WO1996038755A1 - Affichage a cristaux liquides et procede de production - Google Patents

Description

明細書 液晶表示装置及びその製造方法 技術分野

本発明は、 液晶表示装置及びその製造方法に関し、 特に液晶ライ トバ ルブを用いた投射型液晶表示装置及びその製造方法に関する。 背景技術

近年、 超高精細ディスプレイとして C R Tに取って代わる可能性を秘 めている表示装置として、 投射型の液晶表示装置が脚光を浴びてきてい る。 既に H D T Vや O H Pディスプレイ等に投射型液晶表示装置が用い られるようになってきている。

投射型液晶表示装置の投射光学系は、 光源、 ライ トバルブ、 スクリー ン、 及び光学フィルタ、 投射レンズ等からなる。 ライ トバルブには液晶 表示パネルが用いられ、 光源からの光を透過させてスクリーンに画像を 映し出す方式の透過型液晶ライ トパルプと、 光源からの光を反射させて スクリーンに画像を映し出す反射型液晶ライ トパルプとがある。 液晶ラ イ トパルプは、 一般に赤 （R ) 、 縁 （G ) 、 青 （B ) の三原色の光をそ れぞれ反射 Z透過させるため、 1台の投射型液晶表示装置に 3個用いら れている。

投射型に限らず一般にァクティブマト リクス型の液晶表示装置は、 ス ィツチング素子及びスイッチング素子に接続された表示電極が形成され たアレイ基板と、 アレイ基板と所定の間隔 （セルギャップ） を隔てて対 向して設けられた対向電極が形成された対向基板とからなり、 アレイ基 板と対向基板との間の領域に液晶が封入されている。 液晶材料の所定の電気光学的特性を得るためには、 所定のセルギヤッ プをパネルの表示面全体にわたつて均一に得る必要があり、 そのため直 径数ミクロンのガラス球或はプラスチック球をスぺーサと して多数散布 して均一のセルギャップを得るようにしているものがある。 しかし、 こ のスぺーサ球を用いる方法は、 球の直径の均一性やスぺ一サ球をパネル に均一に分散させるのが極めて困難であるというプロセス上の問題を有 し、 また画素上に位置したスぺーサによ り光のロスが生じるという問題 を有している。

そこで、 上述のスぺーサ球を分散させる方法に代えて、 セルギャップ に絶縁膜等からなる柱を形成してスぺーザとして利用する方法が提案さ れている。 これは主として、 半導体装置の製造工程で一般に用いられる フォ ト リソグラフイエ程を利用し、 シリコン酸化膜の柱をスぺーサ （柱 状スぺーサ） としてセルギャップに形成するものであり、 従来のスぺー サ球を用いる場合と比較して高い精度のセルギャップを得ることができ るという利点を有している。

例えば、 反射型液晶ライ トパルプの場合、 アレイ基板にシリコン基板 を用い、 基板上にスイッチング素子として M O S トランジスタ及びこれ と接続されたアルミニウム （A 1 ) の光反射膜を素子毎に設け、 光反射 膜間の遮光領域 （ブラックマトリクス） に柱状スぺ一サを複数形成した ものがある。

大画面に高精細表示を行うこのような投射型液晶表示装置では、 表示 輝度等の表示品質を如何に向上させるかが問題である。

表示品質のうち表示輝度を向上させるには、 サブピクセルの開口率を 大きく させることが考えられるが、 例えば反射型液晶ライ トパルプにお いては柱状スぺーザが 2つの光反射膜の間に形成され、 そしてスぺーサ 端部が光反射膜上に乗り上げて光反射膜の光反射面積を減少させている ため、 サブピクセルの開口率を下げる要因となっている。

また、 この柱状スぺーサを用いたセルギャップ形成方式では、 たとえ 上述のようなスぺーザの光反射膜への乗り上げを防止できて開口率に影 響を与えないようにすることができたとしても、 表示品質を低下させる 要因がまだ残されている。

それは、 まず第 1 に、 光反射膜間に柱状スぺーサを形成した後に S向 膜を塗布してラビング処理をする際、 配向膜塗布時に突起物である柱状 スぺーザに影響されて配向膜に塗布ムラを生じさせてしまう点が挙げら れる。 ffi向膜の塗布ムラは、 所定の面内均一性を持たすべきセルギヤッ プを得ることができず場所によりセルギャップが変化してしまうことに なる。 セルギャップが変化してしまった領域は、 本来のセルギャップで 得られるコントラス 卜が得られず、 画像の表示品質は劣化してしまう。 第 2に、 柱状スぺーザの極近傍にある液晶は、 柱状スぺ一サによ りリ パースチルトが生じて S向が乱れてしまつている領域が存在する。 この 配向の乱れによりディスクリネーシヨンと呼ばれる、 配向の不連続部分 がー本の線のように観察され、 その部分のコントラストの低下や、 残像 などの問題を発生させる。

そして、 特に投射型液晶表示装置の場合にあっては、 液晶ライ トパル ブを赤 （R ) 、 緑 （G ) 、 青 （B ) の三原色分で 3個用いて大型スクリ ーン上に拡大表示させるので、 上述の開口率の低下、 セルギャップの変 化によるコントラストの低下、 ディスクリネーシヨンラインの発生等が 極めて顕著に観察されてしまう。

このように、 柱状スぺーサを形成する方法でも、 柱状スぺーザが表示 に寄与する画素領域上にある以上その部分の画素の液晶の S向を乱すこ とについては如何ともしがたいものがある。 特に、 高精細且つ大画面の プロジェクターにおいては、 表示画面が大きくなればなるほど液晶 S向 の乱れが拡大投射されて目立ってしまうという品質の劣化が増大してし まラ。

本発明の目的は、 柱状スぺーザが画素アレイ領域内に形成された液晶 表示装置において、 コントラス 卜の劣化或は残像の発生を防止して、 表 示品質を向上させた液晶表示装置及びその製造方法を提供することにあ る。 発明の開示

上記目的は、 所定のセルギヤップを維持させるための複数の柱状スぺ 一ザが画素アレイ領域に形成され、 赤 （R ) 、 緑 （G ) 、 青 （B ) に対 応する画像をそれぞれ表示する 3個の液晶ライ トバルブを有する液晶表 示装置において、 3個の液晶ライ トバルブの各画素ァレイ領域に形成さ れた複数の柱状スぺーサは、 スクリーン上に画像を投影した際、 少なく とも一部は重ならない位置に設けられていることを特徴とする液晶表示 装置によって達成される。

また、 上記目的は、 上記液晶表示装置において、 3個の液晶ライ トバ ルブの各画素アレイ領域に形成された複数の柱状スぺーサは、 スクリー ン上に画像を投影した際、 規則的にずれた位置に設けられていることを 特徴とする液晶表示装置によって達成される。

さらに、 上記目的は、 前述の液晶表示装置において、 3個の液晶ライ 卜パルプの各画素ァレイ領域に形成された複数の柱状スぺーサは、 スク リーン上に画像を投影した際、 夫々等間隔ずれた位置に設けられている ことを特徴とする液晶表示装置によって達成される。

さらに、 上記目的は、 画素アレイ領域が形成された基板に設けられた 基板側位置合わせマークと、 基板側位置合わせマークに対応して柱状ス ぺーサ形成用マスクに形成されたマスク側位置合わせマークとを、 赤 < R ) 、 緑 （G ) 、 青 （B ) 用の各画素アレイ領域毎に相対的に所定量ず らして画素ァレイ領域上のレジス ト層をパターニングし、 パターニング されたレジスト層をマスクとして下地の絶縁膜をエッチングし、 赤 （R ) 、 緑 （G ) 、 青 （B ) 用の各画素アレイ領域毎に夫々ずれて S置される 複数の柱状スぺーサを形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方 法によつて達成される。

本発明によれば、 3個の液晶ライ トパルプの各画素ァレイ領域に形成 された複数の柱状スぺーザの位置がスクリーン上で重ならないようにし て、 柱状スぺーサによる表示上の影響を分散させるようにしているので、 3個の液晶ライ トパルプによ り拡大投射しても液晶 SS向の乱れを目立た なくすることができる。 図面の簡単な説明

図 1 は、 本発明の一実施例に用いた反射型液晶ライ 卜バルブの隣り合 う 2画素分を示す部分断面図である。

図 2は、 赤色用の反射型液晶ライ トバルブの部分平面図である。

図 3は、 緑色用の反射型液晶ライ トバルブの部分平面図である。

図 4は、 青色用の反射型液晶ライ トバルブの部分平面図である。

図 5は、 本実施例による反射型液晶ライ トバルブを用いた投射型液晶 表示装置の概略図である。

図 6は、 図 2乃至図 4に示す 3枚のライ トパルプの画素ァレイ領域 4 を重ねて透視的に観察した図である。

図 7は、 シリコン基板面 2に形成された画素ァレイ領域 4の一部を示 す平面図である。

図 8は、 本実施例に用いる柱状スぺーザのパターニング用マスク 3 2 を示す図である。 図 9は、 赤色用液晶ライ 卜バルブの柱状スぺ一ザのパターニングを示 す図である。

図 1 0は、 緑色用液晶ライ トバルブの柱状スぺーザのパターニングを 示す図である。

図 1 1 は、 青色用液晶ライ 卜バルブの柱状スぺーザのパターニングを 示す図である。 発钥を実施するための最良の形態

本発明の一実施例による液晶表示装置及びその製造方法を図 1乃至図 1 1 を用いて説明する。

図 1 は本実施例に用いた反射型液晶ライ トバルブの隣り合う 2画素分 を示す部分断面図である。

シリコン基板 1 00上に詳細な図示は省略したトランジスタ 1 04が 形成されている。 シリコン基板 1 00及びトランジスタ 1 04上に厚さ 約 2 ιηのシリコン酸化膜 1 02が形成され、 シリコン酸化膜 1 02上 には光吸収層 1 06が形成されている。 光吸収層 1 06上に厚さ 500 OAのシリコン窒化膜 1 08が形成され、 その上に A 1 からなる厚さ 1 500Aの光反射膜 1 1 2が形成されている。

光反射膜 1 1 2は、 シリコン酸化膜 1 02、 シリコン窒化膜 1 08に 形成されたスルーホールに埋め込まれたタングステン （W) のスタッ ド 1 1 0によ り トランジスタ 1 04のソース電極 （図示せず） に接続され て、 液晶を駆動する表示電極としても機能するようになっている。 一つ の光反射膜 1 1 2で一つの表示画素のサブピクセルが構成される。 隣り合う光反射膜 1 1 2間 （距離約 1. 7 im) には A 1層が形成さ れておらず、 図示のように高さ約 5 のシリコン酸化膜の柱状スぺー サ 1 1 8が所定の光反射膜 1 1 2間に形成されている。 図 1の断面図中、 柱状スぺーサ 1 1 8は両側の光反射膜 1 1 2に約 1 程度乗り上げて形成されている。 スぺ一サ 1 1 8を介して対向基板 であるガラス保護基板 1 1 6が形成されている。 ガラス保護基板 1 1 6 の光反射膜側には全面に対向電極 1 1 4が形成されている。 スぺーサ 1 1 8によ り生じた厚さ約 のセルギヤップに液晶が封入され液晶層 1 2 0が形成されている。

トランジスタ 1 0 4は、 ソース電極の他、 データ線に接続されたドレ イン電極、 及び走査線に接続されたゲート電極 （以上、 図示を省略） が 形成された F E T (電界効果型トランジスタ） であり、 ゲートのオン状 態でデータ線に印加された電圧を表示電極である光反射膜 1 1 2に印加 するスイッチング素子として機能する。

トランジスタ 1 0 4のオン時に表示電極である光反射膜 1 1 2と対向 電極 1 1 4との間に印加される電圧に応じて液晶分子 1 2 2の向きを変 化させて光の透過率を変化させることによ り、 ガラス保護基板 1 1 6側 から入射した光を、 光反射膜 1 1 2まで透過させ反射させてガラス保護 基板 1 1 6から再出射させたり、 或は透過させないようにして表示を行 ラ。

図 2乃至図 4は反射型液晶ライ トバルブの部分平面図である。 図 2は 赤色用の反射型液晶ライ トバルブを、 図 3は緑色用の反射型液晶ライ ト バルブを、 図 4は青色用の反射型液晶ライ トパルプをそれぞれ示してい る。

各図とも反射型液晶ライ トバルブの画素アレイ領域の同一の一部領域 を示している。 反射型液晶ライ トバルブのアレイ側基板 2上に画素ァレ ィ領域 4が形成されている。 画素アレイ領域 4は、 図 1 で示したような 画素が縦横に例えば 2 0 0 0 x 2 0 0 0個のマト リクス状に S置された ものである。 本図においてはその一部の領域を示したものである。 隣り合う画素 6間は遮光領域であるブラックマト リクス 8である。 図 2に示すように、 赤色用反射型液晶ライ 卜パルプの柱状スぺ一サ 1 0は, ブラックマ卜 リクス 8の交差する位置に、 その交差点に隣接する 4個の 画素 6に一部乗り上げて形成されている。

従って、 柱状スぺーザが 1 0—部乗り上げたこの 4個の画素 6は、 光 反射膜の光反射面積が減少されて開口率が低下している。 また、 この 4 個の画素 6の S向膜に塗布ムラが生じている可能性もある。 さらに、 こ の領域の E向の乱れによるディスクリネーションが発生する可能性もあ る。

複数の柱状スぺ一サ 1 0の間隔は、 9画素分の間隔毎に行及び列方向 にマト リクス状に形成されている。 従って画素アレイ領域 4全体では、 約 5 0 0 0 0個の柱状スぺーサ 1 0が形成されている。

図 2と同様に、 図 3及び図 4において、 緑色用及び青色用の反射型液 晶ライ トパルプの画素ァレイ領域に柱状スぺーサ 1 2、 1 4が形成され ている。 但し、 緑色用ライ 卜パルプの柱状スぺーサ 1 2の配置は、 例え ば図 2左下の赤色用ライ トバルブの柱状スぺーサ 1 0を基準とすると、 赤色用ライ トバルブの柱状スぺーサ 1 0の S3置に対して行 （+ X ) 及び 列 （ + Y ) 方向に 3画素分の間隔をあけて形成されている。

また、 青色用ライ トパルプの柱状スぺーサ 1 4の SS置は、 同様に赤色 用ライ トパルプの柱状スぺーサ 1 0の S置に対して行 （ + X ) 及び列 （ + Y ) 方向に 6画素分、 従って緑色用ライ トバルブの柱状スぺーサ 1 2 に対しては行 （ + X ) 及び列 （ + Y ) 方向に 3画素分の間隔をあけて形 成されている。

これらの赤色用、 緑色用、 青色用反射型液晶ライ トバルブを組み合わ せた投射型液晶表示装置を図 5を用いて説明する。 図 5は本実施例によ る反射型液晶ライ 卜パルプを用いた投射型液晶表示装置の概略図である _c 光源 4 2から出射した直線偏光した光は偏光ビームスプリ ッタ 4 4で 反射されてカラーセパレーシヨンプリズム 4 6に人射し、 ここで赤 （R ) 、 緑 （G ) 、 青 （B ) の三原色に分離されて赤 （R ) 、 緑 （G ) 、 青 （ B ) 用の反射型液晶ライ トバルブ 4 8、 5 0、 5 2に夫々入射する。 各反射型液晶ライ 卜バルブで各サブピクセルに対する輝度変調が行わ れた光は反射して再びカラーセパレーシヨンプリズム 4 6に人射し、 元 の偏光とは 9 0度ずれた直線偏光の光となって偏光ビームスプリ ッタ 4 4に入射する。 反射型液晶ライ トバルブ 4 8、 5 0、 5 2からの反射光 は偏光ビームスプリッタ 4 4を通過して投影レンズ 5 4に入射し、 拡大 されてスクリーン 5 6に投影される。

図 6は、 図 2乃至図 4に示す 3枚のライ トバルブの画素アレイ領域 4 を重ねて透視的に観察した図である。 上述のように柱状スぺーサ 1 0、 1 2、 1 4を S置したことによ り、 いずれの柱状スぺーサも重なること なく規則的にずれて E置されている。 つま り、 図 5に示した投射型液晶 表示装置で画像を映し出した場合、 この図 6に示すような状態でスクリ ーン 5 6に投影されることになる。

各色用の液晶ライ トバルブの柱状スぺーサをこのような S置にするこ とにより、 柱状スぺ一サによる、 各色における開口率の低下や、 S向膜 の塗布ムラや、 E向の乱れによるディスクリネーシヨンの発生等の影響 は分散されることになり、 投影時のコントラス卜の低下や残像等の問題 は、 実用上問題ない程度にすることができるようになる。

次に、 本実施例に用いた反射型液晶ライ トバルブの製造方法を図 7乃 至図 1 1 を用いて説明する。

本実施例における反射型液晶ライ トパルプの製造方法における最大の 特徴は、 柱状スぺーザの形成方法にあるので、 以下この点を中心に説明 すること と し、 アレイ基板側の素子形成工程及び、 柱状スぺーサ形成後 のアレイ基板と対向基板との張り合わせ、 液晶注入工程等、 従来の製造 方法と同様のものについては説明を省略する。

図 7はシリコン基板面 2に形成された画素ァレイ領域 4の一部を示す 平面図である。 画素ァレイ領域 4にはほぼ正方形形状の光反射膜 6がマ 卜 リクス状に形成され光反射膜 6間は遮光機能を有するケラックマ卜 リ クス 8となっている。 画素ァレイ領域 4の左側の Y軸方向に基板を後ェ 程で切断する際のスクライブライン （図示せず） が形成されており、 そ のスクライブライン中に、 柱状スぺーサを形成する際に用いられるァレ ィ基板側位置合わせマーク （アラインメント · マーク） 2 2が所定の位 置にパターユングされている。

アレイ基板側位置合わせマーク 2 2は、 赤 （R ) 縁 （G ) 青 （B ) 用 のそれぞれの反射型液晶ライ トパルプに所定の柱状スぺーサを形成する ための位置合わせサブ · マーク 1 6、 1 8、 2 0で構成されている。 各 サブ · マークの位置関係は、 例えば本実施例の場合にあっては Y方向に 下から青用、 緑用、 赤用の順に一列に、 1 3画素分の間隔で並んでいる。 図 8は、 本実施例に用いる柱状スぺーザのパターユング用マスク 3 2 を示す。 スぺーサ ' マスク 3 2は、 例えば透明なガラス基板からなり、 ガラス基板上には柱状スぺーサをパターユングするための、 例えばクロ ムで形成された円形形状のパターン 3 4がマト リクス状に S置されてい る。 パターン 3 4は、 本実施例においては 9画素分の間隔毎に設けられ ている。

パターン 3 4の左外側には、 図 7で示したアレイ基板側の位置合わせ マーク 2 2に対応させて、 柱状スぺーサのパターエングに用いるマスク 側位置合わせマーク （アラインメント · マーク） 3 0が形成されている _c マスク側位置合わせマーク 3 0は、 赤 （R ) 緑 （G ) 青 （B ) 用のそ れぞれの反射型液晶ライ トバルブに柱状スぺーサを形成する際に用いる 位置合わせサブ - マーク 2 4、 2 6、 2 8からなり、 各サブ - マークは、 左下から青用、 緑用、 赤用の順に X方向に 3画素分、 Y方向に 1 0画素 分の間隔で並んで設けられている。

図 7に示したシリコン基板 2全面に、 柱状スぺーサを形成するための 例えば厚さ 5 /i mのシリコン酸化膜をプラズマ C V D法によ り堆積する。 次に、 ポジ型フォ ト レジストを例えば厚さ 4 a m全面に塗布してフォ 卜 レジス ト層を形成する。

このシリコン酸化膜、 フォ ト レジス 卜層が形成されたシリコン基板 2 を、 例えばマスク · ァライナー等の露光装置 （図示せず） の X— Yステ ージ上に載置し、 一方、 ステージと露光装置の光源との間には、 上述の 図 8に示したマスク 3 2をセッ トする。

図 9は、 赤色用液晶ライ トバルブの柱状スぺーザのパターニングを示 す図である。

露光装置の X— Yステージを移動させて、 基板側位置合わせマーク 2 2の赤色用位置合わせサブ · マーク 1 6と、 マスク側位置合わせマーク 3 0の赤色用位置合わせサブ · マーク 2 4とを一致させて位置決めして から露光する。

露光後、 パターニングして柱状スぺーザの形成位置にエッチングマス クと してのレジス ト層を形成する。 その後、 このレジス ト層をマスクと してシリコン酸化膜をエッチングして所望の柱状スぺーサ 1 0が完成す る。

赤色用のライ トパルプ形成用の基板の露光が終了したら、 基板を露光 装置から取り出し、 シリコン酸化膜、 フォ ト レジス ト層が形成された別 のシリコン基板 2を露光装置の X— Yステージに載置して、 図 1 0に示 すように緑色用のライ トバルブ形成用の基板の露光を行う。

露光装置の Χ— Υステージを移動させて、 基板側位置合わせマーク 2 2の緑色用位置合わせサブ · マーク 1 8と、 マスク側位置合わせマーク 3 0の緑色用位置合わせサブ ' マーク 2 6とを一致させて位置決めして から露光する。

露光後、 パターニングして柱状スぺーザの形成位置にェッチングマス クとしてのレジスト層を形成する。 その後、 このレジス 卜層をマスクと してシリコン酸化膜をエッチングして所望の柱状スぺーサ 1 2が完成す る。

さらに、 緑色用のライ 卜バルブ形成用の基板の露光が終了したら、 基 板を露光装置から取り出し、 シリコン酸化膜、 フォ ト レジス ト層が形成 されたさらに別のシリコン基板 2を露光装置の X— Υステージに載置し て、 図 1 1 に示すように青色用のライ トバルブ形成用の基板の露光を行 う。

露光装置の X— Υステージを移動させて、 基板側位置合わせマーク 2 2の青色用位置合わせサブ · マーク 2 0と、 マスク側位置合わせマーク 3 0の青色用位置合わせサブ · マーク 2 8とを一致させて位置決めして から露光する。

露光後、 パターニングして柱状スぺーサの形成位置にエッチングマス クとしてのレジスト層を形成する。 その後、 このレジスト層をマスクと してシリコン酸化膜をエッチングして所望の柱状スぺ一サ 1 4が完成す る。

このようにして本実施例の柱状スぺーザの製造方法によれば、 1枚の スぺーサ · マスクを用いて、 赤色、 緑色、 青色用の液晶ライ トバルブに おける柱状スぺーザの位置を画素ァレイ領域内で所定量ずらして形成す ることができる。 本実施例の柱状スぺ一ザの製造方法は、 従来と工程数 の増加はほとんどなく、 マスクを複数用意する必要がないので経済的で あるという利点も有している。

本発明は、 上記実施例に限らず種々の変形が可能である。

例えば、 上記実施例においては、 各色のライ トバルブの柱状スぺーサ の位置を所定の間隔だけずらして形成したが、 要するに各色のライ トパ ルブの柱状スぺーザが重ならない位置にあればよいので、 例えば、 ラン ダムな位置に柱状スぺーサを形成してももちろんよい。

また、 上記実施例においては、 位置合わせ · マークは説明の都合上十 字形状と したが、 現実にアラインメントができればどのような形状でも よいのはもちろんである。

また、 上記実施例においては、 アレイ基板側位置合わせマーク 2 2の サブ · マークの間隔を Y方向に 1 3画素とし、 マスク側位置合わせマー ク 3 0のサブ · マークの間隔を X方向に 3画素分、 Y方向に 1 0画素分 としたが、 これに限定する必要はもちろんない。

上記実施例では、 柱状スぺーザの各色間の間隔を X、 Y方向でそれぞ れ 3画素分と決めたので、 アレイ基板とマスクとを相対的に X、 Y方向 でそれぞれ 3画素分ずらすことができるように位置合わせマークをそれ ぞれ形成すればよい。 すなわち、 各色毎の柱状スぺーザのずらし量に応 じて相対的にずらした位置合わせマークをそれぞれに設ければよい。 さらに、 上記実施例では、 下地のシリコン基板上の位置合わせ （ァラ インメント） マークをシフトさせて柱状スぺーサをパターエングしたが、 下地の位置合わせマークとスぺーサマスク側の位置合わせマークとが相 対的に所定量シフ 卜すればよいので、 スぺーザ - マスクをシフ トさせる ようにしても、 また、 双方をシフ トさせるようにしてもよいのはもちろ んである。 産業上の利用可能性

以上の通り、 本発明によれば、 コントラス トの劣化或は残像の発生を 防止して、 表示品質を向上させた液晶表示装置を実現できる。

Claims

請求の範囲

1 . 所定のセルギヤップを維持させるための複数の柱状スぺーザが画素 アレイ領域に形成され、 赤 （R ) 、 緑 （G ) 、 青 （B ) に対応する画像 をそれぞれ表示する 3個の液晶ライ トバルブを有する液晶表示装置にお いて、

前記 3個の液晶ライ 卜バルブの各画素アレイ領域に形成された複数の 柱状スぺ一サは、 スクリーン上に画像を投影した際、 少なく とも一部は 重ならない位置に設けられていること

を特徴とする液晶表示装置。

2 . 請求の範囲第項 1記載の液晶表示装置において、

前記 3個の液晶ライ トパルプの各画素ァレイ領域に形成された複数の 柱状スぺーサは、 前記スクリーン上に画像を投影した際、 規則的にずれ た位置に設けられていること

を特徴とする液晶表示装置。

3 . 請求の範囲第項 2記載の液晶表示装置において、

前記 3個の液晶ライ トバルブの各画素アレイ領域に形成された複数の 柱状スぺーサは、 前記スクリーン上に画像を投影した際、 夫々等間隔ず れた位置に設けられていること

を特徴とする液晶表示装置。

4 . 請求の範囲第 1項乃至第 3項のいずれかに記載の液晶表示装置にお いて、

前記複数の柱状スぺーサは、 前記各画素ァレイ領域内の複数の画素間 の遮光領域に形成されていること

を特徴とする液晶表示装置。

5 . 画素ァレイ領域が形成された基板に設けられた基板側位置合わせマ ークと、 前記基板側位置合わせマークに対応して柱状スぺーサ形成用マ スクに形成されたマスク側位置合わせマークとを、 赤 （R ) 、 緑 （G ) ， 青 （B ) 用の各画素アレイ領域毎に相対的に所定量ずらして前記画素ァ レイ領域上のレジス ト層をパターニングし、

パターニングされた前記レジス ト層をマスクとして下地の絶縁膜をェ ツチングし、

前記赤 （R ) 、 緑 （G ) 、 青 （B ) 用の各画素アレイ領域毎に夫々ず れて S置される複数の柱状スぺーサを形成すること

を特徴とする液晶表示装置の製造方法。