TW201318792A - 機器手臂之手臂構造及機器手臂 - Google Patents

機器手臂之手臂構造及機器手臂 Download PDF

Info

Publication number
TW201318792A
TW201318792A TW101129709A TW101129709A TW201318792A TW 201318792 A TW201318792 A TW 201318792A TW 101129709 A TW101129709 A TW 101129709A TW 101129709 A TW101129709 A TW 101129709A TW 201318792 A TW201318792 A TW 201318792A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
arm
reduction gear
motor
robot arm
pulley
Prior art date
Application number
TW101129709A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Inventor
Nobuyuki Furukawa
Tadataka Noguchi
Original Assignee
Yaskawa Denki Seisakusho Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Denki Seisakusho Kk filed Critical Yaskawa Denki Seisakusho Kk
Publication of TW201318792A publication Critical patent/TW201318792A/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J17/00—Joints
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
TW101129709A 2011-08-31 2012-08-16 機器手臂之手臂構造及機器手臂 TW201318792A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011189662A JP5434990B2 (ja) 2011-08-31 2011-08-31 ロボットのアーム構造およびロボット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201318792A true TW201318792A (zh) 2013-05-16

Family

ID=47793433

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101129709A TW201318792A (zh) 2011-08-31 2012-08-16 機器手臂之手臂構造及機器手臂

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5434990B2 (ja)
KR (1) KR101544251B1 (ja)
CN (2) CN102962849B (ja)
TW (1) TW201318792A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI787730B (zh) * 2020-02-07 2022-12-21 日商川崎重工業股份有限公司 水平多關節機器人以及包括水平多關節機器人的基板運送系統

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5434990B2 (ja) * 2011-08-31 2014-03-05 株式会社安川電機 ロボットのアーム構造およびロボット
JP6607661B2 (ja) * 2013-08-09 2019-11-20 日本電産サンキョー株式会社 水平多関節ロボット
CN106034770A (zh) * 2016-06-24 2016-10-26 天津迈克重工有限公司 多功能修剪机器人用360°回转装置
JP6592063B2 (ja) 2017-11-09 2019-10-16 ファナック株式会社 モータ交換用アダプタおよびモータの交換方法
CN109812571B (zh) * 2017-11-21 2021-09-10 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种基于变容积的润滑机构
JP7191564B2 (ja) * 2018-07-03 2022-12-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001347483A (ja) * 2000-06-05 2001-12-18 Meikikou:Kk 搬送装置
US6663333B2 (en) * 2001-07-13 2003-12-16 Axcelis Technologies, Inc. Wafer transport apparatus
JP3881579B2 (ja) * 2002-03-29 2007-02-14 日本電産サンキョー株式会社 アーム駆動装置
JP3961918B2 (ja) * 2002-09-13 2007-08-22 ダイキョーニシカワ株式会社 車両の空調用ダクト
JP4603388B2 (ja) * 2005-02-28 2010-12-22 日本電産サンキョー株式会社 ロボットアーム
JP2007083316A (ja) * 2005-09-16 2007-04-05 Yushin Precision Equipment Co Ltd 関節構造の駆動機構
JP2007237342A (ja) * 2006-03-09 2007-09-20 Yaskawa Electric Corp 水平多関節ロボット
JP5016302B2 (ja) * 2006-12-01 2012-09-05 日本電産サンキョー株式会社 アーム駆動装置及び産業用ロボット
TWI458612B (zh) * 2009-11-10 2014-11-01 Intevac Inc 可作ｚ軸運動並具多關節手臂之線性真空機械手
JP5304601B2 (ja) * 2009-11-10 2013-10-02 株式会社安川電機 アーム機構およびそれを備えた真空ロボット
JP2011119556A (ja) * 2009-12-07 2011-06-16 Yaskawa Electric Corp 水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置
JP5434990B2 (ja) * 2011-08-31 2014-03-05 株式会社安川電機 ロボットのアーム構造およびロボット

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI787730B (zh) * 2020-02-07 2022-12-21 日商川崎重工業股份有限公司 水平多關節機器人以及包括水平多關節機器人的基板運送系統

Also Published As

Publication number Publication date
KR101544251B1 (ko) 2015-08-12
CN202805210U (zh) 2013-03-20
CN102962849B (zh) 2015-06-17
JP5434990B2 (ja) 2014-03-05
CN102962849A (zh) 2013-03-13
KR20130024856A (ko) 2013-03-08
JP2013049128A (ja) 2013-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201318792A (zh) 機器手臂之手臂構造及機器手臂
JP4955447B2 (ja) 搬送装置
TWI433764B (zh) A linear moving mechanism and a handling robot using the mechanism
JP5472283B2 (ja) ロボットのアーム構造およびロボット
US7736118B2 (en) Transfer apparatus
TWI398334B (zh) Industrial robots
TW201410414A (zh) 吊桿驅動裝置、多重手臂機器人裝置、電子設備處理系統及在電子設備製造系統中用於運送基板的方法
US20140090507A1 (en) Robot arm and robot
TW201725099A (zh) 用於在進行電子設備製造時輸送基板的機械手組件、基板處理裝置及方法
JP5021397B2 (ja) 搬送装置
KR20130024855A (ko) 로봇의 아암 구조체 및 로봇
EP1892755A2 (en) Substrate Container Opener and Opener-Side Door Drive Mechanism Thereof
TWI787730B (zh) 水平多關節機器人以及包括水平多關節機器人的基板運送系統
JP2013056393A (ja) ロボット、ロボットの設置方法および製造装置
WO2015020089A1 (ja) 水平多関節ロボットおよび水平多関節ロボットの製造方法
JP6027661B2 (ja) 基板搬送ロボット
JP5255683B2 (ja) 搬送装置
TW201345678A (zh) 線性運動機構和設置有該線性運動機構的機器人
JP2018182157A (ja) ウエハの加工装置
JP2011161629A (ja) 基板搬送ロボット
JP5819357B2 (ja) 基板搬送装置および基板搬送ロボット
JP6869136B2 (ja) 産業用ロボット
JP5819356B2 (ja) 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置
JP2012023315A (ja) 基板搬送装置、電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法