JP4009876B2 - 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 - Google Patents

測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4009876B2
JP4009876B2 JP2006513805A JP2006513805A JP4009876B2 JP 4009876 B2 JP4009876 B2 JP 4009876B2 JP 2006513805 A JP2006513805 A JP 2006513805A JP 2006513805 A JP2006513805 A JP 2006513805A JP 4009876 B2 JP4009876 B2 JP 4009876B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal line
line port
electronic component
port
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006513805A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2005116669A1 (ja
Inventor
太一 森
岳 神谷
宏 友廣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of JP4009876B2 publication Critical patent/JP4009876B2/ja
Publication of JPWO2005116669A1 publication Critical patent/JPWO2005116669A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
    • G01R35/005—Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/28—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response
    • G01R27/32—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response in circuits having distributed constants, e.g. having very long conductors or involving high frequencies
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49764—Method of mechanical manufacture with testing or indicating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

本発明は、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関し、詳しくは、高周波信号の印加または検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品の電気特性を、試験治具に実装した状態で信号ラインポート及び非信号ラインポートを測定した結果から、その電子部品を信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関する。
従来、上記電子部品のように同軸コネクタを有しない表面実装型電子部品は、同軸コネクタを有する治具に実装し、治具と測定装置の間を同軸ケーブルを介して接続して、電気特性が測定されることがある。このような測定においては、個々の治具の特性のばらつきや、個々の同軸ケーブル及び測定装置の特性のばらつきが、測定誤差の原因となる。
同軸ケーブル及び測定装置については、基準特性を有する標準器を同軸ケーブルを介して測定装置に接続して測定することにより、標準器を接続した同軸ケーブル先端よりも測定装置側の誤差を同定することができる。
しかし、治具については、電子部品を実装する端子と同軸ケーブルに接続する同軸コネクタとの間の電気特性の誤差を精度よく同定することができない。また、治具間の特性が一致するように調整することは容易ではない。特に広い帯域幅で、治具間の特性を一致するように治具を調整することは、極めて困難である。
そこで、補正データ取得用試料を複数の治具に実装して測定し、治具間における測定値のばらつきから、ある治具（これを、「基準治具」と言う。）と他の治具（これを、「試験治具」と言う。）との間の相対的な誤差を補正する数式を予め導出しておき、この数式を用いて、任意の電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出することが提案されている。例えば、基準治具はユーザに対して電気特性を保証するために用い、試験治具は電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる（例えば、非特許文献１、２参照）。
ＧＡＫＵ ＫＡＭＩＴＡＮＩ（Ｍｕｒａｔａ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．） "Ａ ＭＥＴＨＯＤ ＴＯ ＣＯＲＲＥＣＴ ＤＩＦＦＥＲＥＮＣＥ ＯＦ ＩＮ−ＦＩＸＴＵＲＥ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ ＡＭＯＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＳ ＯＮ ＲＦ ＤＥＶＩＣＥＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．２， ｐ１０９４−１０９７， ２００３ Ｊ．Ｐ．ＤＵＮＳＭＯＲＥ， Ｌ．ＢＥＴＴＳ （Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ） "ＮＥＷ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＣＯＲＲＥＬＡＴＩＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＤ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．１， ｐ５６８−５７１， ２００３
このような手法は、測定対象の電子部品が信号ラインポート（測定装置を用いて電子部品が有する任意の電気特性を測定するための高周波信号の印加または検出に係わる信号ラインに接続されるポート）のみを有する場合には対応できる。
しかし、測定対象の電子部品が信号ラインポート以外のポート（電源ラインやＧＮＤライン等、電気特性測定に係わらない非信号ラインに接続されるポート。以下、「非信号ラインポート」と言う。）を有する場合、非信号ラインポートに接続される治具特性によって、電子部品そのものの電気特性が変化してしまう。そのため、例えば図１に示したように、試験治具では非信号ラインポートについても測定装置に接続して測定を行い、基準治具では非信号ラインポートは非信号ラインポートのままで（すなわち、測定装置に接続しないで）特性保証を行うような場合には、対応することができない。
例えば図２９（ａ）に示すように、非信号ラインポートが何らかの素子を介して高周波的なグランドに接続される電子部品２（このような電子部品を、以下では「シャントタイプ」と言う。）の場合、基準治具４は、電子部品２の信号ラインポートに接続される同軸コネクタ４ａ，４ｂと、電子部品２の非信号ラインポートに接続される素子４ｓとを備える。一方、図２９（ｂ）に示すように、試験治具６は、電子部品２の信号ラインポートに接続される同軸コネクタ６ａ，６ｂと、電子部品２の非信号ラインポートに接続される同軸コネクタ６ｃとを備える。
また、図３０（ａ）に示すように、非信号ラインポート間に素子が接続される電子部品３（このような電子部品を、以下では「フロートタイプ」と言う。）の場合、基準治具５は、電子部品３の信号ラインポートに接続される同軸コネクタ５ａ，５ｂと、電子部品３の非信号ラインポート間に接続される素子５ｓとを備え、非信号ラインポートについてはＲＦ測定を行っていない。一方、図３０（ｂ）に示すように、試験治具７は、電子部品３の信号ラインポートに接続される同軸コネクタ７ａ，７ｂと、非信号ラインポートに接続される同軸コネクタ７ｃ，７ｄとを備え、信号ラインポートのみならず非信号ラインポートについてもＲＦ測定を行っている。
本発明は、上記実情に鑑み、信号ラインポート以外に非信号ラインポートを有しその電気特性が非信号ラインポートに接続される治具の特性によって変化してしまう電子部品について、高い精度で対応することができる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供しようとするものである。
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。
この測定誤差の補正方法は、高周波信号の印加または検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、該信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品について、前記電子部品を試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するものである。前記測定誤差の補正方法は、第１ないし第５のステップを備える。前記第１のステップにおいて、少なくとも３種類の補正データ取得用試料を前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定する。前記第２のステップにおいて、信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを用意し、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定し、かつ、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態で当該信号ラインポートを測定する。前記第３のステップにおいて、前記第１及び第２のステップで得られた測定値に基づいて導出される、前記信号ラインポートに対する補正を行うための項と、前記非信号ラインポートに対する補正を行うための項とを含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式を決定する。前記第４のステップにおいて、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定する。前記第５のステップにおいて、前記第４のステップで得られた測定値に基づいて、前記第３のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する。
上記構成において、第１のステップの測定値により、信号ラインポートについて、基準治具と試験治具との間の相対的な測定誤差の補正を行うことができる。この信号ラインポートについての補正結果と、第２のステップの測定値とから、非信号ラインポートについても、基準治具と試験治具との間の相対的な測定誤差の補正が可能となる。
上記構成によれば、信号ラインポートのみならず非信号ラインポートについても測定誤差を補正することができるので、任意の電子部品について、試験治具に実装した状態で信号ラインポート及び非信号ラインポートを測定した結果から、基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
好ましくは、前記第３のステップにおいて、前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２のステップにおいて前記補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定した結果を、前記第１のステップで得られた測定値から得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる散乱行列ＳＩ（各要素を、Ｓ１１Ｉ、Ｓ１２Ｉ、Ｓ２１Ｉ、Ｓ２２Ｉとする）と、前記第２のステップで得られる前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における当該信号ラインポートの測定値Ｓ１１Ｄとを用いて次式
Figure 0004009876
 のように示される。
すなわち、「シャントタイプ」の非信号ラインポートを有する電子部品の場合、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、第１のステップで得られた測定値から、前記信号ラインポートに関して相対補正アダプタを求める。この相対補正アダプタを第２のステップにおいて得られる補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態で測定し得られた散乱行列と合成すれば、補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態における測定値から、前記信号ラインポートのみを前記基準治具に実装した場合の電気特性を推定した散乱行列ＳＩが決まる。第２のステップにおいて、補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した場合の測定値は、前記ＳＩの当該非信号ラインポート側の端子対に対し前記非信号ラインポートに関する相対補正アダプタを合成した推定値と対応する。このことから、上記の式を導出することができる。
上記の式により導出した非信号ラインポートの相対補正アダプタを用いることにより、非信号ラインポートを測定しない基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
好ましくは、前記電子部品は、少なくとも２つの第１及び第２の前記信号ラインポートと、少なくとも２つの第１及び第２の前記非信号ラインポートとを有し、該第１及び第２の前記非信号ラインポートの間に素子が接続される。前記電子部品の前記第１及び第２の非信号ラインポートにより影響を受ける前記第１及び第２の信号ラインポート間の電気特性の推定値の算出については、前記第１のステップにおいて、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートについて、電気特性を測定する。前記第２のステップにおいて用いる前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、かつ、前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続される。前記第３のステップにおいて、前記電子部品の前記第１及び第２の非信号ラインポートにより影響を受ける前記第１及び第２の信号ラインポート間の電気特性の推定値を算出するための前記数式に含まれる前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２のステップにおいて前記補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定した結果を、前記第１のステップで得られた測定値から得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ１thru）及び前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ２thru）と、前記第２のステップで得られる前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄthru）とを用いて次式
（ＣＡ）＝（Ｔ１thru）−１・（Ｄthru）・（Ｔ２thru）−１ ・・・（ａ）
のように示される伝送係数行列又は該伝送係数行列を変換した散乱係数行列を用いる。
すなわち、「フロートタイプ」の非信号ラインポートを有する電子部品の場合、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、第１のステップで得られた測定値から、前記信号ラインポートに関して相対補正アダプタを求める。この相対補正アダプタを第２のステップにおいて得られる補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態で測定し得られた散乱行列と合成する。すなわち、前記電子部品の第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと電子部品の第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間の散乱行列に対して上記合成を行った伝送係数行列（Ｔ１ｔｈｒｕ）、及び前記電子部品の第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間の散乱行列に対して上記合成を行った伝送係数行列（Ｔ２ｔｈｒｕ）が決まる。第２のステップにおいて、補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した場合の測定値から、補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した状態における、前記電子部品の第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄｔｈｒｕ）が決まる。前記電子部品の第１及び第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポート間の相対補正アダプタを（ＣＡ）とすると、次式（ｂ）が成り立つ。
（Ｄｔｈｒｕ）＝（Ｔ１ｔｈｒｕ）・（ＣＡ）・（Ｔ２ｔｈｒｕ） ・・・（ｂ）
この式（ｂ）の両辺に左右から、逆行列（Ｔ１ｔｈｒｕ）−１，（Ｔ２ｔｈｒｕ）−１を掛けると、上記の式（ａ）を導出することができる。
上記の式（ａ）により導出した非信号ラインポートの相対補正アダプタを用いることにより、非信号ラインポートを測定しない基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
好ましくは、前記第５のステップにおいて、前記算出方法は、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、前記非信号ラインポートにおいては、前記第３のステップにおける前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を前記相対補正アダプタとして用い推定する。
好ましくは、前記第２のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である。
この場合、信号ラインポートと非信号ラインポートとの間で、出力信号は入力信号より１桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。
好ましくは、前記第２のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が往復で−２０ｄＢ以上である。
この場合、例えば前記基準治具における非信号ラインポートにおいて信号を全反射する場合、前記信号ラインポートから入力される信号に対し測定される信号は１桁小さくなる程度であるので、前記非信号ラインポートの相対補正アダプタを精度良く求めることができる。
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
この電子部品特性測定装置は、高周波信号の印加または検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、該信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品について、前記電子部品を試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定し、その測定結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するものである。前記電子部品特性測定装置は、測定手段と、記憶手段と、数式決定手段と、電気特性推定手段とを備える。前記測定手段は、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定する。前記記憶手段は、前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、前記信号ラインポートの少なくとも一つについて、少なくとも３種類の補正データ取得用電子部品を測定した第１の測定データと、信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを、前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定した第２の測定データと、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態で当該信号ラインポートを測定した第３の測定データとを格納する。前記数式決定手段は、前記記憶手段に格納された前記第１ないし第３の測定データに基づいて導出される、前記信号ラインポートに対する補正を行うための項と、前記非信号ラインポートに対する補正を行うための項とを含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式を決定する。前記電気特性推定手段は、任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定値から、前記数式決定手段が決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する。
上記構成において、第１の測定データにより、信号ラインポートについて基準治具と測定治具との間の相対的な測定誤差の補正を行うことができる。この信号ラインポートについての補正結果と、第２及び第３の測定データとから、非信号ラインポートについても基準治具と測定治具との間の相対的な測定誤差の補正が可能となる。
上記構成によれば、信号ラインポートのみならず非信号ラインポートについても測定誤差を補正することができるので、任意の電子部品について、試験治具に実装した状態で信号ラインポート及び非信号ラインポートを測定した結果から、基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
なお、第１ないし第３の測定データは、上記構成の電子部品特性測定装置の測定手段によって測定されても、上記構成の電子部品特性測定装置以外の他の測定装置によって測定されてもよい。後者の場合には、他の測定装置によって測定された測定データは、上記構成の電子部品特性測定装置の記憶手段に格納される。
好ましくは、前記数式決定手段が決定する前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２の測定データを、前記第１の測定データから得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる散乱行列ＳＩ（各要素を、Ｓ１１Ｉ、Ｓ１２Ｉ、Ｓ２１Ｉ、Ｓ２２Ｉとする）と、前記第３のデータである前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における当該信号ラインポートの測定値Ｓ１１Ｄとを用いて次式
Figure 0004009876
 のように示される。
すなわち、「シャントタイプ」の非信号ラインポートを有する電子部品の場合、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、第１の測定データから、前記信号ラインポートに関して相対補正アダプタを求める。この相対補正アダプタを第２の測定データから得られる補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態で測定し得られた散乱行列と合成すれば、補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態における測定値から、前記信号ラインポートのみを前記基準治具に実装した場合の電気特性を推定した散乱行列ＳＩが決まる。第３の測定データである補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した場合の測定値は、前記ＳＩの当該非信号ラインポート側の端子対に対し前記非信号ラインポートに関する相対補正アダプタを合成した推定値と対応する。このことから、上記の式を導出することができる。
上記の式により導出した非信号ラインポートの相対補正アダプタを用いることにより、非信号ラインポートを測定しない基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
好ましくは、前記電子部品は、少なくとも２つの第１及び第２の前記信号ラインポートと、少なくとも２つの第１及び第２の前記非信号ラインポートとを有し、該第１及び第２の前記非信号ラインポートの間に素子が接続される。前記第１の測定データは、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートについて、電気特性を測定される。前記第２及び第３の測定データを測定するときに用いる前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、かつ、前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続される。前記数式決定手段が決定する、前記電子部品の前記第１及び第２の非信号ラインポートにより影響を受ける前記第１及び第２の信号ラインポート間の電気特性の推定値を算出するための前記数式に含まれる前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２の測定データを、前記第１の測定データから得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ１thru）及び前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ２thru）と、前記第３の測定データから得られる、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄthru）とを用いて次式
（ＣＡ）＝（Ｔ１thru）−１・（Ｄthru）・（Ｔ２thru）−１ ・・・（ａ）
のように示される伝送係数行列又は該伝送係数行列を変換した散乱係数行列を用いる。
すなわち、「フロートタイプ」の非信号ラインポートを有する電子部品の場合、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、第１の測定データから、前記信号ラインポートに関して相対補正アダプタを求める。この相対補正アダプタを、第２の測定から得られる補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態で測定し得られた散乱行列と合成する。すなわち、前記電子部品の第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと電子部品の第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間の散乱行列に対して上記合成を行った伝送係数行列（Ｔ１ｔｈｒｕ）、及び前記電子部品の第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間の散乱行列に対して上記合成を行った伝送係数行列（Ｔ２ｔｈｒｕ）が決まる。第３の測定データである補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した場合の測定値から、補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した状態における、前記電子部品の第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄｔｈｒｕ）が決まる。前記電子部品の第１及び第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポート間の相対補正アダプタを（ＣＡ）とすると、次式（ｂ）が成り立つ。
（Ｄｔｈｒｕ）＝（Ｔ１ｔｈｒｕ）・（ＣＡ）・（Ｔ２ｔｈｒｕ） ・・・（ｂ）
この式（ｂ）の両辺に左右から、逆行列（Ｔ１ｔｈｒｕ）−１，（Ｔ２ｔｈｒｕ）−１を掛けると、上記の式（ａ）を導出することができる。
上記の式（ａ）により導出した非信号ラインポートの相対補正アダプタを用いることにより、非信号ラインポートを測定しない基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
好ましくは、前記電気特性推定手段は、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、前記非信号ラインポートにおいては、前記数式決定手段が決定した前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を前記相対補正アダプタとして用い推定する。
好ましくは、前記第２及び第３の測定データを取得するための前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である。
この場合、信号ラインポートと非信号ラインポートとの間で、出力信号は入力信号より１桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。
好ましくは、前記第２及び第３の測定データを取得するための前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が往復で−２０ｄＢ以上である。
この場合、例えば前記基準治具における非信号ラインポートにおいて信号を全反射する場合、前記信号ラインポートから入力される信号に対し測定される信号は１桁小さくなる程度であるので、前記非信号ラインポートの相対補正アダプタを精度良く求めることができる。
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。
この電子部品特性測定装置は、高周波信号の印加または検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、該信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品について、前記電子部品を試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定し、その測定結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するものである。前記電子部品特性測定装置は、測定手段と、数式記憶手段と、電気特性推定手段とを備える。前記測定手段は、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定する。前記数式記憶手段は、前記信号ラインポートに対する補正を行うための項と、前記非信号ラインポートに対する補正を行うための項とを含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式を格納する。この数式は、少なくとも３種類の補正データ取得用試料を前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定した第１の測定データと、信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを、前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定した第２の測定データと、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態で当該信号ラインポートを測定した第３の測定データとに基づいて決定される。前記電気特性推定手段は、任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定値から、前記数式記憶手段に格納された前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する。
第１の測定データにより、信号ラインポートについて基準治具と試験治具との間の相対的な測定誤差の補正を行うことができる。この信号ラインポートについての補正結果と、第２及び第３の測定データとから、非信号ラインポートについても、基準治具と試験治具との間の相対的な測定誤差の補正が可能となる。上記構成では、信号ラインポートのみならず非信号ラインポートについても測定誤差を補正して電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式が数式記憶手段に格納されており、その数式を用いることにより、任意の電子部品について、試験治具に実装した状態で信号ラインポート及び非信号ラインポートを測定した結果から、基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
上記構成において、電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式は、電子部品特性測定装置又は他の測定装置で、試験治具及び基準治具を用いて測定を行って、予め決めておく。
上記構成によれば、試験治具について予め数式を決定しておけば、その数式を電子部品特性測定装置の数式記憶手段に格納することにより、その試験治具を任意の電子部品測定装置で用いることができる。したがって、試験治具と電子部品測定装置とを自由に組み合わせて用いることができる。
好ましくは、前記数式記憶手段に格納される前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２の測定データを、前記第１の測定データから得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる散乱行列ＳＩ（各要素を、Ｓ１１Ｉ、Ｓ１２Ｉ、Ｓ２１Ｉ、Ｓ２２Ｉとする）と、前記第３のデータである前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における当該信号ラインポートの測定値Ｓ１１Ｄとを用いて次式
Figure 0004009876
 のように示される。
すなわち、「シャントタイプ」の非信号ラインポートを有する電子部品の場合、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、第１の測定データから、前記信号ラインポートに関して相対補正アダプタを求める。この相対補正アダプタを第２の測定データから得られる補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態で測定し得られた散乱行列と合成すれば、補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態における測定値から、前記信号ラインポートのみを前記基準治具に実装した場合の電気特性を推定した散乱行列ＳＩが決まる。第３の測定データである補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した場合の測定値は、前記ＳＩの当該非信号ラインポート側の端子対に対し前記非信号ラインポートに関する相対補正アダプタを合成した推定値と対応する。このことから、上記の式を導出することができる。
上記の式により導出した非信号ラインポートの相対補正アダプタを用いることにより、非信号ラインポートを測定しない基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
好ましくは、前記電子部品は、少なくとも２つの第１及び第２の前記信号ラインポートと、少なくとも２つの第１及び第２の前記非信号ラインポートとを有し、該第１及び第２の前記非信号ラインポートの間に素子が接続される。前記第１の測定データは、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートについて、電気特性を測定される。前記第２及び第３の測定データを測定するときに用いる前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、かつ、前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続される。前記数式記憶手段に格納される、前記電子部品の前記第１及び第２の非信号ラインポートにより影響を受ける前記第１及び第２の信号ラインポート間の電気特性の推定値を算出するための前記数式に含まれる前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２の測定データを、前記第１の測定データから得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ１thru）及び前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ２thru）と、前記第３の測定データから得られる、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄthru）とを用いて次式
（ＣＡ）＝（Ｔ１thru）−１・（Ｄthru）・（Ｔ２thru）−１ ・・・（ａ）
のように示される伝送係数行列又は該伝送係数行列を変換した散乱係数行列を用いる。
すなわち、「フロートタイプ」の非信号ラインポートを有する電子部品の場合、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、第１の測定データから、前記信号ラインポートに関して相対補正アダプタを求める。この相対補正アダプタを、第２の測定から得られる補正データ取得用スルーデバイスを試験治具に実装した状態で測定し得られた散乱行列と合成する。すなわち、前記電子部品の第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと電子部品の第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間の散乱行列に対して上記合成を行った伝送係数行列（Ｔ１ｔｈｒｕ）、及び前記電子部品の第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間の散乱行列に対して上記合成を行った伝送係数行列（Ｔ２ｔｈｒｕ）が決まる。第３の測定データである補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した場合の測定値から、補正データ取得用スルーデバイスを基準治具に実装した状態における、前記電子部品の第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄｔｈｒｕ）が決まる。前記電子部品の第１及び第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポート間の相対補正アダプタを（ＣＡ）とすると、次式（ｂ）が成り立つ。
（Ｄｔｈｒｕ）＝（Ｔ１ｔｈｒｕ）・（ＣＡ）・（Ｔ２ｔｈｒｕ） ・・・（ｂ）
この式（ｂ）の両辺に左右から、逆行列（Ｔ１ｔｈｒｕ）−１，（Ｔ２ｔｈｒｕ）−１を掛けると、上記の式（ａ）を導出することができる。
上記の式（ａ）により導出した非信号ラインポートの相対補正アダプタを用いることにより、非信号ラインポートを測定しない基準治具に実装した場合の電気特性を、精度よく推定することができる。
好ましくは、前記電気特性推定手段は、任意の前記電子部品について、前記測定手段により測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、前記非信号ラインポートにおいては、前記数式記憶手段に格納された前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を前記相対補正アダプタとして用い推定する。
好ましくは、前記第２及び第３の測定データを取得するための前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上である。
この場合、信号ラインポートと非信号ラインポートとの間で、出力信号は入力信号より１桁小さくなる程度であるので、測定誤差の補正を精度よく行うことができる。
好ましくは、前記第２及び第３の測定データを取得するための前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が往復で−２０ｄＢ以上である。
この場合、例えば前記基準治具における非信号ラインポートにおいて信号を全反射する場合、前記信号ラインポートから入力される信号に対し測定される信号は１桁小さくなる程度であるので、前記非信号ラインポートの相対補正アダプタを精度良く求めることができる。
本発明の測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置によれば、信号ラインポート以外に非信号ラインポートを有しその電気特性が非信号ラインポートに接続される治具の特性によって変化してしまう電子部品について、高い精度で対応することができる。
これにより、例えば、信号ラインポート及び非信号ラインポートを有する電子部品について、製造工程における試験治具を用いた測定結果から、基準治具を用いるユーザ保証状態と等しい条件でデバイス特性の推定が可能になり、より高精度な電気特性のユーザ保証が可能となる。また、良否判定精度が高くなるので、製造工程における良品率も向上する。さらに、基準治具や試験治具の調整は不要であるので、電子部品の帯域幅が広い場合においても、問題なく適用できる。
以下、本発明の実施の形態について、図２ａ〜図２８を参照しながら説明する。
（第１の実施形態）
「シャントタイプ」の非信号ラインポートを有する電子部品について、図２ａ〜図１３、図３０〜図３４を参照しながら説明する。
まず、測定誤差の補正方法について説明する。
図２ａ及び図２ｂに示すように、電子部品１０は、異なる治具２０，３０を用いて測定することができる。一方の治具２０（以下、「基準治具２０」と言う。）は、例えばユーザに対して電気特性を保証するために用いる。他方の治具３０（以下、「試験治具３０」と言う。）は、例えば電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。
詳しくは後述するが、予め、治具２０，３０間の相対的な測定誤差を補正する数式を導出しておく。そして、任意の電子部品について、試験治具３０に実装して測定を行い、導出した数式を用いて、その電子部品を基準治具２０に実装して測定したならば得られるであろう電気特性を推定する。
図２ａ及び図２ｂは、電子部品１０が３つの信号ラインポートと１つの非信号ラインポートを有する場合の例を示している。
図２ａに示したように、基準治具２０には、電子部品１０を実装する実装部と、同軸コネクタ２０ａ，２０ｂ，２０ｃとが設けられている。図示していないが、実装部には電子部品１０の端子に圧着する接続端子が設けられ、接続端子と同軸コネクタ２０ａ，２０ｂ，２０ｃとが電気的に接続されている。電子部品１０の３つの信号ラインポートは、それぞれ、同軸コネクタ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ及び３本の同軸ケーブル２５を介して、測定装置２６に接続される。つまり、電子部品１０を基準治具２０に実装したときには、測定装置２６を用いて、信号ラインポートのみを測定する。
図２ｂに示したように、電子部品１０を他方の治具３０、すなわち試験治具３０に実装したときには、測定装置３６を用いて信号ラインポート及び非信号ラインポートの測定を行う。試験治具３０には、電子部品１０を実装する実装部と、同軸コネクタ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄとが設けられている。図示していないが、実装部には電子部品１０の端子に圧着する接続端子が設けられ、接続端子と同軸コネクタ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄとが電気的に接続されている。電子部品１０の３つの信号ラインポート及び一つの非信号ラインポートは、それぞれ、同軸コネクタ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ及び４本の同軸ケーブル３５を介して、測定装置３６に接続される。
同軸ケーブル２５及び測定装置２６は、予め、同軸ケーブル２５の先端（同軸コネクタ２０ａ，２０ｂ，２０ｃと接続する部分）に、既知の電気特性を有する標準器を接続して校正しておく。同様に、同軸ケーブル３５及び測定装置３６は、同軸ケーブル３５の先端（同軸コネクタ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄと接続する部分）に標準器を接続して校正しておく。
測定装置２６，３６には、例えばネットワークアナライザを用いる。ネットワークアナライザは、複数のポートを有し高周波で用いられる電子部品の電気特性を単に測定するだけでなく、任意に設定したプログラムにより測定した生データを演算して出力する機能も備えている。
次に、電子部品を試験治具に実装したときの測定結果から、基準治具に実装したときの電気特性を推定する方法の基本原理について、説明する。
以下では、簡単のため、一つの信号ラインポートと一つの非信号ラインポートとを有する２ポートの試料（ＤＵＴ）についての２端子対回路を例に説明するが、図２ａ及び図２ｂで示した４端子対回路のようなｎ端子対回路（ｎは、３以上の整数）に対しても拡張することができる。
図３ａに示すように、一つの信号ラインポートと一つの非信号ラインポートとを有する電子部品１１を実装する基準治具７０には、信号ラインポートの同軸コネクタ７０ａのみが設けられている。電子部品１１の信号ラインポートのみが、同軸コネクタ７０ａ及び同軸ケーブル７５を介して測定装置７６に接続され、信号ラインポートについてのみ測定される。
図３ｂに示すように、一つの信号ラインポートと一つの非信号ラインポートとを有する電子部品１１を実装する試験治具８０には、信号ラインポートの同軸コネクタ８０ａと非信号ラインポートの同軸コネクタ８０ｂとが設けられている。電子部品１１の信号ラインポート及び非信号ラインポートは、同軸コネクタ８０ａ，８０ｂ及び同軸ケーブル８５を介して測定装置８６に接続され、信号ラインポート及び非信号ラインポートについて測定される。
図５（ａ）は、基準治具７０に、一つの信号ラインポートと一つの非信号ラインポートとを有する電子部品１１（以下、「試料１１」とも言う。）を実装したときの２端子対回路を示す。試料１１の信号ラインポートに接続される基準治具７０の一方のポート側２１（端子対００'側）の誤差特性を散乱行列（ＥＤ１）、試料１１の特性を散乱行列（ＳＤＵＴ）で表す。端子対００'は、基準治具７０の同軸コネクタに相当する。信号ラインポート側の端子０'からは、基準治具７０に試料１１を実装したときの測定値Ｓ１１Ｄが得られる。試料１１を基準治具７０に実装したときには、信号ラインポートのみの測定を行うため、試料１１の非信号ラインポートに接続される基準治具７０の他方のポート側２２の誤差特性は、反射係数ΓＤ２のみとなる。
図５（ｂ）は、試験治具８０に試料１１を実装したときの２端子対回路を示す。試料１１の信号ラインポートに接続される試験治具８０の一方のポート側３１（端子対１１'側）の誤差特性を散乱行列（ＥＴ１）、試料１１の特性を散乱行列（ＳＤＵＴ）とする。信号ラインポート側の端子１'からは、試験治具８０に試料１１を実装したときの測定値Ｓ１１Ｔが得られる。試料１１を試験治具８０に実装したときには、非信号ラインポートについても測定を行うため、試料１１の非信号ラインポートに接続される試験治具８０の他方のポート側３２の誤差特性を、散乱行列（ＥＴ２）で表す。非信号ラインポート側の端子２からは、試験治具８０に試料１１を実装したときの測定値Ｓ２１Ｔが得られる。端子対１１'、２２'は、それぞれ、測定装置８６の校正が同軸ケーブル８５の先端で行われた同軸コネクタ接続部に相当する。
図６（ａ）は、図５（ｂ）の回路の両側に、符号３３，３４で示すように、試験治具８０の誤差特性（ＥＴ１），（ＥＴ２）を中和するアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１を接続した状態を示す。このアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１は、理論上は、誤差特性の散乱行列（ＥＴ１），（ＥＴ２）を伝送行列に変換し、その逆行列を求め、再度散乱行列に変換することにより得られる。誤差特性（ＥＴ１），（ＥＴ２）とアダプタ（ＥＴ１）−１，（ＥＴ２）−１との間の境界部分３８，３９を、以下、「校正面３８，３９」と言う。校正面３８，３９においては、試験治具８０に試料１１を実装したときの測定値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔが得られる。この回路では、試験治具８０の誤差は除去されるので、回路の両側の端子からは、試料１１そのものの測定値Ｓ１１ＤＵＴ，Ｓ２１ＤＵＴが得られる。
図６（ａ）の回路は、試料１１のみと等価であるので、図５（ａ）と同様に、両側に、基準治具７０の信号ラインポート側２１の誤差特性の散乱行列（ＥＤ１）と、基準治具７０の非信号ラインポート側２２の誤差特性である反射係数ΓＤ２を接続すると、図６（ｂ）のようになる。
図６（ｂ）において、回路全体の散乱行列は、端子０'の値Ｓ１１Ｄが既知であるので、求めることができる。端子対００'と校正面３８の間の部分４１の２端子対回路を考えると、両側の端子の値Ｓ１１Ｄ，Ｓ１１Ｔが既知であるので、（ＥＤ１）と（ＥＴ１）−１とを合成した散乱行列を求めることができる。校正面３８，３９の間の部分の２端子対回路を考えると、両側の端子の値Ｓ１１Ｔ，Ｓ２１Ｔ，Ｓ１２Ｔ，Ｓ２２Ｔが校正面から直接測定できるので、その散乱行列を求めることができる。端子対００'と校正面３８の間の部分４１の散乱行列と、校正面３８，３９の間の部分の散乱行列とを合成することにより、端子対００'から校正面３９までの散乱行列を求めることができる。残った部分、すなわち校正面３９よりも右側の部分４２について、（ＥＴ２）−１とΓＤ２とを合成した散乱行列は、図６（ｂ）に示した回路全体の散乱行列と、端子対００'と校正面３９との間の合成した散乱行列とから、求めることができる。
つまり、端子対００'と校正面３８の間の部分４１について合成した散乱行列を（Ｃ１）、校正面３９よりも右側の部分４２について（ＥＴ２）−１とΓＤ２とを合成した反射係数をＣ２Γとすると、図７に示すようになる。
この（Ｃ１）は、いわゆる「相対補正アダプタ」であり、ポート毎に独立して求めることができる。（Ｃ１）の各要素をＣ１００，Ｃ１０１，Ｃ１１０，Ｃ１１１とすると、相反定理によりＣ１０１＝Ｃ１１０となる。したがって、相対補正アダプタ（Ｃ１）は、対象となるポートについて電気特性の異なる少なくとも３つの補正データ取得用試料を用意し、それぞれ、基準治具７０と試験治具８０に実装した状態で測定することにより、決定することができる。
すなわち、散乱係数（Ｃ１００，Ｃ１０１，Ｃ１１０，Ｃ１１１）は、３つの補正データ取得用試料について、試験治具８０に実装したときのＳ１１Ｔ、基準治具７０に実装したときのＳ１１Ｄの測定値を、それぞれ、Ｓ１１Ｔｉ、Ｓ１１Ｄｉ（ｉ＝１，２，３）とすると、次の式（１）により求めることができる。ここまでが第１のステップであり、Ｓ １１Ｔｉ 、Ｓ １１Ｄｉ （ｉ＝１，２，３）が第１の測定データである。
Figure 0004009876
非信号ラインポートの相対補正アダプタＣ２Γについては、このようにして求めた散乱係数（Ｃ１００，Ｃ１０１，Ｃ１１０，Ｃ１１１）と、信号ラインポートと非信号ラインポートが接続されたスルーデバイスの測定値とから求める。
すなわち、スルーデバイスを基準治具７０に実装した状態で測定することにより、測定値Ｓ１１Ｄを求める。また、スルーデバイスを試験治具８０に実装した状態で測定することにより、試験治具８０に実装した状態の散乱係数（Ｓ１１Ｔ，Ｓ１２Ｔ，Ｓ２１Ｔ，Ｓ２２Ｔ）を求める。ここまでが第２のステップである。散乱係数（Ｓ １１Ｔ ，Ｓ １２Ｔ ，Ｓ ２１Ｔ ，Ｓ ２２Ｔ ）が第２の測定データである。測定値Ｓ １１Ｄ が第３の測定データである。
そして、図７において校正面３９より左側の部分について、図８に示すように、散乱係数（Ｃ１００，Ｃ１０１，Ｃ１１０，Ｃ１１１）と散乱係数（Ｓ１１Ｔ，Ｓ１２Ｔ，Ｓ２１Ｔ，Ｓ２２Ｔ）とを合成した散乱係数（Ｓ１１Ｉ，Ｓ１２Ｉ，Ｓ２１Ｉ，Ｓ２２Ｉ）を求める。
Ｃ２Γは、測定値Ｓ１１Ｄ及び散乱係数（Ｓ１１Ｉ，Ｓ１２Ｉ，Ｓ２１Ｉ，Ｓ２２Ｉ）とを用いて、次の式（２）により求める。
Figure 0004009876
以上のようにして決定した信号ラインポートの相対補正アダプタ（Ｃ１００，Ｃ１０１，Ｃ１１０，Ｃ１１１）と、非信号ラインポートの相対補正アダプタＣ２Γを用いて、任意の電子部品の電気特性を推定するための数式（後述する式（３））を決定する。ここまでが第３のステップである。
一つの信号ラインポートと一つの非信号ラインポートを有する２ポートの試料１１については、試験治具８０に実装した状態で測定を行い、試験治具８０に電子部品を実装した状態での散乱係数（Ｓ１１Ｔ，Ｓ１２Ｔ，Ｓ２１Ｔ，Ｓ２２Ｔ）を求める。ここまでが第４のステップである。
次いで、下記の（３）式を用いて、基準治具７０に実装した状態で測定したならば得られる測定値Ｓ１１Ｄを算出することができる。ここまでが第５のステップである。
Figure 0004009876
 式（３）は、「前記信号ラインポートに対する補正を行うための項」である信号ラインポートについての相対補正アダプタ（Ｃ１ ００ ，Ｃ１ ０１ ，Ｃ１ １０ ，Ｃ１ １１ ）と、「前記非信号ラインポートに対する補正を行うための項」である非信号ラインポートの相対補正アダプタＣ２Γとを含む、「前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」である。
以上の第１〜第５のステップを実行することにより、任意のＭポートの非信号ラインポートを持つＮポートの電子部品（Ｍ<Ｎ）についても、前記電子部品を試験治具に実装した状態で測定を行い散乱係数を求め、各信号ラインポート、各非信号ラインポートにそれぞれ対応する相対補正アダプタを合成することによって、前記電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られる測定値を算出することができる。
試験治具３０，８０を用いる測定装置３６，８６は、非信号ラインポートについて上述したような測定誤差の補正を行うことができるように構成されている。基準治具２０，７０を用いる測定装置２６，７６は、非信号ラインポートについて測定を行わないので、特に測定装置３６，８６と同じ構成とする必要はない。もっとも、測定装置３６，８６と同じ構成のものであっても、使用可能である。
次に、非信号ラインポートについて測定可能な測定装置３６，８６の構成について、図４のブロック図を参照しながら説明する。
測定装置３６，８６は、電子部品特性測定装置であり、表示部５２と、操作部５４と、測定部５６と、制御部５８と、記憶部６０と、演算部６２と、インターフェース部６４とを備える。
表示部５２は、表示パネル等を含み、測定装置３６，８６の動作状況や操作指示などを表示する。操作部５４は、ボタンやスイッチなどを含み、オペレータからの電子部品測定装置３６，８６に対する操作を受け付ける。測定部５６は、同軸ケーブル３５，８５及び試験治具３０，８０を介して、電子部品１０，１１の端子に接続される。測定部５６は、電子部品１０，１１の端子を適宜に選択して信号を入力し出力信号を測定する。制御部５８は、測定装置３６，８６全体の制御を統括する。記憶部６０には、制御部５８や演算部６２を動作させるためのプログラム、測定部５６からの測定データ、演算部６２の演算結果データなどが格納される。演算部６２は、測定部５６からのデータや記憶部６０に格納されたデータを用い、所定のプログラムに従って演算を行う。インターフェース部６４は、外部機器とデータを送受信するためのインターフェースであり、記憶部６０に格納するためのデータやプログラムや、演算部６２からの演算結果データなどを受け付け、入出力を行う。
測定装置３６，８６は、記憶部６０に格納されたプログラムに従って動作する。電子部品測定装置３６，８６は、校正モードと測定モードを含む複数の動作モードで動作させることができる。
校正モードでは、基準治具２０，７０と試験治具３０，８０との間の相対的な測定誤差を補正するためのデータを取得し、電気特性を推定するための数式を決定する。すなわち、測定部５６は、基準治具２０，７０や試験治具３０，８０にデータ取得用試料やスルーデバイス（標準試料）が実装された状態で、順次、測定を行う。このとき、例えば表示部５２に測定対象が表示される。オペレータは、表示された測定対象の準備が完了すると、操作部５４を操作する。この操作を操作部５４が受け付けると、測定部５６は測定を開始し、測定データは記憶部６０に格納される。演算部６２は、記憶部６０に格納された測定データを、適宜なタイミングで読み出して、前述した補正アダプタ（Ｃ１００，Ｃ１０１，Ｃ１１０，Ｃ１１１）、Ｃ２Γなどを演算し、電気特性を推定するための数式を決定する。このようにして決定されて数式は、記憶部６０に格納される。このように、測定部５６は測定手段として動作し、演算部６２は数式決定手段として動作し、記憶部６０は記憶手段として動作する。
測定モードでは、試験治具３０，８０を用いた測定データから、基準治具２０，７０を用いて測定した場合の電気特性を推定する。すなわち、測定部５６は、試験治具３０，８０に任意の電子部品１０，１１が実装された状態で測定を行う。演算部６２は、測定部５６からの測定データから、電子部品１０，１１の電気特性の推定値を算出する。このとき、演算部６２は、校正モードで決定された数式を記憶部６０から読み出し、その数式を用いて、電子部品１０，１１の電気特性の推定値を算出する。算出された推定値は、表示部５２に表示されたり、インターフェース部６４から外部機器に出力されたりする。このように、測定部５６は測定手段として動作し、演算部６２は電気特性推定手段として動作する。
なお、記憶部６０に、別途決定した電気特性を推定するための数式を予め格納しておき、演算部６２がその数式を用いるようにすれば、校正モードを省略しても、試験治具３０，８０に実装した任意の電子部品１０，１１の電気特性の推定を行うことが可能である。この場合、記憶部６０は、記憶手段ではなく、数式記憶手段として動作する。また、演算部６２は、電気特性推定手段として動作するが、数式決定手段としては動作しない。試験治具３０，８０と電子部品特性測定装置との組み合わせを自由に変えることができるので、柔軟に測定作業を行うことができる。
次に、ＲＦ測定を利用した断線検出方法について説明する。
セラミックの多層を利用したＬＣチップバンドパスフィルターのように、能動素子のバランス出力（２ポート）の断線チェック用として、非信号ラインポート（ＤＣ電源ポート）が内蔵されている電子部品が主流になりつつある。断線検出方法としては、図３１に示すように、ＤＵＴ３００のＤＣポートに直流（ＤＣ）電源３０４を接続し、バランス出力ポート（ポート２，３）の後にそれぞれバイアスＴ回路３１０を接続して、インダクタ３１２，３１６とキャパシタ３１４，３１８で、ＤＣとＲＦ信号を分離し、バイアスＴ回路３１０のＤＣ出力を検出することで、バランス出力ポートの断線チェックを行っている。また、ＤＣポートに接続されるＤＣ電源３０４の影響を無くすために、ＤＣポートにおいてＤＵＴ３００の近傍に１００ｐＦ程度のパスコン３０２を接続している。
現在、ユーザーに対しては、ＤＣポートがない治具（基準治具）で保証し、実際の工程ではＤＣポートを使用した試験治具で測定を行っている。試験治具測定値から基準治具測定値を推定するために、ＤＣポートをＲＦ測定し、非特許文献１等に開示された相対補正法を応用することが考えられる。その場合、先行技術をそのまま使用すると、ＤＣポートをＲＦ測定し試験治具を補正した後、電源を接続することで、補正特性に散乱誤差が生じたり、ＤＣポートラインの容量によって、ＤＣポートのＲＦ測定自体が困難になり、基準治具と試験治具の補正ができなくなったりする。ＤＣポートラインのパスコン容量の影響として、ＤＣポートからのＲＦ信号がＤＵＴに到達することなくパスコンで全反射するために、ＲＦ測定が困難になるためである。ＤＣポートのパスコン容量とＬｏａｄ標準試料の特性（Ｓ４４）は、例えば図３２に示したようになる。パスコン容量４ｐＦでは、Ｌｏａｄ抵抗試料のＲＦ特性がｓｈｏｒｔ標準試料と同一特性を示してしまい、相対補正に必要な標準試料の測定が困難になる。また、断線チェックのために、ＤＣ電源やバイアスＴ回路も必要になり、システムだけでなく、特性保証のための管理方法も複雑になる。
そこで、ネットワークアアナライザを用いてＲＦ測定を行い、断線を検査する。非信号ラインポート（ＤＣポート）を含む試験治具において、ＤＣポートにＲＦコネクタを実装し、ネットワークアナライザにおいてＲＦ測定可能な状態とする。デバイスを試験治具に実装した状態で、ＤＣポートから低周波（１点）のＲＦ信号を出力し、バランス出力ポートヘの伝送特性を測定して、伝送特性レベルの大きさで出力ポート間の断線、非断線を判断する。ただし、高周波領域で相対補正を行うためには、ＤＣポートに接続可能なパスコン容量は２ｐＦ以下であることが望ましい。
基準治具と試験治具の間の補正を行うために、試験治具では非信号ラインポートのＲＦ測定を行うが、試験治具が補正されたままの状態で、ＤＵＴの出力断線チェックを行うことができる。つまり、非信号ラインポートを有さないユーザー保証状態と等しい条件で測定可能な試験治具（非信号ラインポートを含む）において、試験治具の補正環境と同一状態で、ＤＣ電源を接続せずに出力ポートの断線チェックを行うことができる。試験治具に断線チェックのための電源やバイアスＴの接続が不要となり、試験治具の補正環境を保ったまま、断線チェックができる。そのため、より高精度な電気特性のユーザー保証を可能にすることができる。
断線チェック用のＲＦ信号は、ネットワークアナライザの最低周波数（例えば、３００ＫＨｚ）にすればデバイスの保証帯域に対して十分低い周波数となるのでＤＣに近い測定が可能であり、１点測定でよいために、断線チェック時問も短時間で済み、タクトダウンの障害とはならない。
ネットワークアナライザのみで信号ラインポートの測定と出力断線チェックを両立することができ、ＤＣ電源やバイアスＴ回路が不要となるために、シンプルな測定システムとなり、経済性効果も大きい。
また、ＤＣポートに不可欠なパスコン容量を必要としないため、基準治具と試験治具間の補正も適切に行うことができる。
この断線検出方法を一般化して記載すると次のようになる。
電子部品の試験治具測定値から基準治具実装時の電気特性が推定可能な状態で、電子部品内部の断線検出を行う方法であって、
試験治具のＤＣポートから電子部品に低周波のＲＦ信号を入力する第１のステップと、
ＤＣポートと出力ポート間の伝送特定を測定する第２のステップと、
前記第２のステップで得られた伝送特性と予め設定した閾値とを比較することにより、出力ポートの断線検出を行う第３のステップとを備えることを特徴とする、電子部品の断線検出方法。
上記方法によれば、ＤＣ電源やバイアスＴ回路を接続せず、ネットワークアナライザのみで出力ポートの断線検出を行うことにより、試験治具の補正環境と同一状態が維持され、高精度の電気特性保証を行うことができる。また、シンプルな測定系であり、測定時間も短くて済むため、経済的な効果も高い。
上記電子部品の断線検出は、試験治具実装状態での電気特性の測定が無駄にならなよう、電子部品の試験治具実装状態での電気特性の測定に先立って行うことが好ましい。
次に、本発明の実施例について説明する。
電子部品１０には、図９に示す不平衡入力−平衡出力２．４ＧＨｚ帯ＬＣフィルタを用いる。このデバイスは、信号ラインポートであるポート１〜３と、非信号ラインポートであるＤＣポートを備えている。ポート１は不平衡入力ポート、ポート２及び３は平衡出力ポートである。ＤＣポートは、製造時の特性選別工程においてマルチメータで直流的なチェックを行うため、マルチメータに接続するためのポートである。ＤＣポートは、製品としては使用されないため、ユーザ使用時には開放状態となる。
図２ｂに示すように、試験治具３０は、ポート１〜３と測定装置３６とを接続する同軸コネクタ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ以外に、ＤＣポートにマルチメータを接続するための同軸コネクタ３０ｄを有している。つまり、信号ラインポート（ポート１〜３）と非信号ラインポート（ＤＣポート）が測定される。
一方、ユーザ保証状態となる基準治具２０において、ＤＣポートは開放状態となっていて、図２ａに示すように、信号ラインポート（ポート１〜３）のみが測定され、非信号ラインポート（ＤＣポート）は測定されない。このような治具２０，３０間の非信号ラインポートの違いにより、試験治具３０と基準治具２０とでデバイス測定値が変化する。
具体的な実験条件は、次の通りである。
・ＤＵＴ 不平衡入力−平衡出力２．４ＧＨｚ帯ＬＣフィルタ
・測定器 ＡＤＶＡＮＴＥＳＴ Ｒ３７６７ＣＧ（８ＧＨｚ ４ポートネックワークアナライザ）
・周波数範囲 ５００ＭＨｚ〜３．５ＧＨｚ
・データ点数 ８０１点
・ＩＦ帯域幅 １ｋＨｚ
・基準治具 ＤＣポートを省いた３ポート治具
・試験治具 ＤＣポートにＳＭＡコネクタを取り付け、ポート１（不平衡入力）、ポート２（平衡出力）に３ｄＢのアッテネータ、ポート３（平衡出力）にディレイを取り付けた４ポート治具
・標準試料 非信号ラインポートに対する標準試料として、ポート１、ポート４間をスルーする標準試料を１つ用意した。真値は不明である。
・評価内容 ＳＤＳ２１、ＳＳＳ２２、ＳＤＤ２２、ＳＣＳ２１、Ｓ２１／Ｓ３１、Ｐｈａｓｅ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａ１
・ＤＵＴの簡易的な回路図を図９に示す。
図１０〜１３に、本発明を用いて試験治具測定値から基準治具測定値を推定した結果を示す。図中、本発明の手法を用い非信号ラインポートの相対補正アダプタを導出した場合については「非ＲＦポート補正」、従来の手法を用い非信号ラインポートの相対補正アダプタを導出しなかった場合については「非ＲＦポート無視」としてデータを示している。
図１０及び図１１では平衡度のよい試料を使用しているため、ＳＤＳ２１、ＳＳＳ１１、ＳＤＤ２２では、非信号ラインポートの補正アダプタの効果が見えてきていない。
図１１及び図１２から平衡度の違いに大きく影響されるパラメータＳＣＳ２１、Ｓ２１／Ｓ３１、Ｐｈａｓｅ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａ１においてはその効果が確認できる。
ＳＣＳ２１、Ｓ２１／Ｓ３１では、ＤＵＴのバランスが取れていない低周波側でその効果が確認でき、またＰｈａｓｅ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａ１では通過域においてもその効果が確認できる。
また、本発明の実施例の説明で用いたＤＵＴについて、ポート２，３とＤＣポート（ポート４）間の断線検出を行った。そのためには、試験治具測定値から基準治具測定値を推定可能な試験治具基板状態において、非信号ラインポート（ＤＣポート）をネットワークアナライザのポート４に接続する。このとき、ＤＣポートラインに実装されるパスコン容量は２ｐＦ以下であることが望ましい。測定回路を、図３３に示す。３００ｋＨｚの周波数をＤＣポート（ポート４）から出力し、バランス出力ポート（ポート２，３）への伝送特性（Ｓ２４，Ｓ３４）レベルを測定した。
出力ポート２，３が断線している場合（不良）と、非断線の場合（良品）のＳ２４，Ｓ３４の伝送特性レベルを測定した結果を、図３４に示す。この結果から、明らかに、断線、非断線時のレベルに有意性があり、適宜な閾値を設定することによりネットワークアナライザで出力ポートの断線を検出できることが確認できる。
非信号ラインポート（ＤＣポート）にパスコンや電源を接続せずに信号ラインポートとして扱うことで、試験治具の補正環境を維持したままで、出力ポートの断線チェックが可能となる。試験ＲＦ信号３００ｋＨｚは、デバイスの周波数帯域２．４ＧＨｚに比べて十分に低い周波数のため、略ＤＣとして扱うことができる。
（第２の実施形態）
「フロートタイプ」の非信号ラインポートを有する電子部品について、図１４〜図２７を参照しながら説明する。
例えば図１４に示すように、電子部品１１０は、信号ラインポート１１２，１１４（入出力用のポート１、ポート２）以外に、インダクタ１００を並列接続する２つの非信号ラインポート１１６，１１８を有する。電子部品１１０は、キャパシタ１１１をπ型に結合した共振回路の特性（Ｑ値）を改善するため、インダクタ１００を接続して使用される。
図１５に示すように、電子部品１１０は、第１の実施形態と同様に、基準治具１２０及び試験治具１３０にそれぞれ実装した状態で、測定装置１２６，１３６を用いて測定することができる。
図１５（ａ）に示すように、基準治具１２０は、電子部品１１０の信号ラインポート１１２，１１４に接続される同軸コネクタ１２０ｓ，１２０ｔと、電子部品１１０の非信号ラインポート１１２，１１４間に接続されるインダクタ１２１とを備える。同軸コネクタ１２０ｓ，１２０ｔには、それぞれ同軸ケーブル１２５が接続され、電子部品１１０の信号ラインポート１１２，１１４について測定装置１２６で測定する。
図１５（ｂ）に示すように、試験治具１３０は、電子部品１１０の信号ラインポート１１２，１１４に接続される同軸コネクタ１３０ｓ，１３０ｔと、電子部品１１０の非信号ラインポート１１６，１１８に接続される同軸コネクタ１３０ｍ，１３０ｎとを備える。同軸コネクタ１１２，１２４，１２６，１２８には、それぞれ同軸ケーブル１３５が接続され、電子部品１１０の信号ラインポート１１２，１１４及び非信号ラインポート１１６，１１８について、測定装置１３６で測定する。
測定装置１２６，１３６は、電子部品特性測定装置であり、第１実施形態の測定装置２６，３６と同様に構成する。測定装置１２６，１３６に接続された同軸ケーブル１２５，１３５の先端は、第１の実施形態と同様に、標準器を用いて校正しておく。
次に、電子部品１１０を試験治具１３０に実装した状態で測定した結果から、その電子部品１１０を基準治具１２０に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を推定する基本原理について説明する。
図１６は、図１５（ａ）のように、電子部品１１０を基準治具１２０に実装したときのシグナルフローダイヤグラムである。端子対１１'，２２'は、基準治具１２０の同軸コネクタ１２０ｓ，１２０ｔ（測定装置１２６の校正が同軸ケーブル１２５の先端で行われた同軸コネクタ接続部）に対応する。基準治具１２０の同軸コネクタ１２０ｓ，１２０ｔと電子部品１１０の２つの信号ラインポート１１２，１１４との間の部分１２２，１２４の電気特性を、（ＥＤ），（ＦＤ）とする。インダクタ１２１が接続されている電子部品１１０の２つの非信号ラインポート１１６，１１８間の部分の電気特性を（Ｌ）とする。
図１７は、図１５（ｂ）のように、電子部品１１０を試験治具１３０に実装したときのシグナルフローダイヤグラムである。端子対１１'，２２'，３３'，４４'は、試験治具１３０の同軸コネクタ１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄ（測定装置１３６の校正が同軸ケーブル１３５の先端で行われた同軸コネクタ接続部）に対応する。試験治具１３０の同軸コネクタ１３０ｓ，１３０ｔと、電子部品１１０の２つの信号ラインポート１１２，１１４との間の部分１３２，１３４の電気特性を（ＥＴ），（ＦＴ）とする。電子部品１１０の２つの非信号ラインポート１１６，１１８と、試験治具１３０の同軸コネクタ１３０ｍ，１３０ｎとの間の部分１３６，１３８の電気特性を（ＧＴ），（ＨＴ）とする。
図１８は、スルーデバイス１４０を基準治具１２０に実装したときのシグナルフローダイヤグラムである。スルーデバイス１４０は、電子部品１１０のポート１１２，１１４，１１６，１１８に対応するポート１４２，１４４，１４６，１４８を有し、信号ラインポートに対応するポート１４２，１４４と非信号ラインポートに対応するポート１４６，１４８との間が、それぞれ電気的に接続されたものである。一方のポート１４２，１４６間の部分１４０ａの電気特性を（Ｔ１）、他方のポート１４４，１４８間の部分１４０ｂの電気特性を（Ｔ２）とする。
スルーデバイス１４０を基準治具１２０に実装した状態で測定される値は、図中の符号を伝送係数行列であるとすると、次式（４）のように表すことができる。
（Ｄｔｈｒｕ）＝（ＥＤ）・（Ｔ１）・（Ｌ）・（Ｔ２）・（ＦＤ） ・・・（４）
図１９は、スルーデバイス１４０を試験治具１３０に実装したときのシグナルフローダイヤグラムである。ここで、簡単のため、試験治具１３０のポート１、ポート２の誤差要因については、前述した信号ラインポートについての相対補正アダプタを用いることにより、基準治具１２０の誤差要因（ＥＤ），（ＦＤ）に補正しておく。つまり、端子対１１'，２２'は、基準治具１２０の同軸コネクタ１２０ｓ，１２０ｔに相当する。
スルーデバイス１４０を試験治具１３０に実装した状態で測定される値は、図中の符号を伝送係数行列であるとすると、端子対１１'−３３'間については、次式（５）のように表すことができる。
（Ｔ１ｔｈｒｕ）＝（ＥＤ）・（Ｔ１）・（ＧＴ） ・・・（５）
また、端子対２２'−４４'間については、次式（６）のように表すことができる。
（Ｔ２ｔｈｒｕ）＝（ＨＴ）・（Ｔ２）・（ＦＤ） ・・・（６）
図１９に示した端子対３３'，４４'に、図２０に示すように、それぞれ、誤差特性（ＧＴ）、（ＨＴ）を中和するアダプタ（ＧＴ）−１、（ＨＴ）−１を接続し、その先にインダクタ１２１を接続する場合を考える。これは、図１８に示したスルーデバイス１４０を基準治具１２０に実装した状態と等価となる。基準治具１２０の非信号ラインポート間の相対補正アダプタを（ＣＡ）とすると、次式（７），（８）が成り立つ。
（ＣＡ）＝（ＧＴ）−１・（Ｌ）・（ＨＴ）−１ ・・・（７）
（Ｄｔｈｒｕ）＝（Ｔ１ｔｈｒｕ）・（ＣＡ）・（Ｔ２ｔｈｒｕ） ・・・（８）
式（８）の両辺に、左右から逆行列（Ｔ１ｔｈｒｕ）−１，（Ｔ２ｔｈｒｕ）−１を掛けると、
（ＣＡ）＝（Ｔ１ｔｈｒｕ）−１・（Ｄｔｈｒｕ）・（Ｔ２ｔｈｒｕ）−１ ・・・（９）
となる。
この式（９）に、式（４）〜（６）を代入すると、
（ＣＡ）＝｛（ＥＤ）・（Ｔ１）・（ＧＴ）｝−１・｛（ＥＤ）・（Ｔ１）・（Ｌ）・（Ｔ２）・（ＦＤ）｝・｛（ＨＴ）・（Ｔ２）・（ＦＤ）｝−１
＝（ＧＴ）-1・（Ｔ１）−１・（ＥＤ）-1・（ＥＤ）・（Ｔ１）・（Ｌ）・（Ｔ２）・（ＦＤ・（ＦＤ）-1・（Ｔ２）-1・（ＨＴ）−１
＝（ＧＴ）−１・（Ｌ）・（ＨＴ）−１ ・・・（１０）
となり、式（７）と一致する。
つまり、信号ラインポートについて、図２１に示す相対補正アダプタ（Ｃ１），（Ｃ２）を予め求めておき、非信号ラインポートについては、スルーデバイス１４０を基準治具１２０に実装した状態で測定して求めた（Ｄthru）と、スルーデバイス１４０を試験治具１３０に実装した状態で測定して求めた（Ｔ１thru），（Ｔ２thru）とを用いて、非信号ラインポートについての相対補正アダプタ（ＣＡ）を決めることができる。すなわち、第１のステップにおいて、信号ラインポートについて、図２１に示す相対補正アダプタ（Ｃ１），（Ｃ２）を求める。第２のステップにおいて、スルーデバイス１４０を基準治具１２０に実装した状態と試験治具１３０に実装した状態とで測定する。第３のステップにおいて、第１のステップで求めた相対補正アダプタ（Ｃ１），（Ｃ２）を用いて、第２のステップでの測定結果を信号ラインポートについて基準治具１２０での誤差要因（Ｅ Ｄ ），（Ｆ Ｄ ）に補正したスルーデバイス１４０の電気特性（Ｄ thru ）と（Ｔ１ thru ），（Ｔ２ thru ）とを求め、式（９）により相対補正アダプタ（ＣＡ）を決める。
任意の電子部品１１０を試験治具１３０に実装した状態で測定すると、図２１に示したように、試験治具１３０と相対補正アダプタ（Ｃ１），（Ｃ２），（ＣＡ）との境界における値が得られる。相対補正アダプタ（Ｃ１），（Ｃ２），（ＣＡ）の値が決まれば、基準治具１２０の同軸コネクタ１２０ｓ，１２０ｔに相当する端子対１１'，２２'の値を算出することができる。つまり、第４のステップにおいて、任意の電子部品１１０を試験治具１３０に実装した状態で測定する。次いで、第５のステップにおいて、第４のステップでの測定結果から、その電子部品１１０を基準治具１２０に実装したならば得られるであろうその電子部品１１０の電気特性の推定値を算出することができる。
次に、上記方法の実施例として、数値解析を示す。
図２２（ａ）は、基準治具１２０について誤差要因を想定した電気回路図である。試料実装部１２０ｘとの間の各素子１２０ａ〜１２０ｃの値を次の通り設定した。
・キャパシタ１２０ａ：０．１ｐＦ
・インダクタ１２０ｂ：０．１ｎＨ
・インダクタ１２０ｃ：１．０ｎＨ
図２２（ｂ）は、試験治具１３０について誤差要因を想定した電気回路図である。試料実装部１３０ｘとの間の各素子１３０ａ〜１３０ｄの数値を次の通り設定した。
・インダクタ１３０ａ：０．２ｎＨ
・キャパシタ１３０ｂ：０．２ｐＦ
・インダクタ１３０ｃ：０．１ｎＨ
・インダクタ１３０ｄ：０．１ｎＨ
図２３（ａ）は、非信号ラインポートについて相対補正アダプタを算出するために用いるスルーデバイス１４０の電気回路図である。ポート１，３間と、ポート２，４間とに、それぞれ、インダクタ１４０ａ，１４０ｂが接続されている。設定した数値は次の通りである。
・インダクタ１４０ａ：０．０５ｎＨ
・インダクタ１４０ｂ：０．０７５ｎＨ
図２３（ｂ）は、電気特性を測定する電子部品１１０の電気回路図である。キャパシタ１１０ａ〜１１０ｃによりπ型共振子を構成している。設定した数値は次の通りである。
・キャパシタ１１０ａ：０．３ｐＦ
・キャパシタ１１０ｂ：０．３ｐＦ
・キャパシタ１１０ｃ：０．２ｐＦ
以上のように数値を設定した基準治具１２０及び試験治具１３０に、スルーデバイス１４０及び電子部品１１０を実装して測定した場合について、測定周波数を１０ＧＨｚとして電気特性を計算した。
まず、ポート１、ポート２の相対補正アダプタを求めると、試験治具１３０での測定値は、図２４のような状態で測定した値に変換される。つまり、試験治具１３０のポート１（１３０ｓ）、ポート２（１３０ｔ）が相対補正法の効果によって基準治具１２０のポート１（１２０ｓ）、ポート２（１２０ｔ）に置き換わった場合の測定値が得られる。
次に、スルーデバイス１４０を基準治具１２０と試験治具１３０の両方で測定する。試験治具１３０の測定結果のうち、ポート１、ポート２については、相対補正を行う。これによって、図２５の状態の測定結果が得られる。基本原理の説明では伝送係数行列を用いたが、ここでは直感的な分かりやすさのために散乱係数行列で表し、基準治具１２０のポート１−２間の散乱係数行列を（Ｓｔｈｒｕ）、試験治具１３０のポート１−３間の散乱係数行列を（Ｓ１ｔｈｒｕ）、試験治具１３０のポート２−４間の散乱係数行列を（Ｓ２ｔｈｒｕ）とすると、それぞれの状態の測定値は、次のようになる。
Figure 0004009876
Figure 0004009876
Figure 0004009876
以上の結果から、式（７）を用いると、「フロートタイプ」の非信号ラインポート間についての相対補正アダプタ（ＣＡ）は、散乱係数行列（ＳＡ）で表すと、次のようになる。
Figure 0004009876
このようにして求めた相対補正アダプタを用いて、電子部品１１０を試験治具１３０に実装したときの測定値から、基準治具１２０に実装したときの測定値を推定する。図２６（ｂ）は、電子部品１１０を試験治具１３０に実装して測定した状態を示す。この測定結果に、ポート１、ポート２の相対補正を行うと、次の散乱係数行列が得られる。
Figure 0004009876
 この散乱係数行列に、（数９）のフロート相対補正アダプタ（ＳＡ）を接続した状態を計算した結果は、次のようになる。
Figure 0004009876
 この散乱係数行列が、電子部品１１０を基準治具１２０に実装して測定した場合の測定値の推定値である。
次に、図２６（ａ）に示すように、同じ電子部品１１０を基準治具１２０に接続して測定した場合について計算すると、散乱係数行列は次のようになる。
Figure 0004009876
上記の散乱係数行列（１１），（１２）を比較すると、推定値と測定値とは完全に一致しており、フロートタイプの電子部品にも相対補正法が適用できることが確認できる。
次に、図２７に、デュプレクサの試料について、その電気特性の実測値と、第２の実施形態の相対補正法による推定値のグラフを示す。デュプレクサの試料を試験治具に実装して測定した値（Ｐｒｏｄ．）と、基準治具に実装して測定した値（Ｓｔｄ．）と、第２の実施形態の手法を用いて、試験治具に実装して測定した値から基準治具に実装した場合の特性値を計算した推定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ．）とを示している。図２７（ａ）は、デュプレクサの反射特性を示すパラメータＳ１１について示している。図２７（ｂ）は透過特性を示すパラメータＳ２１，Ｓ３１について示している。
図２７から、反射特性についても、透過特性についても、推定値（Ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ．）は実測値（Ｐｒｏｄ．）と略一致しており、「フロートタイプ」についても相対補正の効果が確認できる。
（まとめ）
以上に説明したように、非信号ラインポートを有するデバイスは、ユーザ保証状態において非信号ラインポートはユーザ使用状態を推定して特性保証しなければならないため、基準治具における非信号ラインポートのＲＦ測定は不可能である。そのため、非信号ラインポートもＲＦ測定可能な試験治具の測定値から、非信号ラインポートのＲＦ測定ができない基準治具の測定値を推定する手法が必要であるが、本発明はこの要求を満足するものである。
本発明によれば、ユーザ保証状態と等しい条件でのデバイス特性の推定が可能になり、より高精度な電気特性のユーザ保証を可能になり、良品の向上などの効果も得られる。また、治具間の相対的な誤差を測定して補正するため、治具の調整は全く必要ないので、デバイスの帯域幅が広い場合においても問題なく適用できる。
本発明は、「シャントタイプ」の非信号ラインポートを有するモジュール商品（電源ラインを有する能動素子全般、外部付属部品のパラメータ変化により動作領域を制御するデバイス）に加え、「フロートタイプ」の非信号ラインポートを有する高周波デバイス（フィルタ、デュプレクサ等）にも適用することができる。
さらには、「シャントタイプ」と「フロートタイプ」とが混成された電子部品についても、前述した基本原理を組み合わせることにより、本発明を適用可能である。
例えば図２８に示すように、複数の共振子２１０ｓで構成したデュプレクサ２１０は、信号ラインポート２１０ａ〜２１０ｃと、「シャントタイプ」の非信号ラインポート２１０ｆ，２１０ｇと、「フロートタイプ」の非信号ラインポート２１０ｄ，２１０ｅ，２１０ｈ，２１０ｉとを有する。このようなデュプレクサ２１０についても、本発明を適用可能である。この場合、図２８（ａ）に示すように、デュプレクサ２１０を基準治具２２０に実装した状態では、非信号ラインポート２１０ｄ〜２１０ｉには基準治具２２０の素子２２２，２２４，２２６，２２８が接続され、信号ラインポート２１０ａ〜２１０ｃ、すなわちポート１〜ポート３についてのみ測定を行う。図２８（ｂ）に示すように、デュプレクサ２１０を試験治具２３０に実装した状態では、ポート１〜ポート９、すなわち信号ラインポート２１０ａ〜２１０ｃ及び非信号ラインポート２１０ｄ〜２１０ｉの測定を行う。
なお、本発明は、上記実施形態や実施例に限定されるものではなく、種々の変形を加えて実施することができる。
基準治具と試験治具の説明図である。 基準治具を用いて測定する場合の全体構成図である。 試験治具を用いて測定する場合の全体構成図である。 基準治具を用いて測定する場合の全体構成図である。 試験治具を用いて測定する場合の全体構成図である。 測定装置のブロック図である。 本発明の誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。 本発明の誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。 本発明の誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。 本発明の誤差補正の基本原理を示す２端子対回路図である。 非信号ラインポートを有する電子部品の回路図である。 図９の電子部品の電気特性図である。 図９の電子部品の電気特性図である。 図９の電子部品の電気特性図である。 図９の電子部品の電気特性図である。 「フロートタイプ」の電子部品の回路図である。 （ａ）基準治具、（ｂ）試験治具を用いて測定する場合の全体構成図である。 電子部品を基準治具に実装して測定する場合のシグナルフローダイヤグラムである。 電子部品を試験治具に実装して測定する場合のシグナルフローダイヤグラムである。 スルーデバイスを基準治具に実装して測定する場合のシグナルフローダイヤグラムである。 信号ラインポート相対補正後においてスルーデバイスを試験治具に実装して測定する場合のシグナルフローダイヤグラムである。 相対補正アダプタを想定したときのシグナルフローダイヤグラムである。 相対補正アダプタを想定したときのシグナルフローダイヤグラムである。 （ａ）基準治具、（ｂ）試験治具の回路図である。 （ａ）スルーデバイス、（ｂ）被検体の回路図である。 信号ラインポートの相対補正後の試験治具の回路図である。 信号ラインポート相対補正後のスルーデバイス測定時の回路図である。 被検体測定時の回路図である。 電子部品の電気特性図である。 （ａ）基準治具、（ｂ）試験治具にデュプレクサを実装したときの電気回路図である。 「シャントタイプ」の電子部品に用いる基準治具と試験治具の説明図である。 「フロートタイプ」の電子部品に用いる基準治具と試験治具の説明図である。 断線検出方法を示す電気回路図である。 ＤＣパスコン容量とＲＦ特性の関係を示すグラフである。 断線測定時の回路図である。 断線測定結果の表である。
符号の説明
１０，１１ 電子部品
２０ 基準治具
２６ 測定装置
３０ 試験治具
３６ 測定装置（電子部品特性測定装置）
５２ 表示部
５４ 操作部
５６ 測定部（測定手段）
５８ 制御部
６０ 記憶部（記憶手段、数式記憶手段）
６２ 演算部（数式決定手段、電気特性推定手段）
６４ インターフェース部
７６ 測定装置
８６ 測定装置（電子部品特性測定装置）
１００ インダクタ（素子）
１１０ 電子部品
１１２ ポート（第１の信号ラインポート）
１１４ ポート（第２の信号ラインポート）
１１６ ポート（第１の非信号ラインポート）
１１８ ポート（第２の非信号ラインポート）
１２０ 基準治具
１２６ 測定装置
１３０ 試験治具
１３６ 測定装置（電子部品特性測定装置）
１４０ スルーデバイス
２１０ 電子部品
２２０ 基準治具
２３０ 試験治具（電子部品特性測定装置）

Claims (15)

  1. 高周波信号の印加または検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、該信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品について、前記電子部品を試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法であって、
    少なくとも３種類の補正データ取得用試料を前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定する第１のステップと、
    信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを用意し、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定し、かつ、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態で当該信号ラインポートを測定する第２のステップと、
    前記第１及び第２のステップで得られた測定値に基づいて導出される、前記信号ラインポートに対する補正を行うための項と、前記非信号ラインポートに対する補正を行うための項とを含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式を決定する第３のステップと、
    任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定する第４のステップと、
    前記第４のステップで得られた測定値に基づいて、前記第３のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する第５のステップとを備えたことを特徴とする、測定誤差の補正方法。
  2. 前記第３のステップにおいて、前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２のステップにおいて前記補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定した結果を、前記第１のステップで得られた測定値から得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる散乱行列ＳＩ（各要素を、Ｓ１１Ｉ、Ｓ１２Ｉ、Ｓ２１Ｉ、Ｓ２２Ｉとする）と、前記第２のステップで得られる前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における当該信号ラインポートの測定値Ｓ１１Ｄとを用いて次式
    Figure 0004009876
    のように示されることを特徴とする、請求項１に記載の測定誤差の補正方法。
  3. 前記電子部品は、少なくとも２つの第１及び第２の前記信号ラインポートと、少なくとも２つの第１及び第２の前記非信号ラインポートとを有し、該第１及び第２の前記非信号ラインポートの間に素子が接続され、
    前記電子部品の前記第１及び第２の非信号ラインポートにより影響を受ける前記第１及び第２の信号ラインポート間の電気特性の推定値の算出については、
    前記第１のステップにおいて、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートについて、電気特性を測定し、
    前記第２のステップにおいて、前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、かつ、前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、
    前記第３のステップにおいて、前記電子部品の前記第１及び第２の非信号ラインポートにより影響を受ける前記第１及び第２の信号ラインポート間の電気特性の推定値を算出するための前記数式に含まれる前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２のステップにおいて前記補正データ取得用スルーデバイスを前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定した結果を、前記第１のステップで得られた測定値から得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ１thru）及び前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ２thru）と、前記第２のステップで得られる前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄthru）とを用いて次式
    （ＣＡ）＝（Ｔ１thru）−１・（Ｄthru）・（Ｔ２thru）−１
    のように示される伝送係数行列又は該伝送係数行列を変換した散乱係数行列を用いることを特徴とする、請求項１に記載の測定誤差の補正方法。
  4. 前記第５のステップにおいて、前記算出方法は、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、前記非信号ラインポートにおいては、前記第３のステップにおける前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を前記相対補正アダプタとして用い推定することを特徴とする、請求項１、２又は３に記載の測定誤差の補正方法。
  5. 前記第２のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の測定誤差の補正方法。
  6. 高周波信号の印加または検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、該信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品について、前記電子部品を試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定し、その測定結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
    前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定する測定手段と、
    少なくとも３種類の補正データ取得用試料を前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定した第１の測定データと、信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを、前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定した第２の測定データと、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態で当該信号ラインポートを測定した第３の測定データとを格納する、記憶手段と、
    前記記憶手段に格納された前記第１ないし第３の測定データに基づいて導出される、前記信号ラインポートに対する補正を行うための項と、前記非信号ラインポートに対する補正を行うための項とを含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式を決定する、数式決定手段と、
    任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定値から、前記数式決定手段が決定した前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性推定手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。
  7. 前記数式決定手段が決定する前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、
    前記第２の測定データを、前記第１の測定データから得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる散乱行列ＳＩ（各要素を、Ｓ１１Ｉ、Ｓ１２Ｉ、Ｓ２１Ｉ、Ｓ２２Ｉとする）と、前記第３のデータである前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における当該信号ラインポートの測定値Ｓ１１Ｄとを用いて次式
    Figure 0004009876
    のように示されることを特徴とする、請求項６に記載の電子部品特性測定装置。
  8. 前記電子部品は、少なくとも２つの第１及び第２の前記信号ラインポートと、少なくとも２つの第１及び第２の前記非信号ラインポートとを有し、該第１及び第２の前記非信号ラインポートの間に素子が接続され、
    前記第１の測定データは、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートについて、電気特性を測定され、
    前記第２及び第３の測定データを測定するときに用いる前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応するデータ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応するデータ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、かつ、前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応するデータ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応するデータ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、
    前記数式決定手段が決定する、前記電子部品の前記第１及び第２の非信号ラインポートにより影響を受ける前記第１及び第２の信号ラインポート間の電気特性の推定値を算出するための前記数式に含まれる前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、
    前記第２の測定データを、前記第１の測定データから得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ１thru）及び前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ２thru）と、前記第３の測定データから得られる、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄthru）とを用いて次式
    （ＣＡ）＝（Ｔ１thru）−１・（Ｄthru）・（Ｔ２thru）−１
    のように示される伝送係数行列又は該伝送係数行列を変換した散乱係数行列を用いることを特徴とする、請求項６に記載の電子部品特性測定装置。
  9. 前記電気特性推定手段は、任意の前記電子部品について、前記試験治具に実装した状態で測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、前記非信号ラインポートにおいては、前記数式決定手段が決定した前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を前記相対補正アダプタとして用い推定することを特徴とする、請求項６、７又は８に記載の電子部品特性測定装置。
  10. 前記第２及び第３の測定データを取得するための前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項６乃至９のいずれか一つに記載の電子部品特性測定装置。
  11. 高周波信号の印加または検出に係わる信号ラインに接続される信号ラインポートと、該信号ラインポート以外の非信号ラインポートとを有する電子部品について、前記電子部品を試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定し、その測定結果から、当該電子部品を前記信号ラインポートのみ測定可能である基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
    前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定する測定手段と、
    少なくとも３種類の補正データ取得用試料を前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態とで、前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートの少なくとも一つについて、電気特性を測定した第１の測定データと、信号ラインポートの少なくとも一つと非信号ラインポートの少なくとも一つとが電気的に接続された補正データ取得用スルーデバイスを、前記試験治具に実装した状態で当該信号ラインポート及び当該非信号ラインポートを測定した第２の測定データと、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態で当該信号ラインポートを測定した第３の測定データとに基づいて決定された「前記信号ラインポートに対する補正を行うための項と、前記非信号ラインポートに対する補正を行うための項とを含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートおよび前記非信号ラインポートを測定した結果から当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」を格納する、数式記憶手段と、
    任意の前記電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定値から、前記数式記憶手段に格納された前記数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性推定手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。
  12. 前記数式記憶手段に格納される前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、前記第２の測定データを、前記第１の測定データから得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる散乱行列ＳＩ（各要素を、Ｓ１１Ｉ、Ｓ１２Ｉ、Ｓ２１Ｉ、Ｓ２２Ｉとする）と、前記第３のデータである前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における当該信号ラインポートの測定値Ｓ１１Ｄとを用いて次式
    Figure 0004009876
    のように示されることを特徴とする、請求項１１に記載の電子部品特性測定装置。
  13. 前記電子部品は、少なくとも２つの第１及び第２の前記信号ラインポートと、少なくとも２つの第１及び第２の前記非信号ラインポートとを有し、該第１及び第２の前記非信号ラインポートの間に素子が接続され、
    前記第１の測定データは、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用試料の各々の信号ラインポートについて、電気特性を測定され、
    前記第２及び第３の測定データを測定するときに用いる前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、かつ、前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する前記補正データ取得用スルーデバイスの非信号ラインポートとの間が電気的に接続され、
    前記数式記憶手段に格納される、前記電子部品の前記第１及び第２の非信号ラインポートにより影響を受ける前記第１及び第２の信号ラインポート間の電気特性の推定値を算出するための前記数式に含まれる前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項は、
    前記第２の測定データを、前記第１の測定データから得られる「前記信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を含み、前記電子部品を前記試験治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定した結果から、前記基準治具に実装した状態で前記信号ラインポートを測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出するための数式」に代入し得られる、前記電子部品の前記第１の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第１の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ１thru）及び前記電子部品の前記第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポートと前記電子部品の前記第２の非信号ラインポートに対応する当該非信号ラインポートとの間に対する伝送係数行列（Ｔ２thru）と、前記第３の測定データから得られる、前記補正データ取得用スルーデバイスを前記基準治具に実装した状態における、前記電子部品の前記第１及び第２の信号ラインポートに対応する当該信号ラインポート間の伝送係数行列（Ｄthru）とを用いて次式
    （ＣＡ）＝（Ｔ１thru）−１・（Ｄthru）・（Ｔ２thru）−１
    のように示される伝送係数行列又は該伝送係数行列を変換した散乱係数行列を用いることを特徴とする、請求項１１に記載の電子部品特性測定装置。
  14. 前記電気特性推定手段は、任意の前記電子部品について、前記測定手段により測定される電気特性を、前記基準治具に実装した状態で測定される電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定した上で、前記非信号ラインポートにおいては、前記数式記憶手段に格納された前記非信号ラインポートに対する補正を行うための前記項を前記相対補正アダプタとして用い推定することを特徴とする、請求項１１、１２又は１３に記載の電子部品特性測定装置。
  15. 前記第２及び第３の測定データを取得するための前記補正データ取得用スルーデバイスは、当該信号ラインポートと当該非信号ラインポートとの間の伝達係数が−１０ｄＢ以上であることを特徴とする、請求項１１乃至１４のいずれか一つに記載の電子部品特性測定装置。
JP2006513805A 2004-05-25 2005-01-05 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 Active JP4009876B2 (ja)

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004155172 2004-05-25
JP2004155172 2004-05-25
JP2004192561 2004-06-30
JP2004192561 2004-06-30
JP2004291990 2004-10-04
JP2004291990 2004-10-04
PCT/JP2005/000018 WO2005116669A1 (ja) 2004-05-25 2005-01-05 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP4009876B2 true JP4009876B2 (ja) 2007-11-21
JPWO2005116669A1 JPWO2005116669A1 (ja) 2008-04-03

Family

ID=35451002

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006513805A Active JP4009876B2 (ja) 2004-05-25 2005-01-05 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7885779B2 (ja)
JP (1) JP4009876B2 (ja)
CN (1) CN100549705C (ja)
DE (1) DE112005001211B4 (ja)
TW (1) TWI279557B (ja)
WO (1) WO2005116669A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160114681A (ko) 2014-03-04 2016-10-05 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 측정 오차의 보정 방법 및 전자부품 특성 측정 장치
KR20160114699A (ko) 2014-03-04 2016-10-05 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 전기 회로망의 s 파라미터 도출 방법

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4670549B2 (ja) * 2005-08-25 2011-04-13 株式会社村田製作所 測定誤差の補正方法
WO2008065791A1 (fr) * 2006-11-30 2008-06-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Procédé de correction d'erreur de caractéristiques hautes fréquences d'un composant électronique
KR101152046B1 (ko) * 2008-02-05 2012-07-03 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 측정오차의 보정방법 및 전자부품특성 측정장치
CN102901943B (zh) * 2011-12-24 2015-01-07 许继电气股份有限公司 一种基于区域电网的采样数据异常检测及过电流保护方法
JP5876348B2 (ja) * 2012-03-27 2016-03-02 東京エレクトロン株式会社 ヒータ素線検査方法
CN104111435B (zh) * 2014-07-21 2017-03-15 福建火炬电子科技股份有限公司 一种测试夹具误差剔除方法
CN104297597B (zh) * 2014-10-20 2017-01-18 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种移除双端口网络中测试夹具效应的新方法
TW202115413A (zh) * 2019-09-30 2021-04-16 日商愛德萬測試股份有限公司 維護裝置、維護方法及記錄有維護程式之記錄媒體

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6347382B1 (en) * 1998-11-30 2002-02-12 Advantest Corp. Multi-port device analysis apparatus and method
US7065134B2 (en) * 2001-08-27 2006-06-20 Gennum Corporation Adaptive equalizer with large data rate range
JP3558074B2 (ja) 2001-12-10 2004-08-25 株式会社村田製作所 測定誤差の補正方法、電子部品の良否判定方法および電子部品特性測定装置
JP2003294820A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Agilent Technologies Japan Ltd 測定装置、測定装置の校正方法および記録媒体
US6876935B2 (en) * 2002-09-24 2005-04-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for correcting measurement error, method of determining quality of electronic component, and device for measuring characteristic of electronic component
WO2004111768A2 (en) * 2003-06-11 2004-12-23 Agilent Technologies, Inc. Correcting test system calibration and transforming device measurements when using multiple test fixtures

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160114681A (ko) 2014-03-04 2016-10-05 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 측정 오차의 보정 방법 및 전자부품 특성 측정 장치
KR20160114699A (ko) 2014-03-04 2016-10-05 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 전기 회로망의 s 파라미터 도출 방법
US10175279B2 (en) 2014-03-04 2019-01-08 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of deriving S parameter of electric circuit network
US10203396B2 (en) 2014-03-04 2019-02-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Measurement error correction method and electric component property measurement device

Also Published As

Publication number Publication date
CN100549705C (zh) 2009-10-14
DE112005001211T5 (de) 2009-05-28
WO2005116669A1 (ja) 2005-12-08
TWI279557B (en) 2007-04-21
US20070084035A1 (en) 2007-04-19
TW200600802A (en) 2006-01-01
JPWO2005116669A1 (ja) 2008-04-03
DE112005001211B4 (de) 2017-07-13
CN101006350A (zh) 2007-07-25
US7885779B2 (en) 2011-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7885779B2 (en) Measurement error correcting method and electronic component characteristic measurement device
US7107170B2 (en) Multiport network analyzer calibration employing reciprocity of a device
US7034548B2 (en) Balanced device characterization including test system calibration
US8860434B2 (en) Method of measuring scattering parameters of device under test
US7408363B2 (en) Signal analysis system and calibration method for processing acquires signal samples with an arbitrary load
CN106066425B (zh) 一种阻抗测量装置及其实现校准补偿的方法
US10042029B2 (en) Calibration of test instrument over extended operating range
US6397160B1 (en) Power sensor module for microwave test systems
KR101152046B1 (ko) 측정오차의 보정방법 및 전자부품특성 측정장치
US20130317767A1 (en) Measurement error correction method and electronic component characteristic measurement apparatus
JP6055215B2 (ja) インピーダンス測定方法及び測定装置
US6861846B2 (en) Distortion measurements with a vector network analyzer
JP7153309B2 (ja) ベクトルネットワークアナライザを用いた反射係数の測定方法
US7834641B1 (en) Phase-gain calibration of impedance/admittance meter
JP4670549B2 (ja) 測定誤差の補正方法
CN114137389A (zh) 微波探针s参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质
JPWO2006030547A1 (ja) 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置
JP5458817B2 (ja) 電子部品の電気特性測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置
JP4775575B2 (ja) 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置
JP4478879B2 (ja) 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置
CN115047247B (zh) 一种低阻条件下无源rc积分器参数的测试方法
JP2006242799A (ja) 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置
JP2957596B2 (ja) 回路素子測定装置
Estrada The vector network analyzer-an essential tool in modern ate measurements
CN111999560B (zh) 一种基于阻抗的矢量网络分析仪的校准方法

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070808

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070821

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4009876

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100914

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110914

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120914

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120914

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130914

Year of fee payment: 6