JP3367389B2 - 天井搬送システム及びその位置決め方法 - Google Patents
天井搬送システム及びその位置決め方法Info
- Publication number
- JP3367389B2 JP3367389B2 JP21842997A JP21842997A JP3367389B2 JP 3367389 B2 JP3367389 B2 JP 3367389B2 JP 21842997 A JP21842997 A JP 21842997A JP 21842997 A JP21842997 A JP 21842997A JP 3367389 B2 JP3367389 B2 JP 3367389B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceiling
- positioning data
- carrier
- specific
- positioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Control And Safety Of Cranes (AREA)
Description
軌道を走行し、搬送物（キャリア）を吊り下げ状態でク
リーンルーム内等に配置されたプロセス処理装置相互間
に搬送する天井搬送システムに関する。
デバイス製造用ウェーハ搬送システムにおいては、天井
側の軌道を走行する天井搬送車を用い、ウェーハの入っ
たキャリアを半導体プロセス処理装置同志の間又は半導
体プロセス処理装置とストッカとの間で搬送しながら処
理することが行われている。
走行部、この走行部に設けられたハンド吊り下げ部、こ
のハンド吊り下げ部から昇降自在に吊り下げられたハン
ドからなり、半導体プロセス処理装置のロードポートに
置かれたキャリアをハンドで把持し、ハンド吊り下げ部
がハンドを上昇させた後、走行部により軌道に沿って走
行される構造となっている。
す様に、天井側に設けられた軌道２０２に沿って複数の
半導体プロセス処理装置２０３が並設され、２台以上の
天井搬送車２０４により各半導体プロセス処理装置２０
３のロードポート２０５上から半導体ウェーハを収納す
るキャリア２０６を把持して、他の半導体プロセス処理
装置に搬送する。そして、キャリア２０６を各半導体プ
ロセス処理装置２０３から授受する際に、各天井搬送車
２０４のハンド２０７を、軌道２０２に沿ったＸ方向、
軌道に直交するＹ方向、ロードポート２０５に向かうＺ
方向および水平面で回転させるθ方向に調整すること
で、キャリア１０４に対して位置決めする。
ロセス処理装置２０３のキャリア２０６（ロードポート
２０５）に対して位置決めするには、各天井搬送車によ
る搬送前に、各半導体プロセス処理装置２０３のロード
ポート２０５に対してキャリア２０６を把持したハンド
２０７を教示（ティーチング）することで、各天井搬送
車２０４毎に各半導体プロセス処理装置のロードポート
２０５に対する位置決めデータを測定して、この位置決
めデータに基づいて各天井搬送車２０５のハンド２０７
を位置決めするようにしている。
天井搬送システムでは、軌道を走行する全ての天井搬送
車を、全ての半導体プロセス処理装置に対して教示（テ
ィーチング）することで、各天井搬送車毎の各半導体プ
ロセス処理装置に対する位置決めデータを得ていること
から、これら位置決めデータを得るための教示の回数と
時間が多く必要となり、搬送までの時間が長くなる。特
に、半導体プロセス処理装置の数が多くなる程、教示の
回数と時間が著しく多くなる。
れたもので、２台以上の天井搬送車で搬送物を搬送する
際の、教示の回数と時間を短縮して各天井搬送車の各処
理装置に対する位置決めを可能とすることにある。
め、本発明の天井搬送システムでは、天井側の軌道に沿
って走行自在な天井搬送車を２台以上により、複数の処
理装置の間で搬送物を搬送する天井搬送システムにおい
て、前記２台以上のうち特定の天井搬送車を、特定の処
理装置と他の処理装置に対して教示させて得られる位置
決めデータと、残りの天井搬送車を、特定の処理装置に
対して教示させて得られる位置決めデータとを有し、前
記残りの天井搬送車は、特定の処理装置における各位置
決めにより求められる前記特定の天井搬送車に対するオ
フセット量と、前記特定の天井搬送車の他の処理装置に
対する位置決めデータとに基づいて、該他の処理装置に
対する位置決めデータを得るものである。これにより、
２台以上のうち特定した天井搬送車に、特定の処理装置
と他の処理装置に対する搬送物の位置決めデータを教示
し、残りの天井搬送車に特定の処理装置の教示を行って
天井搬送車の固有の位置決め特性を測定することで、こ
れらの位置決めデータのみで残りの天井搬送車の他の処
理装置に対する搬送物の位置決めデータを得ることがで
きる。
置決め手段は、走行部を軌道に対する走行させるＸ方
向、ハンド吊り下げ部からハンド部を吊り下げるＺ方
向、前記走行部に対して前記ハンド吊り下げ部を前記軌
道と直角方向に移動させるＹ方向と、前記走行部に対し
て前記ハンド吊り下げ部を水平面内で回転させる角度θ
の４元により行うものである。これにより、Ｘ〜Ｚ方
向、θ方向の４元について教示するものでは、各天井搬
送車により全てのプロセス処理装置に対して教示する
と、その教示の回数と時間が多くなることから、上述し
た教示により得られる各位置決めデータに基づいて、残
りの天井搬送車の各処理装置に対する位置決めデータを
求めるようにすれば、教示の回数と時間を有効に低減さ
せることができる。
理装置は、半導体デバイス製造のためのプロセス処理装
置及びストッカであり、前記天井搬送車は、プロセス処
理装置同士の間、プロセス処理装置とストッカの間で半
導体ウェーハを入れる前記キャリアを搬送するものであ
る。これにより、クリーンルーム内に複数並設されて、
その精密性が要求される半導体プロセス処理装置やスト
ッカーに対して、又はオペレータによる搬送物の検査の
ための仮置台に対して、２台以上の天井搬送車を用いて
キャリアを搬送する際に、各装置に対するキャリアの位
置決めを確実に行える。
では、天井側の軌道に沿って走行自在な天井搬送車の２
台以上により、複数の処理装置の間で搬送物を搬送する
際に、各処理装置に対して位置決めする天井搬送システ
ムの位置決め方法であって、前記２台以上の天井搬送車
のうち特定の天井搬送車を、特定の処理装置と他の処理
装置に対して教示させることで位置決めデータを得る工
程と、残りの天井搬送車を、前記特定の処理装置に対し
て教示させることで位置決めデータを得る工程とを具
え、前記特定の処理装置における各位置決めデータに基
づいて、特定の天井搬送車に対する残りの天井搬送車の
オフセット量を求め、このオフセット量と特定の天井搬
送車の他の処理装置に対する位置決めデータとに基づい
て演算される位置決めデータにより、他の処理装置に対
して残りの天井搬送車を位置決めするようにしたもので
ある。これにより、２台以上のうち特定した天井搬送車
に、特定の処理装置と他の処理装置に対する搬送物の位
置決めデータを教示し、残りの天井搬送車に特定の処理
装置の教示を行って天井搬送車の固有の位置決め特性を
測定することで、これらの位置決めデータのみで残りの
天井搬送車の他の処理装置に対する搬送物の位置決めデ
ータを得ることができる。
天井搬送システムを、図１〜図４に基づいて説明する。
１は、建物の天井側に設けられた軌道２と、軌道２に沿
って走行自在に配置された２台以上の天井搬送車３とで
構成されており、軌道２は建物内に並設された複数のプ
ロセス処理装置４のロードポート５上を通過するように
懸架されている。各天井搬送車３は、位置決め手段６
と、この位置決め手段６により各プロセス処理装置４の
ロードポート５に対して位置決めされるハンド７とを有
し、ハンド７に設けられた開閉可能な爪８により各プロ
セス処理装置４のロードポート５に置かれた搬送物９を
把持する。位置決め手段６は、各天井搬送車３を軌道２
に沿ったＸ方向に走行させる走行部１１と、ハンド吊り
下げ部材１２（帯状のもの）を巻取り、巻戻しすること
で各プロセス処理装置４のロードポート５に対するＺ方
向にハンド７を昇降させるハンド吊り下げ部１３と、ハ
ンド吊り下げ部１３を走行部１１に対して軌道２（Ｘ方
向）と直交するＹ方向に移動させ、且つ水平面内でθ方
向に回転させる移動部１４とで構成されている。
れ、又は２台以上のうち建物への設置前からすでに特定
された１つの天井搬送車３Ｋの内には、軌道２内に配さ
れた給電線により外部電源１５に接続される電源部１６
と、通信部１７と、位置決めデータを記憶する位置決め
データテーブル１９（記憶手段）と、位置決めデータに
基づいて位置決め手段６の作動を制御する台車制御部１
８と、演算部２４とが配置されている。位置決めデータ
テーブル１９には、ティーチングボックス２３の操作に
より予め特定の天井搬送車３Ｋのハンド７で把持された
搬送物９をＸ〜Ｚ方向、及びθ方向に教示（ティーチン
グ）することで得られる特定のプロセス処理装置４Ｋの
ロードポート５に対する搬送物９の位置決めデータ（Ｘ
kr，ＹKr，ＺKr，θKr）と、他の各プロセス処理装置４
Ｌのロードポート５に対する搬送物９の位置決めデータ
（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…
ＺKn，θK1…θKi…θKn）とが記憶される。台車制御部
１８は、軌道２内に配された通信線、通信部１７を介し
て地上制御装置２１の通信器２２に接続されており、地
上制御装置２１の指令に基づいて天井搬送車３Ｋを搬送
対象となるプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌのロードポート
５上まで走行させると共に、対応するプロセス処理装置
４Ｋの位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，θKr）、又
は他のプロセス処理装置４Ｌの位置決めデータ（Ｘk1…
Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θ
K1…θKi…θKn）に基づいて、走行部１１、移動部１
４、ハンド巻取部１３の各サーボモータの駆動を制御す
ることによりハンド７をロードポート５上の搬送物９を
位置決めして授受させる。
に配された給電線により外部電源１５に接続される電源
部１６と、通信部１７と、位置決めデータを記憶する位
置決めデータテーブル２０（記憶手段）と、位置決めデ
ータに基づいて位置決め手段６の作動を制御する台車制
御部２８と、演算部２４とが配置されている。位置決め
データテーブル２０には、ティーチングボックス２３の
操作により予め残りの各天井搬送車３Ｌのハンド７で把
持された搬送物９をＸ〜Ｚ方向、及びθ方向に教示する
ことで得られる特定のプロセス処理装置４Ｋのロードポ
ート５に対する搬送物９の位置決めデータ（ＸLr，
ＹLr，ＺLr，θLr）が記憶され、又特定の天井搬送車３
Ｋから地上制御装置２１の送られた位置決めデータ（Ｘ
k1…Ｘki…Ｘ Kn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…
ＺKn，θK1…θKi…θKn）が通信器２２を介して送信さ
れて記憶される。尚、位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…Ｘ
Kn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi
…θKn）を、残りの天井搬送車３Ｌに送信する方法とし
て、特定の天井搬送車３Ｋから直接、残りの天井搬送車
３Ｌに送信することや、ＩＣカードに位置決めデータ
（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…Ｙ Ki…ＹKn，ＺK1…ＺKi…
ＺKn，θK1…θKi…θKn）を一旦読み込んで、このＩＣ
カードにより残りの天井搬送車３Ｌに記憶させるように
しても良い。
Ｋに対する位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，
θKr），（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）に基づいて特定の
天井搬送車３Ｋに対する残りの各天井搬送車３Ｌのオフ
セット量ＯＦを、 ＯＦ＝ＸLr−Ｘkr、ＹLr−ＹKr、ＺLr−ＺKr、θLr−θKr・・・・・（１） にて求め、この式（１）で求めたオフセット量ＯＦと、
位置決めデータテーブル２０に記録されている位置決め
データ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…
Ｚ Ki…ＺKn，θK1…θKi…θKn）のうちから搬送対象と
なっている、例えばｉ番目のプロセス処理装置４Ｌの位
置決めデータ（Ｘki，ＹKi，ＺKi，θKi）とに基づい
て、残りのプロセス処理装置４Ｌのロードポート５に対
する搬送物９の位置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θ
Li）を、 ＸLi＝Ｘki＋（ＸLr−Ｘkr）・・・・・・・・・・・・・・・・・・（２） ＹLi＝ＹKi＋（ＹLr−ＹKr）・・・・・・・・・・・・・・・・・・（３） ＺLi＝ＺKi＋（ＺLr−ＺKr）・・・・・・・・・・・・・・・・・・（４） θLi＝θki＋（θLr−θKr）・・・・・・・・・・・・・・・・・・（５） にて求めて、式（２）〜（５）で求めた位置決めデータ
（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θ Li）を台車制御部２８に出力す
る。
信線、通信部１７を介して地上制御装置２１の通信器２
２に接続されており、地上制御装置２１の指令に基づい
て天井搬送車３Ｌを搬送対象となるプロセス処理装置４
Ｌのロードポート５上まで走行させると共に、演算部２
４で演算された位置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θ
Li）に基づいて、走行部１１、移動部１４、ハンド巻取
部１３の各サーボモータの駆動を制御することによりハ
ンドをロードポート５上の搬送物９に位置決めして授受
させる。
うに構成されるが、次に、この天井搬送システム１を用
いた位置決め方法について説明する。
送車３Ｋを、特定のプロセス処理装置４Ｋ、残りのプロ
セス処理装置４Ｌ上にそれぞれ搬送する。そして、ティ
ーチングボックス２３の操作により位置決め手段６の走
行部１１，移動部１４，ハンド巻取部１３を駆動制御し
てハンド７で把持された搬送物９を教示することで、特
定のプロセス処理装置４Ｋと残りのプロセス処理装置４
Ｌのロードポート５上に置かれた搬送物９をハンド７で
把持可能な位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，
θKr），（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1
…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi…θKn）を計測して位置決め
データテーブル１９に記憶する。又、特定の天井搬送車
３Ｋの教示により得られた位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki
…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…
θKi…θKn）を、地上制御装置２１に送信し、この地上
制御装置２１から通信器２２を介して残りの各天井搬送
車３Ｌの位置決めデータテーブル２０に記憶させる。次
いで、残りの各天井搬送車３Ｌを、特定のプロセス処理
装置４Ｋ上にそれぞれ走行させて、ティーチングボック
ス２３の操作により位置決め手段６の走行部１１，移動
部１４，ハンド巻取部１３を駆動制御してハンド７で把
持された搬送物９を教示することで、特定のプロセス処
理装置４Ｋのロードポート５上に置かれた搬送物９をハ
ンド７で把持可能な位置決めデータ（ＸLr，ＹLr，
ＺLr，θLr）を計測して、各位置決めデータテーブル２
０に記憶させる。
上制御装置２１からの指令に基づいて、搬送物９を把持
するプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌのロードポート５上に
走行され、台車制御部１８が搬送物９を把持するプロセ
ス処理装置４Ｌの位置決めデータ（Ｘki，ＹKi，ＺKi，
θKi）に基づいて、位置決め手段６の走行部１１、移動
部１４及びハンド巻取部１３の駆動を制御して、ハンド
７をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向を調整することで、ロー
ドポート５の搬送物９上に位置決めする。次いで、ハン
ド吊り下げ部１３でハンド吊り下げ部材１２の巻き戻し
を制御することでハンド７のＺ方向を調整して、ハンド
７を爪８が搬送物９の取手９Ａを把持可能な位置に位置
決めする。そして、爪８を閉じることで、ハンド７によ
り搬送物９を把持し、ハンド吊り下げ部１３によりハン
ド吊り下げ部材１２を巻取ることで搬送物９を吊り上げ
状態として、他のプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌまで搬送
する。
置２１からの指令に基づいて、搬送物９を把持するプロ
セス処理装置４Ｋ，４Ｌのロードポート５上に走行さ
れ、演算部２４が特定のプロセス処理装置４Ｋに対する
位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，θKr）と（ＸLr，
ＹLr，ＺLr，θLr）に基づいて特定の天井搬送車３Ｋに
対する残りの各天井搬送車３Ｌのオフセット量ＯＦを求
め〔式（１）〕、このオフセット量ＯＦと、位置決めデ
ータテーブル２０に記録されている位置決めデータ（Ｘ
k1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…
ＺKn，θK1…θKi…θ Kn）のうちから搬送対象となって
いる、例えばｉ番目のプロセス処理装置４Ｌの位置決め
データ（Ｘki，ＹKi，ＺKi，θKi）に基づいて、プロセ
ス処理装置４Ｌのロードポート５に対する位置決めデー
タ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）を求めて〔式（２）〜
（５）〕、台車制御部２８に出力する。これにより、台
車制御部２８は、搬送物９を把持するプロセス処理装置
４Ｌの位置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）に基
づいて、位置決め手段６の走行部１１、移動部１４の駆
動を制御して、ハンド７をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向を
調整することで、ロードポート５の搬送物９上に位置決
めする。そして、ハンド吊り下げ部１３の巻き戻しを制
御することでハンド７のＺ方向を調整して、ハンド７の
爪８が搬送物９の取手９Ａを把持可能な位置に位置決め
する。そして、爪８を閉じることで、ハンド７により搬
送物９を把持し、ハンド巻取部１３によりハンド吊り下
げ部材１２を巻取ることで搬送物９を吊り上げ状態とし
て、他のプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌまで搬送する。
の天井搬送車３Ｋのハンド７を教示することで、全ての
プロセス処理装置４Ｋ，４Ｌのロードポート５に対する
搬送物９の位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…
ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…Ｚ Kn，θK1…θKi…θKn）を
測定し、残りの天井搬送車３Ｌのハンド７の教示を特定
のプロセス処理装置４Ｋに対してのみに行って位置決め
データ（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）を測定することで、
これらの位置決めデータにより残りの天井搬送車３Ｌの
各プロセス処理装置４Ｌに対する搬送物９の位置決めデ
ータ（ＸLi，Ｙ Li，ＺLi，θLi）を得ることができるこ
とから、各天井搬送車３Ｋ，３Ｌの教示の回数と教示に
要する時間を大幅に短縮できる。特に、４元のＸ〜Ｚ方
向、θ方向を教示するものでは、各天井搬送車３Ｋ，３
Ｌにより全てのプロセス処理装置４Ｋ，４Ｌに対して教
示すると、その教示の回数と時間が多くなることから、
上述した教示により得られる各位置決めデータに基づい
て、残りの天井搬送車３Ｌの各プロセス処理装置４Ｌに
対する位置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）を求
めるようにすれば、教示の回数と時間を有効に低減させ
ることができる。
は、特定の天井搬送車３Ｋと残りの天井搬送車３Ｌの各
々に、各位置決めデータを記憶させた後に、オフセット
量ＯＦ（ＯＦ＝ＸLr−Ｘkr、ＹLr−ＹKr、ＺLr−ＺKr、
θLr−θKr）を演算するものを示したが、これに限定さ
れるものでなく、予めオフセット量ＯＦを演算して、残
りの天井搬送車３Ｌの位置決めテーブル２０にオフセッ
ト量ＯＦと特定の天井搬送車３Ｋの他の処理装置３Ｌの
位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…
ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi…θKn）とを記憶
させて、位置決めの際に利用するようにしても良い。
又、オフセット量は、工場出荷時に工場内の装置を使っ
て得ることができるため、本方法を用いることで現地調
整時間を短くすることができる。
テム１が半導体デバイス製造用ウェーハ搬送システムに
適用された場合について図３及び図４により説明する。
０１内に配置された半導体プロセス処理装置１０２Ｋ，
１０２Ｌ、ストッカー１０３や図示しない検査用の仮置
台などの間で、半導体デバイス製造用ウェーハＷ（以
下、「半導体ウェーハＷ」という。）を搬送するシステ
ムとして、半導体ウェーハＷが複数枚単位で収納された
キャリア１０４（搬送物）を吊り下げ状態で搬送する天
井搬送システム１０５が用いられる。
ム１０１内に並設された複数の半導体プロセス処理装置
１０２Ｋ，１０２Ｌやストッカー１０３のロードポート
１１０上、又は半導体ウェーハＷの検査用の仮置台に配
置された軌道１０６を走行する２台以上の天井搬送車３
Ｋ，３Ｌで構成されている。各天井搬送車３Ｋ，３Ｌ
は、位置決め手段となる走行部１１と、移動部１４と、
キャリア１０４を吊り下げ状態で把持するハンド７と、
ハンド７を昇降自在に吊り下げるハンド吊り下げ部１４
とで構成されている。そして、２台以上のうち特定の１
つの天井搬送車３Ｋには、図１及び図２で説明した様
に、電源部、通信部、台車制御部の他に位置決めデータ
を記憶する位置決めデータテーブル、及び演算部が配置
され、残りの天井搬送車３Ｌには、図１及び図２で説明
した様に、電源部、通信部、台車制御部の他に位置決め
データを記憶する位置決めデータテーブル、及び演算部
が配置されている。
１０４に収納された半導体ウェーハＷを搬送するために
は、クリーンルーム１０１に配置された後、又は配置さ
れる前に特定される天井搬送車３Ｋを各半導体プロセス
処理装置１０２Ｋ，１０２Ｌやストッカー１０３のロー
ドポート１１０上に搬送し、オペレータによるティーチ
ングボックスの手動操作により位置決め手段６を制御し
て、ハンドで把持されたキャリア１０４を教示すること
で、特定の半導体プロセス処理装置１０２Ｋのロードポ
ート１１０に対するキャリア１０４の位置決めデータ
（Ｘkr，ＹKr，Ｚ Kr，θKr）と、残りの半導体プロセス
処理装置１０４Ｌ、ストッカー１０３又は仮置台の位置
決めデータ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，Ｚ
K1…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi…θKn）を測定して特定の
天井搬送車３Ｋに記憶させると共に、地上制御装置１２
０に送信する。又、残りの天井搬送車３Ｌを特定の半導
体プロセス処理装置１０２Ｋのロードポート１１０上に
搬送し、ティーチングボックスの手動操作により位置決
め手段６を制御することで、特定の半導体プロセス処理
装置１０２Ｋに対するキャリア１０４の位置決めデータ
（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）を測定し、この位置決めデ
ータ（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）と地上制御装置１２０
から送信される位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…ＸKn，Ｙ
K1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…θKi…
θKn）を、各残りの天井搬送車３Ｌに記憶させる。
キャリア１０４を搬送するには、位置決めデータテーブ
ルに記憶されている位置決めデータ（Ｘk1…Ｘki…
ＸKn，Ｙ K1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θK1…θ
Ki…θKn）に基づいて、位置決め手段６の走行部１１、
移動部１４の作動を制御して、ハンド７をＸ方向、Ｙ方
向及びθ方向を調整することで、搬送対象となっている
半導体プロセス処理装置１０２Ｌのロードポート１１０
上のキャリア１０４に相対する様に位置決めし、ハンド
吊り下げ部１３の作動を制御することでハンド７の爪８
でキャリア１０４の取手１０４Ａを把持する。そして、
ハンド吊り下げ部１３によりハンド吊り下げ部材１２を
巻取ることでキャリア１０４を吊り下げ状態にして、特
定の搬送走行車３Ｋを走行させることで、他の半導体プ
ロセス処理装置１０２Ｋ，１０２Ｌやスタッカー１０３
のロードポート１０３上、又は仮置台上に搬送し、この
半導体プロセス処置装置１０２Ｋ，１０２Ｌ、スタッカ
ー１０３又は仮置台の対応する位置決めデータ（Ｘk1…
Ｘki…ＸKn，ＹK1…ＹKi…ＹKn，ＺK1…ＺKi…ＺKn，θ
K1…θKi…θKn）に基づいて位置決め手段６の走行部１
１、移動部１４、ハンド吊り下げ部１３の作動を制御す
ることで、キャリア１０４をロードポート１１０上に位
置決めしつつ載置する。
１０４を搬送するためには、特定の半導体プロセス処理
装置に対する位置決めデータ（Ｘkr，ＹKr，ＺKr，
θKr）と（ＸLr，ＹLr，ＺLr，θLr）により、オフセッ
ト量ＯＦを演算し、続いて、このオフセット量ＯＦと搬
送対象となるキャリアが載置された、例えばｉ番目の半
導体プロセス処理装置の位置決めデータ（Ｘki，ＹKi，
ＺKi，θKi）とに基づいて、半導体プロセス処理装置１
０２Ｌのロードポート１１０に対する位置決めデータ
（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）を求める。そして、この位
置決めデータ（ＸLi，ＹLi，ＺLi，θLi）に基づいて、
位置決め手段６の走行部１１、移動部１４の作動を制御
することで、ハンド７をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向を調
整してロードポート１１０のキャリア１０４に相対する
様に位置決めし、ハンド吊り下げ部１３の作動を制御す
ることでハンド７の爪８でキャリア１０４の取手１０４
Ａを把持する。そして、ハンド吊り下げ部１３によりハ
ンド吊り下げ部材１２を巻取ることでキャリア１０４を
吊り下げ状態にして、天井搬送車３Ｌを走行させること
で、他の半導体プロセス処理装置１０２Ｋ，１０２Ｌ、
スタッカー１０３のロードポート１１０上や仮置台上に
搬送し、この半導体プロセス処置装置１０２Ｋ，１０２
Ｌ、スタッカー１０３や仮置台の対応する位置決めデー
タに基づいて位置決め手段６の走行部１１、移動部１
４、ハンド吊り下げ部１３の作動を制御することで、キ
ャリア１０４をロードポート１１０上に位置決めしつつ
載置する。
されて、その精密性が要求される半導体プロセス処理装
置１０２Ｋ，１０２Ｌ、ストッカー１０３や仮置台に対
して、２台以上の天井搬送車３Ｋ，３Ｌを用いてキャリ
ア１０４を搬送する際に、各ロードポート１１０に対す
るキャリア１０４の位置決めを確実に行え、又、大型の
半導体プロセス処理装置１０２Ｋ，１０２Ｌやストッカ
ー１０３を天井搬送システム１０５に沿って厳密に据え
つける必要もなくなる。
決め方法によれば、２台以上のうち特定した天井搬送車
に、特定の処理装置と他の処理装置に対する搬送物の位
置決めデータを教示し、残りの天井搬送車に特定の処理
装置の教示を行って天井搬送車の固有の位置決め特性を
測定することで、これらの位置決めデータのみで残りの
天井搬送車の他の処理装置に対する搬送物の位置決めデ
ータを得ることができるから、各天井搬送車３の教示
（ティーチング）の回数と教示（ティーチング）に要す
る時間を大幅に短縮できる。
示（ティーチング）するものでは、各天井搬送車により
全てのプロセス処理装置に対して教示すると、その教示
の回数と時間が多くなることから、上述した教示により
得られる各位置決めデータに基づいて、残りの天井搬送
車の各処理装置に対する位置決めデータを求めるように
すれば、教示の回数と時間を有効に低減させることがで
きる。
て、その精密性が要求される半導体プロセス処理装置や
ストッカー、又はオペレータによる搬送物の検査のため
の仮置台に対して、２台以上の天井搬送車を用いてキャ
リアを搬送する際に、各装置に対するキャリアの位置決
めを確実に行え、又、大型の半導体プロセス処理装置や
ストッカーを天井搬送システムに沿って厳密に据えつけ
る必要なくなる。
のクリーンルームに適用した斜視図である。
のクリーンルームに適用した側面図である。
る。
Claims (4)
- 【請求項１】 天井側の軌道に沿って走行自在な天井搬
送車を２台以上により、複数の処理装置の間で搬送物を
搬送する天井搬送システムにおいて、 前記２台以上のうち特定の天井搬送車を、特定の処理装
置と他の処理装置に対して教示させて得られる位置決め
データと、 残りの天井搬送車を、特定の処理装置に対して教示させ
て得られる位置決めデータとを有し、 前記残りの天井搬送車は、特定の処理装置における各位
置決めにより求められる前記特定の天井搬送車に対する
オフセット量と、前記特定の天井搬送車の他の処理装置
に対する位置決めデータとに基づいて、該他の処理装置
に対する位置決めデータを得ることを特徴とする天井搬
送システム。 - 【請求項２】 前記位置決め手段は、走行部を軌道に対
する走行させるＸ方向、ハンド吊り下げ部からハンド部
を吊り下げるＺ方向、前記走行部に対して前記ハンド吊
り下げ部を前記軌道と直角方向に移動させるＹ方向と、
前記走行部に対して前記ハンド吊り下げ部を水平面内で
回転させる角度θの４元により行うものである請求項１
記載の天井搬送システム。 - 【請求項３】 前記処理装置は、半導体デバイス製造の
ためのプロセス処理装置及びストッカであり、前記天井
搬送車は、プロセス処理装置同士の間、プロセス処理装
置とストッカの間で半導体ウェーハを入れる前記キャリ
アを搬送するものである請求項１又は２記載の天井搬送
システム。 - 【請求項４】 天井側の軌道に沿って走行自在な天井搬
送車の２台以上により、複数の処理装置の間で搬送物を
搬送する際に、各処理装置に対して位置決めする天井搬
送システムの位置決め方法であって、 前記２台以上の天井搬送車のうち特定の天井搬送車を、
特定の処理装置と他の処理装置に対して教示させること
で位置決めデータを得る工程と、 残りの天井搬送車を、前記特定の処理装置に対して教示
させることで位置決めデータを得る工程とを具え、 前記特定の処理装置における各位置決めデータに基づい
て、特定の天井搬送車に対する残りの天井搬送車のオフ
セット量を求め、 このオフセット量と特定の天井搬送車の他の処理装置に
対する位置決めデータとに基づいて演算される位置決め
データにより、他の処理装置に対して残りの天井搬送車
を位置決めすることを特徴とする天井搬送システムの位
置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21842997A JP3367389B2 (ja) | 1997-08-13 | 1997-08-13 | 天井搬送システム及びその位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21842997A JP3367389B2 (ja) | 1997-08-13 | 1997-08-13 | 天井搬送システム及びその位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1160156A JPH1160156A (ja) | 1999-03-02 |
| JP3367389B2 true JP3367389B2 (ja) | 2003-01-14 |
Family
ID=16719777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21842997A Expired - Lifetime JP3367389B2 (ja) | 1997-08-13 | 1997-08-13 | 天井搬送システム及びその位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3367389B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7649655B2 (en) | 2004-01-13 | 2010-01-19 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Carriage system |
| US11515186B2 (en) | 2017-11-02 | 2022-11-29 | Murata Machinery, Ltd. | Ceiling conveyance vehicle system and temporary storage method for articles in ceiling conveyance vehicle system |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4151002B2 (ja) * | 2001-10-19 | 2008-09-17 | 株式会社ダイフク | 吊下搬送設備とその学習装置 |
| JP2007041687A (ja) | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Murata Mach Ltd | 搬送台車システム |
| JP5912426B2 (ja) | 2011-11-07 | 2016-04-27 | ヤマハ発動機株式会社 | リニアコンベア |
| KR101640122B1 (ko) * | 2014-05-14 | 2016-07-22 | 주식회사 에스에프에이 | 스토커 티칭 방법 및 그 시스템 |
| JP6910597B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2021-07-28 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法 |
| KR102470517B1 (ko) * | 2021-04-21 | 2022-11-25 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법 |
| CN114509068B (zh) * | 2022-01-04 | 2024-07-05 | 海信集团控股股份有限公司 | 一种多层道路上的车辆的位置判断方法及装置 |
-
1997
- 1997-08-13 JP JP21842997A patent/JP3367389B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7649655B2 (en) | 2004-01-13 | 2010-01-19 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Carriage system |
| US11515186B2 (en) | 2017-11-02 | 2022-11-29 | Murata Machinery, Ltd. | Ceiling conveyance vehicle system and temporary storage method for articles in ceiling conveyance vehicle system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1160156A (ja) | 1999-03-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10418263B2 (en) | Overhead transportation system for transporting objects between multiple work stations | |
| JP4636379B2 (ja) | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 | |
| KR100706330B1 (ko) | 테스트 핸들러 | |
| US20080056864A1 (en) | Transported object storage system | |
| WO2012043110A1 (ja) | 移載システム | |
| JP2007096140A (ja) | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 | |
| EP3476772B1 (en) | Conveyance system | |
| JP3367389B2 (ja) | 天井搬送システム及びその位置決め方法 | |
| JPH11349280A (ja) | 懸垂式搬送装置 | |
| JP4470576B2 (ja) | 搬送システム | |
| JPH1111860A (ja) | 天井搬送装置及び天井搬送車 | |
| KR20150012159A (ko) | 반송시스템 | |
| WO2019213900A1 (zh) | 一种货物装卸车、货物转运***及其自动调平方法 | |
| JP6760405B2 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
| JP4543833B2 (ja) | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 | |
| WO2021220582A1 (ja) | 天井搬送車及び天井搬送システム | |
| JP4265312B2 (ja) | 懸垂型搬送台車およびその制御方法ならびに搬送システム | |
| JP7323059B2 (ja) | 搬送車システム | |
| JP2000124284A (ja) | 搬送装置 | |
| JP3975532B2 (ja) | 天井搬送車 | |
| JPH07117847A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS6336894B2 (ja) | ||
| CN113557186A (zh) | 行驶车*** | |
| JPH04310592A (ja) | 単結晶インゴットをハンドリングし、計測する装置 | |
| JPS63268010A (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071108 Year of fee payment: 5 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071108 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071108 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081108 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091108 Year of fee payment: 7 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101108 Year of fee payment: 8 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101108 Year of fee payment: 8 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101108 Year of fee payment: 8 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101108 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101108 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111108 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121108 Year of fee payment: 10 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131108 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131108 Year of fee payment: 11 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131108 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |