TWI236840B - Method and apparatus for optical inspection of a display - Google Patents

Description

1236840 玖、發明說明： 相關申請案的交互參考 本申請案係主張2003年2月3曰申請之臨時案號 60/444,8 89之優先權，並且為了所有之目的而納入其作為 參考。 [發明所屬之技術領域] 本發明係有關於檢查系統。更明確地說，本發明係有 關用於檢查例如是液晶顯示器（LCD)的平面基板或顯示器 之改良的光學檢查系統。 [先前技術] 用於LCD面板的檢查之相當簡單化的方法先前已經被 提出。一種此類的方法係被描述在美國第5,65〇,844號專 利中。該‘844號專利係描述利用具有1534χ1〇24像素的單 一 CCD攝影機來捕捉具有64〇χ48〇像素的整個lcd面板 之影像。該被描述的技術僅揭示判斷LCD像素是亮或是暗 的。 在该‘844號專利中所述的方法有許多工作上的缺點。 -項此類的缺點是LCD面板在不同的視角有不同的亮度性 質。於是，當如所教示地用單一攝影機嘗試捕捉整個[CD 面板時，由攝影機所擷取的影像將會在LCD面板的不同部 分處有視角上的人為假像（artifact)，此將會干擾到lcd面 板的檢查。其它的光學缺點包含該LCD面板的影像之幾何 失真。 另項缺點疋该844號專利似乎是假設面板與攝影機 1236840 是完美地對齊，換言之，在兩者之間π (misalignment)角产。者 ―通， ，又有失準 )月度貝際上，在典型的生產線中， 與攝影機之間的失準角产並 板 裝線定位***將是斧禮二译要的。例如，典型的組 宁、冼將疋精確到<5度、<1〇度或類似者 種可提供例如是咖度之小到足以使得失準 角^可U的失準精確度之定㈣統將會是砂昂貴且 =耗時的。因為典型的生產線並未具有如此精確的定位 糸、為’ ϋ此該‘844號專利並未提供—種實用的解決方案。 仍有另一項缺點是該‘844號專利並未針對一個1cd 像素的不良次像素（sub_pixel)之檢測，並且未針對在[⑶ 面板的次像素部份中之缺陷（defect)的檢測。該‘⑽號專利 似乎只有描述在LCD像素上的對比度之檢查。但相對地， :此項產業中，製造商是關心在顯示器像素的次像素上之 檢查，例如，紅、藍及綠色的次像素之檢查。再者，製造 商係有興趣於識別出部分不良的次像素’因而其能夠修$ 該些缺陷。 僅利用較高解析度的攝影機與該‘844號專利的教示， 此仍將具有缺點。一個此類的缺點是上述的視角上的人為 假像。另一個缺點是其沒有相關於有差異地處理具有不同 的色彩之影像的教示。相對地，本發明的發明人已經發現 到當檢查僅激勵紅、藍或綠色像素的測試晝.面（影像）時， 使用不同的校準參數、驅動參數以及閾值（thresh〇M)來提 供正確的缺陷位置識別是高度符合期望的。 僅利用一部攝影機來拍攝多張顯示器面板的影像或是 1236840 夕°M聶衫機來拍攝—張顯示器面板的影像以及該‘844號專 將-有缺點。一項缺點是完美地對準 ，機的顯示器像素至顯示器面板實際上是不可能的。於 利用.亥844 #b專利的教示來處理此種影像將會是不精 石的’因為母張攝影機的影像將會具有不同的失準角度： =二多次利用單-攝影機將會是非常耗時的過程，：而 ' 生產線上之使用而言是不能接受的。 下，内容，因而所要的是在沒有上述的缺點 置。债測在-個顯示器面板的次像素中的缺陷之方法及裝 [發明内容] 及麥置2么明’—種用於光學地檢查一個顯示器之方法 度。、該方法=㈣色採用次像素的精確度來考量旋轉角 、判斷〇/ Ά3用RXS個感測器捕捉-個顯示器的影像 干哭之上對映到—個像素的感測11座標組、_出在該顯 像素一個感測器之間的多個失準角度 個感、'… 縮放比率以判斷出多個相關… 度值、因/丈、判斷出多個用於Rxs個感測器的亮 值、形加權因數與亮度值以判斷出多個總亮度 查該綿放二 弟二免度值之縮放後的影像、並且檢 缺別出該顯示器之上的像素之潛在的 面基m 查例如是液晶顯示器（L CD)的平 或續不器之改良的光學檢查系統。 10 1236840 用於檢查平面基板之許多種解決方案先前已經被開發 出來。本專利申請案的受讓人，光子力學（ph〇t〇n Dynamics)公司也是在基板檢查的領域中之數項首創的專利 之受讓人。隨著顯示器基板尺寸的逐漸變大以及對於具有 彈性且正確的檢查系統之要求逐漸變高，本申請案的發明 人已經開發出另外的硬體與軟體技術以加強檢查過程。 本發明的發明人已判斷出許多不同的因數可被考慮以 改良該檢查過程。此係包含光學：小的視角、平的視場 (FOV)、所有的三種色彩之平均焦點水平（f〇cus lev^以及 _ 四個濾光片（紅、綠、藍、中性密度）；感測器陣列··至少 4個感測器像素比丨個顯示器像素之所要的放大比率、以 及平行且獨立的影像捕捉、處理與分析；影像處理：在縮 小的或是標準化的（normalized)影像上根據總體的閾值粗略 的（coarse)檢測候選的缺陷、以及在原始或是縮小的影像之 上根據本地的閾值細微的（fine)分析該等候選的缺陷；色彩 校驗：（對於次像素與線）此係根據缺陷的次像素位置；以 及動態曝光（exposure)調整··處理在面板之内以及面板中間 % 的亮度變化。 個別地促成檢查系統並且可以變化地組合在檢查系統 中之各種的組件係被揭露於此。此係包含：改良的光學/感 測配置，其包含偏軸的（0ff-axis)配置、XYZ可移動的配置 、具有内部的濾、光鏡之自動對焦的攝影機、與類似者；適 應性（adaptive)縮放演算法的實施；背景等化（bge)的實施 以及標準化（normaHzati〇n)演算法的實施、與類似者。 11 ^36840 平面顯示器的品質控制係包含各種類型的缺陷之檢測 與分類。明確地說，在L C D而μ αα α & 隹面板上的缺陷（在單元（cell)階 段以及模組（module)階段）可以被分類成三種主要的群組·· 高對比（contrast)㈣陷、低對比的缺陷以及非常低對比的 缺陷。 第-群組的缺陷係由RGB次像素（亦即，點）以及娜 線缺陷所組成。這些缺陷之相對的對比之範圍從全暗盘全 免（亦即，一直暗的⑽ck_〇ff)以及一直亮的⑽））至 :分暗與部分亮（例如，1/3暗或是2/3亮）。此外，此種缺 b可能成相鄰的群組地發生。例如，一個一直亮的紅色欠 像素可能位在-個部分綠色次像素的旁邊。檢測上所需的 =係包含確實的2D位置、相對的對比、相鄰的類型、 第二群組的缺陷係包含在面板中的雜^其可能發生在 、=同的層之間：背光(back，ht)、擴散膜、偏光膜 色於慮光膜、LCD玻璃、或類似者）。這些缺陷典型地 氏對比的缺。典型地’此種缺陷是小的（例如，小於 ^個㈣像素），並且相對於非不良的像素而言，其呈有 置4至1〇%之間的相對對比。檢測上所需的資訊係包含位 夏、尺寸、相對的對比、以及在μ 光環⑽0)、與類似者。 、口的周圍是否存在 第三群組的缺陷係由非常低對比的缺陷所組成。非常 的=缺陷在此項產t中經f被稱為色彩不均勻（咖 缺陷(以曰文來說’其意思是污點)。色彩不均句的缺陷 12 1236840 可能有廣範圍的尺寸（例如，從10個LCD像素至丄⑼，〇⑼ 個LCD像素）、形狀（例如，圓形、垂直或是水平的窄與寬 的線、螺旋形、斜線（例如，磨擦線）、隨機幾何形狀、等 等）以及相對的對比（例如，低至1%至5_6%之相對的對比） 。此種色彩不均勾的缺陷通常沒有定義明確的界限。此種 缺陷所需的資訊係包含位置、尺寸、相斟 八」邳對的對比、與類似 者0 其它類型的缺陷，你j如偏光片❸刮痕或類似者係被思 及。然而，此類型的缺陷典型地可以和例如是極性、亮^ % 、微暗（dimness)、與類似者的資訊—起被放入上述之其$ 一個群組的缺陷内。 有鑒於上述的内容，發明人已經開發出裝置及方法以 加強缺陷的檢測。如同將在以下進一步描述者，四種主要 的技術係被論述，其包含：一種離線系統校準方法、一種 線上系統校準方法、-種線上影像捕捉、處理與分析方法 、以及一種線上χγ合併與Z合併方法。 彳 本發明的實施例係包含_種新顆的光學/感測配置，直鲁 其中每部攝影機有非常窄的視角。 其它的實施例係包含-種適應性縮放技術，其係異員著 地抑制由於該在顯示器像素與感測器像素的尺寸之間的不 匹配所形成之疊紋（Mcnre)圖樣雜訊。如同所知的，疊紋干 涉圖樣是由.該感測器所產生的影像電壓信號之週期性赞燧 。調變的週期是感測器像素與顯示器像素的圖樣之週二 13 !236840 函數。衫像的週期性調變通常會妨礙檢查系統檢測及描繪 出可犯存在於平面顯示器上之真的缺陷之特性的能力。真 的缺陷也調變該信號’但本質上傾向不是週期性的。 在本貫施例中，一種適應性縮放演算法係縮小原始影 像的尺寸乂 CCD感測器的解析度（例如，1 6⑽χ 12〇〇)縮 小至縮小的影像解析度（例如，對於4個CCD像素比丨個 顯示器像素的放大比率而言，其係為4〇〇χ3〇〇)，增大灰階 動態範圍(例如，從8位元增大至12位元），並且補償在攝 影機的感測器像素陣列以及顯示器的面板像素陣列之間❸φ 失準在本戶H列巾，檢查與分析係包含候選的缺陷之總 體的檢測以及候選的缺陷之本地的分析之概念。換言之、’： -個總體的閾值係被施加以識別出縮小的影像或是標準化 的影像中之候選的缺陷；並且一個本地的閾值係被施加以 在原始影像或是本地標準化的影像中之該等候選的缺陷上 進行細彳敬的分析。

根據本發明的一項特點，—種用於—個電腦系統之 法係被描述。一種技術係包含利用在一個影像感測器中 -個陣列的Rxs個感測器以捕捉在一個顯示器之上的座 (m’n)之處的—個像素之複數張影像（最小組是—第— 以及—第二影像)’分別響應於該第-與第二影像以分： 於一個第一以及一個笛—我 b 個苐一群組的次像素判斷出對映到在 顯不器之上的刻票（m，n)之該影像感測器之上的 以及-個第二組的座標，分別對於該第—群組以 群組的次像素判斷出在該顯示器之上㈣^㈣Rls ;丨 14 1236840 感測器的:車列之間的一個第一以及—個第二失準角度，並 且=於該第—群組以及該第二群組的次像素判斷出在該顯 不益中的像素相對於在該影像感測器中的感測器之一個第

固第二放大比率…。各種的技術也包含分別 …於该弟—與第二失準角度以及該第一與第二放 大比=以判斷出分別相關於來自該RxS個感測器的陣列之 感幻时的第一與第二複數個加權因數w 〇·，其中〗=1至厌 ’並且J = 1至s ’判斷出分別相關於來自該RxS個感測器 的陣列之感測器的第一與第二複數個亮度值Μ〗，其中 至並且j=I至s，並且分別響應於該第一與第二複數 個加權口數以及该第一與第二複數個亮度值以根據以下的 關係：W^(Wij*Lij·)，其中i=I至R並且J = 1至s來判 斷出-個第-與第二亮度值Imne其步驟亦可包含形成一 個第-以及-個第二包含複數個像素之縮小的影像，其中 對於在該第—與第二縮小的影像中之座標（m，n)的一個像 素之亮度值係分別響應於該第一與第二亮度值imn而被判

斷出，並且檢查該第一與第二縮小的影像以識別出在該顯 示器之上的像素中之潛在的缺陷。 根據本發明的另一項特點，一種檢查系統係被揭露。 該裝置可包含至少一個被配置以獲得一個平面顯示器的一 部伤之一個第一以及一個第二影像的感測器，其中至少一 個陣列的Rx S個感測器係被配置以捕捉在該平面顯示器中 的至少-個顯示器像素之—影像，並且—個處理單元係輕 接到至少-個感測ϋ，其係被配置以響應於該平面顯示器 15 1236840 、口p份之至少该第〜六外一於彳豕采判斷出、， 中的一個缺陷。該處理單元典型地包人—Λ平面顯示斋 以指示該至少一個感測器以利用該R :處理益'被配置 捕捉該顯示器像素的第一影像與第二赘^ \則為的陣列來 配置以對於該第-影像與第二影像，分:亥處理器亦被 自該Rxs個感測器的陣列之感測器的第—蛊一出相關於來 權因數Wij，其中i=1至R，並且j = i /、弟二複數個加 配置以響應於該顯示器像素的第_影像I第5亥處理器係被 判斷出相關於來㈣RxS個感測器的陣列之：景::象，分別 與第二複數個亮度值Lij，其，i=1 '广貝益的第- 並且該處理器係被配置以響應於w b ’ 片至S來判斷出一個第一以及_個第_==至汉且 各種的系統中，兮卢理„。會、士 一儿度值Imn。在 素之第-盘第-二：：：置以判斷出包含複數個像 …衫像，其"目關於在該第-盘第二 '，但小的影像中之一個顯示器像素 第一盥箓_古ώ 7儿度值係分別響應於該 〆、步一冗度值Imn而被判斷屮 * 置以檢杳兮哲 增出並且该處理器係被配 之上的像；:弟—與第二縮小的影像，以識別出在該顯示器 &上的像素之潛在的缺陷。 =:據本發明的另一項特點一種用於—個電腦系 1個部份苗述：該方法可包含捕捉一個顯示器的至少 第 #衫像，其中在-個顯示器像素中的一個 列的感測係:二在一個影像感測器中之-個陣 份之一 旦τ、來捕捉，捕捉一個顯示器的至少該部 〜像，其中在该顯示器像素中的一個第二次像 16 1236840 衫傢係利用在該影像感測器尹 來加以捕捉’響應於該第一影 ：心像素的陣列 該影像感測器的—個 该顯示器相對於 (㈣咖_)，並且響應於㈣位旦置以及—個第-方向 對於該影像感測器的—個第二=:判斷出該顯示器相 各種的技術中’額外的步驟可包=二第二方向。在 陣列中之每個感測器像素都響岸於兮第在该感測器像素的 以列斷出該感測器像 弟—位置與第一方向 -百分比，對於在^ 顯示11像素的上方之重叠的第 丢力 在感測器像素的陣歹丨J中之畚伽Η·、 素都響應於該第二位置以及第 =個感測器像 素在該顯示器像素的上方之重疊的；=出該感測器像 :測器像素的陣列，之每個感測器： = ::在該 像素的第-影像以判斷出一個第一強卢1於该顯示器 像素每個感測器像素都響應於該顯示器 包含塑庫;^判斷出一個第二強度值。額外的技術可 :二：母個感測器像素之重疊的第—百分比 像=感測器像素的第一強度值以判斷出相關於該顯示器t 遇=弟—加權後的強度值，響應於每個感測器像素之重 百分比並且響應於每個感測器像素的第二強度值 广 自關於該顯示器像素之第二加權後的強度值，響 應加權後的強度值以形成—個第一縮放後的影像 I:喜應於該第二加權後的強度值以形成一個第二縮放 <的影像。該第-與第二縮放後的影像可被檢查以判斷出 在該顯示器中之潛在的缺陷。 17 1236840 [實施方式] 為了更完整地理解本發明，請參考所附的圖式。先瞭 解到這些圖式並非打异被視為在本發明的範_上之卩卩制' 本發明目前所述的實施例以及目前所瞭解到的最佳模式係 藉由利用所附的圖式以額外的細節來加以描述。 ” 第1圖是根據本發明的一個實施例之檢查系統1 〇〇 、 方塊圖。

在本實施例中，電腦系統100典型地包含監視器ιι〇 、電腦120、鍵盤及使用者輸入裝置13〇、網路介=、與 類似者。此外，在本實施例中，電腦系統丨〇〇可包含戈是 可耦接至一或多個影像感測器14〇以及一個工件i5S5: = 另外的實施例中可設置一個定位平台i 5〇。 千在本實施例中，使用者輸入裝置130典型地被實現為 電腦滑鼠、軌跡球、執跡板、無線遙控、與類似者。鍵盤 及使用者輸人裝置13G典型地容許使用者選擇出現在監視 之上的物件、圖像（lcon)、文字、進、

似者。 /、鎖 :路介面的實施例典型地包含乙太網路卡、數據機（電 °一術星、纜線、1SDN)、（非同步）數位用戶線路（DSL)單 :败與類似者。網路介面典型地係耗接至如圖所示的電腦 。在其它的實施例中，網路介面實際上可以整合到電 向12〇的主機板之上、可以是軟體程式，例如，軟體脱 、或類似者。 電腦120典型地包含熟.悉的電腦組件， 18 1236840 们微處王里& 1 60與例如是隨機存取記憶體（RAM) i 7〇、磁碟 機180的記憶體儲存裝置、以及互連以上的組件之系統匯 流排190。 在:個實施例中，電腦12〇是一部具有多個微處理器 例如疋來自英特爾（Intel)公司的PentiumIVTM微處理器之 PC相谷的兒恥。在一個實施例中，電腦1加係包含四到八 個平行運作的處判。再者，在本實施例t，電腦12〇可 包含以UNIX為基礎的作業系統。 …RAM 170與磁碟機18〇是用於資料、音訊/視訊楷案、 矛式小私式解譯器或編譯器、虛擬機器的儲存之實 體的媒體之例子’纟此所述的發明之實施例係包含影像 貧料檔案、缺陷影像資料檔案、適應性縮放演算法、背景 =及：像寺化演算法、用於平台150與影像感測器140的 疋位肩异法、與類似者。此外，該實體的媒體可包含影像 處理演算法，#包括缺陷識別演算法、邊緣檢測演算法、 =轉判^演算法、與類似者。其它類型之實體的媒體係包 ^軟式磁碟、抽取式硬碟、例如是cd_r〇m與條碼的光學 :存媒體、例如是快閃記憶體的半導體記憶體、唯讀記憶 MROM)、電池供電的依電性記憶體、網路儲存裝盘 類似者。 在本實施例中’電腦系統100亦可包含致能在例 Η咖、TCP/IP、RTP/RTSp協定、與類似者的網路上之通 =體。在本發明的替代實施例中，其它的通訊軟體與 勒疋亦可破利用’例如，IPX、UDP或類似者。 19 !236840 在本發明的實施例中’影像感測器ΐ4〇可包含 個影像感測器，例如，區域 ^性~描（area-scan)攝影機、 攝影機、一個陣列的區域性掃描攝影機、或類似者。 如像感測器14〇可以檢測踨έ n紅外線至紫外線之各種輻射的 ,§ : 匕的貫施例中，影像感測器140可以檢測其它 *、t的輻射，例如，電子走 ,, 果月向放射（back scatter)、X糾 線發射、與類似者。 ）X射 在本發明的實施例中，平a 於旦彡庶十口 15〇係容許工件155相對 ;〜像感/則器1 4 〇而被定位 ☆ 疋位例如，平台150可以包含χ y、ζ以及㊀平移控制盘類 ^ 一頰似者。利用此種控制，平台15〇 可被利用以在高度的精確性盥 測哭十― 隹性/、了重複性之下相對於影像感 d 口。 140來疋位工件 J 55。 ,例如’在一個實施例中，工件 155可以在小於1/10〇度 仵 mo被定位。& μ + 4 轉偏差下相對於影像感測器 可利用七β仏十 $路的内谷，吾人將體認到許多目前 。例如中15〇 ^ ’千口都可被利用在本實施例中 口 以是相對不動的、或是具有比上、水去 較高或較低的定位精確度。 A " 夕妓h A致而吕，所期望的是受關注 之正個（或是部份的）工件一 來m # 兮电戍 係猎由一或多個感測器140 =取像。㈣應性縮㈣算㈣有效 測器f工件155(例如，顯示器）之間的失準。母個感 第1圖係代表一種能鈞踌 的;^ & # 奴見本务明的檢查系統。額外 的硬體與軟體可以增加或 月1 .lL 疋攸弟1圖移去，並且1 在此所思及的本發明的—個每 /、仍…疋 1LJ焉施例，此對於且右兮 之通常技能者而言將會h A R …有忒項技術 曰明顯的。其它的微處理器之 20 1236840 使用亦被心及，例如，pentiumTM或是mniumTM微處理器 ’來自起^(Advanced Micro Devices)公司的 〇pteronTM 或 是Athl〇llXPTM微處理器；來自摩托羅拉（Motorola)公司的 PowerPC G4tm、G5TM微處理器；與類似者。再者，其它類 型的作業系統亦被思及，例如，來自微軟（Mic公司 的Wlnd〇WS®作業系統，像是WmdowsXP⑧、WlndowsNT⑧ 或類似者、來自昇陽（Sun Microsystems)的Solaris、來自 蘋果（Apple)電腦公司的UNUX、υΝΙχ、mac 〇s、與類似 者0 第2A-C圖係描繪本發明的一個實施例。更明確地說 第2A-C圖係描綠典型的影像感測配置。 第2A-C圖係描繪一個陣列的感測器2〇〇，其係適配於 從基板2 1 0之不同的部份捕捉影像。 曰在本實施例中，纟自感測器2⑻的陣列之每個感測器 都是-個1600 X 12〇〇 x 8位元的CCD(2百萬像素在此

=子中’典型的感測器像素尺寸是7.4微米。在本發明的 〆、匕K轭例中，具有較高或較低的解析度之感測器也可祯 利用，並且水平像素對於垂直像素的比率可以是不同的。 '/、有3、4、5、6、等等的百萬像素之感測器可以被 利用’亚且具有1 ·· 1、4 : 3、16 : 9、U5 : 1、或類似者 的水平像素對於垂直像素的比率之感測器亦可被利用。 在本實施例中，每個感測器2〇〇都包含一個77焦 、、兄頭（例如，35 mm的形式），儘管其它的鏡頭亦可被 利用。此係給予每個感測器2〇〇大約8·〇度的視角以及 21 1236840 105 mm寬的視場。再者，如圖所示’在該實施例中，感 測|§ 200係被設置在距離基板2丨〇的表面大約75〇 mm之 處。 在本發明的一個實施例中，基板21〇是具有從 1024x768到1920x1280的解析度之液晶顯示器（LCD)。在 未來，較咼解析度的顯示器，例如，384〇x24〇〇亦被思及 此外，工件之對角線的尺寸目前的範圍是從丄5，，至56，，。 在未來，工件的尺寸可以是更小或是更大的。此外，除了

LCD之外的其它類型的基板也可利用本發明的實施例來加 以檢查，例如，電漿顯示器、電致發光（EL)顯示器、有機 發光二極體顯示器（qLED)、半導體液晶顯示器（Lc〇s)、石夕 基顯示器（例如，新力（Sony)公司的矽晶反射式顯示器 (SXRD))、或類似者。

圖中所描繪者，一個陣列的感測器2〇〇 被配置以捕捉基板21〇的影像。如同第2B圖中所描參 ，在此例子中，十六個感測器200係被利用來捕捉違 21〇之十六個不同的部份。在其它的實施例中，感測蒙 數目是可以變化的。如圖所描繪，考慮到感測器之間以 準^為了涵蓋所有的顯示器像素並且確保能夠檢測出仅 重宜的區域中之小缺陷（例如，具有4x4顯示器像素面相 污點），在藉由感測器2〇〇所捕捉的影像之間有某些重邊 :期望的。在一個實施例中，該等影像係在x/y方向^ *大約4·5 mm/3·375 或是大約16/12個顯示器 末自感測器2 〇 〇之μ 士·丨、/ θ界nr + t ' ζυυ之取上方以及最下方的影像係延伸超出 22 1236840 板210之最上方邊緣以及最下方邊緣大約3.375 mm，儘管 這些值典型是可變的。 在本發明的實施例中，基板210係包含具有紅、綠及 藍色成分的次像素之顯示器像素。為了更正確地檢查此種 基板210，如同第2C圖中所示，彩色濾光片組件22〇(例 如’旋轉的色輪）可以被設置在感測器200的前方。

本發明的實施例係能夠輕易地處理一個範圍的面板尺 寸而不需要改變光學/感測的配置，並且其係提供具有減少 的光子/成何失真之基板21〇的高度垂直的投影。此外，此 種實施例係在感測器像素以及顯示器像素之間提供所期望 =取小的放大比率4G。於是，其使得該系統能夠計算出 人像素（sub-pixel)的缺陷（亦即，紅或綠或藍色的顯示器次 像素）及乂久像素（sub-sub_pixel)的缺陷（亦即，紅或綠或藍 色的顯示器次像辛之_立 .^ ^ 之邛伤）、一直壳的/一直暗的次像素 1、4之缺陷、部分微暗或是微亮的次像素與線之缺陷、與 讀似者之更正確的座標。

在其它的實施例中，上述的實施例之變化係被思石 P2°〇〇帶有自動聚焦、帶有内部的R/G/B/N滤光片的禮 : 二可在X”與z上復位的感測器、與類似者 、目谷於大範圍的顯示器尺寸與解析度）。

像隹點：月的貝知例之一項所期待的特點是提供最小^ 水平。此係容許該實施例能夠檢測出非常小的海 陷 厌職次像素缺陷、或甚至是次次像素讀B 23 1236840 在本發明的並交每a点丨士 ^ ’、只^幻中，另一類的基板缺陷也可以 被4双測出。此係包令 θ、乃 t, ,, ,, A, 一有或疋 >又有顯著的偏軸的成份之低 對比的缺陷、相對地 、與類似者。對於此…： 尺寸的缺陷 、b類的缺陷之檢測而言，聚焦的 像並不是必要的。於是，在此類的實施例中， 二由於在顯示器像素與感測器像素的尺寸之間的不匹配 所形成之疊紋圖樣都 ^ ^ ,, , Γ以精由先學的平滑化或是影像處理 广咸〉。在此類的實施例中，—個例如是感測器之 隹由上的（Gn_axis)感測器以及偏軸的攝影機並不需要加以對 焦0 在個只知例中，兩類的基板缺陷可以藉由内含聚焦 ，軸上的感測器陣列以及未聚焦的偏轴的感測器綱、^ 疋可以利用Jil之一魏AA / · 、 體的（lntegnted)自動聚焦機構而被聚焦 及未承焦之軸上的感測器來加以檢測。 第®係“ ~根據本發明的一個實施例之流程圖。最 初，該檢查系統係被校準（步驟則）。此校準方法典型地 是在開始如下所述的影像處理功能之前被進行。在一個實 知例中、亥離線校準係包含每個感測器或是攝影機的電子 杈準’例★"調整攝影機增益與偏移。每個感測器的焦點 X平也可以根據所要的聚焦標準（亦即，聚焦或是未聚焦的 )來加以設定。 在此實施例中，每個感測器都接著相關於亮度比率而 被校準。此校阜太、车& A A t 方法係包含對於一連串的測試態樣 ㈣⑽)建立起相對的紅對白、、綠對白以及藍對白之亮度 24 1236840 比率（例如，視訊位準44/255、視訊位準127/255、視訊位 準255/255、與類似者（8位元））。亮度㈣典型地係針對每 個平板型號以及針對每個感測器而被描繪特徵並且判定之 。在本實施例中，此校準係被利用來建立對於紅/綠/藍色 的測試態樣在線上測試期間之最佳的曝光時間。 在此實施例中，每一個別的感測器相對於工件之離線 機械的X、y及Θ調整也被進行。 妾著在第3圖中，一連串的線上校準步驟係被進行（ v驟3 10)。在本實施例中，最 样~, 取邳你對於各種的灰階測試態 衰⑽如’ RGB均勻地被設定至灰階44/255、⑴/255以及 立5:255)估計出—最佳的曝光時間。實際上，㈣人已注 I且其不：：：面顯示器之間經常有顯著的亮度變化量， 角落之板之内(例如，在中心與 洛之間）有顯者的亮度變化量。 备一武、、日，丨^ 疋曝先w間需要針對 & “态、針對每一面板以及針對每一 合個別地調整。 種測试怨樣的組 在本實施例中，在步驟3丨〇业 的功能I各 ^ 地被執仃之一項額外 力此疋母一感測器個別地相 向的(正確的)判斷。…板之位置及方 ^為了執仃此功能，一此‘ 放，，參數係被估計。此係包含在 二偏移… 之間的在X方6 u .、、不°。人母一個別的感測器 你x万向上之相對的偏移、 移、在x方a L 在y方向上之相對的偏 ° 之縮放因數（scale i > 縮放因數、以及 )在y方向上之 彩（紅、綠、誌、 及方向會隨者每一個別的色 观'、白)而不同，於早 >、仕 、疋，杈準程序係針對每一 25 1236840 這些參數 個別的感測益、針對每一個別的色彩來進行之 將在以下予以說明。 f本實施例中，以上的參數之判斷典型地係 種色衫.紅、綠、藍以及白，而個別地加以進行，、言 為不同色彩的光透過各種的光學部 k疋大 故。更明確地說，因為不同色彩的光㈣之緣 並且因為在每個彩色渡光片至每個疋不同的， ^ e ，則斋之間的平杆 度疋不同的，因此校準方法必須針對每及丁 影機個別地加以進行。例如 色知及母部攝 甘對於綠色的測試態樣而言， 其校準怨樣係由綠色次像素界標㈣m叫 前方的綠色濾光片所組成。^ J DD At 取頦似的方法係針對藍色的測含式 恶樣、Μ的測試態樣以及灰階測試態樣加以進行。… 在第3圖中，下—個被描述的步驟是捕捉、處理以及 分析資料（步驟32〇)。在本實施例中，藉由提供—個陣列 的影像感測器，此係使得該系統能夠平行地捕捉、處理以 及分析貧料。平行的動作係減少捕捉及處理/分析龐大數目 的校準與測試態樣（例如，每次過程有超過· 的原妒 影像資料）之整個過程㈣間。此外，平行的動作係增大檢 查的處理量。捕捉、虛拂芬八4 处里及刀析衫像之更詳細的過程將會 在以下提出。 在第3圖中’下一個被描述的步驟是結果的合併（步驟 )在本卷明上述的貫施例中，一個陣列的感測器係被 :用來捕捉整個顯不器基板。為了檢測完全或是部分地橫 %超過—個感測器的缺陷，該缺陷資料係被合併。此種方 26 1236840 =稱為χγ合併。藉由執行合併的功能，— ::::二或多個感測器之重疊的區域内(例如，間隙的: 、垂直/水平線的色彩不均勾、或類似者)並且被 —或夕個感測器檢測出之缺陷係被合併， 4\S[ J(Ajl 告出來。在一個實施例中’來自該等感測器、 值係被用於報告某些缺陷特點（例如，相對的對比 它的實施例中’其它例W面積、邊界框（bGundlngb0^ 鲁

^ —質化（blnary)影像質心一tr0Id)座帛的缺陷特點係根 據合併後的缺陷資料重新計算而接著才報告出來。 X 在本發明另外的實施例中，合併功能係被執行在根據 不问的顯不態樣之缺陷資料被合併在一起的情形中。舉例 = ’：：？陷可能在相同的位置上、但是在顯示不同的 顯不怨樣時被檢測+ γL ^ -127f 在白=127(W127)與紅 “式悲樣中之-雜質）；不同類型的缺陷可以 ==置上(亦即’彼此重疊)、但是在相同的顯示態 二内或：在不同的顯示態樣(測試場景(scene))中被檢 例如’在相同的位置處之一個雜質缺陷以及— 缺陷）。在其它另外的實施例中，x、yA z合併 = 以檢測各種的缺陷。 利用 第二圖係描繪根據本發明的一個實施例之流程圖。更 ==2 4 -種利用該感測器的陣列以捕捉 、 所”、、員不之不同的顯示態樣（測試場景）之方 法0 Μ圖中所不’在上述步驟则中所判斷出的亮度 27 1236840 比率係被提供（步驟400)。如上所述，亮度比率係建立起 紅對白、綠對白以及藍對白的比率，此係被利用來調整用 方、紅、綠及藍色的顯示態樣之曝光時間。接著，如圖所示 ’對於在上述步驟310中所述之白色的測試態樣之最佳的 曝光時間之估計係被判斷出（步驟410)。 此外，亦在上述步驟310中所述之每個感測器個別地 相對於顯示器面板的位置及方向之判斷（對映的校準）係被 執行（步驟420)。 侵考，在本 q m娥閃态的 陣列來加以捕捉（步驟430)。在此實施例中，顯示器係利 :例如是r、g、b=255之均勻的灰階測試影像(測試場景) 來驅動，並且感測器的陣列係捕捉此測試場 ^ 』 从夕張 〜。在此實施例中’步驟410中所判斷出的曝光時間係 被利用來設定曝光時間。 在各種的實施例中，上述的過程係用不同的強 復灰階測試影像，例如’針對r、g、b=m、接著針對卜 g、b=44、或類似者（步驟44〇)。 在本實施例中，亦在上述步驟3U)中所述的顯示 =紅色的像素相對於在每個感測器中的感 = 位置及方向的判斷（對映的校準）係被執行（步驟 二之 發明的實施例中，步驟310典型地係針對 本 執行—次，並且該校準資料在此步 、及白色 接著，在本實施例中，紅色的測取出。 影像係利用感測器的陣列而被捕捉(步驟 )。在此實施 28 1236840 例中，顯示器係利用例如是r=255 測試場景）來 、 =勻的紅色測試態樣( 次夕張衫像。在此實施例_， 曝光時間以及在步驟3(^ 驟410中所判斷出的 „ 心驟300中所判斷出的紅對白的比 利用來設定曝光時間。在各種的實，=率係被 用不同的強产來…A “例中’上述的過程係 強度末重覆紅色的測試態 、接著針對㈣、或類似者。 針對r=127 接著，在步驟445盥450 Φ料、+-认、证 色的測/、 中所述的過程典型地係用綠 景以及藍色的測試場景重覆之（步驟46〇)。 之缺/Γ的一個實施例中，為了捕捉更細微的點及線 、。明人已經判斷出對於某些測試場景(例如γ=127 結果 广人捕捉。在本實施例中’此種方法的 课“ s 3母°卩攝影機所捕捉之影像的總數是至少十八 旦X以及影像。本發明的其它實施例根據工程上的考 及特定的處理需求也可以捕捉更多或是較少數目的影 第5圖係描繪根據本發明的一個流 明確地說，第s m / t ^ 的以及/或是種用於處理及分析原始、縮小 疋軚準化的影像之方法。 第5圖中的實施例所示，捕捉的影像（原始影像）係 用一種適應性綸 不 旦 双万法加以處理，以形成一張低解析度的 衫像（縮小的旦彡 準化該影像㈣ 5〇〇)，以及一個標準化方法以標 V驟5 1 Μ。這些方法之進一步細節將會在以 29 1236840 下論述。 在本實施例中，一種被利用來幫助檢測及分析在影像 中的缺陷之设什策略的最佳化是藉由處理原始影像以及縮 小的影像兩者。更明確地說，候選的缺陷之總體的檢測係 ，該縮小的影像被判斷出，並且接著根據該些候選者，細 u的本地刀析係依據缺陷類型而在該原始影像或是標準化 的影像之上進行。本冑明的發明a已經判斷出此種粗略至 :微的處理策略係顯著地改善對於真的缺陷之檢出，減少 玦對於假的缺陷之剔除’並且改善缺陷之細微的描述特徵 〇 如第5圖中所不，一些檢測及分析模組520-580係被 設置用於特定的缺陷類型之識別及分析，例如，線之檢測 及分析、雜質/灰塵之檢測及分析、與類似者。對於某些缺 陷類型，例如是在分析模組54〇巧6〇中所分析者，一個額 外的模、、且590係被设置以識別在該影像之内的邊緣區域。 第6A-D圖係描繪本發明的實施例。更明確地說，第 6A-D圖係描繪在每個感測器空間以及顯示器面板空間之間 的一些對映參數。如同在上述的步驟3 1〇中所提及者，典 型的對映參數係包含x及y偏移、χ及y縮放因數、以及 旋轉（D0)。 在第6A圖的例子中，顯示器座標系χ，y 600以及感 測為座標系XY 610係被展示。在此例子中，一個中心在 座標系600中的像素座標（m，n)620之處的顯示器像素係 被對映至座標系61〇中的感測器像素座標（p，q)62〇。在本 30 1236840 貝加例中，m與η典型地是整數， 缸— 敛而Ρ與q典型地是浮里占 數。在一個實施例中，精確度 *， 又疋到弟一個小數位。 在本實施例中，透過適當的垆 610 . ，在座㈣、_與 610之間的χ偏移DX 63〇以及 ,,,, ^偏私DY 640可被判斷出

在座標糸之間的相對旋# D 、W m 疋轉De 65〇也可以藉由量 測而被判斷出。在一個實施例 位。 ”精確度是到第-個小數 再者，在本實施例中，每單 蚯库曲W 母早兀距離的顯示器像素之解 析度典型地是大於每單元產 ^ 離的感測器像素。於是，多個 感測裔像素係適配於從單一顯 _ ^ 貝不為像素獲得多張影像。在 一個貫施例中，在至少x方向上，放大 β 器像素有4至45個成測哭 疋母1個顯示 大比率了 · 1机。像素。在其它的實施例中，放 大比率可以較低或是較高的。 同或θ另外的Α例中，在Υ方向上的放大比率可以是相 :::不同的，此係依據水平的像素數目而定。在一個包 素:實施例中’在水平與垂直方向上的放二 ° ’透過對於母一種色彩之適當的校準(包含正確 的估計在每個感測器與顯示器之間的失準），可以(對 感測器計算出在…方向上正確的放 此L 的精確度是到第三個小數位。放大比率在 ”被％ 為 Pltch—X 以及 pitch-Y。 第6B圖係描緣當感測器與顯示器之間的失準角产θ f時’一個顯示 又疋 的格子⑷之對^ 子 5個感測器像素 子、的一個例子。此種實施例典型地係為罕 31 1236840 見的。 在本發明的實施例中，依據放大比率，一個尺寸為 個個感測為像素的核心（kernel)655係被展示為相關於二 2左上方的顯示器像素660。在此例子中，顯示器像素盥 感測器像素之間的放大比率是在大约4到4 實施例中，^ ^間。在本 S-6，並且如圖所示，整個顯示器像素66〇 =示器像素660的影像係完全地對映在—個6x6感測 °。，、的陣列之内。在本發明的其它實施例中，核心 =㈣大至例如是7χ7，以考量到較大的在格子咖盘 :子⑷之間一例如，>25度)65〇。在各種的實施例 h=55。的尺寸係被選擇以使得一個完整的顯示器像 $月b夠被感測裔像素的核心655所捕捉。 弟6C圖係描緣一個顯示器像素的格子μ 一 測器:象素的格子670之較為典型的對映。 個感 弟6D圖係描繪另一種典型的一個顯示器像素6乃至 一個感測器像素的格子68〇之對映。在本發明的一個實施 例中’對於小的Γ)θ旋轉而言’為了前述的加權值之計算， 顯示器像素675係被假設為燒著其中心點（m，n)685 :轉 ’並且與區域_對齊。在其它的實施例中，對於較大的 職轉而言，ϋθ的值係被内含到前述的加權值之計算中。 在弟8A圖的例子中，|的 4一 …小的训係被假設，於是在該 捕捉的顯示器像素看似完美的對齊在方向上。 第7Α-Β圖係描綠根據本發明的一個實施例之流程圖 °更^地說’第7Α_Β圖係描績—種用於適應性地縮放 32 1236840 影像之方法。 最初，在一個顯示器袼子以 — 對映參數係被判斷出（步驟7〇〇)。 _感測為格子之間的 含X及y偏移、X及y間距、以上所述，14些茶數包 ，可以是較大的，即如以下將插：：在其它的實施例中 映典型地是對於每個感測器相wi上所述’該對 你夕括4 ^ — .、、、負不态基板，並且逖廉 個監以及白色的測試場景來加以進行。Γ' 個=:，對於每部攝影機相對於顯示器基板而言， ltC1-X、PltCh-Y以及Do是不同的。 :測器而言’每一種不同色彩的測試場 -X、pltch-Y以及加參數可以是不同的。 接著，一個在座標（m， 、 f ,.. )處之文關注的顯示器像去在 述的對映參數而被對映至感測器格子空間中的广'/、 (P，q)(步驟710)。為了開始 勺座標 一 < 1丁弟一個顯示器俊 示器座標典型地是（0，〇)或是 素的顯 而，在其它的實施例中，的顯示器像素。然 最初所選的。 1、匕的顯示器像素都可以是 如上所提出者，圍住該顯示器像素之Rxs 素的核心係接著被識別出(步驟720)。在本實施例中-該核心中的每個感測器像素都可以捕捉從該顯4 2 發出：光(若有的話)。為了本實施例之目的，藉：、、 中的每個感測ϋ像素所接收到之輻射的量（例如，光了二 )係被表示為Llj，其中1=UR，並且」=1至8，= -個…化到在該核心中的感測器像素陣列内的水： 33 1236840 測器像素數目R的變數，並且其中』是一個U變化到垂 直的感測器像素總數s的變數。例如，其中尺=4及 在：核：中有20個感測器像素，並且因此有20個亮度值 個冗度值係代表藉由在該核心中的每個感測器像素， , L τ 、τ

L S2 12 13、、£2丨、L22、..丄2]1、".LSI、

、…Lsr所接收到的光»。針對此之說明將會在以下提出 此外’因為在該核心中的每個感測器像素都可以被對 映到同—的顯示器像素之至少—部份，因此數學上地，一 個加核貢獻度係被判斷出（步驟73〇)。在—個實施例中， =因數係被設定在…之間，其，。表示該感測器像 二捕捉到顯示器像素的任何部份，並且ι表示該顯示 Γ" ί全地涵蓋該感測器像素。為了本實施例之目的， :、員不器像素涵蓋在一個核心中的一個感測器像素之量是 〗j 其中i = 1至R並且j ：= ；[ $ s。产/丨 7、， 卫且·3 1至S。在此例子甲，其中R是 亚且s是7，在該核心中有49個威 49個各別的加權因數。 仏像素，且因此有

在本發明的實施例中，如第6c①圖中所呈現者，若 疋小的，則為了計算Wjj之目的，残測残 ㈣A ^ ^像素係被假設 ‘4不4子的X及y軸。然而，在某些實施例中 =被曰利用來更正確地判斷出顯示器像素涵蓋—個感測 齡仏 '在系二““列中是m的一個函 數。針對此之說明將會在以下提出。 計曾實施例中，纟自顯示器像素的總亮度貢獻度係被 (步驟740)。在一個實施例中’顯示器像素的總亮 34 1236840 度值1mn是根據以下的方程式被判斷出，同樣地，其中i b 一個從1變化到在該核心中的感測器像素陣列内的水平$ 測器像素數目R的變數，並且其中j是一個從i變化到垂 直的感測器像素總數s的變數。 Ιηιη = Σ (Wy * 1^·)，i=i 至 R，並且 j = i 至 s 在本實施例中，該方法於是對於在影像中的每個顯示 器像素（m，π)重覆之（步驟750)(例如，m==〇至水平的顯八 為解析度（M)，並且n=〇至垂直的顯示器解析度⑺））。在本 實中，對應於下一個顯示器像素的感測器座標接著被 汁异出(步驟755)。在一個例子中，對於右邊的下一個顯 不器像素之感測器像素座標係根據以下的關係， 座標空間中被判斷出，其中x(0)=p，並且Y(0)=q:4^ X (1) = X (0) + Pitch^x * Cos (Όθ) γ (1卜 Υ (0) + Pitch—Υ * Sin (D0) 曰換吕之，在χ方向上移動RxS核心一個間距，同時考 ®到在X及y上的失準角度。 卞 再者，對於在下—列中的顯示器像素座標之感測器像 素座標係根據以下的關係被判斷出，同樣地，其中X ，並且 Y(0)=q: ’、 )=p X 0) - x (〇) - Pitch^x * Sin (D0) Y (1) = Y (0) + Pitch^Y * cos (D0) 換a之，在y方向上移動R><s核心一個間距 ®到在X及y上的失準角度De。 了 在以上的例子中，是順時針地從感測器格子的χ軸 35 1236840 至顯示器格子的X軸來加以量測。 在該過程完成之後，-張影像係被形成，其令每個像 素位置（m，n)都包含一個在上述過程所判斷出的们腦（步 驟760)。此影像在上述過程係被稱為“縮小的，，影像。 、利用上述的過程，藉由每個感測器所操取的影像係從 感測器影像尺寸縮小至該顯示器尺寸的—部份。在該缩小 的影像中之每個像素係分別代表一個顯示器像素，並且具 ^個比感測器影像高的動態範圍。例如，該感測器影像 是一張具有1600 X 12G〇的像素解析度之8位元的影像， 而該縮小的影像料4.〇的放大比率而言是大約m 3〇〇 X 位元，或是對於4·5的放大比率是大約為说χ X 12位元。 在某些實施例m統接著利用分析模组52〇_· :的-個模組以檢測與分析該縮小的影像以及原先的感測 器影像(原始影像）。更明確地說’在某些實施例中，模組 係使用該縮小的影像以識別出潛在或是候選的缺陷（步驟 770)。接著，若候選的缺陷被識別出，該原先的感測器影 像（原始影像）係被處理以判斷候選的缺陷中是否有任何Z 缺陷是實際的缺陷以及/或是判斷出缺陷的特徵(步驟綱 。在其它的實施例中，模組係使用—種根據在標準化的影 像上之一個總體的閾值之粗略的檢測策略，並且使用—種 根據在本地標準化的影像上之本地的間值之細微的分析策 略0 在各種的貫施例中，如前所述，缺陷資料的xy合併都 36 1236840 會被進行，以判斷及/或描繪樺跨 ^起過_張感測器 陷的特性。 m之缺 在本實施例中’若被任何的分 斤板、、且識別出缺陷時， 根據識別出的缺陷之特徵，該顯 ' 除為不良品（步驟790)。 K上被剔 第8 A-B圖係描繪根據本發 知5的員施例之一個例子。 更明確地說，第8A-B圖你；|人， _田繪用於判斷出該縮小的影像 之亮度值的方法。在此實施例中，De大約是丨〇度。如像 修 在第8A圖中所描繪的是磚 疋4劂為像素的一個格 以及一個顯示器像素810。在此例子中， τ _不态像素8 1 0 係包含紅、綠及藍色的次像素， ” ώ ^ ^ 具中綠色的次像素係被照 射在袁大的亮度下，在此例子中為 J 丁 r馮255，並且紅與誃条 次像素是暗的（例如，等於0彳 、 * R 〇)。此外，感測器像素的一個 核心820係被描繪以圍住顯示器像素81〇。 辛之圖中’相關於在核心、820中的每個感測器像 Wij係被判斷出。如上所述，這些值可以根據 感測為像t _與顯示器面板之相對的方向數學上地加以 雜出。接著，如圖所示，亮度值係藉由在Ho中的 每個感測器像素加以感測出，即 I如在降列830中所描繪者 〇 利用以上所揭露的加總關係，^係被判斷出，且標示 :副。如圖所示，此值係接著被利用來代表當該綠：的 -人像素完全亮時，從顯示器像素請所接收到的亮产量。 該特定的值可以根據工程上的偏好而被縮放。 又 37 1236840 第9A-B圖係描繪根據本發明的實施例之例子。 又明 確地說，第9A-B圖係描繪該適應性縮放演算法對於來自 15吋LCD面板的影像之應用。在此實施例中，用於此測 試的光學系統之放大因數大約是4·5，亦即^ pitch一X = Pitch—Y=〜4·5 〇 在影像900中，疊紋圖樣的人為假像雜訊9ι〇是清楚 可見的該®紋圖樣雜訊920在一個描繪對於影像9〇〇在 X及Υ方向上的強度投影之圖中也是清楚可見的。在如上 所述的適應性縮放方法之後，如圖所示，疊紋圖樣的人為 假像雜訊在料93〇中已經大幅度地降低。疊紋雜訊抑制 在描賴於影像93〇在方向上的強度投影之圖_ 中也是可見的。 在本實施例中，如第9B圖中所描緣，縮放後的影像 之邊緣像素典型地是較暗的。對於此的一項原因是一個顯 示器像素在感測器像素之上的點擴散函數（—Μ

〇n) 一有冑典型地延伸超過！ 〇個感測器像素（亦即 ’大於所使用的光學系統之放大比率，換言之，4至4.5) 的支持基底（SUppGrt base)。於是，#上述的縮放演算法被 施加至顯示器中的邊緣像素時，總和的能量係小於不位在 面板的邊緣處之顯示器像素。在該檢測及分析方法的期間 ’邊緣像素因此是利用不同的參數加以處理的。 如第9B ®中所描綠，邊緣像素的問題在顯示器面板 :工右兩側上典型地是比在上下兩谢上更明顯。此典型地 係由於在次像素（紅、綠或是藍）t的取樣頻率之差異所致 38 1236840 1 a 取樣頻率是4比1，而沿著χ铀 大素沿著Y軸的 而&者X軸的取樣頻率 在本發明的其它實施例中， · 3比 像到的。根據上述的揭露内容，具有該項二修改是容易想 者將體認到任何數目的硬體與軟體之組：之通吊技志 改善檢查過程。例如，較多數目或是較:^被使用來 器可被使用，影像感測器可以是光學檢測哭:像感測 攝影機、以基礎的攝影機、或例如，CCD 器可以檢測背向散射輕射，例如 者，影像感測 利用者、與類似者。 纟“電子顯微鏡中所 在本發明的實施例中，所述的適 改。在某些實施例中，在顯 ％放方法可被修 例如，被增加…方向上獲得-個 J冗丄或疋6比1的放女咚涤斗、e $ ， 些實施例中，加權因數也^ ^放大比率。在某 像素之位置而定。例如=核心之内的感測器 核心的左側上之崎 ^一紅色的次像素缺陷時，在 上之感測器像被加權超過在核心的右側 或非線性的關传。在仍4 分也可以具有一種線性 以及感測器格子之門=一實施例中，在顯示器格子 A之間的角度補償可以用不同的方式加以進 虽判斷顯示器像素的總亮度時，其並不藉由假 的顯示器像素相料感測器像素是正方形的。 推裡it項ί術之通常技能者在閱讀此揭露内容後可以 勺Η細例。在其它的實施例中，以上所揭露的 39 1236840 發明之組合或是次組合都可以有利地被完成。其架構的方 塊圖以及流程圖係被歸類以便於理解。然而，應該瞭解的 疋方塊的組合、新方塊的加入、方塊的重新配置、與類似 者都在本發明的替代實施例中被考量到。 於疋，本說明書及圖式是欲被視為說明的意思，而非 限制性的意思。然而，明顯土也，在不脫離本發明如同在申 請專利範圍中所闡述的更廣的精神與㈣下可以完成本發 明的各種修改與變化。

【圖式簡單說明】 (一）圖式部分 第1 方塊圖； 圖係描繪根據本發明 的一個實施例之檢查系統的 第圖係描繪本發明的_個實施例； 方二3目係描緣根據本發明的-個實施例之方法流, 第4 方塊圖； 第5 方塊圖， 圖係描繪根據本發 圖係描繪根據本發 明的一個實施例之方法流程的 明的一個實施例之方法流程的

弟圖係描繪本發明沾 第7A-β圖# 4 "、—個實施例之一例子； 程的方塊圖； 會根據本發明的-個實施例之方法流 弟 8 A - Β 同乂么t 個實施例之一例子；並 圖係描繪本發明的 且 40 1236840 第9A-B圖係描繪本發明的一個實施例之一例子。 (二） 元件代表符號 100 電腦系統 110 監視器 120 電腦 130 使用者輸入裝置 140 影像感測器 150 平台 155 工件 160 微處理器 170 隨機存取記憶體 180 磁碟機 190 系統匯流排 200 感測器 210 基板 220 彩色濾光片組件 500 適應性縮放：縮放後的影像 5 10 背景標準化：標準化的影像 520 R/G/B/W線之檢測及分析 530 R/G/B/W點之檢測及分析 540 VH污點色彩不均勻之檢測及分析 550 間隙色彩不均勻之檢測及分析 560 邊緣色彩不均勻之檢測及分析 570 磨擦線色彩不均勻之檢測及分析

41 雜質/灰塵色彩不均勻之檢測及分析 邊緣區域之估計：邊緣區域之寬度/高度 顯示器座標系 感測器座標系 X偏移 顯示器像素的格子 y偏移 感測器像素的格子 相對旋轉 感測器像素的核心 顯示器像素 顯示器像素的格子 感測器像素的格子 顯示器像素 感測器像素的格子 區域 感測器像素的格子 顯示器像素 感測裔像素的核心 陣列 影像 疊紋圖樣的人為假像雜訊 疊紋圖樣雜訊 影像 42 1236840 940 強度投影圖

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Claims (1)

1236840 拾、申請專利範固： 1·-種用於-個電鵰系 利用在一個影像感剛器中—去’其係包括： 以捕捉在一個顯示器之二之—個陣列的Rxs個感洌器 第一與一第二影像； 、座‘（m，n)處之—個像素的— 分別響應於該第—輿& 及-個第二群組的幻象素7影像以分別對於-個第—以 座標（m，η)之該影像感.出對映到在該顯示器之上的 組的座標； "益之上的—個第-以及-個第二

鮮組以刀# # _ 在該顯示器之上的像I Μ 一群組的次像、素判斷t 冢f以及該Rxs個$彳哭 -個第-以及-個第二失準角度；H的陣列之間 對於該第一群組以及該 口〆第一群經的次像辛立丨丨此丄 顯示器中的像素相對於在 ” i断出在 隻 ?方、在4衫像感測器中的感測哭<_ 弟一以及一個第二x放大比率； 。之 一與第二 測器的陣 其中i=l

分別響應於該第一與第二失準角度以及該第 X放大比率以判斷出分別相關於來自豸RxS個感 列之感測器的第一與第二複數個加權因數Wij， 至R，並且至S ; ' J辦出刀別相關於來自该Rxg個感測器的陣列之感測 為的第一與第二複數個亮度值Lij，其中至R，並且 Μ至S ; 分別響應於該第一與第二複數個加權因數以及該第一 與第二複數個亮度值以根據以下的關係：Imn==^(Wij*Uj) 44 1236840 至R並且$ ’以判斷出一個第金 Imn ; 山…弟 與弟二売度值 升少成個弟一以及一個第_ a入、— 影像，其中對# ~匕έ複數個像素之縮小的 n)處的-個像♦之%小的影像中之座標（m， 值imn而被判斷出，·以及 ”罘一冗度 檢查該第一與第二縮 上的像f中之^ J的衫像以識別出在該I員示器之 豕京T之潛在的缺陷。 2·如申請專利範圍第丨項之 與S是；in A 、 法，/、中R==S，並且R 疋仗5' 6、7的群組中選出。 3·如申請專利範圍第丨 _ L μ 貝之方法，其中該第一盥箪一 禝數個加權因數Wi •亦塑 ”弟一 命― J亦音應於在該影像感測器之上的笛一 人弟—組的座標而被判斷出， 弟 。 /、r ! 1至r，並且产〗至s 4.如申請專利範圍帛i項之 一群组以及哕筮-# 4 ，、灵匕括對於該第 ，’ μ弟一群組的次像素判斷出在該顯示器 “目對於在該影像感測器中的感測器 故-二, 不 Μ及—個 弟一 y方向的放大比率。 、—5.如中請專利範圍第4項之方法，其中該第— 禝數個加權因#文Wij亦分別響應於該第一與第二 率而被判斷出，其中1==1至R，並且J=1至s。 比 6·如申請專利範圍帛1項之方法，其中該第-與第二 亮度值1觀係分別具有一個比來自該複數個亮度值: 第一與第二複數個亮度值更大的位元深度之解析度。、 45 l23684〇 7·如申請專利範圍第〗項之 次像素以对好μ _ 、， ’ ’，、中該第一群組的 '、 及S亥弟—群組的次像辛异τ 4 像素、綠_ A德妄 素疋在不重複之下從紅色次 / 象素以及藍色次像素的群組中選出。 .種檢查系統，其係包括： 至少一個被配置以獲得一個平面顯千。。Μ 個第一以只加卜 十面頌不态的一部份之〆 4及一個弟二影像的感測哭， Μ個感測器係被配置以捕捉在;平::至少一個陣列的 個顯示哭後去少 ^ ^捕捉在该平面顯示器中的至少〆 」。像素之一個第一以及—個第二影像； 個耦接到該至少一個感 置以響應於啰平而钴 J的處理早兀，其係被配 也 亥千面顯示器的部份之至少呤楚 k 來判斷出在爷平@ % ^该弟一與第二影像 係包括：千面顯示器中的-個缺陷，其中該處理單元 —個處理器，苴俏 利用該Μ個感測哭Γ鱼 至少—個感測器以 像與第二影像二、:陣列來捕捉該顯示器像素的第-影 與第二影像，八處理器係被配置以對於該第-影像 列之η 刀別判斷出相關於來自該RxS個残測琴的瞌 夕J之感測器的第_ Μ 、_ Μ α測為的陣 至R，並且=”弟—禝數個加權因數Wij，其中i = 1 顯示器像素二至:像：：該處理器係被配置以響應於該 被配置以響應”二’二且尸…’其中該處理器係 出—個第一以及—個第λ 至s來判斷 配置以判斷出包 U處理裔係被 ㈠灵數個像素之第一與第二縮小的影像， 46 1236840 其中相關於在該第—5牮_ ，、弟二鈿小的影像中之一個顯示器像 素的党度值係分別響應於該 斷出，並且其中” Π 弟-儿度值Imn而被判 亥處理益係被配置以檢查該第一與第-缩 小的影像以識別出名#姑—抑 ，、矛一細 刊出在该顯不器之上的像素之潛在的缺陷。 9.如申凊專利範圍第8項之檢 且…是從5、6、7的群組中選出。 並 :〇·:申請專利範圍第8項之檢查系統，其中該 亦被配置以判斷屮_ 在该頌不器像素相對於該第一影像 二影像之間的一個笛、 心爆，、弟 /個弟一以及一個第二垂直的偏移。 :申睛專利範圍第δ項之檢查系統 二影像之間的=第顯示器像素相對於該第一影像與第 …由個以及-個第二偏移角度。 ”皮:Γ專利範圍*10項之檢查系統，其中該處理 ;:。的陳广判斷出相對於該顯示器像素以及該Rxs個残 測為的陣列之一彳因馀 ,u ^ 1Q ^ Λ 弟一以及一個第二水平的間距。 1 3.如申請專利笳 器亦被配置錢m 項之檢查系統，其中該處理 個第二顯示器；；;:广與第二偏移角度來判斷出在-垂直的偏移。 對於該感測器之間的-個第-與第二 14·如申請專利笳囹 係包括-個液曰顯- @之檢查系統’其中該顯示器 素的像素。 不11 ’其係具有包括紅、綠及藍色次像 15· —種用於 加r=F* 捕姑 腦系統之方法，其係包括： 碼從一個顯；怒 η、、’、至少一個部份之一第一影像，其中 47 1236840 在—個顯示器像素中的一 一個影像感測哭中夕乂 ，…个办们川你 D。個陣列的感測器像素來加以捕捉； 捕捉一個顯干哭、 W的至少該部份之一第二影傻 # Λ . 該顯示界德丰士 ^ 〜像，其中在 你 ^素中的一個第二次像素之一影像传利用,β ^ 像感測器中之咸制哭你士 1豕係利用在該影 泛/'i裔像素的陣列來加以捕捉； 響應於該第—旦彡#、 〜像以判斷出該顯示器相對於兮旦/你A 測器的一個第一位w ^ κ 對於该影像感 1 Μ及一個第一方向； 響應於該第-旦〈你 、目μ。Α 衫像以判斷出該顯示器相對於兮 測器的一個第二位 對於邊衫像感 1以及一個第二方向； 對於在該感測德 應於該第—位 第―…車列中之每個感測器像素都響 示器像素的上方之'重晶2以判斷出該感測器像素在該顧 7 <更$的第一百分比，· 對於在該感測器像素 、 應於該第二位置以及笫二、 之每個感測器像素都響 顯示器像素的上方之重判斷出該感測器像素在該 〜里宜的苐二百 對於在該感測器像素的 應於該顯示器像素的第—旦^、之每個感測器像素都響 對於在該感測器像素#強度值； 應於該顯示器像素的第_ 中之每個感測器像素都響 塑庫衫像以判斷出一個第二強度值. 曰應於母個感測器像素之 又值， 於每個感測器像素的第 宜的第一百分比並且響應 像素之第一加權後的強度值;…x判斷出相•於該顯示器 響應於每個感測器像素之 、， 於每個感測器像素的第二 足的第二百分比亚且響應 又值以判斷出相關於該顯示哭 48 1236840 像素之第二加權後的強度值； 形成一個第一縮放後 響應於該第一加權後的強度值以 的影像； 響應於該第二加權後的強度值以 的影像；以及 屯成—個第二縮放後 檢查該第一與第 令之潛在的缺陷。 縮放後的影像以判斷出 在該顯示器 16·如申請專利範圍第15項之方法 #應於該等潛在的缺陷以處理該顯 影像以判斷出在該顯示器中的缺陷。 其更包括： 示态的部份之第一

Μ項之方法，其中該第一位置 並且其中该第一方向係包括一個 1 7 ·如申請專利範圍第 係包括一個X與y偏移， 旋轉角度。 U·如甲滑專利範圍第15 與第二縮放後的影像更包括··方去，其中檢查該P 標準化該第一盥笫-給務么从… 第m… 像以形成-個第-與 弟一彳示旱化的景> 像；以及 檢查該第一與第二標準化㈣是 19.如申請專利範圍第15項 素以及該第二次像素是在 ，、中"亥第人 匕匕 里複之下处紅色次像辛、綠色 次像素以及藍色次像素的群組中選^ ” 20.如申請專利範圍第15項之方、去 其中該第—次像素是一個紅色次像素；並且 其中捕捉一個顯示器的至少該部份之第―影像亦包括 49 1236840 透過一個紅色的濾光片捕捉該顯示器的至少該部份之第一 影像。 拾壹、圖式: 如次頁

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