JP2991304B2 - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置及びその製造方法

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JP2991304B2
JP2991304B2 JP53635596A JP53635596A JP2991304B2 JP 2991304 B2 JP2991304 B2 JP 2991304B2 JP 53635596 A JP53635596 A JP 53635596A JP 53635596 A JP53635596 A JP 53635596A JP 2991304 B2 JP2991304 B2 JP 2991304B2
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昌己 篠原
満 宇田
国男 榎並
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、液晶表示装置及びその製造方法に関し、特
に液晶ライトバルブを用いた投射型液晶表示装置及びそ
の製造方法に関する。
背景技術 近年、超高精細ディスプレイとしてCRTに取って代わ
る可能性を秘めている表示装置として、投射型の液晶表
示装置が脚光を浴びてきている。既にHDTVやOHPディス
プレイ等に投射型液晶表示装置が用いられるようになっ
てきている。
投射型液晶表示装置の投射光学系は、光源、ライトバ
ルブ、スクリーン、及び光学フィルタ、投射レンズ等か
らなる。ライトバルブには液晶表示パネルが用いられ、
光源からの光を透過させてスクリーンに画像を映し出す
方式の透過型液晶ライトバルブと、光源からの光を反射
させてスクリーンに画像を映し出す反射型液晶ライトバ
ルブとがある。液晶ライトバルブは、一般に赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三原色の光をそれぞれ反射／透過
させるため、１台の投射型液晶表示装置に３個用いられ
ている。
投射型に限らず一般にアクティブマトリクス型の液晶
表示装置は、スイッチング素子及びスイッチング素子に
接続された表示電極が形成されたアレイ基板と、アレイ
基板と所定の間隔（セルギャップ）を隔てて対向して設
けられた対向電極が形成された対向基板とからなり、ア
レイ基板と対向基板との間の領域に液晶が封入されてい
る。
液晶材料の所定の電気光学的特性を得るためには、所
定のセルギャップをパネルの表示面全体にわたって均一
に得る必要があり、そのため直径数ミクロンのガラス球
或はプラスチック球をスペーサとして多数散布して均一
のセルギャップを得るようにしているものがある。しか
し、このスペーサ球を用いる方法は、球の直径の均一性
やスペーサ球をパネルに均一に分散させるのが極めて困
難であるというプロセス上の問題を有し、また画素上に
位置したスペーサにより光のロスが生じるという問題を
有している。
そこで、上述のスペーサ球を分散させる方法に代え
て、セルギャップに絶縁膜等からなる柱を形成してスペ
ーサとして利用する方法が提案されている。これは主と
して、半導体装置の製造工程で一般に用いられるフォト
リソグラフィ工程を利用し、シリコン酸化膜の柱をスペ
ーサ（柱状スペーサ）としてセルギャップに形成するも
のであり、従来のスペーサ球を用いる場合と比較して高
い精度のセルギャップを得ることができるという利点を
有している。
例えば、反射型液晶ライトバルブの場合、アレイ基板
にシリコン基板を用い、基板上にスイッチング素子とし
てMOSトランジスタ及びこれと接続されたアルミニウム
（Al）の光反射膜を素子毎に設け、光反射膜間の遮光領
域（ブラックマトリクス）に柱状スペーサを複数形成し
たものがある。
大画面に高精細表示を行うこのような投射型液晶表示
装置では、表示輝度等の表示品質を如何に向上させるか
が問題である。
表示品質のうち表示輝度を向上させるには、サブピス
セルの開口率を大きくさせることが考えられるが、例え
ば反射型液晶ライトバルブにおいては柱状スペーサが２
つの光反射膜の間に形成され、そしてスペーサ端部が光
反射膜上に乗り上げて光反射膜の光反射面積を減少させ
ているため、サブピクセルの開口率を下げる要因となっ
ている。
また、この柱状スペーサを用いたセルギャップ形成方
式では、たとえ上述のようなスペーサの光反射膜への乗
り上げを防止できて開口率に影響を与えないようにする
ことができたとしても、表示品質を低下させる要因がま
だ残されている。
それは、まず第１に、光反射膜間に柱状スペーサを形
成した後に配向膜を塗布してラビング処理をする際、配
向膜塗布時に突起物である柱状スペーサに影響されて配
向膜に塗布ムラを生じさせてしまう点が挙げられる。配
向膜の塗布ムラは、所定の面内均一性を持たすべきセル
ギャップを得ることができず場所によりセルギャップが
変化してしまうことになる。セルギャップが変化してし
まった領域は、本来のセルギャップで得られるコントラ
ストが得られず、画像の表示品質は劣化してしまう。
第２に、柱状スペーサの極近傍にある液晶は、柱状ス
ペーサによりリバースチルトが生じて配向が乱れてしま
っている領域が存在する。この配向の乱れによりディス
クリネーションと呼ばれる、配向の不連続部分が一本の
線のように観察され、その部分のコントラストの低下
や、残像などの問題を発生させる。
そして、特に投射型液晶表示装置の場合にあっては、
液晶ライトバルブを赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三
原色分で３個用いて大型スクリーン上に拡大表示させる
ので、上述の開口率の低下、セルギャップの変化による
コントラストの低下、ディスクリネーションラインの発
生等が極めて顕著に観察されてしまう。
このように、柱状スペーサを形成する方法でも、柱状
スペーサが表示に寄与する画素領域上にある以上その部
分の画素の液晶の配向を乱すことについては如何ともし
がたいものがある。特に、高精細且つ大画面のプロジェ
クターにおいては、表示画面が大きくなればなるほど液
晶配向の乱れが拡大投射されて目立ってしまうという品
質の劣化が増大してしまう。
本発明の目的は、柱状スペーサが画素アレイ領域内に
形成された液晶表示装置において、コントラストの劣化
或は残像の発生を防止して、表示品質を向上させた液晶
表示装置及びその製造方法を提供することにある。
発明の開示 上記目的は、所定のセルギャップを維持させるための
複数の柱状スペーサが画素アレイ領域に形成され、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応する画像をそれぞれ
表示する３個の液晶ライトバルブを有する液晶表示装置
において、３個の液晶ライトバルブの各画素アレイ領域
に形成された複数の柱状スペーサは、スクリーン上に画
像を投影した際、少なくとも一部は重ならない位置に設
けられていることを特徴とする液晶表示装置によって達
成される。
また、上記目的は、上記液晶表示装置において、３個
の液晶ライトバルブの各画素アレイ領域に形成された複
数の柱状スペーサは、スクリーン上に画像を投影した
際、規則的にずれた位置に設けられていることを特徴と
する液晶表示装置によって達成される。
さらに、上記目的は、前述の液晶表示装置において、
３個の液晶ライトバルブの各画素アレイ領域に形成され
た複数の柱状スペーサは、スクリーン上に画像を投影し
た際、夫々等間隔ずれた位置に設けられていることを特
徴とする液晶表示装置によって達成される。
さらに、上記目的は、画素アレイ領域が形成された基
板に設けられた基板側位置合わせマークと、基板側位置
合わせマークに対応して柱状スペーサ形成用マスクに形
成されたマスク側位置合わせマークとを、赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）用の各画素アレイ領域毎に相対的に所
定量ずらして画素アレイ領域上のレジスト層をパターニ
ングし、パターニングされたレジスト層をマスクとして
下地の絶縁膜をエッチングし、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）用の各画素アレイ領域毎に夫々ずれて配置される
複数の柱状スペーサを形成することを特徴とする液晶表
示装置の製造方法によって達成される。
本発明によれば、３個の液晶ライトバルブの各画素ア
レイ領域に形成された複数の柱状スペーサの位置がスク
リーン上で重ならないようにして、柱状スペーサによる
表示上の影響を分散させるようにしているので、３個の
液晶ライトバルブにより拡大投射しても液晶配向の乱れ
を目立たなくすることができる。
図面の簡単な説明 図１は、本発明の一実施例に用いた反射型液晶ライト
バルブの隣り合う２画素分を示す部分断面図である。
図２は、赤色用の反射型液晶ライトバルブの部分平面
図である。
図３は、緑色用の反射型液晶ライトバルブの部分平面
図である。
図４は、青色用の反射型液晶ライトバルブの部分平面
図である。
図５は、本実施例による反射型液晶ライトバルブを用
いた投射型液晶表示装置の概略図である。
図６は、図２乃至図４に示す３枚のライトバルブの画
素アレイ領域４を重ねて透視的に観察した図である。
図７は、シリコン基板面２に形成された画素アレイ領
域４の一部を示す平面図である。
図８は、本実施例に用いる柱状スペーサのパターニン
グ用マスク32を示す図である。
図９は、赤色用液晶ライトバルブの柱状スペーサのパ
ターニングを示す図である。
図10は、緑色用液晶ライトバルブの柱状スペーサのパ
ターニングを示す図である。
図11は、青色用液晶ライトバルブの柱状スペーサのパ
ターニングを示す図である。
発明を実施するための最良の形態 本発明の一実施例による液晶表示装置及びその製造方
法を図１乃至図11を用いて説明する。
図１は本実施例に用いた反射型液晶ライトバルブの隣
り合う２画素分を示す部分断面図である。
シリコン基板100上に詳細な図示は省略したトランジ
スタ104が形成されている。シリコン基板100及びトラン
ジスタ104上に厚さ約２μｍのシリコン酸化膜102が形成
され、シリコン酸化膜102上には光吸収層106が形成され
ている。光吸収層106上に厚さ5000Åのシリコン窒化膜1
08が形成され、その上にAlからなる厚さ1500Åの光反射
膜112が形成されている。
光反射膜112は、シリコン酸化膜102、シリコン窒化膜
108に形成されたスルーホールに埋め込まれたタングス
テン（Ｗ）のスタッド110によりトランジスタ104のソー
ス電極（図示せず）に接続されて、液晶を駆動する表示
電極としても機能するようになっている。一つの光反射
膜112で一つの表示画素のサブピクセルが構成される。
隣り合う光反射膜112間（距離約1.7μｍ）にはAl層が
形成されておらず、図示のように高さ約５μｍのシリコ
ン酸化膜の柱状スペーサ118が所定の光反射膜112間に形
成されている。
図１の断面図中、柱状スペーサ118は両側の光反射膜1
12に約１μｍ程度乗り上げて形成されている。スペーサ
118を介して対向基板であるガラス保護基板116が形成さ
れている。ガラス保護基板116の光反射膜側には全面に
対向電極114が形成されている。スペーサ118により生じ
た厚さ約５μｍのセルギャップに液晶が封入され液晶層
120が形成されている。
トランジスタ104は、ソース電極の他、データ線に接
続されたドレイン電極、及び走査線に接続されたゲート
電極（以上、図示を省略）が形成されたFET（電界効果
型トランジスタ）であり、ゲートのオン状態でデータ線
に印加された電圧を表示電極である光反射膜112に印加
するスイッチング素子として機能する。
トランジスタ104のオン時に表示電極である光反射膜1
12と対向電極114との間に印加される電圧に応じて液晶
分子122の向きを変化させて光の透過率を変化させるこ
とにより、ガラス保護基板116側から入射した光を、光
反射膜112まで透過させ反射させてガラス保護基板116か
ら再出射させたり、或は透過させないようにして表示を
行う。
図２乃至図４は反射型液晶ライトバルブの部分平面図
である。図２は赤色用の反射型液晶ライトバルブを、図
３は緑色用の反射型液晶ライトバルブを、図４は青色用
の反射型液晶ライトバルブをそれぞれ示している。
各図とも反射型液晶ライトバルブの画素アレイ領域の
同一の一部領域を示している。反射型液晶ライトバルブ
のアレイ側基板２上に画素アレイ領域４が形成されてい
る。画素アレイ領域４は、図１で示したような画素が縦
横に例えば2000x2000個のマトリクス状に配置されたも
のである。本図においてはその一部の領域を示したもの
である。
隣り合う画素６間は遮光領域であるブラックマトリク
ス８である。図２に示すように、赤色用反射型液晶ライ
トバルブの柱状スペーサ10は、ブラックマトリクス８の
交差する位置に、その交差点に隣接する４個の画素６に
一部乗り上げて形成されている。
従って、柱状スペーサが10一部乗り上げたこの４個の
画素６は、光反射膜の光反射面積が減少されて開口率が
低下している。また、この４個の画素６の配向膜に塗布
ムラが生じている可能性もある。さらに、この領域の配
向の乱れによるディスクリネーションが発生する可能性
もある。
複数の柱状スペーサ10の間隔は、９画素分の間隔毎に
行及び列方向にマトリクス状に形成されている。従って
画素アレイ領域４全体では、約50000個の柱状スペーサ1
0が形成されている。
図２と同様に、図３及び図４において、緑色用及び青
色用の反射型液晶ライトバルブの画素アレイ領域に柱状
スペーサ12、14が形成されている。但し、緑色用ライト
バルブの柱状スペーサ12の配置は、例えば図２左下の赤
色用ライトバルブの柱状スペーサ10を基準とすると、赤
色用ライトバルブの柱状スペーサ10の配置に対して行
（＋Ｘ）及び列（＋Ｙ）方向に３画素分の間隔をあけて
形成されている。
また、青色用ライトバルブの柱状スペーサ14の配置
は、同様に赤色用ライトバルブの柱状スペーサ10の配置
に対して行（＋Ｘ）及び列（＋Ｙ）方向に６画素分、従
って緑色用ライトバルブの柱状スペーサ12に対しては行
（＋Ｘ）及び列（＋Ｙ）方向に３画素分の間隔をあけて
形成されている。
これらの赤色用、緑色用、青色用反射型液晶ライトバ
ルブを組み合わせた投射型液晶表示装置を図５を用いて
説明する。図５は本実施例による反射型液晶ライトバル
ブを用いた投射型液晶表示装置の概略図である。
光源42から出射した直線偏光した光は偏光ビームスプ
リッタ44で反射されてカラーセパレーションプリズム46
に入射し、ここで赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三原
色に分離されて赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）用の反射
型液晶ライトバルブ48、50、52に夫々入射する。
各反射型液晶ライトバルブで各サブピクセルに対する
輝度変調が行われた光は反射して再びカラーセパレーシ
ョンプリズム46に入射し、元の偏光とは90度ずれた直線
偏光の光となって偏光ビームスプリッタ44に入射する。
反射型液晶ライトバルブ48、50、52からの反射光は偏光
ビームスプリッタ44を透過して投影レンズ54に入射し、
拡大されてスクリーン56に投影される。
図６は、図２乃至図４に示す３枚のライトバルブの画
素アレイ領域４を重ねて透視的に観察した図である。上
述のように柱状スペーサ10、12、14を配置したことによ
り、いずれの柱状スペーサも重なることなく規則的にず
れて配置されている。つまり、図５に示した投射型液晶
表示装置で画像を映し出した場合、この図６に示すよう
な状態でスクリーン56に投影されることになる。
各色用の液晶ライトバルブの柱状スペーサをこのよう
な配置にすることにより、柱状スペーサによる、各色に
おける開口率の低下や、配向膜の塗布ムラや、配向の乱
れによるディスクリネーションの発生等の影響は分散さ
れることになり、投影時のコントラストの低下や残像等
の問題は、実用上問題ない程度にすることができるよう
になる。
次に、本実施例に用いた反射型液晶ライトバルブの製
造方法を図７乃至図11を用いて説明する。
本実施例における反射型液晶ライトバルブの製造方法
における最大の特徴は、柱状スペーサの形成方法にある
ので、以下この点を中心に説明することとし、アレイ基
板側の素子形成工程及び、柱状スペーサ形成後のアレイ
基板と対向基板との張り合わせ、液晶注入工程等、従来
の製造方法と同様のものについては説明を省略する。
図７はシリコン基板面２に形成された画素アレイ領域
４の一部を示す平面図である。画素アレイ領域４にはほ
ぼ正方形形状の光反射膜６がマトリクス状に形成され光
反射膜６間は遮光機能を有するブラックマトリクス８と
なっている。画素アレイ領域４の左側のＹ軸方向に基板
を後工程で切断する際のスクライブライン（図示せず）
が形成されており、そのスクライブライン中に、柱状ス
ペーサを形成する際に用いられるアレイ基板側位置合わ
せマーク（アラインメント・マーク）22が所定の位置に
パターニングされている。
アレイ基板側位置合わせマーク22は、赤（Ｒ）緑
（Ｇ）青（Ｂ）用のそれぞれの反射型液晶ライトバルブ
に所定の柱状スペーサを形成するための位置合わせサブ
・マーク16、18、20で構成されている。各サブ・マーク
の位置関係は、例えば本実施例の場合にあってはＹ方向
に下から青用、緑用、赤用の順に一列に、13画素分の間
隔で並んでいる。
図８は、本実施例に用いる柱状スペーサのパターニン
グ用マスク32を示す。スペーサ・マスク32は、例えば透
明なガラス基板からなり、ガラス基板上には柱状スペー
サをパターニングするための、例えばクロムで形成され
た円形形状のパターン34がマトリクス状に配置されてい
る。パターン34は、本実施例においては９画素分の間隔
毎に設けられている。
パターン34の左外側には、図７で示したアレイ基板側
の位置合わせマーク22に対応させて、柱状スペーサのパ
ターニングに用いるマスク側位置合わせマーク（アライ
ンメント・マーク）30が形成されている。
マスク側位置合わせマーク30は、赤（Ｒ）緑（Ｇ）青
（Ｂ）用のそれぞれの反射型液晶ライトバルブに柱状ス
ペーサを形成する際に用いる位置合わせサブ・マーク2
4、26、28からなり、各サブ・マークは、左下から青
用、緑用、赤用の順にＸ方向に３画素分、Ｙ方向に10画
素分の間隔で並んで設けられている。
図７に示したシリコン基板２全面に、柱状スペーサを
形成するための例えば厚さ５μｍのシリコン酸化膜をプ
ラズマCVD法により堆積する。次に、ポジ型フォトレジ
ストを例えば厚さ４μｍ全面に塗布してフォトレジスト
層を形成する。
このシリコン酸化膜、フォトレジスト層が形成された
シリコン基板２を、例えばマスク・アライナー等の露光
装置（図示せず）のＸ−Ｙステージ上に載置し、一方、
ステージと露光装置の光源との間には、上述の図８に示
したマスク32をセットする。
図９は、赤色用液晶ライトバルブの柱状スペーサのパ
ターニングを示す図である。
露光装置のＸ−Ｙステージを移動させて、基板側位置
合わせマーク22の赤色用位置合わせサブ・マーク16と、
マスク側位置合わせマーク30の赤色用位置合わせサブ・
マーク24とを一致させて位置決めしてから露光する。
露光後、パターニングして柱状スペーサの形成位置に
エッチングマスクとしてのレジスト層を形成する。その
後、このレジスト層をマスクとしてシリコン酸化膜をエ
ッチングして所望の柱状スペーサ10が完成する。
赤色用のライトバルブ形成用の基板の露光が終了した
ら、基板を露光装置から取り出し、シリコン酸化膜、フ
ォトレジスト層が形成された別のシリコン基板２を露光
装置のＸ−Ｙステージに載置して、図10に示すように緑
色用のライトバルブ形成用の基板の露光を行う。
露光装置のＸ−Ｙステージを移動させて、基板側位置
合わせマーク22の緑色用位置合わせサブ・マーク18と、
マスク側位置合わせマーク30の緑色用位置合わせサブ・
マーク26とを一致させて位置決めしてから露光する。
露光後、パターニングして柱状スペーサの形成位置に
エッチングマスクとしてのレジスト層を形成する。その
後、このレジスト層をマスクとしてシリコン酸化膜をエ
ッチングして所望の柱状12が完成する。
さらに、緑色用のライトバルブ形成用の基板の露光が
終了したら、基板を露光装置から取り出し、シリコン酸
化膜、フォトレジスト層が形成されたさらに別のシリコ
ン基板２を露光装置のＸ−Ｙステージに載置して、図11
に示すように青色用のライトバルブ形成用の基板の露光
を行う。
露光装置のＸ−Ｙステージを移動させて、基板側位置
合わせマーク22の青色用位置合わせサブ・マーク20と、
マスク側位置合わせマーク30の青色用位置合わせサブ・
マーク28とを一致させて位置決めしてから露光する。
露光後、パターニングして柱状スペーサの形成位置に
エッチングマスクとしてのレジスト層を形成する。その
後、このレジスト層をマスクとしてシリコン酸化膜をエ
ッチングして所望の柱状スペーサ14が完成する。
このようにして本実施例の柱状スペーサの製造方法に
よれば、１枚のスペーサ・マスクを用いて、赤色、緑
色、青色用の液晶ライトバルブにおける柱状スペーサの
位置を画素アレイ領域内で所定量ずらして形成すること
ができる。本実施例の柱状スペーサの製造方法は、従来
と工程数の増加はほとんどなく、マスクを複数用意する
必要がないので経済的であるという利点も有している。
本発明は、上記実施例に限らず種々の変形が可能であ
る。
例えば、上記実施例においては、各色のライトバルブ
の柱状スペーサの位置を所定の間隔だけずらして形成し
たが、要するに各色のライトバルブの柱状スペーサが重
ならない位置にあればよいので、例えば、ランダムな位
置に柱状スペーサを形成してももちろんよい。
また、上記実施例においては、位置合わせ・マークは
説明の都合上十字形状としたが、現実にアラインメント
ができればどのような形状でもよいのはもちろんであ
る。
また、上記実施例においては、アレイ基板側位置合わ
せマーク22のサブ・マークの間隔をＹ方向に13画素と
し、マスク側位置合わせマーク30のサブ・マークの間隔
をＸ方向に３画素分、Ｙ方向に10画素分としたが、これ
に限定する必要はもちろんない。
上記実施例では、柱状スペーサの各色間の間隔をＸ、
Ｙ方向でそれぞれ３画素分と決めたので、アレイ基板と
マスクとを相対的にＸ、Ｙ方向でそれぞれ３画素分ずら
すことができるように位置合わせマークをそれぞれ形成
すればよい。すなわち、各色毎の柱状スペーサのずらし
量に応じて相対的にずらした位置合わせマークをそれぞ
れに設ければよい。
さらに、上記実施例では、下地のシリコン基板上の位
置合わせ（アラインメント）マークをシフトさせて柱状
スペーサをパターニングしたが、下地の位置合わせマー
クとスペーサマスク側の位置合わせマークとが相対的に
所定量シフトすればよいので、スペーサ・マスクをシフ
トさせるようにしても、また、双方をシフトさせるよう
にしてもよいのはもちろんである。
産業上の利用可能性 以上の通り、本発明によれば、コントラストの劣化或
は残像の発生を防止して、表示品質を向上させた液晶表
示装置を実現できる。
フロントページの続き (72)発明者 榎並 国男 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 日本アイ・ビー・エム株式会社 野洲 事業所内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02F 1/1339 G02F 1/13

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】所定のセルギャップを維持させるための複
    数の柱状スペーサが画素アレイ領域に形成され、赤
    （Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応する画像をそれぞれ
    表示する３個の液晶ライトバルブを有する液晶表示装置
    において、 前記３個の液晶ライトバルブの各画素アレイ領域に形成
    された複数の柱状スペーサは、スクリーン上に画像を投
    影した際、少なくとも一部は重ならない位置に設けられ
    ていること を特徴とする液晶表示装置。
  2. 【請求項２】請求の範囲第項１記載の液晶表示装置にお
    いて、 前記３個の液晶ライトバルブの各画素アレイ領域に形成
    された複数の柱状スペーサは、前記スクリーン上に画像
    を投影した際、規則的にずれた位置に設けられているこ
    と を特徴とする液晶表示装置。
  3. 【請求項３】請求の範囲第項２記載の液晶表示装置にお
    いて、 前記３個の液晶ライトバルブの各画素アレイ領域に形成
    された複数の柱状スペーサは、前記スクリーン上に画像
    を投影した際、夫々等間隔ずれた位置に設けられている
    こと を特徴とする液晶表示装置。
  4. 【請求項４】請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかに
    記載の液晶表示装置において、 前記複数の柱状スペーサは、前記各画素アレイ領域内の
    複数の画素間の遮光領域に形成されていること を特徴とする液晶表示装置。
  5. 【請求項５】画素アレイ領域が形成された基板に設けら
    れた基板側位置合わせマークと、前記基板側位置合わせ
    マークに対応して柱状スペーサ形成用マスクに形成され
    たマスク側位置合わせマークとを、赤（Ｒ）、緑
    （Ｇ）、青（Ｂ）用の各画素アレイ領域毎に相対的に所
    定量ずらして前記画素アレイ領域上のレジスト層をパタ
    ーニングし、 パターニングされた前記レジスト層をマスクとして下地
    の絶縁膜をエッチングし、 前記赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）用の各画素アレイ領
    域毎に夫々ずれて配置される複数の柱状スペーサを形成
    すること を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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