TW406202B - Liquid crystal display device and method for manufacture thereof - Google Patents
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Description
經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7__406202 b7______五、發明説明q ) 技術領域 本案係關於一液晶顯示器裝置,以及一製造該裝置之方 法,尤指一使用液晶光閥的投影型態液晶顯示器裝置,以 及一種製造該裝置之方法。 t知技術之描述 近年來’投影型態的液晶顯示器裝置己被認爲是一種取 代CRTs的潛在高精確度的顯示裝置的新焦點。該種投影型 態的液晶顯示器裝置己被利用於HDTV或〇 η P顯示。 投影型態的液晶顯示器裝置的投影光學系統包括—光源 ,光閥’一螢幕,光濾鏡,以及投影透鏡。液晶面板被當 做光闕使用。光閥被分爲傳輸型態光閥與反射型態光閥, 傳輸型態光閥傳輸來自光源的光線而將影像投影於螢幕, 而反射型態光閥反射來自光源的光線而將影像投影於螢幕 。既然液晶光閥通常反射/傳輸三種主要顏色光,紅(尺), 綠(G),以及藍(Β) ’在一投影型態液晶顯示裝置内係使用 了三種光閥6 不只是投影型態,動態矩陣型態的液晶顯示裝置通常包 括一陣列基板,轉換元件及連接至該轉換元件之顯示電極 設於其上,以及一相對基板,一相對電極自該陣列基板以 一預定的距離(單元間隙)面對該陣列基板。液晶被包圍在 該陣列基板與該相對基板之間。 爲了達到需要的液晶材料的光電特性,穿過面板的整個 顯示表面的預定單元間隙必須維持相等。爲此,一些裝置 使用了大量直徑爲數個微米的玻璃珠或塑膠珠散布在面板 __ _________- 4 - 本紙张尺度遑用準(CNS ) Α4規格(2wT297^if]~~ --- ^^1 In -- — -- -I ---« 1 - ml ^^^1 . I- - > »"i l < (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 — 406202 」__ 五、發明説明(2 ) ~~~— - 上,做爲隔片使用,以便使單元間距相等。然而,這種使 用隔片的方法具有珠體直徑均勻性的問題,以及隔片珠體 在面板上等距散佈的困難,並且有因爲隔片所引起像素上 光線的損失》 μ 爲取代上述隔片珠體散佈的方法,一種形成圓柱的方法 被提出,該等圓柱由一薄膜组成,且相似於單元間隙中的 隔片。在這個方法中,一氧化矽薄膜的圓柱以半導體元件 製程中常使用的光學微影技術而形成於單元間隙中,以做 爲隔片(柱狀隔片)。這種方法與習知使用珠體隔片而於其 中形成一單元間隙的方法相較下,是有高精確度的優點。 例如,在一些反射型態的液晶光閥中,一矽基板被用做 一陣列基板,於基板上有做爲轉換元件的M〇S電晶體,以 及爲每一元件所提供的|g(Al)反射薄膜連接至該轉換元件 ,且複數個柱狀隔片被形成二反射薄膜(黑矩陣)間的暗處 〇 於這種於大螢顯幕上顯示高精確度影像的投影型態的液 晶顯示器裝置中,顯示品質,如顯示亮度的改進是重要的 0 爲了改進顯示品質中的顯示亮度,子像素數字缝隙 (numerical aperture)的增加被列爲考慮。例如,在—投影型 態的液晶光閥中,柱狀隔片形成於二反射薄膜之間,且其 二端跨越該等反射薄膜,以降低該反射薄膜的反射區域, 使該子像素的數字缝隙降低。… 同樣,在形成使用這種柱狀隔片系統的單元間隙中,即 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) — — —— — i — —, —I—— — 丁 ' . 、* W .τ f 一 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁} 翅濟部中央橾率局貝工消費合作社印製 406202 ^ 五、發明説明(3 ) 使如上所述之於反射薄膜間的隔片跨越可被防止而不影響 該數字缝隙,降低顯示品質的因素仍然存在。 首先’當一具有方向性的薄膜於柱狀隔片己被形成於反 射薄膜之間後而被加壓並遭到摩擦時,該具方向性的薄膜 由於投影隔片的影響而於加壓上不相等。該特定方向的不 相等施壓使它難以獲得一種在整個表面都應相等的單元間 隙,並可能致使該單元間隙產生變化》變化的單元間隙沒 有提供自該主要單元間隙而得的不同,且影像的顯示品質 是退化的。 其次’在柱狀隔片鄰近四周内的液晶展現由於該柱狀隔 片而產生反面傾斜,且產生了擾亂方向的區域。因這方向 的干擾,方向不連續的部分被觀察到爲一條線,如己知的 非漸變(disclination),造成這種部分中對比降低,且發生 了殘餘影像》 特別是在一投影型態的液晶顯示器裝置中,既然使用三 種主要顏色,紅(R) ’綠(G)以及藍用的光閥以便顯示 放大的影像於一大螢幕上’數字缝隙的滅少,由於單元間 隙變化所產生對比的減少’以及非漸變線的產生是必要注 意的。 即使是在形成柱狀隔片的方法中,只要柱狀隔片是表現 在顯示用的像素區域,像素的液晶方向的擾亂是不能避免 的。特別是在高精確度,大螢幕投影,液晶方向的擾亂被 放得更大,並且當螢幕變大時被投影在螢幕上,造成顯示 品質的退化增加。 -6- 本紙張尺度遒用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公赛) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝
-1T 翅濟部中央棣率局貝Η消費合作社印裝 A2 〜— -—406SQ2_^__ 五、發明説明(4 ) 本發明的目的在提供一種液晶顯示器裝置,包括形成於 像素陣列區域内的柱狀隔片,該裝置藉由防止對比的退化 及殘餘影像的發生而被改進,並提供一種製造這種液晶顯 示器裝置的方法。 本發明概述 上述目的藉由一液晶顯示器裝置而達成,該裝置包括三 個顯示符合紅(R),綠(G)以及藍(B)影像的光閥,每個光 閥具有複數個形成於影像陣列區域上的柱狀光閥,以維持 一想要的單元間隙,其中,該形成於每一該三個液晶光閥 中之像素陣列區域中的柱狀隔片被設置於某些區域,於該 等區域中’當影像被投影於螢幕時,至少一部分該等柱狀 隔片沒有互相重疊。 當然,上述的目的藉由一液晶顯示器裝置而達成,其中 ’形成於每一個該三液晶光閥中之影像陣列區域的柱狀隔 片係設1於當影像被投影在螢幕時相互規則地偏移之處。 此外,上述的目的係藉由一液晶顯示器而達成,其中, 形成於每一該三液晶光閥中之影像陣列區域的柱狀隔片係 設置於當影像被投影在螢幕時,以一相等的距離相互移動 之處。 而且,上述目的藉由一製造液晶顯示器裝置的方法而達 成,包括步驟,藉由移動基板側邊的對齊記號而形成圖案 在該像素陣列區域上的電阻層,提供於其上形成像素陣列 區域的基板,並遮罩該對齊記鐃',每一紅色(R),藍色(Β) 及綠色(G)用的像素陣列區域互相以一指定的距離相對; -7- 本纸張尺度適用中賴家縣(CNS ) Α術Μ 210X297公趁} (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装
AJ ____^06202 B7 __ 五、發明説明(5 ) 利用該圖案光阻層做爲遮罩’以便餘刻下面的絕緣薄膜; 以及在該紅色(R),綠色(G)以及藍色(b )用的像素陣列區 域中形成複數個被相互偏移的柱狀隔片。 關於本發明,既然柱狀隔片於顯示品質上的干擾係藉由 避免複數個形成於每一該三液晶光闕之像素陣列區域中的 柱狀隔片的位置於螢幕上重疊而抑制,即使影像被三液晶 光閥放大及投影,液晶方向的干擾也被降低至最小。 圖式簡要描沭 圖1係部分截面圖’表示本發明之一實施例中所使用的_ 反射型態的液晶光閥的二相鄰像素; 圖2係部分頂視圖,表示一種紅色用的反射型態的液晶光 閥; 圖3係部分頂視圖,表示一種綠色用的反射型態的液晶光 閥; 圖4係部分頂視圖,表示一種藍色用的反射型態的液晶光 閥; 圖5係一圖形圖式,表示—種使用根據本發明實施例之反 射型態液晶光閥的反射型態的液晶顯示器裝置; 圖6係圖2-4所表示的三個光閥的堆疊像素陣列區域4的 透視投影; 圖7係一頂視圖,表示形成於矽基板2表面的像素陣列區 域4的一部分; 圖8表示了本發明實施例中所棱用的柱狀隔片的圖案遮罩 3 2的圖式; -8- 本紙張尺度ϋ用巾家縣(CNS) A4^ (2咖297公整) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 經濟部中央標準局員工消费合作杜印裝 406202 b7__ 五、發明説明(6 ) 圖9表示了紅色用的液晶光閥的柱狀隔片之圖案的圖式; 圖10表示了綠色用的液晶光閥的柱狀隔片之圖案的圖 式; 圖11表示了藍色用的液晶光閥的柱狀隔片之圖案的圖 式。 符號説明 2... 矽基板; 4 ...像素陣列區域; 6.·· 像素; 8 ...黑矩陣; 10、 1 2、1 4 ...柱狀隔片; 16、 18、20、24 ' 26、28 、3 0 ...對齊子標記; 22.. ,.對齊標記; 3 0...標記; 32.. .圖案遮罩; 34...圖案; 42. _ .光源; 44...極化光束分離鏡; 46.. .色彩分離稜鏡; 48...紅色用反射型態光閥; 50.· .綠色用反射型態光閥; 52...藍色用反射型態光閥 54. _ .投影透鏡; 1 0 0 ...基板; 102 ...氧化矽薄膜; 1 0 4 ...電晶體; 106 ..·光吸收層; 1 0 8 ...氮化矽薄膜; 110 ...鎢釘; II2··.光反射薄膜; 1 14 ...背反電極; 116...坡璃保護基板; 118 ...柱狀隔片; 1 2 0 · · ·液晶層; 122 ...液晶分子。 本發明的#細描述 一種依據本發明一實施例的液晶顯示器裝置及製造該裝 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公嫠) 1^— ι^ϋ -I- I -1 —1 -- —^n i n^i - ml Ϊ I 一SJ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣隼局貝工消费合作社印装 406202 ΑΊ Β7 五、發明説明(7 ) 置的方法將參考圖1-11而被描述。 圖1係一部分截面圖,表示此實施例中所使用之反射型態 的液晶光閥之二相鄰的像素。 一電晶體104形成於一矽基板100上,其細部圖式被省略 。於珍基板100及電晶體104之上形成一具有大約2微米厚 的氧化矽薄膜102,以及光吸收層106 »光吸收層1〇6之上 形成了一具有大約5,〇〇〇埃(A)厚度的氮化矽薄膜1〇8,薄 膜108之上形成了一由鋁所組成,厚度爲ι,5〇〇埃的光反射 薄膜1 1 2 〇 光反射薄膜112係電晶體104的源極電極(未示出),藉由 埋藏鎢釘1 1〇於穿過氧化珍薄膜102及氮化珍薄膜log所形 成的穿透洞中,並且示如驅動液晶用的顯示器般動作。一 光反射薄膜112創建了一顯示像素的子像素。 於相鄰的光反射薄膜1 1 2之間(距離:大約1 7微米)並無 形成銘層,且如圖丨所示,大约5微米高的氧化矽薄膜層的 柱狀隔片118被形成於二特定光反射薄膜112之間。 在圖1的截面圖中,大約1微米的柱狀隔片118跨越至該 光反射薄膜112之二側。一玻璃保護基板,就是相對基板 ,被形成於隔片118的另一端。於玻璃保護基板116的光 反射薄膜側邊的整個表面之上形成了一相對電極丨丨4。液 晶被包圍在由隔片所產生大約5微米厚的單元間隙之間, 而形成一液晶層12〇。 電晶體104是一個FET(場效杳晶體),包括一源極電極 ’一汲極電極連接至一資料線,以及一閘極電極連接至一 _____ -10- 本紙張尺度適财爾格(21GX297公楚)-----—— I I I I I n 一 裝 訂—w (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局K工消費合作社印製 406202 $ 五、發明説明(8 ) 掃描線(未示出),並且如同一供給電壓的轉換元件般動作 ,當閘楛處於ON-狀態時壓迫該資料線至該光反射薄膜 1 1 2 ’亦即該顯示電極。 當電晶體104導通時,藉由改變光施加於光反射薄膜n2 (其爲顯示電極)與背反電極丨〗4間之電壓而變化液晶分子 1 22之方位來改變光傳輸係數,自坡璃保護基板丨丨6側入 射(光被傳送至光反射薄膜112,被反射,而允許再經由 玻璃保護基板116而出去,或使不被傳送而執行顯示乂用 〇 圖2-4表示反射型態的液晶光閥的部分頂視圖。圖2表示 一種紅色用的反射型態液晶光閥;圖3表示一種綠色用的 反射型悲液晶光閥;圖4表示一種藍色的反射型態液晶光 閥。 在這些圖式中,反射型態光閥之像素陣列區域的相同部 分將被表示出來。一像素陣列區域4形成於反射型態液晶 光閥的陣列側面基板2之上。該像素陣列區域4具有如圖^ 所示的像素,垂直及水平地排列,如同,例如,一個2,〇 〇 〇 2,000的矩陣。在這些圖中,這個區域的一部分被表示出來 〇 於相鄰像素6之間,有一個光遮蔽區域的黑矩陣8。如圖 2所示,邓分该反射型態液晶光閥的柱狀隔片1 〇跨越四個 與黑矩陣8的交點相鄰的四個像素6。 因此,在上方被該柱狀隔片的部分所跨越的四個像素 6中之光反射薄膜光反射區域被降低,而該數字縫隙被減 ___ - 11 - ;紙張尺度賴_^7^_ ( 2lQx29^y ---------笑------Γ T - -6 -,/m\ 一 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 ----- 4QG2Q2 B7___ 一 五、發明説明(9 ) 少。同樣,在四個像素6的具方向性薄.膜上可能會不相等 。此外’由於這區域的方向干擾,可能發生非漸變。 複數個柱狀隔片1 〇在形成矩陣的列及行方向,形成於9 個像素的頂點。因此,大約50,000個柱狀隔片10被形成於 整個像素陣列區域4。 在圖3及圖4中,如圖2所示,柱狀隔片12及14分別形成 於綠色與藍色用的反射型態液晶光閥的像素陣列區域。而 綠色用光閥的柱狀隔片12,在列( + X)與行( + γ)方向,被 設置於與圖2左下方所表示的紅色用光閥的隔片1 〇相距, 例如,3個像素空間之處。 同樣地’藍色用光閥的柱狀隔片壁1 4,在列(+ X )與行 ( + Y)方向,被設置於與紅色用光閥之柱狀隔片1〇相距6個 像素空間之處,因此,在列(+ X )與行(+ γ )方向與綠色用 光閥之柱狀隔片1 2相距3個像素空間。 於其中結合這些紅色,綠色及藍色用的反射型態液晶光 閥的投影型態液晶顯示器裝置將參照5而被描述。圖5係一 種使用依據這個實施例之反射型態液晶光閥的投影型態液 晶顯示器裝置。 自光源4 2線性極化前進的光被一極化光束分離鏡4 4反射 ’而進入一色彩分離棱鏡46,光束在稜鏡中被分爲三種主 要顏色,紅(R),綠(G)以及藍(B),該等顏色光分別被射 入紅色(R),綠色(G) ’及藍色(B)用的反射型態光閥48、 50 ' 52 » 一 藉由每一反射型態而爲每一子像素之亮度調變用的光線 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4現格(210 X 297公釐) -I —1 I- ί -I -I — 1- - -1— . 士^III — 1 --1 I 1^1 - 0¾ 、νβ * - -(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明( 10 406202 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印製 被反射,且再次進入色彩分離稜鏡46 於其中由原始的極 化光被偏移9 0 °後而成爲線性極化光,並被入射於極化光 束分離鏡44。來自反射型態液晶光閥48、50及52的反射 光通過極化光束分離鏡44而被射入投影透鏡54,被放大及 投影於螢幕56。 圖6是圖2-4中所表示的三種光閥之堆叠像素陣列區域4 的透視投影圖。藉由放置如上所述的柱狀隔片1〇,12,所 有的隔片被規則一偏移,不重疊的排列。就是説,當影像 被使用投影型態液晶顯示器裝置而投影時,影像以圖6中 的形態被投影至螢幕56。 藉由二種顏色用之液晶光閥的柱狀隔片的排列,柱狀隔 片的影響,如數字缝隙的降低,不相等的方向性薄膜,以 及方向干擾所引起的非漸變的產生,都可被抑制,而例如 對比降低或殘餘影像的問題尤其可被消除。 其次,一種製造本實施例所使用之反射型態液晶光閥的 方法將參照圖7至1 1而被描述。 既然製造符合這實施例之反射型態光閥用之方法的最大 特徵是形成柱狀隔片的方法,這將被主要的描述,而與習 知製造方法相同的製程,如陣列基板側面内的元件形成, 柱狀隔片形成後的陣列基板與相對基板間的接合,以及液 晶的注入等,將被省略。 圖7係-頂視圖,表示了於硬基板2之表面上所形成的像 素陣列區域4#部分。大部分反射薄膜6的垂直光線係於 如同-矩陣的像素陣列區域4中形成,而具有光遮蔽功能 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) -13 ---HH 1 - HI —^n ) i l HI - — m I - - ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 406202 A7 B7 11 五、發明説明( 的黑矩陣8係形成於光反射薄膜6之間。.在後段製程中用以 切出基板的一條標記線(未示出)被形成於γ方向,該像素 陣列區域4的左邊,而在形成柱狀隔片時所使用於陣列側 邊内的對齊標記22被形成圖案於標記線内預先描述的位置 〇 這些陣列基板側面内的對齊標記2 2包括對齊子標記丨6, 18以及20,被使用於形成先前所描述紅色(R),綠色(◦) ,及藍色(B)用的反射型態液晶光閥的柱狀隔片。以這實 施例爲例,這些子標記在γ方向,自底部丨3個像素的距離 ’以藍、綠以及紅的次序排列。 圖8表示了用於這個實施例中之柱狀隔片的圖案遮罩32 。隔片遮罩32包括,例如,一穿透玻璃基板,於其上形成 ,例如,鉻的圓形圖案3 4,以在矩陣中形成柱狀隔片圖案 。圖案34於本實施例中被設置於9個像素的每一距離。 使用在柱狀隔片的圖案中之遮罩侧面的對齊標記3 〇係形 成於圖案3 4相對於圖7中所示之陣列基板側面的對齊標記 22之左邊。 遮軍側面的對齊標記30包括對齊子標記24,26及28, 被使用於形成先前所述的紅(R),綠((}),以及藍(B)用的 反射型態液晶光閥的柱狀隔片。舉例而言,在本實施例中 ,這些子標記自底部左邊,於χ方向的3個像素的距離,及 Υ方向的1 0個像素的距離,以藍、綠及紅之次序排列。 一形成柱狀隔片用的,例如,5微米厚的氧化矽薄膜,以 電漿化學汽相沉積法(C VD)沉積於圖7中所示的矽基板2之 n 裝 ----沐 _ - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印11 14- A740C202 B7 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 五、發明説明(12) 整個表面。其次,上一道正光阻,例如4微米厚,於該整 個表面,以形成一光阻層。 具有氧化矽薄膜及光阻層在其上面的矽基板2被放在例如 光軍對齊機(未示出)之類的曝光設備的X-Y台座上,而圖8 中的光罩32係放置在該曝光設備的台座及光源之間。 圖9係一表示紅色用液晶光閥之柱狀隔片的圖案圖式。 曝光設備的X - Y台座被移動,以便使基板側面對齊標記 2 2的紅色用對齊子標記丨6與光軍侧面對齊標記3 〇的紅色 用對齊子標記24對齊,而完成曝光。 於曝光後,圖案佈局完成,以便於形成柱狀隔片之區域 的上面形成電阻層以做爲蝕刻光罩。其後,使用此電阻層 做爲光罩來蝕刻氧化矽薄膜,以完成想要的柱狀隔片1 〇。 當爲形成紅色光閥用的基板曝光己被完成時,基板被自 曝光設備的台座上移走,另一片上方已形成有氧化z夕薄膜 及光阻層的妙基板2被設置在曝光設備的χ_γ台座,而完 成綠色用光閥的基板曝光。 曝光設備的X - Υ台座被移動,以便使基板側面對齊標記 2 2的綠色用對齊子標記1 8與光罩側面對齊標記3 〇的綠色 用對齊子標記2 6對齊,而完成曝光。 於曝光後’圖案佈局完成’以便於形成柱狀隔片之區域 的上面形成電阻層以做爲蚀刻光罩。其後,使用此電阻層 做爲光罩來姓刻氧化矽薄膜,以完成想要的柱狀隔片1 2。 進一步而言’當形成綠色用光閥用的基板曝光己被完成 時,基板被自曝光設備的台座上移走,另一片上方己形成 -15- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈 -:° 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公f ) A7 406202 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 五、發明説明(13 有氧化梦薄膜及光阻層的梦基板2被設置在曝光設備的 Υ台座,而完成藍色用光閥的曝光,如圖11所示。 曝光設備的X - Υ台座被移動,以使基板侧面對齊標記2 2 的綠色用對齊予標記20與光罩侧面對齊標記30的藍色用對 齊子標記28對齊,而完成曝光。 在曝光芫成後’圖案佈局完成,以便於形成柱狀隔片之 區域的上面形成電阻層以做爲蝕刻光罩。其後,使用此電 阻層做爲光罩來蝕刻氧化矽薄膜,以完成想要的柱狀隔片 14。 因此’根據此實施例的爲製造柱狀隔片用的方法,利用 單一光罩可使柱狀隔片形成在紅色、綠色以及藍色用光閥 的像素陣列區域内的指定偏移位置。 既然本實施例形成柱狀隔片用的方法增加極少的額外習 知步驟,且又不需提供複數個光罩,這方法亦是具經濟效 益的。 本發明並不受限於上述實施例,多種的變化是有可能的 〇 1 例如’雖然每種顏色光閥的柱狀隔片的位置以一定的指 定距離移動,柱狀隔片可形成於隨意位置’因爲只要每一 種顏色用的光閥的柱狀隔片處於互相不重疊的區域即已足 夠。 雖然’爲易於描述而該對齊標記爲交叉型,任意形狀的 標記都可被使用,只要實際上可·完成。 在上述的實施例中,雖然陣列基板側面對齊子標記22間 II n H - II - —'1氏 I I I I__丁 * 3, 言 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 16- 表紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ 297公釐 40Q202 五、發明説明(14 ) 於γ方面的距離爲13個像素的長度,而光罩側面對齊枵 3〇(子標記之間於χ方向的距離是3個像素長,而於γ 距離是10個像素長,這些並不被限制於上述的値。 " 在上述的實施财,既料個顏色用的柱狀隔片間的距 離被決足爲在X與γ方向皆爲3個像素的長度,對齊光罩被 形成,以便陣列基板與光罩於χΑγ方向以3個像素的長^ 相對位移。就是説,可提供對應每—種顏色用的柱狀隔片 的位移量而相互移動的對齊標記。 進了步於上述實施例中,雖然柱狀隔片是藉由移動對齊 標記於下面的矽基板之上而形成圖案,隔片標記也可被移 動.,或是對齊標記與隔片標記二者都可被移動,或是對齊 I己與隔片標記:者都可被移動,因爲下面的對齊標記與 隔片光罩側面對齊標記也可以依指定的量而相對移動。 本發明的#點 如上所述,根據本發明的方法,藉由防止對比的退化及 殘餘&像的發生,而提供了—種具有改善的顯示特質的液 晶顯示器裝置。
Claims (1)
- 經濟部t央梂準局貞工消費合作社印製 六、申請專利範圍 406202 1. 一種液晶顯示器裝置,包括三個液晶光閥’用以顯示對 應於紅(R),綠(G)以及藍(B)的影像,每個光閥具有多 個柱狀隔片形成於像素陣列區域,以維持一指定的單元 間隙,其中, 該等柱狀隔片為形成於該三個液晶光閥之每一個内的 像素陣列區域中,而被設置在當影像投影至螢幕時,至 少一部分的該等柱狀隔片不相互重疊之區域。 2. 根據申請專利範圍第1項的液晶顯示器裝置,其中 該等柱狀隔片為形成於該三個液晶光閥之每一個内的 像素陣列區域中,而被設置在當影像投影至螢幕時,互 相規則偏移之區域。 3. 根據申請專利範圍第2項的液晶顯示器裝置,其中 該等柱狀隔片為形成於該三個液晶光閥之每一個内的 像素陣列區域中’被設置在當影像投影至螢幕時,以相 同距離互相偏移的區域。 4. 根據申請專利範圍第1至3項中任一項的液晶顯示器裝 置,其中 該等柱狀隔片為形成於該像素陣列區域中之每一個的 多個像素之間的光遮蔽區域中。 5. —種製造液晶顯示器裝置的方法,包括步驟: 形成圖案在像素陣列區域上方的一電阻層,藉由移動 基板侧面對齊標記,電阻層被形成在其上方形成有像素 陣列區域的基板上’遮罩被設置在形成柱狀隔片用的遮 罩上的側面對齊標記,對應於每一個紅(叫色,綠(G)色 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本寊 I裝-----_--^-----—線---Μ--Γ~--------(210X297公釐) AB B8 C8 D8 申請專利範圍 以及藍(B)色用的像素陣列庶往 . 區域用的孩基板側面 記,互相以一預定距離相對; ' 利用該圖案電阻層做爲遮罩,蚀刻下面的絕緣薄膜; 以及 形成多個相互偏移的柱狀隔片於每一該紅(R )色,綠 (G)色及藍(B)色用的像素陣列區域中。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -褽· i" 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -19- 本紙張尺度適用中國國家標牟(CNS ) A4規格(210X297公釐〉
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