TWI388475B - 防塵薄膜組件收納容器 - Google Patents

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Description

防塵薄膜組件收納容器
本發明係關於一種在製造半導體裝置、印刷基板、液晶顯示器等產品時使用的防塵薄膜組件的收納容器，特別是關於一種在製造液晶顯示器時使用的大型防塵薄膜組件收納容器。
在LSI、超LSI等半導體或是液晶顯示器等產品的製造過程中，係用光照射半導體晶圓或液晶用原板以製作圖案，惟若此時所使用的光罩或初縮遮罩(以下僅稱光罩)有灰塵附著的話，由於該灰塵會吸收光線或使光線彎曲，故除了會讓轉印的圖案變形、使邊緣變粗糙以外，還會使基底污黑，並損壞尺寸、品質、外觀等。
因此，該等作業通常是在無塵室內進行，惟即使如此欲經常保持光罩清潔仍相當困難。於是，一般採用在光罩表面貼附作為防塵器之用的防塵薄膜組件後再進行曝光的方法。此時，異物並非直接附著於光罩表面上，而係附著於防塵薄膜組件上，故只要在微影時將焦點對準到光罩圖案上，防塵薄膜組件上的異物就不會對轉印造成影響。
一般而言，防塵薄膜組件，會在防塵薄膜組件框架的上端面張設透明的防塵薄膜，同時在下端面設置用來貼合到光罩上的粘接劑層。具體而言，係在由鋁、不銹鋼、聚乙烯等物質所構成的防塵薄膜組件框架的上端面塗佈防塵薄膜的良好溶媒，之後將由透光性良好的硝化纖維素、醋酸纖維素、氟系樹脂等物質所構成的透明防塵薄膜風乾接合於其上(專利文獻1：日本特開昭58-219023號公報)，或是用丙烯酸樹脂或環氧樹脂等的接合劑接合(專利文獻2：美國專利第4861402號說明書，專利文獻3：日本特公昭63-27707號公報)。然後，在防塵薄膜組件框架的下端面，貼合用來裝設到光罩上而由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯酯樹脂、丙烯酸樹脂、矽氧樹脂等樹脂所構成的粘接劑層，以及因應需要設置而目的在於保護粘接劑層的脫模層(隔離部)。
隔離部，通常係在PET樹脂等厚度100～200μm左右的薄膜上塗佈脫模劑，然後將薄膜切割加工成吾人想要的形狀使用。隔離部，除了很薄之外，還形成與框架的外形幾乎相同的框狀，故會變得像軟性繩帶那樣，除了很難徹底洗淨之外，在將其貼合到粘接劑層的作業中，就使用處理上而言，也是很不方便的。
另外，隔離部必須用沒有接縫、摺痕等的整片原料片材製造。若隔離部有接縫、摺痕等的高低差，則形狀會轉印到所貼合的粘接劑層上，可能會對貼合後的光罩的穩定性造成影響。想要製造這種沒有接縫、摺痕等高低差的大型整片原料片材是很困難的，另外，想要將脫模劑塗佈到整個表面上而沒有缺陷瑕疵也是很困難的。因此，對於大型防塵薄膜組件，特別是1邊長度超過1m的大型防塵薄膜組件而言，製造隔離部是很困難的。
隔離部必須具備保護粘接劑層的功能，在防塵薄膜組件使用時會被剝離丟棄，為了解決該等問題亦可不使用隔離部。為了省略使用隔離部，例如，可使用防塵薄膜組件收納容器，通常防塵薄膜組件係以粘接劑層朝向下側(防塵薄膜組件收納容器側)的方式被收納在收納容器中，然而此時可相反地以粘接劑層朝向上側，防塵薄膜側朝向下側的方式載置。但是，在該情況下，防塵薄膜內側在防塵薄膜組件收納容器內朝向上方，最需要保護的部分反而會有異物附著的危險，並非較佳的作法。如是，到現在為止，尚無文獻提出一種在保管中不需要隔離部也能收納防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。
習知技術揭示在防塵薄膜組件收納容器內設置防塵薄膜組件框架支持體，作為在保管中不需要隔離部的防塵薄膜組件以及防塵薄膜組件收納容器(專利文獻4：日本特開2009-128635號公報)。然而，當防塵薄膜組件框架支持體很軟時，便無法利用固定螺栓等工具確實而充分地將防塵薄膜組件框架支持體固定在防塵薄膜組件收納容器上，當防塵薄膜組件框架支持體很硬時，會發生無法充分吸收移動防塵薄膜組件收納容器時對防塵薄膜組件框架所產生的振動、衝擊等的不良情況，而無法解決問題。
[先行技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開昭58-219023號公報
[專利文獻2]美國專利第4861402號說明書
[專利文獻3]日本特公昭63-27707號公報
[專利文獻4]日本特開2009-128635號公報
為了解決上述問題，本發明之目的在於提供一種防塵薄膜組件收納容器，其對於防塵薄膜組件，特別是至少一邊邊長在500mm以上的大型防塵薄膜組件，使用隔離部以外的粘接劑層保護手段(亦即不使用隔離部)保護粘接劑層，且在保管中或輸送中產生振動、衝擊的情況下也能確實保持防塵薄膜組件。
本發明人為了解決前述問題而致力研究，結果發現：若防塵薄膜組件收納容器包含：托盤，其可載置防塵薄膜組件；蓋部，其覆蓋托盤，與托盤共同形成收納防塵薄膜組件的封閉空間；托盤包含：防塵薄膜組件框架支持體，其只與設置在防塵薄膜組件框架的粘接劑塗佈端面的一部分上的未塗佈粘接劑的區域接觸，以支持防塵薄膜組件；以及保持機構，其將防塵薄膜組件框架固定在防塵薄膜組件框架支持體上；而且，防塵薄膜組件框架支持體係由基體部以及與防塵薄膜組件框架接觸的緩衝部所構成，形成由兩個硬度不同的構件所接合而成的接合體，則即使不使用隔離部也能夠保護粘接劑層，而且，在保管中或輸送中即使有振動、衝擊也能確實地保持防塵薄膜組件，故進而完成本發明。
因此，本發明提供下述防塵薄膜組件收納容器。
請求項1：
一種防塵薄膜組件收納容器，包含：托盤，其可載置防塵薄膜組件；以及蓋部，其覆蓋於該托盤，與該托盤共同形成收納防塵薄膜組件的封閉空間；該托盤包含：防塵薄膜組件框架支持體，其只與設置在防塵薄膜組件框架的粘接劑塗佈端面之一部分上的未塗佈粘接劑之區域接觸，而支持著防塵薄膜組件；以及保持機構，其將防塵薄膜組件框架固定在防塵薄膜組件框架支持體上；該防塵薄膜組件框架支持體係由基體部以及與防塵薄膜組件框架接觸的緩衝部所構成，而基體部與緩衝部兩者係由硬度不同的構件的接合體形成；該防塵薄膜組件框架支持體的基體部比緩衝部更硬，該緩衝部的硬度以橡膠硬度計TYPE A量測在10以上80以下。
請求項2：
如請求項1所記載的防塵薄膜組件收納容器，其中，該防塵薄膜組件框架支持體的基體部係由工程塑膠所構成，該防塵薄膜組件框架支持體的緩衝部係由橡膠或合成橡膠所構成。
請求項3：
如請求項1或2所記載的防塵薄膜組件收納容器，其中，該緩衝部的硬度以橡膠硬度計TYPE A量測在10以上60以下。
請求項4：
如請求項1乃至3中任1項所記載的防塵薄膜組件收納容器，其中，該防塵薄膜組件框架支持體的基體部與緩衝部係以異材成型方式一體成型。
本發明的防塵薄膜組件收納容器，即使不使用隔離部也能保護粘接劑層，而且，在保管中或輸送中即使發生振動、衝撃的情況也能確實地保持防塵薄膜組件。再者，由於不使用隔離部，故能夠解決大型防塵薄膜組件的大型隔離部的材料很難取得的問題，而且，除了隔離部本身的成本之外，還能夠節省隔離部的洗淨作業、貼合作業等相關作業，故能夠大幅降低製造成本。由於以上原因，本發明在產業上的利用價值非常高。
若利用本發明，便能夠提供一種防塵薄膜組件收納容器，防 塵薄膜組件以粘接劑層不接觸防塵薄膜組件收納容器的方式被固定在收納容器內，即使不使用隔離部也能保護粘接劑層，故在保管中不需要隔離部。因此，能夠解決大型防塵薄膜組件的隔離部材料很難取得的問題。另外，也不會發生在輸送中或隔離部的剝離作業中從隔離部本身產生塵屑的問題，故從防止異物附著的觀點來看效果顯著。再者，除了隔離部本身的成本之外，也能夠節省洗淨作業、貼合作業等相關步驟，故能夠大幅降低製造成本。
另外，防塵薄膜組件框架支持體係由硬度不同的構件組合而成，故能夠有效地吸收、緩衝在輸送中防塵薄膜組件的振動、衝撃，尤其，當以橡膠或合成橡膠支持防塵薄膜組件框架時，橡膠或合成橡膠會吸收、緩衝在輸送中防塵薄膜組件的振動、衝撃，故能有效防止防塵薄膜組件框架或防塵薄膜與防塵薄膜組件收納容器接觸而損傷。再者，若防塵薄膜組件框架支持體係由基體部以及與防塵薄膜組件框架接觸的緩衝部所構成的話，便能夠各自使用最適合的構件。再者，以異材成型的成型方法一體成型，可節省將基體部與緩衝部接合的步驟，而且能夠接合得很牢固。
以下，參照圖面詳細說明本發明，惟本發明並非以此為限。
圖1表示本發明之防塵薄膜組件收納容器的一個實施形態，此時，防塵薄膜組件收納容器處於收納著防塵薄膜組件1的狀態。圖1中，(A)是俯視圖，(B)是沿著(A)中的A-A’線段的剖面圖，(C)是沿著(A)中的B-B’線段的剖面圖，(D)是(B)中的C所包圍之部分的放大圖，(E)是處於蓋部被打開之狀態下的俯視圖。
本發明的防塵薄膜組件收納容器，如圖1所示的，包含：托盤21，其可載置防塵薄膜組件1；以及蓋部22，其覆蓋托盤21並與托盤21一起形成收納防塵薄膜組件1的封閉空間。托盤與蓋部，係用不易產生塵屑的硬質材料，例如工程塑膠等的樹脂或金屬所構成。防塵薄膜組件以配合光罩形狀的方式製作，通常係四 角形(長方形或正方形)，托盤也會配合防塵薄膜組件的形狀以及尺寸，以便收納防塵薄膜組件。在圖1所示的防塵薄膜組件收納容器2中，托盤21製作成約略長方形形狀，此時，在外周壁的內側沿著外周壁圍繞整個周圍凸出設置有堤台部211。
蓋部22形成覆蓋托盤21的蓋子形狀，此時，蓋部22的外周緣部形成先朝外側然後再向上方折返的形狀，當蓋部22載置在托盤21上時，折返所形成的蓋部22的底面接觸托盤21的外周壁與堤台部211之間的頂面，另外，折返所形成的蓋部22的外周面接觸托盤21的外周壁的內周面，進而形成收納防塵薄膜組件1的封閉空間。
如圖1所示的，防塵薄膜組件收納容器收納著防塵薄膜組件1，該防塵薄膜組件1在配合光罩形狀所形成的四角形環狀(在圖1中是長方形環狀)的防塵薄膜組件框架11的一端面上張設防塵薄膜12，另外通常會在另一端面上將粘接劑(粘接劑層)13塗佈在防塵薄膜組件框架11的整個周圍上。然後，如圖1所示的，在防塵薄膜組件框架11的粘接劑塗佈端面的一部分(其可為外周側、寬度方向中央部、內周側的其中任一處)上設置粘接劑層13(在圖1中是設置在內周側)，剩下的部分就是未塗佈粘接劑13的未塗佈區域a。
在本發明的防塵薄膜組件收納容器的托盤上，設有防塵薄膜組件框架支持體，其與設置在防塵薄膜組件框架的粘接劑塗佈端面的一部分上的未塗佈粘接劑的區域接觸，以支持防塵薄膜組件。防塵薄膜組件框架支持體設置在托盤之上，例如，在圖1所示的情況下，係在托盤21的頂面(在圖1中，係在凸出設置於托盤21之外周緣部上的堤台部211)上設置防塵薄膜組件框架支持體3。防塵薄膜組件框架支持體形成充分的間隔高度，使塗佈於防塵薄膜組件框架上的粘接劑所形成的粘接劑層與托盤不會接觸。另外，在圖1中，係在堤台部211上設置防塵薄膜組件框架支持體3，惟並非以此為限，若未設置堤台部211，則亦可在托盤21之上直接設置具備必要高度的防塵薄膜組件框架支持體3。
防塵薄膜組件框架支持體3，在托盤21的外周緣的內側(例如，如圖1所示的堤台部211上)，沿著外周緣整個周圍設置，或是設置在周圍的一部分上。在圖1中，圓錐台狀的防塵薄膜組件框架支持體3，在堤台部211的托盤21的周圍方向上，以約略等間隔的方式，設置了共8個。
另外，雖然圖1例示設置8個圓錐台狀的防塵薄膜組件框架支持體的實施例，惟防塵薄膜組件框架支持體的位置、個數、各個的形狀，可根據所收納的防塵薄膜組件或防塵薄膜組件收納容器的形狀適當設定之。基本上，只要達到即使輸送中的振動或衝撃讓防塵薄膜組件框架移動，也能夠確實地確保粘接劑層與防塵薄膜組件收納容器的托盤以及防塵薄膜組件框架支持體之間的間隙即可。當防塵薄膜組件框架支持體設置在托盤的周圍方向上的一部分時，防塵薄膜組件框架支持體的個數並無特別限定，然而為了穩定支持防塵薄膜組件，防塵薄膜組件框架支持體宜設置3個以上，尤其設置4個以上更好。
防塵薄膜組件框架的粘接劑塗佈端面的未塗佈粘接劑的未塗佈區域接觸並載置在防塵薄膜組件框架支持體上。在圖1中，僅在防塵薄膜組件框架11的粘接劑塗佈端面的內周側設置粘接劑層13，圓錐台狀的防塵薄膜組件框架支持體3的頂面，與防塵薄膜組件框架11的粘接劑塗佈端面的未塗佈粘接劑的未塗佈區域a接觸，防塵薄膜組件受到支持，此時，粘接劑層13與防塵薄膜組件框架支持體3並未接觸。
另外，在本發明的防塵薄膜組件收納容器的托盤上，設有將防塵薄膜組件框架固定在防塵薄膜組件框架支持體上的保持機構。該保持機構，可使用例如夾持框架側面或薄膜接合層側端面的保持機構等，特別宜使用將銷***設置在防塵薄膜組件框架側面的非貫通孔以固定防塵薄膜組件框架的保持機構。
圖1所示的防塵薄膜組件1在從防塵薄膜組件框架11的周圍面(在圖1中係從外周圍面開始形成，惟從內周圍面開始也是可以)向防塵薄膜組件框架11內部的水平方向設置了既定個數(在 圖1中，於防塵薄膜組件框架11的角落部合計共4個)的非貫通孔11a，該既定個數係對應保持機構4的銷41的數量，用來固定後述防塵薄膜組件框架11的保持機構4的銷41可***該非貫通孔11a。
另一方面，在托盤21上，於對應非貫通孔11a的位置(在圖1中，係堤台部211上的4個位置)上，設置具備銷41的保持機構4。藉此，便能夠防止於運送防塵薄膜組件的途中防塵薄膜組件在防塵薄膜組件收納容器內移動。圖1係表示防塵薄膜組件1被保持機構4固定在防塵薄膜組件收納容器內的狀態。銷41可在非貫通孔11a內進退，將防塵薄膜組件框架11載置於防塵薄膜組件框架支持體3上，將銷41***非貫通孔11a，藉此把防塵薄膜組件框架11固定在防塵薄膜組件框架支持體3上，從非貫通孔11a拔出銷41，便能夠從保持機構4放開防塵薄膜組件1。另外，宜在保持機構的銷的前端，設置橡膠等的彈性體，藉此，便能夠讓固定情況更穩定。
本發明的防塵薄膜組件收納容器的防塵薄膜組件框架支持體，係由基體部以及與防塵薄膜組件框架接觸的緩衝部所構成的。而且，基體部以及緩衝部二者硬度不同，接合成一接合體。圖2係圖1所示之防塵薄膜組件收納容器2的防塵薄膜組件框架支持體3的放大縱剖面圖，此時，圓錐台狀的防塵薄膜組件框架支持體3的下部(托盤21側)係基體部31，上部(亦即與防塵薄膜組件框架11接觸該側)係緩衝部32。防塵薄膜組件框架支持體的基體部宜比緩衝部更硬。
基體部，亦可與托盤形成一體，惟若考慮到配合防塵薄膜組件的大小或形狀調整防塵薄膜組件框架支持體的位置此點的話，仍宜設置成有別於托盤的獨立構件。此時，基體部31與托盤21的接合必須利用固定螺栓等構件確實地固定，故基體部31宜使用具備足夠硬度、強度的材料來構成，例如，工程塑膠。工程塑膠的材質，只要使用不易產生塵屑，可對表面實施平滑加工的材質即可，例如可使用ABS(丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物)、PC(聚 碳酸酯)、PI(聚醯亞胺)、PA(聚醯胺)、PBT(聚丁烯對苯二甲酸酯)、PPS(聚苯硫醚)、PEEK(聚醚醚酮)、POM(聚氧化甲烯)、SPS(對位性聚苯乙烯)等材質。
另一方面，由於緩衝部必須能夠吸收或緩衝防塵薄膜組件框架的振動或衝撃，故宜為橡膠或合成橡膠。橡膠或合成橡膠的材質只要是能夠對其表面實施平滑加工的材質即可，可使用例如：NBR(丁腈橡膠)、IR(聚異戊二烯橡膠)、EPDM(乙丙三元橡膠)、CR(氯丁二烯橡膠)、Q(矽氧橡膠)、SBR(苯乙烯丁二烯橡膠)、BR(丁二烯橡膠)、FKM(氟橡膠)、IIR(丁基橡膠)等橡膠、PS(聚苯乙烯)系、PE(聚乙烯)系、PP(聚丙烯)系等合成橡膠[PS、PE、PP與PB(聚丁二烯)的共聚物]等材質。
緩衝部所使用的橡膠或合成橡膠，其硬度以橡膠硬度計TYPE A量測宜在10以上80以下，更宜在10以上60以下。若硬度以橡膠硬度計TYPE A量測低於10的話，緩衝部會無法支持防塵薄膜組件框架而崩潰，而且可能會因為太軟而難以加工。另外，若硬度高於80的話，緩衝部會太硬而無法吸收或緩衝防塵薄膜組件框架的振動或衝撃。
為了對該等工程塑膠賦予靜電防止功能，亦可在橡膠以及合成橡膠內摻合界面活性劑、碳、金屬或金屬氧化物等物質。藉此，便能夠防止防塵薄膜組件於輸送中或從防塵薄膜組件收納容器取出時帶靜電，進而降低發生靜電造成異物附著或在防塵薄膜組件貼合時破壞光罩圖案的危險。
再者，防塵薄膜組件框架支持體的基體部與緩衝部的接合，可使用雙面膠帶、接合劑或粘接劑等，惟宜利用異材成型方式一體成型比較好。雙面膠帶係以配合基體部與緩衝部的接合面的方式切斷，故有時會很難貼合，接合劑或粘接劑在硬化時有時會產生氣體，或溢出接合面之外。另外，這些步驟是非常精細的步驟，因此很花時間。相對於此，若以異材成型的方式製作成型，便能夠在模具內成型時將基體部與緩衝部製作成一體成型的構件，故製作時間較短，且製作起來比較容易。
若使用本發明的防塵薄膜組件收納容器，便能夠在粘接劑層不會接觸到托盤的情況下將防塵薄膜組件收納、固定、保持於防塵薄膜組件收納容器內。因此，便無須設置隔離部保護粘接劑層，而能夠省略使用隔離部。另外，由於欲確保係使用沒有接縫、摺痕等瑕疵的整片原料片材作為隔離部並不容易，故本發明的防塵薄膜組件收納容器特別適合用來當作收納至少一邊邊長在500mm以上，特別是1000mm以上，尤其是1500mm以上的大型防塵薄膜組件的容器。
[實施例]
以下，揭示實施例以及比較例以具體說明本發明，惟本發明並非以下述實施例為限。
[實施例1]
製作如圖3所示的防塵薄膜組件1。亦即，利用機械加工將5000系鋁合金切削成長邊外部尺寸1600mm、短邊外部尺寸1500mm、高度5.8mm、寬度13mm的防塵薄膜組件框架11，並對其表面實施黑色氧皮鋁處理。在該防塵薄膜組件框架11的外側面的4個既定位置，設置保持機構4的銷41可***的非貫通孔11a。將該防塵薄膜組件框架用純水洗淨，待其乾燥後，以垂直3軸分注器塗佈用甲苯稀釋過的矽氧粘接劑(信越化學工業股份有限公司製，產品名：X-40-3122)作為粘接劑層13。又，粘接劑層13的剖面形狀為寬度4mm、高度1.5mm的半圓形。此時，防塵薄膜組件框架的寬度為13mm，由於在其內側的4mm設置粘接劑層，故其外側是寬度9mm的未塗佈區域a。
再者，用甲苯稀釋矽氧粘接劑(信越化學工業股份有限公司製，產品名：KR-3700)作為防塵薄膜接合劑層(未經圖示)，將其塗佈在粘接劑塗佈端面的相反面，使其乾燥後的厚度為0.1mm，然後，加熱到130℃使其硬化。防塵薄膜12，係在表面研磨得很平滑的1600mm×1700mm的矩形石英基板上用模塗法塗佈氟樹脂(旭硝子股份有限公司製，產品名：Cytop)，待溶媒乾燥後，將其從石英基板撕下，製得厚度4μm的防塵薄膜。然後，將 該防塵薄膜12貼合於防塵薄膜接合劑層上，用切割器切除掉外側的不需要的部分，完成防塵薄膜組件1。
另外，利用真空成型法將厚度5mm的黑色防靜電ABS樹脂(TORAY股份有限公司製，產品名：Toyolacparel)製作成如圖1所示的防塵薄膜組件收納容器2的托盤21。另外，同樣地，利用真空成型法將厚度5mm的黑色防靜電ABS樹脂(TORAY股份有限公司製，產品名：Toyolacparel)製作成防塵薄膜組件收納容器2的蓋部22。調整保持機構4的位置，使保持機構4的銷41與設置在防塵薄膜組件框架11上的非貫通孔11a嵌合，然後將保持機構4接合固定在防塵薄膜組件收納容器托盤21上，該銷41係使用ABS樹脂以射出成型方式所製得的構件。
然後更進一步在防塵薄膜組件收納容器2的托盤21的8個位置上，以只接觸防塵薄膜組件框架11的粘接劑的未塗佈區域a的方式，設置防塵薄膜組件框架支持體3。防塵薄膜組件框架支持體3，係將由ABS樹脂所構成的基體部31，以及由PS-(PE/PP/PB)共聚物(KURARAY PLASTICS股份有限公司製，產品名：Septon KC-596，硬度：用橡膠硬度計TYPE A量測為40)所構成的防塵薄膜組件框架緩衝部32，以異材成型方式製作成一體成型的接合體，可安裝在托盤21上。在異材成型時模具溫度保持在40℃，將成型機的缸筒溫度加熱到190℃，進行成型。
將該防塵薄膜組件收納容器2在無塵室內用純水洗淨，待其乾燥後，以只接觸防塵薄膜組件框架11的粘接劑的未塗佈區域a的方式載置防塵薄膜組件框架支持體3，用保持機構4固定防塵薄膜組件，將防塵薄膜組件1收納於防塵薄膜組件收納容器2內。
[實施例2]
防塵薄膜組件框架支持體的基體部使用聚碳酸酯，緩衝部使用矽氧橡膠(信越化學工業股份有限公司製，產品名：KE-1950-10，硬度：用橡膠硬度計TYPEA量測為10)，以異材成型方式成型，除此之外，以跟實施例1同樣的方式製作防塵薄膜組件收納容器，將防塵薄膜組件固定、收納之。
[實施例3]
防塵薄膜組件框架支持體的基體部使用ABS，緩衝部使用PS-(PE/PP/PB)共聚物(KURARAY PLASTICS股份有限公司製，產品名：Septon KC-623，硬度：用橡膠硬度計TYPE A量測為80)，以異材成型方式成型，除此之外，以跟實施例1同樣的方式製作防塵薄膜組件收納容器，將防塵薄膜組件固定、收納之。
[比較例1]
防塵薄膜組件框架支持體的基體部使用ABS，緩衝部使用矽氧膠(信越化學工業股份有限公司製，產品名：KE-1052A/B，硬度：用橡膠硬度計TYPE A量測在1以下，用ASKER C量測為10)，以異材成型方式成型，除此之外，以跟實施例1同樣的方式製作防塵薄膜組件收納容器，將防塵薄膜組件固定、收納之。
[比較例2]
防塵薄膜組件框架支持體的基體部使用ABS，緩衝部使用矽氧橡膠(信越化學工業股份有限公司製，產品名：KER-2667，硬度：用橡膠硬度計TYPE A量測在90以上，用SHORE D量測為70)，以異材成型方式成型，除此之外，以跟實施例1同樣的方式製作防塵薄膜組件收納容器，將防塵薄膜組件固定、收納之。
對實施例1~3以及比較例1、2所製作的防塵薄膜組件收納容器進行評價。評價方法如下。結果顯示於表1。
評價項目1(防塵薄膜組件保持性)：以目視確認將防塵薄膜組件收納於防塵薄膜組件收納容器時防塵薄膜組件框架支持體對防塵薄膜組件(防塵薄膜組件框架)的保持性。
評價項目2(異物的附著狀況)：將收納著防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器垂直立起，維持1分鐘之後，回復水平，進行這樣的動作共3次，以目視確認防塵薄膜、防塵薄膜組件框架的異物附著狀況。
[表1]
1‧‧‧防塵薄膜組件
11‧‧‧防塵薄膜組件框架
11a‧‧‧非貫通孔
12‧‧‧防塵薄膜
13‧‧‧粘接劑(粘接劑層)
2‧‧‧防塵薄膜組件收納容器
21‧‧‧托盤
211‧‧‧堤台部
22‧‧‧蓋部
3‧‧‧防塵薄膜組件框架支持體
31‧‧‧基體部
32‧‧‧緩衝部
4‧‧‧保持機構
41‧‧‧銷
a‧‧‧粘接劑的未塗佈區域
A-A’‧‧‧線段
B-B’‧‧‧線段
C‧‧‧包圍部分
D-D’‧‧‧線段
圖1表示本發明的防塵薄膜組件收納容器的一個實施形態，其表示在防塵薄膜組件收納容器內收納防塵薄膜組件的狀態圖，(A)為俯視圖，(B)為沿著(A)的A-A’線段的剖面圖，(C)為沿著(A)的B-B’線段的剖面圖，(D)為(B)中C所包圍部分的放大圖，(E)為蓋部打開狀態的俯視圖。
圖2表示本發明的防塵薄膜組件框架支持體的一個實施形態的縱剖面圖。
圖3表示在實施例中所使用的防塵薄膜組件，(A)為從粘接劑塗佈端面側觀察的仰視圖，(B)為沿著(A)的D-D’線段的剖面圖。
1．．．防塵薄膜組件
11．．．防塵薄膜組件框架
11a．．．非貫通孔
12．．．防塵薄膜
13．．．粘接劑(粘接劑層)
2．．．防塵薄膜組件收納容器
21．．．托盤
211．．．堤台部
22．．．蓋部
3．．．防塵薄膜組件框架支持體
31．．．基體部
32．．．緩衝部
4．．．保持機構
41．．．銷
a．．．粘接劑的未塗佈區域
A-A’．．．線段
B-B’．．．線段
C．．．包圍部分

Claims (4)

  1. 一種防塵薄膜組件收納容器，包含：托盤，其可載置防塵薄膜組件；以及蓋部，其覆蓋於該托盤，與該托盤共同形成收納防塵薄膜組件的封閉空間；該托盤包含：防塵薄膜組件框架支持體，其只與設置在防塵薄膜組件框架的粘接劑塗佈端面之一部分上的未塗佈粘接劑之區域接觸，而支持著防塵薄膜組件；以及保持機構，其將防塵薄膜組件框架固定在防塵薄膜組件框架支持體上；該防塵薄膜組件框架支持體係由基體部以及與防塵薄膜組件框架接觸的緩衝部所構成，而基體部與緩衝部兩者係由硬度不同的構件的接合體形成；該防塵薄膜組件框架支持體的基體部比緩衝部更硬，該緩衝部的硬度用橡膠硬度計TYPE A量測在10以上80以下。
  2. 如申請專利範圍第1項之防塵薄膜組件收納容器，其中，該防塵薄膜組件框架支持體的基體部係由工程塑膠所形成，該防塵薄膜組件框架支持體的緩衝部係由橡膠或合成橡膠所形成。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之防塵薄膜組件收納容器，其中，該緩衝部的硬度用橡膠硬度計TYPE A量測在10以上60以下。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之防塵薄膜組件收納容器，其中，該防塵薄膜組件框架支持體的基體部與緩衝部係以異材成型的方式一體成型。
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