TW406202B - Liquid crystal display device and method for manufacture thereof - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7__406202 b7______五、發明説明q ) 技術領域 本案係關於一液晶顯示器裝置，以及一製造該裝置之方 法，尤指一使用液晶光閥的投影型態液晶顯示器裝置，以 及一種製造該裝置之方法。 t知技術之描述 近年來’投影型態的液晶顯示器裝置己被認爲是一種取 代CRTs的潛在高精確度的顯示裝置的新焦點。該種投影型 態的液晶顯示器裝置己被利用於HDTV或〇 η P顯示。 投影型態的液晶顯示器裝置的投影光學系統包括—光源 ，光閥’一螢幕，光濾鏡，以及投影透鏡。液晶面板被當 做光闕使用。光閥被分爲傳輸型態光閥與反射型態光閥， 傳輸型態光閥傳輸來自光源的光線而將影像投影於螢幕， 而反射型態光閥反射來自光源的光線而將影像投影於螢幕 。既然液晶光閥通常反射/傳輸三種主要顏色光，紅（尺）， 綠（G)，以及藍（Β) ’在一投影型態液晶顯示裝置内係使用 了三種光閥6 不只是投影型態，動態矩陣型態的液晶顯示裝置通常包 括一陣列基板，轉換元件及連接至該轉換元件之顯示電極 設於其上，以及一相對基板，一相對電極自該陣列基板以 一預定的距離（單元間隙）面對該陣列基板。液晶被包圍在 該陣列基板與該相對基板之間。 爲了達到需要的液晶材料的光電特性，穿過面板的整個 顯示表面的預定單元間隙必須維持相等。爲此，一些裝置 使用了大量直徑爲數個微米的玻璃珠或塑膠珠散布在面板 __ _________- 4 - 本紙张尺度遑用準(CNS ) Α4規格(2wT297^if]~~ --- ^^1 In -- — -- -I ---« 1 - ml ^^^1 . I- - > »"i l < (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 — 406202 」__ 五、發明説明（2 ) ~~~— - 上，做爲隔片使用，以便使單元間距相等。然而，這種使 用隔片的方法具有珠體直徑均勻性的問題，以及隔片珠體 在面板上等距散佈的困難，並且有因爲隔片所引起像素上 光線的損失》 μ 爲取代上述隔片珠體散佈的方法，一種形成圓柱的方法 被提出，該等圓柱由一薄膜组成，且相似於單元間隙中的 隔片。在這個方法中，一氧化矽薄膜的圓柱以半導體元件 製程中常使用的光學微影技術而形成於單元間隙中，以做 爲隔片（柱狀隔片）。這種方法與習知使用珠體隔片而於其 中形成一單元間隙的方法相較下，是有高精確度的優點。 例如，在一些反射型態的液晶光閥中，一矽基板被用做 一陣列基板，於基板上有做爲轉換元件的M〇S電晶體，以 及爲每一元件所提供的|g(Al)反射薄膜連接至該轉換元件 ，且複數個柱狀隔片被形成二反射薄膜（黑矩陣）間的暗處 〇 於這種於大螢顯幕上顯示高精確度影像的投影型態的液 晶顯示器裝置中，顯示品質，如顯示亮度的改進是重要的 0 爲了改進顯示品質中的顯示亮度，子像素數字缝隙 (numerical aperture)的增加被列爲考慮。例如，在—投影型 態的液晶光閥中，柱狀隔片形成於二反射薄膜之間，且其 二端跨越該等反射薄膜，以降低該反射薄膜的反射區域， 使該子像素的數字缝隙降低。… 同樣，在形成使用這種柱狀隔片系統的單元間隙中，即 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — — —— — i — —， —I—— — 丁 ' . 、* W .τ f 一 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁} 翅濟部中央橾率局貝工消費合作社印製 406202 ^ 五、發明説明（3 ) 使如上所述之於反射薄膜間的隔片跨越可被防止而不影響 該數字缝隙，降低顯示品質的因素仍然存在。 首先’當一具有方向性的薄膜於柱狀隔片己被形成於反 射薄膜之間後而被加壓並遭到摩擦時，該具方向性的薄膜 由於投影隔片的影響而於加壓上不相等。該特定方向的不 相等施壓使它難以獲得一種在整個表面都應相等的單元間 隙，並可能致使該單元間隙產生變化》變化的單元間隙沒 有提供自該主要單元間隙而得的不同，且影像的顯示品質 是退化的。 其次’在柱狀隔片鄰近四周内的液晶展現由於該柱狀隔 片而產生反面傾斜，且產生了擾亂方向的區域。因這方向 的干擾，方向不連續的部分被觀察到爲一條線，如己知的 非漸變（disclination)，造成這種部分中對比降低，且發生 了殘餘影像》 特別是在一投影型態的液晶顯示器裝置中，既然使用三 種主要顏色，紅（R) ’綠（G)以及藍用的光閥以便顯示 放大的影像於一大螢幕上’數字缝隙的滅少，由於單元間 隙變化所產生對比的減少’以及非漸變線的產生是必要注 意的。 即使是在形成柱狀隔片的方法中，只要柱狀隔片是表現 在顯示用的像素區域，像素的液晶方向的擾亂是不能避免 的。特別是在高精確度，大螢幕投影，液晶方向的擾亂被 放得更大，並且當螢幕變大時被投影在螢幕上，造成顯示 品質的退化增加。 -6- 本紙張尺度遒用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公赛） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝

-1T 翅濟部中央棣率局貝Η消費合作社印裝 A2 〜— -—406SQ2_^__ 五、發明説明（4 ) 本發明的目的在提供一種液晶顯示器裝置，包括形成於 像素陣列區域内的柱狀隔片，該裝置藉由防止對比的退化 及殘餘影像的發生而被改進，並提供一種製造這種液晶顯 示器裝置的方法。 本發明概述 上述目的藉由一液晶顯示器裝置而達成，該裝置包括三 個顯示符合紅（R)，綠（G)以及藍（B)影像的光閥，每個光 閥具有複數個形成於影像陣列區域上的柱狀光閥，以維持 一想要的單元間隙，其中，該形成於每一該三個液晶光閥 中之像素陣列區域中的柱狀隔片被設置於某些區域，於該 等區域中’當影像被投影於螢幕時，至少一部分該等柱狀 隔片沒有互相重疊。 當然，上述的目的藉由一液晶顯示器裝置而達成，其中 ’形成於每一個該三液晶光閥中之影像陣列區域的柱狀隔 片係設1於當影像被投影在螢幕時相互規則地偏移之處。 此外，上述的目的係藉由一液晶顯示器而達成，其中， 形成於每一該三液晶光閥中之影像陣列區域的柱狀隔片係 設置於當影像被投影在螢幕時，以一相等的距離相互移動 之處。 而且，上述目的藉由一製造液晶顯示器裝置的方法而達 成，包括步驟，藉由移動基板側邊的對齊記號而形成圖案 在該像素陣列區域上的電阻層，提供於其上形成像素陣列 區域的基板，並遮罩該對齊記鐃'，每一紅色（R)，藍色（Β) 及綠色（G)用的像素陣列區域互相以一指定的距離相對； -7- 本纸張尺度適用中賴家縣（CNS ) Α術Μ 210X297公趁} (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装

AJ ____^06202 B7 __ 五、發明説明（5 ) 利用該圖案光阻層做爲遮罩’以便餘刻下面的絕緣薄膜； 以及在該紅色（R)，綠色（G)以及藍色（b )用的像素陣列區 域中形成複數個被相互偏移的柱狀隔片。 關於本發明，既然柱狀隔片於顯示品質上的干擾係藉由 避免複數個形成於每一該三液晶光闕之像素陣列區域中的 柱狀隔片的位置於螢幕上重疊而抑制，即使影像被三液晶 光閥放大及投影，液晶方向的干擾也被降低至最小。 圖式簡要描沭 圖1係部分截面圖’表示本發明之一實施例中所使用的_ 反射型態的液晶光閥的二相鄰像素； 圖2係部分頂視圖，表示一種紅色用的反射型態的液晶光 閥； 圖3係部分頂視圖，表示一種綠色用的反射型態的液晶光 閥； 圖4係部分頂視圖，表示一種藍色用的反射型態的液晶光 閥； 圖5係一圖形圖式，表示—種使用根據本發明實施例之反 射型態液晶光閥的反射型態的液晶顯示器裝置； 圖6係圖2-4所表示的三個光閥的堆疊像素陣列區域4的 透視投影； 圖7係一頂視圖，表示形成於矽基板2表面的像素陣列區 域4的一部分； 圖8表示了本發明實施例中所棱用的柱狀隔片的圖案遮罩 3 2的圖式； -8- 本紙張尺度ϋ用巾家縣（CNS) A4^ (2咖297公整） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 經濟部中央標準局員工消费合作杜印裝 406202 b7__ 五、發明説明（6 ) 圖9表示了紅色用的液晶光閥的柱狀隔片之圖案的圖式； 圖10表示了綠色用的液晶光閥的柱狀隔片之圖案的圖 式； 圖11表示了藍色用的液晶光閥的柱狀隔片之圖案的圖 式。 符號説明 2... 矽基板； 4 ...像素陣列區域； 6.·· 像素； 8 ...黑矩陣； 10、 1 2、1 4 ...柱狀隔片； 16、 18、20、24 ' 26、28 、3 0 ...對齊子標記； 22.. ,.對齊標記； 3 0...標記； 32.. .圖案遮罩； 34...圖案； 42. _ .光源； 44...極化光束分離鏡； 46.. .色彩分離稜鏡； 48...紅色用反射型態光閥； 50.· .綠色用反射型態光閥； 52...藍色用反射型態光閥 54. _ .投影透鏡； 1 0 0 ...基板； 102 ...氧化矽薄膜； 1 0 4 ...電晶體； 106 ..·光吸收層； 1 0 8 ...氮化矽薄膜； 110 ...鎢釘； II2··.光反射薄膜； 1 14 ...背反電極； 116...坡璃保護基板； 118 ...柱狀隔片； 1 2 0 · · ·液晶層； 122 ...液晶分子。 本發明的#細描述 一種依據本發明一實施例的液晶顯示器裝置及製造該裝 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 1^— ι^ϋ -I- I -1 —1 -- —^n i n^i - ml Ϊ I 一SJ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣隼局貝工消费合作社印装 406202 ΑΊ Β7 五、發明説明（7 ) 置的方法將參考圖1-11而被描述。 圖1係一部分截面圖，表示此實施例中所使用之反射型態 的液晶光閥之二相鄰的像素。 一電晶體104形成於一矽基板100上，其細部圖式被省略 。於珍基板100及電晶體104之上形成一具有大約2微米厚 的氧化矽薄膜102，以及光吸收層106 »光吸收層1〇6之上 形成了一具有大約5,〇〇〇埃（A)厚度的氮化矽薄膜1〇8，薄 膜108之上形成了一由鋁所組成，厚度爲ι，5〇〇埃的光反射 薄膜1 1 2 〇 光反射薄膜112係電晶體104的源極電極（未示出），藉由 埋藏鎢釘1 1〇於穿過氧化珍薄膜102及氮化珍薄膜log所形 成的穿透洞中，並且示如驅動液晶用的顯示器般動作。一 光反射薄膜112創建了一顯示像素的子像素。 於相鄰的光反射薄膜1 1 2之間（距離：大約1 7微米）並無 形成銘層，且如圖丨所示，大约5微米高的氧化矽薄膜層的 柱狀隔片118被形成於二特定光反射薄膜112之間。 在圖1的截面圖中，大約1微米的柱狀隔片118跨越至該 光反射薄膜112之二側。一玻璃保護基板，就是相對基板 ，被形成於隔片118的另一端。於玻璃保護基板116的光 反射薄膜側邊的整個表面之上形成了一相對電極丨丨4。液 晶被包圍在由隔片所產生大約5微米厚的單元間隙之間， 而形成一液晶層12〇。 電晶體104是一個FET(場效杳晶體），包括一源極電極 ’一汲極電極連接至一資料線，以及一閘極電極連接至一 _____ -10- 本紙張尺度適财爾格（21GX297公楚)-----—— I I I I I n 一 裝 訂—w (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局K工消費合作社印製 406202 $ 五、發明説明（8 ) 掃描線（未示出），並且如同一供給電壓的轉換元件般動作 ，當閘楛處於ON-狀態時壓迫該資料線至該光反射薄膜 1 1 2 ’亦即該顯示電極。 當電晶體104導通時，藉由改變光施加於光反射薄膜n2 (其爲顯示電極）與背反電極丨〗4間之電壓而變化液晶分子 1 22之方位來改變光傳輸係數，自坡璃保護基板丨丨6側入 射（光被傳送至光反射薄膜112，被反射，而允許再經由 玻璃保護基板116而出去，或使不被傳送而執行顯示乂用 〇 圖2-4表示反射型態的液晶光閥的部分頂視圖。圖2表示 一種紅色用的反射型態液晶光閥；圖3表示一種綠色用的 反射型悲液晶光閥；圖4表示一種藍色的反射型態液晶光 閥。 在這些圖式中，反射型態光閥之像素陣列區域的相同部 分將被表示出來。一像素陣列區域4形成於反射型態液晶 光閥的陣列側面基板2之上。該像素陣列區域4具有如圖^ 所示的像素，垂直及水平地排列，如同，例如，一個2，〇 〇 〇 2,000的矩陣。在這些圖中，這個區域的一部分被表示出來 〇 於相鄰像素6之間，有一個光遮蔽區域的黑矩陣8。如圖 2所示，邓分该反射型態液晶光閥的柱狀隔片1 〇跨越四個 與黑矩陣8的交點相鄰的四個像素6。 因此，在上方被該柱狀隔片的部分所跨越的四個像素 6中之光反射薄膜光反射區域被降低，而該數字縫隙被減 ___ - 11 - ;紙張尺度賴_^7^_ ( 2lQx29^y ---------笑------Γ T - -6 -,/m\ 一 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 ----- 4QG2Q2 B7___ 一 五、發明説明（9 ) 少。同樣，在四個像素6的具方向性薄.膜上可能會不相等 。此外’由於這區域的方向干擾，可能發生非漸變。 複數個柱狀隔片1 〇在形成矩陣的列及行方向，形成於9 個像素的頂點。因此，大約50,000個柱狀隔片10被形成於 整個像素陣列區域4。 在圖3及圖4中，如圖2所示，柱狀隔片12及14分別形成 於綠色與藍色用的反射型態液晶光閥的像素陣列區域。而 綠色用光閥的柱狀隔片12，在列（ + X)與行（ + γ)方向，被 設置於與圖2左下方所表示的紅色用光閥的隔片1 〇相距， 例如，3個像素空間之處。 同樣地’藍色用光閥的柱狀隔片壁1 4，在列（+ X )與行 ( + Y)方向，被設置於與紅色用光閥之柱狀隔片1〇相距6個 像素空間之處，因此，在列（+ X )與行（+ γ )方向與綠色用 光閥之柱狀隔片1 2相距3個像素空間。 於其中結合這些紅色，綠色及藍色用的反射型態液晶光 閥的投影型態液晶顯示器裝置將參照5而被描述。圖5係一 種使用依據這個實施例之反射型態液晶光閥的投影型態液 晶顯示器裝置。 自光源4 2線性極化前進的光被一極化光束分離鏡4 4反射 ’而進入一色彩分離棱鏡46，光束在稜鏡中被分爲三種主 要顏色，紅（R)，綠（G)以及藍（B)，該等顏色光分別被射 入紅色（R)，綠色（G) ’及藍色（B)用的反射型態光閥48、 50 ' 52 » 一 藉由每一反射型態而爲每一子像素之亮度調變用的光線 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格（210 X 297公釐） -I —1 I- ί -I -I — 1- - -1— . 士^III — 1 --1 I 1^1 - 0¾ 、νβ * - -(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（ 10 406202 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印製 被反射，且再次進入色彩分離稜鏡46 於其中由原始的極 化光被偏移9 0 °後而成爲線性極化光，並被入射於極化光 束分離鏡44。來自反射型態液晶光閥48、50及52的反射 光通過極化光束分離鏡44而被射入投影透鏡54，被放大及 投影於螢幕56。 圖6是圖2-4中所表示的三種光閥之堆叠像素陣列區域4 的透視投影圖。藉由放置如上所述的柱狀隔片1〇，12，所 有的隔片被規則一偏移，不重疊的排列。就是説，當影像 被使用投影型態液晶顯示器裝置而投影時，影像以圖6中 的形態被投影至螢幕56。 藉由二種顏色用之液晶光閥的柱狀隔片的排列，柱狀隔 片的影響，如數字缝隙的降低，不相等的方向性薄膜，以 及方向干擾所引起的非漸變的產生，都可被抑制，而例如 對比降低或殘餘影像的問題尤其可被消除。 其次，一種製造本實施例所使用之反射型態液晶光閥的 方法將參照圖7至1 1而被描述。 既然製造符合這實施例之反射型態光閥用之方法的最大 特徵是形成柱狀隔片的方法，這將被主要的描述，而與習 知製造方法相同的製程，如陣列基板側面内的元件形成， 柱狀隔片形成後的陣列基板與相對基板間的接合，以及液 晶的注入等，將被省略。 圖7係-頂視圖，表示了於硬基板2之表面上所形成的像 素陣列區域4#部分。大部分反射薄膜6的垂直光線係於 如同-矩陣的像素陣列區域4中形成，而具有光遮蔽功能 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) -13 ---HH 1 - HI —^n ) i l HI - — m I - - ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 406202 A7 B7 11 五、發明説明（ 的黑矩陣8係形成於光反射薄膜6之間。.在後段製程中用以 切出基板的一條標記線（未示出）被形成於γ方向，該像素 陣列區域4的左邊，而在形成柱狀隔片時所使用於陣列側 邊内的對齊標記22被形成圖案於標記線内預先描述的位置 〇 這些陣列基板側面内的對齊標記2 2包括對齊子標記丨6， 18以及20，被使用於形成先前所描述紅色（R)，綠色（◦) ，及藍色（B)用的反射型態液晶光閥的柱狀隔片。以這實 施例爲例，這些子標記在γ方向，自底部丨3個像素的距離 ’以藍、綠以及紅的次序排列。 圖8表示了用於這個實施例中之柱狀隔片的圖案遮罩32 。隔片遮罩32包括，例如，一穿透玻璃基板，於其上形成 ，例如，鉻的圓形圖案3 4，以在矩陣中形成柱狀隔片圖案 。圖案34於本實施例中被設置於9個像素的每一距離。 使用在柱狀隔片的圖案中之遮罩侧面的對齊標記3 〇係形 成於圖案3 4相對於圖7中所示之陣列基板側面的對齊標記 22之左邊。 遮軍側面的對齊標記30包括對齊子標記24，26及28， 被使用於形成先前所述的紅（R)，綠（(})，以及藍（B)用的 反射型態液晶光閥的柱狀隔片。舉例而言，在本實施例中 ，這些子標記自底部左邊，於χ方向的3個像素的距離，及 Υ方向的1 0個像素的距離，以藍、綠及紅之次序排列。 一形成柱狀隔片用的，例如，5微米厚的氧化矽薄膜，以 電漿化學汽相沉積法（C VD)沉積於圖7中所示的矽基板2之 n 裝 ----沐 _ - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印11 14- A740C202 B7 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 五、發明説明（12) 整個表面。其次，上一道正光阻，例如4微米厚，於該整 個表面，以形成一光阻層。 具有氧化矽薄膜及光阻層在其上面的矽基板2被放在例如 光軍對齊機（未示出）之類的曝光設備的X-Y台座上，而圖8 中的光罩32係放置在該曝光設備的台座及光源之間。 圖9係一表示紅色用液晶光閥之柱狀隔片的圖案圖式。 曝光設備的X - Y台座被移動，以便使基板側面對齊標記 2 2的紅色用對齊子標記丨6與光軍侧面對齊標記3 〇的紅色 用對齊子標記24對齊，而完成曝光。 於曝光後，圖案佈局完成，以便於形成柱狀隔片之區域 的上面形成電阻層以做爲蝕刻光罩。其後，使用此電阻層 做爲光罩來蝕刻氧化矽薄膜，以完成想要的柱狀隔片1 〇。 當爲形成紅色光閥用的基板曝光己被完成時，基板被自 曝光設備的台座上移走，另一片上方已形成有氧化z夕薄膜 及光阻層的妙基板2被設置在曝光設備的χ_γ台座，而完 成綠色用光閥的基板曝光。 曝光設備的X - Υ台座被移動，以便使基板側面對齊標記 2 2的綠色用對齊子標記1 8與光罩側面對齊標記3 〇的綠色 用對齊子標記2 6對齊，而完成曝光。 於曝光後’圖案佈局完成’以便於形成柱狀隔片之區域 的上面形成電阻層以做爲蚀刻光罩。其後，使用此電阻層 做爲光罩來姓刻氧化矽薄膜，以完成想要的柱狀隔片1 2。 進一步而言’當形成綠色用光閥用的基板曝光己被完成 時，基板被自曝光設備的台座上移走，另一片上方己形成 -15- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈 -:° 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公f ) A7 406202 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 五、發明説明（13 有氧化梦薄膜及光阻層的梦基板2被設置在曝光設備的 Υ台座，而完成藍色用光閥的曝光，如圖11所示。 曝光設備的X - Υ台座被移動，以使基板侧面對齊標記2 2 的綠色用對齊予標記20與光罩侧面對齊標記30的藍色用對 齊子標記28對齊，而完成曝光。 在曝光芫成後’圖案佈局完成，以便於形成柱狀隔片之 區域的上面形成電阻層以做爲蝕刻光罩。其後，使用此電 阻層做爲光罩來蝕刻氧化矽薄膜，以完成想要的柱狀隔片 14。 因此’根據此實施例的爲製造柱狀隔片用的方法，利用 單一光罩可使柱狀隔片形成在紅色、綠色以及藍色用光閥 的像素陣列區域内的指定偏移位置。 既然本實施例形成柱狀隔片用的方法增加極少的額外習 知步驟，且又不需提供複數個光罩，這方法亦是具經濟效 益的。 本發明並不受限於上述實施例，多種的變化是有可能的 〇 1 例如’雖然每種顏色光閥的柱狀隔片的位置以一定的指 定距離移動，柱狀隔片可形成於隨意位置’因爲只要每一 種顏色用的光閥的柱狀隔片處於互相不重疊的區域即已足 夠。 雖然’爲易於描述而該對齊標記爲交叉型，任意形狀的 標記都可被使用，只要實際上可·完成。 在上述的實施例中，雖然陣列基板側面對齊子標記22間 II n H - II - —'1氏 I I I I__丁 * 3, 言 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 16- 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐 40Q202 五、發明説明（14 ) 於γ方面的距離爲13個像素的長度，而光罩側面對齊枵 3〇(子標記之間於χ方向的距離是3個像素長，而於γ 距離是10個像素長，這些並不被限制於上述的値。 " 在上述的實施财，既料個顏色用的柱狀隔片間的距 離被決足爲在X與γ方向皆爲3個像素的長度，對齊光罩被 形成，以便陣列基板與光罩於χΑγ方向以3個像素的長^ 相對位移。就是説，可提供對應每—種顏色用的柱狀隔片 的位移量而相互移動的對齊標記。 進了步於上述實施例中，雖然柱狀隔片是藉由移動對齊 標記於下面的矽基板之上而形成圖案，隔片標記也可被移 動.，或是對齊標記與隔片標記二者都可被移動，或是對齊 I己與隔片標記：者都可被移動，因爲下面的對齊標記與 隔片光罩側面對齊標記也可以依指定的量而相對移動。 本發明的#點 如上所述，根據本發明的方法，藉由防止對比的退化及 殘餘&像的發生，而提供了—種具有改善的顯示特質的液 晶顯示器裝置。

Claims (1)

1. 經濟部t央梂準局貞工消費合作社印製 六、申請專利範圍 406202 1. 一種液晶顯示器裝置，包括三個液晶光閥’用以顯示對 應於紅（R)，綠（G)以及藍（B)的影像，每個光閥具有多 個柱狀隔片形成於像素陣列區域，以維持一指定的單元 間隙，其中， 該等柱狀隔片為形成於該三個液晶光閥之每一個内的 像素陣列區域中，而被設置在當影像投影至螢幕時，至 少一部分的該等柱狀隔片不相互重疊之區域。 2. 根據申請專利範圍第1項的液晶顯示器裝置，其中 該等柱狀隔片為形成於該三個液晶光閥之每一個内的 像素陣列區域中，而被設置在當影像投影至螢幕時，互 相規則偏移之區域。 3. 根據申請專利範圍第2項的液晶顯示器裝置，其中 該等柱狀隔片為形成於該三個液晶光閥之每一個内的 像素陣列區域中’被設置在當影像投影至螢幕時，以相 同距離互相偏移的區域。 4. 根據申請專利範圍第1至3項中任一項的液晶顯示器裝 置，其中 該等柱狀隔片為形成於該像素陣列區域中之每一個的 多個像素之間的光遮蔽區域中。 5. —種製造液晶顯示器裝置的方法，包括步驟： 形成圖案在像素陣列區域上方的一電阻層，藉由移動 基板侧面對齊標記，電阻層被形成在其上方形成有像素 陣列區域的基板上’遮罩被設置在形成柱狀隔片用的遮 罩上的側面對齊標記，對應於每一個紅（叫色，綠（G)色 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本寊 I裝-----_--^-----—線---Μ--Γ~--------

   (210X297公釐） AB B8 C8 D8 申請專利範圍 以及藍（B)色用的像素陣列庶往 . 區域用的孩基板側面 記，互相以一預定距離相對； ' 利用該圖案電阻層做爲遮罩，蚀刻下面的絕緣薄膜； 以及 形成多個相互偏移的柱狀隔片於每一該紅（R )色，綠 (G)色及藍（B)色用的像素陣列區域中。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -褽· i" 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -19- 本紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) A4規格（210X297公釐〉