TWI279557B - Method for correcting measurement error and instrument for measuring characteristics of electronic component - Google Patents

Description

1279557 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】

本發明係關於一種測定誤差之修正方法及電子構件特性 測定裝置’詳細而言’係對具有連接於施加或檢測高頻訊 唬之訊號線之訊號線埠，及訊號線埠以外之非訊號線埠之 電子構件之電氣特性，由安裝於測試夾具之狀態下測定訊 號線埠及非訊號線埠之結果算出將該電子構件安裝於僅可 測定訊號料之基準夾具來敎時應謂得之t氣特性估 計值之測定誤差之修正方法及電子構件特性測定裝置。 【先前技術】 先則如上述電子構件之不具同軸連接器之表面安裝型電 子構件’係安裝於具有同軸連接器之夾具上，、經由同軸電 境連接夾具與载裝置，來敎電氣特性。此種測定中， 因各個夾具之特性偏差、各個同軸電規及測定裝置之特性 偏差而成為測定誤差之原因。 藉由將具有基準特性之標準 置來測定，可自連接標準器 側之誤差。 有關同軸電纜及測定裝置， 器經由同軸電纜連接於測定裝 之同軸電纜末端決定測定裝置 &疋’有關夾具 n # ’八心文衣％»予構件之 與連接於同軸電緵之同軸連接器間之電氣特性之誤差。 =夾具間之特性不容易調整使—致。特別是在寬的頻 見又’㈣夾具以使夾具間之特性—致是非常固難。 ^此’有人提出將修正資料取得用試料安裝 上而測定，從夹具間之測定值之偏差預先導出某個央 98620.doc 1279557 (將其稱為「基準夾具」）與其他夾具（將其稱為「測試夾 具」）間之相對誤差修正之公式，使用該公式，從將任意 之電子構件安裝於測試夾具之狀態下測定之結果，算出將 其電子構件安裝於基準夾具來測定時應可獲得之電氣特性 之估計值。如基準夾具用於對使用者保證電氣特性，測試 夾具用於電子構件製造步驟之良品篩選用之測定（如參照 非專利文獻1，2)。 非專利文獻 1 : GAKU KAMITANI (Murata manufacturing Co·，Ltd.)，，A METHOD TO CORRECT DIFFERENCE OF IN-FIXTURE MEASUREMENTS AMONG FIXTURES ON RF DEVICES" APMC Vol· 2, pl094-1097, 2003 非專利文獻 2 : J· P. DUNSMORE，L. BETTS (Agilent Technologies) ” NEW METHODS FOR CORRELATING FIXTURED MEASUREMENTS” APMC Vol. 1，p568-571， 2003 〇 【發明内容】 此種方法可對應於測定對象之電子構件僅有訊號線埠 (連接於與使用測定裝置來測定電子構件所具有之任意電 氣特性用之高頻訊號之施加或檢測相關之訊號線之埠）的 情況。 但是，測定對象之電子構件具有訊號線埠以外之埠（連 接於電源線及GND線等與電氣特性測定無關之非訊號線之 埠。以下稱「非訊號線埠」）時，由於連接於非訊號線埠 之爽具特性，電子構件之電氣特性發生變化。因而如圖1 98620.doc 1279557 所不，測試夾具的話，即使非訊號線埠仍連接於測定裝置 來進行測定，基準夾具的話，則非訊號線埠仍然為非訊號 線埠（亦即不連接於測定裝置），而無法對應實行保證特性 • 之情況。 如圖29(a)所示，非訊號線埠經由任何元件而連接於高頻 之地線之電子構件2(以下將此種電子構件稱為「分流型」） 時，基準夾具4具備··連接於電子構件2之訊號線埠之同軸 連接器4a，4b ;及連接於電子構件2之非訊號線埠之元件 • 4s。另外如圖29(b)所示，測試夾具6具備：連接於電子構 件2之訊號線埠之同軸連接器6a，讣；及連接於電子構件2 之非訊號線埠之同軸連接器6c。 此外，如圖30(a)所示，為非訊號線埠間連接元件之電子 構件3(以下將此種電子構件稱為「浮動型」）時，基準夾具 5具備：連接於電子構件3之訊號線埠之同軸連接器化， 5b ;及連接於電子構件3之非訊號線埠間之元件& ;非訊 • 號線埠未進行RF敎。另外，如圖3〇(b)所示，測試夹具7 具備··連接於電子構件3之訊號線埠之同軸連接器h， 几；及連接於非訊號線埠之同軸連接器化，”；不僅訊號 線埠，即使非訊號線埠亦進行RF測定。 』 有鑑於上述情況，本發明係提供可以高精_度對應除訊 號線埠之外還具有非訊號線埠，其電氣特性藉由連接於非 訊號線埠之夾具之特性而變化之電子構件之測定誤差之修 正方法及電子構件特性測定裝置者。 ^ 為了解決上述問題，本發明提供如下構成之測定誤差之 98620.doc 1279557 修正方法。 該測定誤差之修正方法，係就具有：連接於高頻訊號之 施加或檢測相關之訊號線之訊號線埠，及該訊號線埠以外 之非訊號線埠之電子構件，自將前述電子構件安裝於測試 夾具之狀態下，測定前述訊號線埠及前述非訊號線埠之結 果，算出將該電子構件安裝於僅可測定前述訊號線埠之基 準夾具狀態下測定前述訊號線埠時，應可獲得之前述電子 構件之電氣特性之估計值者。前述測定誤差之修正方法具 備第一至第五步驟。前述第一步驟中，在將至少三種修正 貝料取得用試料安裝於前述測試夾具之狀態，肖安裝於前 述基準夾具狀態下，前述修正資料取得用試料之各個訊號 線阜之至）-個測定電氣特性。前述第二步驟中，準備電 性連接訊號線埠之至少一個與非訊號線埠之至少一個之修 正資料取得用通過裝置’在將前述修正資料取得用通過裝 置安裝於前述測試夹具之狀態下，測定該訊號線璋及該非 °凡號線埠，且在將前述修正資 ,f A ^ + 貝科取侍用通過裝置安裝於前 夾具狀態下，敎該訊號料。前述第三步驟中， =述第一及第二步驟所獲得之測定值，決 料及前述非訊號線埠之結果:；=二:定前述訊號 前述電子構狀電氣純估計值應可獲得之 下 中，就任意之前述電子構件，在安掌於1别述第四步驟 ，測定前述$於綠迨女凌於刚述测試夾具狀態 “过線蜂及前述非訊號線蜂。前述第五步驟 98620.doc 1279557 中，依據前述第四步驟所獲得之測定值，使用前述第三步 騍所決定之前述公式，在將該電子構件安裝於前述基準夾 一狀怨下測定前述訊號線埠時，應可獲得之前述電子構件 之電氣特性估計值。 $上述構造藉由第一步驟之測定值，就訊號線埠可進行基 準失具與測試夾具間之相對測定誤差之修正。從該訊號線 車之修正結果與第二步驟之測定值，就非訊號線埠，亦可 仏正基準夾具與測試夾具間之相對測定誤差。 採用上述構造，除訊號線埠之外，非訊號線埠亦可修正 測$誤差，因此任意之電子構件均可從在安裝於測試夾具 狀悲下測定訊號線埠及非訊號線埠之結果，精確估計安裝 於基準夾具時之電氣特性。 於前述第三步驟中，對於前述非訊號線埠之前述公式， 宜使用：將在前述第二步驟中，在將前述修正資料取得用 通過裝置安裝於前述測試炎具之狀態下測定該訊號線埠及 該非訊號線埠之結果，代入從自前述第一步驟所獲得之測 定值而獲彳于之「自將前述電子構件安裝於前述測試夾具狀 態下測定前述訊號線埠之結果，算出在安裝於前述基準夾 具狀態下測定前述訊號線埠時應可獲得之前述電子構件之 電氣特性估計值用之公式」，而獲得之散佈行列各要素 分別為Sni，Sm，Sm，S22〇 ;及將前述第二步驟所獲得 之前述修正資料取得用通過裝置安裝於前述基準夾具狀態 下之該訊號線埠之測定值SllD，顯示如以下公式 (數1) 98620.doc -10- 1279557 C2T =--^np ___ SUD *^22/ ~^ll/ *^22/ +S21I *^12/

亦即’為具有「分流型」之非訊號線埠之電子構件時， 任忍之前述電子構件假設具有將在安裝於前述測試夾具狀 悲下測定之電氣特性變更成在安裝於前述基準夾具狀態下 、疋之電氣特性之特性之相對修正適配（adapter)時，關於 則述訊號線埠，係從第一步驟所獲得之測定值求出相對修 正適配。將該相對修正適配與在將第二步驟中獲得之修正 貝料取得用通過裝置安裝於測試夾具狀態下測定所獲得之 散佈行列合成時，決定從將修正資料取得用通過裝置安裝 於2試夾具狀態下之測定值，估計僅將前述訊號線埠安裝 於前述基準夾具時之電氣特性之散佈行列Si。於第二步驟 中，將修正資料㉟得料過裝置安裝於基準夹具時之測定 值^與前述§1對該非訊號線埠側之端子對，合成關於前述 非矾號線埠之相對修正適配之估計值對應。如此可導出上

藉由使用藉由上述公式導出之非訊號線埠之相對修正道 配，可精確估計安裝於不測定非訊號線埠之基準夾具 電氣特性。 ' 前述電子構件宜具有至少兩個之第一及筐一、， Λ 久弟一 W述訊號線 埠，與至少兩個之第一及第二前述非訊號 一 — 現綠埠，並在該第 及弟一之前述非訊號線埠之間連接元侔。^ τ 叉到前述電子 及第 構件之前述第一及第二非訊號線埠影響之前述第 98620.doc -11 - 1279557 訊號線埠間之電氣特性之估計值之算出，係於前述第—步 料’就制於前述電子構件之前述第—及第二訊號線璋 之前=正資料取得用試料之各個訊號線埠，载電氣特 θ述第一步驟中使用之前述修正資料取得用通過裝 置，電性連接對應於前料子構件之前述第—訊號線蜂之 前述修正㈣取得用通過裝置之訊號線埠，與對應於前述 電子構件之前述第-非訊號線埠之前述修正f料取得用通 過裝^之非訊號線蜂之間，且電性連接對應於前述電子構 件之4述第一汛號線埠之前述修正資料取得用通過裝置之 訊说線埠，與對應於料電子構件之前述第三非訊號線璋 =前述修正資料取得料過裝置之非訊號線埠之間。前述 第三步驟中，為了算出受到前述電子構件之前述第一及第 二非訊號線埠影響之前述第—及第二訊號線琿間之電氣特 性之估計值之前述公係使用於前述第二步驟中，在將 前述修正資料取得用通過裝置安裝於前述測試夾具狀態 下測疋5亥訊號線埠及該非訊號線埠之結果，代入自前述 第一步驟所獲得之測定值而獲得之「自將前述電子構件安 裝於如述測S式夾具狀態下測定前述訊號線蟑之結果，算出 在安裝於W述基準夾具狀態下測定前述訊號線埠時應可獲 得之前述電子構件之電氣特性估計值用之公式」，而獲得 之.對於對應於前述電子構件之前述第一訊號線埠之該訊 號線埠與對應於前述電子構件之前述第—非訊號線埠之該 非sfl號線埠間之傳送係數行列（Tlthru);對於對應於前述電 子構件之前述第二訊號線埠之該訊號線埠與對應於前述電 98620.doc •12- 1279557 子構件之前述第二非訊號線埠之該非訊號線埠間之傳送係 數行列（T2thru);及將前述第二步驟所獲得之前述修正資料 取得用通過裝置安裝於前述基準夾具狀態下之對應於前述 電子構件之前述第一及第二訊號線埠之該訊號線埠間之傳 送係數行列（Dthru);而顯示如下公式 (Tlthru)^ · (Dthru). (12^)-1 … 之傳送係數行列或轉換該傳送係數行列之散佈係數行列。

亦即，為具有「浮動型」之非訊號線埠之電子構件時， 任意之前述電子構件假設具有將在安裝於前述測試夾具狀 悲下測定之電氣特性變更成在安裝於前述基準夾具狀態下 測定之電氣特性之特性之相對修正適配時，關於前述訊號 線埠，係從第一步驟所獲得之測定值求出相對修正適配。 並將該相對修正適配與在將第二步驟中獲得之修正資料取 侍用通過裝置安裝於測試夾具狀態下測定所獲得之散佈行 列合成。亦即決定··對於對應於前述電子構件之第一訊號 線埠之該訊號線埠與對應於電子構件之第一非訊號線埠^ 該非訊號線埠間之散佈行列，進行上述合成之傳送係數行 列（TW);及對於對應於㈣電子構件之第二㈣線蜂: 該訊號線埠與對應於前述電子構件之第二非訊號線埠之1 非訊號線埠間之散佈行列，進行上述合成之傳送係數 (T2thru)。於第二步驟中，自將修正資料取得用通過裝= 裝於基準夹具時之測定值，決定將修正資料取得用通過裝 置安裝於基準夾具狀態下之對餘前述電子構件之第—、 第二訊號線埠之該訊號線埠間之傳送係數行列⑴ 98620.doc -13- 1279557 對應於前述電子構件m非訊ι料之該非訊號 線阜間之相對修正適配為（CA)時，以下公式（b)成立。 (Dthru) = (Tlthru). (CA). (T2thru) . . . (b) 在忒公式（b)之兩邊，自左右附加反行列， (T2thru) 1時，可導出上述公式（&)。 、猎由使用藉由上述公式⑷導出之非訊號線埠之相對修正 適配’可精確估計安裝於不敎非訊號料之基準夹具 之電氣特性。 ’

前述第五步財，前述算出方法，就任意之前述電子構 件’假設具有將在安裝於前述測試夾具狀態下測定之電氣 特性變更成在安裝於前述基準夾具狀態下測定之電氣特性 之特性之相對修正適配時’於前述非訊號線埠中， 前述第三步狀對前述非訊I㈣之前述公式來估計前述 相對修正適配。 前述第二步财敎之前述修正f料取得料過裝置， ，訊號線埠與該非訊號線埠間之傳達係數宜為-脑以 ㈣，由於在訊號料與非訊號料U出訊號比 輸入訊號約小！位數’因此可精確進行測定誤差之修正。 前述第二步驟中測定之前述修正資 " 貝枓取得用通過裝置， 该訊號線埠與該非訊號線埠間傳 上。 傳達係數宜為福以 中全反射訊號時， 入之訊號約小1位 此時’如前述基準夾具之非訊號線痒 由於測定之訊號比自前述訊號線埠輪 98620.doc -14- 1279557 數’因此可精確求出前述非訊號線埠之相對修正適配。 此外，為了解決上述問題，本發明提供如下構造之電子 構件特性測定裝置。 該電子構件特性測定裝置，传 心衣直係就具有·連接於高頻訊號 之施加或檢測相關之訊號線之訊號線埠，及該訊號線谭以 外之非訊號線埠之電子構件，在將前述電子構件安裝於測 試夾具之狀態下，敎前述訊號料及料非訊號線缚， 自其測定結果算出將該電子構件安裝於僅可敎前述訊號 線琿之基準夾具狀n下载前述訊號料時應可獲得之前 述電子構件之電氣特性估計值者。前述電子構件特性測定 裝置具備：測定機構、記憶機構、公式決定機構及電氣特 性估計機構。前述測定機構係在將前述電子構件安裝於前 述測試夾具狀態下，測定前述訊號線埠及前述非訊號1 埠。前述記憶機構儲存：第一測定資料，其係在安裝於前 述測試夾具之狀態與安裝於前述基準夾具之狀態下，就前 述訊號線埠之至少一個，測定至少三種修正資料取得用電 子構件，第二測定資料，其係在將電性連接訊號線埠之至 少一個與非訊號線埠之至少一個之修正資料取得用通過穿 置安裝於前述測試夾具狀態下測定該訊號線埠及該非訊號 線埠’及第二測定資料，其係在將前述修正資料取得用通 過裝置安裝於前述基準夾具狀態下測定該訊號線埠。前述 公式決定機構依據儲存於前述記憶機構之前述第一至第三 測定資料，來決定自將前述電子構件安裝於前述測試夾具 狀態，測定前述訊號線埠及前述非訊號線埠之結果，算出 98620.doc -15- 1279557 將該電子構件安裝於前職準爽具狀態下敎前述訊號線 阜時應可獲#之前述電子構件之電氣特性估計值用之公 式月’j述電氣特性估計機構就任意之前述電子才冓件，自前 ^測定機構測出之敎值，使用前述公式決錢構決定之 則述公式，算出在將該電子構件安裝於前述基準夾具狀態 下測定前述訊號線埠時應可獲得之前述電子構件之電氣特 性估計值。 φ 上述構造藉由第-測定資料，就訊號線埠，可進行基準 夹具與測定失具間之相對測定誤差之修正。從該訊號線蟑 之t正、、，口果與第一及第三測定資料，非訊號線淳亦可修正 基準夾具與測定夾具間之相對測定誤差。 採用上述構造，除訊號料之外，由於非訊號線淳亦可 I正測定誤差’因此任意之電子構件均可自在安裝於測試 =之狀態下測定訊號線埠及非訊號線埠之結果，精確估 什女裝於基準夾具時之電氣特性。 φ 另外，第-至第三測定資料，可藉由上述構造之電子構 =特性敎裝置之測定機構來測定，亦可藉由上述構造之 特性敎裝置以外之其他測定裝置來測定。採用 =^、下’藉由其他敎裝置測出之測定㈣儲存於上 述才“之電子構件特性測定裝置之記憶機構中。 前述公式決定機構決定之對前述非訊號線埠之前述公 =使:::前述第二測定資料代入自前述第-測定資料 述電子構件安裳於前述測試夹具狀態下測 疋則號線璋之結果，算出在安裝於前述基準夾具狀態 98620.doc _ 16- Ϊ279557 下測定前述訊號線埠時應可獲得之前述電子構件之電氣特 性估計值用之公式」，@獲得之散佈行歹仏（各I素分別為

Sln Sl21，S211，S221);及將前述第三資料之前述修正資 料取得用通過裝置安裝於前述基準夹具狀態下之該訊號線 埠之測定值s丨1D，顯示如以下公式 (數2) 02Γ =____

^ SUD^ S22i - SUI * *S22/ + S2U * Sl2I 亦即，為具有「分流型」之非訊號線埠之電子構件時， 任意之前述電子構件假設具有將在安裝於前述測試夾具狀 態下測定之電氣特性變更成在安裝於前述基準夾具狀態下 測定之電氣特性之特性之相對修正適配時，關於前述訊號 線車係《第一測疋資料求出相對修正適配。將該相對修 正適配與在將第二測定資料獲得之修正資料取得用通過裝 置安裝於測試夾具狀態下測定所獲得之散佈行列合成時， # 決定從將修正資料取得用通過裝置安裝於測試夾具狀態下 之測定值，估計僅將前述訊號線埠安裝於前述基準夾具時 之電氣特性之散佈行列SI。第三測定資料之將修正資料取 得用通過裝置安裝於基準夾具時之測定值，與前述Si對該 非訊號線埠侧之端子對，合成關於前述非訊號線埠之相對 修正適配之估計值對應。如此可導出上述公式。 藉由使用藉由上述公式導出之非訊號線埠之相對修正適 配’可精確估計安裝於不測定非訊號線埠之基準夾具時之 98620.doc -17- 1279557 電氣特性。 前述電子構件宜具有至少兩個 ±t s , 似之第一及第二前述訊號線 一及^ >、兩個之第一及第二前述非訊號線埠，並在該第 第一之前述非訊號線埠之間連接元件。前述第一測定 貝料就對應於前述電子構件 此、^ 稱件之則迷第一及第二訊號線埠之 則达修正資料取得用試料 如—义、、& 各個矾唬線埠測定電氣特性。 /、’J疋則述第二及第三測定資料 ^ 、夺使用之修正資料取得用通 過哀置電性連接對應於前述電 .^ ^ 电于構件之别述第一訊號線埠 之刖述修正資料取得用通 H μ & 衷置之訊諕線埠與對應於前述 ^ ^ ^ t ° #u線埠之則述修正資料取得用通 過裝置之非訊號線埠之間， 電性連接對應於前述電子構 刚述第-訊號線蜂之前述修正資料取得用通過裝置之 訊號線埠與對應於前述電 ‘、电卞稱仵之則述第二非訊號線埠之 正資料取得用通過裝置之非訊號線璋之間。前述公 〜疋機構決定之算出受到前述電子構件之前述第一及第 二非訊號線埠影響之前述第一 弟一桌唬線埠間之電氣特 =汁值用之㈣公式，係將前述第二敎資料代入自前 =:測定資料所獲得之「自將前述電子構件安裝於前述 1式夹具狀態下測定前述訊號線璋之結果，算出在安裝於 則述基準夾具狀態下測定前述訊號線璋時應可獲得之前述 =子構件之電氣特性估計值用之公式」，而獲得之··對於 2於前述電子構件之前述第—訊號料之該訊 =於前述電子構件之前述第一非訊號線埠之該非訊號線 皁間之傳送係數行列（Tlthru);對於對應於前述電子構件之 9862〇.doc -18- 1279557 :述第二訊號線埠之該訊號料與對應於前述電子構件之 則迷第二非訊1料之該非訊I料間之傳送係數行列 fthru)’·及自前述第三敎㈣獲得之將前述修正資料取 仵用通過裝置安裝於前述基準夾具狀態下之對應於前述電 子構件之前述第-及第二訊I料之該訊號線埠間之傳送 係數行列（Dthru);而顯示如下公式 (CA)= (Tlthr,)-1 . (Dthru) · · · . (a) 之傳送係數行列或轉換該傳送係數行狀散佈係數行列。 亦即，為具有「浮動型」之非訊號線埠之電子構件時， 任意之前述電子構件假設具有將在安裝於前述測試夹具狀 態:測定之電氣特性變更成在安裝於前述基準夾具狀態下 測定之電氣特性之特性之相對修正適配時，關於前述訊號 線蜂’係從第一測定資料求出相對修正適配。並將該相對 修=適配與在將自第二測定獲得之修正資料取得用通過裝 置安ι於測試夾具狀態下測定所獲得之散佈行列合成。亦 ρ、$對於對應於别述電子構件之第一訊號線璋之該訊 電子構件之第一非訊號線谭之該非訊號線 nab列’進行上述合成之傳送係數行列（Τ1“）； 及對於對應於前述雷+错彳生 电于構件之弟二訊號線埠之該訊號線埠 與對應於前述電子構件之第二非訊號線淳之該非訊號線埠 = 彳了上述合成之傳送係數行列（TU。自 將第二測定資料之修正資料取得用通過裝置安裝於基準夾 了時之測疋|，決定將修正資料取得用通過裝置安裝於基 準夾具狀您下之對應於前述電子構件之第一及第二訊號線 98620.doc -19- 1279557 埠之該訊號線埠間之傳送係數行列（Dthru)。於對應於前述 電子構件之第一及第二非訊號線埠之該非訊號線埠間之相 對修正適配為（CA)時，以下公式（b)成立。 (Dthru) = (Tlthru) · (CA) · (T2thru) · · · (b) 在該公式（b)之兩邊，自左右附加反行列（Tlthru)-1， (T2thru) 1時，可導出上述公式⑷。 藉由使用藉由上述公式（a)導出之非訊號線埠之相對修正

適配’可精確估計安裝於不測定非訊號線埠之基準夾具時 之電氣特性。 前述電氣特性估計機構，就任意之前述電子構件，假設 具有將在安裝於前述測試夾具狀態下測定之電氣特性變更 成在安裝於前述基準夾具狀態下測定之電氣特性之特性之 相對修正適配時，於前述非訊號線埠中，宜使用前述公式 决疋機構決定之對前述非訊號線埠之前述公式來估計前述 相對修正適配。 〜）述第一及第二測疋資料用之前述修正資料取得用 通過裝i，該訊號線埠與該非訊號線埠間之傳達係數宜 為-10dB以上。 日，由於在訊號線埠與非訊號料之間，輸出訊號 别入=約小！位數，因此可精確進行測^誤差之修正。 '!述第—及第二測定資料用之前正 通過裝置，該訊號線埠與該非取付 為-20㈣4訊輕相之傳達係數 此時，如 述基準夹具之非訊號料巾全反射訊號時 98620.doc .20· 1279557 由於測定之訊號比自前述訊號線埠輸入之訊號約小1位 數’因此可精確求出前述非訊號線埠之相對修正適配。 此外，為了解決上述問題，本發明提供如下構造之電子 構件特性測定裝置。 該電子構件特性測定裝置，係就具有：連接於高頻訊號 之施加或檢測相關之訊號線之訊號線埠，及該訊號線埠以

外之非訊號線埠之電子構件，在將前述電子構件安裝於測 試夾具之狀態下，測定前述訊號線埠及前述非訊號線埠， 自其測結果算出將該電子構件安裝於僅可測定前述訊號 線埠之基準夾具狀態下測定前述訊號線埠時應可獲得之前 述電子構件之電氣特性估計值者。前述電子構件特性測定 裝置具備：測定機構、公式記憶機構及電氣特性估計機 構。前述測定機構係在將前述電子構件安裝於前述測試夹

具狀態下’測定前述訊號線埠及前述非訊號線^前述公 式記憶機構儲存自將前述電子構件安裝於前述測試夫具狀 態下測定前述訊號線埠及前述非訊號線埠之結果，算出'在 將該電子構件安裝於前述基準夾具狀態下敎前述訊號線 埠時應可獲得之前述電子構件之電氣特性估計值用之公 式。該公式係依據以下測定資料來決定：第一測定資料， 其係在將至少三種修正資料取得用試料安裝於前^試爽 具之狀態與安裝於前述基準夾具之狀態下，就前述修正資 ’測定電氣特 性，·第二測定資料，其係在將電性連接訊號線埠之至少一 個與非訊麟埠之至少-個之修正㈣取得料過裳置安 料取得用試料之各個訊號線埠之至少一個 98620.doc -21 - 1279557 裝於前述測試夾具狀態下測定該訊號線埠及該非訊號線 埠；及第三測定資料，其係在將前述修正資料取得用通過 裝置安裝於前述基準夾具狀態下測定該訊號線埠。前述電 氣特性估計機構就任意之前述電子構件，自前述測定機構 測出之測定值，使用儲存於前述公式記憶機構中之前述公 式，异出在將該電子構件安裝於前述基準夾具狀態下測定 前述訊號線埠時應可獲得之前述電子構件之電氣特性估計 值。 藉由第一測定資料，就訊號線埠，可進行基準夾具與測 試夾具間之相對測定誤差之修正。從該訊號線埠之修正結 果與第二及第三測定資料，非訊號線埠亦可修正基準夾具 與測試夹具間之相對測定誤差。上述構造於公式記憶機構 中預先儲存除訊號線埠之外，非訊號線埠亦修正測定誤 差’來异出電子構件之電氣特性估計值用之公式，藉由使 用其公式，任意之電子構件可從在安裝於測試夾具之狀態 下測定訊號線埠及非訊號線埠之結果，精確估計安裝於基 準夾具時之電氣特性。 上述構造中，算出電子構件之電氣特性估計值用之公 式’係以電子構件特性測定裝置或其他測定裝置，使用測 δ式夹具及基準夾具進行測定來預先決定。 抓用上述構造，就測試夾具預先決定公式時，藉由將其 公式f堵存於電子構件特性測定裝置之公式記憶機構中，可 以任意之電子構件測定裝置使用其測試夾具。因此可自由 組合測試夹具與電子構件測定裝置來使用。 98620.doc -22- 1279557 ，資料取得料過裝置安裝於前述基準夾具狀態下之該訊 號線埠之測定值S UD，顯示如以下公式 (數3) 館存於㈣公式記憶機财之料前述非訊號料之前 心式’宜使用將前述第二敎f料代人自前述第一測定 貝科獲得之「自將前述電子構件安裝㈣述測試夾具狀態 下:定前述訊號線埠之結果，算出在安裝料述基準爽具 狀態下測定前述訊號線埠時應可獲得之前述電子構件之電 氣特性估計值用之公式」，而獲得之散佈㈣si(各要素分 別為SUI，S12I，S21I，S22I);及將前述第三資料之前述修

02Γ = —_^-^11/

1Z) *^22/ '^11/ *522/ +S2U ^Sl2I 亦即為具有「分流型」之非訊號線埠之電子構件時， 2意之前述電子構件假設具有將在安裝於前述測試夾具狀 怨下測定之電氣特性變更成在安裝於前述基準夾具狀態下 測定之電氣特性之特性之㈣修正適配時，騎前述訊號 、本車係攸苐一測定資料求出相對修正適配。將該相對修 正適配與在將第二測定資料獲得之修正資料取得用通過裝 置安裝於測試夾具狀態下測定所獲得之散佈行列合成時， 決定從將修正資料取得用通過裝置安裝於測試夾具狀態下 之測定值，估計僅將前述訊號線埠安裝於前述基準夾具時 之電氣特性之散佈行列81。第三測定資料之將修正資料取 得用通過裝置安裝於基準夾具時之測定值，與前述&對該 98620.doc -23- 1279557 非訊號線蜂側之端+斟 人^ 修正適配之估計 很钉應如此可導出上述公式。 藉由使用藉由上述公式導出之非訊號線蟑之相對修正適 配，可精確估計安裝於不測定非訊號線痒之基準夹且時; 電氣特性。 干犬/、時之 前述電子構件宜具有：至少兩個之第一及第二， :阜，與至少兩個之第-及第二前述非訊號線埠:二:： 定前述非訊號線埠之間連接元件。前述第； ΠΓ:於前t電子構件之前述第-及第二訊號料 性二敎各個關料測定電氣特 —測疋貝料時使用前述之修正資料 取:用通過裝置電性連接對應於前述電子構件之第一 =號線蜂之前述修正資料取得用通過裝置之訊號線璋鱼對 述電子構件之前述第—非訊號線埠之前述修 之，埠之間，且電性連接對應於r: 拿 “述弟—訊錢4之前述修正資料取得 Γ線t訊號線璋與對應於前述電子構件之前述第二非訊 =線述修正資料取得用通過裝置之非訊號線痒之 存於前述公式記憶機構之算出受到前述電子構件之 ΐ門之雷^二非訊號線淳影響之前述第一及第二訊號線 資料代入=性估計值用之前述公式，係將前述第二測定 /代入自别述第一測定資料所獲得之「自將前述電子構 裝於前述測試夾具狀態下測定前述訊號線璋之結果， 异出在安裝於前述基準夾具狀態下測定前述訊號線蟑時應 98620.doc -24- 1279557 可，得之前述電子構件之電氣特性估計值用之公式」，而 獲得之：對於制於料電？構件之前述[訊I線璋之 該訊號料與對應於前述電子構件之前述第-非訊號線崞 之該非訊號料間之傳㈣數行列（Tlthfu);對於對應於前 述電子構件之w述帛二訊號線璋之該訊號線蜂與對應於前 w電子構件之^述第三非訊號線琿之該非訊號線埠間之傳 送係數仃列（T2thni);及自前述第三測定資料獲得之將前述 修正資料取得料過裝置絲於料基準夾具狀態下之對 應於前述電子構件之前述卜及第二訊號線埠之該訊號線 埠間之傳送係數行列(Dthru);而顯示如下公式

(CA)= (Tlthru)-i . (Dthru) . (T2thru)-i . . . (a) 之傳送係數行列或轉換該傳送係數行列之散佈係數行列。 '、P為具有浮動型」之非訊號線埠之電子構件時， t意之前述電子構件假設具有將在絲於前述測試夾具狀 :収，電*1特性變更成在安裝於前述基準夾具狀態下 二疋之電K特&之特性之相對修正適配時，關於前述訊號 ^琿，係從第-測定資料求出相對修正適配。並將該㈣ I配”在將自第二測定獲得之修正資料取得用通過裝 『：㈣則試夹具狀態下測定所獲得之散佈行列合成。亦 :二.對於對應於前述電子構件之第—訊號線埠之該郭 =璋與對應於電子構件之第—非訊號料之該非訊號韓 埠間之散佈行列，淮 進仃上述5成之傳送係數行列（Tlthru); 述電子構件之第二訊號料之該訊號線辞 ”對歧前述電子構件H訊號料之該非訊號線辞 98620.doc -25- 1279557 間之散佈行列’進行上述合成之傳送係數行列（T2thru)。自 將第三測定資料之修正資料取得用通過裝置安裝於基準夾 具時之測定值’決定將修正資料取得用通過裝置安裝於基 準夾具狀態下之對應於前述電子構件之第一及第二訊號線 埠之該訊號線埠間之傳送係數行列（Dthru)。於對應於前述 電子構件之第一及第二非訊號線埠之該非訊號線埠間之相 對修正適配為（CA)時，以下公式（b)成立。

(Dthru) = (Tlthru) · (CA) · (T2thru) · · · (b) 在該公式（b)之兩邊，自左右附加反行列（TUn)-1， (T2thru)時’可導出上述公式（a)。 藉由使用藉由上述公式⑷導出之非訊號線埠之相對修正 適配，可精確估計安裝於不敎非訊號料之基準爽具時 之電氣特性。 前述電氣特性估計機構，就任意之前述電子構件，假設 具有將藉由前述測錢構所測定之電氣特性變更成在安裝 於前述基準夾具狀態下測定之雷痛 电乳特性之特性之相對修正 適配時，於前述非訊號線埠中， 且使用儲存於前述公式記 憶機構之對前述非訊號線埠之前 平<則述公式來估計前述相對修 通過裝置，該訊號線璋與該非修正資料料 為-ΗΜΒ以上。 4枝線璋間之傳達係. 此時’由於在訊號料與非訊號線埠之間，

輸入訊號約小1位數，因此可精 "J 槓確進行測定誤差之修正 98620.doc -26 - 1279557 取传刖述弟·一及弟二測定資料用之前述修正資料取得用 通過裝置，該訊號線埠與該非訊號線埠間之傳達係數宜 為-20dB以上。 此時’如前述基準夾具之非訊號線埠中全反射訊號時， 由於測定之訊號比自前述訊號線埠輸入之訊號約小1位 數’因此可精確求出前述非訊號線埠之相對修正適配。 採用本發明之測定誤差之修正方法及電子構件特性測定 裝置時’可高精確度對應除訊號線埠之外，還具有非訊號 線埠，其電氣特性藉由連接於非訊號線埠之夾具之特性而 變化之電子構件。 藉此，如具有訊號線埠及非訊號線埠之電子構件，可自 使用製造步驟中之測試夾具之測定結果，在與使用基準夾 具之使用者保證狀態相等之條件下估計裝置特性，可獲得 更南精確度之電氣特性之使用者保證。此外，由於是否良 好之判定精確度提高，因此製造步驟之良率亦提高。再 者，由於不而要調整基準夾具及測試夾具，因此即使在電 子構件之頻帶寬度寬情況下，仍可無問題地適用。 【實施方式】 以下，參照圖2a〜圖28來說明本發明之實施形態。 (第一種實施形態） 參照圖2a〜圖13、圖3〇〜圖34來說明具有「分流型」之非 訊號線埠之電子構件。 首先，說明測定誤差之修正方法。 如圖2a及圖21)所示，雷4致al 1 Λ . ^不冤子構件,1〇可使用不同之夾具2〇， 98620.doc -27- 1279557 30來測定。一方之夾具20(以下稱「基準失具2〇」如係 於對使用者保證電氣特性。另一方失具3〇(以下稱Γ、、用 剛試 夾具30」）如係用於電子構件之製造步驟中良品篩選用之 測定。 預先導出修正夾具2 0 ’ 3 0間之相對測定誤差之公气 詳細内容如後述。而後就任意之電子構件，安裝於測試= 具30來進行測定’並使用導出之公式，估計將其電件 安裝於基準夾具20來測定時應可獲得之電氣特性。

圖2a及圖2b顯示電子構件1()具有：3個訊號線埠⑴個非 訊號線埠時之例。 如圖2a所示，基準夾具20中設有：安裝電子構件1〇之安 裝部’及同軸連接器2Ga’ 2Gb’ 2Ge。安裝部中設有壓接 於電子構件U)之端子之連接端子’電性連接連接端子與同 轴連接器20a，20b，20c，不過圖上並未顯示。電子構件 1〇之3個訊號線埠分別經由同軸連接器2〇a，2补，2〇〇及3 條同轴電.5 ’而連接於敎裝置26。亦即，將電子構件 1〇安裝於基準夾具2G上時，係使用測定裝置26僅測定訊號 線埠。 —如圖2b所示，電子構件1〇安裝於另一方之夾具3〇，亦即 安裝於測試夾具30時’係使用測定裝置36進行訊號線埠及 非=號線埠之敎。測試夾具3G中設有：安裝電子構件1〇 之女裝邛，及同軸連接器3〇a，3〇b，3〇c，3〇d。安裝部上 if有壓接於電子構件1〇之端子之連接端子，電性連接連接 端子”同軸連接器3〇a，3〇b，30c，30d，不過圖上並未顯 98620.doc -28- 1279557 示。電子構件10之3個訊號線埠及1個非訊號線埠分別經由 同轴連接器30a，30b，30c，30d及4條同軸電纜35而連接 於測定裝置36。 同轴電纜25及測定裝置26預先在同軸電纜25之末端（與 同軸連接器20a，20b，20c連接之部分）連接具有已知電氣 特性之仏準器進行校正。同樣地’同轴電纜^ 5及測定裝置 36在同軸電纜35之末端（與同軸連接器30a，3〇b，3〇c， 30d連接之部分）連接標準器進行校正。 測定裝置26，36中如使用網路分析器。網路分析器除測 定具有數個埠，使用高頻之電子構件之電氣特性外，亦具 備藉由任思设定之程式運算測定之原始資料而輸出之功 能。 其次’說明從將電子構件安裝於測試夾具時之測定結 果估片女裝於基準炎具時之電氣特性之方法之基本原 理。 以下，為了簡便，係以具有1個訊號線埠與丨個非訊號線 埠之雙埠試料（DUT)之兩端子對電路為例作說明，不過， 即使對於圖2a及圖2b顯示之4端子對電路等n端子對電路（n 為3以上之整數）亦可擴張。 如圖3 a所示，安裝具有1個訊號線埠與1個非訊號線埠之 電子構件11之基準夾具7〇中，僅設有訊號線埠之同軸連接 器a僅電子構件11之訊號線埠經由同軸連接器7〇&及同 軸電纜75而連接於測定裝置76，僅測定訊號線埠。 如圖3b所示，安裝具有1個訊號線埠與1個非訊號線埠之 98620.doc -29- 1279557 電子構件11之測試夾具80中設有：訊號線埠之同轴連接器 8〇a與非訊號線埠之同軸連接器80b。電子構件11之訊號線 埠及非訊號線埠經由同軸連接器80a，80b及同轴電纜85而 連接於測定裝置86，來測定訊號線埠及非訊號線埠。

圖5(a)顯示在基準夾具70中安裝具有1個訊號線埠與1個 非訊號線埠之電子構件11 (以下，亦稱「試料11」）時之兩 端子對電路。以散佈行列（ED1)表示連接於試料11之訊號線 埠之基準夾具70之一方埠側21(端子對〇〇,侧）之誤差特性， 以散佈行列（SDUT)表示試料η之特性。端子對〇〇,相當於基 準夾具70之同軸連接器。自訊號線埠側之端子〇，獲得安裝 試料11於基準夾具70時之測定值SuD。由於將試料η安裝 於基準夾具70時，僅進行訊號線埠之測定，因此連接於試 料11之非汛號線埠之基準夾具70之另一方埠侧22之誤差特 性僅成為反射係數r D2。 圖5(b)顯示安裝試料u於測試夾具8〇時之兩端子對電 路。以散佈行列（ET1)表示連接於試料丨丨之訊號線埠之測試 夾具8〇之一方埠側31(端子對H，側）之誤差特性，以散佈行 列（Sdut)表示試料11之特性。自訊I㈣側之端子i，獲得 安裝試料η於測試夾具8叫之敎值、。由於將試料^ 安裝於測試夾具8〇時，亦進行非訊號線埠之測定，因此以 散佈行列（ΕΤ2)表示連接於試之非訊號線埠之测試爽具 80之另彳埠側32之誤差特性。自非訊號線璋侧之端子2 獲得安裝試料11於測試炎具8〇時之測定值S21T。端子對 11’ ’ 22’分別相當於在同軸電㈣之末端進行測定裝置％ 98620.doc •30- 1279557 之校正之同軸連接器連接部。 圖6(a)顯示在圖5(b)之電路兩側，如符號33，34所示 地，連接中和測試夾具80之誤差特性（Ετι)，（En)之附加值 (τι) (Ετ2)之狀態。该附加值（Ey1，（Ey1理論上係 藉由將誤差特性之散佈行列（Ετι)，（Ευ)轉換成傳送行列， 求出其反行列，再度轉換成散佈行列而獲得。以下將誤差 特性（ΕΤ1)，（Ετ2)與附加值（Ετι)-ι，（ET2：rl間之邊界部分 38，39稱為「校正面38，39」）。於校正面％，39中獲得 安裝試料11於测試夾具80時之測定值SnT，。該電路 由於除去測試夾具80之誤差，因此自電路之兩側端子獲得 試料11之測定值SllDUT, s2idut。 又 由於圖6(a)之電路僅與試料丨丨等價，因此與圖5(幻同樣 地，在兩側連接基準夾具7〇之訊號線埠側21之誤差特性之 政佈饤列（ed1)，與基準夾具70之非訊號線埠側22之誤差特 性之反射係數Γ 〇2時，成為圖6(b)。 圖6(b)中，由於端子〇,之值SnD為已知，因此可求出電路 全體之散佈行列。考慮端子對00,與校正面38間之部分41之 兩端子對電路時’由於兩側之端子之值S11D，S11T為已 知，因此可求出合成（Edi)與（EtiV1之散佈行列。考慮校正 面38 ’ 39間部分之兩端子對電路時，由於可自校正面直接 測定兩側端子之值SllT，S2it，^，因此可求出其 散佈灯列。藉由合成端子對〇〇，與校正面38間之部分41之散 佈行列，與校正面38, 39間之部分之散佈行列，可求出自 鈿子對00至杈正面39之散佈行列。剩餘部分，亦即比較正 98620.doc -31· 1279557 更右側之部分42，合成（En)·1與Γ μ之散佈行列可自 圖6(b)所示之電路全體之散佈行列與端子對〇〇，及校正面π 間之合成之散佈行列求出。 亦即，就端子對〇〇,與校正面38間之部分41，將合成之 散佈^列設為（C1)，比校正面39更右側之部分42，將合成 (^ Γ D2之反射係數設為C2 Γ時，成為圖7所示。 :(1)係所明「相對修正適配」，各埠可獨立求出。 ()之各要素分別為〜，cl〇i，cli〇 反定律而忐盔^ "丁 精田相 為對象之埠準：~ “°。因此，相對修正適配(C1)就成 用气料、 氣特性不同之至少3個修正資料取得 用忒枓，分別藉由在 貝了卞唞付 態下測定即可決定。、“ 具7G與測試夾具80之狀 -亦即，散佈係數（C1(H)，，ci 資料取得用試料， 10 u)，就3個修正 基準夾具70時之s之、厂；測試夾具8〇時之Siit，安裝於 3m f 110之測定值分別為s11Ti，s Γ , 0 )時，可精由以下之公式⑴求出。 ㈣，2, (數4) 98620.doc •32- 1279557 .(SI1D2*SUT3*S11D1*S11T3,S11D3*S11T2.+'S:D1*S15+S153*stmlSn^ 01r oloou +w=o~*w=s*WZH^Wnd+wro^^rs*wrH%w-5iOT-5-*wrow*w-3*w=dw /(SUD3*slld*sllTrsllD2*SHT2*SUTrsHD3*SHTl*SHT3 +sl5*slm*sllT3+SHD2*slm*sllT2.sil*slm*SUT2) clolcllo»M^w^a^w=slw-50*^row.w-50^^ro^»wro^*^w=rf»wrHO*^rd*wrHO#^wrdl^=dww +s=D#slm*sllT3+SHD2*slm*SUT2-si*SUT*SIIT2) (1) 98620.doc -33- 1279557 非訊號線埠之相對修正適配C2 Γ，可從如此求出之散佈 係數（Cloo ’ C1G1 ’ C11G，Cln)及連接訊號線埠與非訊號線 埠之通過裝置之測定值求出。 亦即’藉由在將通過裝置安裝於基準夾具70狀態下測 定，來求出測定值Si 1D。此外，藉由在將通過裝置安裝於 測試夾具80狀態下測定，來求出安裝於測試夾具8〇狀態之 散佈係數（s11T，s12T，s21T, S22T)。而後，就圖7中比校正 面39更左側之部分，如圖8所示，求出合成散佈係數 (C1q〇 ’ Clw，Cl10，Cl")與散佈係數（Sut，Si2T，S2iT， S22T)之散佈係數（SUI，S12I，S21I，S22I)。 C2 Γ使用測定值S11D及散佈係數（Siu，Si2i，， S^)，藉由以下公式（2)求出。 (數5) C2T =-—Snp~-Sni 以上所決定之訊號線埠之修正附加值（ciM，, Cl 1Q，Cl π)與非訊號線埠之相對修正適配C2r為了估計任 意之電子構件之電氣特性，而用於後述之公式（3)。 具有1個訊號線埠與1個非訊號線埠之2埠之試料丨丨，在 安裝於測試夾具80狀態下進行測定，求出安裝電子構件於 測試夾具80狀態下之散佈係數（SuT，Sm，“，Μ， 使用以下之公式(3)，可算出在安裝於基準夾具观態下測 定時可獲得之測定值s11D。 (數6) 98620.doc -34- 1279557 +£ll〇,*.g〇l.!.^nr -Cl10 *C101 *C2T*SUT ^S22T +Clin *C2r*Cl01 *52ϊγ *512Γ …⑶

1-C1U*SnT-Cir*S22T +C\u*C2T*S2xt *Sl2T +Cln*C2r*5nr *S22T 具有任意之M埠之非訊號線埠之N埠之電子構件 (M<N) ’亦在將前述電子構件安裝於測試夾具狀態下進行 測定來求出散佈係數，並藉由合成分別對應於各訊號線埠 及各非訊號線埠之相對修正適配，可算出將前述電子構件 女裝於基準爽具狀態下測定時可獲得之測定值。

使用測試夾具30，80之測定裝置36，86構成就非訊號線 埠，可進行上述之測定誤差修正。使用基準夾具2〇，7〇之 測定裝置26，76，由於不進行非訊號線埠之測定，因此不 需要特別與測定裝置36，86相同之構造。當然，即使為與 測定裝置36，86相同之構造者，仍可使用。 其次，參照圖4之區塊圖來說明可測定非訊號線埠之測 定裝置36，86之構造。 測疋裝置36，86具備：顯示部52、操作部M、測定部 56、控制部58、記憶部6〇、運算部以及介面部以。 顯示部52包含顯示面板等，並顯示測定裝置刊，“之動 作狀況及操作指示等。操作部54包含按钮及開關等，受理 操作人員對電子構件測定裝置36’ 86之操作。測定部“經 由同軸電⑽5’ 85及測試夾具3G’ 8Q而連接於電子構件 10，11之端子。測定部56適切選擇電子構件10, U之端 子，輸入訊號而測定輸出訊號。控制部58整合測定 36’ 86全體之控制。記憶部6()中儲存：使控制㈣及運算 部62動作用之程式，來自別宁 术目，則又部56之測定資料及運算部62 之運算結果資㈣。運算㈣制來自敎部批資料及 98620.doc • 35 - 1279557 儲存於記憶部6G中之資料，按照特定之程式進行運算。介 面部64係與外部機器收發資料用之介面，並受理儲存於記 憶部60中之資料及程式，以及來自運算部62之運算結果資 料等，進行輸入輸出。 、 測定裝置36, 86按照儲存於記憶部6()中之程式動作。電 子構件測定裝置36，86可以包含校正模式與測定模式之數 種動作模式來動作。 校正模式取得修正基準夾具20, 70與測試夾具30, 8〇間 之相對敎誤差用之資料，蚊估計電氣特性用之公式。 亦即，測定部56在基準夾具20，7〇及測試夾具3〇，8〇上安 裝有資料取得用試料及通過裝置（標準試料）狀態下依序進 行測定。此時，如在顯示部52上顯示測定對象。操作人員 於顯示之測定對象之準備完成時’操作操作部M。操作部 54受理該操作時，測定部56開始測定，測定資料儲存於記 憶部60中。運算部62於適切時間讀取儲存於記憶部6〇中之 測定資料，運算前述修正附加值（C1。。，c1qi，Cli0， 及C2r等’決定估計電氣特㈣之公式。如此決定之公式 儲存於記憶部60中。 測定模式自使用測試夾具30，80之測定資料估計使用基 準夾具20，70測定時之電氣特性。亦即，測定部％係在測 試夾具30，80上安裝有任意之電子構件1〇，u狀態下進行 測定。運算部62自來自測定部56之測定資料算出電子構件 1〇，11之電氣特性估計值。此時，運算部62自記憶部6〇讀 取由校正模式所決定之公式，並使用其公式算出電子構件 98620.doc -36- 1279557 w ’ 11之電氣特性估計值。算出之估計值顯示於顯示部52 上’並自介面部64輸出於外部機器。 另外，記憶部60中預先儲存有估計另行決定之電氣特性 用之公式，運算部62使用其公式時，即使省略校正模式， 仍可估什女裝於測試夾具3 〇，80之任意電子構件丨〇，丨丨之 電氣特性。此時，由於可隨意改變測試夾具3〇，8〇與電子 構件特性測定裝置之組合，因此可彈性地進行測定作業。 其次，說明利用RF測定之斷線檢測方法。 如利用陶瓷之多層之LC晶片帶通濾波器，作為主動元 件之平衡輸出（2埠）之斷線檢查用，内藏有非訊號線埠（DC 電源埠）之電子構件始終為主流。斷線檢查方法如圖31所 示，在DUT300之DC埠上連接直流（Dc)電源3〇4，在平衡 輸出埠（埠2，3)之後分別連接偏壓τ電路31〇，以電感 312，3 16與電容器314，318分離DC與RF訊號，藉由檢測 偏壓T電路310之DC輸出，進行平衡輸出埠之斷線檢查。 此外，為了避免連接於DC埠之DC電源304之影響，在DC 埠中，於DUT300附近連接約i〇〇pF之旁路電容器3〇2。 現在’對使用者以無DC琿之夾具（基準夾具）保證，實際 之步驟則係以使用DC埠之測試夾具進行測定。為了自測 试夾具測定值估計基準夾具測定值，考慮對Dc埠進行rf 測定’應用揭示於非專利文獻1等之相對修正法。此時， 直接使用先前技術時，於對DC埠進行RF測定，修正測試 夾具後，因連接電源，而在修正特性上產生散佈誤差，藉 由DC蜂線之電谷’ DC蜂之RF測定本身困難，而無法修正 98620.doc -37- 1279557 基準夾具與測試夾具。DC埠線之旁路電容器電容之影 響，係因來自DC埠之RF訊號未到達DUT，而被旁路電容 器全反射，導致RF測定困難。DC埠線之旁路電容器與 Load標準試料之特性（S^)如圖32所示。旁路電容器電容 4pF ’其Load電阻試料之RF特性顯示與short標準試料相同 特性，相對修正上需要之標準試料之測定困難。此外，為 了斷線檢查，亦需要DC電源及偏壓T電路，除系統外，特 性保證用之管理方法亦複雜。 馨因此，係使用網路分析器進行RF測定來檢查斷線。包含 非訊號線埠（DC埠）之測試夾具中，安裝RF連接器於dc 埠，於網路分析器中成為可進行RF測定之狀態。在將裝置 安裝於測試夾具狀態下，自DC埠輸出低頻（1點）之訊 號’測定向平衡輸出埠之傳送特性，以傳送特性位準之大 小判斷輸出埠間之斷線、非斷線。但是，為了在高頻區域 進行相對修正，可連接於DC埠之旁路電容器電容須為2pF 以下。 _ 為了進行基準夾具與測試夾具間之修正，測試夾具係進 行非訊號線埠之RF測定，不過，可在修正測試夾具後之狀 態下進行DUT之輸出斷線檢查。亦即，在與不具非訊號線 埠之使用者保證狀態相等條件下可測定之測試夾具（包含 非訊號線埠）中，在與測試夾具之修正環境相同狀態下， 不連接DC電源而可進行輸出埠之斷線檢查。測試夾具中 不需要斷線檢查用之電源及偏壓τ之連接，在保持測試夾 具之修正環境下可進行斷線檢查。因而可對使用者保證更 98620.doc -38- 1279557 高精確度之電氣特性。 斷線檢查用之RF訊號形成網路分析器之最低頻率（如 300KHz)時，對於裝置之保證頻帶成為充分低之頻率，因 此可進行接近DC之測定，由於只須丨點測定即可，因此斷 線檢查時間亦在短時間完成，不影響縮短生產時程。 由於僅以網路分析器即可兼顧訊號線埠之測定與輸出斷 線檢查，且不需要DC電源及偏壓τ電路，因此形成簡單之 測定系統，經濟性效益亦大。 此外’由於不需要DC埠中不可或缺之旁路電容器電 容，因此亦可適切進行基準夾具與測試夾具間之修正。 將該斷線檢測方法予以一般化說明如下。 一種電子構件之斷線檢測方法，其特徵為··係在可自電 子構件之測試夾具測定值估計基準夾具安裝時之電氣特性 狀態下，進行電子構件内部之斷線檢測之方法，且具備： 第一步驟，其係自測試夾具之DC埠輸入低頻iRF訊號 至電子構件； 第二步驟’其係測定DC埠與輸出埠間之傳送特性；及 第三步驟，其係藉由比較前述第二步驟所獲得之傳送特 性與預先設定之臨限值，來進行輸出埠之斷線檢測。 上述方法不連接DC電源及偏壓T電路，藉由僅以網路分 析器進行輸出埠之斷線檢測，在維持與測試夾具之修正環 境相同狀態下，可進行高精確度之電氣特性保證。此外， 由於係簡單之測定系統，且測定時間亦縮短，因此經濟性 之效益亦高。 98620.doc -39- 1279557 &上述電子構件之斷線檢測，為了避免在測試夾具安裝狀 恶下之電氣特性測定形成浪費’宜在電子構件之測試夹具 安裝狀態下測定電氣特性之前進行。 、 其次說明本發明之實施例。 電子構件10中使用圖9所示之不平衡輸入-平衡輸出2.4 GHz帶LC濾波器。該裝置具備：訊號線埠之埠卜3及非訊 號線埠之DC埠。埠丨係不平衡輸入埠，埠2及3係平衡輸出 埠。DC埠係為了在製造時之特性選擇步驟中，以萬用表 進行直流性檢查，而連接於萬用表用之埠。由於Dc埠不 作為製品來使用，因此使用者使用時成為開路狀態。

如圖2b所示，測試夾具3〇除連接埠與測定裝置36之 同軸連接器30a，30b，30c之外，還具有連接萬用表kDC 埠用之同軸連接器30d。亦即，測定訊號線埠（埠與非 訊號線埠（DC埠）。 另外，成為使用者保證狀態之基準夾具20中，DC埠成 為開路狀態，如圖2a所示，僅測定訊號線埠（埠丨〜3)，而不 測定非訊號線埠（DC埠）。藉由此種夾具20，30間之非訊號 線埠之差異，在測試夾具30與基準夾具20上，裝置測定值 變化。 具體之實驗條件如下。 • DUT 不平衡輸入-平衡輸出2.4 GHz帶LC濾波器 •測定器 ADVANTEST R3767CG(8 GHz 4埠網路分 析器） •頻率範圍 500 MHz〜3.5 GHz 98620.doc -40- 1279557 •資料點數 801點 • IF頻帶寬 1kHz •基準夾具 省略DC埠之3埠爽具 •測試夾具安裝SMA連接器於DC埠，在埠丨（不平衡輸 入）及淳2(平衡輸出）上安裝3dBi衰減器，在埠3(平衡輸 出）上安裝延遲之4埠夾具 •標準試料作為對非訊號線埠之標準試料，而準備“固 通過埠1及埠4間之標準試料。真實值不明。

•評估内容 sDS21，sSS22，sDD22，sCS21，s2l/S3i，相位 差（Phase Differential) •圖9顯示DUT之簡易之電路圖。 圖10〜13中顯示使用本發明自測試夾具測定值估計基準 夾具測定值之結果。圖中，使用本發明之方法導出非訊號 使用先前之 線埠之相對修正適配時作為「非RF埠修正 方法不導出非訊5虎線埠之相對修正適配時作為r忽略非RF 埠」來顯示資料。 圖ίο及圖π中，由於使用平衡度佳之試料，因此Sds2i， Sssn ’ SDD22未能發現非訊號線埠之修正附加值之效果。 從圖11及圖12之對平衡度之差異影響大之參數Scs2i、 S2"S31、相位差中可確認其效果。

Scsm及Sn/Sn，在未取得DUT之平衡之低頻側，可確認 其效果，此外，相位差在通過區域中亦可確認其效果。 此外，本發明之實施例之說明中使用之DUT進行埠2，3 與DC埠（埠4)間之斷線檢測。因而，在可自測試夾具測定 98620.doc -41 - 1279557 值估計基準夾具測定值之測試夾具基板狀態下，將非訊號 線埠（DC埠）連接於網路分析器之埠4。此時，安裝於 線之旁路電容器電容須為2pF以下。圖33顯示测=電路。 自DC埠（埠4)輸出300kHz之頻率，來測定對平衡輸出部（埠 2，3)之傳送特性（S24，S34)位準。 圖34顯示測定輸出埠2，3斷線時（不良）與非斷線時（良 品）之S24, S34之傳送特性位準之結果。從該結果顯示斷^ 及非斷線時之位準上具有有效性，藉由設定適切之臨限 值，可確涊藉由網路分析器可檢測輸出埠之斷線。 藉由在非訊號線埠（DC埠）上不連接旁路電容器及電源而 作為訊號線埠來處理，在維持測試夾具之修正環境下，可 檢查輸出埠之斷線。由於測試RF訊號3〇〇kHz遠比裝置之 頻率頻帶2.4 GHz低，因此可大致作為DC來處理。 (第二種實施形態） 參肢圖14〜圖27來說明具有「浮動型」之非訊號線埠之 電子構件。 如圖14所示，電子構件11〇除訊號線埠112，114(輸入輸 出用之埠1、埠2)之外，還具有並聯連接電感器1〇〇之2個 非訊號線埠116，118。電子構件u〇為了改善將電容器lu 結合成7Γ型之共振電路之特性（Q值），而連接電感器1〇〇來 使用。 如圖15所示，電子構件u〇與第一種實施形態同樣地， 在分別安裝於基準夹具12〇及測試夾具13〇狀態下，可使用 測定裝置126，136來測定。 98620.doc -42- 1279557 如圖15(a)所示，基準夾具12〇具備：連接於電子構件110 之訊號線埠112，114之同轴連接器120s，120t ;及連接於 電子構件110之非訊號線埠116，118間之電感器121。同軸 連接器120s，120t上分別連接同軸電纜125，電子構件110 之訊號線埠112，114係以測定裝置126進行測定。 如圖15(b)所示，測試夾具130具備：連接於電子構件 110之訊號線埠112，114之同軸連接器i30s，130t ;及連接 於電子構件110之非訊號線埠116，118之同軸連接器 _ 130m，130η。同軸連接器112，124，126，128上分別連接 同軸電纜135，電子構件110之訊號線埠112，114及非訊號 線埠116，118係以測定裝置136進行測定。 測定裝置126，136之構造與第一種實施形態之測定裝置 26，36相同。連接於測定裝置126，136之同軸電纜125， 13 5之末端與第一種實施形態同樣地，預先使用標準器進 行校正。 其次’說明自將電子構件110安裝於測試夾具13〇之狀態 籲 下測定之結果，估計將其電子構件110安裝於基準夾具12〇 狀態下測定時應可獲得之電氣特性之基本原理。 圖16係如圖15(a)所示將電子構件11〇安裝於基準夾具12〇 時之訊號流圖。端子對11，，22,對應於基準夾具12〇之同軸 連接器120s，120t(測定裝置126之校正在同軸電纜125之末 端進行之同軸連接器連接部）。將基準夾具12〇之同軸連接 器120s，120t與電子構件11〇之2個訊號線埠112，114間之 部分122 ’ 124之電氣特性設為。將連接有電感 98620.doc -43- 1279557 器121之電子構件110之2個非訊號線埠116，118間之部分 之電氣特性設為（L)。 圖17係如圖15(b)所示將電子構件11 〇安裝於測試夾具 130時之訊號流圖。端子對11，，22,，33,，44,對應於測試 夾具130之同軸連接器130a，130b，130c，130d(測定裝置 136之校正在同軸電纜135之末端進行之同軸連接器連接 部）。將測試夾具130之同軸連接器130s，130t與電子構件 110之2個訊號線埠112，114間之部分132，134之電氣特性 設為（ET)，（FT)。將電子構件11〇之2個非訊號線埠116， 118與測試夾具130之同軸連接器130m，130η間之部分 136，138之電氣特性設為（GT)，（Ητ)。 圖18係將通過裝置140安裝於基準夾具120時之訊號流 圖。通過裝置140係具有對應於電子構件11〇之埠112， 114，116，118之埠 142，144，146，148，而分別電性連 接：對應於訊號線埠之埠142，144，與對應於非訊號線埠 之埠146，148之間者。將一方之埠之142，146間之部分 140a之電氣特性設為（Tl)，將另一方之埠144，148間之部 分140b之電氣特性設為（τ2)。 在將通過裝置140安裝於基準夾具120狀態下測定之值， 於圖中之符號為傳送係數行列時，可如以下公式（4)來表 示。 (Dthru)= (Ed) · (T!) . (L) · (T2) · (Fd) ---(4) 圖19係將通過裝置140安裝於測試夾具130時之訊號流 圖。此時為求簡便，就測試夾具130之埠1、埠2之誤差因 98620.doc -44- 1279557 素’藉由使用前述之訊號線埠之相對修正適配，預先修正 成基準夾具120之誤差因素（ED)，（Fd)。亦即，端子對 11’，22’相當於基準夾具120之同軸連接器120s，12〇t。 在將通過裝置140安裝於測試夾具130狀態下測定之值， 於圖中之符號為傳送係數行列時，端子對UL33,間可如以 下公式（5)來表示。 (Tlthru)= (Ed) · (T〇 · (GT) ---(5) 此外，端子對22f-44’間可如以下公式（6)來表示。 (T2thru)= (HT) · (Τ2) · (Fd) ---(6) 如圖20所示，圖19所示之端子對33、44’上分別連接中 和誤差特性（GT)，（Ητ)之附加值（Gt)·1，（Ητ)·1，首先考慮 連接電感器121時。其成為與將圖18所示之通過裝置140安 裝於基準夾具120狀態等價。將基準夾具120之非訊號線埠 間之相對修正適配設定為（CA)時，以下公式（7)，（8)成 立。 (CA)=(GT)·1 · (L) · (Ηχ)"1 ---(7) (Dthru)= (Tlthru) · (CA) · (T2thru) ---(8) 在公式（8)之兩邊，自左右附加反行列（TlthruX1 ’（Tlhru)·1 時，成為 (CA)= (Tlt^)·1 . (Dthru) · (T2thru) -1 · · · (9) 在該公式（9)中代入公式（4)〜(6)時，成為 (CA)={ (ED) · (T〇 · (GT)}-1 · {(ED) · (T!) · (L) · (丁2) · (Fd)} · {(HT) · (T2) · (FW1 KGt)·1 · (TO·1 · (Ed)-1 · (Ed) ·⑺）·（L) · (T2) · (Fd) · 98620.doc -45- 1279557 (FD)-1 · (T2)·1 · (Ητ)-1 HGjY1 · (L) · (Ητ)·1 · · . (10) 而與公式（7)—致。 亦即，就訊號線埠，預先求出圖2 1所示之相對修正適配 (Cl) ’（C2)時，就非訊號線埠，使用預先在將通過裝置 安裝於基準夾具120狀態下測定而求出之（Dthru)，及將通過 裝置140安裝於測試夾具130狀態下測定而求出之（T1^r )， (T2thru)，可求出非訊號線埠之相對修正適配（c A)。 將任意之電子構件110安裝於測試夾具13〇狀態下測定 時，如圖21所示，可獲得測試夾具13〇與相對修正適配 (Cl)，（C2)，（CA)之邊界上之值。決定相對修正適配 (Cl) ’（C2)，（CA)之值後，可算出相當於基準夾具12〇之 同軸連接器120s，l2〇t之端子對11，，22,之值。亦即，從將 任意之電子構件11〇安裝於測試夾具13〇狀態下測定之結 果’可算出將其電子構件11〇安裝於基準夾具12〇時應可獲 得之其電子構件1 1 〇之電氣特性之估計值。 其次，顯示數值分析，作為上述方法之實施例。 圖22(a)係就基準夾具120假設誤差因素之電路圖。將與 試料安裝部120χ間之各元件i2〇a〜120c之值設定如下。

•電容器 120a: 〇. 1 ρρ •電感器 120b: 〇. 1 nH •電感器 120c: 1 ·〇 nH 圖22(b)係就基準夹具π〇假設誤差因素之電路圖。將與 試料安裝部130χ間之各元件notnoc之數值設定如下。 98620.doc -46- 1279557

•電感器 130a: 0.2 nH •電容器 130b: 0.2 pF •電感器 130c: 0.1 nH •電感器 130d: 0.1 nH 圖23(a)係就非訊號線埠算出相對修正適配用之通過裝置 140之電路圖。在埠1，3間與埠2，4間，分別連接有電感 器140a，140b。設定之數值如下。

•電感器 140a: 0.05 nH I ·電感器 140b: 0.075 nH

圖23(b)係測定電氣特性之電子構件11〇之電路圖。並藉 由電容器ll〇a〜ll〇c構成7Γ型共振子。設定之數值如下。 •電容器 ll〇a: 0.3 pF •電容器 110b: 0.3 pF •電容器 110c: 0.2 pF 如以上設定數值之基準夾具12〇及測試夾具130上安裝通 過裝置140及電子構件11 〇來測定時，，將測定頻率設為i〇 • GHz來計算電氣特性。 首先，求出埠1、埠2之相對修正適配時，測試夾具130 上之測定值轉換成在圖24狀態下測定之值。亦即，測試夾 具130之埠l(130s)及埠2(130t)藉由相對修正法之效果，可 獲得替換成基準夾具120之埠1 (120s)及埠2(120t)時之測定 值。 其次，以基準夾具120與測試夾具130兩者測定通過裝置 140。測試夾具130之測定結果中，埠1及埠2進行相對修 98620.doc -47- !279557 正。藉此獲得圖2 5狀態之測定結果。基本原理之說明時係 使用傳送係數行列’不過’此處為了在直覺上容易瞭解， 而以散佈係數行列來表示，基準夾具12〇之埠1-2間之散佈 係數行列為（Sthru)，測試夾具130之埠1-3間之散佈係數行 列為（Slthru)，測試夾具130之埠2_4間之散佈係數行列為 (S2thru)時，各個狀態之測定值如下。 (數7)

(數 8a) Slthru:

0.524 0.168 i 0.529 -0.646 i 0.529 -0.646 Γ| 0.268 0.480 jj 0·013 -0.068 i 0·966 -0·250ί 0·966 4·25〇Τ -0Ό44 -0.053 i (數 8b) S2thru= Γ 0 053 0-223 i 0.947 -0.223 ΤΊ L 0-947 -0.223 ί 0Ό53 0.223 ί mmmmm 從以上之結果使用公式（7)時，「浮動型」之非訊號線

埠間之相對修正適配（CA)，以散佈係數行列（SA)表示時如 下0 (數9) SA = 0162 〇·369 i 0.838 0.369 Γ —〇·838 0.369 i 0.162 0.369 Γ 使用如此求出之相對修正適配，從將電子構件u〇安裝 於測試夾具130時之測定值，估計安裝於基準夾具12〇時之 測定值。圖26(b)顯示將電子構件110安裝於測試夾具13〇來 98620.doc -48- 1279557 測定之狀態。該測定結果中進行埠1及埠2之相對修正時， 獲得以下之散佈係數行列。 (數 10) -0.418 -0.455 I 0.198 0.0441 0.516 -0,520 ί 0-197 0.020 i 0.198 0.044i -0,348 -0.331 ί 0.200 0.0191 0.534 -0.635 i 0,516 -0.520 i 0.200 0.019 i -0.525 -0.329 i 0.196 -0.005 ί 〇·197 0.020 i 0.534 -0.635 ί 0,196 -0.005 i -0,438 -0.206 1 計算連接（數9)之浮動相對修正適配（SΑ)於該散佈係數行 列之狀態之結果如下。

(數 11) -0.072 -0.979 i -0.190 Η}.009Ϊ1 _ -0,190 -0.009 i 0.168 -Ό.967 i …⑴） mmm 該散佈係數行列係將電子構件110安裝於基準夾具12〇來 測定時之測定值之估計值。 其次，如圖26(a)所示，計算將相同之電子構件u〇連接 於基準夾具120來測定時，散佈係數行列如下。 (數 12) -0.072 -0.979 i -0.190 -0.009Γ _ -0.190 -0.009 i 0.168 -0.967 i β··(12) 比較上述散佈係數行列（11)，（12)時，估計值隅測定值 完全一致，可確認浮動型之電子構件亦可適用相對修正 法0 其次，圖27顯示雙工器之試料之電氣特性實測值與藉由 第一種實施形悲之相對修正法之估計值之圖。並顯示：將 98620.doc -49- 1279557 雙工器之試料安裝於測試夾具而測定之值（Pr〇d )，安裝於 基準夾具而測定之值_.)，及使用第二種實施形態之方 法’自安裝於測試夾具而測定之值計算安裝於基準夾具時 之特性值之估計值（C0rrected )。圖27(幻顯示雙工器之反 射特性之參數Sll。圖27(b)顯示透過特性之參數S2i，S3" 從圖27可知反射特性、透過特性及估計值（c〇rrected )均 與實測值㈣d.)大致-致，因此「浮動型」亦可確認相對 修正之效果。 (結語） 如以上說明，具㈣訊I料之裝置在制者保證狀態 下’由於非訊號線埠須估計使用者使用狀態來保證特性， 因此基準夹具中無法進行非訊號線埠之灯敎。因而，非 訊號料亦需要從可進行RF測定之測試夾具之敎值，估 計無法進行非訊號線埠之㈣定之基準失具之測定值之方 法’本發明即係滿足該要求者。 本發明可在與使用者保證狀態相等條件下估計裝置特 性’可對使用者保證更高精確度之電氣特性，亦可獲得良 品提高等之效果。此外，由於係料夾具間之相對誤差來 修：’因此完全不需要夾具之調整，即使在裝置之頻帶寬 度寬時，仍可無問題地適用。 本發明除具有「分流型」之非訊號線璋之模組商品（藉 -有電源線之所有主動元件及外部附屬構件之參數變化 來控制動作區域之裝置)之外，亦可適用於具有「浮動 型」之非訊號線埠之高頻裝置（濾波器、雙工器等卜 98620.doc -50- 1279557 再者，混合「分流型」與「浮動型」之電子構件，亦藉 由組合前述之基本原理而可適用本發明。 如圖28所示，以數個共振子21〇s構成之雙工器21〇具 有：訊號線蟑210a〜210c， 「分流型」之非訊號線埠 210f，210g，及「浮動型」之非訊號線埠21〇d，21〇e， 210h，210i。此種雙工器210亦可適用本發明。此時如圖 28(a)所示，將雙工器210安裝於基準夾具22〇狀態下，非訊 5虎線埠2 10d〜210i上連接基準夾具220之元件222，224， | 226，228，而僅訊號線埠210a〜2i〇c，亦即僅埠丨〜埠3進行 測定。如圖28(b)所示，將雙工器210安裝於測試夾具23〇狀 態下’則係進行埠1〜埠9，亦即進行訊號線埠2 i〇a〜2i〇c& 非訊5虎線璋210 d〜21 〇 i之測定。 另外，本發明並不限定於上述實施形態及實施例，可加 以各種變形來實施。 【圖式簡單說明】 圖1(a) ’（b)係基準夾具與測試夾具之說明圖。 修圖2a係使用基準夾具進行測定時之全體構造圖。 圖2b係使用測試夾具進行測定時之全體構造圖。 圖3a係使用基準夾具進行測定時之全體構造圖。 圖3b係使用測試失具進行測定時之全體構造圖。 圖4係測定裝置之區塊圖。 圖5(a) ’（b)係顯示本發明之誤差修正基本原理之兩端子 對電路圖。 圖6(a) ’（b)係顯示本發明之誤差修正基本原理之兩端子 98620.doc -51 - 1279557 對電路圖。 圖7係顯示本發明之誤差修正基本原理之兩端子對電路 圖。 圖8係顯示本發明之誤差修正基本原理之兩端子對電路 圖。 圖9係具有非訊號線埠之電子構件之電路圖。 圖10係圖9之電子構件之電氣特性圖。 圖11係圖9之電子構件之電氣特性圖。 圖12係圖9之電子構件之電氣特性圖。 圖13係圖9之電子構件之電氣特性圖。 圖14係「浮動型」之電子構件之電路圖。 圖15(a)係使用基準夾具，（b)係使用測試夾具進行測定 時之全體構造圖。 圖16係將電子構件安裝於基準夾具進行測定時之訊號流 圖。 圖17係將電子構件安裝於測試夾具進行測定時之訊號流 圖。 圖1 8係將通過裝置安裝於基準夾具進行測定時之訊號流 圖。 圖19係在訊號線埠相對修正後將通過裝置安裝於測試夾 具進行測定時之訊號流圖。 圖20係假設相對修正適配時之訊號流圖。 圖21係假設相對修正適配時之訊號流圖。 圖22(a)係基準夾具，（b)係測試夾具之電路圖。 98620.doc -52- 1279557 圖23(a)係通過裝置，（b)係被檢測體之電路圖。 圖24係訊號線埠之相對修正後之測試夾具之電路圖。 圖25(a)，（b)係訊號線埠相對修正後之通過裝置測定時 之電路圖。 圖26(a)，（b)係被檢測體測定時之電路圖。 圖27(a)，（b)係電子構件之電氣特性圖。 圖28⑷係安裝雙工器於基準夾具，⑻係安裝雙工器於 測試夾具時之電路圖。

圖29(a)，（b)係用於「分流型 與測試夾具之說明圖。 圖3〇(a)，（b)係用於「流動型 與測試夾具之說明圖。 」之電子構件之基準夾具 」之電子構件之基準夾具

圖31係顯示斷線檢測方法之電路圖。 "係頌不DC旁路電容器電容與RF特性 圖33係斷線測定時之電路圖。 圖34係斷線測定結果之表。 【主要元件符號說明】 之關係圖 10, 11 20 26 30 36 52 電子構件 基準夾具 測定裝置 測試夾具 測疋裝置（電子構件特性測定裝置） 顯示部 操作部 98620.doc -53. 54 1279557

56 58 60 62 64 76 86 100 110 112 114 116 118 120 126 130 136 140 210 220 230 測定部（測定機構） 控制部 記憶部（記憶機構，公式記憶機構） 運算部（公式決定機構、電氣特性估計機構） 介面部 測定裝置 測定裝置（電子構件特性測定裝置） 電感器（元件） 電子構件 埠（第一訊號線埠） 埠（第二訊號線埠） 埠（第一非訊號線埠） 埠（第二非訊號線埠） 基準夾具 測定裝置 測試夾具 測定裝置（電子構件特性測定裝置） 通過裝置 電子構件 基準夾具 測試夾具（電子構件特性測定裝置） 98620.doc -54-

Claims (1)

1. ^ 1279557 襄〇941〇2〇17號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(Μ年^W 十、申請專利範圍： 1. -種測定誤差之修正方法’其特徵係，就具有：連接於 高頻訊號之施加或檢測相關之訊號線之訊號線琿，及該 訊號料料之非訊i料之f子構件，由將前述電子 構件安袭於測5式夾具之狀態下測定前述訊號線埠及前述 非訊號線埠之結果，瞀ψ故# + 7 ^ ^出將該電子構件安裝於僅可測定 前述訊號、料之基準夹錄態下敎前述訊I線珲時， 應'可獲得之前述電子構件之電氣特性之估計值，且且 備： ^ 第-步驟，其係在將至少三種修正資料取得用試料安 裝於^述測試夾具之狀態，與安裝於前述基準夾具狀態 下月ϋ述修正責料取得用試料之各個訊號線蜂之至少一 個測定電氣特性； 係準備電性連接訊號線埠之至少一個與 非訊號線埠之至少一個之修正資料取得用通過裝置，:

   將f述修正f料取得料過裝置安裝於前述測試夾具之 狀怨下’測定該訊號料及該非訊號料，且在將前述 修^資料取得料過裝置安裝於前述基準夾具狀態下， 測疋该訊號線埠，· :二：驟’其係依據前述第一及第二步驟所獲得之測 疋：，決定自在將前述電子構件安裝於前述測試央具之 ，您下’測定前述訊號料及前述非訊I料之結果， 异出在將該電子構# ^梦％ A 述基準央具狀態下測定前 線阜時’應可獲得之前述電子構件之電氣特性估 98620-951117.doc 1279557 計值用之公式； 第四步驟，其係就任意之前述電子構件，在安裝於前 述測試夾具狀態下，測定前述訊號線埠及前述非訊號線 埠；及 ^ 第五步驟，其係依據前述第四步驟所獲得之測定值， 使用前述第三步驟所決定之前述公式，算出在將該電子 構件安裝於前述基準夾具狀態下測定前述訊號線埠時， 應可獲得之前述電子構件之電氣特性估計值。 2·如請求項丄之測定誤差之修正方法，丨中於冑述第三步 驟中，s於前述非訊號線崞之前述公式，係使用：將在 前述第二步驟中，在將前述修正資料取得用通過裝置安 裝於前述測試夾具之狀態下測定該訊I料及該非訊號 線埠之結果，代人從自前述第―步驟所獲得之測定值而 獲得之「自將前述f子構件安裝於前述測試夾具狀態下 測=前述訊號料之結果，算出在安裝於前述基準夹具 狀態下㈣前述訊料料應可獲得之前述電子構件之 電氣特性估計值用之公式」而獲得之散佈行列SI(各要素 刀别為’ s丨2丨，S2丨丨，S22丨）；及將前述第二步驟所獲 得之前述修正資料取得用通過裝置安裝於前述基準央且 狀態下之該訊號線埠之測定值S11D，顯示如以下 /、 (數1) 02Γ = -_—、-心__ *^22/ *^227 +S21/ ^S12/ 98620-951117.doc (:s 1279557 之公式。 3. 項1之測定誤差之修正方法，其中前述電子構件 第 第—别述訊號線埠，與至少兩個 之弟-及第二前述非訊號線埠，」 非訊號線痒之間連接元件， 及弟-之别述 述電子構件之前述第一及第二 =述弟—及第二訊號線埠間之電氣特性之估計值^ 一係於前述第一步驟中，就對應於前述電子構 弟及第二冑號線蜂之前述修正 " 訊號料，測定電氣特性，、料仔^料之各個 前述第二㈣中’前述修正f料取得用通 性連接對應於前述電子構件之前述第—a:電 修正資料取得用通過裝置 ^次阜之前述 子構件之前述第-非訊號線與對應於前述電 過裝置之非訊號料之間，且電,==資料取得用通 構件之前述第二$笋線# 妾對應於前述電子 弟w線埠之前述修正 置之訊號料，與對應於前述電子構件二、過裝 號線埠之前述修正資料取得 “弟—非訊 間， 、犮置之非訊號線埠之 : = — :驟中，為了算出受到前述電子構 弟-及弟二非訊號線埠影響之前則述 間之電氣特性之估計值之前述公式第二訊號線蟑 步驟中，在將前述修正資料取得：::使用’於前述第二 取仔用通過裝置安裝於前述 98620-951117.doc 1279557 測試灸具狀態下測定該訊號線埠及該非訊號線蜂之姓 果，代入由前述第—步驟所得之測定值而獲得之「自、、’。 前述電子構件絲於前㈣試夹絲態下敎前^ 線埠之結果，算出在安裝於前述基準夹具狀態下測定= 述訊號線料應可獲得之前述電子構件之電氣特性估= 值用之公式」*獲得之對應於前述電子構件之前述第二 訊號線琿之該訊號線琿與對應力前述電子構件之 —非訊號料之該非訊號料間之相對之傳送係= (Tl thru)及對應於前述電子構件之論+、结 k电亍稱仟之别述第二訊號線埠 訊號料與對應於前述電子構件之前述第二非訊號_ 之該非訊號線埠間之相對之傳送係數行列（丁、 前述第二步驟所獲得之前述修正資料取得用通ζ裝3 農於前述基準夾具狀態下之對應於前述電子構件 第-及第二訊號線槔之該訊號線蟑間之傳送係數;于列 (Dthru)之使用而顯示如下公式 (CA)= (Tlthru)-] · (Dthru) . (T2thru)-1 =傳送絲行列或轉換該料係數行叙散佈係數行 4. t請ί項:广測定誤差之修正方法’其中前述第五步驟 ，則述算出方法係’就任意之前述電子構件，假設一 相對修正適配具有將在安裝於前述測試失具狀態下測定 之電乳特性變更成在安裝於前述基準夾具狀態下測定之 =特性之特性時，於前述非訊號料中，作為前述相 對修正適喊W述第三步^對前㈣訊ι料之前 98620-9511l7.doc -4. 1279557 逃公式來估計。 •如晴求項1之測定誤差 φ 心乜正方法，其中前述第二步驟 6· 濟定之前述修正資料取得用通過裝置，該訊號線淳與 该非訊號料間之傳達係數為·ΠΜΒ以上。 ^種電子㈣純敎裝置，其特徵為：健具有連接 ^頻《之施加或檢測相關之訊號線之訊號線璋及該 2料以外之非訊料埠之電子構件，在將前述電子 構件女裝於測試夾且 3 、+、μ 人a之狀怨下，測定前述訊號線埠及前 迷非訊號線埠，自其測定έ士果瞀 ^ 』疋、、Ό果异出將該電子構件安裝於 僅可測定前述訊號線埠基 .^ + 千H早夾具狀態下測定前述訊號 線埠時應可獲得之前述電子盖 構件之電軋特性估計值，且 具備： 測定機構，其係在將前述雷 肝引述電子構件安裝於前述測試夾 ”狀態下’測定前述訊號線埠及前述非訊號線璋’· 記憶機構，其係儲存：第—测定資料，其係在將至少 二種修正資料取得用試料安# 1 抖女^於則述測試夾具之狀態與 ^於别職準以之狀態下，就前料 試料之各個訊號料之至少一個，測定電氣特性；第二 測疋貝枓’其係在將電性連接訊號線埠之至少—個盘非 «線埠之至少_個之修正資料取得用通過裝置安裝於 及第二測定資料，其係在將前 < ^正貝料取得用 置安裝於前述基準夾具狀態下測定該訊號、料丨 、 公式決定機構，其係依據儲在 ㈣存於則述記憶機構之前述 98620-9511I7.doc • 1279557 弟一至第二測定資祖 » ^ 、’ ，來決定由將前述電子禮彼+ & \ 刖述測試夾具狀態下 ^ 于構件女裝於 〜、J疋前述訊號線埠及前祕& >上& 埠之結果，算出將該電 _ 辻非汛號線 下測定前述訊號線埠 述土丰夾具狀悲 特性估計值用之公式； k电于構件之電氣 電氣特性估計機構，Α '、係就任思之前述電子；I：盖杜，i 前述測定機構測得之測〜 千構件，由

   決定之前述公式，m夬疋機構所 .、^ 在將该電子構件安裝於前述基準 夾具狀悲下測定前% % M 严 〗述5孔唬線埠時應可獲得之前述電子構 件之電氣特性估計值。 稱 如請求項6之電子構件 ΤΓ丨王列疋忒置，其中前述公式決 定機構決定之對前述非^^ %台 了月』这非讯唬線埠之前述公式係，使用將 前述第二敎資料代人，自前㈣―敎資料獲得之 「自將前述電子構件安裝於前述測試夹具狀態下測定前 述訊號線埠之結果，管屮A必姑 W出在女#於别述基準央具狀態下 測定前述訊號線埠時應可獲得之前述電子構件之電氣特 !·生估4值用之公式」而獲得之散佈行列K各要素分別為 S"】’ Sui，SZ1I，ho ;及將前述第三資料之前述修正 資料取得用通過裝置安裝於前述基準夾具狀態下之該訊 號線埠之測定值s n D，顯示如以下 (數2) C2T Sud-S. 11/ 'WD *^22/ ~SUI ^S22I 98620-951117.doc

   .1279557 之公式。 8·如請求項6之電子構件特性測定裳置，其中 件具有至少兩個之第 “電子構 個之第一及第-二及第一刖述訊號線埠，與至少兩 弟一别述非訊號線埠，並在該第— 前述非訊號線琿之間連接元件， 及弟-之 則述弟-測m就對應於前 =二訊號料之前述修正資料取得用試料 - 線埠測定電氣特性， 谷個成唬 測定前述第二及第三測定資料時使用之前述修正資料 取付用通過裝置，電性連接對應 1 第，線痒之資料取得用通過裝置之訊號=述 ==構件之前述第一非訊號線埠之資料取= 二:之號線蟑之間’且電性連接對應於前述電子 構件之則㈣：訊號線埠之"取得用通過裝置之訊號 線崞與對應於前述電子構件之前μ mi ^ 料取得用通過裝置之非訊號線槔之間， 料公式決定機構決定之算出受到前述電子構件之前 t弟一及：二非訊號線埠影響之前述第一及第二訊號線 蟑間之電《I特性估計值用之前述公式係使用， 利用將前述第二測定資料代入自前述第一測定資料所 獲得之「自將前述電子構件安褒於前述測試爽具狀態下 測疋則m料之結果，算出在安裝於前述基準夹且 狀態下測定前述訊號料時應可獲得之前述電子構件: 電氣特性估計值用之公式」，而獲得之對應於前述電子 98620-951ll7.doc 1279557 牛之&述第一訊號線埠之該訊號線埠與對應於前述電 子構件之則述第一非訊號線埠之該非訊號線埠之間之相 對之傳运係數行列（Tlthru)及對應於前述電子構件之前述 第2訊號線埠之該訊號線埠與對應於前述電子構件之前 述第一非讯唬線埠之該非訊號線埠間之相對之傳送係數 仃列（T2thni);及自前述第三測定f料獲得之將前述修正 資料取得用通過裝置安裝於前述基準夾具狀態下之對 於前述電子構件之前述第—及第二訊號料之該訊親 埠間之傳送係數行列（Dthru)而顯示如下公式 " (CA)- (Tlthru)-i . (Dthru) . (T2thru)-1 =傳送係數㈣或轉換該傳送係數行狀散佈係數行 9 ^請求項6之電子構件特性測定裝置，其中 性估計機構係，就任意之前述電，特 正適配具有將在安|於前、+，⑴岬+ 假叹一相對修 你文忒於别述測試夾具狀態 特性變更成在安裝於前、f I、隹+ 、彳疋之電氣 性之特性時，於前㈣ 狀態下測定之電氣特 適配使用前过線埠中’作為前述相對修正 便用别述公式決定機構所決定之 之前述公式來估計. 非说號線埠 1 〇 ·如請求項6之電子揣彳生 电于構件特性測定裝 二及第三敎資料用之前述修正資料取得=前述第 該訊號線埠與該非邦味綠括 t用通過裝置， 上。 非^虎線璋間之傳達係數為侧 η· 一種電子構件特性測定裝置，其特徵為：係就具有：連 98620-951117.doc 1279557 接於南頻訊號之施加或檢測相關之訊號線之訊號線痒， 及该訊號線蟑以外之非訊號線埠之電子構件，在將 電子構件安裝於㈣夾具之狀態下，敎前述訊號線蜂 及别述非訊號線埠’自其測定結果算出將該電 裝於僅可測定前述訊號線埠之基準夹具狀態下測定前述 «，線埠時應可獲得之前述電子構件之電氣特性 值’且具備·· °Τ 測定機構，其係在將前述電子構件安裝於前述測試央 ，、狀態下’測定前述訊號料及前述非訊號料； 公式記憶機構，其係儲存依據：第一測定資料，里係 在將至少三種修正資料取㈣試料安以前述測料且 之狀恕與安裝於前述基準夾具之狀態下，就前述修正資 枓取得用試料之各個訊號料之至少—個，測定電氣特 性；第二測定資料，其係在將電性連接訊號料之至少 一個與非訊號線埠之至少—個之修正"取得用通過裝 置安裝於前述職夾具狀態下，測定該訊麟埠及該非 訊號線埠；及第三測定資料，其係在將前述修正資料取 得用通過裝置安裝於前述基準夹具狀態下敎該訊號線 車.t所決定之「自將前述電子構件安裝於前述測試夾具 狀恶下測定前述訊號料及前述非訊號線琿之結果，瞀 出在將該電子構件安裝於前述基準夾具狀態下測定前: ^虎線蟑時應可獲得之前述電子構件之電氣特性估計值 用之公式」；及 電氣特性估計機構，其係就任意之前述電子構件，由 98620-95 lin.d 0C S 1279557 如述測疋機構測得之測二 她槐士 _ 仗用碍吞於則述公式記憶 =中之:述公式’算出在將該電子構件安裝於前述基 > ^八狀t下測疋前述訊號線埠時應可獲得之前述電子 構件之電氣特性估計值。 !2·如請求項1〗之電子 傅仟特性測疋裝置，其中儲存於前述 公式記憶機構中$ #、+、^ 月1J述非訊號線埠之相對前述公式係， 使用將前述第二測宕杳粗 貝枓代入自則述第一測定資料獲得 之「自將前述電子播# ^ # ' 义、、 冓件女波於别述測試夾具狀態下測定 月’J述訊號線璋之牡I 曾 果 ^出在安裝於前述基準夾具狀態 下測定前述訊號線埠時靡 于應了獲付之别述電子構件之電氣 特性估計值用之公式 、 飞」而獲侍之散佈行列SI(各要素分別 為 S11I’S]2i，S”t，q 、· _ 221);及將前述第三資料之前述修 正 > 料取得用通過裝署忠 置女波於别述基準夾具狀態下之該 訊號線埠之測定插ς _ j疋值S11D，顯示如以下 (數3) C2T 之公式 ~~~~---^JdP ^11/___ 11£) * 17*^22/+^21/ *^12/ «求員11之電子構件特性測定裝置，其中前述電子構 件具有：至少兩個之第—及第二前述訊號料，與至少 兩個之第一及第-兪；+、# 弟一則述非訊號線埠，並在該第一及第二 之前述非訊號線埠之間連接元件， 前述第-測定資料係就對應於前述電子構件之前述第

   98620-951117.doc -10- 1279557 -及第二訊號線埠之前述修正 號線埠测定電氣特性， 貝取得用試料之各個郁 測定前述第二及第三測定資；:· 取得用通過裝置係 =科時使用之前述修正資料 述第一訊號線埠之前述修於前述電子構件之前 線埠與對應於前# e j 4取侍用通過裝置之訊號 j l於刖述電子構件之 現 述修正資料取得用通過^—非訊號線埠之前

   連接對瘅於針、Λ號線埠之間，且電性 接對應於别述電子構件之w生 正資料取得用通過裝置之 =δί1輕埠之前述修 件之前述第•非％ έ〜、、/、對應於前述電子構 弟-非过線埠之前述修正 置之非訊號線埠之間， 、取侍用通過裝 儲存於前述公式記憶機 前述第一及第-非▲上 又到别述電子構件之 弟一非矾號線埠影響之前述 ^ 線埠間之電氣特性估 及苐二汛號 怙冲值用之别述公式係使用， 利用將前述第二測定資

   猶俨夕「a μ 曰引现弟一測定資料所 X传之自將前述電子構件安妒於乂、+、、日丨 、、則η、咕 試夾具狀態下 測疋别述訊號線埠之結果， 仙^出在女裝於前述基準夾且 狀您下測定前述訊號線阜卑 "Ν 輯垾時應可獲得之前述電子構件之 電氣特性估計值用之公十 A H獲得之對應於前述電子 别述第一訊號線蟑之該訊號線埠與對應於前述電 子構件之前述第-非訊號料之該非訊I料間之相對 ^傳达係數订列（Tlthn))及對應於前述電子構件之前述第 -訊號線蟑之該訊號線埠與對應⑨前述電子構件之前述 第二非訊號料之該非訊號線琿間之相對之傳送係二行 98620-951117.d oc

   -11 - 1279557 别述弟三測定資料獲得之將前述修正資 料取得用通過p 二、、 文#於前述基準央具狀態下之對應於 月丨J述電子構件之& ^ 則迷弟一及第二訊號線埠之該訊號線埠 B之傳送係數行列d)所顯示之如下公# (CA):(TW】.(Dthru).(T2thru)·, 傳k係數仃列或轉換該傳送係數行列之散佈係數行 列。 14. 15. ^請求項U之電子構件特性敎裝置，其中前述電氣特 '、生估计機構，就任意之前述電子構件，假設—相對修正 適配具有將猎由前述測定她 1列疋棧構所測定之電氣特性變更成 在女褒於則述基準爽且狀能丁丨 干人八狀恶下測定之電氣特性之特性 時，於前述非訊號線埠中，作兔 干Y作為别述相對修正適配使用 儲存於前述公式記憶機構之前述 外Λ就線埠之相對之前 述公式來估計。 如請求項11之電子構件特性測定裝w 衣直其中取得前述第 二及第三測定資料用之前述修正資料 貝竹取侍用通過裝置， 該訊號線埠與該非訊號線埠間之偟、去〆 门之傳達係數為-10dB以 上0 98620-951117.doc 12 86 12冢齡17號專利申請案呢 中文圖式替換頁(95年11月j 1

   3b 58 52— .顯示部 記憶部 - 60 54- .操作部 控制部 運算部. ~ 62 56 一 •測定部 介面部， -64 98620.doc 4