JP3527172B2 - ロットの搬送装置および方法 - Google Patents
ロットの搬送装置および方法Info
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- JP3527172B2 JP3527172B2 JP2000144854A JP2000144854A JP3527172B2 JP 3527172 B2 JP3527172 B2 JP 3527172B2 JP 2000144854 A JP2000144854 A JP 2000144854A JP 2000144854 A JP2000144854 A JP 2000144854A JP 3527172 B2 JP3527172 B2 JP 3527172B2
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロットの搬送装置
および方法に関し、特に半導体製造装置の拡散ラインの
ような製造対象であるロットを自動搬送する自動化工場
において、複数のロットを同時に、複数の製造装置間に
流して製造する場合の特急ロットの自動搬送装置および
方法に関する。
および方法に関し、特に半導体製造装置の拡散ラインの
ような製造対象であるロットを自動搬送する自動化工場
において、複数のロットを同時に、複数の製造装置間に
流して製造する場合の特急ロットの自動搬送装置および
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置の拡散ラインでは、各製
造装置間においてロットを自動搬送する自動搬送システ
ムを備えているが、カスタマサンプルや試作のためのロ
ットといった納期を最速にする必要がある特急ロットの
搬送については、自動搬送システムを使わずに人手によ
る搬送を行っている。
造装置間においてロットを自動搬送する自動搬送システ
ムを備えているが、カスタマサンプルや試作のためのロ
ットといった納期を最速にする必要がある特急ロットの
搬送については、自動搬送システムを使わずに人手によ
る搬送を行っている。
【０００３】その理由は、従来の自動搬送システムは、
各製造装置からの要求に応じて搬送するロットを決定す
るイベント駆動型であるため、各工程前に必ず待ち時間
が必要となる。これに対し、特急ロットについては、自
動搬送システムに従うことなく、意図的に人手により先
工程に必要な製造装置の使用を予約して確保しておいた
ほうが各工程前の待ち時間を最小限にすることが出来、
特急ロットの製造が結果的に早くなるためである。
各製造装置からの要求に応じて搬送するロットを決定す
るイベント駆動型であるため、各工程前に必ず待ち時間
が必要となる。これに対し、特急ロットについては、自
動搬送システムに従うことなく、意図的に人手により先
工程に必要な製造装置の使用を予約して確保しておいた
ほうが各工程前の待ち時間を最小限にすることが出来、
特急ロットの製造が結果的に早くなるためである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特急ロットの
先工程のために製造装置を意図的に空けておくことによ
る製造装置の稼働率ダウンや運用の非効率化、特急ロッ
トを人手で管理するための管理負担増といった問題点が
あった。
先工程のために製造装置を意図的に空けておくことによ
る製造装置の稼働率ダウンや運用の非効率化、特急ロッ
トを人手で管理するための管理負担増といった問題点が
あった。
【０００５】
【０００６】
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のロットの搬送装
置は、ロットの製造工程の作業を行う製造装置（図１の
６）と、仕掛かりのロットを保管するストッカ（図１の
１０）と、前記製造装置および前記ストッカ間において
ロットを搬送する工程内搬送装置（図１の８）と、前記
製造装置からのロード要求に従い前記ストッカ中のロッ
トから選択したロットを前記製造装置に送るように前記
工程内搬送装置に指示するロット搬送制御部（図１の
１）と、特急ロットについて各工程の作業開始予定時刻
の一定時間前に各工程の作業の割付予約を前記ロット搬
送制御部に送信する特急ロットスケジュール部（図１の
４）とを含み、前記ロット搬送制御部は、割付予約をし
た特急ロットの工程の作業を実施可能な複数の製造装置
の内から、現在作業中のロットの工程の作業終了予定時
刻が、割付予約した特急ロットの工程の作業開始予定時
刻より遅くはなく、しかもその作業開始予定時刻に最も
近い製造装置に特急ロットの割付予約を行い、前記割付
予約がされている製造装置に送るように選択した特急ロ
ット以外のロットの当該割付予約がされている製造装置
での作業終了予定時刻が、特急ロットの作業開始予定時
刻より遅くなるときは、当該選択したロットの搬送を指
示せずに、当該割付予約がされた製造装置を空けておく
ことを特徴とする。
置は、ロットの製造工程の作業を行う製造装置（図１の
６）と、仕掛かりのロットを保管するストッカ（図１の
１０）と、前記製造装置および前記ストッカ間において
ロットを搬送する工程内搬送装置（図１の８）と、前記
製造装置からのロード要求に従い前記ストッカ中のロッ
トから選択したロットを前記製造装置に送るように前記
工程内搬送装置に指示するロット搬送制御部（図１の
１）と、特急ロットについて各工程の作業開始予定時刻
の一定時間前に各工程の作業の割付予約を前記ロット搬
送制御部に送信する特急ロットスケジュール部（図１の
４）とを含み、前記ロット搬送制御部は、割付予約をし
た特急ロットの工程の作業を実施可能な複数の製造装置
の内から、現在作業中のロットの工程の作業終了予定時
刻が、割付予約した特急ロットの工程の作業開始予定時
刻より遅くはなく、しかもその作業開始予定時刻に最も
近い製造装置に特急ロットの割付予約を行い、前記割付
予約がされている製造装置に送るように選択した特急ロ
ット以外のロットの当該割付予約がされている製造装置
での作業終了予定時刻が、特急ロットの作業開始予定時
刻より遅くなるときは、当該選択したロットの搬送を指
示せずに、当該割付予約がされた製造装置を空けておく
ことを特徴とする。
【０００８】本発明のロットの搬送装置は、ロットの製
造工程の作業を行う製造装置（図１の６）と、仕掛かり
のロットを保管するストッカ（図１の１０）と、前記製
造装 置および前記ストッカ間においてロットを搬送す
る工程内搬送装置（図１の８）と、前記製造装置からの
ロード要求に従い前記ストッカ中のロットから選択した
ロットを前記製造装置に送るように前記工程内搬送装置
に指示するロット搬送制御部（図１の１）と、特急ロッ
トについて各工程の作業開始予定時刻の一定時間前に各
工程の作業の割付予約を前記ロット搬送制御部に送信す
る特急ロットスケジュール部（図１の４）とを含み、前
記ロット搬送制御部は、割付予約をした特急ロットの工
程の作業を実施可能な複数の製造装置の内から、現在作
業中のロットの工程の作業終了予定時刻が割付予約した
特急ロットの作業開始予定時刻より遅くはなく、しかも
その作業開始予定時刻に最も近い製造装置に特急ロット
の割付予約を行い、この後に、割付予約をした特急ロッ
トの工程の作業を前記実施可能な複数の製造装置の内の
いずれかで、新たにロードすべく決定されたロットの工
程の作業終了予定時刻が割付予約した特急ロットの作業
開始予定時刻より遅くはなく、当該特急ロットの割付予
約がされた製造装置での現在作業中のロットの工程の作
業終了予定時刻より遅い時は、当該新たにロットのロー
ドが決定された製造装置に特急ロットの割付予約を変更
し、前記割付予約がされている製造装置に送るように選
択した特急ロット以外のロットの当該割付予約がされて
いる製造装置での作業終了予定時刻が、特急ロットの作
業開始予定時刻より遅くなるときは、当該選択したロッ
トの搬送を指示せずに、当該割付予約がされた製造装置
を空けておくことを特徴とする。
造工程の作業を行う製造装置（図１の６）と、仕掛かり
のロットを保管するストッカ（図１の１０）と、前記製
造装 置および前記ストッカ間においてロットを搬送す
る工程内搬送装置（図１の８）と、前記製造装置からの
ロード要求に従い前記ストッカ中のロットから選択した
ロットを前記製造装置に送るように前記工程内搬送装置
に指示するロット搬送制御部（図１の１）と、特急ロッ
トについて各工程の作業開始予定時刻の一定時間前に各
工程の作業の割付予約を前記ロット搬送制御部に送信す
る特急ロットスケジュール部（図１の４）とを含み、前
記ロット搬送制御部は、割付予約をした特急ロットの工
程の作業を実施可能な複数の製造装置の内から、現在作
業中のロットの工程の作業終了予定時刻が割付予約した
特急ロットの作業開始予定時刻より遅くはなく、しかも
その作業開始予定時刻に最も近い製造装置に特急ロット
の割付予約を行い、この後に、割付予約をした特急ロッ
トの工程の作業を前記実施可能な複数の製造装置の内の
いずれかで、新たにロードすべく決定されたロットの工
程の作業終了予定時刻が割付予約した特急ロットの作業
開始予定時刻より遅くはなく、当該特急ロットの割付予
約がされた製造装置での現在作業中のロットの工程の作
業終了予定時刻より遅い時は、当該新たにロットのロー
ドが決定された製造装置に特急ロットの割付予約を変更
し、前記割付予約がされている製造装置に送るように選
択した特急ロット以外のロットの当該割付予約がされて
いる製造装置での作業終了予定時刻が、特急ロットの作
業開始予定時刻より遅くなるときは、当該選択したロッ
トの搬送を指示せずに、当該割付予約がされた製造装置
を空けておくことを特徴とする。
【０００９】
【００１０】
【００１１】本発明のロットの搬送方法は、ストッカ
（図１の１０）に仕掛かりのロットを保管し、ロットの
製造工程の作業を行う製造装置（図１の６）からのロー
ド要求に従い前記ストッカ中のロットから選択したロッ
トを前記製造装置に送り、特急ロットについては各工程
の作業開始予定時刻の一定時間前に各工程の作業の割付
予約をしておき、割付予約をした特急ロットの工程の作
業を実施可能な複数の製造装置の内から現在作業中のロ
ットの工程の作業終了予定時刻が割付予約した特急ロッ
トの作業開始予定時刻より遅くはなく、しかもその作業
開始予定時刻に最も近い製造装置に特急ロットの割付予
約を行い、前記割付予約がされている製造装置に送るよ
うに選択した特急ロット以外のロットの当該割付予約が
されている製造装置での作業終了予定時刻が特急ロット
の作業開始予定時刻より遅くなるときは当該選択したロ
ットの搬送をせずに、当該割付予約がされた製造装置を
空けておくことを特徴とする。
（図１の１０）に仕掛かりのロットを保管し、ロットの
製造工程の作業を行う製造装置（図１の６）からのロー
ド要求に従い前記ストッカ中のロットから選択したロッ
トを前記製造装置に送り、特急ロットについては各工程
の作業開始予定時刻の一定時間前に各工程の作業の割付
予約をしておき、割付予約をした特急ロットの工程の作
業を実施可能な複数の製造装置の内から現在作業中のロ
ットの工程の作業終了予定時刻が割付予約した特急ロッ
トの作業開始予定時刻より遅くはなく、しかもその作業
開始予定時刻に最も近い製造装置に特急ロットの割付予
約を行い、前記割付予約がされている製造装置に送るよ
うに選択した特急ロット以外のロットの当該割付予約が
されている製造装置での作業終了予定時刻が特急ロット
の作業開始予定時刻より遅くなるときは当該選択したロ
ットの搬送をせずに、当該割付予約がされた製造装置を
空けておくことを特徴とする。
【００１２】本発明のロットの搬送方法は、ストッカ
（図１の１０）に仕掛かりのロットを保管し、ロットの
製造工程の作業を行う製造装置（図１の６）からのロー
ド要求に従い前記ストッカ中のロットから選択したロッ
トを前記製造装置に送り、特急ロットについては各工程
の作業開始予定時刻の一定時間前に各工程の作業の割付
予約をしておき、割付予約をした特急ロットの工程の作
業を実施可能な複数の製造装置の内から現在作業中のロ
ットの工程の作業終了予定時刻が割付予約した特急ロッ
トの作業開始予定時刻より遅くはなく、しかもその作業
開始予定時刻に最も近い製造装置に特急ロットの割付予
約を行い、この後に、割付予約をした特急ロットの工程
の作業を前記実施可能な複数の製造装置の内のいずれか
で新たにロードすべく決定されたロットの工程の作業終
了予定時間が割付予約した特急ロットの作業開始予定時
刻より遅くはなく、当該特急ロットの割付予約がされた
製造装置での現在作業中のロットの工程の作業終了予定
時刻より遅い時は、当該新たにロットのロードが決定さ
れた製造装置に特急ロットの割付予約を変更し、前記割
付予約がされている製造装置に送るように選択した特急
ロット以外のロットの当該割付予約がされている製造装
置での作業終了予定時刻が特急ロットの作業開始予定時
刻より遅くなるときは当該選択したロットの搬送をせず
に、当該割付予約がされた製造装置を空けておくことを
特徴とする。
（図１の１０）に仕掛かりのロットを保管し、ロットの
製造工程の作業を行う製造装置（図１の６）からのロー
ド要求に従い前記ストッカ中のロットから選択したロッ
トを前記製造装置に送り、特急ロットについては各工程
の作業開始予定時刻の一定時間前に各工程の作業の割付
予約をしておき、割付予約をした特急ロットの工程の作
業を実施可能な複数の製造装置の内から現在作業中のロ
ットの工程の作業終了予定時刻が割付予約した特急ロッ
トの作業開始予定時刻より遅くはなく、しかもその作業
開始予定時刻に最も近い製造装置に特急ロットの割付予
約を行い、この後に、割付予約をした特急ロットの工程
の作業を前記実施可能な複数の製造装置の内のいずれか
で新たにロードすべく決定されたロットの工程の作業終
了予定時間が割付予約した特急ロットの作業開始予定時
刻より遅くはなく、当該特急ロットの割付予約がされた
製造装置での現在作業中のロットの工程の作業終了予定
時刻より遅い時は、当該新たにロットのロードが決定さ
れた製造装置に特急ロットの割付予約を変更し、前記割
付予約がされている製造装置に送るように選択した特急
ロット以外のロットの当該割付予約がされている製造装
置での作業終了予定時刻が特急ロットの作業開始予定時
刻より遅くなるときは当該選択したロットの搬送をせず
に、当該割付予約がされた製造装置を空けておくことを
特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】図１は、本発明の実施の形態の特急ロット
の自動搬送装置のブロック図である。
の自動搬送装置のブロック図である。
【００１５】図１において、複数の製造装置６それぞれ
での製造工程を経たロットは、次工程のための製造装置
に送られるまでロット保管ストッカ１０に保管され、製
造装置６およびストッカ１０の間でのロットの搬送は、
工程内搬送装置８により行われる。製造装置６、工程内
搬送装置８およびストッカ１０それぞれは、製造装置制
御部５、工程内搬送制御部７およびストッカ制御部９に
接続されている。また、製造装置制御部５、工程内搬送
制御部７およびストッカ制御部９のほかロット搬送制御
部１、マスタ管理部２、工程進捗管理部３および特急ロ
ットスケジュール部４が備えられ、これらが互いに接続
されている。また、この特急ロットの自動搬送装置に
は、図示していないがキーボードおよび画像表示装置等
の入出力装置も接続されている。製造装置制御部５、製
造装置６、工程内搬送制御部７、工程内搬送装置８、ス
トッカ制御部９およびストッカ１０は、それぞれ複数台
のもので構成されている。
での製造工程を経たロットは、次工程のための製造装置
に送られるまでロット保管ストッカ１０に保管され、製
造装置６およびストッカ１０の間でのロットの搬送は、
工程内搬送装置８により行われる。製造装置６、工程内
搬送装置８およびストッカ１０それぞれは、製造装置制
御部５、工程内搬送制御部７およびストッカ制御部９に
接続されている。また、製造装置制御部５、工程内搬送
制御部７およびストッカ制御部９のほかロット搬送制御
部１、マスタ管理部２、工程進捗管理部３および特急ロ
ットスケジュール部４が備えられ、これらが互いに接続
されている。また、この特急ロットの自動搬送装置に
は、図示していないがキーボードおよび画像表示装置等
の入出力装置も接続されている。製造装置制御部５、製
造装置６、工程内搬送制御部７、工程内搬送装置８、ス
トッカ制御部９およびストッカ１０は、それぞれ複数台
のもので構成されている。
【００１６】ロット搬送制御部１は、ロット保管ストッ
カ１０内のロットの情報を常に把握しており、ストッカ
１０内のロットの中から、製造装置６に搬送するべきロ
ットを決定し、ストッカ制御部９に対して搬送指示を出
す。マスタ管理部２は、ロットの工程手順や作業条件、
作業時間等のマスタデータを管理する。工程進捗管理部
３は、ロットの工程進捗データを保持する。特急ロット
スケジュール部４は、特急ロットの工程進捗予定を管理
する。ストッカ制御部９は、ロット搬送制御部１からの
指示によりストッカ１０からロットを入出庫させる。工
程内搬送制御部７は、ロット搬送制御部１からの指示に
よりストッカ１０から出庫されたロットを製造装置６に
搬送したり、逆に製造装置６からロットをストッカ１０
に回収するように工程内搬送装置８を制御する。製造装
置制御部５は、ロット搬送制御部１に対して、製造装置
６から次に作業すべきロットの搬送を要求するロード要
求や、製造装置６で作業が終了したロットをストッカ１
０へ戻すアンロード要求を出す。次に、本発明の実施の
形態の動作について図面を参照して説明する。
カ１０内のロットの情報を常に把握しており、ストッカ
１０内のロットの中から、製造装置６に搬送するべきロ
ットを決定し、ストッカ制御部９に対して搬送指示を出
す。マスタ管理部２は、ロットの工程手順や作業条件、
作業時間等のマスタデータを管理する。工程進捗管理部
３は、ロットの工程進捗データを保持する。特急ロット
スケジュール部４は、特急ロットの工程進捗予定を管理
する。ストッカ制御部９は、ロット搬送制御部１からの
指示によりストッカ１０からロットを入出庫させる。工
程内搬送制御部７は、ロット搬送制御部１からの指示に
よりストッカ１０から出庫されたロットを製造装置６に
搬送したり、逆に製造装置６からロットをストッカ１０
に回収するように工程内搬送装置８を制御する。製造装
置制御部５は、ロット搬送制御部１に対して、製造装置
６から次に作業すべきロットの搬送を要求するロード要
求や、製造装置６で作業が終了したロットをストッカ１
０へ戻すアンロード要求を出す。次に、本発明の実施の
形態の動作について図面を参照して説明する。
【００１７】工程進捗管理部３で管理されているロット
の中の一つを入力装置から特急ロット対象として指定す
ると、このタイミングで工程進捗管理部３は、その特急
ロットの情報を特急ロットスケジュール部４に送信す
る。特急ロットスケジュール部４は、工程進捗管理部３
から送られてきた特急ロットについて、マスタ管理部２
にある工程手順と作業時間からガントチャートを作成
し、画像表示装置上に表示する。図２は、このようなガ
ントチャートの一例を示し、特急ロットの各作業工程１
１〜１６の予定時間帯を示し、工程１２に付した”ＡＡ
Ａ２０１”のように、各工程について使用する製造装置
のＩＤ（識別番号）を可能であれば付しておく。また、
工程１４の部分は、他の工程のものよりずれて示してあ
るが、これはこの工程に使用予定の製造装置が故障中で
あるというようなアラームを示している。
の中の一つを入力装置から特急ロット対象として指定す
ると、このタイミングで工程進捗管理部３は、その特急
ロットの情報を特急ロットスケジュール部４に送信す
る。特急ロットスケジュール部４は、工程進捗管理部３
から送られてきた特急ロットについて、マスタ管理部２
にある工程手順と作業時間からガントチャートを作成
し、画像表示装置上に表示する。図２は、このようなガ
ントチャートの一例を示し、特急ロットの各作業工程１
１〜１６の予定時間帯を示し、工程１２に付した”ＡＡ
Ａ２０１”のように、各工程について使用する製造装置
のＩＤ（識別番号）を可能であれば付しておく。また、
工程１４の部分は、他の工程のものよりずれて示してあ
るが、これはこの工程に使用予定の製造装置が故障中で
あるというようなアラームを示している。
【００１８】特急ロットスケジュール部４では、特急ロ
ットについてガントチャートが作成できない工程、例え
ば作業時間がマスタ管理部２に登録されていない場合
や、作業できる製造装置がマスタ管理部２に登録されて
いない場合、特急ロット同士で競合した場合には、エラ
ーを表示する。このエラー表示に対しては、作業者が入
力装置により、変更情報または追加情報を入力すること
により、ガントチャートを修正、変更することができ
る。また、ガントチャート上で、あらかじめ特急ロット
の各工程の作業をする製造装置を指定することもでき
る。
ットについてガントチャートが作成できない工程、例え
ば作業時間がマスタ管理部２に登録されていない場合
や、作業できる製造装置がマスタ管理部２に登録されて
いない場合、特急ロット同士で競合した場合には、エラ
ーを表示する。このエラー表示に対しては、作業者が入
力装置により、変更情報または追加情報を入力すること
により、ガントチャートを修正、変更することができ
る。また、ガントチャート上で、あらかじめ特急ロット
の各工程の作業をする製造装置を指定することもでき
る。
【００１９】特急ロットスケジュール部４は、作成した
ガントチャートに基づいて、工程毎の作業開始予定時刻
の一定時間前になった時点で、ロット搬送制御部１に特
急ロットのための製造装置使用の割付予約を送信する。
例えば、図３に示すように、特急ロットについて工程
Ａ、ＢおよびＣが順次に行われる予定のときに、工程Ｃ
の作業開始予定時刻２１の一定時間２２前の時刻２３の
時点で工程Ｃに使用する製造装置の割付予約をする。こ
の割付予約では、ロットＩＤ、開始予定時刻および製造
装置ＩＤを指定する場合と、ロットＩＤおよび開始予定
時刻のみを指定して製造装置ＩＤを指定しない場合とが
ある。
ガントチャートに基づいて、工程毎の作業開始予定時刻
の一定時間前になった時点で、ロット搬送制御部１に特
急ロットのための製造装置使用の割付予約を送信する。
例えば、図３に示すように、特急ロットについて工程
Ａ、ＢおよびＣが順次に行われる予定のときに、工程Ｃ
の作業開始予定時刻２１の一定時間２２前の時刻２３の
時点で工程Ｃに使用する製造装置の割付予約をする。こ
の割付予約では、ロットＩＤ、開始予定時刻および製造
装置ＩＤを指定する場合と、ロットＩＤおよび開始予定
時刻のみを指定して製造装置ＩＤを指定しない場合とが
ある。
【００２０】次に、通常時のロット搬送制御部１の処理
について説明する。
について説明する。
【００２１】ロット搬送制御部１は、特急ロットの割付
予約が無い場合には、イベント駆動型で処理を行う。具
体的には、製造装置６は作業を行うために、製造装置制
御部５を通して、ロットの搬送要求（ロード要求）をロ
ット搬送制御部１に送信する。ロット搬送制御部１は、
当該製造装置の所属する仕掛ストッカ１０内のロットの
中から、作業条件について工程進捗管理部３とマスタ管
理部２の情報を参照し、ロット搬送制御部１に設定され
たディスパッチルールに従い、搬送ロットを決定してい
る。
予約が無い場合には、イベント駆動型で処理を行う。具
体的には、製造装置６は作業を行うために、製造装置制
御部５を通して、ロットの搬送要求（ロード要求）をロ
ット搬送制御部１に送信する。ロット搬送制御部１は、
当該製造装置の所属する仕掛ストッカ１０内のロットの
中から、作業条件について工程進捗管理部３とマスタ管
理部２の情報を参照し、ロット搬送制御部１に設定され
たディスパッチルールに従い、搬送ロットを決定してい
る。
【００２２】搬送ロットが決定すると、ロット搬送制御
部１はストッカ制御部９を通してストッカ１０に出庫指
示を送信し、ストッカ１０から、その搬送ロットの出庫
完了を受信すると、引き続き工程内搬送制御部７を通し
て工程内搬送装置８に対して製造装置６への搬送ロット
の搬送を指示するように送信する。以上を行うことによ
って製造装置へロットを搬送する。
部１はストッカ制御部９を通してストッカ１０に出庫指
示を送信し、ストッカ１０から、その搬送ロットの出庫
完了を受信すると、引き続き工程内搬送制御部７を通し
て工程内搬送装置８に対して製造装置６への搬送ロット
の搬送を指示するように送信する。以上を行うことによ
って製造装置へロットを搬送する。
【００２３】次に、特急ロットの割付予約を受信したと
きのロット搬送制御部１の処理について説明する。
きのロット搬送制御部１の処理について説明する。
【００２４】まず、割付予約に製造装置ＩＤがセットさ
れていた場合のロット搬送制御部１の処理は、次のよう
になる。
れていた場合のロット搬送制御部１の処理は、次のよう
になる。
【００２５】当該製造装置を特急ロット割付装置として
予約する。図４に示す例では、当該ロットの工程に使用
可能な製造装置として００１号機、００２号機および０
０３号機がある場合に、割付予約の製造装置として００
２号機が指定されたときに、その割付予約の時点から一
定時間後を作業開始予定時刻２１として特急ロットの割
付予約３１を行う。割付予約した後も、図５に示すよう
に、当該装置の００２号機からのロード要求で、当該製
造装置の所属する仕掛ストッカ１０内のロットを示す待
ちキュー４１の中のロットＡ、ＢおよびＣからディスパ
ッチルールに従って次ロットＢを決定するが、この次ロ
ットＢの終了予定時刻が割付予約した特急ロットの作業
開始予定時刻２１を上回ってしまう場合には、ロット搬
送を開始せず、製造装置（００２号機）を空けておく。
予約する。図４に示す例では、当該ロットの工程に使用
可能な製造装置として００１号機、００２号機および０
０３号機がある場合に、割付予約の製造装置として００
２号機が指定されたときに、その割付予約の時点から一
定時間後を作業開始予定時刻２１として特急ロットの割
付予約３１を行う。割付予約した後も、図５に示すよう
に、当該装置の００２号機からのロード要求で、当該製
造装置の所属する仕掛ストッカ１０内のロットを示す待
ちキュー４１の中のロットＡ、ＢおよびＣからディスパ
ッチルールに従って次ロットＢを決定するが、この次ロ
ットＢの終了予定時刻が割付予約した特急ロットの作業
開始予定時刻２１を上回ってしまう場合には、ロット搬
送を開始せず、製造装置（００２号機）を空けておく。
【００２６】特急ロットが前工程の作業を終了し仕掛ス
トッカ１０に特急ロットが入庫したら、ロット搬送制御
部１は割付予約してある製造装置（００２号機）に特急
ロットを出庫する指示をストッカ制御部９および工程内
搬送制御部７へ送信する。
トッカ１０に特急ロットが入庫したら、ロット搬送制御
部１は割付予約してある製造装置（００２号機）に特急
ロットを出庫する指示をストッカ制御部９および工程内
搬送制御部７へ送信する。
【００２７】割付予約に製造装置ＩＤがセットされてい
ない場合のロット搬送制御部１の処理は、次のようにな
る。
ない場合のロット搬送制御部１の処理は、次のようにな
る。
【００２８】特急ロットの工程の作業可能な製造装置を
マスタ管理部２の工程情報から検索し、検索できた作業
可能な製造装置についての現在作業しているロットの工
程の作業終了予定時刻を工程進捗管理部３とマスタ管理
部２の作業時間から推測する。作業終了予定時刻が特急
ロットの割付予約の作業開始予定時刻より前で、しかも
一番遅くなる製造装置を特急ロット割付装置として仮予
約する。図６の例では、特急ロットの作業可能装置とし
て検索された００１号機、００２号機および００３号機
の製造装置それぞれの現在作業しているロットの工程５
１、５２および５３の内の工程５２の作業終了予定時間
が一番遅いので００２号機の製造装置に割付予約３１を
行う。
マスタ管理部２の工程情報から検索し、検索できた作業
可能な製造装置についての現在作業しているロットの工
程の作業終了予定時刻を工程進捗管理部３とマスタ管理
部２の作業時間から推測する。作業終了予定時刻が特急
ロットの割付予約の作業開始予定時刻より前で、しかも
一番遅くなる製造装置を特急ロット割付装置として仮予
約する。図６の例では、特急ロットの作業可能装置とし
て検索された００１号機、００２号機および００３号機
の製造装置それぞれの現在作業しているロットの工程５
１、５２および５３の内の工程５２の作業終了予定時間
が一番遅いので００２号機の製造装置に割付予約３１を
行う。
【００２９】その後、特急ロットの工程の作業が可能な
製造装置（００１号機、００２号機および００３号機）
からロード要求が送信されてくる度に当該製造装置の所
属する仕掛ストッカ１０内のロットの中からディスパッ
チルールに従って次ロットを決定する。その際に、次ロ
ットの作業終了予定時刻が、特急ロットの割付予約を仮
予約した製造装置の現在作業しているロットの作業終了
予定時刻よりも遅く、かつ特急ロットの割付予約の作業
開始予定時刻を下回っている場合には、割付予約を仮予
約する製造装置を、その次ロットの作業をする製造装置
に変更する。図７の例では、００２号機の製造装置に特
急ロットの割付予約を仮予約している場合に、００２号
機の前のロットの工程６１の作業の終了により、ストッ
カ１０内のロットＢ、ＣおよびＤの内からロットＢを次
ロットとして決定したところ、００３号機の製造装置に
おけるロットＢの作業終了時刻が００２号機の製造装置
の割付予約の前のロットの作業終了時刻よりも後で、割
付予約の作業開始予定時刻２１よりも前なので、特急ロ
ットの割付予約を仮予約する製造装置を００２号機から
００３号機へ変更する。
製造装置（００１号機、００２号機および００３号機）
からロード要求が送信されてくる度に当該製造装置の所
属する仕掛ストッカ１０内のロットの中からディスパッ
チルールに従って次ロットを決定する。その際に、次ロ
ットの作業終了予定時刻が、特急ロットの割付予約を仮
予約した製造装置の現在作業しているロットの作業終了
予定時刻よりも遅く、かつ特急ロットの割付予約の作業
開始予定時刻を下回っている場合には、割付予約を仮予
約する製造装置を、その次ロットの作業をする製造装置
に変更する。図７の例では、００２号機の製造装置に特
急ロットの割付予約を仮予約している場合に、００２号
機の前のロットの工程６１の作業の終了により、ストッ
カ１０内のロットＢ、ＣおよびＤの内からロットＢを次
ロットとして決定したところ、００３号機の製造装置に
おけるロットＢの作業終了時刻が００２号機の製造装置
の割付予約の前のロットの作業終了時刻よりも後で、割
付予約の作業開始予定時刻２１よりも前なので、特急ロ
ットの割付予約を仮予約する製造装置を００２号機から
００３号機へ変更する。
【００３０】割付予約として仮予約した製造装置からの
ロード要求で、当該製造装置の所属する仕掛ストッカ１
０内のロットの中からディスパッチルールに従って次ロ
ットを決定するが、その次ロットの作業終了予定時刻が
割付予約した特急ロットの開始予定時刻を上回ってしま
う場合には、その次ロットの搬送を開始せず、製造装置
を空けておく（図５）。
ロード要求で、当該製造装置の所属する仕掛ストッカ１
０内のロットの中からディスパッチルールに従って次ロ
ットを決定するが、その次ロットの作業終了予定時刻が
割付予約した特急ロットの開始予定時刻を上回ってしま
う場合には、その次ロットの搬送を開始せず、製造装置
を空けておく（図５）。
【００３１】特急ロットの前工程の作業終了をもって割
付装置の仮予約を本決定する。仕掛ストッカ１０に特急
ロットが入庫したら、ロット搬送制御部１は割付予約し
た製造装置に特急ロットを出庫するよう工程内搬送制御
部７およびストッカ制御部９に指示を送信する。
付装置の仮予約を本決定する。仕掛ストッカ１０に特急
ロットが入庫したら、ロット搬送制御部１は割付予約し
た製造装置に特急ロットを出庫するよう工程内搬送制御
部７およびストッカ制御部９に指示を送信する。
【００３２】
【発明の効果】従来、人手搬送で特急ロットを搬送して
いた場合、先工程の製造装置の確保（予約）を特急ロッ
トの担当者が行っているためロスが生じ、最適でない製
造装置の確保による稼働率の低下や装置の確保遅れによ
る待ちロスから、特急ロットの納期を下げていた。本発
明によれば、各製造装置においては、特急ロットの到着
を予想でき、かつ特急ロットを待たせずに、しかも全体
の稼働率を上げるように通常ロットを充填しながら作業
していくことができるため効率的な製造装置、生産ライ
ンの運用が可能になる。
いた場合、先工程の製造装置の確保（予約）を特急ロッ
トの担当者が行っているためロスが生じ、最適でない製
造装置の確保による稼働率の低下や装置の確保遅れによ
る待ちロスから、特急ロットの納期を下げていた。本発
明によれば、各製造装置においては、特急ロットの到着
を予想でき、かつ特急ロットを待たせずに、しかも全体
の稼働率を上げるように通常ロットを充填しながら作業
していくことができるため効率的な製造装置、生産ライ
ンの運用が可能になる。
【図１】本発明の実施の形態のロットの搬送装置のブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】図１中の特急ロットスケジュール装置が作成す
る特急ロットのガントチャートの図である。
る特急ロットのガントチャートの図である。
【図３】図１中の特急ロットスケジュール装置が行う特
急ロットの割付予約を示す図である。
急ロットの割付予約を示す図である。
【図４】図１中のロット搬送制御部１が製造装置に対し
て行う特急ロットの割付予約を示す図である。
て行う特急ロットの割付予約を示す図である。
【図５】図１中のロット搬送制御部１が特急ロットの割
付予約がされている製造装置からのロード要求に対する
処理を示す図である。
付予約がされている製造装置からのロード要求に対する
処理を示す図である。
【図６】図１中のロット搬送制御部１が特急ロットの工
程の作業が可能な複数の製造装置から選択した１つの製
造装置にする割付予約を示す図である。
程の作業が可能な複数の製造装置から選択した１つの製
造装置にする割付予約を示す図である。
【図７】図１中のロット搬送制御部１が特急ロットの割
付予約をした製造装置の変更を示す図である。
付予約をした製造装置の変更を示す図である。
１ ロット搬送制御部
２ マスタ管理部
３ 工程進捗管理部
４ 特急ロットスケジュール部
５ 製造装置制御部
６ 製造装置
７ 工程内搬送制御部
８ 工程内搬送装置
９ ストッカ制御部
１０ ストッカ
１１〜１６ 工程
２１ 作業開始予定時刻
２２ 一定時間
２３ 時刻
３１ 割付予約
４１ キュー
５１〜５３ 工程
６１ 工程
Claims (4)
- 【請求項１】 ロットの製造工程の作業を行う製造装置
と、仕掛かりのロットを保管するストッカと、前記製造
装置および前記ストッカ間においてロットを搬送する工
程内搬送装置と、前記製造装置からのロード要求に従い
前記ストッカ中のロットから選択したロットを前記製造
装置に送るように前記工程内搬送装置に指示するロット
搬送制御部と、特急ロットについて各工程の作業開始予
定時刻の一定時間前に各工程の作業の割付予約を前記ロ
ット搬送制御部に送信する特急ロットスケジュール部と
を含み、 前記ロット搬送制御部は、 割付予約をした特急ロットの工程の作業を実施可能な複
数の製造装置の内から、現在作業中のロットの工程の作
業終了予定時刻が、割付予約した特急ロットの工程の作
業開始予定時刻より遅くはなく、しかもその作業開始予
定時刻に最も近い製造装置に特急ロットの割付予約を行
い、 前記割付予約がされている製造装置に送るように選択し
た特急ロット以外のロットの当該割付予約がされている
製造装置での作業終了予定時刻が、特急ロットの作業開
始予定時刻より遅くなるときは、当該選択したロットの
搬送を指示せずに、当該割付予約がされた製造装置を空
けておくことを特徴とするロットの搬送装置。 - 【請求項２】 ロットの製造工程の作業を行う製造装置
と、仕掛かりのロットを保管するストッカと、前記製造
装置および前記ストッカ間においてロットを搬送する工
程内搬送装置と、前記製造装置からのロード要求に従い
前記ストッカ中のロットから選択したロットを前記製造
装置に送るように前記工程内搬送装置に指示するロット
搬送制御部と、特急ロットについて各工程の作業開始予
定時刻の一定時間前に各工程の作業の割付予約を前記ロ
ット搬送制御部に送信する特急ロットスケジュール部と
を含み、 前記ロット搬送制御部は、 割付予約をした特急ロットの工程の作業を実施可能な複
数の製造装置の内から、現在作業中のロットの工程の作
業終了予定時刻が割付予約した特急ロットの作業開始予
定時刻より遅くはなく、しかもその作業開始予定時刻に
最も近い製造装置に特急ロットの割付予約を行い、 この後に、割付予約をした特急ロットの工程の作業を前
記実施可能な複数の製造装置の内のいずれかで、新たに
ロードすべく決定されたロットの工程の作業終了予定時
刻が割付予約した特急ロットの作業開始予定時刻より遅
くはなく、当該特急ロットの割付予約がされた製造装置
での現在作業中のロットの工程の作業終了予定時刻より
遅い時は、当該新たにロットのロードが決定された製造
装置に特急ロットの割付予約を変更し、 前記割付予約がされている製造装置に送るように選択し
た特急ロット以外のロットの当該割付予約がされている
製造装置での作業終了予定時刻が、特急ロットの作業開
始予定時刻より遅くなるときは、当該選択したロットの
搬送を指示せずに、当該割付予約がされた製造装置を空
けておくことを特徴とするロットの搬送装置。 - 【請求項３】 ストッカに仕掛かりのロットを保管し、
ロットの製造工程の作業を行う製造装置からのロード要
求に従い前記ストッカ中のロットから選択したロットを
前記製造装置に送り、特急ロットについては各工程の作
業開始予定時刻の一定時間前に各工程の作業の割付予約
をしておき、割付予約をした特急ロットの工程の作業を
実施可能な複数の製造装置の内から現在作業中のロット
の工程の作業終了予定時刻が割付予約した特急ロットの
作業開始予定時刻より遅くはなく、しかもその作業開始
予定時刻に最も近い製造装置に特急ロットの割付予約を
行い、前記割付予約がされている製造装置に送るように
選択した特急ロット以外のロットの当該割付予約がされ
ている製造装置での作業終了予定時刻が特急ロットの作
業開始予定時刻より遅くなるときは当該選択したロット
の搬送をせずに、当該割付予約がされた製造装置を空け
ておくことを特徴とするロットの搬送方法。 - 【請求項４】 ストッカに仕掛かりのロットを保管し、
ロットの製造工程の作業を行う製造装置からのロード要
求に従い前記ストッカ中のロットから選択したロットを
前記製造装置に送り、特急ロットについては各工程の作
業開始予定時刻の一定時間前に各工程の作業の割付予約
をしておき、割付予約をした特急ロットの工程の作業を
実施可能な複数の製造装置の内から現在作業中のロット
の工程の作業終了予定時刻が割付予約した特急ロットの
作業開始予定時刻より遅くはなく、しかもその作業開始
予定時刻に最も近い製造装置に特急ロットの割付予約を
行い、この後に、割付予約をした特急ロットの工程の作
業を前記実施可能な複数の製造装置の内のいずれかで新
たにロードすべく決定されたロットの工程の作業終了予
定時間が割付予約した特急ロットの作業開始予定時刻よ
り遅くはなく、当該特急ロットの割付予約がされた製造
装置での現在作業中のロットの工程の作業終了予定時刻
より遅い時は、当該新たにロットのロードが決定された
製造装置に特急ロットの割付予約を変更し、前記割付予
約がされている製造装置に送るように選択した特急ロッ
ト以外のロットの当該割付予約がされている製造装置で
の作業終了予定時刻が特急ロットの作業開始予定時刻よ
り遅くなるときは当該選択したロットの搬送をせずに、
当該割付予約がされた製造装置を空けておくことを特徴
とするロットの搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144854A JP3527172B2 (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | ロットの搬送装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144854A JP3527172B2 (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | ロットの搬送装置および方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001325013A JP2001325013A (ja) | 2001-11-22 |
| JP3527172B2 true JP3527172B2 (ja) | 2004-05-17 |
Family
ID=18651443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000144854A Expired - Fee Related JP3527172B2 (ja) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | ロットの搬送装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3527172B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3866143B2 (ja) | 2002-04-26 | 2007-01-10 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
| JP7038907B2 (ja) * | 2019-05-16 | 2022-03-18 | 三菱電機株式会社 | 生産管理システム、生産管理装置、生産管理方法およびプログラム |
-
2000
- 2000-05-17 JP JP2000144854A patent/JP3527172B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001325013A (ja) | 2001-11-22 |
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