JP2766942B2

JP2766942B2 - 表示素子の表示画面読取方法

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Publication number: JP2766942B2
Application number: JP3035446A
Authority: JP
Inventors: 寛江川
Original assignee: MINATO EREKUTORONIKUSU KK
Current assignee: MINATO EREKUTORONIKUSU KK
Priority date: 1991-02-04
Filing date: 1991-02-04
Publication date: 1998-06-18
Anticipated expiration: 2013-06-18
Also published as: JPH0527704A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶ディスプレイ、プラ
ズマディスプレイなどの表示素子の検査方式に関わる。
さらに詳述すれば、表示素子の表示する画面を読取り、
その良否を検査する方式に関わる。

【０００２】

【従来の技術】表示素子は互いに直交するｘ、ｙの方向
に複数の画素を配列した２次元配列の構成が採られる。
例えば、周知のＶＧＡと呼称される表示素子では、ｘ方
向に６４０画素、ｙ方向に４８０画素を配列した６４０
×４８０個の画素で構成される。かかる構成の表示素子
の検査では欠陥画素の有無だけではなく、欠陥の位置ま
で特定する必要がある。かかる検査に２次元ＣＣＤカメ
ラ（以下、ＣＣＤカメラという）を用いる方法が周知で
ある。

【０００３】このＣＣＤカメラの受光素子であるＣＣＤ
素子も互いに直交する２方向にそれぞれ複数の画素を配
列した２次元配列の構成が採られている。例えばｘ方向
に約１３００画素、ｙ方向に約１０００画素を配列した
１３００×１０００画素のＣＣＤカメラを用いるなどし
ている。

【０００４】このようなＣＣＤカメラの受光面に表示素
子の像を結ばせ、表示素子の画素の像の結ばれた位置に
該当するＣＣＤカメラの受光素子の画素を対応付けるこ
とによって検査を実施している。

【０００５】以下特に断らない限りは、表示画素は表示
素子の画素を指し、センサ画素はセンサであるＣＣＤカ
メラのＣＣＤ素子の画素を指す。また、表示素子の画素
の像を画素像と呼称する。なお、表示画素の配列方向と
センサ画素の配列方向をほぼ一致させて、すなわち表示
画素の行方向にセンサ画素の行または列方向をほぼ一致
させて使用するのが一般である。

【０００６】この様な表示素子の検査方式では、個々の
画素像に重なるセンサ画素の数を一般に充分大きくと
り、当該画素像の光度の分布特性のピーク位置近傍にあ
るセンサ画素の検出光度をもって当該表示画素の光度と
して検査するか、あるいは、画素像に重なる領域の複数
のセンサ画素の検出光度を加算して当該表示画素の光度
として検査する。

【０００７】具体的には、周囲のセンサ画素の検出光度
の比較しつつ、その近傍での極大値を探す事で検出して
いる。すなわちピーク検出により当該表示画素の光度を
検出している。

【０００８】例えば、一つの画素像の中に３×３の９個
のセンサ画素を割り当て、その中で最も高い光度を検出
したセンサ画素の検出値をピークとして当該表示画素の
光度とすることになる。また、複数のセンサ画素の検出
光度を加算する場合は、ピーク検出されたセンサ画素を
中心として加算する事になる。

【０００９】雑音対策などから一定のレベル以下の検出
光度は、ピークではあってもこれを無効とする措置が採
られる。従って、光度レベルの低い欠陥画素が連続して
存在するような場合、比較的長い区間に渡って検出信号
が発生しない無信号の状態が発生する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】前述の通り、従来の検
査方式では欠陥画素の存在で無信号の状態が発生し、欠
陥画素が存在する場合はピークを検出したセンサ画素の
飛び数を基に表示画素を補間してアドレス判定をする必
要があるため、欠陥が連続して無信号の区間が幾つの表
示画素に対応するかの判定に誤りが生じ、欠陥の画素位
置、欠陥の数を特定できなくなるという問題点がある。

【００１１】この顕著な例を挙げれば、表示素子の第１
行目の表示画素がすべて欠陥となるライン欠陥で、次ぎ
の第２行目からは正常な場合で、第２行目を第１行目と
誤り、以後１行づつずれて誤って判定するような事態が
生じる。

【００１２】また、消灯状態の正さを検査する場合にお
いて、欠陥により点灯状態となった画素が存在した場
合、周りの正常な表示画素は全て消灯状態にあるので無
信号の状態が連続するため、欠陥画素の位置を特定する
事ができず、その近傍の画素位置を推定して点灯してみ
るなどの措置で位置を特定するなど、位置検出が複雑と
なる欠点がある。

【００１３】これら欠陥の画素位置を特定できないこと
は、検出した欠陥位置を基にして欠陥を修復する手法も
ひろく用いられており、この場合には致命的である。さ
らに１つの表示画面が複数の領域に分割され、それぞれ
の領域毎にセンサカメラで検査を行う場合、その境界
は、表示画面の端部からの画素の数をもって判定せざる
をえず、境界判定が著しく複雑となる欠点がある。

【００１４】このように従来の検査方式では、各表示画
素に対応するセンサ画素が定められていないので、ピー
クとして検出された数を基に表示画素の位置を判定する
のが基本となっているため、ピークが複数の表示画素に
またがって検出されない場合に欠陥位置を誤るなどの欠
点があった。

【００１５】本発明の目的は、従来のかかる欠点を解消
し、欠陥画素の有無、欠陥領域の大小に拘らず、個々の
画素の位置を特定することのできる手段を提供すること
にある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、検査対象の各
表示画素と、この各表示画素に対応するセンサ画素の関
係を対応関係情報として予め作成して保持し、この対応
関係情報を基に個々の表示画素の光度を検出するように
構成する。すなわち、表示素子の表示画面を検査画面と
してその良否を検査するための表示素子の検査方式にお
いて、表示素子とセンサカメラの位置関係を基準位置に
設定し、該基準位置に対応した位置関係で基準表示素子
から抽出した当該センサ画素の表示両素への有効情報と
当該センサ画素へ対応する表示画素の対応番地情報から
なる対応関係情報に基づき、対応するセンサ画素の検出
光度から表示画素の光度を抽出するようにし、前記対応
関係情報を有効情報と対応番地情報とに分離し、それぞ
れの情報を異なる記憶場所に格納し、センサ画素情報の
出力順位に従って記憶場所を番地付けする。

【００１７】また、前記基準表示素子として検査済みの
表示素子を用いることができるようにし、前記基準表示
素子の前記センサカメラとの位置関係を基準位置から表
示画素ピッチの整数倍ずらすことにより、前記基準表示
素子の非点灯表示画素の対応関係情報を抽出することが
できるようにする。

【００１８】

【作用】本発明を前記の通り構成したので、対応関係情
報を基に表示画面の表示素子の個々の表示画素に対応す
るセンサ画素を特定して光度の検出ができるため、従来
のピーク検出による方法のごとく欠陥画素位置でのセン
サ画素からの信号が欠落して欠陥の表示画素の位置を特
定できなくなるという欠点が解決され、欠陥の表示画素
の位置を正しく特定でき、さらにセンサカメラ複数台を
用いる場合においては、個々のセンサカメラの検査対象
領域の境界の判定が容易になる表示素子検査方式を得る
ことができる。

【００１９】

【実施例】以下図面を用いて本発明を詳細に説明する。
実施例では特に断らない限り、表示素子に液晶ディスプ
レイを、センサに２次元ＣＣＤカメラを用いた場合を例
とする。また、本明細書では画素の発する光の強さを光
度と言う用語をもって表す。光度は任意単位とし、画素
の発する単位面積当たりの光の強さも、画素の全域に渡
って積分した光の強さも、またセンサの受光面にできた
画素像の単位面積当たりの光の強さも、また画素像の一
定領域に渡って積分した光の強さも、これら全てを光度
で表現する。

【００２０】図２は本発明に係わる検査方式の基本ブロ
ック構成図である。１は検査対象となる表示素子、２は
２次元ＣＣＤカメラのセンサカメラ、３は移動ステー
ジ、４は処理回路部で、移動ステージ３を移動すること
により、２次元ＣＣＤカメラ２と表示素子１の位置関係
を基準位置に合わせ、２次元ＣＣＤカメラ２のＣＣＤセ
ンサの有効受光領域に表示画面の像を結ばせて、表示素
子の光度を２次元ＣＣＤカメラ２のＣＣＤセンサで読取
り、処理回路部４で処理して表示素子１の光度を検出す
る。上記基準位置への合わせは、表示素子１の合わせマ
ークを位置合わせ用のセンサカメラ（図中省略）で読取
り制御する。これら位置合わせ制御は周知であり詳細な
説明は省略する。

【００２１】本発明の実施例を説明するに先立ち、理解
を容易にするために本発明の基本的な概念と用語の意味
について説明をする。表示素子は、数多くの表示画素か
ら構成され、互いに直交するｘ、ｙの両方向に配列され
ており、２次元的な広がりを持つ。この表示素子の画面
を入力するための２次元ＣＣＤカメラのセンサ画素は、
表示素子よりも更に多くのセンサ画素を必要とし、通
常、センサ画素は表示画素に対比してｘ、ｙの両方向共
に２倍以上、即ち２×２の４倍以上で検査されている。
従って６４０×４８０の約３１万の画素からなる表示素
子を検査するには少なくとも約１２０万のセンサ画素か
らなる２次元ＣＣＤカメラが必要になる。

【００２２】このように大量の表示画素、センサ画素か
らなる検査系で、各表示画素に対応するセンサ画素を予
め検出して保存することにより効率良く、精度良く検査
しようとするものである。ここで表示画素に対応するセ
ンサ画素とは当該画素像に関連するセンサ画素で、当該
表示画素の光度を最も代表できるセンサ画素のことであ
る。例えば、表示画素の発する光量を最も感度良く検出
する事のできるセンサ画素などである。

【００２３】また、表示画素の光度をできるだけ多く検
出するため、画素像に重なる複数の例えば２×２の計４
個のセンサ画素の検出光度を加算して当該表示画素の光
度とする様な場合はその加算対象の特定の位置のセンサ
画素をあてる場合もある。表示画素に番地を付与し、こ
れと独立にセンサ画素にも番地を付与し、番地ｎの表示
画素には番地ｋのセンサ画素が対応する時、ｎ−ｋの対
応関係を対応関係情報と呼称し、この対応関係情報を格
納するメモリを対応関係情報格納メモリと呼称する。

【００２４】ｎ−ｋの対応関係を対応関係情報格納メモ
リに格納する方法は、メモリの構成、及びメモリの番
地、及び各語の記憶フィールドにこれら番地ｎ、番地ｋ
を如何に対応させるかなどにより変わってくる。以下に
説明する第１の実施例は対応関係情報を単一のメモリに
格納する方法を示し、第２の実施例では２つのメモリで
構成する例を示す。

【００２５】図３は処理回路部４の第１の実施例で、図
中１０はＡ／Ｄ変換回路、２０はセンサ画素で検出され
た光度を表示画素の光度として、即ち表示素子のイメー
ジで格納する表示素子イメージメモリ、３０は対応関係
情報格納メモリ、３１は対応関係情報格納メモリの番地
を発生するアドレスカウンタ、３２は対応関係情報格納
メモリから読み出した情報を格納する読み出しレジス
タ、１００はクロック信号線、１０１は有効情報信号
線、１０２は対応番地情報信号線である。

【００２６】センサカメラ２の出力はＡ／Ｄ変換回路１
０を介してアナログ信号からディジタル信号に変換さ
れ、表示素子イメージメモリの書き込みデータとなるよ
うに相互に接続される。表示素子イメージメモリ２０は
表示画素対応に番地を持ち、各番地は検出光度情報を格
納するだけのビット数を持つ。対応関係情報格納メモリ
３０は、２次元ＣＣＤカメラ２のセンサ画素に対応した
番地を持つ。すなわち、ＣＣＤの画素の番地ｎに対応す
る対応関係情報格納メモリの番地ｎが存在する。この番
地ｎはセンサ画素情報として２次元ＣＣＤカメラ２から
出力される順番に０番地から昇順に番号付けされてい
て、この対応関係情報格納メモリはアドレスカウンタ３
１の内容に基づく番地にアクセスできるよう接続され
る。

【００２７】クロック信号線１００は各回路ブロックを
同期をとって動作させるための信号線である。対応関係
情報格納メモリ３０の各語は対応するＣＣＤ画素が表示
画素に対応しているか否かを格納する有効情報フィール
ドの１ビットと対応する表示画素の番地情報すなわち対
応番地情報を格納するための対応番地情報フィールドの
ｑビットの計（ｑ＋１）ビットで構成される。図４はこ
の語構成を示す。

【００２８】次ぎに動作について説明する。ｎ番地のセ
ンサ画素からの信号が出力される前にまずアドレスカウ
ンタ３１の内容をｎにセットし、対応関係情報格納メモ
リ３０のｎ番地から有効情報と対応番地情報を読み出し
レジスタ３２に格納しておく。なお、図中読み出しレジ
スタ３２に示すＶは有効情報フィールドを示す。

【００２９】ＣＣＤのｎ番地画素の光度信号が出力され
た時点で、表示素子イメージメモリは、対応情報信号線
１０１を介して有効か無効かを確認し、情報が“１”の
場合すなわち、当該センサ画素が表示画素に対応してい
る場合は、対応番地情報信号線１０２を介して対応番地
情報を受信し、ＣＣＤ出力の検出光度情報を表示素子イ
メージメモリの対応する番地に格納する。対応情報が
“０”の場合は表示画素が対応しないことからＣＣＤか
らの読み出し情報は無視する。

【００３０】以上の動作を基本動作として、アドレスカ
ウンタ３１の内容を＋１づつ歩進しながら基本動作を繰
り返すことによりセンサ画素の検査データを表示画素の
光度として表示素子イメージメモリに格納する。この第
１の実施例では対応関係情報格納メモリ３０の語数がセ
ンサ画素の数Ｎだけ必要で、メモリ構成はＮ語×（ｑ＋
１）ビットとなり、表示画素に対応しないセンサ画素の
語においても対応番地情報のｑビットが存在することに
なる。すなわち、対応関係情報を格納するメモリの記憶
容量は、Ｎ×（ｑ＋１）ビットが必要となる。

【００３１】図１は図２に示す処理回路部４の第２の実
施例である。この第２の実施例では第１の実施例におけ
る対応関係情報格納メモリ３０に格納した対応関係情報
を有効情報と対応番地情報とに分離し、それぞれを異な
るメモリに格納するように構成している。

【００３２】図中４０は有効情報を格納する有効情報格
納メモリ、４１は対応番地情報を格納する対応番地情報
格納メモリ、４２は有効情報レジスタであり、有効情報
格納メモリからの有効情報を格納する。４３は対応番地
情報レジスタで対応番地情報格納メモリから読み出され
た対応番地情報を格納する。４４は有効情報格納メモリ
の番地を発生するアドレスカウンタ、４５は対応番地情
報格納メモリの番地を発生するアドレスカウンタであ
る。

【００３３】有効情報格納メモリ４０は２次元ＣＣＤカ
メラの個々のセンサ画素に対応した番地を持つ。すなわ
ち、センサ画素の番地ｎに対応する有効情報格納メモリ
の番地ｎが存在し、各語１ビットの構成をとる。この有
効情報格納メモリの番地ｎは２次元ＣＣＤカメラからの
センサ画素の出力順位にしたがって０番地から昇順に番
号付けされている。

【００３４】また、有効情報格納メモリ４０はアドレス
カウンタ４４の内容に基づく番地にアクセスできるよう
にアドレスカウンタ４４に接続される。アドレスカウン
タ４４の内容はクロック信号線１００で伝達されるクロ
ック信号で２次元ＣＣＤカメラからのセンサ画素の光度
情報が出力される度に＋１歩進される。対応番地情報格
納メモリ４１は表示素子の画素に対応した語数を持ち、
アドレスカウンタ４５の内容に基づく番地にアクセスで
きるようアドレスカウンタ４５に接続される。アドレス
カウンタ４５の内容は有効情報レジスタ４２の内容、す
なわち有効情報が“１”となる度に＋１歩進する。

【００３５】次ぎに動作について説明する。まず、２次
元ＣＣＤカメラからの最初の、すなわち、０番地のセン
サ画素の情報が出力される前にアドレスカウンタ４４と
アドレスカウンタ４５の内容を０にリセットした後、有
効情報格納メモリ４０と対応番地情報格納メモリ４１の
読取り動作を実行し、０番地の内容をそれぞれ読取りレ
ジスタ４２と読取りレジスタ４３にセットする。

【００３６】以上の動作がアドレスカウンタ４４と４
５、読取りレジスタ４２と４３の初期設定動作である。
第（ｎ＋１）番目の、すなわち、ｎ番地のセンサ画素か
らの信号が出力されると、表示素子イメージメモリは有
効情報信号線１０１を介して読取りレジスタ４２にある
有効情報を確認し、情報が“１”の場合は対応番地情報
信号線１０２を介して読取りレジスタ４３にある対応番
地情報を受信し、センサ画素出力の検出光度情報を表示
素子イメージメモリの対応する番地に格納し、有効情報
が“０”の場合は、センサ画素からの読み出し情報を無
視する。

【００３７】次にアドレスカウンタ４４の内容を＋１歩
進し、さらに読取りレジスタ４２にある有効情報が
“１”の場合はアドレスカウンタ４５の内容を＋１歩進
した後、有効情報メモリ４０と対応番地情報格納メモリ
４１の読取り動作を実行し、読取りレジスタ４２と読取
りレジスタ４３に有効情報と対応番地情報を設定するこ
とにより、次のセンサ画素からの光度情報の出力に備え
るための情報の設定を行う。なお、有効情報が“０”の
場合は、アドレスカウンタ４４の内容だけが＋１歩進さ
れ、アドレスカウンタ４５の内容はそのまま保存され
る。

【００３８】以上の動作説明から明らかなように、この
第２の実施例では対応関係情報を有効情報と対応番地情
報とに別けて、それぞれ別の有効情報メモリと対応番地
情報格納メモリに格納している。しかも、有効情報メモ
リはＣＣＤが検出した画素光度情報の出力順位にしたが
って昇順に番地付けされている。さらに、対応番地情報
格納メモリも有効情報が“１”となる度に＋１だけ歩進
するように昇順に番地付けされている。このため、当該
センサ画素が表示画素に対応しているか否かの判定、お
よび対応する表示素子の画素の番地情報の獲得が単純な
歩進動作で実行できる。

【００３９】これらの昇順の番地付けは降順であっても
良く、この場合はアドレスカウンタの歩進を−１にすれ
ば同様の効果が得られる。このような組織的な番地付け
により、次に出力されるセンサ画素情報に対する有効情
報、対応番地情報の獲得を自動的に容易にする事であ
る。ここで、センサ画素の数をＮ、表示画素の数をＭと
すると、有効情報格納メモリと対応番地情報格納メモリ
の語構成はそれぞれＮ語×１ビット、Ｍ語×ｑビットと
なる。したがって、対応関係情報を格納するメモリの記
憶容量は（Ｍ・ｑ＋Ｎ）となる。一般にＭ＜Ｎであり、
第２の実施例では第１の実施例に対比して記憶容量を削
減できる。

【００４０】次に、対応関係情報の生成法について説明
する。予め検査済みの良品の表示素子を基準表示素子と
して移動ステージに乗せ、表示画面の像が２次元ＣＣＤ
カメラのＣＣＤセンサの有効受光領域に収まり、かつ、
センサ画素と画素像の配列方向がほぼ平行になるように
合わせるとともに、表示画面と２次元ＣＣＤカメラの距
離であるｚ方向を調整し所定の像倍率に合わせる。この
状態での基準表示素子と２次元ＣＣＤカメラの位置関係
が基準位置で、この基準位置はカメラのフォーカスに関
連するｚ方向はもちろん、これと直交するｘ，ｙの方向
に対しての位置も含まれる。

【００４１】以後の検査では検体である表示素子をこの
基準位置に設定して検査することになる。このため、基
準表示素子の合わせマークを合わせ用のセンサカメラで
読取りその位置を記憶する。次に、基準表示素子を基準
位置に設定した状態で基準表示素子の画素を点灯させ、
センサ画素の検出光度のピークを検出することにより各
表示画素に対応するセンサ画素を特定し、対応関係情報
を抽出する。２次元的に配列された情報のピーク検出の
手法は周知でありここでは説明を省略する。

【００４２】この対応関係情報の抽出動作では、全ての
表示画素を一括して点灯するのが一般的であるが、全て
の表示画素を点灯すると近傍の表示画素からの光が重な
り合い光度分布が平坦化され、ピーク検出が困難な場合
は行、列の一方あるいは両方の方向に１画素おき、また
は数画素おきに点灯させ、この点灯位置をずらしながら
対応関係情報を抽出・合成しても良い。

【００４３】これらの動作で得られた対応関係情報を一
般的に表現すると、表示画素の番地Ａ_ｎに対するセンサ
画素の番地Ａ_ｍの対応である。この対応関係情報をセン
サ画素の個々に１番地を割り当てて記憶保持する場合に
当てはめると、その語構成は図４に示すように対応する
表示画素があるか無いかの情報（有効情報）を格納する
有効情報フィールドの１ビットと、該有効情報に対応す
る画素の番地情報（対応番地情報）を格納するフィール
ドとからなる。

【００４４】この番地情報フィールドのビット数ｑは検
査対象となる表示画素の数により決る。この有効情報と
対応番地情報をそれぞれ別のメモリに格納するのが図１
に示した第２の実施例である。この別のメモリに格納す
る場合も両情報の対応付けをとる必要があり、第２の実
施例ではメモリの番地位置で対応を付けている。以上、
基準表示素子はすべて欠陥の無い画素からなることを前
提に説明したが、欠陥画素を含んでいても良い。以下欠
陥を含む基準表示素子での対応関係情報の抽出について
説明する。

【００４５】まず第１の方法について説明する。いずれ
の番地の表示画素を取り上げても、良品となる表示素子
が少なくとも１個存在するような表示素子の組を基準表
示素子の組とし、それぞれの基準表示素子の良品の画素
を基に対応関係情報を抽出し、これらを統合することに
より全体としての対応関係情報を合成する。すなわち、
個々の基準表示素子で不良の表示画素をマスキングする
条件でＯＲ条件をとることで全体としての対応関係情報
を合成する。

【００４６】次に、第２の方法について説明する。欠陥
画素の対応関係情報を抽出するために、基準表示素子と
２次元ＣＣＤカメラの位置関係を１表示画素のピッチだ
けずらし、隣の良品の表示画素を用いて欠陥画素の対応
関係情報を抽出する。この抽出方法は、代用する良品の
表示画素を点灯し、他の良品の表示画素の対応関係情報
の抽出の場合と同様の方法で情報の抽出を行う。

【００４７】一般に、代用する表示画素は隣接の良品で
ある表示画素に限定する必要はなく、数画素が集団的に
欠陥となっている場合などでは数画素分のピッチだけず
らし、近傍の良品の表示画素を当該位置にもってきて対
応関係情報を抽出する事もできる。この様に基準表示素
子と２次元ＣＣＤカメラの位置関係を基準位置から画素
ピッチの正の整数倍ずらすことにより基準表示素子の欠
陥の表示画素を等価的に良品の表示画素に替えて対応関
係情報を抽出することができる。

【００４８】以上の説明から明らかなように、基準表示
素子として用いる検査済みの良品の表示素子とは無欠陥
の表示素子を意味するものでは無く、欠陥の番地が明確
な欠陥の表示画素を含む表示素子も基準表示素子として
許容できる。また、以上説明した第１の方法と第２の方
法を併用することもできる。

【００４９】基準表示素子と２次元ＣＣＤカメラの位置
関係を基準位置からずらす方法を欠陥の表示画素の対応
関係情報抽出の概念で説明したが、表示画素とセンサ画
素の対応位置関係を分解能良く抽出するために、数画素
おきに点灯させ、その他の画素を消灯状態として対応関
係情報を抽出する場合もこの基準位置からずらす方法を
適用できる。したがって、この場合の消灯させた表示画
素と欠陥の表示画素は同種の画素であり、非点灯表示画
素と呼称する。以上の説明から明らかなように、基準表
示素子として用いる検査済みの良品の表示素子とは無欠
陥の表示素子を意味するものでは無く、欠陥の番地が明
確な欠陥画素を含む表示素子も基準表示素子として許容
している。

【００５０】以上、基準表示素子に、検査済みの良品の
表示素子、すなわち検体となる表示素子と同種の表示素
子を用いる場合について説明したが、特殊な基準表示素
子を用いても良い。例えば検体が透過形の液晶ディスプ
レイの場合、基準表示素子として液晶ディスプレイの画
素位置に対応して光を透過させる開穴部を配した基板を
もって基準表示素子とする事もできる。この場合、開穴
部を検体のすべての画素位置対応に配置する必要性は必
ずしもない。検体の配列画素の行、列の一方または両方
の方向に数画素置きに対応させた位置にのみ開口部を配
置した基板を基準表示素子として、画素ピッチだけずら
しつつ対応関係情報を抽出する方法も採れる。

【００５１】この様に特殊な基準表示素子を用いる場合
でも、また検査済みの良品の表示素子を基準表示素子を
用いる場合でも、検査実態に即した状態での対応関係情
報の抽出ができ、センサカメラのレンズの収差などによ
る表示画面の像の歪みを考慮考慮にいれた対応関係情報
が容易に抽出できる。以上、センサカメラに２次元ＣＣ
Ｄカメラを用いた場合を例に本発明を詳細に説明した
が、一般の２次元センサを用いたセンサカメラに広く適
用できる。さらに１次元センサを用いた１次元センサカ
メラを適用し、検体とカメラの位置をずらしつつ１行づ
つ検査していく場合に置いても、各行の検査で基準位置
を設定する事で同様の構成が採れる。

【００５２】さらにセンサカメラを複数台設置し、単一
表示画面を分割分担して検査する場合も、センサカメラ
ごとに対応関係情報を設定することで同様に適用でき、
その分担境界を明確にできるなど、さらに優れた効果が
ある。また検体である表示素子には液晶ディスプレイを
はじめプラズマディスプレイなどの表示素子に広く適用
できる。

【００５３】

【発明の効果】本発明を請求項１の通り構成し、表示素
子とセンサカメラの位置関係を基準位置に設定し、基準
位置に対応した位置関係で抽出した対応関係情報に基づ
き対応するセンサ画素の検出光度を基に表示画素の光度
を抽出する表示素子の検査方式は、表示画素とこの表示
画素に対応するセンサ画素の対応関係が、表示画面の欠
陥の状態に係わらず予め明確であるため、欠陥画素の番
地を特定でき、欠陥の位置、欠陥の数を明確にできる効
果がある。さらに、複数台のセンサカメラで表示画面を
分割分担して検査する場合、各センサカメラの分担領域
を明確にでき、境界判定が容易になる効果がある。

【００５４】本発明を請求項２の通り構成し、対応関係
情報を有効情報と対応番地情報とに分離し、それぞれの
情報を異なる記憶場所に格納し、センサ画素情報の出力
順位に従って記憶場所を番地付けるようにしたのでセン
サ画素情報のセンサカメラからの出力順番にしたがって
有効情報メモリの番地を＋１歩進すればよく、また対応
番地情報メモリの番地も対応情報メモリからの対応情報
が“１”となる度に＋１歩進すればよく、対応関係情報
をメモリから自動的に容易に獲得でき、かつ対応関係情
報を格納するメモリの記憶容量を削減できる効果があ
る。

【００５５】本発明を請求項３の通り構成し、基準表示
素子に検査済みの表示素子を用いるように構成したので
検査対象の表示素子と同種の素子を用いるため、検査実
態に即した対応関係情報の抽出ができ、さらに特殊な基
準表示素子を必要としないことから経済性に優れる効果
がある。また本発明を請求項４の通り構成し、基準表示
素子とセンサカメラの位置関係を基準位置から画素ピッ
チの正の整数倍ずらすことにより基準表示素子の非点灯
表示画素の対応関係情報を抽出するようにしたので基準
表示素子に欠陥を許容できるため、基準表示素子の選定
が容易になる効果がある。さらに行、列に配列された表
示画素を行、列の一方あるいは両方の方向に数画素おき
に点灯状態とし、他の表示画素を消灯状態とし、対応関
係情報を抽出できるため、表示画素の位置分解能を向上
することができるという効果が期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図２に示す処理回路部の第２の実施例の構成説
明図である。

【図２】本発明に係わる検査方式の基本ブロック説明図
である。

【図３】処理回路部の第１の実施例の構成説明図であ
る。

【図４】対応関係情報を格納する対応関係情報格納メモ
リの語構成の説明図である。

【符号の説明】

１表示素子２２次元ＣＣＤカメラ３移動ステージ４処理回路部１０Ａ／Ｄ変換回路２０表示素子イメージメモリ３０対応関係情報格納メモリ３１アドレスカウンタ３２読み出しレジスタ４０有効情報格納メモリ４１対応番地情報格納メモリ４２有効情報レジスタ４３対応番地情報レジスタ４４アドレスカウンタ４５アドレスカウンタ１００クロック信号線１０１有効情報信号線１０２対応番地情報信号線

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】表示素子の表示画面を検査画面として、該
表示画面の良否を検査するための表示素子の表示画面読
取方法において、検査対象の表示素子（１）を搭載する、水平に移動する
移動手段を有する移動ステージ（３）と、該移動ステージ（３）の上方所定位置で該表示素子
（１）の表示画面に対向して設けられた該表示画面の画
面情報を入力するセンサ画素を有する２次元センサカメ
ラ（２）と、該表示素子（１）に有する位置合わせマークを用いて、
該２次元センサカメラ（２）を所定位置に設定する位置
合わせ手段と、該２次元センサカメラ（２）の有効受光領域に前記表示
画面の像を結ばせて、該表示素子（１）の光度を読取
り、センサ画素で検出された光度を表示画面の光度とし
て、Ａ／Ｄ変換回路（１０）を介して変換された信号を
書き込みデータとして格納する表示素子イメージメモリ
（２０）と、２次元センサカメラ（２）のセンサ画素が表示画素に対
応するか否かを表す有効情報と当該センサ画素に対応し
た表示画素の番地情報を格納する対応関係情報格納メモ
リ（３０）と、対応関係情報格納メモリ（３０）の番地を発生するアド
レスカウンタ（３１）と、対応関係情報格納メモリ（３０）から読み出された有効
情報と当該センサ画素に対応した表示画素の番地情報を
格納する読みだしレジスタ（３２）とを具備し、クロツ
ク信号を供給するクロツク信号線（１００）により２次
元センサカメラ（２）と対応関係情報格納メモリ（３
０）とアドレスカウンタ（３１）を接続し、有効情報信
号線（１０１）と対応番地情報信号線（１０２）とによ
り読みだしレジスタ（３２）と表示素子イメージメモリ
（２０）とを接続してなる処理回路部（４）とで、構成
されたことを特徴とする表示素子の表示画面読取方法。
【請求項２】表示素子の表示画面を検査画面として、該
表示画面の良否を検査するための表示素子の表示画面読
取方法において、検査対象の表示素子（１）を搭載する、水平に移動する
移動手段を有する移動ステージ（３）と、該移動ステージ（３）の上方所定位置で該表示素子
（１）の表示画面に対向して設けられた該表示画面の画
面情報を入力するセンサ画素を有する２次元センサカメ
ラ（２）と、該表示素子（１）に有する位置合わせマークを用いて、
該２次元センサカメラ（２）を所定位置に設定する位置
合わせ手段と、該２次元センサカメラ（２）の有効受光領域に前記表示
画面の像を結ばせて、該表示素子（１）の光度を読取
り、センサ画素で検出された光度を表示画素の光度とし
て、Ａ／Ｄ変換回路（１０）を介して変換された信号を
書き込みデータとして格納する表示素子イメージメモリ
（２０）と、２次元センサカメラ（２）のセンサ画素が表示画素に対
応するか否かを表す有効情報を格納する有効情報格納メ
モリ（４０）と、有効情報格納メモリ（４０）の番地を発生するアドレス
カウンタ（４４）と、有効情報格納メモリ（４０）から
読み出された有効情報を格納する有効情報レジスタ（４
０）と、当該センサ画素に対応した表示画素の番地情報を格納す
る対応番地情報格納メモリ（４１）と、該対応番地情報格納メモリ（４１）の番地を発生するア
ドレスカウンタ（４５）と、該対応番地情報格納メモリ（４１）から読み出された当
該センサ画素に対応した表示画素の番地情報を格納する
対応番地情報レジスタ（４３）とを具備し、クロツク信号を供給するクロツク信号線（１００）によ
り２次元センサカメラ（２）と有効情報レジスタ（４
２）を接続し、有効情報レジスタ（４２）を対応番地情
報格納メモリ（４１）の番地を発生するアドレスカウン
タ（４５）に接続し、対応番地情報レジスタ（４３）と
表示素子イメージメモリ（２０）とを対応番地情報信号
線（１０２）で接続してなる処理回路部（４）とで構成
されたことを特徴とする表示素子の表示画面読取方法。