JP2003294820A - 測定装置、測定装置の校正方法および記録媒体 - Google Patents
測定装置、測定装置の校正方法および記録媒体Info
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】測定装置における校正作業の効率改善
【解決手段】測定装置において、校正標準を測定し誤差
モデルを求め、系統誤差の影響を除去した測定結果を表
示する。作業者が該測定結果に満足であれば、校正作業
が終了する。また、作業者が該測定結果に不満であれ
ば、校正標準の所望のパラメータを再測定し、誤差係数
を求め直して系統誤差の影響を除去した測定結果を再表
示する。該測定結果は、校正作業が終了するまで保持さ
れ、校正作業内に校正標準の再測定が行われた時には、
最新の測定結果が参照されるように測定値が保持され
る。
モデルを求め、系統誤差の影響を除去した測定結果を表
示する。作業者が該測定結果に満足であれば、校正作業
が終了する。また、作業者が該測定結果に不満であれ
ば、校正標準の所望のパラメータを再測定し、誤差係数
を求め直して系統誤差の影響を除去した測定結果を再表
示する。該測定結果は、校正作業が終了するまで保持さ
れ、校正作業内に校正標準の再測定が行われた時には、
最新の測定結果が参照されるように測定値が保持され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、校正機能を備えた測定
装置に係り、特に２以上の測定端子を有する装置におい
て校正時の作業効率を改善した測定装置に関する。
装置に係り、特に２以上の測定端子を有する装置におい
て校正時の作業効率を改善した測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】多くの測定装置は、少なからず不完全な
部分が存在し、その装置の測定値と真の値との間にズレ
が生じる。そこで、測定装置は、被測定物（以降、ＤＵ
Ｔと称する）の測定に先立って測定装置を校正し、測定
値からシステマティック誤差の影響を除去できるように
している。以降、システマティック誤差を単に誤差とも
称する。
部分が存在し、その装置の測定値と真の値との間にズレ
が生じる。そこで、測定装置は、被測定物（以降、ＤＵ
Ｔと称する）の測定に先立って測定装置を校正し、測定
値からシステマティック誤差の影響を除去できるように
している。以降、システマティック誤差を単に誤差とも
称する。
【０００３】ここで、測定装置の一例としてネットワー
クアナライザを例に挙げ、従来の校正方法とその手順に
ついて以下に説示する。図１は、２ポート・ネットワー
クアナライザ１００の概略構成を示す図である。図１に
おいて、ネットワークアナライザ１００は、ＣＰＵ１２
０と、記憶手段の一例であるメモリ１３０と、入力装置
１４０と、測定部１５０と、出力手段の一例である表示
部１６０とを備える。なお、それらの構成要素は、バス
１１０によって互いに接続されている。ＣＰＵ１２０
は、メモリ１３０、入力装置１４０、測定部１５０また
は表示部１６０とデータをやりとりし、必要に応じて演
算処理を実施する。メモリ１３０は、ネットワークアナ
ライザ１００の設定情報や測定部１５０で得た測定値な
どを記憶する。入力装置１４０は、ネットワークアナラ
イザ１００の外部より命令を受信する。測定部１５０
は、測定端子であるポートＡとポートＢとを備え、それ
ぞれのポートにおける入射信号電力および反射信号電力
を測定する事ができる。なお、入射信号はポートにおけ
る出力信号であり、反射信号はポートにおける入力信号
である。
クアナライザを例に挙げ、従来の校正方法とその手順に
ついて以下に説示する。図１は、２ポート・ネットワー
クアナライザ１００の概略構成を示す図である。図１に
おいて、ネットワークアナライザ１００は、ＣＰＵ１２
０と、記憶手段の一例であるメモリ１３０と、入力装置
１４０と、測定部１５０と、出力手段の一例である表示
部１６０とを備える。なお、それらの構成要素は、バス
１１０によって互いに接続されている。ＣＰＵ１２０
は、メモリ１３０、入力装置１４０、測定部１５０また
は表示部１６０とデータをやりとりし、必要に応じて演
算処理を実施する。メモリ１３０は、ネットワークアナ
ライザ１００の設定情報や測定部１５０で得た測定値な
どを記憶する。入力装置１４０は、ネットワークアナラ
イザ１００の外部より命令を受信する。測定部１５０
は、測定端子であるポートＡとポートＢとを備え、それ
ぞれのポートにおける入射信号電力および反射信号電力
を測定する事ができる。なお、入射信号はポートにおけ
る出力信号であり、反射信号はポートにおける入力信号
である。
【０００４】このようなネットワークアナライザ１００
において、ポートＡとポートＢとの間に２ポート・デバ
イスを接続し、そのデバイスの順方向および逆方向ネッ
トワーク特性を測定する時、信号漏れ、信号反射および
周波数レスポンスに関連した１２個のシステマティック
誤差が存在する。測定値からこれらの誤差の影響を除去
する校正法の１つとしてＴＲＬ（Thru-Reflect-Line）
校正法がある。ＴＲＬ校正法は、スルー、リフレクトお
よびラインの３種類の校正標準を使用する事を特徴と
し、２ポート校正において１０個の誤差の影響を除去す
る事ができ、非同軸環境やオン・ウェハー測定に利用可
能である。なお、リフレクト標準はオープン標準または
ショート標準のいずれかである。
において、ポートＡとポートＢとの間に２ポート・デバ
イスを接続し、そのデバイスの順方向および逆方向ネッ
トワーク特性を測定する時、信号漏れ、信号反射および
周波数レスポンスに関連した１２個のシステマティック
誤差が存在する。測定値からこれらの誤差の影響を除去
する校正法の１つとしてＴＲＬ（Thru-Reflect-Line）
校正法がある。ＴＲＬ校正法は、スルー、リフレクトお
よびラインの３種類の校正標準を使用する事を特徴と
し、２ポート校正において１０個の誤差の影響を除去す
る事ができ、非同軸環境やオン・ウェハー測定に利用可
能である。なお、リフレクト標準はオープン標準または
ショート標準のいずれかである。
【０００５】図２は、ネットワークアナライザ１００で
実施されるＴＲＬ校正法の手順を示したフローチャート
である。まず初めに、ステップＰ２１において、入力装
置１４０からのデータを受け、校正に用いられる校正標
準の特性値の設定が行われる。なお、校正標準の測定に
は、ポートＡおよびポートＢの両方が用いられる。次
に、ステップＰ２２において、測定部１５０はポートＡ
およびポートＢに接続される校正標準を測定し、ＣＰＵ
１２０は測定部１５０から該測定値を受けてメモリ１３
０へ格納する。ＴＲＬ校正法は、２ポート校正の場合、
校正標準の１２個のパラメータを測定する必要がある。
従って、ステップＰ２３において、それらの測定値が全
て得られたかどうかの判定を行い、全ての測定値が得ら
れるまでステップＰ２２を繰り返すように処理する。そ
して、ステップＰ２４において、ＣＰＵ１２０は、メモ
リ１３０に格納された１４個のパラメータ測定値を参照
して、１０個の誤差の値を求め該誤差値を誤差係数とし
てメモリ１３０に格納する。最後に、メモリに格納され
た１４個のパラメータ測定値を消去する。ネットワーク
アナライザ１００は、上述の手順による校正の実施後、
求められた誤差の影響が除去されたＤＵＴの測定値、す
なわち、補正された測定値を出力する事ができる。
実施されるＴＲＬ校正法の手順を示したフローチャート
である。まず初めに、ステップＰ２１において、入力装
置１４０からのデータを受け、校正に用いられる校正標
準の特性値の設定が行われる。なお、校正標準の測定に
は、ポートＡおよびポートＢの両方が用いられる。次
に、ステップＰ２２において、測定部１５０はポートＡ
およびポートＢに接続される校正標準を測定し、ＣＰＵ
１２０は測定部１５０から該測定値を受けてメモリ１３
０へ格納する。ＴＲＬ校正法は、２ポート校正の場合、
校正標準の１２個のパラメータを測定する必要がある。
従って、ステップＰ２３において、それらの測定値が全
て得られたかどうかの判定を行い、全ての測定値が得ら
れるまでステップＰ２２を繰り返すように処理する。そ
して、ステップＰ２４において、ＣＰＵ１２０は、メモ
リ１３０に格納された１４個のパラメータ測定値を参照
して、１０個の誤差の値を求め該誤差値を誤差係数とし
てメモリ１３０に格納する。最後に、メモリに格納され
た１４個のパラメータ測定値を消去する。ネットワーク
アナライザ１００は、上述の手順による校正の実施後、
求められた誤差の影響が除去されたＤＵＴの測定値、す
なわち、補正された測定値を出力する事ができる。
【０００６】ところで、校正の実施後、校正標準の接続
の不良や測定端子の多さに起因する校正標準の接続間違
いなどにより誤差を正確に求める事ができず、校正標準
を再度測定しなければならない場合がある。誤差を正確
に求められたかどうかは、補正された測定値を観測する
事によって確認する事ができるが、従来の構成手順によ
れば、補正された測定値は校正の実施後でなければ観測
できない。校正の実施後は、校正標準のパラメータ測定
値が全て消去されており、特定のパラメータのみを再度
測定できず、校正作業の効率は良いものではなかった。
昨今、測定装置とＤＵＴは多くのポートを備えるように
なり再校正時の手間が増大し、この問題は深刻なものと
なっている。
の不良や測定端子の多さに起因する校正標準の接続間違
いなどにより誤差を正確に求める事ができず、校正標準
を再度測定しなければならない場合がある。誤差を正確
に求められたかどうかは、補正された測定値を観測する
事によって確認する事ができるが、従来の構成手順によ
れば、補正された測定値は校正の実施後でなければ観測
できない。校正の実施後は、校正標準のパラメータ測定
値が全て消去されており、特定のパラメータのみを再度
測定できず、校正作業の効率は良いものではなかった。
昨今、測定装置とＤＵＴは多くのポートを備えるように
なり再校正時の手間が増大し、この問題は深刻なものと
なっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の従来
技術の問題点を解消することを課題とするものであっ
て、その目的とするところは、校正作業中に、誤差の影
響が除去された所望のパラメータ測定値を出力する事に
より、校正標準の再測定が必要な時に係る工数を軽減す
る事である。また、他の目的は、校正作業を中断または
終了する時に、校正標準のパラメータ測定値を利用不能
にする事により、該測定値を格納する記憶手段の資源浪
費と、改めて校正作業が行われる際に新しい測定値と古
い測定値との混在に起因する作業者の混乱と、を抑制す
る事である。さらに、他の目的は、Ｎ個の測定端子を校
正する時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個
の測定端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わ
せにおいて、得られた前記組み合わせ毎に前記測定端子
を校正する事により、校正によって得られる誤差係数の
検証と、不良の誤差係数が得られた時の対応と、を容易
にする事である。
技術の問題点を解消することを課題とするものであっ
て、その目的とするところは、校正作業中に、誤差の影
響が除去された所望のパラメータ測定値を出力する事に
より、校正標準の再測定が必要な時に係る工数を軽減す
る事である。また、他の目的は、校正作業を中断または
終了する時に、校正標準のパラメータ測定値を利用不能
にする事により、該測定値を格納する記憶手段の資源浪
費と、改めて校正作業が行われる際に新しい測定値と古
い測定値との混在に起因する作業者の混乱と、を抑制す
る事である。さらに、他の目的は、Ｎ個の測定端子を校
正する時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個
の測定端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わ
せにおいて、得られた前記組み合わせ毎に前記測定端子
を校正する事により、校正によって得られる誤差係数の
検証と、不良の誤差係数が得られた時の対応と、を容易
にする事である。
【０００８】
【課題を解決しようとする手段】要するに、本第一発明
は、測定端子と記憶手段とを備える測定装置において、
校正標準を用いて測定装置を校正する方法であって、誤
差の影響が除去された所望のパラメータ測定値を出力し
た後、格納された前記校正標準のパラメータ測定値を保
持したまま、前記校正標準の所望のパラメータを再度測
定し、該再測定値を前記記憶手段に格納できるようにし
たものである。また、本第二発明は、第一発明におい
て、校正作業を中断または終了する時に、校正標準のパ
ラメータ測定値を利用不能にするようにしたものであ
る。さらに、本第三発明は、測定端子を備える測定装置
において、校正標準を用いて測定装置を校正する方法で
あって、Ｎ個の前記測定端子を校正する時、Ｎ個の前記
測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して
得られる前記測定端子の組み合わせにおいて、得られた
前記組み合わせ毎に前記測定端子を校正するようにした
ものである。
は、測定端子と記憶手段とを備える測定装置において、
校正標準を用いて測定装置を校正する方法であって、誤
差の影響が除去された所望のパラメータ測定値を出力し
た後、格納された前記校正標準のパラメータ測定値を保
持したまま、前記校正標準の所望のパラメータを再度測
定し、該再測定値を前記記憶手段に格納できるようにし
たものである。また、本第二発明は、第一発明におい
て、校正作業を中断または終了する時に、校正標準のパ
ラメータ測定値を利用不能にするようにしたものであ
る。さらに、本第三発明は、測定端子を備える測定装置
において、校正標準を用いて測定装置を校正する方法で
あって、Ｎ個の前記測定端子を校正する時、Ｎ個の前記
測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して
得られる前記測定端子の組み合わせにおいて、得られた
前記組み合わせ毎に前記測定端子を校正するようにした
ものである。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を添付の図面に示す実施例に基
づいて説明する。本実施例は、本発明方法により校正さ
れる４ポート・ネットワークアナライザであって、その
概略構成図を図３に示す。
づいて説明する。本実施例は、本発明方法により校正さ
れる４ポート・ネットワークアナライザであって、その
概略構成図を図３に示す。
【００１０】図３において、ネットワークアナライザ３
００は測定装置の一例であって、制御手段の一例である
ＣＰＵ３２０と、記憶手段の一例であるメモリ３３０
と、入力装置３４０と、測定手段の一例である測定部３
５０と、出力手段の一例である表示部３６０と、記録媒
体の一例であるハードディスクドライブ（以降、ＨＤＤ
と称する）３７０とを備える。なお、それらの構成要素
は、バス３１０によって互いに接続されている。ＣＰＵ
３２０は、ＨＤＤ３７０から読み出された校正プログラ
ムを実行する事により、測定部３５０および表示部３６
０などを制御して、ネットワークアナライザ３００を校
正する。メモリ３３０は、ネットワークアナライザ３０
０の設定情報や測定部３５０で得た測定値などを記憶す
る。入力装置３４０は、図示しないがキーボードやマウ
スなどが接続され、外部からの命令を受信する。測定部
３５０は、測定端子の一例であるポート１、ポート２、
ポート３およびポート４を備え、それぞれのポートにお
ける入射信号電力および反射信号電力を測定する事がで
きる。
００は測定装置の一例であって、制御手段の一例である
ＣＰＵ３２０と、記憶手段の一例であるメモリ３３０
と、入力装置３４０と、測定手段の一例である測定部３
５０と、出力手段の一例である表示部３６０と、記録媒
体の一例であるハードディスクドライブ（以降、ＨＤＤ
と称する）３７０とを備える。なお、それらの構成要素
は、バス３１０によって互いに接続されている。ＣＰＵ
３２０は、ＨＤＤ３７０から読み出された校正プログラ
ムを実行する事により、測定部３５０および表示部３６
０などを制御して、ネットワークアナライザ３００を校
正する。メモリ３３０は、ネットワークアナライザ３０
０の設定情報や測定部３５０で得た測定値などを記憶す
る。入力装置３４０は、図示しないがキーボードやマウ
スなどが接続され、外部からの命令を受信する。測定部
３５０は、測定端子の一例であるポート１、ポート２、
ポート３およびポート４を備え、それぞれのポートにお
ける入射信号電力および反射信号電力を測定する事がで
きる。
【００１１】測定部３５０の内部構成図を図４に示す。
図４において、測定部３５０は、信号源ＳＧと、スイッ
チＳＷ１、ＳＷ２、ＳＷ３およびＳＷ４と、入射信号電
力を測定するためのリファレンス・レシーバＲ１、
Ｒ２、Ｒ３およびＲ４と、反射信号電力を測定するため
のテスト・レシーバＴ１、Ｔ２、Ｔ３およびＴ４と、を
備える。信号源ＳＧは、測定用の基準信号を出力する装
置であって、その出力信号の振幅と周波数は可変であ
る。スイッチＳＷ１は、信号源ＳＧとポート１とに接続
され、ポート１を信号源ＳＧと導通させるか終端する。
スイッチＳＷ２は、信号源ＳＧとポート２とに接続さ
れ、ポート２を信号源ＳＧと導通させるか終端する。ス
イッチＳＷ３は、信号源ＳＧとポート３とに接続され、
ポート３を信号源ＳＧと導通させるか終端する。スイッ
チＳＷ４は、信号源ＳＧとポート４とに接続され、ポー
ト４を信号源ＳＧと導通させるか終端する。なお、スイ
ッチは、いずれか１つがポートと信号源ＳＧとを導通さ
せ、その他の３つのスイッチはポートを終端するように
動作する。テスト・レシーバＴ１は、方向性結合器Ｃ
Ｔ１を介してポート１に接続され、ポート１における入
射信号電力を測定する。リファレンス・レシーバＲ
１は、方向性結合器ＣＲ１を介してポート１に接続さ
れ、ポート１における反射信号電力を測定する。テスト
・レシーバＴ２は、向性結合器ＣＴ２を介してポート２
に接続され、ポート２における入射信号電力を測定す
る。リファレンス・レシーバＲ ２は、方向性結合器Ｃ
Ｒ２を介してポート２に接続され、ポート２における反
射信号電力を測定する。テスト・レシーバＴ３は、方向
性結合器ＣＴ３を介してポート３に接続され、ポート３
における入射信号電力を測定する。リファレンス・レシ
ーバＲ３は、方向性結合器ＣＲ３を介してポート３に接
続され、ポート３における反射信号電力を測定する。テ
スト・レシーバＴ４は、方向性結合器ＣＴ４を介してポ
ート４に接続され、ポート４における入射信号電力を測
定する。リファレンス・レシーバＲ４は、方向性結合器
ＣＲ４を介してポート４に接続され、ポート４における
反射信号電力を測定する。
図４において、測定部３５０は、信号源ＳＧと、スイッ
チＳＷ１、ＳＷ２、ＳＷ３およびＳＷ４と、入射信号電
力を測定するためのリファレンス・レシーバＲ１、
Ｒ２、Ｒ３およびＲ４と、反射信号電力を測定するため
のテスト・レシーバＴ１、Ｔ２、Ｔ３およびＴ４と、を
備える。信号源ＳＧは、測定用の基準信号を出力する装
置であって、その出力信号の振幅と周波数は可変であ
る。スイッチＳＷ１は、信号源ＳＧとポート１とに接続
され、ポート１を信号源ＳＧと導通させるか終端する。
スイッチＳＷ２は、信号源ＳＧとポート２とに接続さ
れ、ポート２を信号源ＳＧと導通させるか終端する。ス
イッチＳＷ３は、信号源ＳＧとポート３とに接続され、
ポート３を信号源ＳＧと導通させるか終端する。スイッ
チＳＷ４は、信号源ＳＧとポート４とに接続され、ポー
ト４を信号源ＳＧと導通させるか終端する。なお、スイ
ッチは、いずれか１つがポートと信号源ＳＧとを導通さ
せ、その他の３つのスイッチはポートを終端するように
動作する。テスト・レシーバＴ１は、方向性結合器Ｃ
Ｔ１を介してポート１に接続され、ポート１における入
射信号電力を測定する。リファレンス・レシーバＲ
１は、方向性結合器ＣＲ１を介してポート１に接続さ
れ、ポート１における反射信号電力を測定する。テスト
・レシーバＴ２は、向性結合器ＣＴ２を介してポート２
に接続され、ポート２における入射信号電力を測定す
る。リファレンス・レシーバＲ ２は、方向性結合器Ｃ
Ｒ２を介してポート２に接続され、ポート２における反
射信号電力を測定する。テスト・レシーバＴ３は、方向
性結合器ＣＴ３を介してポート３に接続され、ポート３
における入射信号電力を測定する。リファレンス・レシ
ーバＲ３は、方向性結合器ＣＲ３を介してポート３に接
続され、ポート３における反射信号電力を測定する。テ
スト・レシーバＴ４は、方向性結合器ＣＴ４を介してポ
ート４に接続され、ポート４における入射信号電力を測
定する。リファレンス・レシーバＲ４は、方向性結合器
ＣＲ４を介してポート４に接続され、ポート４における
反射信号電力を測定する。
【００１２】さて、ネットワークアナライザ３００にお
いてＴＲＬ校正法を実施する時、メモリ３３０には校正
標準に関する情報、校正標準のパラメータの測定値、お
よび、当該パラメータの測定値から求められるシステマ
ティック誤差の値が格納される。校正標準に関する情報
は、スルー標準の遅延量と特性インピーダンス、リフレ
クト標準の種類と遅延量と特性インピーダンス、ライン
標準の遅延量と特性インピーダンスと適用周波数範囲を
示す２つの周波数、が含まれる。
いてＴＲＬ校正法を実施する時、メモリ３３０には校正
標準に関する情報、校正標準のパラメータの測定値、お
よび、当該パラメータの測定値から求められるシステマ
ティック誤差の値が格納される。校正標準に関する情報
は、スルー標準の遅延量と特性インピーダンス、リフレ
クト標準の種類と遅延量と特性インピーダンス、ライン
標準の遅延量と特性インピーダンスと適用周波数範囲を
示す２つの周波数、が含まれる。
【表１】
リフレクト標準の種類は、先にも述べたようにオープン
標準またはショート標準のいずれかである。また、１つ
のライン標準が適用可能な周波数範囲は限定されている
ので、本例では２つ異なるライン標準を用いて広い周波
数範囲を確保するようにしている。
標準またはショート標準のいずれかである。また、１つ
のライン標準が適用可能な周波数範囲は限定されている
ので、本例では２つ異なるライン標準を用いて広い周波
数範囲を確保するようにしている。
【００１３】ネットワークアナライザ３００を用いて４
ポート・デバイスを測定する時、最多のシステマティッ
ク誤差が存在し、その数は４８個である。ＴＲＬ校正法
を用いれば、４８個のうち３６個のシステマティック誤
差について該誤差値を求める事ができる。なお、システ
マティック誤差の値は、誤差係数とも称する。３６個の
誤差係数には、以下の誤差係数が含まれる。すなわち、
４つのポートのそれぞれにおける方向性Ｅｄとソース整
合Ｅｄと反射トラッキングＥｒ、４つのポートから選ば
れる２つのポートの組におけるロード整合Ｅｌおよび伝
送トラッキングＥｔ、である。ネットワークアナライザ
３００は、測定周波数範囲の複数点において測定を行う
ので、３６個の誤差係数の組は該測定周波数点の数の組
がメモリ３３０に格納される。
ポート・デバイスを測定する時、最多のシステマティッ
ク誤差が存在し、その数は４８個である。ＴＲＬ校正法
を用いれば、４８個のうち３６個のシステマティック誤
差について該誤差値を求める事ができる。なお、システ
マティック誤差の値は、誤差係数とも称する。３６個の
誤差係数には、以下の誤差係数が含まれる。すなわち、
４つのポートのそれぞれにおける方向性Ｅｄとソース整
合Ｅｄと反射トラッキングＥｒ、４つのポートから選ば
れる２つのポートの組におけるロード整合Ｅｌおよび伝
送トラッキングＥｔ、である。ネットワークアナライザ
３００は、測定周波数範囲の複数点において測定を行う
ので、３６個の誤差係数の組は該測定周波数点の数の組
がメモリ３３０に格納される。
【表２】
なお、ロード整合および伝送トラッキングについては、
プログラムからの参照が容易なように［ｎ＊ｎ］の配列
に格納される。
プログラムからの参照が容易なように［ｎ＊ｎ］の配列
に格納される。
【００１４】また、１つの測定周波数点において３６個
の誤差係数を求めるために、校正標準の６４個のパラメ
ータを測定しなければならない。具体的には次の通りで
ある。４つのポートから２つのポートを選ぶ時の６種類
のポートの組合せ、すなわち、１−２ポート、１−３ポ
ート、１−４ポート、２−３ポート、２−４ポートまた
は３−４ポートの組に対してスルー標準およびライン標
準を接続した時の、各組の各ポートで測定される伝送係
数および反射係数である４つのＳパラメータ。上記６種
類のポートの組に対してスルー標準を接続した時の、各
組の各ポートに関連して測定されるスイッチ整合である
２つのパラメータ。４つのポートのそれぞれに対してリ
フレクト標準を接続した時の、各ポートで測定される反
射係数である１つのＳパラメータ。
の誤差係数を求めるために、校正標準の６４個のパラメ
ータを測定しなければならない。具体的には次の通りで
ある。４つのポートから２つのポートを選ぶ時の６種類
のポートの組合せ、すなわち、１−２ポート、１−３ポ
ート、１−４ポート、２−３ポート、２−４ポートまた
は３−４ポートの組に対してスルー標準およびライン標
準を接続した時の、各組の各ポートで測定される伝送係
数および反射係数である４つのＳパラメータ。上記６種
類のポートの組に対してスルー標準を接続した時の、各
組の各ポートに関連して測定されるスイッチ整合である
２つのパラメータ。４つのポートのそれぞれに対してリ
フレクト標準を接続した時の、各ポートで測定される反
射係数である１つのＳパラメータ。
【表３】
ここで、Ｃはｎ個から２個を選択する組合せｎＣ２であ
る。なお、これらの測定パラメータの組も、誤差係数と
同様に測定周波数点の数の組がメモリ３３０に格納され
る。
る。なお、これらの測定パラメータの組も、誤差係数と
同様に測定周波数点の数の組がメモリ３３０に格納され
る。
【００１５】以上のように構成されるネットワークアナ
ライザ３００において、校正するためのプログラムの処
理手順を、図５に示すフローチャートを参照して以下に
説示する。
ライザ３００において、校正するためのプログラムの処
理手順を、図５に示すフローチャートを参照して以下に
説示する。
【００１６】まず初めに、ステップＰ４１において、入
力装置４４０からのデータを受け、校正に用いられる校
正標準に関連する情報の設定が行われる。ステップＰ４
１に関連して表示部３６０が表示する画面の例を図６に
示す。図６において、ダイアログボックス６００は、チ
ャネルおよびポートを選択するためのリストボックス、
校正標準の設定ダイアログボックスを開くための［Defi
ne Calkit］ボタン、校正標準の測定ダイアログボック
スを開くための［Measure >］ボタン、ならびに、メッ
セージボックスを備えている。これらボタンやリストボ
ックスなどは、入力装置に接続されるマウスに連動し
て、表示部３６０が画面に表示するポインタなどによっ
て操作される。ネットワークアナライザ３００は、測定
結果を表示するための、複数の独立したウィンドウを表
示する事ができる。本実施例では該ウインドウをチャネ
ルと称する。チャネル毎に異なる測定パラメータを表示
させる時、作業者はチャネル毎に所要のポートを校正し
なければならない場合がある。従って、ダイアログボッ
クス６００において、チャネルおよびポートを選択でき
るようになっている。例えば、チャネルは１から９まで
の数値をリストから選択できる。また、校正対象となる
ポートは、その数が２つである時は１−２、１−３、１
−４、２−３、２−４、３−４のいずれかの組のポート
が選択され、その数が３つである時は１−２−３、１−
２−４、１−３−４、２−３−４のいずれかの組のポー
トが選択され、その数が４つである時は全てのポートが
選択される。
力装置４４０からのデータを受け、校正に用いられる校
正標準に関連する情報の設定が行われる。ステップＰ４
１に関連して表示部３６０が表示する画面の例を図６に
示す。図６において、ダイアログボックス６００は、チ
ャネルおよびポートを選択するためのリストボックス、
校正標準の設定ダイアログボックスを開くための［Defi
ne Calkit］ボタン、校正標準の測定ダイアログボック
スを開くための［Measure >］ボタン、ならびに、メッ
セージボックスを備えている。これらボタンやリストボ
ックスなどは、入力装置に接続されるマウスに連動し
て、表示部３６０が画面に表示するポインタなどによっ
て操作される。ネットワークアナライザ３００は、測定
結果を表示するための、複数の独立したウィンドウを表
示する事ができる。本実施例では該ウインドウをチャネ
ルと称する。チャネル毎に異なる測定パラメータを表示
させる時、作業者はチャネル毎に所要のポートを校正し
なければならない場合がある。従って、ダイアログボッ
クス６００において、チャネルおよびポートを選択でき
るようになっている。例えば、チャネルは１から９まで
の数値をリストから選択できる。また、校正対象となる
ポートは、その数が２つである時は１−２、１−３、１
−４、２−３、２−４、３−４のいずれかの組のポート
が選択され、その数が３つである時は１−２−３、１−
２−４、１−３−４、２−３−４のいずれかの組のポー
トが選択され、その数が４つである時は全てのポートが
選択される。
【００１７】［define Calkit］ボタンを押す事により
表示される校正標準の設定ダイアログボックスを図７に
示す。図７において、ダイアログボックス７００は、校
正標準に関連する情報を設定するための入力ボックス、
ラジオボタンおよびチェックボックスを備えている。ラ
イン標準は、必ずしも２つの標準を用いる必要はないの
で、チェックボックスによって使用するライン標準を選
択できる。リフレクト標準の種類は、オープン標準かシ
ョート標準のいずれかをラジオボタンにより選択する。
遅延量など校正標準に関する他の設定情報は、入力ボッ
クスに数値を入力して設定される。また、ダイアログボ
ックス７００は、校正標準に関する情報をＨＤＤ３７０
などの記憶媒体に保存するための［Save］ボタン、該記
憶媒体に保存された設定情報を読出し反映させる［Reca
ll］ボタン、または、既定の設定情報を反映する［Defa
ult］ボタンを備える。設定が終了した後［Close］を押
す事により、ダイアログボックス７００において設定さ
れた情報がメモリ３３０へ格納され、ダイアログボック
ス７００は閉じる。
表示される校正標準の設定ダイアログボックスを図７に
示す。図７において、ダイアログボックス７００は、校
正標準に関連する情報を設定するための入力ボックス、
ラジオボタンおよびチェックボックスを備えている。ラ
イン標準は、必ずしも２つの標準を用いる必要はないの
で、チェックボックスによって使用するライン標準を選
択できる。リフレクト標準の種類は、オープン標準かシ
ョート標準のいずれかをラジオボタンにより選択する。
遅延量など校正標準に関する他の設定情報は、入力ボッ
クスに数値を入力して設定される。また、ダイアログボ
ックス７００は、校正標準に関する情報をＨＤＤ３７０
などの記憶媒体に保存するための［Save］ボタン、該記
憶媒体に保存された設定情報を読出し反映させる［Reca
ll］ボタン、または、既定の設定情報を反映する［Defa
ult］ボタンを備える。設定が終了した後［Close］を押
す事により、ダイアログボックス７００において設定さ
れた情報がメモリ３３０へ格納され、ダイアログボック
ス７００は閉じる。
【００１８】チャンネル、ポート、および、校正標準に
関する情報が正しく設定されると、メッセージボックス
に“ｏｋ”という文字列が表示され、［Measure >］ボ
タンを押す事ができるようになる。なお、［Measure
>］ボタンは校正標準に関する情報が正しく設定される
までは利用不能である。メッセージボックスに“ｏｋ”
文字列が表示された後であっても、チャネルおよびポー
トは選択内容を変更する事ができ、［define Calkit］
ボタンは利用可能である。［Measure >］ボタンを押す
と、選択されたチャネルとポートの情報がメモリ３３０
に格納され、ダイアログボックス６００は閉じ、処理は
ステップＰ４２へ進む。
関する情報が正しく設定されると、メッセージボックス
に“ｏｋ”という文字列が表示され、［Measure >］ボ
タンを押す事ができるようになる。なお、［Measure
>］ボタンは校正標準に関する情報が正しく設定される
までは利用不能である。メッセージボックスに“ｏｋ”
文字列が表示された後であっても、チャネルおよびポー
トは選択内容を変更する事ができ、［define Calkit］
ボタンは利用可能である。［Measure >］ボタンを押す
と、選択されたチャネルとポートの情報がメモリ３３０
に格納され、ダイアログボックス６００は閉じ、処理は
ステップＰ４２へ進む。
【００１９】ステップＰ４２において、校正標準の測定
に関連するダイアログボックスが表示部３６０により表
示され、該校正標準の測定が行われる。ここで、ステッ
プＰ４２に関連して表示部３６０が表示する画面の例を
図７に示す。図７において、ダイアログボックス８１０
は、ダイアログボックス６００で選択されたポートに基
づき、校正標準のそれぞれについて接続すべきポートま
たはそれらの組がグループ化されて列挙される。図６お
よび図７のダイアログボックスを参照して明らかなよう
に、ネットワークアナライザ３００は測定周波数範囲
１．０〜８．５ＧＨｚにおけるポート１−２間の２ポー
ト校正が実施されるように設定されているので、ダイア
ログボックス８１０上の校正標準のグループ内にはポー
ト１またはポート２もしくはポート１−２が接続すべき
ポートとして指示される。例えば、リフレクト標準の接
続を示す［Reflection］グループには、２つのボタンが
表示され、それぞれに［1］および［2］というポート番
号を示した数字が表示されている。例えば、ポート１に
リフレクト標準を接続して［Reflection］グループの
［1］ボタンを押せば、ポート１におけるリフレクト標
準の測定が行われ、測定値がメモリ３３０に格納され
る。他の校正標準のグループにおいても、当該校正標準
を接続すべきポートまたはポートの組が表示されたボタ
ンが列挙される。これらのボタンは押下されて関連する
測定が終了すれば、その色が変化する。
に関連するダイアログボックスが表示部３６０により表
示され、該校正標準の測定が行われる。ここで、ステッ
プＰ４２に関連して表示部３６０が表示する画面の例を
図７に示す。図７において、ダイアログボックス８１０
は、ダイアログボックス６００で選択されたポートに基
づき、校正標準のそれぞれについて接続すべきポートま
たはそれらの組がグループ化されて列挙される。図６お
よび図７のダイアログボックスを参照して明らかなよう
に、ネットワークアナライザ３００は測定周波数範囲
１．０〜８．５ＧＨｚにおけるポート１−２間の２ポー
ト校正が実施されるように設定されているので、ダイア
ログボックス８１０上の校正標準のグループ内にはポー
ト１またはポート２もしくはポート１−２が接続すべき
ポートとして指示される。例えば、リフレクト標準の接
続を示す［Reflection］グループには、２つのボタンが
表示され、それぞれに［1］および［2］というポート番
号を示した数字が表示されている。例えば、ポート１に
リフレクト標準を接続して［Reflection］グループの
［1］ボタンを押せば、ポート１におけるリフレクト標
準の測定が行われ、測定値がメモリ３３０に格納され
る。他の校正標準のグループにおいても、当該校正標準
を接続すべきポートまたはポートの組が表示されたボタ
ンが列挙される。これらのボタンは押下されて関連する
測定が終了すれば、その色が変化する。
【００２０】ステップＰ４３において、校正に必要な全
ての測定が完了するまでステップＰ４２の処理が継続さ
れるよう判定および分岐処理する。ダイアログボックス
８１０は、誤差係数を求め、以降の測定における誤算の
影響の除去に反映させるための［Update CalCoef］ボタ
ンを備えており、校正に必要な全ての測定が完了すれば
押す事ができるようになる。さらに、該全測定の完了
時、ダイアログボックス８１０上の各校正標準のグルー
プに列挙されたボタンは全て色が変化している。そのよ
うなダイアログボックスを、図９に例示する。なお、
［Update CalCoef］ボタンは、校正に必要な全ての測定
が完了するまでは利用不能である。ダイアログボックス
８１０は［Close］ボタンを備えているので、校正作業
を中断する事ができる。校正作業の中断する場合、チャ
ネルおよびポートの選択情報と校正標準の設定情報は保
持され、中断前に得た測定値は全て消去される。また、
ダイアログボックス８１０は［< Setup］ボタンを備え
ているので、チャネルおよびポートの再選択または校正
標準に関する情報の再設定が可能である。再選択または
再設定されても、校正標準のパラメータ測定値およびボ
タンの色は初期化または変更されない。さて、［Update
CalCoef］ボタンを押すと、プログラム処理はステップ
Ｐ４４へ進む。
ての測定が完了するまでステップＰ４２の処理が継続さ
れるよう判定および分岐処理する。ダイアログボックス
８１０は、誤差係数を求め、以降の測定における誤算の
影響の除去に反映させるための［Update CalCoef］ボタ
ンを備えており、校正に必要な全ての測定が完了すれば
押す事ができるようになる。さらに、該全測定の完了
時、ダイアログボックス８１０上の各校正標準のグルー
プに列挙されたボタンは全て色が変化している。そのよ
うなダイアログボックスを、図９に例示する。なお、
［Update CalCoef］ボタンは、校正に必要な全ての測定
が完了するまでは利用不能である。ダイアログボックス
８１０は［Close］ボタンを備えているので、校正作業
を中断する事ができる。校正作業の中断する場合、チャ
ネルおよびポートの選択情報と校正標準の設定情報は保
持され、中断前に得た測定値は全て消去される。また、
ダイアログボックス８１０は［< Setup］ボタンを備え
ているので、チャネルおよびポートの再選択または校正
標準に関する情報の再設定が可能である。再選択または
再設定されても、校正標準のパラメータ測定値およびボ
タンの色は初期化または変更されない。さて、［Update
CalCoef］ボタンを押すと、プログラム処理はステップ
Ｐ４４へ進む。
【００２１】ステップＰ４４において、ＣＰＵ３２０は
メモリ３３０に格納されたパラメータ測定値を参照して
誤差係数を計算しメモリ３３０へ格納する。すなわち、
システマティック誤差が求められる。さらに、ステップ
Ｐ４５において、ＣＰＵ３２０はメモリ３３０に格納さ
れた誤差係数と測定部３５０から得られる測定値とを参
照して、誤差の影響が除去された所望のパラメータ測定
値を表示部３６０へ出力する。なお、除去される誤差は
短期的に見るとドリフト誤差も含まれる。表示部３６０
の出力例を、図１０と図１１に示す。図１０において、
誤差係数を良好に求める事ができなかった時の所望のパ
ラメータの測定結果９１０が示されている。一方、図１
１においては、誤差係数を良好に求める事ができた時の
所望のパラメータの測定結果９２０が示されている。両
測定結果９１０および９２０は、ポート１とポート２と
の間にスルー標準が接続された時の、ポート１からポー
ト２への伝送係数Ｓ２１の測定結果であり、通常の測定
と同様に測定されて出力されるものである。求められた
誤差係数が妥当であるか否かは、例えば、測定結果の振
れ幅を観測する事によって判断する事ができる（ステッ
プＰ４５）。図１０または図１１を参照して明らかなよ
うに、校正標準を測定するためのダイアログボックスが
測定結果とともに表示されているので、既に測定された
校正標準のパラメータのうち所望のパラメータのみを再
測定する事できる。例えば、求められた誤差係数が不良
であった時、図１０において、ダイアログボックス８３
０上に列挙される、ポート番号が表示されたボタンを選
択して、図１１に示す測定結果が得られるように校正標
準の所望のパラメータを再測定する事ができる。ダイア
ログボックス８３０は、図９に示すダイアログボックス
と同様に［Update CalCoef］ボタンを備えているので、
再測定した後［Update CalCoef］ボタンを押すと、新し
い誤差係数が求められ該誤差係数が反映された測定結果
が表示される。
メモリ３３０に格納されたパラメータ測定値を参照して
誤差係数を計算しメモリ３３０へ格納する。すなわち、
システマティック誤差が求められる。さらに、ステップ
Ｐ４５において、ＣＰＵ３２０はメモリ３３０に格納さ
れた誤差係数と測定部３５０から得られる測定値とを参
照して、誤差の影響が除去された所望のパラメータ測定
値を表示部３６０へ出力する。なお、除去される誤差は
短期的に見るとドリフト誤差も含まれる。表示部３６０
の出力例を、図１０と図１１に示す。図１０において、
誤差係数を良好に求める事ができなかった時の所望のパ
ラメータの測定結果９１０が示されている。一方、図１
１においては、誤差係数を良好に求める事ができた時の
所望のパラメータの測定結果９２０が示されている。両
測定結果９１０および９２０は、ポート１とポート２と
の間にスルー標準が接続された時の、ポート１からポー
ト２への伝送係数Ｓ２１の測定結果であり、通常の測定
と同様に測定されて出力されるものである。求められた
誤差係数が妥当であるか否かは、例えば、測定結果の振
れ幅を観測する事によって判断する事ができる（ステッ
プＰ４５）。図１０または図１１を参照して明らかなよ
うに、校正標準を測定するためのダイアログボックスが
測定結果とともに表示されているので、既に測定された
校正標準のパラメータのうち所望のパラメータのみを再
測定する事できる。例えば、求められた誤差係数が不良
であった時、図１０において、ダイアログボックス８３
０上に列挙される、ポート番号が表示されたボタンを選
択して、図１１に示す測定結果が得られるように校正標
準の所望のパラメータを再測定する事ができる。ダイア
ログボックス８３０は、図９に示すダイアログボックス
と同様に［Update CalCoef］ボタンを備えているので、
再測定した後［Update CalCoef］ボタンを押すと、新し
い誤差係数が求められ該誤差係数が反映された測定結果
が表示される。
【００２２】図５のフローチャートで概略を示し詳細に
上述した校正プログラムの処理中、表示されるダイアロ
グボックスの背景には、その時点で指定されている所望
のパラメータの測定結果が表示されるようになってお
り、同プログラムの処理中であっても、通常の測定と同
様に所望のパラメータを指定する事ができ、また該パラ
メータの測定結果の表示形式を変更する事ができる。例
えば、測定結果が表示部３６０に表示されるウィンドウ
内に表示される時、波形あるいはリスト表示された数値
もしくは他の形式で表示する事でき、また、測定結果が
リスト表示される時にウィンドウのスクロールバーを操
作する事もできる。測定に関する他の設定についても、
校正プログラムの処理中に変更する事ができる。
上述した校正プログラムの処理中、表示されるダイアロ
グボックスの背景には、その時点で指定されている所望
のパラメータの測定結果が表示されるようになってお
り、同プログラムの処理中であっても、通常の測定と同
様に所望のパラメータを指定する事ができ、また該パラ
メータの測定結果の表示形式を変更する事ができる。例
えば、測定結果が表示部３６０に表示されるウィンドウ
内に表示される時、波形あるいはリスト表示された数値
もしくは他の形式で表示する事でき、また、測定結果が
リスト表示される時にウィンドウのスクロールバーを操
作する事もできる。測定に関する他の設定についても、
校正プログラムの処理中に変更する事ができる。
【００２３】図１１において、ダイアログボックス８４
０は図１０におけるダイアログボックス８３０と同一の
物であり［Close］ボタンを備えているので、求められ
た誤差係数が妥当であると判断されれば、その［Clos
e］ボタンを押す事により校正作業を終了する事が出来
る。なお、校正作業を終了しても、チャネルおよびポー
トの選択情報と校正標準の設定情報は保持されるが、終
了前に得た測定値は全て消去される。
０は図１０におけるダイアログボックス８３０と同一の
物であり［Close］ボタンを備えているので、求められ
た誤差係数が妥当であると判断されれば、その［Clos
e］ボタンを押す事により校正作業を終了する事が出来
る。なお、校正作業を終了しても、チャネルおよびポー
トの選択情報と校正標準の設定情報は保持されるが、終
了前に得た測定値は全て消去される。
【００２４】さて、上述の通り、ダイアログボックス８
１０は［< Setup］ボタンを備えているので、チャネル
およびポートの再選択または校正標準に関する情報の再
設定が可能であり、再選択または再設定されても校正標
準のパラメータ測定値およびボタンの色は初期化も変更
もなされない。この事は、ｎポート校正を複数の２ポー
ト校正に分割して段階的に実施する事を可能にし校正作
業の効率改善に貢献する。例えば、１−２−３ポートに
対して３ポート校正する時、１−２ポートに対する２ポ
ート校正と１−３ポートに対する２ポート校正とをそれ
ぞれ実施する事により代替えする事ができる。２ポート
校正は、３ポート校正に比べて、校正標準の接続ポート
や接続状態など、校正標準の測定結果に影響を及ぼす要
因が限定されるので求められた誤差係数が妥当であるか
否か検証と、求められた誤差係数が妥当でなかった時の
対応が容易になる。
１０は［< Setup］ボタンを備えているので、チャネル
およびポートの再選択または校正標準に関する情報の再
設定が可能であり、再選択または再設定されても校正標
準のパラメータ測定値およびボタンの色は初期化も変更
もなされない。この事は、ｎポート校正を複数の２ポー
ト校正に分割して段階的に実施する事を可能にし校正作
業の効率改善に貢献する。例えば、１−２−３ポートに
対して３ポート校正する時、１−２ポートに対する２ポ
ート校正と１−３ポートに対する２ポート校正とをそれ
ぞれ実施する事により代替えする事ができる。２ポート
校正は、３ポート校正に比べて、校正標準の接続ポート
や接続状態など、校正標準の測定結果に影響を及ぼす要
因が限定されるので求められた誤差係数が妥当であるか
否か検証と、求められた誤差係数が妥当でなかった時の
対応が容易になる。
【００２５】上述の校正プログラムは、ネットワークア
ナライザ３００が当該プログラムを実行できるように記
録媒体に記憶されていれば、その記憶媒体は、ネットワ
ークアナライザ３００に内蔵されても、ネットワークア
ナライザ３００とは別に提供されても良い。例えば、当
該プログラムを、ＣＤＲＯＭ、フレキシブルディスク、
メモリーカード、外部接続型のＨＤＤなどの記憶媒体に
記録しておき、これらの記憶媒体からネットワークアナ
ライザ３００にプログラムを実装する事もできる。ま
た、当然の事ながら、当該プログラムはＲＯＭに記録さ
れてネットワークアナライザ３００に実装されても良
い。
ナライザ３００が当該プログラムを実行できるように記
録媒体に記憶されていれば、その記憶媒体は、ネットワ
ークアナライザ３００に内蔵されても、ネットワークア
ナライザ３００とは別に提供されても良い。例えば、当
該プログラムを、ＣＤＲＯＭ、フレキシブルディスク、
メモリーカード、外部接続型のＨＤＤなどの記憶媒体に
記録しておき、これらの記憶媒体からネットワークアナ
ライザ３００にプログラムを実装する事もできる。ま
た、当然の事ながら、当該プログラムはＲＯＭに記録さ
れてネットワークアナライザ３００に実装されても良
い。
【００２６】
【発明の効果】以上詳細に説明した本発明によれば、校
正作業中に、誤差の影響が除去された所望のパラメータ
測定値を出力するので、校正標準の再測定が必要な時に
係る工数を軽減する事ができる。また、校正作業を中断
または終了する時に、校正標準のパラメータ測定値を利
用不能にするので、該測定値を格納する記憶手段の資源
浪費と、改めて校正作業が行われる際に新しい測定値と
古い測定値との混在に起因する作業者の混乱と、を抑制
する事ができる。さらに、Ｎ個の測定端子を校正する
時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定
端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わせにお
いて、得られた前記組み合わせ毎に前記測定端子を校正
するので、校正によって得られる誤差係数の検証と、不
良の誤差係数が得られた時の対応と、を容易にする事が
できる。
正作業中に、誤差の影響が除去された所望のパラメータ
測定値を出力するので、校正標準の再測定が必要な時に
係る工数を軽減する事ができる。また、校正作業を中断
または終了する時に、校正標準のパラメータ測定値を利
用不能にするので、該測定値を格納する記憶手段の資源
浪費と、改めて校正作業が行われる際に新しい測定値と
古い測定値との混在に起因する作業者の混乱と、を抑制
する事ができる。さらに、Ｎ個の測定端子を校正する
時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定
端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わせにお
いて、得られた前記組み合わせ毎に前記測定端子を校正
するので、校正によって得られる誤差係数の検証と、不
良の誤差係数が得られた時の対応と、を容易にする事が
できる。
【図１】従来方法により校正可能なネットワークアナラ
イザの概略構成図である。
イザの概略構成図である。
【図２】従来方法による校正手順を示すフローチャート
である。
である。
【図３】本発明方法により校正可能なネットワークアナ
ライザの概略構成図である。
ライザの概略構成図である。
【図４】本発明方法により校正可能なネットワークアナ
ライザの測定部の詳細な内部構成を示す図である。
ライザの測定部の詳細な内部構成を示す図である。
【図５】本発明方法による校正手順を示すフローチャー
トである。
トである。
【図６】本発明方法による校正プログラムが表示する画
面を示す図である。
面を示す図である。
【図７】本発明方法による校正プログラムが表示する画
面を示す図である。
面を示す図である。
【図８】本発明方法による校正プログラムが表示する画
面を示す図である。
面を示す図である。
【図９】本発明方法による校正プログラムが表示する画
面を示す図である。
面を示す図である。
【図１０】本発明方法による校正プログラムが表示する
画面を示す図である。
画面を示す図である。
【図１１】本発明方法による校正プログラムが表示する
画面を示す図である。
画面を示す図である。
１００、３００ ネットワークアナライザ
１１０、３１０ バス
１２０、３２０ ＣＰＵ
１３０、３３０ メモリ
１４０、３４０ 入力装置
１５０、３５０ 測定部
１６０、３６０ 表示部
３７０ ハードディスクドライブ
６００，７００，８１０，８２０，８３０，８４０ ダ
イアログボックス ９１０，９２０ 測定結果
イアログボックス ９１０，９２０ 測定結果
Claims (13)
- 【請求項１】測定端子を具備する測定手段と記憶手段と
を備える測定装置であって、 前記測定端子および前記校正標準を選択し、該選択した
校正標準の特性値を設定し、 選択した前記測定端子において選択した前記校正標準の
パラメータを測定し、該測定値を前記記憶手段に格納
し、 前記記憶手段に格納された前記校正標準のパラメータ測
定値を参照して、誤差を求め、 所望の前記測定端子における所望のパラメータを測定
し、該所望のパラメータ測定値から前記誤差の影響を除
去して出力し、 誤差の影響が除去された前記所望のパラメータ測定値を
出力した後、格納された前記校正標準のパラメータ測定
値を保持したまま、前記校正標準の所望のパラメータを
再度測定し、該再測定値を前記記憶手段に格納できる、 制御手段を備える事を特徴とする方法。 - 【請求項２】前記制御手段は、前記校正標準のパラメー
タを測定し該測定値を前記記憶手段に格納した後、格納
された前記校正標準のパラメータ測定値を保持したま
ま、前記校正標準の所望のパラメータを再度測定し、該
再測定値を前記記憶手段に格納できる事を特徴とする請
求項１に記載の装置。 - 【請求項３】前記制御手段は、格納された前記校正標準
のパラメータ測定値を利用不能にする事を特徴とする請
求項１または２に記載の装置。 - 【請求項４】前記測定装置は、２以上の測定端子を備え
たネットワークアナライザである事を特徴とする請求項
１乃至３のいずれかに記載の装置。 - 【請求項５】測定端子と記憶手段とを備える測定装置に
おいて、校正標準を用いて測定装置を校正する方法であ
って、 前記測定端子および前記校正標準を選択し、該選択した
校正標準の特性値を設定する第一のステップと、 選択した前記測定端子において選択した前記校正標準の
パラメータを測定し、該測定値を前記記憶手段に格納す
る第二のステップと、 前記記憶手段に格納された前記校正標準のパラメータ測
定値を参照して、誤差を求める第三のステップと、 所望の前記測定端子における所望のパラメータを測定
し、該所望のパラメータ測定値から前記誤差の影響を除
去し出力する第四のステップと、 を含み、 誤差の影響が除去された前記所望のパラメータ測定値を
出力した後、格納された前記校正標準のパラメータ測定
値を保持したまま、前記校正標準の所望のパラメータを
再度測定し、該再測定値を前記記憶手段に格納できる事
を特徴とする方法。 - 【請求項６】前記第二のステップにおいて、前記校正標
準のパラメータを測定し該測定値を前記記憶手段に格納
した後、格納された前記校正標準のパラメータ測定値を
保持したまま、前記校正標準の所望のパラメータを再度
測定し、該再測定値を前記記憶手段に格納できる事を特
徴とする請求項５に記載の方法。 - 【請求項７】前記ステップを中断あるいは終了する時
に、格納された前記校正標準のパラメータ測定値を利用
不能にする事を特徴とする請求項５または６に記載の方
法。 - 【請求項８】測定端子を備える測定装置において、校正
標準を用いて測定装置を校正する方法であって、 前記測定端子および前記校正標準を選択し、該選択した
校正標準の特性値を設定する第一のステップと、 選択した前記測定端子において選択した前記校正標準の
パラメータを測定する第二のステップと、 測定した前記校正標準のパラメータを参照して、誤差を
求める第三のステップと、 所望の前記測定端子に接続される被測定物の所望のパラ
メータを測定し、該測定値から前記誤差の影響を除去し
出力する第四のステップと、 を含み、 Ｎ個の前記測定端子を校正する時、Ｎ個の前記測定端子
からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して得られる
前記測定端子の組み合わせにおいて、得られた前記組み
合わせ毎に前記測定端子を校正する事を特徴とする方
法。 - 【請求項９】前記測定装置は、２以上の測定端子を備え
たネットワークアナライザである事を特徴とする請求項
５乃至８のいずれかに記載の方法。 - 【請求項１０】測定端子と記憶手段とを備える測定装置
において、校正標準を用いて測定装置を校正するための
プログラムを記録した記録媒体であって、前記プログラ
ムは、 前記測定端子および前記校正標準を選択し、該選択した
校正標準の特性値を設定する第一のステップと、 選択した前記測定端子において選択した前記校正標準の
パラメータを測定し、該測定値を前記記憶手段に格納す
る第二のステップと、 前記記憶手段に格納された前記校正標準のパラメータ測
定値を参照して、誤差を求める第三のステップと、 所望の前記測定端子における所望のパラメータを測定
し、該所望のパラメータ測定値から前記誤差の影響を除
去し出力する第四のステップと、 を含み、 誤差の影響が除去された前記所望のパラメータ測定値を
出力した後、格納された前記校正標準のパラメータ測定
値を保持したまま、前記校正標準の所望のパラメータを
再度測定し、該再測定値を前記記憶手段に格納できる事
を特徴とする記録媒体。 - 【請求項１１】前記第二のステップにおいて、前記校正
標準のパラメータを測定し該測定値を前記記憶手段に格
納した後、格納された前記校正標準のパラメータ測定値
を保持したまま、前記校正標準の所望のパラメータを再
度測定し、該再測定値を前記記憶手段に格納できる事を
特徴とする請求項１０に記載の記録媒体。 - 【請求項１２】前記ステップを中断あるいは終了する時
に、格納された前記校正標準のパラメータ測定値を利用
不能にする事を特徴とする請求項１０または１１に記載
の記録媒体。 - 【請求項１３】測定端子を備える測定装置において、校
正標準を用いて測定装置を校正するためのプログラムを
記録した記録媒体であって、前記プログラムは、 前記測定端子および前記校正標準を選択し、該選択した
校正標準の特性値を設定する第一のステップと、 選択した前記測定端子において選択した前記校正標準の
パラメータを測定する第二のステップと、 測定した前記校正標準のパラメータを参照して、誤差を
求める第三のステップと、 所望の前記測定端子に接続される被測定物の所望のパラ
メータを測定し、該測定値から前記誤差の影響を除去し
出力する第四のステップと、 を含み、 Ｎ個の前記測定端子を校正する時、Ｎ個の前記測定端子
からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して得られる
前記測定端子の組み合わせにおいて、得られた前記組み
合わせ毎に前記測定端子を校正する事を特徴とする記録
媒体。
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