TWI225841B - Robot system for transferring substrates and substrate transferring container used by the same - Google Patents

Description

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一、【發明所屬之技術領域】 认抑本發明係關於一種基板運送機器人系統及此基板運送 機器人系統中所使用之基板運送容器。此基板運送機器人 系統為=如在半導體基板或液晶基板等製程所使用之基板 運运機器人系統，係由用以多段收藏待運送 各種處理裝置或檢查裝置之多片基板的稱為卡=容斤；之 取出各基板而運送至處理裝置或檢查裝置。 二、【先前技術】 半導體基板或液晶基板等之製造，係由多 =查製程所構成，纟各製程配置專用之處理裝置或檢 :、=、、，六，而，將多數片之基板多段收藏於稱為卡匣之基 ，各器，而將該基板運送容器依次運送至處理裝置或 ϊΐί:广進行基板運送容器内之基板所需之製程處 ==理：ΐ而：於此一製程中，係如圖13所示般， 达機為人系統100，自利用稱為AGV(Auto 杳H J?iCle)之無人運送車1〇4所運送至處理裝置或檢 ΐί理if 〇5之卡基板運送容器）十逐片取出 丞板，而運迗至處理裝置1〇5。 ，板運送機器人系統1GG具備多個卡t作台⑻，和 用以放置排列成和無人運送車丨〇 4 102 ·，及基板運送機器人1〇3，自運、向平行之卡S 之卡0Π02逐片取出臭板播㉟、,自:皮/置於卡匡工作台101 m ®工作台101之配設方向移動。 在圖η ’利用無人運送車104運送之知〇2，藉著無 1225841

人運送車104以既定之位置精度運送至卡匣工作台1〇1前 面，後自無人運送車104移載至卡匣工作台1〇1上，搬入基 板運达機器人系統1 〇 〇。為了利用基板運送機器人丨〇 3自被 搬入基板運送機器人系統丨00之卡匣工作台丨〇1上之卡昆 102内逐片取出基板，需要令卡匿102正對著基板運送機器 人103(具體而言，控制基板運送機器人1〇3之^座標系和 ，放置於卡匣工作台101之卡匣1〇2之巧座標系一致），使 得基板運送機器人1〇3之機械手臂可正確的處理卡匣丨〇2内 之基板。因而，在以往之基板運送機器人系統丨〇〇，在卡 匣工作台101上設置應放置卡匣102之基準位置（更正確而 I，如圖13和卡E1 〇2平面圖所示之矩形形狀相同之矩形 基準框），而且設置一種可調整被放置於卡匣工作台l〇i之 卡匣102至基準位置之調整機構。更具體而言，在卡匣工 :台1/1、上將和卡匡丨02之平面圖之矩形形狀相同之矩形基 準框设為應放置位置，設置將被放置於卡匣工作台丨〇 ι之 卡匣1 0 2調整至該基準框内之調整機構。 圖14係表示在以往之基板運送機器人系統之卡匣工^ 。之卡ϋ位置調整機構其主要部分之立體圖。 卡匣工作台1 0 1係具有平面長方形形狀而且具有凹字 2面之箱型，在位於上面之對角上之2個角設置用以調 作台1〇1之放置位置之「〈」字形之-對爽緊件 ϋ 這些夾緊件101Α、101β利用省略圖示之驅I ，件可在對角線上向内側移動。又，雖未圖*，在爽緊^ 1A 1 0 1 β之各邊之内側設置滾子。像這樣，利用夾緊幸

1225841 五、發明說明（3) 構調整卡匣1 〇 2之位置，係因卡g 1 〇 2係數十公斤以上之重 、 物，無法容易移動的緣故。 . 自無人運送車104搬入卡匣1〇2時，卡匣工作台ιοί之 夾緊件1 0 1 A、1 0 1 B位於對角線上之最外側，在此狀態將卡 -匣102放置於以卡匣工作台1〇1之夾緊件1〇1Α、1〇1β規定之 長方形形狀之框内。然後，令夾緊件1 〇丨A、1 〇丨B向内侧移 動，党到該夾緊件101A、1〇1Β推壓，卡匣1〇2之位置移 動，當夾緊件1 0 1 A、1 0 1 B移至既定之位置時在以該夾緊件 101A、101B規定之長方形之框和卡匣1〇2之平面圖形狀一 致之位置固定卡匣1〇2，因而，將卡匣1〇2在卡匣工作台 ❿ 1 0 1之位置調整至基準位置（基準框）。 三、【發明内容】 發明要解決之課題 卡匣工作 緊機構， 置，在各 題。又， 整夾緊機 種基板運 之基板運 匣應放置 之夾緊機

可是，在以往之基板運送機器人系統，因在 :'U用以修正所放置之卡匣1 〇2之位置之夾 ，侍5周正卡匣1 02相對於基板運送機器人丨〇3之位 作台設置夾緊機•，有構造變得複雜之問 ίϊϊί機器人系統之裝配時或維修時需要調 構’=維修管理需要人力和費用之問題。 送機哭人系::：士述之課題’其目的在於提供-人！！及應用於此基板運送機器人系統中 +二者設置檢測對於基板運送機器人與卡 位置之卡匿位置偏差量之機構，替代㈣工作台

1225841 、發明說明（4) 構，不需要調整被放置在卡匡工作台上之卡匡。 解決課題之方式 申請專利範圍第1 夕恭日日& ^ ^ 統，具備基板運送機器人Y右V;種基板運送機器人系 車由方向和與XY軸方向垂直;7平面内彼此正交之χγ 出及放置台1至少在-侧面具有基板 出入口 ^^其之基板運送容器放置成使包含該基板 驅動兮ίΠί ΐ運送機器人之Y軸大致平行；在X方向 ’勒邊機械手臂，進行扃缔A w 基板之出入，其特徵為1 ^=谷器被收藏成多段之 保持構件，辟著二：ΐ;檢測裝置’設於該機械手臂之 緣，輸出該邊緣之檢測H·於、制:，之被檢測物之该邊 有和包含該基板出入Ji:平：：；!!=:配設了具 正交之第二邊緣之位置檢測用構件之美運、、二，一邊緣 該放置台時，在X方向驅動該機械11放置於 7 =過該位置檢測.用構件之第一邊緣？以二置, 置2用藉著該檢測裝置之掃描自該檢測 -^上只間隔既定之距離之2個點之檢測ϋ第 板運送容器自該放置台上之基準十异垓基 偏差量。 1立置U方向或Θ方向之 申請專利範圍第2項之發明係在申請專 基板運送機器人系統，該計算裝置依昭該固第1項之 個點之檢測信號分別計算該2個點在該'基板運送機緣器上人= 1225841 五、發明說明（5) 、 XJ 系之X方向之位置資料後，依照這些x方向之位置資 蚪和2點間之距離資料計算該基板運送容器 之基準位置沿X方向或θ方向之偏差量^ 4放置口 2項之申Λ專軍利Λ圍第3項之發明係在如申請專利範圍第1或 ★亥θ方Λ Λ 系統，更具備姿勢修正裝置，計算 ‘既定篁，令該檢測裝置移至該位置檢測用構件 機琴人之依照該"向之偏差量修正該基板速送 =件之第一邊緣平行；第二檢測控制广置和= ί 之姿勢之狀態’在γ方向驅動該機械手 :"檢測扃置知描’使得穿過該位置檢測用構件之第 一邊，毒；以及第二計算裝置，使用藉著該 自該檢測裝置輪出之兮镇-、嘉& >认， 、J裝置之 送容ίίί: ί 檢測信號計算該基板運 L谷裔與在该放置台之基準位置之γ方向之偏差旦。 申請專利範圍第4項之發明係在如申請專= 之基板運送機器人系統，該第mV/ ,^ ^ ^ , 禾一口卞异裝置依照該第二邊緣 信號分別計算該點在該基板運送機器人之χγ 算該基板運送容器自該放置台上之λ =位置貝枓°十 差量。 上怠暴準位置沿Υ方向之偏 申請專利範圍第5項之發明袼扃‘由4由 ^ ^ t - ^ ^ ^ ^ ^. λ Λ Λ；ν κ"1 ；! 可同時檢測該位置檢測用構件之“二：：屑、置應使付 設置成Υ軸和該機械手臂之保持、I上之2個點’由 了偁彳千十仃並只相隔該既定 1225841 五、發明說明（6) 之距離之一對感測器構成。此外，該感測器可由 構成（申請專利範圍第6項）。 4 “ 若依據如申請專利範圍第1〜6項之其中一項之發 將基板運送容器纟置於該放置台冑，在χ方向驅動^械手 臂，令檢測裝置掃描，使得穿過位置檢測用構件之一 、：，使用此時自檢測裝置輸出之檢測信號計算基 二 裔與在放置台之基準位置之χ方向或$方向之偏差旦且谷 邊緣上之2點之在基板運送機器人之χγ座標 置資料後，依照這些X方向之位置資料占門 二之位 計算基板運送容器與在放置台之基 =間之距離資料 向之偏差量。 千伹置之χ方向或θ方 又，算出θ方向之偏差量，令檢測裝 用構件之既定位置後，依照0方向之 移至位置檢測 送機器人之姿勢，使得基板運送機器人里修正該基板運 用構件之第一邊緣平行，於此狀態在υ ά和位置檢測 臂’令檢測裝置掃#，使得穿過位置^驅動機械手 緣，使用此時自檢測裝置輸出之第二緣冓件之第二邊 基板運送容器與在放置台之基準位置之檢測信號計算 具體而^ ，依照第二邊緣上之點 向之偏差量。 板運送機器人之ΧΥ座標系之¥方向之双位則信^計算該點在基 方向之位置資料計算基板運送容器與貝;斗後，依照該γ 置之γ方向之偏差量。 、Μ放置台之基準位 種基板運送機器人系

第13頁 申請專利範圍第7項之發明係 1225841 五、發明說明（7) 統’具備基板運送機5|人，且古—

軸方向和與χγ軸方向 z、 7夂’面内彼此正交之XY 軸轉動之機械手臂；軸：向.各自可位移而且可繞ζ 出入口之長方體二狀；；=:!至少在-侧面具有基板 出入口之面和心容11放置成使包含該基板 驅動該=手;人之γ軸大致平行；在χ方向 基板之出&，1特基板運送容器被收藏成多段之 臂之佯#ί為離量測裝置，設於該機械手 置，：被檢測物為止之距離1測控制裝 行之方^ ϊ f 設了在和包含該基板出人口之面平

之2個突°刼、夕目 |隔4既定之距離並向該基板運送機器人側突出 至運送容器後，用該距離量測裝置令量測 么之距離；以及計算裝置，使用利用該距 送容哭自\ & ί f之至2個突起為止之距離計算該基板運 向之2量:ΐ:ΐ:基準位置沿x方向、γ方向…方 哭放ΐ ^ Ϊ如中晴專利範圍第7項之發明，將基板運送容 彳@&置台後，用距離量測裝置量測至基板運送容器 容@ ikH、、止之距離，使用這些距離資料計算基板運送

在放置台之基準位置之X方向、γ方向以及…之 偏差s之至少一個。 ν· 運谈t二據本發明’又，因不必在放置台設置用以將基板 造蠻彳t $ ^位調整至基準位置之機械式位置調整機構’構 + 11 =，因在基板運送機器人系統之裝配時或維修時 …^1位置調整機構，可減少維修管理之人力或費

第14頁 1225841 五、發明說明（8) 用。 ::奢專利範圍第8項之發明係 項之基板運送撫哭A么μ 明寻刊乾圍第〗〜7 夕说矣旦Μ 4人糸統，更具備修正裝置，依日^ 驅動控制值。板運k機為人進仃基板送出送Λ所需之 發明，因利用機械手臂自基 ΐίΐ: Γ依照利用計算裝置所計算之偏差ΐ;進行 位置也Τ、·ϋί將基板運送容器正確的放置於放置驅 位置也Z適當的進行基板之出入。 置口之基準 申請專利範圍第9項之發係 第卜6項之基板運逆㈣人f 如申凊專利範圍 為在容以體板料容11，其特徵 面平行之第5之位置配設具有#包含*板出入口之 測用構件。此外、，$ : J邊緣正交之第二邊緣之位置檢 測裝置檢測之嗜第二邊ί T測9用構件由各自包含利用該檢 專利範圍第10項) 個點之一對構件構成（申請 第7戍申8 ; ί : Γ圍第11項之發明係應用於如申請專利範圍 Ϊ在二Ϊ =繼人系統之基板運送容器，其特徵 平行之體 疋之位置配設在和包含基板出入口之面 丁 ^方向只相距既定之距離之2個突起。 置位Ϊ Ϊ :康本發明之基板運送容器，因只是在容器本體設 於本發；之I :::送：Si ::之構造且低f用實現可應用 之基板運达从為人系統之基板運送容器。 第15頁 1225841 五、發明說明（9) 四、【實施方式】 發明之實施形態 圖1係本發明之基板運送機器人系統之一實施形態之 主要部分之立體圖。 圖1所示之基板運送機器人系統1，在圖1 4所示以往之 基板運送機器人1〇〇 ’刪除卡匣工作台101之上面之夾緊件 101A、101B，而在放置於卡匣工作台101之卡匣102之上面 適當位置設置用以檢測該卡匣1 0 2相對於基板運送機器人 1 0 3之位置檢測用構件5、6，而且在基板運送機器人1 〇 3之 機器人夾具103A之上部在背面方向延伸之一對支撐構件 3 7、3 8，在其前端下面設置用以各自檢測位置檢測用構件 5、6之光感測器9、1 0。光感測器9、1 〇相當於本發明之檢 測裝置。 此外，在圖1，為了便於說明，將卡匣工作台設為1 個。又，在圖1，卡匣工作台2、基板運送機器人3以及卡 各自相當於圖14之卡匣工作台ιοί、基板運送機器人 以及卡。此外，機器人失具31c相幾 裔人夾具1 0 3 Α。卡匣4相當於本發明之基板運送容器，卡 臣工作台2相當於本發明之放置台。 ° 、、，t匣工作台2係將利用A G V搬來之卡匣4放置於基板運 运機裔人系統1，形成具有平面長方形形狀而且具有凹字 形截面之箱型。在本實施形態之卡匣工作台2，如後述所 採用依據控制基板運送機器人3之驅動之控制資料 正土板運送機器人3相對於卡匣4之基準位置之偏差量之

1225841 、發明說明（10) 構造，未設置以往之用以調整卡匣4之放置位置之夾緊機 構。 基板運送機器人3自放置於卡匣工作台2之卡匣4取出 以多段收藏於該卡匣4内之基板7後，運送至在卡匣工作台 2之反側所配設之省略圖示之處理裝置等處理裝置，反之 自處理裝置排出處理完了之基板7後，收藏於卡匣4。 如圖1所示’在使基板運送機器人3和卡匣4正對著卡 E4之狀態，設定以自基板運送機器人3往卡 方向、在水平面内和x方向正交之方向為γ方向之垂方；7方為向X 為Z方向以及繞Z軸轉動之方向為Θ方向之座標系時，基板 運送機器人3具備用以令運送基板7之機械手臂35、36在 xyz方向各自獨立的移動之χ方向驅動機構31、¥方向驅動 機構32、Z方向驅動機構33以及0方向驅動機構^。 3-J方ΓΓΪίΐ32具備底盤321 ’放置基板運送機器人 ί。上可沿著舖設於基板運送機器人系統1 之底面之導執8移動；及γ方向驅動部322 盤321之驅動源。 叹臧馬達專底 Z方向驅動機構33固定於底盤321之適當 驅動機構33具備角柱狀之支撐體331 ; z軸 二 ，内被支撐成可料；以及z方向驅動部在本支撑 達或油壓缸等構成之z軸升降。此外用以驅動馬 ^ 开啤此汗Z方向驅動部因設置 於支撐體331内之底部，在圖上看不見。 罝 Θ方向驅動機構34設置於z軸之前 構34具備長方形之主栲柘a古θ方向驅動機 焚乃办之支撐板，及0方向轉動驅動部，令該支

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撐板轉動。

X方向驅動機構31設置於仏方向驅動機構34之支撑 板。在本實施形態，為了提高基板7之運送效率，設^ 2 X方向驅動機構31，在其前端安裝2支機械手臂35、36。 方向驅動機構31具備連桿，將一對手臂31a、31b連結 轉動；及機器人夾具31c(相當於本發明之機械手臂^保 構件），設置於該連桿之前端。機器人夾具3丨c保持機 臂35(或36)。機械手臂35(或36)由一對細長板形之板構^ 構成，一端固定於該機器人夾具31c，使得自機器人炎且 31c在水平面内伸長。基板運送機器人3在將一對機 臂 35(或36)保持水平之狀態放置基板7，藉著在此狀態使機 械手臂35 (或36)轉動、升降、在Χγ平面内之移動等， 匣4和處理裝置之間運送基板7。 下 在上側之機器人夾具31c之上面按照既定之間隔4(參 照圖2)延設一對細長之板形之支撐構件37、“，在其前端 之下面設置例如反射型之光感測器9、丨〇。此外，在本實 施例，對光感測器9、10各自延設支撐構件37、38，但是 也可用一片長方形形狀之支撐板替代，在其前端之下面按 照既定之間隔d配置光感測器9、1 〇。

卡匣4形成長方體形狀之箱體，至少和基板運送機器 人3相向之侧面作為基板7之出入面而開口。在卡匣4内之 兩侧面突設用以將基板7收藏成例如2〇段等多段之多個支 樓構件（在圖上看不見）。基板7令兩端部和兩侧面之支撐 構件支#而收藏成多段。在卡£4之上面設置和在基板運

1225841 五、發明說明（12) 送機器人3所設置之光感測器9、j 而且令一邊沿著開口面的安裝手之間隔d相同之間隔， 位置檢測用構件5、6(以T稱為"檢形1狀或正#形形狀之 由令來自光感測器9、1 〇之光反射板5、6 )。檢測板5、6 高之樹脂板等材料構成。 、例如金屬板或反射率 此外，在以上之說明，關於— 詈赖，句RB上庙yf > 打九感測器9、1 〇之配 置後，δ兒明卡匣4之一對檢測板5、6 對檢測板5、6之間隔和一對光减$配置，說明成令- 但是總之只要在構造上一 f f9、10之間隔一致， 扒、目丨化c文隹偁以上對先感測器g、〗〇之間隔和一對 檢测板5、6之間隔相同即可，因而 τ 1 〇之間隔和一對檢測板5、6之間隔一致也可。 其次，說明本實施形能之其始、笛、、， 说、g、、，碰W , 小心之基板運迗機器人系統1之基 =運,t裔人3相對於卡£4之基準位置之偏差4之檢測方 >去/外’在將卡以放置於基準位置之情％，因偏差量 士致為〇，藉著確認所檢測之偏差量是否位於既定之誤差 摩巳圍内可確認是否將卡匣4放置於基準位置。 、因此，首先，說明基板運送機器人3將卡匣4放置於基 準位置之情況之確認方法。 圖2係卡匣4被設定於對於基板運送機器人3之卡匣之 基準位置之狀態之上視圖。此外，對於基板運送機器人 3 ’在表達上簡化機器人夾具3丨c和光感測器9、j 〇之邻 分。 將通過光感測器9、1 0之直線設為Υ軸，將通過光感測 器9、1 〇間之中心和γ軸正交之直線設為X軸，對於本座標 1225841 五、發明說明（13) ί f4之基準位置位於卡匣4之開口面内之y軸和γ軸平 仃而且相距既定之距離Dx之位置。… 神十 在圖2之狀態，邊令光感測器9 =向卡以之方向移動，令移至光感 ==5、6之中心Pa、Pb為止其來自測 =“反如相圖成3Γ %在圖3，在㈣Dx位置，檢測信號之 皁自L反相成Η，迫表不檢測到檢測板5、 部分（參照圖2之八，點、_。此外， 邊 <1 怨，在光感測器9、1 0之輸出上佶搵，仏，H,』c Λ 位準i Τ /5 i曰占ίτ /θ 3 „徇出上使仔在檢測板5、6檢測時 旱自L反相成Η，但疋Η反相成l的也可。 因此，自圖3所示之信號波形將位準反相位置嗖 =檢測板5、6,緣ErA點、β點之χ座標，都 點、β兩^ t ί ί得到之直線和7輛一致’ 1自所檢測到之Α 1 j之^座私在1方向確認卡匣4位於基準位置。具體而 5，在A點之X座標xa*B點之χ座標“之差八^ |Xa—xb 位於既定之誤差範圍内而變成大致為〇之情況，所以可在χ 方向，判斷卡匣4位於基準位置。 其次，如圖4 (a )所示，在令光感測器9、丨〇各自移至 2檢測板5、6之中心Pa、Pb為止之狀態，例如邊令光感 4态9、10動作邊令機器人夾具31c向丫軸之下方移動，令 移至光感測器9、1 〇至少超過檢測板5、6之下側邊緣Εχ之 位置為止時其來自光感測器9、10之檢測信號如圖4(b)所 示。在圖4 ( b )，在距離])y位置，檢測信號之位準自[反相 成Η，這表示檢測到檢測板5、6之邊緣Εχ之部分（參照圖

第20頁 1225841 五、發明說明（14) 4(a)之a點） 、因此，自圖4 (b)所示之信號波形將位準反相位置設為 檢測到檢測板5 (或6 )之邊緣Εχ之a點之γ座標時，因自中心 pa至a點為止之距離Dy為檢測板5 (或6)之邊緣以之長度[之 自所檢測之a點之γ座標在γ方向也可確認卡昆4位於 基準位置。具體而言，在a點之γ座標Ya位於既定之誤差範 圍内而變成Ya =L/2之情況，所以可在γ方向，判斷卡匣4 位於基準位置。 因此’檢測在基板運送機器人3之χγ座標系之A點、b f之座標Xa、Xb、a點之γ座標Ya後，自這些位置資料可判+ £4是否位於基準位置，在未位於基準位置之情況可 5十异在x方向、Y方向以及0方向之偏差量。 、 其次’說明在未位於基準位置之情況在X方向、γ方向 以及0方向之偏差量之計算方法。 圖5係卡匣被傾斜的設定於對於基板運送機器人之卡 E之基準位置之狀態之上視圖。此外，在圖2，係以在卡 &4之xy座標之原點〇為中心令卡匣4向左轉動角度0之狀 態。 在圖5之狀態，邊令光感測器9、1 〇動作邊令機器人夾 1 c白卡匿4之方向移動’令移至光感測器9、1 〇位於檢 測板5、6之中心Pa、Pb為止時之來自光感測器9、1 0之檢 /則^號如圖6所示，以實線表示之光感測器9之檢測信號之 位準反相位置（A點之X座標Xa)比Dx短，以虛線表示之光感 ’則器1 0之檢測信號之位準反相位置（B點之X座標Xb)比Dx

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1225841 五、發明說明（15) 長。如圖5所示，這係由於因卡匣4之傾斜而檢測板5之邊 緣Ey之檢測點A自基準位置靠近機器人夾具3 1 c側，檢測板 6之邊緣Ey之檢測點B自基準位置遠離機器人夾具31 c之、緣 故。 由圖5得知，卡匣4之傾斜角0係通過檢測板5之邊緣 Ey之檢測點A和檢測板6之邊緣Ey之檢測點B之直線，即y車由 和在機器人夾具3 1 c所設定之Y軸之偏差角，對於該偏差角 0 ，因tan0 = AX/d= |Xa—Xb |/d成立，可利用下式計算 偏差角<9 。 0=tan — 1 ( | X a 一 Xb |/d) 此外，在圖5，只是令卡匣4繞xy座標之原點〇轉動， 因在卡匣4傾斜之狀態在X方向未偏移，X方向之偏差量， 即與原點〇之在XY座標之原點位置之偏差量係〇。即，原 點〇之在XY座標之X座標由X〇 = (Xa — Xb)/2計算，在卡 傾斜之狀態在X方向未偏移之情況，X〇=(Xa 一 Xb)/2 = Dx(參照圖6之信號波形）。因此，在卡匣4傾斜之狀 態在X方向偏移之情況，藉著計算Δχ〇 = (Xa —Xb)/2 —

Dx ’得到與卡匣4之基準位置在χ方向之偏差量。 卡匣4在Y方向之偏差量之計算方法和在圖4所說明的 一樣，如圖7 ( a)所示，在令光感測器g、丨〇各自移至卡匣4 位於基準位置時之檢測板5、6之中心Pa、Pb之位置之情 况’卡匣4傾斜時’光感測器9、1 〇之位置和檢測板5、6之 中心Pa、Pb之位置不一致。因而，如圖7(b)所示，令機器 人夾具31c只轉動傾斜角0 ，將機器人夾具3ic之)（軸方向

第22頁 1225841 五、發明說明（16) 和卡H 4之X軸方向對準，令機考人才 ?圖5所示，在卡以在基== 二正斜對之著;：，，': 者修正機器人夾具31c之X轴方向，光感測器g、月」兄耩 就和檢測板5、6之中心Pa、Pb之位置』，位置

;態卜因而，然後，令機器人夹具= = J ，，利用光感測器9(或1())檢測到檢測板5(或6)= 邊緣Ex上之點a時’因a點之γ座標γ&變成 向與卡匿4之基準位置之偏差量Αγο變成〇。 在¥方 而，在卡E4傾斜之狀態在γ方向偏移之情況， 央具31c只轉動傾斜角θ，令機器人夾具仏正 4 ’如圖8(b)戶斤…感測器9、丨。之位置也和檢測：5卡匡6 中“Pa、Pb之位置不一致。此外，圖8(a)之以 之檢測板5顯示卡匣4位於基準位置時t i、、’ '、 檢測板5之位置。 +位置^對於光感測器9之 自本狀態，令機器人夾具3 1 c向γ + π + y感測士器9(或1〇)檢測到檢測板5(或6)之下側°之移邊動緣2 "之Π因自至a點為止之移動距離Dy計算之a點之γ座 fa 變成 Ya^L/2(在圖 8(b) Ya<L/2)，⑽方 位置之偏差量ΛΥΟ變成剔=(Ya—L/2)。因此， j卡⑽斜之謝Y方向偏移之情況，藉著計算剔 $ 7a—L/2)，得到與卡匿4之基準位置在Υ方向之之偏差 圖9係和基板運送機器人系統1之卡匿之位置偏差檢測 處理相關之方塊構造圖。

第23頁 1225841 五、發明說明（17) 、μ控制部11係集中控制基板運送機器人系統之動作的， ^微電腦為主要構成元件，控制部1 1具備圖上未示之各自 相連接之CPU、ROM、RAM以及輸出入界面等。 L制部11藉著執行ROM預先儲存之控制程式控制卡匣4 和處理裝置之間之基板之運送。又，在ROM儲存計算上述 =與卡匣4之基準位置之偏差量之計算程式，控制部11當 匣4被放置於卡匣工作台2時，執行該計算程式，計算與 匣4之基準位置之偏差量後，將該偏差量之資料儲 RAM 〇 X方向邊緣檢測部111〜γ方向偏差量計算部丨丨6係以功 能方塊顯示藉著控制部丨i執行計算與卡匿4之基準位置之 偏差量之計算程式完成之各功能。 X方向邊緣檢測部111係邊令光感測器9、丨〇動作邊令 機器人夾具31c向卡匠4侧移動，依據自光感測器9、1〇輸 出之檢測信號檢測檢測板5、6之邊緣Ey之功能方塊。X方 向邊緣檢測部1U係相當於本發明之檢測控制裝置的。 緣間距離計算部112係計算上述之檢測板5、6之邊緣以上 之檢測點A、B彼此在X方向之距離差Λχ之功能方塊。X方 向偏差量計算部113係自距離差^乂計算與卡歴4在义方向之 基準位置之偏差量ΔΧ 0。之功能方塊。0方向偏差量計算 部114係自ΛΧ和光感測器9、1〇間之距離d計算匿 Θ方向之基準位置之偏差角Θ之功能方塊。邊緣 算部112。〜Θ方向偏差量計算部114係相當於本發緣明1 之計離算十 裝置的

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Y方，邊緣檢測部115係令光感測器9、1Q各 匿4位於基準一位置時之檢測板5、6之中心pa ,後，依= Θ方向偏差量計算部114所計算之偏 & 器人3之方向修正成正對著卡£4之方向運-機 測器9」〇動作邊令機器人夾具……方向移動，依據先自感 光感，夯9、1 〇輸出之檢測信號檢測檢測板5、6之邊緣k 之功能方塊。Υ方向邊緣檢測部11 5係相當於本發明之姿勢 修正裝置和第二檢測控制裝置的。

Υ方向偏差計算部11 6係自至檢測檢測板5、6之邊緣Εχ 之部分為止之光感測器9、丨〇之移動距離Dx計算與卡匣4在 Y方向之基準位置之偏差量ΛΥ〇之功能方塊。γ方向偏差 計算部11 6相當於本發明之第二計算裝置。 機器人控制部1 2控制基板運送機器人3，以微電腦為 主要構成元件。機器人控制部丨2也具備圖上未示之各自相 連接之CPU、ROM、RAM以及輸出入界面等。機器人控制部 1 2依照來自控制部11之控制信號控制基板運送機器人3之 驅動。 機器人控制部1 2依照在ROM預先儲存之驅動控制程式 控制基板運送機器人3之驅動。X1 2 1〜<9方向驅動控制部 1 24係以功能方塊顯示藉著機器人控制部1 2執行驅動控制 程式完成之各功能。X方向驅動控制部1 2 1〜1 2 4係各自係控 制上述之X方向驅動機構31〜0方向驅動機構34之驅動之功 能方塊。 感測器1 3輸出卡匣4之檢測板5、6之檢測信號，係相

第25頁 1225841 、發明說明（19) 菖於光感測器9、1 〇的。感測器；I 3之動作受到控制部1;[控 制’感測器1 3之檢測信號輸入控制部1丨。在控制部1丨設置 AD變換功能，將感測器丨3之檢測信號變換為數位信號後， 暫時儲存於控制部；Π内之RAM。 ^ 其次’按照圖1 0所示之流程圖說明在基板運送機器人 系統之與卡匣之基準位置之偏差量檢測處理。圖丨〇所示之 位置偏差；ϊ檢測處理係卡匣4被放置於卡匣工作台2時執行 之處理。 首先，驅動Y方向驅動機構32，將基板運送機器人3移 施Ε4相向之既定之位置（si)。接著，驅動2方向驅動 既—二機器人夾具31c上升至既定之高度（S2)。在此， a 度係當光感測器9、1 0移向卡匣4側時為了可檢測 、6，光感測器9、1〇成為與卡以之上面 之距離之上側之高度。 31，3 ::邊令光感測器9、10動作，驅動X方向驅動機構 c Α Λ失具31c向卡£4側移動（S3)。機器人夹具 測器9、10輸出之"勒為主止（S3〜S5) ’在此期間將自光感 此在步驟S3 S5之;f ^時儲存於控制部11内之議（S4)。 m ^ ^ ^ r- A 处里係相當於使光感測器9、1 〇在χ軸上 之檢:|]板5、6之中心pa、pb為止輸出檢測板 b b之邊緣Ey之檢測信號之處理。 光感測器9、1 0夕捃知4 RAM所儲存之光感測 Y動作完了時（S5 : YES)，使用在 " 1 0之檢測信號之資料計算檢測板

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5、6之邊緣Ey之檢測點A、B之X座標Xa、Xb(S6)，再使用 這些X座標Xa、Xb和光感測器9、10間之距離4計算卡在 X方向之偏差量/^〇[=(乂&-乂1))/2—〇乂]和0方向之偏差 角<9[tan—1( |Xa—Xb |/d)]後，各自暫時儲存於 RAM(S7 、 S8)。 ' 接著’藉著依照所什算之0方向之偏差角0驅動Θ方 向驅動機構34，將基板運送機器人3之方向修正為和和卡 匣4正對之方向（S9)，然後，邊令光感測器9、1〇動作，邊 驅動Y方向驅動機構32 ’將機器人夾具31c向卡厘4之右方 向（光感測器9、1 0穿過檢測板5、6之邊緣Ex之方向）只移 動既定量（S10〜S12)。在此，既定量係光感測器9、1〇足以 越過檢測板5、6之邊緣Ex之量。此外，令機器人夾具31c 向卡1£4之左方向（光感測器9、1〇穿過檢測板5、6之和邊 緣E X相反之邊緣之方向）移動也可。 機器人夾具3 1 c自卡匣4位於基準位置時之檢測板5、6 之中心P a、P b移至越過檢測板5、6之邊緣E X之既定位置為 止（S1 0〜S1 2 )，在此期間將自光感測器9 ( 1 〇 )輸出之信號暫 時儲存於控制部11内之RAM(Sll)。本步驟S10〜S12之處理 係相當於使光感測器9 (或1 〇 )自檢測板5、6之中心Pa、Pb 掃描至越過邊緣Ex之既定之位置為止，輸出檢測板5、6之 邊緣Ex之檢測信號之處理。 光感測器9 (或1 0 )之掃描動作完了時（s 1 2 : YES )，使 用R A Μ所儲存之光感測器9 (或1 〇 )之檢測信號之資料計算檢 測板5(或6)之邊緣Ex之檢測點a之γ座標Ya(si3)後，使用

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f Y座標Ya和檢測板之邊 偏差量ΔΥ〇|>Ya -L/21，二此士升下万向之 量之計算處理完了（S14)。暫時料於RAM，位置偏差 3使：丄：L算Ψ之位产偏差量用作利用基板運送機器人 ΛΛΪ 時之機械手臂35、％之驅動控制值 之修正值。因而，因控制部 值 板運送機器人3之狀態令驅動 ^ + 114正對著基 之驅動控制，卡⑽正】n f':36之情況-樣 置，也可適當的進行基板 ==卡…台2之基準位 續1在如機上-述人所:呈”因使传本實施形態之基板運送機器人系 具31c_既定之間隔d設置感 9、10，將卡匣4放覺於+ i 9、1〇檢測在該卡E4之上面以1: V用這些光感測器 i/v ? χ r 卜 心上面以既定之間隔d所設置之一對 檢測板5、6之邊緣Ey 、Ex夕a m从 々々Λ上广X Υ 之位置後，使用該位置資料計 =—之土_準位置在χ方向、γ方向以及θ方向之偏差 罝’耩者使用這些偏差量控制基板運送機器人3之驅動， 可自5亥卡Ε 4運送基板7，+必如以往般在卡g工作台2上 將卡匣4調整至基準位置。 因此，不必如以往般在卡匣工作台2設置卡匣4之位置 ，整用之夾緊機構，基板運送機器人系統丨之構造變得簡 單，有助於降低費用。又，也減少基板運送機器人系統工 之裝配或維修檢查所需之勞力。 此外，該實施形態，和一對檢測板5、6對應的設置一 對光感測器，但是在檢測檢測板5、6之邊緣Ey 、Ex之位

1225841 五 、發明說明（22) 、，之感測器上光感測器係1個也可。在此情況，因需要使 、光感測器掃描2次，分別檢測邊緣^^之位置，位置偏差檢 ’則處理之時間變長，但是具有光感測器構件減少之效果。 又’在該實施形態，在檢測板5、6之邊緣Ey 、Ex之 欢，感測器上使用反射型之光感測器，但是檢測感測器未 =定如此’例如係透射型之光感測器也可，使用電容感測 的或磁性感測器等別的非接觸感測器也可。 又’如上述所示，因在位置偏差量之計算只要有檢測 f、、6之邊緣Ey 、Ex之位置資料即可，檢測板5、6未限 ^為長方形或正方形之形狀。只要具有邊緣心、ex的， =採用扇形等任意之形狀。又，在該實施形態，採用將檢 鏠T?反 6黏在卡匣4之上面之構造，但是只要係可檢測邊 ^ y 、Ex的，將於檢測板5、6之記號畫在卡匣4之上面也 可。 又’因感測器1 3之邊緣Ey 、Ex上之檢測點A、B、a按 π人卡匣4之基準位置之偏差量而邊 =設為包含對於與卡Ε4之基準位置之偏差量之最大長值度 之檢測點A、Β、a之長度即可。 測柘:匕、夕i ’在？實施形態’在卡匣4設置2個形狀相同之檢 "，但是因設置2個檢測板之目的係為了自檢測板5 =:和檢測板6之邊緣Εχ檢測2點之位 戈ΓΛ檢測板5、6置換為包含兩檢測板 : = 了兩檢測板5、6之1個檢測板也可… 在位置檢測用構件上係1個也可。在此情況，因不需^將

1225841 五、發明說明（23) 檢測板設為2個之情況之檢測板間之安裝位置之調整等， 檢測板對卡匣4之配設變得容易。又，不必令檢測板之邊· · 緣E y和卡匣4之基板送出送入用之開口面一致，只要包含 邊緣Ey之直線和開口面平行即可。 - 又’在該實施形悲，在卡4之上面設置位置檢測用 構件5、6，但是因卡匣工作台2之上面形成凹槽，採用在 卡匣4之下面設置位置檢測用構件5、6，使感測器1 3掃描 卡匣工作台2之凹槽部分，在卡匣4之下面側檢測位置檢測 用構件5、6之構造也可。 又’在該實施形態，在與卡匣4之基準位置之偏差量 + 上對於X方向、γ方向以及0方向之全部之方向檢測，但是 係至少檢測Θ方向之偏差量的也可。這是由於在與卡匣4 偏離基準位置之問題點上，基板運送機器人3使卡匣4内之 基板7出入/寺，因卡匣4自基準位置傾斜，基板7碰觸基板7 之側面而受損，只要至少可消除此問題的，可避免大的受 害之緣故。 又’遠貫施形態，係實質上使用通過在卡匣4之上面 所檢測之A點和B點夕古& ^ t u ^ 曰认 點之直線計鼻與卡匣4之基準位置之偏差 —士他之偏差ϊ之計算方法上可採用圖11所示处 圖11所示之方、、1 7么丄 成2個突起41、42 ^ 卡S4之開口面以既定之間則形 機器人3S置檢^ 起構件41、42，並在基板運送 此外，在外裝突走二卡E4之距離之距離量測感測器14的。 义構件4 1、42之情況，使用按照既定之間

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=形成犬起41、4 2之1個構件即可。距離量測感測器丨4相 备於本發明之距離量測裝置。 ^圖11所示之卡匣之位置偏差量之檢測方法，也在卡匣 4设置用以檢測位置不同之2點之位置檢測用構件，用在基 板運送機器人3所設置之感測器檢測2點，而且計算在基板 運^機器人3之Η座標系之2點之位置座標後，自這些位置 座標計算卡匣4之位置偏差量上，依照和上述之實施形態 之卡E之位置偏差量之檢測方法基本上共通之技術思想。 〇 在本實施形態，例如在圖11，邊令基板運送機器人3 自左向右移動邊利用距離量測感測器丨4檢測至卡匣4之形 成了突起41、42之面為止之距離時，因自距離量測感測器 1 4輸出圖1 2之以貫線表示之檢測信號，藉著自該檢測波形 計算突起41、42之頂點PI、P2之距離差Axpu方向之距離 差）-|Xpl—Xp2 | ，自該距離差ΑΧρ和頂點pi、p2之間之 距離d依據與卡以之基準位置之θ方向之偏』角 1 ( ΔΧρ/d)之式子計算。 又，在圖1 2，以虛線表示之波形係在卡匣4被設於基 準位置之情況之來自距離量測感測器丨4之輸出波形，但是 在此情況，因至頂點PI、P2為止之距離都變成既定之值 Xp(卡匣4位於基準位置之情況之距離，相當於圖2之“）， 藉著自至P1為止之距離Xpl和至P2為止之距離χρ2之Αχ〇 = (Xpl — Χρ2)及既定之值Χρ 計算 Λχ 0 = (Χρι _Χρ2)/2 _ Χρ，計算卡匣4在X方向之偏差量ΔΧ 〇。 又’在圖1 2，例如藉著計算卡匣4位於基準位置之情

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五、發明說明（25) 況之頂點P1在Y方向之位置資料Ypl和卡匣4偏離基準位置 之情況之頂點P1在Y方向之位置資料γρ1，之距離差△ Ypl^Ypl — Ypl’ ，計算在γ方向之偏差量ΛΥ〇=AYpl。此 外，使用頂點P2在Y方向之位置資料計算在γ方向之偏差量 △ Y〇=ΔΥρ2也可。 發明之效果 如以上之說明所示 保持構件設置檢測裝置 口之面平行之第一邊緣 置檢測用構件之基板運 運送容器側驅動機械手 置檢測用構件之第一邊 緣上只間隔既定之距離 送谷器與在放置台之基 1 ’再令檢測裝置移至 …、y方向之偏差量修正 向驅動機械手臂，令檢 ，件之第二邊緣，使用 七號計算基板運送容器 ，差量，不需要如以往 裔之彳立置調整到基準位 =簡單，而且基板運送 需要調整位置調整機構 ，若依據本發明，因在機械手臂之 ’將配設了具有和包含該基板出入 及與第一邊緣正交之第二邊緣之位 送容器放置於該放置台時，向基板 臂，令檢測裝置掃描，使得穿過位 緣’使用自檢測裝置輪出筮— 之2個點之檢測信號計算該基板運 準位置之X方向或沒方向之偏差 位置檢測用構件之既定之位置，依 基板運送機器人之姿勢後，在γ方 測裝置掃描’使得穿過位置檢測用 自檢測裝置輸出之第二邊緣之檢測 與在放置台之基準位置之γ方向之 般在放置台設置用以將基板運送容 置^機械式位置調整機構，構造變 機器人系統之裝配時或維修時也不 ，可減少維修管理之勞力或費用。

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測裝設置檢測邊緣之… ^ ^ , 0 ,- 配°又了在和包含基板出入口之面平 4丁之方向只相隔既宏夕q # 〇 ^ 4p . ^ , 疋之距離並向基板運送機器人側突出之 Z個哭起之基板運读交哭％ ro ^ . . L ^合裔後’用距離量測裝置令量測至2個 犬起為止之距離，佶用士此旦 —抑 便用s些里測距離之資料計算基板運送 各态與在放置台之基準位晉夕γ ν _ ^ 八 +仅置之X方向、Υ方向以及/9方向之 .、又，因依照所計算之與基準位置之偏差量修正基板運 送機益人進订基板之出入所需之驅動控制值，未將基板運 送容器正確的放置於放置台之基準位置也可適當的進行基 板之出入。 偏差量之至少-個’可得到和上述—樣之效果。

又，因基板運送容器採用在容器本體之既定之位置配 設具有和包含基板出入口之面平行之第一邊緣及與第一邊 緣正交之第二邊緣之位置檢測用構件之構造或者配設在和 包含基板出入口之面平行之方向只相距既定之距離之2個 突起之構造，能以簡單之構造且低費用實現可應用於本發 明之基板運送機器人系統之基板運送容器。

1225841 圖式簡單說明 五、【圖式簡單說明】 圖1係本發明之基板運送機器人系統之一實施形態之 主要部分之立體圖。 圖2係該卡匣被設定在對於基板運送機器人之卡E 準位置之狀態之上視圖。 ^ 圖3係顯示在圖2之狀態令光感測器向卡匣之方向移 時自該光感測器輸出之信號之波形圖。 動 圖4(a)係顯示將光感測器設於檢測板之中心之狀熊 圖，（b)係自（a)之狀態令光感測器移向下方向移動护 光感測器輸出之信號之波形圖。 可目该 圖5係在對於基板運送機器人之卡E之基準位 的設定了卡匣之狀態之上視圖。 斜 ,6係顯示在圖5之狀態令光感測器向卡g侧 違光感測器輸出之信號之波形圖。 等自 圖2係顯示在卡£傾斜之狀態令光感測器向板 且而之狀態圖，（b)係自（a)之狀態令轉動機器人夾 具而令和卡匣正對之狀態圖。 人又 圖8(a)係顯示在卡匣傾斜而且在γ 器移至檢測板之中心時之光感測器 Jt: ^係⑻係'自(a)之狀態按照傾斜角♦轉 = 八％之光感測器和板中心之位置關係圖。 η人夾 圖9係和本發明之基板運送機器人 偏差檢測處理相關之方塊構造圖。 、、 位置 圖10係顯示基板運送機器人系統之卡g之位置偏差檢

in

第34頁 1225841 圖式簡單說明 測處理之流程圖。 圖11係用以說明檢測卡匣之位置偏差量之別的實施形 ^ 態之圖。 圖1 2係顯示自距離量測感測器輸出之信號波形圖。 ^ 圖1 3係用以說明在半導體基板或液晶基板等之製程之 製程間之基板之運送方法之圖。 圖1 4係顯示在以往之基板運送機器人系統之卡匣工作 台之卡匣位置調整機構之主要部分之立體圖。 元件符號說明 ❹ 1 一 ◊基 板 運 送 機 器 人系統 2〜卡 匣 工 作 台 (放置台） 3 - ‘基 板 運 送 機 器 人 31 〜X 方 向 驅 動 機 構 32 〜Y 方 向 驅 動 機 構 33 〜Z 方 向 驅 動 機 構 3 4〜6»方向驅動機構 3 5、3 6〜機械手臂 4〜卡匣 4 1、42〜突起 5、6〜位置檢測用構件 7〜基板 8〜導軌 9、1 0〜光感測器（檢測裝置）

第35頁 1225841 圖式簡單說明 11〜控制部 111〜X方向邊緣檢測部（檢測控制裝置） 11 2〜邊緣間距離計算部（計算裝置） 11 3〜X方向偏差量計算部（計算裝置） 114〜0方向偏差量計算部（計算裝置） 11 5〜邊緣檢測部（姿勢修正裝置、第二檢測控制裝置） 11 6〜偏差量計算部（計算裝置） 1 2〜控制部 1 2 1〜驅動控制部 1 2 2〜驅動控制部 1 2 3〜驅動控制部 1 2 4〜驅動控制部 1 3〜感測器（檢測裝置） 1 4〜量測感測器（距離量測裝置）

第36頁

Claims (1)

1225841 六、申請專利範圍 人，1 包=機器人系統’設有：基板運送機器 直之ζ袖方向水各平自^彼此正交之χγ轴方向和舆ΧΥ轴方向垂 袖方向各自可位移而且可繞Ζ軸 置台’將至少在一側面具有基板出入县二：臂：及 基板運送容器，放置成使包含該基板之長^形狀之 進行在；=軸Λ致平行；朝χ方向驅動該機械手臂，而 其特；為ί:運达谷器被收藏成多段之基板之送出送入， 檢測裝置，設於該機械 μ :邊緣之被檢測物之該= 藉二穿過具 緣之檢測信號； 方式輸出该邊 才双測控制裝置’於將配設且 之面平行之第一邊緣及與第 ^ 口己含該基板出入口 檢測用構件之基㈣器放於^第二邊緣之位置 驅動該機械手臂，令嗲产 ^ 置台時，在X方向 第—邊緣而進行掃描了】/、政置穿過該位置檢測用構件.之 吕十异裝置，使用藉著該拾 輸出之該第一邊緣上間ρ ，、裝置之知描自該檢测裝置 號，計算該基板運送容；自；J :離之2個點之檢測信 向或Θ方向之偏差量。 亥放置台上之基準位置沿X方 2·如申請專利範圍第 中，該計算裝置依昭基板運送機器人系統’其 分別計算該2個點在該^板—軍邊緣上之2個點之檢測信號， 之位置資料後，依照二=機器人之XY座標系之X方向 λ方向之位置資料和2點間之距離 第37頁 1225841 六、申請專利範圍 資料計算該 向或0方向 3 ·如申 其中，更具 姿勢修 該檢測裝置 該Θ方向之 基板運送機 行； 第二檢 勢之狀態， 該位置檢測 第二計 裝置輸出之 自該放置台 4 ·如申 中’該第二 別計算該點 置資料後， 自該放置A 口 5 ·如申 其中’該檢 保持構件相 同時撿測該

第38頁 I板運送容器自該放署a 之偏差量。 上之基準位置沿X方 J專利範圍第⑷項之基板運送機器人系統， 5 於計算出該θ方向之偏差量後，即令 置檢測用構件之既定之位置 修正該基板運送機器人之㈣，使得該 °之γ軸和該位置檢測用構件之第—邊緣平 L控制裝置，在修正過該基板運送機器人之姿 用°構件？1動該機械手臂，令該檢測裝置穿過 »冓件之第一邊緣而進行掃描；及 置喜使用藉著該檢測裝置之掃描自該檢測 Μ第一邊緣之檢測信號，計算該基板運送容 之基準位置沿γ方向之偏差量。 η ，，利範圍第3項之基板運送機器人系統，其 α十算裝置依照該第二邊緣上之點之檢測信號分 在該基板運送機器人之ΧΥ座標系之γ方向之位^ 依照該Υ方向之位置資料計算該基板運送容器 上之基準位置沿γ方向之偏差量。 ° 睛專利範圍第1或2項之基板運送機器人系統， /則裝置係由設成平行於γ軸且和該機械手臂的 隔該既定之距離的一對感測器所構成，俾得以 位置檢測用構件之第一邊緣上之2個點。 1225841 六、申請專利範圍 __ 6·如申請專利範圍第5項之基板運送機即 中，該感測器係光感測器。 成'裔人糸統，其 人人系統’設有：基板運送機器 U S长水十面内彼此正交χγ軸 〜佩裔 直顺向各自可位移而/可繞z = 軸方向垂 =置台’將至少在一側面具有基板出入長‘：臂，及 J板運f容器’放置成使包含該基板出入：：：體：狀之 送機器人之γ軸大致平行；朝χ方向驅 ：：基板 :行在該基板運送容器被收藏成多d，’而 其特徵為具備·· 丞板之运出送入， 距離量測裝置，設於該機械手臂之 測至被檢測物為止之距離； 呆持構件，用以量 置測控制裝置，在該放置台放置 板出入口之面平行之方向相隔既定之距離該基 ，器人側突出之2個突起之基板運送容器後送 篁測裝置量測至該2個突起為止之距離；及 u 置’藉由利用該距離量測裝置所量測之至2個 大I為止之距離，計算該基板運送容器自該放置台上之美 準位置沿X方向、γ方向以及0方向之偏差量之至=一個土 8甘=申請專利範圍第1、2或？項之基板運送機器人系 、·先，其中，更具備修正裝置，依照所計算之偏差量修正該 基板運送機械手臂進行基板送出送入所需之驅動控制值。 9, 一種基板運送容器，應用於如申請專利範圍第卜6 項中任一項之基板運送機器人系統，其特徵為在容器本體 1225841

位置配設具有和包含基板出入口之面平行之第 位窨：°申Λ專利範圍第9項之基板運送容器，】ί，， 位=用構件係由各自包含利用該檢測 測：二 一邊緣上之2個點之一對構件所構成。 】之δ亥第 11. 一種基板運送容器，應用於如申 8項中任一項之基板運送機器人系統，其乾圍第7或 體之既定之位置配設在和包含基板出入口 * '在各器本 相距既定之距離之2個突起。 面平行之方向

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