1247904 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於可檢查形成於基板上的導電圖案的良否 的電路圖案檢查裝置及電路圖案檢查方法。 【先前技術】 在製造形成導電圖案於基板上的電路基板時，有對形成 於基板上的導電圖案進行是否有斷線及短路的檢查的必 要。 以往，作為導電圖案的檢查方法，例如，如專利文獻1 所示，週知一種使針腳接觸於導電圖案的兩端而從一端側 的針腳對導電圖案供給電信號，而從另一端側的針腳接受 該電信號，以進行導電圖案的導通測試等的接觸式的檢查 方法（針腳接觸方式）。電信號的供電係藉由將金屬探針立 設於全端子上，並從此處對導電圖案流動電流所進行者。 該針腳接觸方式，因為直接使探針接觸，因此具有S / N 比高的長處。 但是，近年來，因為導電圖案的高密度化，連接用配線 間距也越細密化，5 0 // m以下的間距也已出現。因此，以 狹間距且多根數的探針所構成的探針卡的製造成本高。 另外，與此同時，必須製作適用於每一配線圖案（每一 檢查對象）不同的新探針卡。因此，檢查成本變高且對電子 零件的低成本化造成極大的障礙。 另外，微細構造上的探針卡很脆弱，在實際之使用上有 必要考慮經常破損的危險。 5 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 因此，如專利文獻2所示，還提出使針腳探針直接接觸 於檢查對象的導體圖案的一端，並施加含有交流成份的檢 查信號，在另一端的探針則定位在不接觸導體圖案且隔開 指定間隔的狀態，介由電容耦合以檢測上述檢查信號的接 觸-非接觸併用方式的方案。 該接觸-非接觸併用方式，因為圖案線的另一端的探針 無如探針般直接接觸於圖案的必要，因此可粗定位制定位 精度。更且，針對複數的圖案線可使非接觸部共用化，因 此可削減探針的根數。為此，還可對應導電圖案的間隔微 細之情況。 (專利文獻1 ) 日本專利特開昭6 2 - 2 6 9 0 7 5號公報 (專利文獻2 ) 曰本專利特開平1 1 - 7 2 5 2 4號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 然而，上述接觸-非接觸併用方式中，配設於導電圖案 的兩端部位置的探針及來自探針的檢測信號處理等，係依 據導電性圖案的配設間隔而設，因此導電圖案的形狀為預 先決定的一種類，若導電圖案不同時，則有配合圖案製作 夾具的必要。 另外，上述接觸-非接觸併用方式中，直接接觸於針腳 探針的檢查對象的導體圖案的一端也微細化，要使針腳探 針接觸的作業變得困難。另外，也無法避免利用針腳探針 6 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 極，係配設在與可於一端部位置藉由上述供給電極供給檢 查信號之檢查對象圖案鄰接的檢查對象圖案的另一端部位 置上。 另外，例如，其特徵為：上述第1檢測電極的寬度為檢 查對象圖案的圖案寬度以下。 另外，例如，其特徵為：上述第2檢測電極的寬度為檢 查對象圖案的圖案寬度以下。 另外，例如，其特徵為：上述移動機構係在使上述供給 機構的供給電極面及上述檢測機構的檢測電極面，與上述 檢查對象圖案電容耦合的狀態，橫過移動於上述檢查對象 區域的兩端附近的行狀部分。 另外，例如，其特徵為：還具備判斷機構，係在依上述 檢測機構的檢測結果處於指定範圍的情況判斷檢查對象圖 案為正常，而在檢查結果超出指定範圍的情況則判斷檢查 對象圖案為不良。 另外，例如，其特徵為：還具備第2移動機構，在上述 判斷機構判斷為不良的檢查對象圖案的兩端，使上述供給 機構的供給電極與上述檢測機構的檢測電極移動，使上述 供給機構的供給電極或上述檢測機構的檢測電極的任一者 向著另一者沿圖案移動；及位置檢測機構，基於上述檢測 機構的檢測結果檢測其檢測變化位置。 另外，例如，其特徵為：還具備接觸機構俾使上述供給 機構的供給電極或上述檢測機構的檢測電極的任一另一者 接觸於檢查對象圖案。 8 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 電極或上述供給電極與檢查對象的分離距離，以進行與上 述檢查對象的定位控制。 (發明效果） 根據如上述說明之本發明，可確實檢測檢查對象圖案的 不良。 更且，可容易辨識圖案不良狀況，可進行具體之不良部 位的特定。 更且，即使於檢查對象表面具有凹凸，仍不會傷及圖 案，而可進行確實的圖案檢查。 【實施方式】 以下，參照圖式詳細說明本發明之一發明的實施形態 例。以下之說明中，係以檢查作為應予檢查的圖案而形成 液晶顯示面板的點矩陣顯示用面板的黏貼前的點矩陣圖案 的良否的電路圖案檢查裝置為例進行說明。 但是，本發明並不限於以下所說明之例子，只要為至少 在檢查對象區域的兩端附近形成為行狀的檢查對象圖案， 便無任何的限定。 (第1發明的實施形態例） 圖1為說明本發明之一發明實施形態例之圖案檢查原理 用的說明圖。 圖1中，元件符號1 0為本實施形態例之配設有應予檢 查的導電性圖案的基板，本實施形態例中，使用液晶顯示 面板用的玻璃製基板。 在玻璃製基板1 0的表面，以一定間隔呈行狀配設有形 12 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 成由本實施形態例之電路圖案檢查裝置所檢查的點矩陣顯 示面板用的導電圖案15。在圖1所示導電圖案例中，各圖 案1 5的寬度大致相同，各圖案間隔也成為大致相等的間 隔。但是，本實施形態例中，即便各圖案間隔不為等間隔 也同樣可進行檢查。 元件符號2 0為感測器；元件符號3 0為檢查信號供給 部；元件符號5 0為處理來自感測器2 0的檢測信號並輸出 於控制部6 0的類比信號處理電路；元件符號6 0為管理本 實施形態例之檢查裝置全體的控制的控制部；元件符號7 0 為控制標量機器人8 0的機器人控制器；元件符號8 0為將 液晶面板1 0定位在檢查位置並予以保持，同時，根據機器 人控制器7 0的控制，以感測器2 0的感測電極及檢查信號 供給部3 0的供給電極順序橫過液晶面板1 0的檢查對象的 導電圖案的所有連接端子的方式進行掃描的標量機器人。 本實施形態例中，標量機器人8 0係用以將檢查對象基 板（液晶面板）1 0定位在指定的檢查位置，而構成為可三維 定位。相同地，將感測器2 0、檢查信號供給部3 0與檢查 對象基板1 0的表面邊保持指定的距離邊在檢查對象圖案 上移動，而構成為可三維定位控制。 又，在以上之說明中，說明了由標量機器人8 0將感測 器2 0、檢查信號供給部3 0與檢查對象基板1 0的表面邊保 持指定的距離邊在檢查對象圖案上移動的例子。但是，本 實施形態例並不限於以上的例子，也可控制為將檢查信號 供給部3 0固定，而使檢查對象基板1 0與感測器2 0、檢查 13 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 信號供給部3 0的前端電極2 5、3 5的表面邊保持指定的距 離邊在基板上移動的方式。如此般控制也可獲得完全相同 的作用效果。 又，在實際之檢查控制中，在各圖案間隔不為等間隔的 情況及雙端部的圖案間距不同的情況，有使感測電極2 5 的移動距離與供給電極3 5的移動距離相互同步，至少一定 以供給電極3 5成為實際供給檢查信號的圖案的另一端部 位置的方式來控制感測電極2 5的一部分的必要。若如此般 控制的話，例如，即使各圖案間隔成為等間隔，雙端部的 圖案間距不同，仍可僅以標量機器人的兩電極移動速度的 控制來對應。 在本實施形態例之將感測器2 0及檢查信號供給部3 0的 至少前端部表面，分別配設感測電極2 5及供給電極3 5。 感測電極2 5及供給電極3 5係由金屬、例如銅（C u )或金（A u ) 所形成。又，為保護各電極，也可由絕緣材料覆被。另外， 例如，雖也可將半導體作為電極使用，但這是因為由金屬 形成電極，可增大與導電圖案間的靜電電容的緣故。 檢查信號供給部3 0，係為藉由標量機器人8 0以橫過液 晶顯示面板1 0等的檢查對象圖案的一端子部等的方式移 動，而介由電容耦合順序將檢查信號供給各配線圖案者， 前端部的供給電極3 5的寬度，最好在例如檢查對象圖案的 圖案間距以下（檢查圖案的圖案寬度及圖案間隙以下的大 小）。 這是因為若供給電極3 5的寬度，較檢查對象圖案的圖 14 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 案間距大時，在感測器2 0的感測電極2 5檢測檢查信號時， 會檢測到來自檢查對象圖案以外的檢查對象圖案的檢查信 號的緣故。 但是，不一定要將供給電極3 5的寬度設為檢查對象圖 案的圖案間距以下，若只要可把握複數之檢查對象圖案與 鄰接該圖案的圖案，便可在後續將詳述之本實施形態例之 檢查方法中進行檢查。 感測器2 0，係為藉由標量機器人8 0以橫過液晶顯示面 板1 0等的檢查對象圖案的一端子部等的方式移動，而於各 檢查對象圖案介由電容耦合順序進行將藉由檢查信號供給 部3 0所供給的檢查信號的檢測，前端部的感測電極2 5的 寬度，最好在例如較供給電極3 5寬檢查對象圖案的1間距 以上的寬度。 來自感測器2 0的檢測信號被送至類比信號處理電路 5 0，以進行類比信號處理。由類比信號處理電路5 0作類比 信號處理的類比信號，係送至控制部6 0，以判斷液晶顯示 面板1 0的檢查信號供給部3 0所接觸的檢查對象圖案的良 否。另外，控制部6 0還進行將檢查信號供給檢查信號供給 部30的控制。 類比信號處理電路5 0具有放大來自感測器2 0的檢測信 號的放大器5 1 ;除去由放大器5 1所放大的檢測信號的雜 訊成份以使檢測信號通過用的帶通濾波器5 2 ;將來自帶通 濾波器5 2的信號作全波整流的整流電路5 3 ;及將藉由整 流電路5 3作全波整流的檢測信號作平滑處理的平滑電路 15 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 5 4。又，並不一定要具備進行全波整流的整流電路5 3及對 檢測信號作平滑處理的平滑電路5 4。 控制部6 0係管理本實施形態例檢查裝置全體的控制， 具備電腦（CPU)61 ;記憶CPU61的控制順序等的R0M62 ;暫 時記憶C P U 6 1的處理經過資訊及檢測信號等的R A Μ 6 3 ;將 來自類比信號處理電路5 0的類比信號變換為對應的數位 信號的A / D變換器6 4 ;將應予檢查信號供給檢查信號供給 部3 0的信號供給部6 5 ;及顯示檢查結果與操作指示導引 等的顯示部6 6。 信號供給部6 5例如作為檢查信號生成交流2 0 0 Κ Η z、2 0 0 V 的正弦波信號，供給檢查信號供給部3 0。該情況，帶通濾 波器5 2係作為使該檢查信號的2 0 0 Κ Η ζ通過的帶通濾波 器。又，檢查信號不一定要為正弦波信號，當然，只要為 交流信號，其為矩形波或脈衝波均無妨。 以下，參照圖2之流程圖說明具備以上之構成的本實施 形態例之導電圖案的檢查控制。圖2為說明本實施形態例 之檢查裝置的檢查控制用的流程圖。 在藉由本實施形態例之檢查裝置進行檢查時，形成檢查 對象導電圖案的玻璃基板，在未圖示的搬運路上被搬運至 本實施形態例的電路圖案檢查裝置位置（工件位置）。為 此，首先在步驟S1，將作為檢查對象的液晶面板1 0設定 於檢查裝置。這可藉由未圖示的搬運機器人將自動搬運來 的檢查對象基板設定於檢查裝置，或是可由操作者來直接 設定。控制部6 0係當於檢查裝置設定檢查對象時，起動.機 16 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 器人控制器7 0以控制標量機器人8 0，將檢查對象定位於 檢查位置。 接著，在步驟S 3，將檢查信號供給部3 0的供給電極3 5 定位於檢查對象（液晶面板）1 0的檢查對象圖案1 5的一端 部側的初期位置（離開指定距離的最端部的檢查對象圖案 位置），同時，將感測器2 0的感測電極2 5搬運定位於檢查 對象圖案1 5的另一端部側的初期位置（離開指定距離的最 端部的配線圖案位置）。 又，在本實施形態例中，間距（檢查對象圖案與電極間 的距離）被保持在例如1 0 0 // m〜2 0 0 # m的範圍。但是，間 距並不限於以上之例子，本實施形態例中，間距係依檢查 對象圖案的尺寸所決定，若圖案的尺寸增大時則間距也增 大，而在圖案的尺寸小的情況間距也變狹。 另外，在圖案尺寸非常小的情況，藉由在電極表面由絕 緣材料形成覆被，而以無直接接觸的方式形成圖案與電 極，介由絕緣材料將感測器2 0或檢查信號供給部3 0直接 密接於基板上，以間距大致成為絕緣材料的厚度的方式進 行控制，可容易且正確地將檢查對象圖案與電極間的距離 保持為一定距離進行檢查。 藉此，即使為非常精細的圖案，仍可以簡單的構造獲得 容易且正確的檢查結果。 接著，在步驟S 5，於信號供給部6 5作指示而開始對檢 查信號供給部3 0的供給電極3 5供給檢查信號。 接著，進入步驟S7，將圖案與電極間的距離保持為一 17 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 定，以使感測器2 0與檢查信號供給部3 0的各電極2 5、3 5 同步橫過檢查對象圖案的方式，且以與檢查對象圖案表面 的分離距離保持為一定的方式開始邊控制邊移動的控制。 藉此，於其後，感測電極2 5係藉由與供給電極3 5的電容 耦合以檢測來自備供給有檢查信號的檢查對象圖案的信號 電位。 也就是說，在供給電極3 5位於供給檢查信號的圖案位 置的情況，感測電極2 5的至少一部分位於供給該檢查信號 的檢查對象圖案的另一端部位置，此等均控制為在供給電 極3 5移動於一端部的檢查對象圖案的1個間距期間，另一 端部的感測電極2 5也移動檢查對象圖案的1個間距量的狀 態。 為此，在步驟S1 0，起動類比信號處理電路5 0，進行處 理來自感測電極2 5的檢測信號而輸出於控制部6 0的控 制。在信號處理電路5 0中，如上述，由放大器51將來自 感測器2 0的感測電極2 5的檢測信號放大至必要的位準， 將由放大器5 1所放大的檢測信號傳輸至使檢查信號頻率 的信號通過的帶通濾波器5 2，以除去雜訊成份，其後，由 整流電路5 3將來自帶通濾波器5 2的信號作全波整流，由 平滑電路5 4將被全波整流的檢測信號作平滑處理，並傳輸 至控制部6 0的A / D變換器6 4。 C P U 6 1係起動A / D變換器6 4而將所輸入的類比信號變換 為對應的數位信號，並作為數位值讀取由感測電極2 5所檢 測的檢查信號。 18 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 C P U 6 1係於後續之步驟S 1 2，將所讀取的檢測信號傳輸 至R A Μ 6 3。R A Μ 6 3順序儲存所傳輸來的檢測信號。又，該所 讀取的檢測信號内包含來自正常的檢查對象圖案的檢測信 號、來自斷線的檢查對象圖案的檢測信號、來自與檢查對 象圖案短路的鄰接的檢查對象圖案的檢測信號的所有檢測 信號。 在步驟S 1 4，判斷該檢查對象圖案的檢查是否有結束， 例如判斷感測電極2 5是否有移動至超過檢查對象圖案的 最後圖案的位置（調查該檢查對象圖案的檢查是否有結 束）。 在檢查只進行至該配線圖案的途中的情況，進入步驟 S 1 6，繼續電極的掃描，將檢查信號供給下一圖案。然後， 返回步驟S 1 0，繼續讀取處理。 另一方面，在步驟S1 4中，在對所有的檢查對象圖案的 檢查結束的情況，進入步驟S 2 0，於信號供給部6 5作指示， 以使檢查信號的供給停止，同時，使信號處理電路5 0、A / D 變換器6 4的動作停止。 然後，最後在步驟S 2 2，使檢查對象離開檢查位置，定 位並搬運至下一搬運位置，以進行必要的後處理。 藉由如上述的控制，進行感測電極2 5與供給電極3 5的 兩者完全不與檢查對象圖案接觸等的圖案的檢查。為此， 即使為檢查對象圖案的強度少的基板，仍可進行不會產生 傷及檢查對象圖案等的問題的檢查。 因此，即使為用於無法充分取得圖案強度的小型行動電 19 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 話用液晶顯示面板的液晶顯示面板用玻璃基板，仍可不傷 及配線圖案而確實檢查。 另外，在本實施形態例之導電圖案的檢查控制中，因為 邊以橫過檢測對象圖案的方式使感測電極2 5及供給電極 3 5移動，邊從供給電極3 5對檢查對象圖案供給連續信號 之交流正弦波信號，藉由感測電極2 5檢測來自檢查對象圖 案的信號電位，因此，在藉由感測電極2 5所獲得的信號電 位的檢測信號，被作為某種程度一定的連續檢測信號值而 被檢測。 因此，在設於檢查對象圖案的複數檢查對象圖案中，具 有打開（斷線的檢查對象圖案）或短路（與相鄰之檢查對象 圖案短路的檢查對象圖案）的不良檢查對象圖案的情況，在 無打開或短路的正常檢查對象圖案的連續範圍所檢測的某 種程度一定的連續的檢測信號值，及在具有打開或短路的 不良檢查對象圖案位置所檢測的不良的檢測信號值間可產 生數值差。 如此般，在某種程度一定的連續的檢測信號值中，依打 開或短路的不良的檢測信號值被反映作為數值差、亦即數 值的變化，因此，例如，藉由將檢測信號檢測結果製成後 續將詳述之圖3及圖4所示的圖表，即可容易進行檢查對 象基板的不良的判斷及具有打開或短路的不良檢查對象圖 案位置的特定。 更且，藉由在檢查裝置邊順序交換檢查對象基板邊進行 檢查的過程時每次變化的，感測電極2 5與檢查對象圖案的 20 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 間距的變化或供給電極3與檢查對象圖案的間距的變化 等，某種程度的一定連續的檢測信號值，在交換檢查對象 基板的過程中作為絕對值而成為不同的數值。 但是，依本實施形態例之導電圖案的檢查控制的對檢查 對象基板的不良的判斷及具有打開或短路的不良檢查對象 圖案位置的特定，可利用某種程度一定的連續檢測信號值 中所出現的具有打開或短路的不良檢測信號值的數值差、 亦即檢測信號的相對的數值變化。 因此，對於進行不良的判斷及不良位置特定用的臨限 值，可利用不良檢測信號值對於連續之檢測信號值的比例 或不良檢測信號值對於連續之檢測信號值的變化的比例等 的相對值，即使不使用作為絕對值的某種程度一定的連續 檢測信號值，檢查裝置邊順序交換檢查對象基板邊進行檢 查，仍可確實進行不良的判斷及不良位置的特定。 又，本實施形態例之導電圖案的檢查控制，並不限於以 上之例子，也可在步驟S 1 2與步驟S 1 4之間，設置調查由 步驟S 1 2所讀取的檢測信號是否在上述相對值的臨限值範 圍内，若檢查結果在臨限值範圍内時便進入步驟S 1 4，若 不在臨限值範圍内，則判斷為供給檢查信號中的檢查對象 圖案為具有打開或短路的不良檢查對象圖案，並記憶該檢 查對象圖案的位置及狀態的步驟。 圖3及圖4顯示依上述控制之感測電極2 5的檢查信號 檢測結果。圖3為顯示本實施形態例之檢查裝置的檢查對 象圖案的3個部位斷線（打開）的情況的檢查信號檢測例的 21 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 圖，圖4為顯示本實施形態例之檢查對象圖案的1個部位 短路的情況的檢查信號檢測例的圖。 在檢查對象圖案為正常的情況，藉由信號供給部6 5供 給供給電極3 5的檢查信號（交流信號），被供給被電容耦合 的檢查對象圖案，並介由該檢查對象圖案到達感測電極25 的下部，藉由與感測電極2 5的電容耦合而由感測電極2 5 檢測，輸出於控制部6 0。 如此般，供給電極3 5與感測電極2 5邊橫過檢查對象圖 案邊供給·檢測檢查信號（交流信號），因此檢測信號被作 為某種程度一定的檢測信號值而連續檢測。 在檢查對象圖案的至少一部分為斷線的情況，藉由信號 供給部6 5供給供給電極3 5的檢查信號（交流電力）的至少 一部分，因檢查對象圖案的斷線部而未到達感測電極2 5 側，因此，檢測信號值變小。因此，如圖3所示，斷線之 檢查對象圖案處的檢測信號值，變得較從正常的檢查對象 圖案所檢測的連續的一定值小。 另一方面，在檢查對象圖案與鄰接之檢查對象圖案短路 的情況，藉由信號供給部6 5供給供給電極3 5的檢查信號 (交流電力），通過與鄰接之檢查對象圖案的短路部，也流 動於鄰接之檢查對象圖案，因此，來自感測電極2 5的檢測 信號與鄰接之檢查對象圖案的檢測信號重疊，使得檢測信 號變大。因此，如圖4所示，短路之檢查對象圖案處的檢 測信號值，變得較從正常的檢查對象圖案所檢測的連續的 一定值大。 22 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 如上述，可由一個感測電極2 5來檢測該檢測對象圖案 的斷線與斷路，是因為感測電極2 5的寬度係設定為較供給 電極3 5的寬度至少寬檢查對象圖案的1個間距以上的寬度 的緣故。 但是，並不一定要感測電極2 5的寬度設定在較供給電 極3 5的寬度寬檢查對象圖案的1個間距以上，也可進行斷 線之檢查對象圖案的檢查及與相鄰之檢查對象圖案短路的 檢查對象圖案的檢查，例如，可構成為後續將詳述之第2 實施形態例的構成。 此時，在作為絕對值的某種程度一定的連續的檢測信號 值，若在某種程度的範圍内設定臨限值，在檢測信號值較 臨限值小的情況即可判斷為檢查對象圖案的斷線，而在檢 測信號值較臨限值大的情況即可判斷為與檢查對象圖案的 端路。例如，在圖4中，相對某種程度一定的連續的檢測 信號值為0 . 6 0 V p p，若臨限值為0 . 0 2 V p p，則判斷處在成為 0 · 5 8 V ρ ρ以下的感測器移動距離約為2 2 m m、4 2 m m、7 8 m m的 位置的檢查對象圖案處於斷線之中。 另外，於進行不良的判斷及不良位置特定用的臨限值， 利用不良檢測信號值對連續之檢測信號值的比例及不良檢 測信號值對連續之檢測信號值的變化比例等的相對值，例 如，在連續之檢測信號值低於3 %以下的情況，即可判定檢 查對象圖案的斷線，而在連續之檢測信號值上升至3 %以上 的情況便可判定與檢查對象圖案的短路。 如此般，在本實施形態例中，對於圖案的良否的判定可 23 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 將絕對值作為臨限值予以利用，當然也可將不良圖案的檢 測信號值對正常圖案之檢測信號值的相對變化的比例作為 臨限值予以利用，因此，即便檢查裝置邊順序交換檢查對 象基板邊進行檢查，仍可設定依據檢測結果的最合適的臨 限值，即便於每次檢查時檢測信號值有誤差，另外即使在 檢測信號值低的情況，可完全防止此等的影響，可獲得正 確的檢查結果。 如此般，因為感測器與檢查信號供給部兩方均為非接 觸，因此即使為檢測信號值變微小的檢查方式，藉由使用 本實施形態例的檢查裝置，仍可確實辨識該差異，可容易 且確實進行圖案狀態的檢查。 因此，與將檢測信號值的絕對值作為臨限值以判定良否 的習知方法比較，可非常正確且容易檢測圖案的良否。另 外，因為為非接觸，因此不需要正確的定位精度，即便是 檢查對象圖案的間距非常微細的基板，仍可精度良好地進 行檢查。 (第2發明之實施形態例） 以上的說明中，說明了至少將感測電極25的一部分一 定控制在成為供給電極3 5實際供給檢查信號時的圖案的 另一端部位置的例子。但是，本發明並不限於以上之例子， 例如，也可為設置複數的感測電極2 5，複數設置的感測電 極2 5中的一個，係設置在供給電極3 5實際供給檢查信號 時的圖案的另一端部位置，複數設置的感測電極2 5的其他 至少一個，係設置在供給電極3 5實際供給檢查信號時的圖 24
312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 案的鄰接圖案的另一端部位置的構成。 以下，參照圖5說明如此般構成之本發明之第2實施形 態例。圖5為說明本發明之第2實施形態例之檢查裝置的 構成用的說明圖。 圖5中，對於與上述第1實施形態例之圖1所示構成相 同的構成元件，則賦予相同的元件符號，並省略詳細說明。 圖5中，在感測器部2 0之至少前端部表面，設置第1 感測電極2 2及第2感測電極2 4。該第1感測電極2 2及第 2感測電極24係僅以檢查對象圖案的圖案間距量分開配 置，另外，第1感測電極2 2係設於供給電極3 5實際供給 檢查信號時的接受檢查對象圖案的另一端部位置，而第2 感測電極2 4係以截止狀態設於供給電極3 5實際供給檢查 信號時的接受檢查對象圖案的鄰接檢查對象圖案的另一端 部位置。 此等第1感測電極2 2及第2感測電極2 4的寬度，最好 在檢查對象圖案的圖案寬度以下。這是為了藉由第1感測 電極2 2進行接受檢查對象圖案的斷線檢查，而由第2感測 電極2 4進行接受檢查對象圖案與鄰接的檢查對象圖案的 短路的檢查，以實現非常高精度的檢查。 具體而言，若第1感測電極2 2的寬度，為檢查對象圖 案的圖案寬度以下時，即使在接受檢查對象圖案斷線，且 接受檢查對象圖案與鄰接的檢查對象圖案短路的情況，第 1感測電極2 2仍極為不易受到從接受檢查對象圖案通過短 路部流入鄰接的檢查對象圖案的來自鄰接的檢查對象圖案 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 25 1247904 的檢測信號的影響。另外，若第2感測電極2 4的寬度，為 檢查對象圖案的圖案寬度以下時，即使在接受檢查對象圖 案無斷線及短路的情況，或是，接受檢查對象圖案無斷線、 但接受檢查對象圖案與鄰接的檢查對象圖案短路的情況， 第2感測電極2 4仍極為不易受到來自接受檢查對象圖案的 檢查信號的影響。 如此般，依第1感測電極2 2與第2感測電極2 4的斷線、 短路的檢查，無論接受檢查對象圖案的斷線的有無及與鄰 接的檢查對象圖案的短路的有無的任何存在情況，均可實 現非常高精度的檢查。 但是，也可不一定要將第1感測電極2 2及第2感測電 極2 4的寬度設定在檢查對象圖案的圖案寬度以下的情 況，藉由第1實施形態例的感測電極1 5即可一目瞭然。 另外，在如上述詳細說明之第2實施形態例中，說明了 被截止的感測電極為第2感測電極24，但是，利用在與鄰 接接受檢查對象圖案的鄰接檢查對象圖案的相反側設置檢 測來自鄰接的第2鄰接檢查對象圖案的檢查信號的第3感 測電極，即可同時檢查與鄰接於接受檢查對象圖案的兩鄰 的2個鄰接檢查對象圖案的短路。 另夕卜，當然設於感測器2 0的感測電極，僅為第1感測 電極2 2或僅為第2感測電極2 4，仍無問題，或是，設置3 個以上的被截止的感測電極亦可。 (第3發明之實施形態例） 以上的說明中，說明了以橫過檢查對象圖案的端部的方 26 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 式使感測電極2 5及供給電極3 5移動，以檢測不良圖案的 例子。但是，本發明並不限於以上之例子，例如，也可為 沿著檢查對象圖案移動控制感測電極2 5或供給電極3 5的 一者的構成，在以上述控制特定不良圖案後，於不良圖案 位置定位兩電極，並沿著不良圖案使一電極移動於圖案 上，讀入感測電極2 5的檢測信號值，檢測該檢測信號值的 變化位置，並作為圖案不良產生部予以特定。 以下，參照圖6至圖1 0說明如此般構成之本發明之第3 實施形態例。圖6為說明本發明之第3實施形態例之檢查 裝置的構成圖，圖7為說明本發明之第3實施形態例之檢 查裝置的電極移動控制用的說明圖，圖8為說明第3實施 形態例之圖案不良部位特定控制用的流程圖，圖9為說明 第3實施形態例之在感測電極2 5的不良圖案檢測信號波形 的例圖，圖1 0為說明不良圖案之感測電極2 5的檢測信號 波形的例圖。 圖6中，對於與上述第1實施形態例之圖1所示構成相 同的構成元件，則賦予相同的元件符號，並省略詳細說明。 圖6中，在檢測部2 0安裝有攝影機2 6。該攝影機2 6係 為了顯示所攝影的圖像，而連接於如控制部6 0的顯示部 6 6，用於觀察圖案不良產生部位的不良發生狀態。另外， 在檢查信號供給部3 0設置有安裝著供給檢查信號的檢查 信號供給探針的探針接觸機構3 2。該探針接觸機構3 2與 檢查信號供給探針係用於確實進行圖案不良產生部位的特 定0 27 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 圖 著 沿 僅 不 為 成 構 係 人 器 機 量 標 中 例 態 形 施 3 第 在 極 電 制 控 動 移 可 向 方 長 案 圖 的 11 圖 著 沿 還 向 方 頭 箭 的 控 查 檢 的 示 所 2 圖 之 例 態 形 施 實 11 第 述 上 行 進 先 首 果 結 的 查 檢 於 〇 良 不 有 否 是 案 圖 象 對 查 檢 該 查 檢 制 位 案 象 對 查 檢 該 將 則 案 圖 象 對 查 檢 的 線 斷 為 案 圖 如 例 如 例 於 持 保 置 内 等 定 特 置 位 案 圖 良 不 該 將 並 案 圖 良 不 出 測 檢 般 此 如 當 行定極 移特電 則位測 ， 部 感 時良與 示 。 所理① 處之 定 7 特圖 位如 部 ， 良 中 不 理 至 處 不 之 例 態 形 施 實 3 第 在 5 3 極 ^¾ 供 使 初 最 處 置 位 案 圖 的 良 不 為 斷 判 被 至 移 步 同 5 2 極號 電 信 測查 感檢 將取 ， 讀 示 序 所順 ②邊 之動 7 移 圖邊 D β, 士 咅 ， 端 著 一 接另 著 向 部 端 案 圖 從 急 號 信 取 讀 得 求 位 的 化 變 準 位 低 在 或 號 信 測 檢 出 測 檢 未 C' 置 位 的 化 變 遽 置 置 位 良 不 案 圖 為 定 特 置 位 該 將 並 態 認 形確 施， 實理 3 處 第的 在 4 11 O S 明驟 說 步 行之 進 例 細 態 詳形 程施 流實 之 1 8 第 圖述 照 上 參續 ， 接 下 ， 以 中 例 保存於R A Μ 6 3的檢測信號，調查是否有檢測出不良圖案， 在未檢測出不良圖案的情況，便移行至步驟S 2 0的處理。 另一方面，在檢測出檢查結果不良圖案的情況，則減弱 信號供給部6 5，同時，與步驟S 3相同將電極定位於初期 位置並移行至圖8所示的處理。然後，在圖8所示的處理 結束後只要移行至步驟S 2 0的處理即可。 在第3實施形態例中，最初如圖8所示步驟S 3 1所示， 特定由圖2所示步驟S 1至步驟S1 6的處理所檢測的不良圖 28 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 案位置。例如，圖9顯示一部分的圖案斷線的情況的檢測 信號波形。在圖9所示之例子中，顯示進行類比信號處理 電路5 0的信號處理前的信號。在圓圈所示的部位，為檢測 出圖案的打開（2根圖案斷線中的情況）的信號波形。 接著，在步驟S 3 3，起動機器人控制器7 0，以控制標量 機器人8 0，邊使感測電極2 5及供電電極3 5同步邊移動至 不良圖案位置。此時，為進行高感的檢測，以使感測電極 25及供電電極35的寬度方向的中心來至不良圖案之寬度 方向大致中央位置與將檢查對象定位於檢查位置的方式進 行定位（圖7之①的控制）。 接著，進入步驟S 3 5，起動信號供給部6 5並將檢查信號 施加於供給電極3 5，將檢查信號供給不良圖案。然後，起 動機器人控制器7 0，沿著圖案將感測電極2 5向供電電極 35方向移動（圖7之②的控制）。 同時，如步驟S 4 0所示，讀取來自感測電極2 5的檢測 信號。然後在步驟S 4 2調查來自感測電極2 5的檢測信號值 是否有大的變化。在無大的變化的情況，返回步驟S37， 繼續感測電極25的移動。 另一方面，在步驟S42，在來自感測電極25的檢測信號 值有大的變化的情況，進入步驟S 4 4，求得來自感測電極 2 5的檢測信號發生大變化的起始位置與大變化消失時的 位置，並將此等位置的中間位置特定為圖案不良部位。 圖1 0顯示感測電極2 5的檢測信號波形的例子。如圖1 0 所示，直至斷線部位為止，由供給電極3 5所供給的檢查信 29 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 號未到達感測電極2 5，檢測信號值也低，但當超過斷線部 位時，因為有所供給的檢查信號到達，因此檢測信號值也 上升。例如，因為將來自感測電極2 5的檢測信號發生大變 化的起始位置與大變化消失時的位置的中間位置特定為圖 案不良部位，因此，可將該傾斜部分的大致中間的處所特 定為圖案不良部位。 又，以上之說明係使感測電極2 5移動於供給電極方向， 但不一定是感測電極2 5，也可將供給電極3 5移動於感測 電極2 5方向。 根據如上述說明之第3實施形態例，可與上述第1實施 形態例相同以非接觸方式進行高精度的圖案的良否檢查， 同時，利用於X - Y的2方向移動控制感測電極，不僅僅停 留在是否有不良圖案的檢查，還可特定具體的不良部位。 因此，例如還可根據需要在短時間内進行不良部位的修復。 另外，在上述不良部位的修復中，為判斷可否修復，最 好可觀察圖案不良產生部位的不良發生狀態。例如，若知 道在圖案不良產生部位僅黏附灰塵等時，便判斷可現場作 修復，另外，若為致命的不良時則判斷不可修復。為觀察 該圖案不良產生部位的不良發生狀態，使用安裝於檢測部 2 0的攝影機2 6。該攝影機2 6係安裝於檢測部2 0，因此在 步驟S 3 5開始攝影機2 6的攝影，在步驟S 4 0及步驟S 4 2 的進行期間繼續攝影，一直到步驟S 4 2的圖案不良部位的 特定後仍繼續攝影。如此般所攝影的圖案不良產生部位的 圖像，在攝影的續行中及圖案不良產生部位的特定後均顯 30 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 示於顯示部6 6，用於觀察該圖案不良產生部位的不良發生 狀態。 另外，圖案的不良部位的狀態，係從完全斷線或短路中 的狀態至部分斷線及灰塵等的黏附物引起的部分短路的狀 態，而有各種的狀態。在該部分斷線及部分短路的狀態， 在感測電極2 5與供給電極3 5兩方非接觸的檢查中，有無 法獲得圖1 0所示的檢測信號波形的情況。在如此的情況， 若使探針接觸機構3 2作動，使檢查信號供給探針接觸於不 良圖案的一端部後，沿著不良圖案將感測電極25移動於圖 案上，便可確實特定圖案不良產生部位。 又，也可取代不良圖案的另一端部的感測電極2 5，而使 用接觸型的感測探針，使該感測探針接觸於另一端部，將 非接觸的供給電極3 5移動於不良圖案的另一端部的感測 探針方向。 (第4發明之實施形態例） 以上的說明中，說明了藉由標量機器人8 0而主要於X _ Y 方向以2維控制感測電極2 5及供給電極3 5的移動控制的 例子。這是因為檢查對象基板為液晶面板，且為玻璃基板 而平滑度高的緣故。而在檢查圖案厚度厚、或檢查基板為 大型而無法無視表面凹凸的影響的基板的情況，可為不僅 進行以上的2維控制，還於上下方向（Z方向）進行控制的 構成，只要為即使具有檢查對象基板的凹凸仍可獲得良好 的檢查結果的構成即可。 以下，參照圖1 1說明構成為不僅進行2維控制，還進 31 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 1247904 行上下方向（Z方向）的控制的本發明的第4實施形態例。 圖1 1為說明本發明之第4實施形態例之檢查裝置的構成用 的說明圖。圖1 1中，對於與上述第1實施形態例之圖1 所示構成相同的構成元件，則賦予相同的元件符號，並省 略詳細說明。 圖1 1中，在檢測部2 0安裝有雷射變位計2 8，而在檢查 信號供給部30安裝著雷射變位計38,具備從兩變位計28、 3 8的檢測結果測定檢測部2 0、檢查信號供給部3 0與檢查 對象基板表面距離的距離測定部9 0。 另外，標量機器人8 0除可2維控制檢測部2 0、檢查信 號供給部30外，還構成為可於垂直於圖的方向（上下方向） 進行定位控制。 然後，在具備以上構成之第4實施形態例中，距離測定 部9 0與電極的移動同時起動雷射變位計2 8、3 8，測定各 電極與檢查對象基板表面的距離，並將測定結果輸出於控 制部6 0。另外，控制部6 0係將來自距離測定部9 0的電極 移動一定距離期間的測定距離的測定結果平均化，以平均 化的距離成為一定的方式來控制電極與圖案間的距離。 例如，根據檢查對象圖案的3根量的距離的平均，來控 制電極、基板表面間的距離。 如此般將距離平均化，是為了防止急遽的Z方向控制而 成為較緩的控制，以減輕雜訊、測定誤差等的影響的目的。 如此般不僅在X-Y方向還在Z方向進行控制，尤其對大 型基板的檢查很有效。例如，在大型平板顯示器面板表面 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 32 1247904 圖1 〇為說明不良圖案之感測電極的檢測信號波形的例 圖。 圖1 1為說明本發明之第4實施形態例之檢查裝置的構 成用的說明圖。 (元件符號說明）
10 玻 璃 製 基 板 15 導 電 圖 案 20 第 1 感 測 器 22 第 1 感 測 電 極 24 第 2 感 測 電 極 25 感 測 電 極 26 攝 影 機 28 雷 射 變 位 計 30 檢 查 信 號 供 應 部 32 探 針 接 觸 機 構 35 供 給 電 極 38 雷 射 變 位 計 50 類 比 信 號 處 理 電路 51 放 大 器 52 帶 通 渡 波 器 53 整 流 電 路 54 平 滑 電 路 60 控 制 部 61 電 腦 (CPU) 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778 34 1247904
6 2 ROM
63 RAM 64 A/D變換器 6 5 信號供給部 6 6 顯示部 7 0 機器人控制器 8 0 標量機器人 312/發明說明書(補件)/93-02/92133778