TW536514B - Interbay transportation system and method of interbay transportation - Google Patents

Description

J J 丄—Γ 五、發明說明（1) [發明之領域] 本發明有關於製程間輪 製程輸送到下—個製程，特別統，在工廠中將半製品從前 中在各個製程具備有保管棚1有關於製程間輸送系統，其 之等待處理和等待搬出到 睹存器），用來保管在製程; 半製品之卡容器）從前1製程之半製品，將收納有 之保管棚。 i之保管棚輸送到下一個製程 [發明之背景] 衣王 半導體記憶體或微處 200〜300mm程度之半導體f =+ V體製品之製造是在直徑 之電晶體或電容器等之元：製作多個微細而且精緻 製品之後，分別以樹脂等宓八:，在將其分割成為各個 在半導體晶圓上之元件或配:剎後之各個製品。因此， 造極為重要，利用多種多:形成，對半導體製品之製 在該箄之夂彻制 夕樣和多個製程進行掣4 ^ ^ ^ ^ 11# it ^ Τ - ^ ^ 使用製程間輪送系統。 处里衣置，所以需要 下面使用圖1用來說明製 -般是在半導體製品之製=廠达糸二… 裝置。在圖各個基座内分別配置數台之處理 〜基座6)，在各"個其广清潔室内設置6個之基座（基座1 如，在基座1具備有V"理刀壯別署具備有3〜4台之處理裝置（例 、備有處理裝置1 1、1 2、1 3 )。 A:\91112088.ptd _ 第4頁 五、發明說明（2) 為著進行基座間之輸送，亦即製程間輸送，所以且 〇Μ(〇να Head Shuttle)8 c〇HS8由被設置成在各個基座 循環之方式之行走軌道和在行走執道上之〇HS台車8〇 成。半導體晶圓以多片（例如2 5片）被收納在】個之卡 器），被裝載在0HS台車80，| 一個基座輸送到另外—個基 =。另外，在0HS台車80通常可以裝載多個（例如2個）之卡 為接受來自0HS台車之欲在基座内處理之卡£( 體曰 f)，和將處理過之卡E讓渡給〇HS台車，所以在各； 具備有保管棚（以下稱為儲存器）。在圖丨之實例中， 個基座1〜基座6分別具備有儲存器1〇〜儲存器⑽。 下面使用圖2用來說明實際之製程間輸送。 △:以？理=〗處理之卡&(半導體晶圓)被裝載細 口車，輸运到基座1 ，然德姑盼交六甘+， 仏丄 之兹Si 1 η Μ / Α广Ί 、被收合在基座1之儲存器1 〇 (圖2 之則頭101)。在基座i内具備有製程内輸送系統， 器10取出該卡匡，將其供給到處理裝川（圖 。當利用處理裝完成處理之後，製程内輸送*** 使處理過之卡匣回到儲存器1〇(圖2之箭頭1〇3)。 . 然後，將處理過之卡E輸送到下一個製程。在 理裝置53進行下一個製程之處理。0HS8將處理過之卡昆ς 达到基座5，將其收納在基座5之儲存器5()(圖2之 1 104)。基座5之製程内輸送系統從儲存器5〇中 匕==:裝置53(圖2之箭頭105)。當利用處理 衣置53兀成處理之後’製程内輸送系統使處理過之卡匣回

A:\9ll]2088.ptd 第5頁 536514 - ,_ 五、發明說明（3) 到儲存器50(圖2之箭頭1〇6)。 _ 〇^8攸儲存器5 〇搬出該處理過之卡匣，將其輸送到下一 行ΐιί(之Λ存器20(圖2之箭頭107)。以後同樣的，重複進 半導體製品^/造圓。）之輸送和處理裝置之處理，藉以進行 二利用處… 卡匿輸送到下―個繁尸^二1〇)，同時發出要求，要求將該 在行走軌道上巡迴Γ =歹如儲存器50)。然後，〇HS台車 其輸送到儲存器5〇。向儲存器10移動，接受該卡匣，將 7這時，欲利用基座5内之 很多個，或是由於基座5 衣置進行處理之卡匣變成 儲存器50變成被塞滿之 处理裝置之故障，在基座5之 厘部份變空時，就立2儲存器50發生有！個卡 因此，由於發生不急之健存器10輪出到儲存器50。 產生0hs台車之裝冑能力W#因田而妨礙高度至急之輸送， 之降低為其問題。 b 之事件，造成輸送效率 另外，如上面所述之方 之卡11，但是為每一個卡二0Hs/車可以同時輸送多個 於時序良好之第2個卡出輸送之要求。因此，只限 只輸送】個之卡匣，仍然使：理S成時，才變成OHS台車 問題，當等待第2個卡 ^ $效率降低。為著避免此種 時，因為不能快速的獲得：「理完成發出輪送要求之情況 裝置會產生等待時間;" ，所以在下一個製程之處理 ㈢w成處理裝置之工作效率之降低 :\91I]2088.ptd $ 6頁 536514 五、發明說明（4) 為其問題。 [發明之概要] 用以解決上述問題之本發明之製程間輸送系統，具有： 基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；和台車， 巡迴該等保管棚，用來將半製品從保管棚輸送到另一保管 棚；其特徵是：根據處理裝置之動作狀況和保管棚内之半 製品之數目，用來決定輸送時期。 另外，本發明之製程間輸送系統，具有：基座，具備處 理裝置；保管棚，設在各個基座；和台車，巡迴該等保管 棚，用來將半製品從保管棚輸送到另一保管棚；其特徵 是：更具有半製品之暫時退避用保管棚。 另外，本發明之製程間輸送方法在製程間輸送系統中， 具有：基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；和 台車，可以裝載多個半製品；利用該台車用來將半製品從 前製程之處理裝置所屬之基座之保管棚，輸送到下一個製 程之處理裝置所屬之基座之保管棚；其特徵是：使下一個 製程之處理裝置之至處理完成之時間和保管棚間之輸送時 間進行比較，等待利用該台車之輸送，直至前述處理完成 之時間變成等於保管棚間之輸送時間，在該等待期間完成 前製程之處理，將聚集在前製程之保管棚之半製品，一起 輸送到下一個製程之保管棚。 另外，本發明之製程間輸送方法在製程間輸送系統中， 具有：基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；和 台車，可以裝載多個半製品；利用該台車用來將半製品從

A:\91112088.ptd 第7頁 536514 五、發明說明（5) 前製程之處理裝置所屬之基座之保管棚，輸送到下一個製 程之處理裝置所屬之基座之保管棚；其特徵是：當檢測到 下一個製程之處理裝置不進行動作之情況時，將前製程之 完成處理之半製品只一次的從前製程之保管棚輸送到下一 個製程之保管棚，以下之半製品留置在前製程之保管棚。 另外，本發明之製程間輸送方法在製程間輸送系統中， 具有：基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；台 車，可以裝載多個半製品；和半製品暫時退避用之保管 棚；利用該台車用來將半製品從前製程之處理裝置所屬之 基座之保管棚，輸送到下一個製程之處理裝置所屬之基座 之保管棚；其特徵是：在下一個製程之處理裝置未動作之 情況時，或下一個製程之保管棚已充滿之情況時，檢測該 等情況，使輸送到下一個製程之保管棚之半製品，暫時退 避到上述之暫時退避用保管棚。 另外，本發明之製程間輸送方法在製程間輸送系統中， 具有：基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；台 車，可以裝載多個半製品；和半製品之暫時退避用之保管 棚；利用該台車用來將半製品從前製程之處理裝置所屬之 基座之保管棚，輸送到下一個製程之處理裝置所屬之基座 之保管棚；其特徵是：當下一個製程之保管棚内之半製品 之數目超過指定數目之情況時，就使下一個製程之保管棚 内之半製品之數目成為小於指定數所需之時間，和經由暫 時退避用之保管棚之情況與直接輸送到下一個製程之保管 棚之情況之輸送時間差進行比較，在下一個製程之保管棚

C:\2D-CODE\91-08\91112088.ptd 第8頁 536514 五、發明說明（6) 内之半製品之數目成為小於指定數所需之時間較長之情況 時，就將半製品輸送到暫時退避用之保管棚。 依照本發明時，不會產生因為不能獲得卡匣而使處理裝 置等待之狀態，可以使卡匣儘可能的在前製程之儲存器内 等待，經由一起輸送在等待時間中聚集之卡匣，可以用來 提高輸送效率。 另外，依照本發明時，因為等待輸送到下一個製程之卡 匣不會滯留在OHS台車上或前製程，所以可以有效的活用 OHS台車藉以提高輸送效率，不會妨礙前製程之儲存器之 搬入·搬出作業。 另外，依照本發明時，下一個製程之儲存器不會被處理 裝置之等待動作之卡匣塞滿，不會妨礙利用相同儲存器之 卡匣之供給到其他之處理裝置。另外，在下一個製程之儲 存器因為經常確保有1個卡匣，所以在處理裝置之開始動 作後，可以快速的供給卡匣。另外，因為儘量的不利用經 由暫時退避儲存器之冗長路徑，所以可以進行輸送效率之 提向。 另外，依照本發明時，因為可以從前製程之儲存器直接 輸送到下一個製程之儲存器，和經由暫時退避儲存器輸 送，所以可以選擇最佳之輸送路徑。 上述之本發明之特徵和效果，以及其他之特徵和效果， 利用以下之說明和附圖當可更加明白。 [詳細說明] 下面將參照圖面用來說明本發明之實施形態。

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五、發明說明（7) 形態1 下面使用圖1〜圖4用來說明本發明之一實施形態。 如圖1所示，本實施形態之製程間輸送系統之構成包含 基座1 6 ’配置有處理裝置，各個基座所具備之儲存 tml〇〜60 ’和’用來使該等儲存器進行巡迴。通常 °HS8具備有多個之〇HS台車8〇，用來裝載收納有半導體晶 圓之卡g，藉以進行儲存器間之輸送。另外，製程間輪曰曰 糸統具備有主電腦用來控制系統之動作。 如圖3所示，在主電腦1〇〇連接有〇HS控制器18〇，儲 控制器uo和處理裝置控制器120。〇HS控制器18〇用來控： ^台車80之行走。儲存器控制器11〇分別被設在各個： =，用來控制搬入或搬出之儲存器動作，將搬入 ，，儲存器'搬出之卡£(半導體晶圓資訊傳達到= 。处理裝置控制器1 2〇分別被設在各個處用向 =處理裝置之㈣·非動作或處理之狀況= 達到主電腦1 〇 〇。 …、而要傳 。。主電腦100依照來自該等儲存器控制器和處理 益之資訊，可以確認各個卡£之所在和處理之狀^置控制 H ί將各個卡E之預定之步驟流程（處理之步m因 二個J ; Ϊ置’經由_控制器控制_台車可=到那 =到=儲存器。另外，亦可以將 ：：卡£ =:二或表面之凹凸等記錄在各個卡昆 ^條碼或 將卡e之下-個之輸送對象之信息傳達到 p讀取，

C:\2D-CODE\91-08\91112088.ptd 第10頁 536514 ——.—^ 五、發明說明（8) — 下面將參照圖4 輪送系統之動作。：1程圖用來:兒明本實施形態之製程間 (卡在圖2所示另牛外’在此處所說明者是半導體晶圓 理，然後以處理丁裝之置步5二’理亦即在/先主以處理裝置U處 U輸送到儲存器5〇，= 種情況，卡匣從儲存器 為From儲存器（出發斤 说明中，儲存器1〇亦稱 (目的地儲存器）。存）4存器50亦稱為To儲存器 首先’在處理裝置〗 卡匣返回之資訊從 =^ 匣回到儲存器1 〇。使 10〇。接受到資訊之主電;:器控制器傳達到主電腦 控制器12。有關於下：，詢問處理裝置 ::，外，處理裝置控制器= 理裝置53之動作.非 _/了以預先傳達有關於處 在處理裝置53不動作之情二'：f其記憶在主電腦。 留在儲存器5〇内，成 ^咅:17使輸送該卡匣亦只滯 存器（儲存器i 0 )内等待& ‘⑻所以使該卡E在Fr〇m儲 另外一方面，在處理梦 100確認在處理裝置53之現―仃動作之情況時，主電腦 成（步驟S〗03)。 只仃中之處理作業在何時完 然後，主電腦1 〇 0推鼢 ，要之時間tv ’使其與“驟，器5〇之輪送所 處理完成之時間1進行比較了之處理裝置53之至 10到儲存器50之輸送所兩 士 )。另外，從儲存器 儲存器5 0之移動時間外 :間Ττ，除了從儲存器1 〇到 亦包含從儲存器10之搬出和裝載 ----—----- 第11頁 C: \2D-CODE\93-〇8\9J112088.ptd 536514 五、發明說明（9) _ 到OHS 口車8 0，以及在儲存 和搬 時間。另外，妳ώΠΗΡ “ η邊存為50之 在位置，推制器ΐδ〇可以把握_台車8〇之現 之時間。储存_所需要之時間’加上輪送所需要 當至處理完成之日年卩卩 主電腦i 〇 〇發出指示立間:/送… 80將卡s輸送到儲存輪送該卡以步驟川5)。咖台車 兮二r二I?里几成之日寸間比輸送所需要之時間長之丨主、5? 士 讜卡匣在From儲存器内等待，直至 — N况日守， 於輸送所需要之時間（步驟Si〇6)。 凡成4間變成等 在该荨待期間中，在其 處理中以外之卡^ W以處理裝置11 M2、13 新完成處理之卡g，士定C後回到儲存器10。當該 理時，主電腦m就發出指示，一個、座理裝置處

=;r:r…亦即:存二二^ σ糊將“之卡®輸送到儲存哭5〇。 ）〇HS 另外，在OHS台車80為3個，或; 情況時，亦可以更等待到下一個 衣载更夕個之卡匣之 在步驟S1 06之等待期間中，者=E =元成處理。另外， “時，和處理完成者與輸：對象：：： =未完成之 % , 0HS台車就在步驟S1 -同之情況 存器50。 寺待中之1個之卡匠輪送到儲

月之方式，在本實施形態中，確-下4 …處理…處理完成時間，根據該確認用;W A:\91]]2088.ptd 第12頁 536514 發明說明（〗〇) =將前製程完成處理之卡度立即輸送。 題可“產生處理裝置需要等待之 ^ T以使卡匣在F r 〇 m儲在哭… ^ 可以將在該等待時間中聚；時間儘可， 輸送效率。 ”卡匣起輸送，藉以提 依照以上所說明之方式，〇H 車80。主電腦將該多個〇HS台、吊 '備有多個之OHS台 向From儲存器輸送，亦即80中之^靠近之〇HS台車朝 存器之0HS台車。另外，預約田在^取紐犄間可以到達Fr⑽儲 卡匣朝向To儲存器輸送，或為取罪近之,台車，亦即裝載 儲存器輸送，在此種情況時 f =卡厘朝向其他之From 另外，_設置成具有内^；：2〇HS台車輸送。 行走軌道，或在行走軌道設置成 =個系統之 從From儲存器到To儲存哭之路:或a流等，亦可以使 可以選細台車用來子輸 器之路徑成為最短。 rom儲存器到To儲存 貫施形熊2 當將完成前製程之處理之卡匠 有下-個製程之儲存器被塞滿而； = : —個製程時，會 本實施形態中之特徵是設有暫此輸达之情況。因此在 保管此種卡匣。 τ 避儲存器’用來暫時的 下面使用圖5和圖6用來說明 統。 知形悲之製程間輸送系 如圖5所示’本實施形態 间輸运糸統除了各個基 A:\91112088.ptd 第13頁 536514 五、發明說明（11) 座之儲存器10〜60外，更具備有暫 下面使用圖6用來今日日士― 儲存器70 製程間輸送明本貫施形態之製程間輪送系統之 將處理裝置11所處理士 載在OHS台車80之基幻體/曰圓）’輸送到被裝 6之箭頭1〇1)。在基座}内且備有基座^之儲存器1〇(圖 儲存器1 0中取出該卡匣，將其供：：：輸3系、統’用來從 頭1 0 2 )。當完成處理妒罟彳彳/、老、、、口 |处理裝置11 (圖6之箭 )田几欣爽理衣置11之處理後，萝裎內於…么 處理過之卡匣回到儲存哭〗以 A 、 輸运糸統使 j响讦為1 0 (圖6之箭頭1 〇 3 )。 =後，為著進行處理裝置53之處理’所以〇hs8 卡匣輸达到基座5(圖6之箭頭1〇4)。這時，在由於 < 使基座5之儲存器50塞滿之情況時，〇HS8就使卡 二u避到該暫時退避儲存器7〇 (圖6之箭頭1〇4〇。缺 ^儲存器50内之卡匡數目減少，變成為未塞滿時’ 將退避到該暫時退避儲存器7〇之卡匣，輸送到儲存器 5〇(圖6之箭頭i〇4b)。 °° 基座5之製程内輸送系統從儲存器5〇中取出該卡匠， 其供給到處理裝置53(圖6之箭頭1〇5)。在完成處理裝置“ 之處理後，製程内輸送系統使處理過之卡匣回到儲哭 50(圖6之箭頭1〇6)。 為 OHS8從儲存器50搬出該處理過之卡匣，輸送到下一個制 程之儲存器B(圖6之箭頭107)。然後同樣的，重複進行卡衣 匿（半導體晶圓）之輸送和處理裝置之處理，用來 體製品之製造。 退仃+導 第14頁 A:\9ni2088.ptd 536514 五、發明說明（12) 在上述方式之本實施形態中，役 存器’在下-個製程之儲存器被時退避之健 送到該暫時退避用之儲存器。 ’兄T ’將卡匣輪 殘留不能下載之卡匣，可以有& 2HS台車80上不會 ，輸^效率。另外，等待輪送到下—個製程口車’藉以提 搬出之作業。 ά之储存器之卡s之搬入. :外’在某-個基座之儲存器被塞 衣置所處理完成之卡匣不能回到 =基座内之處理 能將下一個之卡匣供給到處理壯 00月况時’因為不 切之處理之致命狀態。因此，如圖7 烕為不能進行— 分成為搬出用區域1 〇 a和共用區域丨〇 不’將各個儲存器 來確保從基座内之處理裝置返°°回2之 搬出用區域10a用 共用區域！ Ob可以放入從前製程送之另外-方面，在 和從處理裝置返回之處理過 寻待處理之卡匣， 以斜線表示處理過之卡g。之兩者。另外，在圖7 區域和共用區域之儲存器之二；；，種方式，在具有搬出用 否塞滿，用來決定是二二％，可以依照共用區域是 另外，在本實施形態π輸送到暫時退避儲存器。 時退避儲存器70，但 斤5兄明之實例是設置專用之暫 中之】、個或數個，兼用作為暫以日士使艮用各個基座1〜6之儲存器 况，兼用之儲存器 、’、τ u避儲存器。在此種情 之共用區域之一部份:二2二别決定，確保以該儲存器内 各個時刻’亦即在進行避用之空間。另外，在 進订輸运到暫時退避儲存器之時刻，亦 .、9】]J2088.ptd 第]5頁 ^1__ 五、發明說明（13) 可以推斷空的儲存 ^ ^ 時退避儲存器。 °Λ儲存器内之空的空間作為新 然後，在下一個繫 ，53 ,54進行不同2處理:基座5之處理裝置51，52 51，52 , 54所欲處理之 =此種情況，由於處理裝置 能搬入欲以處理裝置5 3户1儲存器5 0被塞滿時，因為不 產生等待時間。因此，=基之卡匣，所以在處理裝置53合 使：-個製程之儲存器經由此種狀態’所以考； 種6況，在下一個 邊有某種程度之空間。在此 某-個上限值，可二：該幻;：：存器5 ◦内之卡£數設定 滿。 义值作為基準用來判斷是否夷 另外，在以上之說 去 情況時’將卡匠輪送到暫時】：：：製程之儲存器塞滿之 一個製程之處理裝置不 益，但是亦可以在下 退，儲存器。欲以非動作之處將卡g輸送到暫時 存窃，不會妨礙欲 衣置處理之卡匣滯留在儲 實施形& 人以其他之處理褒置處理之卡0E之搬入。 在有任何一個處理 間停止動作之情、况3士 X ^產生故F早或為著維護而需要長時 體晶圓）會大量的、1二奴以该處理裝置處理之卡匣（半導 礙其他之卡、印/在丁0儲存器或From儲存器，會有妨 是設有暫時退1此在本實施形態中其特徵 下面I田 存器用來暫時保管此種卡匠。 統。用圖5和圖8用來說明本實施形態之製程間輸送系

第16頁 五、發明說明（14) 如圖5所示，本實施形態之製 座1〜6之儲存器10〜60外，更且備右輪送***除了各個恭 輪：：參照圓8之流程圖用來說暫：退避儲存器70。 别达系，.先之動作。另外， a施形態之製程間 同樣的，半導體晶圓（卡匣 ^ '、^、上述之實施形態】、2 以處理裝置53處理，以士 士二光以處理裝置U處理，然後 當處理裝置U完成^ 式進行說明。 於卡匣返回之資訊，$ 卡匣回到儲存器1 〇時，將有關 電腦100。接受到資1储存器10之儲存器控制器傳達到去 下一個製程之處理電腦100對處理裝置㈣器詢問 當處理裝置53進二i 進行動作（步驟201)。 存器(儲存器5。)(步仃4作二 將卡&輸送至，丨蝕/。 ）。主電腦100控制0HS台車80， 之牛驟ςι :存益50。這時實施上述之實施形態1(圖5) 〈步驟S103以下之考饰 器内暫時等待。处里’判斷是立即輸送或是在卜⑽儲存 將二置53不進行動作之情況時’即使 Μ相同之基座5内存=〇亦/意義。另夕卜，在與處理装置 作。 ,、^ 其他之處理裝置51、52、54進行動 r n ^ "人以處理裝置5 3處理之卡匣被輸送到儲存器 :二！Γ留在該處之情況時，會妨礙欲以處理裝置51、

Pi^m ϋ二3，卡E之搬人為其問題。因此，使該卡E在

Frc^m，存，（儲存器1〇)内等待。 送：ΐ卡容能力有限，而且會有從前製程 〜理衣置11、12、13處理完成之返回之卡！

536514 五、發明說明（15) _ 之存在，所以必需確保一 行計測在Fr〇m儲存器内之 之空間。因此，主電腦進 之指定數進行比較（步驟S204 )數（步驟S2〇3) ’使其與預定 當From儲存器内之卡 腦1〇〇確認在成為To儲存哭數之該指定數之情況時，主電 S20 5 )。 存叩之儲存器50是否有卡匣（步驟 當Τ 〇儲存器沒有卡匣 個之卡匣輸送到τ〇儲存哭/半\/，主電腦100發出指示將1 送到儲存器50，準備好_台車將卡㈣ 外，這時將0HS台車之動作之再度開始。另 送到Τ。物，可以用來提衣高 入更多之卡=。之f況時，+需要再送 卡”&⑽儲存器内等待（步驟送之指示，使 奚利用處理裝置1 1 b 4、 S亦同樣的實行從步；S201::;,”時’對於該卡 置53尚未開始動作時，該卡 ;^ 假如處理裝 漸辦加甘::式使健存器内之卡E之數“ 漸曰加。其結果是在步驟S204，當判齡為p 之數目逐 卡厘數目超過指定t 2 斷為From儲存器内之 Μ或嶋台車之1 〇 〇就發出指示，將i <固卡 器m步驟stot) 之卡E，輸送到暫時退避儲存 然後’當處理裝置53開始動作時，將 儲存器輸送到T 〇儲存器之儲存器5 〇。、 仗^暫時退避 A-\9lU2088.ptd 第]8頁 五、發明說明（16) 不進行ΐ:ί U:施形態中’當下-個製程之處理裝置 之儲存器，且‘之二二二將I個之卡Ε輸送到下一個製程 前製程之儲存ΐ;:ΐ;;製程之儲存器等待。然後，當 到f時退避儲存器。 s過指定數時’就將該卡ϋ輪送 之儲存器U::G動作之卡ε不會塞滿下-個製程 理裝置。另外， 、目同之儲存器之卡匣之供給到處 之儲存哭時 將至少為〗個之卡匣輸送到下一個製程 藉以開：产理在f理裝置之開始動作後快速的供給卡厘， 之健另夕卜，經由利用暫時退避儲存器，前ί程 入，和完成處理之卡匣：：：礙來自其他製程之卡s之搬 利用只限於當前卜，暫時退避儲存器之 日本 ^ 柱之保存為之卡匣超過指定數之彳主、、w 、，斤以儘可能使大多數是從前势 二/ 下=製程之儲存器，可以用直接輸送到 退=存=實所說明之實例是設有專用之暫時 器。在此種情況，作退避儲存 Γΐ器内之空間之一部份“暫時=之：ΓΓ 外’亦可以在各個時刻，亦ρ丄 心&間。另 器之時刻，推斷空間較多之2指不輸达到暫時退避儲存 的空間作為暫時退避儲存器’利用該餘存器内之空 另外，在上述之步驟咖5中，確認在成為τ㈣存器之儲 A.\91112088.pid 第19頁 536514 五、發明說明（π) ' 〜 存器5 0是否有卡匣，不確認儲存器5 0内之卡匣是那— 理裝置所處理者。但是，在步驟S2 0 5，對於儲存器5〇 =處 卡匣，確認該卡匡是那一個處理裝置所處理者，^如，^ 欲以處理裝置5 3處理之卡匣不在儲存器5 〇内之情況時，田 論有無其他之卡匡’均可以從From儲存器輸送卡匣。不 所有之處理裝置，亦可以確保最低1個之卡匣，在處理壯於 置之開始動作後快速的供給卡E，藉以開始處理。 衣 實施形態4

在將完成前製程之處理之卡匣輸送到下一個製程日士， 有下一個製程之儲存器被塞滿而不能輪送之情況。^ 實施形態之特徵是依照下一個製程之儲存器之空 和成為有空所需之時間，用來進行輸送。 狀此 統了面使用圖5和圖9用來說明本實施形態之製程間輪送 如圖5所示，本實施形能之掣鞀 座丨〜6之儲在„二:心之衣私間輪送系統除了各個 儲存益10〜60外，更具備有暫時i艮擗性六 下面將參照圖9之流程圖用來說明本暫·;退避儲存器7(

7运土統之動作。另外，與上述之實二:能； '之4程 的，半導體晶圓（卡E)首先以處理事2、3同 理；，處理，以此方式進行說明：置"處理，然後以 二理叙置! ！所完成處理之卡 卡匣返回之資訊判儲存态1 0時，就 。接受到資^L > ±存^ 存益控制器傳達到主電 個製程之處里V置ΐ二電腦1 〇 〇對處理裝置控制器詢問ΐ 衣置53是否進行動作（步驟S301)。 下

536514 五、發明說明（18) _ ，處理裝置53不進行動作之情況時’將該卡匠 =50並無意義。因此，使該卡匿在訐⑽儲存H彳儲 10)内等待（步驟S30 2 )。另外，如上所述，。儲 收J能力有限’所以在上述之實施形態2(圖7)為:牛存二 ::在亦可以判斷是將該卡E輪送到暫時 二20】 疋留在From儲存器。 仔。口或 另外一方面，在處理裝置53進行動作之_〜* 1 〇〇確認在成為To儲存器之儲存器 =日、半主電腦 S3 0 3 )。 疋占’二間（步驟 當To儲存器有空之情況時，主一 輸送到To儲存器（步驟S3〇4)。 就4曰示將該卡£ 當To儲存器沒有空之情況時，主雷 存器可以變成有空所需之時間，使其隹斷在To儲 較(步糊5)。此處之指定之時間是指二比 器之輸送時間，和進行直接輸送時之輪送時間避：存 即，[(從Fr0m儲存器到暫時退避儲存器 ^差，亦 暫時退避儲存器到To儲存器之輸送時間輸日寸間）+ (從 到To儲存器之輸送時間）]。 仗r 〇m儲存器 比較之結果，當T 〇儲存器可以變办 況時’主電腦100就指示將該卡匣輪H之時間較長之情 (步驟S306)。主電腦1〇〇控制] 日守退避儲存器 時退避儲存器。 制°車8。’將卡匿輸送到暫 另外一方面，比較之結果，當τ〇 時間較短之情況時，主電腦就不發益可以變空所需之 輸送之指示，而是使

C:\2D-CODE\91-08\91112088.ptd 第21頁 536514 五、發明說明（19) 卡匣在From儲存器内等待（步驟S3〇7)。 然後，主電腦1 〇 〇依照來自儲存器控 — 儲存器控制器詢問，用來確認在τ〇儲 貧訊或是對 S308)，在有空之情況時，發出指示%疋否有空（步驟 器（步驟S3 0 9 )。 卞£輪送到To儲存 依照上述之方式，在本實施形態中， 變，所需之時間1來決定是使卡S被器可以 存斋，或是在From儲存器等待。因此，u 時退避儲 時退避儲存器後，可以避免在送出到暫 可以以最短之時間將卡匡輸送到To儲；Ϊ生；間之狀態’ 短輸送時間，可以縮短 σ :。口此，經由縮 和可以提高輸送效率。 衣DD之衣k所需要之時間， =外，在0HS台車8〇可以裝載多個（例如2個）$ 士「> _ 況時，依照在To儲存哭B不古9如/ j如Z個）之卡匣之情 可以獲得2個卡厘之空^有之空間，或是 f ^ ^To ? f! , , ^ ^ I·::存為寻待。可充分使:疋 以用來提高輸送效率。 口早的衣載此力，更可 情ί。卜在：：^:^::留有某種程度之空間之 值，判斷對該上阳信θ對了〇儲存器内之卡匣數設置上限 時間為何。 疋否有空’或可以獲得有空所需要之 在以上之實施形態丨〜4中， 0HS台車在不分支或人 I兄明之只例主要的疋使 飞。机之壞狀之行走軌道上行走，但是 :\9]]]2088.ptd 第22頁 536514 五、發明說明（20) 在行走軌道設有分支或合流之情況時，或是並行的設有多 個行走軌道之情況時，亦可以使用本發明之製程間輸送系 統和製程間輸送方法。另外，以上所說明之實例是將卡匣 從儲存器1 0輸送到儲存器5 0，但是對於其他之儲存器間之 輸送，亦可以使用本發明之製程間輸送系統和製程間輸送 方法。 以上已經對本發明之實施形態進行說明，但是該等之說 明只作舉例之用，在不偏離本發明之精神和範圍可以有各 種之變化和改良。 元件編號之說明 1〜6 基座 1 0 〜60 儲存器 8 OHS 10a 搬出用區域 10b 共用區域 1 1 〜1 3 處理裝置 51 〜54 處理裝置 70 暫時退避儲存器 80 OHS台車 100 主電腦 110 儲存器控制器 120 處理裝置控制器 180 OHS控制器

A:\91112088.ptd 第23頁 536514 圖式簡單說明 圖1用來說明製程間輸送系統。 圖2用來說明製程間輸送。 圖3用來說明本發明之主電腦和各種控制器之關係。 圖4是流程圖，用來說明本發明之一實施形態之製程間 輸送方法。 圖5用來說明本發明之製程間輸送系統。 圖6用來說明本發明之一實施形態之製程間輸送方法。 圖7用來說明儲存器之構造。 圖8是流程圖，用來說明本發明之一實施形態之製程間 輸送方法。 圖9是流程圖，用來說明本發明之一實施形態之製程間 輸送方法。

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Claims (1)

1. 536514 六、申請專利範圍 1. 一種製程間輸送系統，具有：基座，具備處理裝置； 保管棚，設在各個基座；和台車，巡迴該等保管棚，用來 將半製品從保管棚輸送到另一保管棚；其特徵是： 根據處理裝置之動作狀況和保管棚内之半製品之數目， 用來決定輸送時期。 2. —種製程間輸送系統，具有：基座，具備處理裝置； 保管棚，設在各個基座；和台車，巡迴該等保管棚，用來 將半製品從保管棚輸送到另一保管棚；其特徵是： 更具有半製品之暫時退避用保管棚。 3. —種製程間輸送方法，在製程間輸送系統中，具有： 基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；和台車， 可以裝載多個半製品；利用該台車用來將半製品從前製程 之處理裝置所屬之基座之保管棚，輸送到下一個製程之處 理裝置所屬之基座之保管棚；其特徵是： 使下一個製程之處理裝置之至處理完成之時間和保管棚 間之輸送時間進行比較，等待利用該台車之輸送，直至前 述處理完成之時間變成等於保管棚間之輸送時間，在該等 待期間完成前製程之處理，將聚集在前製程之保管棚之半 製品，一起輸送到下一個製程之保管棚。 4. 一種製程間輸送方法，在製程間輸送系統中，具有： 基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；和台車， 可以裝載多個半製品；利用該台車用來將半製品從前製程 之處理裝置所屬之基座之保管棚，輸送到下一個製程之處 理裝置所屬之基座之保管棚；其特徵是：

   A:\91112088.ptd 第25頁 536514 六、申請專利範圍 當檢測到下一個製程之處理裝置不進行動作之情況時， 將前製程之完成處理之半製品只一次的從前製程之保管棚 輸送到下一個製程之保管棚，以下之半製品留置在前製程 之保管棚。 5. —種製程間輸送方法，在製程間輸送系統中，具有： 基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；台車，可 以裝載多個半製品；和半製品暫時退避用之保管棚；利用 該台車用來將半製品從前製程之處理裝置所屬之基座之保 管棚，輸送到下一個製程之處理裝置所屬之基座之保管 棚；其特徵是： 在下一個製程之處理裝置未動作之情況時，或下一個製 程之保管棚已充滿之情況時，檢測該等情況，使輸送到下 一個製程之保管棚之半製品，暫時退避到上述之暫時退避 用保管棚。 6. —種製程間輸送方法，在製程間輸送系統中，具有： 基座，具備處理裝置；保管棚，設在各個基座；台車，可 以裝載多個半製品；和半製品之暫時退避用之保管棚；利 用該台車用來將半製品從前製程之處理裝置所屬之基座之 保管棚，輸送到下一個製程之處理裝置所屬之基座之保管 棚；其特徵是： 當下一個製程之保管棚内之半製品之數目超過指定數目 之情況時，就使下一個製程之保管棚内之半製品之數目成 為小於指定數所需之時間，和經由暫時退避用之保管棚之 情況與直接輸送到下一個製程之保管棚之情況之輸送時間

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