TW201318792A - 機器手臂之手臂構造及機器手臂 - Google Patents

Abstract

本發明的課題為使機器手臂小型化。其解決手段為實施形態有關的手臂單元，具備：固定基座部、第1臂部、第2臂部、馬達部、第1傳動帶、第2傳動帶及中繼構件。第1臂部是透過第1減速機與固定基座部連結，第2臂部是透過第2減速機與第1臂部連結。並且，第2傳動帶是將馬達的驅動力傳動至中繼構件，第1傳動帶是將從第2傳動帶透過中繼構件所傳動的馬達的驅動力傳動至第1減速機。

Description

機器手臂之手臂構造及機器手臂

本發明所揭示的實施形態是關於機器手臂的手臂構造及機器手臂。

以往，作為搬運玻璃基板或半導體晶圓等的工件的機器手臂有水平多關節機器手臂為人所知。水平多關節機器手臂是例如，具備：基台；透過第1減速機與基台可旋轉連結第1手臂；及透過第2減速機與第1手臂可旋轉連結第2手臂(例如，參閱專利文獻1)。

專利文獻1中，揭示有使用1個驅動部使第1手臂及第2手臂的雙方旋轉的技術。具體而言，專利文獻1記載的技術是在驅動部的輸出軸與第1減速機的輸入軸之間掛設第1同步皮帶，並在驅動部的輸出軸與第2減速機的輸入軸之間掛設第2同步皮帶。

藉此，驅動部的驅動力可對第1同步皮帶及第2同步皮帶同時且獨力傳動，藉著各同步皮帶所傳動的驅動力使第1手臂及第2手臂分別旋轉。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特許第3881579號公報

但是，以往技術中，在使機器手臂小型化的點有進一步改善的餘地。

尤其是搬運玻璃基板與半導體晶圓等的機器手臂是設置在保持著減壓狀態的真空室內的場合。在以上的場合，使機器手臂小型化可減少真空室的容積，並且減壓狀態的維持容易。為此，強烈地要求機器手臂的小型化。

實施形態之一樣態是以提供可以使機器手臂小型化的機器手臂的手臂構造及機器手臂為目的。

實施形態之一樣態有關的機器手臂的手臂構造是具備：第1構件、第2構件、第3構件、驅動部、第1傳動構件、第2傳動構件及中繼構件。第2構件是透過第1減速機可旋轉地與第1構件連結，第3構件是透過第2減速機可旋轉地與第2構件連結。驅動部產生驅動力。第1傳動構件將驅動部的驅動力傳動至第1減速機的輸入軸。第2傳動構件將驅動部的驅動力傳動至第2減速機的輸入軸。中繼構件沿著與驅動部的輸出軸平行的軸延伸，以此軸為中心旋轉。並且，第1傳動構件或第2傳動構件的一方對中繼構件進一步傳動驅動部的驅動力，第1傳動構件或第2傳動構件的另一方從第1傳動構件或第2傳動構件的一方傳動透過中繼構件所傳動驅動部的驅動力。

根據實施形態之一樣態，可提供使機器手臂小型化的機器手臂之手臂構造及機器手臂。

以下，參閱添附圖示，詳細說明本發明記載的機器手臂之手臂構造及機器手臂的實施形態。此外，本發明不受限於以下表示的實施形態。

(第1實施形態)

首先，針對第1實施形態有關的機器手臂的構成使用第1圖說明。第1圖為實施形態有關的機器手臂的模式透視圖。

如第1圖表示，機器手臂1為具備朝水平方向伸縮的兩支伸縮手臂的水平多關節機器手臂。具體而言，機器手臂1具備胴體部10與手臂單元20。

胴體部10是設置在手臂單元20下部的單元。該胴體部10在筒狀的框體11內具備升降裝置，利用該升降裝置使手臂單元20沿著鉛直方向升降。

升降裝置是例如包含馬達與滾珠螺桿、滾珠螺帽等所構成，藉著將馬達的旋轉運動轉換成直線運動使升降突緣部15沿著鉛直方向升降。藉此，使固定在升降突緣部15上的手臂單元20升降。

在框體11的上部形成有突緣部12。機器手臂1藉著 將突緣部12固定在真空室，形成設置在真空室的狀態。針對上述的點使用第2圖說明。

手臂單元20是透過升降突緣部15與胴體部10連結的單元。具體而言，手臂單元20具備：固定基座部21、第1臂部22、第2臂部23、活動基座部24及輔助臂部25。並且，本實施形態中，固定基座部21、第1臂部22、第2臂部23及活動基座部24是分別對應第1構件、第2構件、第3構件及第4構件。

固定基座部21可旋轉地被支撐在升降突緣部15。固定基座部21具備馬達與減速機所成的旋繞裝置，利用該旋繞裝置旋轉。

具體而言，旋繞裝置是相對於輸出軸固定在胴體部10的減速機經由傳動帶輸入馬達的旋轉。藉此，使固定基座部21以減速機的輸出軸為旋繞軸而在水平方向自轉。

再者，固定基座部21在內部具備維持著大氣壓的箱型收納部，該收納部內具備馬達與減速機、傳動帶等。藉此，如後述，即使在真空室內使用機器手臂1的場合，除了可防止潤滑等的潤滑油乾燥之外，並可防止因粉塵致真空室內的污染。

第1臂部22的基端部是透過後述的第1減速機可旋轉地連結在固定基座部21的上部。又，第2臂部23的基端部是透過後述的第2減速機可旋轉地連結在第1臂部22的前端部上部。

並且，在第2臂部23的前端部可旋轉地連結著活動基座部24。活動基座部24在上部具備保持工件用的終端效應器24a，伴隨著第1臂部22及第2臂部23的旋轉動作成線性移動。

機器手臂1使第1臂部22及第2臂部23同步動作，使得終端效應器24a線性移動。具體而言，機器手臂1是利用1個馬達旋轉第1減速機及第2減速機的雙方，使第2臂部23與第1臂部22同步動作。

具體而言，機器手臂1旋轉第1臂部22及第2臂部23，使得相對於第1臂部22的第2臂部23的旋轉量成為相對於固定基座部21之第1臂部22旋轉量的兩倍。例如，機器手臂1使第1臂部22相對於固定基座部21旋轉α度的場合，旋轉第1臂部22及第2臂部23使得第2臂部23相對於第1臂部22旋轉2α度。藉此，機器手臂1可使終端效應器24a成線性移動。

第1減速機、第2減速機、馬達、傳動帶等的驅動機構，為防止真空室內的污染等的觀點，收納於維持著大氣壓的第1臂部22的內部。

在此，將1個馬達的驅動力傳動至兩個減速機的場合，以往是將馬達的驅動力傳動至一方減速機的輸入軸的傳動帶與傳動至另一方減速機的輸入軸的傳動帶的雙方掛設於馬達的輸出軸。

但是，如上述之傳動帶的掛設方法會有第1臂部22的高度尺寸不夠小的顧慮。

在此，第1實施形態有關的機器手臂1是致力於傳動帶掛設於第1減速機及第2減速機的方法，以減小第1臂部22的高度尺寸，使機器手臂1整體小型化。針對該點，使用第3圖及第4A圖~第4C圖詳細說明。

輔助臂部25是與第1臂部22及第2臂部23的旋轉動作連動來限制活動基座部24的旋轉，使移動中的終端效應器24a經常朝向一定方向的連桿機構。

具體而言，輔助臂部25具備：第1連桿部25a、中間連桿部25b及第2連桿部25c。

第1連桿部25a是使基端部可旋轉地連結於固定基座部21，在前端部可旋轉地與中間連桿部25b的前端部連結。又，中間連桿部25b是將基端部軸支在與第1臂部22和第2臂部23的連結軸的同軸上，前端部可旋轉地被連結在第1連桿部25a的前端部。

第2連桿部25c是在基端部可旋轉地與中間連桿部25b連結，在前端部可旋轉地與活動基座部24的基端部連結。又，活動基座部24是在前端部可旋轉地與第2臂部23的前端部連結，在基端部可旋轉地與第2連桿部25c連結。

第1連桿部25a與固定基座部21、第1臂部22及中間連桿部25b一起形成第1平行連桿機構。亦即，第1臂部22以基端部為中心旋轉時，第1連桿部25a及中間連桿部25b是分別維持著與第1臂部22及固定基座部21平行的狀態一邊旋轉。

又，第2連桿部25c與第2臂部23、活動基座部24及中間連桿部25b一起形成第2平行連桿機構。亦即，第2臂部23以基端部為中心旋轉時，第2連桿部25c及活動基座部24是分別維持著與第2臂部23及中間連桿部25b平行的狀態一邊旋轉。

中間連桿部25b是藉第1平行連桿機構維持著與固定基座部21平行的狀態旋轉。因此，第2平行連桿機構的活動基座部24也維持著與固定基座部21平行的狀態旋轉。其結果，安裝在活動基座部24的上部的終端效應器24a維持著與固定基座部21平行的狀態成線性移動。

如上述，機器手臂1是利用第1平行連桿機構及第2平連桿機構的兩個平行連桿機構，使終端效應器24a的方向維持著一定。因此，與例如在第2臂部內設置滑輪與傳動帶，利用該等滑輪與傳動帶使終端效應器的方向維持一定的場合比較，可抑制起因於滑輪與傳動帶產生的粉塵。

又，可藉輔助臂部25提高手臂整體的剛性，可降低終端效應器24a動作時的振動。因此，和利用滑輪與傳動帶使終端效應器的方向維持著一定方向的場合比較，可抑制起因於終端效應器24a動作時產生的粉塵。

又，第1實施形態有關的機器手臂1具備兩組第1臂部22、第2臂部23、活動基座部24及輔助臂部25所構成的伸縮臂部。因此，機器手臂1例如可從使用一方伸縮臂部的搬運位置一邊安裝工件，並朝著使用另一方伸縮臂部的有關搬運位置搬入新的工件等，可同時平行進行兩 個作業。

接著，針對將機器手臂1設置在真空室的狀態使用第2圖說明。第2圖是表示將機器手臂1設置在真空室的狀態的模式側視圖。

如第2圖表示，機器手臂1是將形成在胴體部10的突緣部12透過密封構件固定在形成於真空室30底部的開口部31的緣部。藉此，真空室30成為密閉的狀態，藉真空泵等的減壓裝置使內部維持著減壓狀態。並且，胴體部10的框體11是從真空室30的下部突出，位在支撐著真空室30的支撐部35內的空間。

機器手臂1是在真空室30內進行工件的搬運作業。例如，機器手臂1是利用第1臂部22及第2臂部23使終端效應器24a線性移動，透過未圖示的閘閥從與真空室30連接的其他真空室取出工件。

接著，機器手臂1在將終端效應器24a拉回後，以旋繞軸O為中心使固定基座部21朝著水平方向旋轉，可以使手臂單元20與工件搬運去處的其他真空室正對。並且，機器手臂1是利用第1臂部22及第2臂部23使終端效應器24a線性移動，將工件搬入至工件搬運去處的其他真空室。

真空室30是配合機器手臂1的形狀所形成，例如，如第2圖表示在真空室30，底面形成有凹部，在此凹部收納著向固定基座部21或升降突緣部15的下方突出的機器手臂1的部位。如上述，使真空室30配合機器手臂1 的形狀來形成，可減小室內的容積。因此，可容易維持著真空室30的減壓狀態。

再者，真空室30內的空間確保有使得採取最小旋繞姿勢的手臂單元20可旋轉的空間及藉升降裝置使得手臂單元20升降所需的空間。最小旋繞姿勢是以旋繞軸O為中心的手臂單元20的旋轉半徑成為最小的機器手臂1的姿勢。

接著，針對收納於第1臂部22的馬達、第1減速機、第2減速機及傳動帶等的配置使用第3圖說明。第3圖是表示第1臂部22的內部構造的模式剖面圖。

再者，以下是以第1臂部22的延伸方向作為X軸方向，在水平方向中以和X軸方向正交的方向作為Y軸方向。並以和X軸方向及Y軸方向正交的方向，即垂直方向作為Z軸方向。

如第3圖表示，第1臂部22在其內部具備維持著大氣壓的箱型收納部221。並且，第1臂部22在有關收納部221內，具備：第1減速機51、第2減速機52、馬達53、中繼構件54、第1傳動帶55及第2傳動帶56等。

如上述，第1實施形態有關的機器手臂1是將減速機或馬達、傳動帶等構件收納於維持著大氣壓的收納部221，除可防止潤滑等的潤滑油乾燥之外，並可防止因粉塵造成真空室30內污染。

第1減速機51被配置在第1臂部22的基端部，使固定基座部21與第1臂部22可旋轉地連結。又，第2減速 機52是被配置在第1臂部22的前端部，使第1臂部22與第2臂部23可旋轉地連結。

馬達53為產生驅動力的驅動部，配置在第1臂部22的大致中央。中繼構件54是沿著與馬達53的輸出軸平行的軸延伸，可沿著該軸旋轉的構件。該中繼構件54是在Y軸方向與馬達53並排配置。

第1傳動帶55是對第1減速機51的輸入軸傳動馬達53的驅動力的第1傳動構件。又，第2傳動帶56是對第2減速機52的輸入軸傳動馬達53的驅動力的第2傳動構件。

如第3圖表示，第2傳動帶56是被掛設在固定於第2減速機52的輸入軸的第2滑輪521、固定於馬達53的輸出軸的第3滑輪531及中繼構件54。又，第1傳動帶55是被掛設在固定於第1減速機51的輸入軸的第1滑輪511及中繼構件54。藉此，第1傳動帶55是從第2傳動帶56將透過中繼構件54所傳動的馬達53的驅動力傳達至第1減速機51的輸入軸。

如上述，機器手臂1將一個馬達53的驅動力分別利用第1傳動帶55及第2傳動帶56傳動至第1減速機51及第2減速機52，可使第1臂部22及第2臂部23同步動作。

接著，使用第4A圖針對馬達53及中繼構件54的配置更具體加以說明。第4A圖為第3圖表示A-A線箭頭方向剖面圖。

馬達53，具備：馬達主體部532；從馬達主體部532朝著垂直下方突出輸出軸533；固定於輸出軸533前端的第3滑輪531及設置在馬達主體部532與輸出軸533間的安裝突緣535。

上述馬達53在將突緣535支撐於從收納部221的側部突出的支撐部222a、222b的狀態下，配置於收納部221內。

中繼構件54，具備：筒狀的主體部541；插穿於主體部541的轉軸542；固定於轉軸542基端部的第4滑輪543及固定於轉軸542前端部的第5滑輪544。又，中繼構件54俱備安裝在主體部541下部的突緣545。

上述中繼構件54在將突緣545支撐於從收納部221的側壁突出的支撐部222b、222c的狀態下，配置在收納部221內。又，中繼構件54的第4滑輪543是被配置在與馬達53的第3滑輪531相同的高度。

在馬達53的第3滑輪531及中繼構件54的第4滑輪543掛設有第2傳動帶56。該第2傳動帶56是如第3圖表示，也掛設在固定於第2減速機52的輸入軸的第2滑輪521。因此，將馬達53的驅動力透過中繼構件54的第4滑輪543及第2傳動帶56傳動至第2減速機52的輸入軸。

又，在收納部221的上部設有使收納部221可與外部連通地封閉的蓋部224。藉著該蓋部224的裝卸，可從收納部221的上部進行馬達53的更換與第1減速機51及第 2減速機52的潤滑油更換。此外，蓋部224是透過密封構件固定在收納部221的上端。可藉以使收納部221內維持著大氣壓。

接著，針對第1減速機51及第2減速機52的配置及第1傳動帶55及第2傳動帶56的掛設方法利用第4B圖及第4C圖更具體加以說明。第4B圖及第4C圖是從Y軸方向顯示第1臂部23內的場合的模式剖面圖。並且，為容易理解，第4B圖是省略中繼構件54來表示，第4C圖則是省略馬達53表示。

如第4B圖表示，第1減速機51，具備：殼體512；從殼體512上部朝垂直上方突出的輸入軸513；固定在輸入軸513前端部的第1滑輪511；及從殼體512下部朝垂直下方突出的輸出軸514。第1減速機51的輸出軸514是被固定在固定基座部21。又，第1減速機51的殼體512是被固定在第1臂部22。

由於第1減速機51的輸出軸514被固定在固定基座部21，所以可藉此將馬達53的驅動力輸入至第1減速機51的輸入軸513，使第1臂部22相對地旋轉。

第2減速機52，具備：殼體522；從殼體522下部朝垂直下方突出的輸入軸523；固定在輸入軸523前端部的第2滑輪521；及從殼體522上部朝垂直上方突出的輸出軸524。第2減速機52的輸出軸524是被固定在第2臂部23。又，第2減速機52的殼體522是被固定在第1臂部22。馬達53的驅動力一旦被輸入至第2減速機52的 輸入軸523時，使固定在第2減速機52的輸出軸524的第2臂部23旋轉。

如上述，第1減速機51及第2減速機52是以輸入軸513、523彼此朝著相反方向的狀態配置在收納部221內。具體而言，第1減速機51是將輸入軸513配置在上側，第2減速機52是將輸入軸523配置在下側。

又如第4B圖表示，第1減速機51及第2減速機52被配置在與馬達53大致相同的高度。具體而言，第1減速機51及第2減速機52是在第1減速機51的殼體512與第2減速機52的殼體522的垂直方向(即，高度方向)配置成彼此重複。

因此，第1減速機51的第1滑輪511與第2減速機52的第2滑輪521是配置在不同的高度。

配置在不同高度的第1滑輪511及第2滑輪521之中，第2滑輪521被配置在與馬達53的第3滑輪531相同的高度。並且，將馬達53的驅動力傳動至第2減速機52的輸入軸523的第2傳動帶56是被掛設在第2滑輪521、第3滑輪531及配置在與該等相同高度的中繼構件54的第4滑輪543(參閱第4C圖)。

為使馬達53的驅動力傳動至配置在與馬達53的第3滑輪531不同高度的第1減速機51的第1滑輪511，使用中繼構件54。

具體而言，如第4C圖表示，將馬達53的驅動力傳動至第1減速機51的輸入軸513的第1傳動帶55是被掛設 於配置在與第1減速機51的第1滑輪511相同高度的中繼構件54的第5滑輪544。

使馬達53動作時，馬達53的驅動力藉第2傳動帶56傳達至第2減速機52的第2滑輪521及中繼構件54的第4滑輪543。並藉著中繼構件54的轉軸542的旋轉使中繼構件54的第5滑輪544旋轉，將第5滑輪544的旋轉透過第1傳動帶55傳動至第1減速機51的第1滑輪511。

在此如上述，習知技術是將馬達的驅動力傳動至第1減速機的輸入軸的傳動帶與傳動至第2減速機的輸入軸的傳動帶的雙方掛設於馬達的輸出軸。

採用以上傳動帶的掛設方法的場合，固定在第1減速機的輸入軸的滑輪、固定在第2減速機的輸入軸的滑輪及固定在馬達的輸出軸的滑輪成配置在相同的高度。其結果，第1減速機(輸入軸朝著與馬達的輸出軸相反方向的狀態配置的減速機)會有向下方大的突出，使得收納該等的第1臂部的高度尺寸加大之虞。

因此，第1實施形態有關的機器手臂1是採用透過沿著與馬達53的輸出軸533平行的軸延伸的中繼構件54將馬達53的驅動力傳動至第1減速機51的輸入軸513的方式。採用此一方式，可解除第1減速機51的第1滑輪511配置的限制，如第4B圖表示，可將第1減速機51配置在與第2減速機52大致相同的高度。

藉此，習知的方式中，雖在第1減速機51的上方及 第2減速機52的下方，必須形成相當於各減速機51、52的高度尺寸的空間，但第1實施形態有關的機器手臂1則無此必要。因此，可減小第1減速機51的上方及第2減速機52的下方的空間。

因此，第1實施形態有關的機器手臂1中，可減小收納第1減速機51及第2減速機52、馬達53等的第1臂部22的高度尺寸，而可縮小機器手臂1整體的高度尺寸。一旦機器手臂1整體的高度尺寸縮小，即可減少真空室30的容積，容易維持著室內的減壓狀態。

又，第1實施形態是將馬達53、第1減速機51、第2減速機52等集中配置在第1臂部22的收納部221內，所以可容易進行該等馬達53、第1減速機51、第2減速機52等的維修。

例如，第1減速機51及第2減速機52會有定期進行內部潤滑油更換的場合。相關潤滑油的更換作業中，包含將潤滑油排出用的潤滑油管連接在第1減速機51及第2減速機52的作業等。第1實施形態是將第1減速機51及第2減速機52集中配置在收納部221內，僅卸下第1臂部22的蓋部224即可對第1減速機51及第2減速機52的雙方進行潤滑油管的安裝。因此，可容易進行潤滑油的更換作業。

又，第1實施形態也可容易進行馬達53的更換。亦即，採用對馬達的第3滑輪掛設第1傳動帶及第2傳動帶雙方的方式的場合，將第1傳動帶及第2傳動帶的雙方從 第3滑輪卸下。因此，再次安裝馬達之後，針對第1傳動帶及第2傳動帶的雙方，進行使用張力滑輪等的張力調整。

相對於此，第1實施形態中，掛設於馬達53的第3滑輪531的傳動帶僅是第2傳動帶56。因此，僅進行針對第2傳動帶56的張力調整即可，縮短調整時間，可縮短馬達更換所需的時間。

如上述，第1實施形態中，第2傳動帶56將傳動馬達53的驅動力更進一步傳動至中繼構件54，第1傳動帶55將從第2傳動帶56透過中繼構件54所傳動的馬達53的驅動力傳動至第1減速機51。因此，可減小機器手臂的高度尺寸，而可以使機器手臂小型化。

再者，根據第1實施形態，馬達53的驅動力並非對第1傳動帶55及第2傳動帶56分別獨立地傳動，而是在通過第2傳動帶56之後傳動至第1傳動帶55。

第2傳動帶56藉著馬達53驅動時，在第2傳動帶56會產生對應負荷所產生的延伸。一旦在第2傳動帶56產生延伸時，機器手臂1會產生起因於第2傳動帶56延伸的旋轉延遲。該旋轉的延遲會傳達至第2減速機52的第2滑輪521及中繼構件54的第4滑輪543。

另外，一旦藉中繼構件54的第5滑輪544驅動第1傳動帶55時，在第1傳動帶55會產生對應負荷的延伸。第1傳動帶55的延伸則會與傳動至中繼構件54的第4滑輪543的第2傳動帶56的延伸重疊而傳動至第1減速機 51的第1滑輪511。

如上述，傳動至第2減速機52的旋轉延遲是僅根據第2傳動帶56的延伸，傳動至第1減速機51的旋轉延遲則是對第2傳動帶56的延伸重疊第1傳動帶55的延伸的合成延伸。

(第2實施形態)

但是，第1傳動帶55及第2傳動帶56的掛設方式，不僅限於第1實施形態中表示的例。因此，以下是針對第1傳動帶55及第2傳動帶56的掛設方式的其他例，使用第5A圖~第5C圖說明。

第5A圖是表示第2實施形態有關第1臂部22a的內部構造的模式剖面圖。又，第5B圖及第5C圖是從Y軸方向顯示第2實施形態有關之第1臂部22a內的場合的模式剖面圖。

再者，為容易理解，第5B圖中，省略中繼構件54來表示，第5C圖中，省略馬達53及第2中繼構件57來表示。又，以下的說明是針對和已說明的部分相同的部份，賦予已說明的部分相同的符號，並省略重複的說明。

如第5A圖表示，第2實施形態有關的機器手臂1a除了中繼構件54外，並具備第2中繼構件57。中繼構件54及第2中繼構件57是在馬達53的附近，沿著Y軸方向排列配置。

並在第2中繼構件57及馬達53的第3滑輪531掛設 第3傳動帶58。第2中繼構件57及馬達53間的距離和馬達53及第1減速機51間的距離或馬達53及第2減速機52間的距離比較短。因此，第3傳動帶58和第1減速機51及第2減速機52比較短。

對第1減速機51的輸入軸513傳動馬達53的驅動力的第1傳動帶55a是被掛設在第1減速機51的第1滑輪511、中繼構件54及第2中繼構件57。又，對第2減速機52的輸入軸523傳動馬達53的驅動力的第2傳動帶56a是被掛設在中繼構件54及第2減速機52的第2滑輪521。

第2中繼構件57是如第5B圖表示，具備與中繼構件54相同的構成。具體而言，第2中繼構件57，具備：筒狀的主體部571；插穿於主體部571的轉軸572；固定於轉軸572基端部的第6滑輪573及固定於轉軸572前端部的第7滑輪574。

第6滑輪573是配置在與馬達53的第3滑輪531相同的高度，第7滑輪574是配置在與第1減速機51的第1滑輪511相同的高度。在第6滑輪573及第3滑輪531之間，掛設第3傳動帶58，在第7滑輪574及第1滑輪511之間，掛設第1傳動帶55a。並且，第1傳動帶55a也掛設在中繼構件54的第5滑輪544(參閱第5C圖)。

又如第5C圖表示，第2傳動帶56a是掛設在中繼構件54的第4滑輪543及第2減速機52的第2滑輪521。

馬達53動作時，將馬達53的驅動力藉第3傳動帶 58傳動至第2中繼構件57的第6滑輪573。另外，藉著第2中繼構件57的轉軸572的旋轉使第2中繼構件57的第7滑輪574旋轉，將第7滑輪574的旋轉透過第1傳動帶55a傳動至第1減速機51的第1滑輪511及中繼構件54的第5滑輪544。

並且，藉中繼構件54的轉軸542的旋轉使中繼構件54的第4滑輪543旋轉，將第4滑輪543的旋轉透過第2傳動帶56a傳動至第2減速機52的第2滑輪521。

如上述，第2實施形態中，進一步具備：沿著與馬達53的輸出軸533平行的轉軸572延伸，可以轉軸572為中心旋轉的第2中繼構件57，及對第2中繼構件57傳動馬達53驅動力的第3傳動構件。並且，第2實施形態中，第1傳動帶55a從第3傳動帶58進一步將透過第2中繼構件57所傳動的馬達53的驅動力傳動至中繼構件54。

亦即，第2實施形態中，不直接將第1傳動帶55a及第2傳動帶56a掛設在馬達53的第3滑輪531，而是掛設較該等第1傳動帶55a及第2傳動帶56a短的第3傳動帶58。

藉此，更換馬達53的場合，可不需卸下第1傳動帶55a及第2傳動帶56a，在安裝馬達53之後，可不需對該等第1傳動帶55a及第2傳動帶56a進行張力調整。

再者，在更換馬達53的場合，雖卸下第3傳動帶58，但由於第3傳動帶58和第1傳動帶55a及第2傳動帶 56a比較短，所以可容易進行馬達53安裝後的張力調整。

另外，上述的各實施形態中，第2傳動帶56、56a是將馬達53的驅動力傳動至中繼構件54，第1傳動帶55、55a是將透過中繼構件54所傳動之馬達53的驅動力傳動至第1減速機51。但是，不限於此，第1傳動帶55、55a也可將馬達53的驅動力傳動至中繼構件54，第2傳動帶56、56a可將透過中繼構件54所傳動之馬達53的驅動力傳動至第2減速機52。

又，上述的各實施形態中，雖針對使用傳動帶作為傳動構件的場合的例已作說明，但傳動構件也可以是鏈條或齒輪的傳動帶以外的傳動構件。並在使用鏈條作為傳動構件的場合，也可使用鏈輪來代替滑輪。且在使用齒輪作為傳動構件的場合，也可使用齒輪來代替滑輪。

又，上述的各實施形態中，雖針對在真空室30內使用機器手臂1、1a的場合的例已作說明，但機器手臂1、1a也可以在大氣中使用。

進一步的效果與變形例，可根據該業界容易導出。因此，本發明之更為廣泛的樣態不限於以上所表示並記載之特定的詳細及代表性的實施形態。因此，在不脫離所添附申請專利範圍及其均等物所定義之總結性發明的概念的精神與範圍，可進行種種的變更。

1、1a‧‧‧機器手臂

10‧‧‧胴體部

11‧‧‧框體

12‧‧‧突緣部

15‧‧‧升降突緣部

20‧‧‧手臂單元

21‧‧‧固定基座部

22、22a‧‧‧第1臂部

221‧‧‧收納部

224‧‧‧蓋部

23‧‧‧第2臂部

24‧‧‧活動基座部

24a‧‧‧終端效應器

25‧‧‧輔助臂部

30‧‧‧真空室

51‧‧‧第1減速機

511‧‧‧第1滑輪

512‧‧‧殼體

513‧‧‧輸入軸

514‧‧‧輸出軸

52‧‧‧第2減速機

521‧‧‧第2滑輪

522‧‧‧殼體

523‧‧‧輸入軸

524‧‧‧輸出軸

53‧‧‧馬達

531‧‧‧第3滑輪

532‧‧‧馬達主體部

533‧‧‧輸出軸

54‧‧‧中繼構件

541‧‧‧主體部

542‧‧‧轉軸

543‧‧‧第4滑輪

544‧‧‧第5滑輪

55、55a‧‧‧第1傳動帶

56、56a‧‧‧第2傳動帶

57‧‧‧第2中繼構件

571‧‧‧主體部

572‧‧‧轉軸

573‧‧‧第6滑輪

574‧‧‧第7滑輪

58‧‧‧第3傳動帶

第1圖為第1實施形態有關的機器手臂的模式透視圖。

第2圖是表示將機器手臂設置在真空室的狀態的模式側視圖。

第3圖是表示第1臂部的內部構造的模式剖面圖。

第4A圖為表示於第3圖的A-A線箭頭方向剖面圖。

第4B圖是從Y軸方向顯示第1臂部內的場合的模式剖面圖。

第4C圖是從Y軸方向顯示第1臂部內的場合的模式剖面圖。

第5A圖是表示第2實施形態有關的第1臂部的內部構造的模式透視圖。

第5B圖是從Y軸方向顯示第2實施形態有關的第1臂部內的場合的模式剖面圖。

第5C圖是從Y軸方向顯示第2實施形態有關的第1臂部內的場合的模式剖面圖。

1‧‧‧機器手臂

21‧‧‧固定基座部

22‧‧‧第1臂部

23‧‧‧第2臂部

51‧‧‧第1減速機

52‧‧‧第2減速機

53‧‧‧馬達

54‧‧‧中繼構件

55‧‧‧第1傳動帶

56‧‧‧第2傳動帶

221‧‧‧收納部

511‧‧‧第1滑輪

521‧‧‧第2滑輪

531‧‧‧第3滑輪

Claims (8)

1. 一種機器手臂的手臂構造，其特徵為，具備：第1構件；第2構件，透過第1減速機可旋轉地與上述第1構件連結；第3構件，透過第2減速機可旋轉地與上述第2構件連結；驅動部，產生驅動力；第1傳動構件，將上述驅動部的驅動力傳動至上述第1減速機的輸入軸；第2傳動構件，將上述驅動部的驅動力傳動至上述第2減速機的輸入軸；及中繼構件，沿著與上述驅動部的輸出軸平行的軸延伸，可以上述軸為中心旋轉，上述第1傳動構件或上述第2傳動構件的一方是對上述中繼構件進一步傳動上述驅動部的驅動力，上述第1傳動構件或上述第2傳動構件的另一方是從上述第1傳動構件或上述第2傳動構件的一方傳動透過上述中繼構件所傳動上述驅動部的驅動力。
2. 如申請專利範圍第1項記載的機器手臂的手臂構造，其中，上述第1減速機及上述第2減速機是配置使輸入軸彼此朝著相反方向，並使殼體的至少一部份在高度方向彼此重複，上述驅動部是將輸出軸設置在與上述第1減速機及上 述第2減速機之中的一方輸入軸的高度方向重複的位置。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項記載的機器手臂的手臂構造，其中，進一步具備：沿著與上述驅動部的輸出軸平行的軸延伸，可以上述軸為中心旋轉的第2中繼構件，及將上述驅動部的驅動力傳動至上述第2中繼構件的第3傳動構件，上述第1傳動構件或上述第2傳動構件的一方，從上述第3傳動構件進一步將透過上述第2中繼構件所傳動的上述驅動部的驅動力傳動至上述中繼構件。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項或第3項記載的機器手臂的手臂構造，其中，在形成於上述第2構件的內部維持著大氣壓的收納部，至少收納有上述驅動部、上述第1減速機、上述第2減速機及上述中繼構件。
5. 如申請專利範圍第4項記載的機器手臂的手臂構造，其中，上述第2構件進一步具備可與外部連通地封閉上述收納部的蓋部。
6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項記載的機器手臂的手臂構造，其中，進一步具備可旋轉地與上述第3構件連結的第4構件，及上述第2構件及上述第3構件旋轉的場合限制上述第4構件旋轉的連桿機構。
7. 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項記載的機器手臂的手臂構造，其中，配置在維持著減壓狀態的室內。
8. 一種機器手臂，其特徵為，具備：如申請專利範圍第1項至第7項中任一項記載的手臂構造。