TWI574102B - Piege film assembly container - Google Patents

Description

防塵薄膜組件收納容器

本發明涉及一種防塵薄膜組件收納容器，其為作為製造半導體裝置、IC封裝、印刷基板、液晶顯示器或者有機EL顯示器等時的防塵器(dust preventor)使用的防塵薄膜組件的收納容器，且適合至少一個邊長超過1000mm的大型的防塵薄膜組件。

LSI、超LSI等的半導體或液晶顯示器等的製造中，要向半導體晶圓或液晶用玻璃板照射紫外光來製作圖案，但若此時使用的光罩上有灰塵附著，所述灰塵就會將紫外光遮擋或反射，因此就會發生經轉印的圖案的形變、短路等，使品質受損。

因此，這些的作業通常在無塵室中進行，但是即使如此，要經常保持光罩清潔也是困難的。因此，要在光罩表面貼附作為防塵器的防塵薄膜組件後再進行曝光。在所述場合，異物不在光罩的表面上直接附著，而是附著在防塵薄膜組件上，由此光微影時只要將焦點對準光罩的圖案上，防塵薄膜組件上的異物變得與轉印無關。

所述防塵薄膜組件一般說來是將由良好地透射光的硝基纖維素、醋酸纖維素或氟樹脂等構成的透明的防塵膜接著在由 鋁、不鏽鋼、工程塑膠等構成的防塵薄膜組件框架的上端面上而成。再者，在防塵薄膜組件框架的下端，設有用於安裝在光罩上的由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯基樹脂、丙烯酸樹脂、矽酮樹脂等構成的黏著層，以及對黏著層進行保護的離型層(分離片)。

另一方面，用於對這樣的防塵薄膜組件、特別是邊長超過1000mm的大型的防塵薄膜組件進行收納的防塵薄膜組件收納容器是由對防塵薄膜組件進行載置的防塵薄膜組件收納容器本體與在周緣部嵌合於其而進行密封的蓋體部件構成。而且，這些部件材料是藉由對厚度2~8mm左右的樹脂板進行真空成形或者壓空成形而製作的，該製法即使大型者也可以一體成形而製作，所以具有內部發塵根源少，並且生率高且能夠以低成本製造的優點。

為了提高附著的異物的視認性，防塵薄膜組件收納容器本體黑色為好，再者蓋體為了能夠對收納在內部的防塵薄膜組件進行視認，以透明或有色半透明為好(參照專利文獻1)。而且，從這樣的觀點，在幾乎所有的場合，作為收納容器本體的材料使用ABS樹脂，再者作為蓋體的材料，使用ABS樹脂或者丙烯酸樹脂。

然後，伴隨著近年來的顯示器面板的大型化，防塵薄膜組件的尺寸也進行大型化，其邊長超過1000mm者也漸漸大量使用，另一方面，伴隨著防塵薄膜組件的大型化，防塵薄膜組件收納容器的經時尺寸變化的問題變得顯著。因此，例如專利文獻2中，作為其對策，提出了與樹脂製的容器本體組合的補強體的結構。

但是，存在如下問題：認為防塵薄膜組件收納容器的經時尺寸變化是成形前的材料本身的特性、吸濕、成形時發生的內部應力的緩和，再者溫度等的使用環境條件所造成者等各種各樣的因素夾雜在一起而產生，所以解決其是困難的。

[現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2001-100394

[專利文獻2]日本特開2013-205690

再者，若所述經時尺寸變化產生而防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的嵌合偏移時，它們的間隙變大，從而不但異物會從外部向防塵薄膜組件收納容器內侵入，而且會有產生擦傷而發塵的擔憂。再者，在為了固定防塵薄膜組件而在內部具有定位單元的防塵薄膜組件收納容器中，因其尺寸變化而位置從正規的位置偏離，因而有發生變為不能收納防塵薄膜組件的事態、或晃動變大而變得容易產生異物的問題。

因此，本發明是鑒於上述問題而成的，其目的為提供一種經時尺寸變化小，即使長期使用內部的清潔度也不降低的適合至少一個的邊長超過1000mm的大型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。

本發明者等人為了達成上述目的進行了深入的研究，得 知在對經時尺寸變化造成影響的各種各樣的因素中，特別是防塵薄膜組件收納容器中用的材料的吸水率對經時尺寸變化造成大影響。因此，進一步對材料的吸水率進行了研究後，得知在吸水率0.2%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的樹脂材料的場合，可以將經時尺寸變化抑制到極小，從而完成了本發明。

即，本發明為收納至少一個邊長超過1000mm的矩形的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器，其特徵為載置防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體為由吸水率0.2%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的樹脂材料構成。

再者，在本發明的防塵薄膜組件收納容器中，其蓋體由吸水率0.2%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的樹脂材料構成，其本體可以由金屬材料構成來代替樹脂材料。再者，本發明中使用的樹脂材料優選其吸水率在經過30日後為0.5%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm)。

根據本發明，防塵薄膜組件收納容器的經時尺寸變化極小，在適宜地保持防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的嵌合的同時，由於防塵薄膜組件收納容器內設置的防塵薄膜組件固定構件的位置不會變化，所以有能夠在長期間保持經收納的防塵薄膜組件的清潔度的效果。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

11‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體

12‧‧‧蓋體

13‧‧‧針

14‧‧‧針支持單元

20‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧防塵薄膜組件框架

22‧‧‧罩幕黏著層

23‧‧‧分離片

24‧‧‧防塵膜接著層

25‧‧‧防塵膜

圖1為表示本發明的防塵薄膜組件收納容器的概要的平面圖。

圖2為表示本發明的防塵薄膜組件收納容器的概要的圖1的AA截面圖。

圖3為表示本發明的防塵薄膜組件收納容器的概要的圖1的BB截面圖。

圖4為撤掉本發明的防塵薄膜組件收納容器的蓋體後的平面圖。

圖5為本發明的防塵薄膜組件收納容器的斜視圖。

以下，對本發明的一實施方式參照附圖進行詳細說明，但是本發明並不限於此。

本發明能夠應用於具有經時尺寸變化所導致的內部的清潔度降低的問題的所有防塵薄膜組件收納容器，特別是適合作為收納邊長超過1000mm的極大型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。

本發明的防塵薄膜組件收納容器10由防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12構成。防塵薄膜組件收納容器本體11載置防塵薄膜組件20，蓋體12與防塵薄膜組件收納容器本體11在周緣部嵌合並密閉，藉此保護防塵薄膜組件20免於外部的灰塵。再者，在防塵薄膜組件收納容器本體11上被載置的防塵薄膜組件20 是通過由***在框架側面設置的非貫通的孔(未圖示)中的針(pin)13和支持所述針的針支持單元14構成的固定單元，而被固定在防塵薄膜組件收納容器本體11上。

本發明的防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12的材料為在JIS K7209(A法，24h，材料厚3mm)的測定方法中，吸水率0.2%以下的樹脂材料。吸水為水分侵入到構成樹脂材料的分子的網目中的現象，若吸水率超過0.2%則會尺寸變化變得特別大，因此不好。作為滿足所述的吸水率的條件的樹脂材料，可舉出硬質PVC、PE、PP、PC等。再者，即使為ABS等吸水率大的材料，也可以通過將填料混入使其吸水率降低。

再者，所述材料由於其吸水率要求長期保持在低水平，因此更優選在JIS K7209(A法，材料厚3mm)的測定方法中，30日經過後其吸水率為0.5%以下的樹脂材料。防塵薄膜組件收納容器為在有濕度的環境下使用者，不管使用吸水性多麼低的材料，吸水本身是不可避免的。在製造防塵薄膜組件收納容器之後，隨時間的經過，吸水也在同時進行，所以實際的防塵薄膜組件收納容器，會在水分量幾乎飽和的狀態下被使用。可認為若所述飽和的狀態的吸水率低，且與初期的吸水率的差越小，則尺寸安定性越高。作為其基準，設為30日經過後具有0.5%以下的吸水率為好。而且，作為滿足這一條件的樹脂材料，與上述同樣，可以例舉硬質PVC、PE、PP、PC等。

而且，從品質或成本點來看，若使用所述材料的防塵薄 膜組件收納容器本體11以及蓋體12為將厚度2~8mm的樹脂板進行真空成形或者壓空成形而製作的，則良好。

作為防塵薄膜組件收納容器10的經時尺寸變化的原因，可舉出各種各樣，其中，防塵薄膜組件收納容器10中用的材料的吸水率對經時尺寸變化造成大影響，因此如果使用滿足本發明的條件的樹脂材料的話，則可以大幅度地減少經時尺寸變化。其結果，在長期維持防塵薄膜組件收納容器的嵌合狀態或防塵薄膜組件的固定狀態不發生變化，同時可以保持防塵薄膜組件收納容器內的清潔度，因此可以作為在實用上沒有問題的防塵薄膜組件收納容器，來良好地保持經收納的防塵薄膜組件的品質。

作為本發明的樹脂材料，除了其吸水率在上述範圍內，為了減少異物附著，還優選在樹脂中混煉進抗靜電成分，或在其表面進行塗裝等，而使其具有抗靜電性能。還優選加入鹵素化合物等的阻燃劑等而使賦予阻燃性，或者使用樹脂本身具有阻燃性者。

如本發明，在至少一個邊長超過1000mm的本發明的防塵薄膜組件收納容器的場合，可燃物的容積、重量也大，所以若其材料具有阻燃性，則在安全上是一大優點。作為滿足這些的條件的適合的樹脂，例如可以例舉PC，混入有無機填料的PVC或ABS等。

再者，在防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12中，根據需要，也可以設置肋筋(rib)等的補強結構，也可以設置金屬 或者樹脂製的補強單元、用於操作的把手、或對蓋體進行固定的扣環等。

進一步，在防塵薄膜組件邊長超過1500mm的極大型的場合，防塵薄膜組件收納容器特別要求具有剛性，因此特別優選僅蓋體12為樹脂製，防塵薄膜組件收納容器本體11為金屬製。防塵薄膜組件收納容器本體11為金屬製的場合時，除鋁合金、鎂合金等的輕量材料以外，也可以使用鋼、不鏽鋼等的高剛性材料。

而且，作為所述場合的成形加工方法，可以在對薄板進行彎曲加工、壓製成型、溶接等而進行造形，或使用鑄造。為了防鏽、防止發生灰塵，其表面優選進行塗裝，特別是，除賦予抗靜電性能以外，為了提高附著異物的視認性，以黑色為優選。

作為用於將防塵薄膜組件20固定在防塵薄膜組件收納容器本體11中的固定單元，可以應用公知的各種各樣的方法。在圖4所示的實施方式中，防塵薄膜組件收納容器本體11上設置針支持單元14，並將被其支持的針13***防塵薄膜組件框架側面中設置的非貫通的孔(未圖示)，由此將防塵薄膜組件20固定，也可以為其他的公知的方法。

再者，在圖4所示的實施方式中，防塵薄膜組件框架21的下表面上設置有罩幕黏著層22，在其下安裝有保護罩幕黏著層22的分離片23，為了不使罩幕黏著層22與防塵薄膜組件收納容器本體11接觸，也可以另外設置支持防塵薄膜組件框架21的單元等，而設為省略分離片的構成。

[實施例]

以下，對本發明的實施例進行詳細說明。

實施例中，首先用厚度5mm的PC(聚碳酸脂)板，並藉由真空成形來製造防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12，在該真空成形之前，從所述聚碳酸脂板切出60x60mm的樣本，將單面切削並精加工為厚度3mm，按照JIS K7209(A法，24h)，對24h後的吸水率進行測定，其值為0.15%。再者，進一步對30日後的吸水率進行測定，其值為0.34%。

繼而，用數控機床對真空成形後的防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12的周圍進行切削加工來進行精加工，對其表面塗佈抗靜電塗料(商品名：塞部路吉大，信越聚合物股份有限公司製造)的塗佈，使其硬化。再者，將針支持單元13從外面用螺栓固定(未圖示)而挨安裝在防塵薄膜組件收納容器本體11上。如此製作的防塵薄膜組件收納容器10的尺寸為外尺寸1100x1280x高度120mm。另外，防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12的嵌合部調整為各邊間隙都成為0.3~0.5mm。

另一方面，以如下的規格製作本發明的防塵薄膜組件收納容器10中收納的防塵薄膜組件20。即，防塵薄膜組件框架21為藉由機械切削對A5052鋁合金進行加工而成，將其尺寸設為外尺寸910x1130mm，內尺寸890x1110mm，高度5.8mm，其表面進行黑色耐酸鋁(alumite)處理。再者，各長邊的中央附近設置有4處直徑1.5mm的通氣孔(未圖示)，各邊的角部附近設置有直徑 2.5mm的非貫通的夾具孔(未圖示)。

然後，以厚度1.3mm在所述防塵薄膜組件框架21的下表面形成矽酮黏著劑(商品名；KR-3700，信越化學工業股份有限公司)作為罩幕黏著層22，其表面安裝有由塗佈了離型劑的PET薄膜構成的分離片23。再者，用丙烯酸黏著劑在防塵薄膜組件框架21側面的通氣孔貼附PTFE多孔質膜製的過濾器(未圖示)。進一步，在防塵薄膜組件框架21的上表面塗佈矽酮黏著劑(商品名；KR-3700，信越化學工業股份有限公司)作為防塵膜接著層24，在其上張設由氟樹脂(商品名；CYTOP，旭硝子股份有限公司)構成的厚度4.5μm的防塵膜25。

對如此製作的防塵薄膜組件20進行異物檢査，用針13和針支持單元14將其固定在防塵薄膜組件收納容器本體11，用蓋體12密閉。其後，嵌合部周圍用PVC製黏著膠帶密封，用抗靜電聚乙烯製的袋中梱包。另外，將防塵薄膜組件20收納時，在10級無塵室內中用界面活性劑和純水將防塵薄膜組件收納容器10進行良好洗淨處理、乾燥。

最後，將如此收納有防塵薄膜組件20的防塵薄膜組件收納容器10搬入空調為室溫22~28℃，濕度30~55%的範圍的室內，靜置保管1年。

然後，1年後，將所述防塵薄膜組件收納容器10搬入10級的無塵室，開梱對內部的狀況進行確認，防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12的嵌合狀態沒有特別問題，可以順利的開閉。 再者，用鹵素燈照射嵌合部周邊，進行目視觀察，沒有發現特別厲害的擦傷的痕跡。進一步，在對經收納的防塵薄膜組件20的進行異物檢査，完全沒有發現附著異物或損傷，保持在正常的狀態。

[比較例]

比較例中，首先，與實施例完全同樣地製造防塵薄膜組件收納容器。該比較例僅在防塵薄膜組件收納容器本體的材料中使用厚度5mm的ABS(丙烯睛-丁二烯-苯乙烯)樹脂，且蓋體中使用厚度5mm的PMMA(丙烯酸)樹脂的點上與實施例不同。另外，成形中使用的模具根據各材料的熱膨脹率進行尺寸的微調整，並進行調整以使防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的間隙在各邊上成為0.3~0.5mm。

然後，針對所述比較例的防塵薄膜組件收納容器，也以與上述實施例相同的步驟進行1年保管試驗。即，在防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的成形前，按JIS K7209(A法)測定所述材料的吸水率，結果防塵薄膜組件收納容器本體中使用的ABS樹脂在24h後為0.3%，在30日後為0.8%。另一方面，蓋體中使用的丙烯酸樹脂在24h後為0.3%，30日後為1.6%。

然後，對與實施例相同的規格的防塵薄膜組件進行異物檢査，用針和針支持單元將其固定在防塵薄膜組件收納容器本體上，並用蓋體密閉。然後，用PVC製黏著膠帶將嵌合部周圍密封，並用抗靜電聚乙烯製袋梱包。另外，在收納防塵薄膜組件20時，在10級的無塵室內，用界面活性劑和純水對防塵薄膜組件收納容 器10進行良好的洗淨處理、乾燥。然後，將所述防塵薄膜組件收納容器搬入與實施例相同的空調為室溫22~28℃、濕度30~55%的範圍的室內，靜置保管1年。

然後，1年後，將所述梱包體搬入10級的無塵室中，開梱並對內部的狀況進行確認，得知蓋體和防塵薄膜組件收納容器本體的嵌合變緊。再者，蓋體的一部分翹起，將密封周圍的黏著膠帶剝離，同時從防塵薄膜組件收納容器本體有若干翹起。然後，對卸下的蓋體的尺寸進行確認，結果在長邊方向觀察到約5mm的伸長，在短邊方向觀察到約4mm的伸長。防塵薄膜組件收納容器本體中，在長邊方向上觀察到約1.5mm的伸長，在短邊方向上也觀察到約1.5mm的伸長。

再者，對經收納的防塵薄膜組件20進行異物檢査，結果在膜面上附著有很多φ3~5μm的異物，且附著有5個φ10~20μm的異物，推測其原因是由於防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的嵌合的惡化，防塵薄膜組件收納容器內外通氣，從而內部被污染。再者，***針的防塵薄膜組件框架的夾具孔周緣部附著有很多粉塵，推測其原因是由於防塵薄膜組件收納容器本體的尺寸變化，針的嵌合位置偏離且與防塵薄膜組件框架產生摩擦。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

11‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體

12‧‧‧蓋體

20‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧防塵薄膜組件框架

22‧‧‧罩幕黏著層

23‧‧‧分離片

24‧‧‧防塵膜接著層

25‧‧‧防塵膜

Claims (3)

1. 一種防塵薄膜組件收納容器，其為收納至少一個邊長超過1000mm的矩形的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器，其特徵在於：包含載置所述防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體和在其周緣部嵌合而進行密閉的蓋體，所述防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體是由吸水率0.2%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的樹脂材料構成。
2. 一種防塵薄膜組件收納容器，其為收納至少一個邊長超過1000mm的矩形的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器，其特徵在於：包含載置所述防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體和在其周緣部嵌合而進行密閉的蓋體，所述防塵薄膜組件收納容器本體是由金屬材料構成，所述蓋體是由吸水率0.2%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的樹脂材料構成。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述樹脂材料的吸水率在經過30日後為0.5%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm)。