠螺桿103與移動台101栓在一起。滾珠螺桿103藉著馬達104的驅動而旋轉，使移動台101沿著導軌102a,102b往y軸方向移動。移動台101的上面設有馬達105。馬達105使台106於xy平面旋轉並定位於既定角度。脆性材料基板107載置於台106上，藉未圖示之真空抽氣手段加以保持。劃線裝置之上部設置有用以拍攝脆性材料基板107之校準標記(alignment mark)之2台CCD攝影機108。

於裝載劃線裝置100，以跨越移動台101與其上部之台106之方式沿著x軸方向藉支柱111a,111b架設有橋110。橋110使複數個劃線頭112可沿著導件113往x軸方向移動。各劃線頭112其內部裝載有可使自身各自獨立沿著x軸方向移動之驅動源。亦可取代此方式，而例如對導件113與各劃線頭112進行線性驅動，使各劃線頭112能夠各自獨立移動。劃線頭112的前端部分透過保持具接頭120裝有刀輪保持具130。

接著針對安裝於劃線頭112之習知保持具接頭與刀輪保持具進行說明。如圖2之分解立體圖所示，保持具接頭120於上部具有軸承121，下方具有L字型構成之保持部122。保持部122之側面設有定位用之銷123。刀輪保持具130，如圖3、圖4所示，可將圓板狀之刀輪片(以下單以刀輪稱之)131保持在可以旋轉的狀態。刀輪131藉由未圖示之銷以能旋轉之方式保持在下端中央之前端部，銷則藉由扣環132來防止脫落。刀輪131一邊壓接於脆性材料基板一邊轉動以形成切割線。此刀輪保持具130，藉由使其側面接觸於定位銷123，而被定位於保持具接頭120之保持部122。刀輪保持具130藉由固定螺栓133固定於保持部122。劃線頭112將其下部之保持具接頭120、及刀輪保持具130保持成可升降。劃線頭112，於其內部設有可進行此升降動作之升降部，例如設有使用氣壓控制之氣缸(air cylinder)或線性馬達所構成之電動升降部等。此升降部使刀輪131以適當負載一邊壓接於脆性材料基板表面上、一邊使之轉動來形成切割線。

劃線裝置100設置有複數個劃線頭。各劃線頭組分別裝有刀輪保持具。複數個刀輪有同時使用之情形、亦有只使用一部份之情形。此外，亦有預先配合切斷對象而組裝不同種類之刀輪，於使用時只選擇其中一部分來進行切割。

接著，針對多劃線頭裝載劃線裝置組裝後，已完成劃線動作所需之電氣及機械調整之劃線裝置之劃線動作進行說明。圖5A、圖5B係表示此處理順序之流程圖。劃線開始前，如圖6所示，先將脆性材料基板107載置於台106上，定位後加以抽氣固定(步驟S0)。之後，為了確定定位狀況而使用設於劃線裝置上方之2台CCD攝影機108，分別放大攝影基板上左右2處之定位用校準標記63a及63b，並進行影像處理(步驟S1)。所拍攝之放大影像分別顯示在對應之螢幕上，因此作業員可一邊確認所拍攝之影像一邊進行精確的定位作業。此處，連結2台CCD攝影機之線設為台106之基準線A。劃線裝置100，藉由影像處理檢測基板107是否有相對基準線A傾斜若干度(θ)載置之情形、或及基板107是否有偏移作為台106之基準之原點位置而載置之情形(步驟S2)。根據該檢測結果，劃線裝置100進入步驟S3，藉馬達105之旋轉來修正基板107之傾斜角θ使之成為0。基板107離原點位置之偏移可以如下方法修正。就y軸方向而言，使台106於y軸方向移動相當於上述偏移量之y軸方向成分之量。就x軸方向而言，則使劃線頭112之位置移動相當於上述偏移量之x軸方向成分之量。此外，另一修正方法，則由劃線裝置將上述偏移量分成為x軸成分與y軸成分，以修正劃線動作之起始位置之位置資料之各軸成分之值。如此讓劃線起始位置偏移，可得相等之結果。

劃線對象之基板被替換時，操作員必須每一次於劃線開始前實行上述之偏移量的修正作業。若修正作業已終了，則於所需之位置開始劃線動作。劃線裝置100將刀輪保持具降低，一邊讓刀碰觸到基板一邊使刀轉動來進行通常之劃線(步驟S5~S7)。然後當其切割線形成後，劃線裝置100將刀輪保持具升高(步驟S8)，接著再讓基板跟著相對移動(步驟9)，然後再回到步驟5。

接著針對步驟9所示之基板之移動以圖5B來進行詳細說明。首先劃線裝置100將判斷控制系統內之控制資料之標誌FX是否為0(步驟10)。此標誌FX是一種在台旋轉時會立起來之標誌，而在初始化後會變成0。只要標誌FX為0，則進入步驟S11來判別x軸方向之劃線是否已經結束。若還未結束則劃線裝置100將藉由移動台106來對基板進行相對移動(步驟S12)，然後回到步驟5再反覆進行同樣處理。如此一來藉由反覆此流程可使x軸方向之劃線結束。x軸方向之劃線結束時，則進入步驟13，劃線裝置100會將標誌FX設定為1，然後進入步驟14，劃線裝置100會使台106朝右邊旋轉90度。然後於步驟15中劃線裝置100會判斷y軸方向之劃線是否已經結束，若還未結束則進入步驟16移動台106，然後回到步驟5。x軸方向之劃線若結束則標誌FX會立起來，而劃線裝置100會從步驟10進入步驟15，然後判別y軸方向之劃線是否已經結束。若還未結束，則劃線裝置100將僅以必要之移動量使基板往y軸方向平行移動(步驟16)。之後再度回到步驟5反覆進行同樣之劃線動作。之後當劃線裝置100判斷步驟S15中之y軸方向之切割線形成已全部結束時，會使台朝左邊旋轉90度結束劃線動作。然後劃線裝置100重新設定標誌FX，基板從解除抽氣之台106上取出(步驟17)。接下來將別的基板載置於台上時也是以同樣的順序進行劃線動作。

於新製造之多劃線頭裝載劃線裝置100組裝保持具接頭120來使用時，或於使用途中，為了將刀輪保持具130、劃線頭112或保持具接頭120調整或修理而進行更換時，必須以下述之方法進行偏移量之修正作業。此時，為使說明簡單而假定接下來的調整全都已經結束再進行說明。亦即，將2台CCD攝影機之中1台的攝影畫面之中心座標與切割線形成所必要之原點位置調整到一致，再者刀輪保持具等零件之組裝後藉由刀所形成之切割線預先調整成與台之y軸方向之基準線平行的狀態。

此外，本說明書之習知多劃線頭裝載劃線裝置之動作說明中劃線裝置之各種機能之說明都有簡化，刀輪131可於設置於保持具接頭120之軸承121之周圍旋轉，不管沿著任何移動方向都可以形成切割線。亦即，於x與y方向之任一個方向，可於移動方向上完全無障礙地形成切割線。

此外，刀輪保持具130、劃線頭112或保持具接頭120等進行更換時，成為更換對象之劃線頭112之移動不會受到其他劃線頭112的限制，其他的劃線頭112可於橋之右端或左端之任一適當退避位置待機。

首先，劃線裝置100之驅動系之原點位置與實際上刀輪131，為了精確測出與基板上開始形成切割線之起始位置之偏移，而有必要進行試劃(test scribing)(步驟S4)。試劃時，操作員將通常之母基板改成別種之虛設基板並載置於台106上，然後進行步驟S0~S3之前處理。圖7係顯示試劃中於虛設基板上所形成之切割線與藉由CCD攝影機拍攝之畫面之校準標記之中心座標P0之位置關係之示意圖。劃線頭112或保持具接頭120及刀輪保持具130之各補正量若有經過修正處理而抵消，則劃線裝置100可於中心座標P0開始劃線。

然而因為有電氣及機械之誤差，所以於每個各裝配零件其值均不同，因此組裝後之誤差量若不重新測定讓必要之修正處理結束則無法從中心座標P0開始劃線。對此操作員必須降低刀輪保持具130，讓刀輪接觸虛設基板(步驟S5’，S6’)。然後對虛設基板進行試劃形成一條切割線(步驟S7’)。之後，讓刀輪保持具升高(步驟S8’)，測定偏移量(步驟S9’)。此處，如圖7所示位置P1(X,Y)=(4,3)來作為刀輪之劃線起始位置(X,Y)。此起始位置可使用CCD攝影機108之攝影畫面來測定。

接著，操作員測定從位置P1到中心座標P0間之偏移量(S9’)。此偏移量為應消除之值所以將此作為補正值來進行修正處理(S10’)。然後將虛設基板從台上取下結束修正處理(S11’)。然後回到步驟S0反覆進行相同的處理。如此一來，如圖5A所示步驟S5以下之通常劃線中，可從中心座標P0開始進行劃線。

若經過此修正處理，其後當劃線對象之基板更換時因進行步驟S1~S3之前處理。如此一來，於脆性材料基板107上所形成之切割線將精確地與預定線(例如圖6之線B)之位置一致。接著，對同一基板107改變順序劃線起始位置而反覆劃線動作。(步驟S5~S9)

刀將脆性材料基板以既定之長度劃線因而耗損而使性能劣化，因此需要定期更換(專利文獻1)。習知之劃線裝置中更換消耗品之刀時，首先操作員從劃線頭112取下刀輪保持具130。接著從取下之刀輪保持具130將耗損之刀輪131取出，再將新的刀組裝於刀輪保持具130。之後，操作員再度將刀輪保持具130組裝於劃線頭112上，完成更換作業。因此在刀本身、刀輪保持具、劃線頭之任一進行更換時，於刀輪之組裝位置會產生誤差(偏移)，因此為了抵消偏移，有必要進行試劃與其後之修正處理(步驟S5’~S11’)。

如此將劃線頭週邊零件之替換所伴隨之偏移量修正，以後對通常之母基板進行步驟S0~S3之前處理後，可反覆進行步驟S5~S9之一連串的劃線關聯動作於基板上形成必要數目之切割線。

此外，此處之劃線頭往x軸方向移動，同時台往y軸方向移動，旋轉劃線裝置雖有揭示，但也有台往x軸、y軸方向移動且旋轉之劃線裝置(專利文獻2)。另外也有台往x軸、y軸移動，卻無旋轉機構之劃線裝置。再者也有台被固定，劃線頭往x軸及y軸方向移動之類型之劃線裝置(專利文獻3)

例如以圖1所示之劃線裝置之變形例，有一種移動台101上未持有旋轉台而於移動台上直接載置脆性材料基板107之類型之劃線裝置(裝置類型1)。再者以別的變形例而言，例如有一種圖1之台106被固定，橋110具備支柱111a,111b共同往y軸移動之驅動機構之類型之劃線裝置(裝置類型2，例如專利文獻4)。使用上述之各式機器構成之劃線裝置內，採用載置成為加工對象之基板或其大部分不會旋轉之機器構成時，有必要進行以下之調整作業。針對此必要性，首先以僅使用1個劃線頭之單劃線頭裝載之劃線裝置之情形作為例子來說明。

亦即，因圖5A之步驟S2中檢出之基板107之傾斜角θ無法修正，所以S3只進行基板之偏移量之修正處理。如此之台於不旋轉之劃線裝置中、或裝載單一之劃線頭之單劃線頭裝載之劃線裝置中，藉由使用圖6所說明之直線補間法進行劃線動作來取代θ之修正。亦即，假定正規之切割線形成於直線B之位置時，僅將劃線頭112單獨於x軸方向移動，則僅能得到直線A之線。因此該劃線裝置中，於劃線頭之x軸方向之移動同時，裝置類型1之情況使台106(裝置類型2之情況為橋110)各自移動。如此一來可形成傾斜之切割線B。同時並行使之移動之移動量與傾斜角θ有關。藉由使劃線頭112與台106(或橋110)分擔相當於傾斜角θ所形成之三角形之底邊與高之移動，可實現傾斜之切割線。此係藉由反覆進行2方向之微小階梯狀之直線移動而得以實現。

[專利文獻1]日本特許3074143號公報

[專利文獻2]日本特許公開2000-119030號公報

[專利文獻3]日本特許公開2000-086262號公報

[專利文獻4]日本特許公開2000-264657號公報

以往更換組裝於刀輪保持具之刀時，操作員首先會鬆開固定螺栓133從保持具接頭120取出刀輪保持具130。然後操作員會鬆開扣環132之螺栓將扣環132從銷孔移開，接著拔掉銷孔，再取出刀輪131。然後當新的刀更換完後，操作員會以相同之過程***銷將刀組裝於刀輪保持具130上，再如圖4所示般將刀輪保持具130組裝於保持具接頭120。接著將保持具接頭120組裝於劃線頭112上。

於此更換刀輪之情形中，有必要實施圖5A之S0~S3及S5’~S11’之作業。總之為修正此更換所帶來之偏移有必要使用虛設基板讓試劃之切割線形成，以求出偏移量然後修正它，如此之處理有著費事之缺點。

刀輪之大小隨著用途而不同，而在液晶顯示面板之貼合基板之劃線用之情況，例如直徑2.5mm左右、銷為0.5mm左右，小得使用不易。因此習知之刀輪更換作業有著費事之缺點。又將多種之刀組裝於各種之裝置來使用之面板加工工廠內，有可能會犯錯而將不同種類之刀安裝上去。那種情形下，劃線條件會變化，且變得不能正常而安定地劃線，其錯誤也有難以馬上察覺之缺點。又藉由固定螺栓將刀輪保持具固定於保持具接頭上時，受到固定的方法影響使刀輪的組裝位置有微妙的偏移，而有因組裝後之刀產生切割線之形成位置散亂之缺點。

另外多劃線頭裝載劃線裝置是以人工來管理複數之刀，得因應行走距離把握刀鋒之磨損時間，也有更換時費事的問題。再者因應切斷的對象而有更換刀輪的情況，但必須配合切斷對象選擇刀來更換而有刀輪的管理變得複雜之缺點。

此外多劃線頭裝載劃線裝置中，載置加工對象之基板之台雖有必要能夠旋轉，但成為加工對象之基板若大多使用在FPD用途則同時其尺寸也跟著變大。因應基板尺寸之巨大化而使加工台之尺寸跟著變大的結果，將確保有大面積之既定平面平坦度之台加以精密製作也跟著變難。此外，在可旋轉之情況下以其旋轉角度之分解能之觀點或是加工後之面板之尺寸精密度之觀點來看，旋轉台方式之對應也跟著變難。

如前述之裝載單一劃線頭且加工台不旋轉之劃線裝置之情況，可藉直線補間法來形成所需之切割線。然而裝載複數劃線頭且加工台不旋轉之裝置之情況，即使將各劃線頭之組裝誤差抵消，一旦加工基板傾斜載置於加工台上則會發生以下問題。亦即，有必要使用組裝於各劃線頭之刀輪保持具下之刀來進行劃線開始之調整作業，否則不能形成精確的切割線。

將其狀況更進一步以圖6進行說明。圖6為因加工台之直線移動而將紙面最左側之刀輪之劃線起始位置調節為Q1(左側之校準標記63a之中心位置)之情況，其刀可用直線補間法沿著B形成切割線。然而組裝於旁邊之劃線頭之刀，其劃線動作起始位置卻位於直線A上的位置，例如Q2，因此即使以直線補間法也無法形成與直線B重疊之切割線。如此意味著於加工台上之基板呈傾斜載置之情況，複數之劃線頭所形成之切割線之基板上之y軸方向之形成起始位置每個都不一樣。通常加工台上，基板多少有傾斜載置。因此於台不旋轉之機器構成之情況下若使用習知之多劃線頭裝載劃線裝置，各劃線頭之刀所形成之切割線起始位置會有變化，因此造成品質上很大的問題。

本發明係著眼於習知之多劃線頭裝載之劃線裝置的問題，針對台能旋轉及不能旋轉之機器構成之任何劃線裝置之中，第一目的為使其能裝載複數之劃線頭。第二目的，係使用與刀一體化之刀輪保持具，讓偏移資料以編碼之形式保持在刀輪保持具上，藉由可將刀自動更換的方式，達成解決因更換刀所伴隨的麻煩。

為了解決此課題，本發明之多劃線頭裝載劃線裝置係具有：設置手段，供設置脆性材料基板(例如：台，運輸器)；複數個劃線頭，係設置成與該設置手段上之脆性材料基板對向；保持具接頭，設於該劃線頭前端；刀輪保持具，一端可於保持具接頭自由裝卸、另一端具有安裝成可自由旋轉之切割線形成用之刀輪，並具備記錄有劃線時之偏移資料與固有之管理編號之編碼；相對移動部，使該劃線頭及該脆材料基板，沿脆性材料基板之平面的面內相對移動，且於劃線前根據該刀輪保持具所保有之偏移資料，使該劃線頭往x軸方向及y軸方向中之至少一方移動以修正偏移。

上述之相對移動部，亦可包含使上述之台往y軸方向移動之移動部及使上述之劃線頭往x軸方向及y軸方向移動之移動部。

上述相對移動部亦可使上述之台往x軸方向及y軸方向移動。

上述相對移動部亦可使上述之台往y軸方向移動及使上述之劃線頭往x軸方向移動。

上述相對移動部進一步亦可具備使上述之台於脆性材料基板之面內旋轉之旋轉部。

上述相對移動部亦可包含使上述之台往y軸方向移動之移動部及使上述之劃線頭往x軸方向及y軸方向移動之移動部。

此外，例如設置手段為運輸器之情形時，可不使設置手段之運輸器本身移動，而藉由運輸器的運作使設置於運輸器上之脆性材料基板往x軸方向或y軸方向移動。

上述編碼亦可為二維編碼。

上述編碼亦可為包含表示刀輪之固有編號、種類之資料。

為解決此課題，本發明之刀輪保持具自動更換系統，係用於自動更換多劃線頭劃線裝置之刀輪保持具，係具有：刀輪夾，用以保持可更換之複數刀輪保持具；編碼讀頭，供讀取該刀輪夾所保持之刀輪保持具所紀錄之編碼；刀輪更換機械臂，根據該編碼讀頭所讀取之編碼將所欲刀輪保持具組裝於該多劃線頭裝載劃線裝置之保持具接頭，且將裝於該多劃線頭裝載劃線裝置之保持具接頭之刀輪保持具送回該刀輪夾；控制器，保有關於複數之刀輪保持具分別固有之管理編號與其管理資料，視劃線對象透過該刀更換機械臂選擇被保持於該刀輪夾之刀輪保持具，將其組裝於該劃線裝置之保持具接頭。

設於上述控制器之管理資料亦可保持包含各刀輪行走距離之資料。

上述控制器亦可於刀輪之行走距離超過既定值時進行更換刀輪保持具。

依據擁有如此特徵之本發明，作為裝載有複數之劃線頭之多劃線頭裝載劃線裝置而言，可以提供於基板尺寸巨大化之基板用不旋轉之設置手段(例如：加工台、運輸器)之機器構成。再者，於多劃線頭裝載劃線裝置可容易進行刀輪的更換及管理。此外因刀輪的偏移資料以編碼的形式保存在刀輪保持具，藉由讀取其編碼可將修正資料設定於劃線裝置上，進而得到可自動更換刀輪之效果。

針對本發明之第1實施型態之多劃線頭裝載之劃線裝置，與利用此劃線裝置之刀輪保持具自動更換系統進行說明。刀輪保持具自動更換系統除了多劃線頭裝載劃線裝置以外，亦包含保有刀輪之刀輪夾、編碼讀頭、自動更換機器、及控制此等之控制器所構成。首先針對其主要構成要素之多劃線頭裝載之劃線裝置進行說明。圖8為表示多劃線頭裝載之劃線裝置之立體圖。本實施型態之多劃線頭裝載之劃線裝置中，與上述之習知例相同部份以相同符號表示。本實施型態之多劃線頭裝載之劃線裝置1，其移動台101沿著一對導軌102a,102b，於y軸方向保持移動自如。滾珠螺桿103與移動台101螺合。滾珠螺桿103藉著馬達104的驅動而旋轉，使移動台101沿著導軌102a,102b往y軸方向移動。移動台101的上面設有馬達105。馬達105使台106於xy平面旋轉來定位於既定角度。脆性材料基板107載置於台106上，藉未圖示之真空抽氣手段來固定。多劃線頭裝載劃線裝置1之上部設置有用以拍攝脆性材料基板107之校準標記之2台CCD攝影機108。

劃線裝置1中，以跨越移動台101與其上部之台106之方式沿著x軸方向藉支柱111a,111b架設有橋110。沿著橋110上所設置之導件113有可往x軸方向移動之複數個劃線頭50。各劃線頭50其內部中裝載有可使自身各自獨立沿著x軸方向移動之驅動源之馬達。除此之外，亦可使導件113與各劃線頭50以線性馬達驅動的方式，使各劃線頭50各自獨立移動。各劃線頭50的前端部分組裝有透過保持具接頭20之後述之刀輪保持具10。於此馬達104與導軌102a、102b、滾珠螺桿103為使台往y軸方向移動之移動部；橋110、支柱111a、111b、導件113為使劃線頭往x軸方向移動之移動部、馬達105為使台旋轉之旋轉部，此等構成了相對移動部。

接著針對本實施型態之組裝於劃線頭上之刀輪保持具10之構成進行說明。圖9表示本實施型態之刀輪保持具，圖10表示其立體圖。如此等之圖所示，刀輪保持具10係一種偏圓筒型之構件，其一端設置有均與中心軸平行之略為正方形之平坦部11a、11b。刀輪保持具10具有於此平坦部之間沿著中心軸之溝12，平坦部11a、11b之下端具有與其面呈垂直方向之銷溝13。刀輪14為例如輪徑為2.5mm、厚0.5mm左右之圓板形狀，圓周部分之斷面形成圓錐形，中心具有貫通孔。刀輪14可藉由將銷15通過銷溝13貫通中心之貫通孔來保持自由旋轉。藉由銷15而保持刀輪14後，即使在需要更換刀輪之情況也不用將刀卸下，而是一併更換刀輪保持具。另一方面刀輪保持具10之另一端上設置有定位用之安裝部16。安裝部16為刀輪保持具10加以加工而成，具有傾斜部16a及平坦部16b。平坦部16b與刀輪保持具之軸平行，且與下方之平坦部11a、11b垂直。此外平坦部11a中印有如後述之二維編碼17。此外刀輪保持具10之上部之一部分係由磁性金屬所構成。

多劃線頭50其內部設置有可使具有刀輪之刀輪保持具10完成升降動作之升降部，例如設置有使用氣壓控制之氣缸或線性馬達之電動升降部等。劃線頭50藉由此升降部將刀輪14以適當負載一邊壓接於脆性材料基板表面上、一邊使刀輪14轉動來形成切割線。

接著針對保持具接頭20進行說明。圖11係表示保持具接頭之圖，圖12係表示刀輪保持具10***保持具接頭20之狀態之立體圖。如此等之圖所示保持具接頭20之上部具有軸承21a、21b，下方則有固定刀輪保持具之保持部22。保持具接頭20之保持部22中如圖所示形成有圓形之開口23，其內側埋設有磁鐵24。此外此開口23之內部設置有與中心軸垂直之平行銷25。平行銷25連接刀輪保持具10之傾斜部16a而將刀輪保持具10加以定位之物。

將此刀輪保持具10組裝於保持具接頭20時，如圖12所示將刀輪保持具10從安裝部16開始***保持具接頭之開口23。如此可將刀輪保持具10其前端部藉由磁鐵24所吸引，進一步傾斜部16a接觸平行銷25而將位置固定。圖13係表示此組裝狀態之部分剖面圖，圖14係表示組裝有保持具接頭20之劃線頭50之部分之圖。刀輪保持具10因僅藉由磁鐵24之吸引，因此組裝極為容易且可固定於既定之位置。即使在更換時也僅需將刀輪保持具10拉開而簡單地取下，裝卸更為容易。

圖15、圖16係表示本實施型態之刀輪保持具自動更換系統之其他構成要素之前視圖及立面圖之概略圖。如此等之圖所示，台106之側面設置有保有多數個刀輪保持具之刀輪夾31。其構成方式為：刀輪夾31固定不動，將各刀輪保持具之二維編碼17記錄之面露出於外部，編碼讀頭32可從外部讀取二維編碼17。編碼讀頭32組裝於例如橋110附近所設置之組裝柱(圖15、圖16未圖示)上，可隨著台106之移動讀取刀輪保持具之資料。另外支柱111b中設置有用以更換刀輪之機械臂33。機械臂33係一種將位於更換位置之劃線頭50之刀輪保持具取出然後放回刀輪夾31，且將從刀輪夾31中選擇取出之刀輪保持具著裝於劃線頭50之刀更換機械臂。編碼讀頭32之輸出於後述之控制器，機械臂33依照控制器之指示動作。

接著針對本實施型態之劃線裝置1之控制器之構成以方塊圖進行說明。圖17係劃線裝置1之控制器40之方塊圖。本圖中從2台之CCD攝影機108中之輸出係透過控制器40之影像處理部41傳達到控制部42。此外後述之單位補正值及刀輪保持具之選擇之指示係透過輸入部43傳達到控制部42。控制部42為根據補正值將X方向及Y方向之偏移抵消而將資料傳達到X馬達驅動部44a、Y馬達驅動部44b、Y馬達驅動部45。X馬達驅動部44a、Y馬達驅動部44b係將各劃線頭50之X方向驅動用馬達、Y方向驅動用馬達各自驅動之物，Y馬達驅動部45係將馬達104直接驅動、使台106上的脆性材料基板107往y軸方向移動之物。此外旋轉用馬達驅動部46係將馬達105驅動，使台106上所配置之脆性材料基板107旋轉之同時，於角度偏離時將偏離的角度抵消之物。再者於控制部42中有連接刀輪保持具升降驅動部47或螢幕48。刀輪保持具升降驅動部47係於刀輪14旋轉時將刀輪14以適當之負載壓接於脆性材料基板之表面上並使之驅動之物。

再者於劃線裝置之控制器40中，連接有編碼讀頭32與機械臂33。編碼讀頭32係於伴隨台106之移動將包含二維編碼之讀取位置中之刀輪保持具之偏移值之資料加以讀取之物，機械臂33係根據控制部42之控制將刀輪保持具更換之物。再者於控制器40中設有保持刀輪保持具之管理表之使用資料保持部49。

接著圖18係表示保持刀輪保持具之管理表49a之圖。管理表中除了有刀輪保持具分別之固有之管理編號之外，也有使用日期與行走距離。

接著針對本實施型態之動作以圖19A、圖19B、圖20、圖21之流程圖進行說明。多劃線頭裝載劃線裝置1於開始劃線時與上述之習知例之圖5A同樣進行步驟S0~S3的處理。然後於步驟S4中劃線裝置1會判定試劃有無必要，若有必要則進入步驟S5’進行與上述之習知例幾乎相同之處理。針對此處理於以下說明。

使用新製作出的劃線裝置、或舊的刀輪保持具進行替換而重新將劃線頭50或保持具接頭20組裝於多劃線頭裝載劃線裝置1來使用時，首先有必要使劃線裝置1之驅動系之原點位置及行走方向，與實際上刀輪14於基板上開始形成切割線之起始位置及形成方向等精確地保持一致，其調整之要領如下：劃線頭50或保持具接頭20更換後進行試劃時，操作員得預先將虛設基板載置於台上。此時之刀輪保持具之補正值，例如先預設為X=-1，Y=-2。然後此劃線裝置初次使用時，刀輪保持具之偏移值設定為X=0，Y=0。圖22系表示於劃線對象為玻璃基板等上之校準標記，與刀輪保持具之實際切割位置之關係圖。將校準標記之中心點定為中心座標P0，於劃線頭50或保持具接頭20若無偏移的話，藉由將刀輪保持具10之偏移進行抵消修正，可使劃線裝置1從中心座標P0開始劃線。

然而因為電氣上及機械上的誤差，而無法從中心座標P0開始劃線。因此從步驟S4通過分歧點「A」進入圖19B之步驟S5’、S6’，操作員得將調整對象之刀輪保持具降低，使刀直接接觸於虛設基板上。然後對虛設基板進行試劃(S7’)，接著於步驟S8’中將刀輪保持具升高，進而測定切割起始位置。於此刀輪之切割起始位置(X,Y)如圖22所示設定為P2(X,Y)=(3,1)。此位置可用CCD攝影機108來測定。此測定中使用無偏移之刀輪保持具來開始劃線時，可確認出劃線頭50與保持具接頭20所帶來之單位固有之偏移(誤差)。

因而接著測定從所測定之位置P2開始至中心座標為止之偏移量(步驟S9’)。此偏移量作為應抵消之誤差量，操作員得使用其輸入抵消單位誤差補正值(步驟S12)。此情況下用以將此偏移抵消之單位補正值(第2之補正值)為X=-3，Y=-1。接著將虛設基板從台上取下(步驟S11’)。

此處理結束後，或者不需試劃之情下，多劃線頭裝載劃線裝置1會判定步驟S21中刀輪保持具130之更換有無必要。若上述管理表49a之使用中刀輪之行走距離超過既定之距離時則但判定為有必要更換。另外對劃線對象之基板若刀輪14之劃線特性不同時也會判定為有必要更換。

刀輪保持具10如圖13所示組裝於保持具接頭20上，進一步保持具接頭20如圖14所示組裝於劃線頭50上。因而若將此等中任一更換的話，會產生電氣上原點與劃線起始點之位置偏移。此位置偏移(offset)之原因，例如有零件精密度或組裝誤差等。可使劃線頭50及保持具接頭20更換頻率少，且可將此等設為單位之固定誤差。另一方面於刀輪保持具中，刀因磨耗而使性能劣化時因更換刀輪保持具10本身，因此必須頻繁進行修正。本實施型態中已預先在刀輪保持具10出貨時將刀輪保持具10所固有之偏移值測定過，並將此偏移值(第1之偏移值)如後述般記錄於刀輪保持具10本身。然後於需要更換時，使用機械臂33將刀輪保持具進行自動更換(步驟S22)。自動更換時，進入步驟S23將新的刀輪保持具10之偏移值藉由編碼讀頭32讀取。然後偏差值藉由變換符號而變換成為修正資料(步驟S24)。

接著控制部42於步驟S25中作為總修正值，將單位修正值與刀輪保持具之修正值個別加算於X，Y。上述之例中之總補正值定為X=-3+(-1)=-4，Y=-1+(-2)=-3，然後結束修正處理。

接著針對步驟S22之自動更換處理程序以圖20進行說明。開始自動更換處理時，首先於步驟S31中透過螢幕48進行催促顯示刀輪保持具之更換。然後等待操作員之更換許可輸入(步驟S32)。若更換被許可則進入步驟S33，藉由編碼讀頭32將刀輪夾31所保有之刀輪保持具之二維編碼讀出，來尋找必要之刀輪保持具。然後當必要之刀輪保持具找到後，會從劃線頭50取出原有之刀輪保持具並將其送回於刀輪夾31中，並將刀輪夾31中之所需之刀輪保持具***劃線頭50以更換刀(S34)。接著將使用完之刀輪之行走距離等資料進行更新(S35)。然後進入上述步驟S23。另外，於步驟S32中係向操作員徵求刀輪保持具之更換許可，但亦可以用若超過既定之行走距離不需顯示而自動將刀輪保持具更換之方式。

此外，假設不輸入刀輪保持具10之補正資料，且單位之固定誤差也不經修正就將刀降下的話，刀就會下降到如圖22所示位置P1(X,Y)=(4,3)上。而如果只修正單位之固定誤差的話，則刀就會下降到圖22所示位置P3(X,Y)=(1,2)上。因此該多劃線頭裝載劃線裝置1包含了單位補正值及刀輪保持具的補正資料。如此即可如圖19A所示般步驟S5以下之通常劃線中可從中心座標P0開始劃線。另外步驟S5以下之通常劃線中，若檢測出劃線所使用之刀輪之行走距離然後將刀輪保持具10升高的話，則步驟S10中之管理表49a之該刀輪之行走距離資料會繼續加算。

之後，於新的脆性材料基板進行劃線時，如圖19A所示之流程中藉由實行步驟S0~S3後實行步驟S5~S10即可進行劃線。亦即一旦將劃線頭之偏移修正後即使更換脆性材料基板，其基板距離台上之正規定位位置之一共偏移多少之偏移量於基板更換時檢測出，並實行一次修正處理即可。

接著，此初期補正後有必要進行刀輪保持具10之情況，如圖19A所示進入步驟S1~S4、及步驟S21~S22來進行刀輪保持具之自動更換。然後於步驟S23中，將於新的刀輪保持具10中所記錄之偏移值讀出。然後於步驟S24中，將所讀取之新的刀輪保持具10之偏移值變換成為補正資料。之後於步驟S25中與劃線裝置內已經設定好之單位補正值合併而將刀輪保持具之補正值追加成為總補正值，使不需進行試劃即可完成所有之修正。

因此，於修正處理後之實際之劃線時，如圖19A所示藉由實行步驟S1~S3與接著之步驟S5~S10即可進行通常之劃線。亦即如習知般操作員將虛設基板載置於台上，試驗性地於虛設基板上形成切割線以將基板之定位位置與方向兩者之偏移補正後，即無必要實行因刀輪保持具之組裝誤差所伴隨之偏移加以抵消之修正處理，可大幅減輕修正作業之繁雜。

接著針對使用開始時將刀輪保持具更新時之處理以圖21進行說明。此情況下首先於步驟S41中確認刀更換指示之有無。若有刀更換指示則於步驟S42中藉編碼讀頭32將二維編碼讀出，以找出所指定之刀輪保持具。然後將所指示之刀輪保持具組裝於劃線頭上(S43)。接著於已經組裝於劃線頭上之刀輪保持具，將其管理表49a上之資料更新(S44)。接著確認所有之更換處理是否已經結束(S45)，若還未結束則回到步驟S41重複同樣之處理。若更換已經結束，則進入S0進行上述之處理。

接著針對出貨時所進行之刀輪保持具上固有之偏移之測定進行說明。此情況下得預先使用單位誤差為0之裝置，或單位誤差為已知之裝置來確認刀輪保持具之刀輪之劃線起始位置。接著根據劃線起始位置來得到偏移資料。

接著針對此偏移資料之紀錄方法進行說明。本實施型態中如圖23A、圖23B所示編碼記錄於刀輪保持具10之平坦部11a或11b上。此編碼為一維編碼，亦可使用例如條碼，但因記錄面積小所以使用二維編碼較佳。二維編碼中比起一維編碼可以較小的面積記錄更多的資訊。此外二維編碼擁有資料復原機能，即使發生污損或部份資料破損也能將其復原並藉由讀取用感測器讀取出來。圖23A、圖23B係對刀輪保持具10之二維編碼進行寫入與讀出之示意圖。圖23A中藉由雷射刻號機(laser marker)之控制器51將記錄之資料加以設定而形成二維編碼之圖案。作為應記錄之資料，係將包含刀輪之種類、預先測定之偏移資料作成二維編碼。然後藉由頭部52於刀輪保持具10之平坦部11a或是11b上直接印字。圖9、圖10顯示如此於平坦部11a上所印字之二維編碼17。接著，為了將刀更換而替換刀輪保持具之情況，於新的刀輪保持具使用前如圖23B所示藉由讀取器53來讀取二維資料。如此可從所讀取之資料來確認刀輪之種類。此外藉由上述將偏移值變換為補正資料，可將刀輪保持具之更換所帶來之調整作業自動化。

另外本實施型態中，係將二維編碼於刀輪保持具10上直接印字，但亦可將二維編碼以印字出之標籤黏貼之方式。此外本實施型態中係將二維編碼印字於於刀輪保持具之平坦部11a或11b上，但亦可記錄於傾斜部16a或16b上，更進一步亦可記錄於圓筒部分之表面上。

本實施型態中，二維編碼係記錄刀輪之種類及偏移資料，但除此等資料之外，也可記錄刀輪保持具之製造年月日或標籤等。再者二維編碼之圖案之記錄器以雷射刻號機以外之其他記錄器也可，另外資料之讀取器亦可使用無線之漢迪型(Handy)讀取器。

再者本實施型態中，係於刀輪保持具上將固有之資料以二維編碼方式記錄，但此記錄媒體亦可使用密著接觸型之資料載體(data carrier)等。此情況下係將資料載體組裝於刀輪保持具之平坦部16b等，於保持具接頭之資料載體之對象部份配置具有資料之讀取或寫入機能之讀寫單位(read/write unit)。如此即可不需使用資料讀出之記錄器或讀取用感測器而將編碼寫入或讀出。

此外本實施型態中，刀輪保持具上之二維編碼係將偏移值加以記錄。除此之外亦可將用以抵消偏移值之資料記錄於刀輪保持具上，將此偏移值抵消之修正值輸入於劃線裝置來進行修正。

接著針對本發明之第2實施型態進行說明。此實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置，係一種其台不旋轉且只往y軸方向移動、劃線頭往x軸方向移動之劃線裝置。圖24為此實施型態之複數之多劃線頭裝載劃線裝置之立體圖，與上述之第1實施型態相同部份使用相同符號而省略詳細說明。此實施型態中無馬達105，移動台101之上面直接就是台106，且台106上配置有脆性材料基板107。此外橋110上設置有往x軸方向自由移動之複數(本實施型態中為2個)之線性滑件71。線性滑件71透過垂直方向之連結板72來保持滑動頭73。滑動頭73之左右任意一方之側面組裝有劃線頭74。其他之構成與上述之第1之實施型態相同。

滑動頭73具有將劃線頭74往y軸方向位移之位移機構。此位移機構係構成相對移動部之部分。接著針對劃線頭使用圖25A~圖25C來進行詳細說明。圖25A為設置於連結板72上一方之滑動頭73之立體圖，圖25B為滑動頭73之正視圖。此滑動頭73於上下方向以適當之間隔配置有上側塊部73a及下側塊部73b。此等上側塊部73a及下側塊部73b，可同時往y軸之正或負方向平行滑動。上側塊部73a中，於滑件71之滑動方向之x軸方向之兩側設置有沿著y軸方向以水平狀態延伸之2個滑動導件73c。於各滑動導件73c設置有可各自滑動之上側導件塊73d。下側塊部73b中，於滑動方向之x軸方向之兩側設置有沿著y軸方向以水平狀態延伸之2個滑動導件73e。於各滑動導件73e設置有可分別滑動之下側導件塊73f。

如圖25B所示，於滑動頭73b之上下兩側所設置之上側導件塊73d及下側導件塊73f中，組裝有各自呈現垂直狀態之組裝板73g。此外，於此劃線頭73之任一方之組裝板73g中，組裝有劃線頭74。

於上側塊部73a及下側塊部73b之間，沿著y軸方向配置有滾珠螺桿73h，且滑動塊73i螺合於此滾珠螺桿73h。滑動塊73i一體組裝於各組裝板73g上。

另外於上側塊部73a之上方設置有伺服馬達73m。伺服馬達73m可正轉或反轉，且旋轉軸朝-y方向以水平狀態突出，於其前端部有一體組裝之正時滑輪73n。正時滑輪73n之下方保持有自由旋轉之於滾珠螺桿73h之前端部所組裝之從動側之正時滑輪73p。然後，於兩正時滑輪73n、73p上卷掛可轉動之正時皮帶73q。

若伺服馬達73m旋轉的話，則藉由正時皮帶73q，將旋轉力從上側之正時滑輪73n傳達到下側之正時滑輪73p，使下側之正時滑輪73p上一體組裝之滾珠螺桿73h旋轉。藉由滾珠螺桿73h旋轉，滑動塊73i沿著y方向滑動，並且伴隨各組裝板73g分別沿著y方向滑動。如此可使安裝於各組裝板73g上之劃線頭74沿著y方向滑動。

圖25C為劃線頭74之立體圖。於滑動頭73上所設置之一方之組裝板73g組裝有劃線頭74之伺服馬達74a。伺服馬達74a係以於組裝於組裝板74g之載製板74I之開口部以將旋轉軸於下側呈垂直狀態所延伸出之倒立狀態之方式透過載置板74i及組裝板74g組裝於組裝板73g上。伺服馬達74a之旋轉軸中，組裝有與旋轉軸呈現一體旋轉之圓筒凸輪74b。圓筒凸輪74b之下面為相對水平狀態呈現傾斜狀態之凸輪面74c。

另外，劃線頭74於下部具有線性承軸74d，且於此線性承軸74d上保持有可於上下方向滑動之保持具構件74e。於線性承軸74d中，設置有與保持具構件74e一體化之接觸於圓筒凸輪74b之凸輪面74c之凸輪從動件74f。凸輪從動件74f呈現可旋轉之滾輪形狀。保持具構件74e與組裝板74g之間，設置有將保持具構件74e彈壓於面向對於組裝版74g上方之彈性體，例如盤簧74h。盤簧74h藉由將保持具構件74e彈壓於上方而將凸輪從動件74f壓接於凸輪面74c。

保持具構件74e之下端部保持有與第1實施型態相同之保持具接頭20。保持具接頭20之下端部所設置之刀輪保持具10亦與第1實施型態相同。

如此構成之第2實施型態之多劃線頭裝載之劃線裝置中，如同第1實施型態般不將台自身旋轉而進行修正。例如圖26所示脆性材料基板107傾斜置於台106上之情況，使任一劃線頭之刀輪保持具之刀均可從校準標記63a開始劃線之方式而設定與第1實施型態相同。此時其他劃線頭使用往y軸方向之移位機構來使其位置移動。之後若進行通常之修正處理即可使沿著直線B上之2個劃線頭移動，而形成2條切割線。如此一來於脆性材料基板107上使用2個劃線頭同時進行劃線之情況下，任一劃線頭均可如圖26所示之直線B之任何位置開始劃線。然後藉由與以往相同之直線補間法可將其偏移角度抵消，如直線C、D所示般於相對直線B之垂直方向進行劃線。

此外，於上下搭載有一對之劃線頭之劃線裝置，可將2層互相貼合之脆性材料基板的上下兩面加以同時劃線。此劃線裝置的情況亦可採用相同之刀輪保持具。即使是劃線頭往x軸與y軸方向移動且刀輪保持具保持在可於xy平面內自由旋轉，以使切割線以可形成曲線之方式構成之劃線頭裝載劃線裝置，若使用本發明之刀輪保持具，則可於刀輪保持具替換後即可簡單地以短時間進行劃線起始位置資料之修正。

產業上可利用性

本發明係一種於脆性材料基板上形成切割線之劃線裝置所使用之刀輪保持具之自動更換系統，因刀輪保持具之偏移資料係以編碼的形式保存於刀輪保持具中，所以藉由讀取其編碼可簡單地將補正資料設定於劃線裝置中，而達成刀輪更換之自動化。因而可廣泛利用於脆性材料基板上形成切割線之步驟。

1．．．多劃線頭裝載劃線裝置

10．．．刀輪保持具

11a、11b、16b．．．平坦部

12．．．溝

13．．．銷溝

14．．．刀

15．．．銷

16．．．組裝部

16a．．．傾斜部

17．．．二維編碼

20．．．保持具接頭

21a、21b．．．承軸

22．．．保持部

23．．．開口

24．．．磁鐵

25．．．平行銷

31．．．刀輪夾

32．．．編碼讀頭

33．．．機械臂

40．．．控制器

41．．．影像處理部

42．．．控制部

43．．．補正值輸入部

44．．．X馬達驅動部

45．．．Y馬達驅動部

46．．．旋轉用馬達驅動部

47．．．刀輪保持具升降驅動部

48．．．螢幕

49．．．使用資料保持部

49a．．．管理表

50．．．劃線頭

71．．．線性滑件

72．．．連結板

73．．．滑動頭

74．．．劃線頭

圖1係表示習知之多劃線頭裝載劃線裝置之全體構成之立體圖。

圖2係表示習知之保持具接頭及刀輪保持具之立體圖。

圖3係表示習知之刀輪保持具之立體圖。

圖4係表示將習知之刀輪保持具組裝於保持具接頭之狀態之立體圖。

圖5A係表示習知之劃線處理之流程圖。

圖5B係表示習知之劃線處理之中基板之移動處理之流程圖。

圖6係表示以CCD攝影機拍攝校準標記之狀態之圖。

圖7係表示校準標記與刀輪之劃線起始位置及偏移資料之關係之圖。

圖8係表示本發明第1實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之全體構成之立體圖。

圖9係表示本發明之第1實施型態之刀輪保持具之構成之圖。

圖10係表示本發明之第1實施型態之刀輪保持具之立體圖

圖11係表示本發明之第1實施型態之保持具接頭之圖

圖12係表示本發明之第1實施型態之保持具接頭之刀輪保持具***時之立體圖。

圖13係表示刀輪保持具***之狀態之保持具接頭之部分剖面圖。

圖14係表示保持具接頭組裝於劃線頭之狀態之圖。

圖15係表示本發明之第1實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之正面之概略圖。

圖16係表示本發明之第1實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之立面概略圖。

圖17係表示本發明之第1實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之控制系之構成之方塊圖。

圖18係表示刀輪保持具之管理表之圖。

圖19A係表示本發明之第1實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之劃線處理之順序之流程圖。

圖19B係表示本發明之第1實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之劃線處理之順序之流程圖。

圖20係表示本發明之第1實施型態之自動更換處理之流程圖。

圖21係表示動作開始時更換刀輪之情況之處理之流程圖。

圖22係表示校準標記與刀輪之劃線起始位置及偏移資料之關係之圖。

圖23A係表示刀輪保持具之二維資料之寫入處理之概略模式圖。

圖23B係表示刀輪保持具之二維資料之讀取處理之概略模式圖。

圖24係表示係表示本發明之第2實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之全體構成之立體圖。

圖25A係表示本發明之第2實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置上所用以組裝之滑動頭部之立體圖。

圖25B係表示本發明之第2實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置上所用以組裝之滑動頭部之側視圖。

圖25C係表示本發明之第2實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之劃線頭之立體圖。

圖26係表示本發明之第2實施型態之多劃線頭裝載劃線裝置之動作狀態之概略圖。

32‧‧‧編碼讀頭

40‧‧‧控制器

41‧‧‧影像處理部

42‧‧‧控制部

43‧‧‧補正值輸入部

44a‧‧‧X馬達驅動部

44b‧‧‧Y馬達驅動部

45‧‧‧Y馬達驅動部

46‧‧‧旋轉用馬達驅動部

47‧‧‧刀輪保持具升降驅動部

48‧‧‧螢幕

49‧‧‧使用資料保持部

104、105‧‧‧馬達

108‧‧‧CCD攝影機

Claims (7)

1. 一種多劃線頭裝載劃線裝置，係裝載有複數劃線頭，其具備：設置手段，供設置脆性材料基板；複數個劃線頭，係設置成與該設置手段上之脆性材料基板對向；保持具接頭，設於該劃線頭前端；刀輪保持具，一端具有以包含傾斜部之方式一面形成有切口之安裝部且可於保持具接頭自由裝卸、另一端具備安裝成可自由旋轉之切割線形成用之刀輪；及相對移動部，使該劃線頭及該脆材料基板，沿脆性材料基板之平面的面內相對移動；該保持具接頭，於下面形成有供該刀輪保持具之一端***之開口，在該開口其內側埋設有磁鐵，並設置有垂直於該開口之中心軸之平行銷；該刀輪保持具之一端之至少一部分係以磁性體構成；若該刀輪保持具之一端***該保持具接頭之開口，則該刀輪保持具之傾斜部會與該平行銷接觸而定位，並藉由該磁鐵固定。
2. 如申請專利範圍第1項之多劃線頭裝載劃線裝置，其中，該相對移動部包含使該設置手段往y軸方向移動之移動部、及使該劃線頭往x軸方向及y軸方向移動之移動部。
3. 如申請專利範圍第1項之多劃線頭裝載劃線裝置，其中，該相對移動部可使該設置手段往x軸方向及y軸方向 移動。
4. 如申請專利範圍第1項之多劃線頭裝載劃線裝置，其中，該相對移動部含有可使該設置手段往y軸方向移動及使該劃線頭往x軸方向移動之移動部。
5. 如申請專利範圍第1項之多劃線頭裝載劃線裝置，其中，該相對移動部進一步具備使該設置手段於脆性材料基板之面內旋轉之旋轉部。
6. 如申請專利範圍第4項之多劃線頭裝載劃線裝置，其中，該相對移動部進一步具備使該設置手段於脆性材料基板之面內旋轉之旋轉部。
7. 一種劃線方法，使用多劃線頭裝載劃線裝置，該多劃線頭裝載劃線裝置，具備：設置手段，供設置脆性材料基板；複數個劃線頭，係設置成與該設置手段上之脆性材料基板對向；保持具接頭，具備軸承且設置成可於該劃線頭前端自由旋轉；及刀輪保持具，一端具備以包含傾斜部之方式一面形成有切口之安裝部且安裝成可於保持具接頭於既定方向自由裝卸、另一端具備安裝成可自由旋轉之切割線形成用之刀輪；該保持具接頭，於下面形成有供該刀輪保持具之一端***之開口，在該開口其內側埋設有磁鐵，並設置有垂直於該開口之中心軸之平行銷；該刀輪保持具之一端之至少一部分係以磁性體構成；於將該刀輪保持具安裝於該保持具接頭之後，使該劃線頭及該設置手段沿該設置手段之面相對移動於x軸方向 及y軸方向，以對該設置手段上之脆性材料基板進行劃線；該安裝係將該刀輪保持具之一端***該保持具接頭之開口，使該刀輪保持具之傾斜部與平行銷接觸而對該保持具接頭定位，使該刀輪保持具之磁性體吸引至該磁鐵而固定於該保持具接頭。