JP5472283B2 - ロボットのアーム構造およびロボット - Google Patents
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Description
10 胴体部
11 筐体
12 フランジ部
15 昇降フランジ部
20 アームユニット
21 アームベース
22 第1アーム部
23 第2アーム部
23a 蓋部
24 可動ベース部
24a エンドエフェクタ
25 補助アーム部
25a 第1リンク部
25b 中間リンク部
25c 第2リンク部
30 真空チャンバ
35 支持部
50 気密端子
51 第1減速機
52 第2減速機
52a 入力軸
52b 出力軸
53 モータ
54a、54b 伝達ベルト
55 プーリ
56 隔壁
57 保護パイプ
58 オイルシール
60 ケーブル
60a ケーブル側端子
101 真空側
102 大気側
Claims (7)
- 減圧状態に保たれる真空チャンバに設置されてワークを搬送するロボットのアームベース上に基端部が回転可能に連結され、内部に所定の駆動系を含み、前記内部が大気圧状態に保たれる第1アーム部と、
前記第1アーム部の先端部上に基端部が回転可能に連結され、内部に駆動系を含まない第2アーム部と、
前記第2アーム部の先端部上に可動ベース部を介して回転可能に連結され、ワークを保持するエンドエフェクタと、
前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結部近傍に設けられ、前記第1アーム部内の前記大気圧状態を前記減圧状態から隔絶する隔壁と、
前記隔壁に設けられ、前記大気側および前記減圧状態側を気密状態で電気的に導通可能とする気密端子と、を備えるロボットのアーム構造において、
前記第1アーム部は、
前記第2アーム部を駆動する中空の駆動軸を具備する減速機を備え、
前記隔壁は、
前記中空の駆動軸における中空領域と連通する前記第2アーム部側の閉空間に設けられ、
前記第1アーム部に内包されるケーブルが前記中空領域経由で前記気密端子へ接続されることを特徴とするロボットのアーム構造。 - 前記エンドエフェクタは、
所定のセンサを備え、
前記センサのケーブルが前記第2アーム部を経由して前記気密端子へ接続されることを特徴とする請求項1に記載のロボットのアーム構造。 - 前記中空の駆動軸と同軸上に軸支される中間リンク部と、
前記第1アーム部と前記中間リンク部と前記アームベースとの間で第1平行リンク機構を形成する第1リンク部と、
前記第2アーム部と前記中間リンク部と前記可動ベース部との間で第2平行リンク機構を形成する第2リンク部と
をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載のロボットのアーム構造。 - 前記第1アーム部および前記第2アーム部は、前記第1リンク部および前記第2リンク部よりも太く形成されることを特徴とする請求項1、2または3に記載のロボットのアーム構造。
- 前記駆動軸の内壁に固定され、前記減速機内に前記駆動軸と同軸上に配置される中空の入力軸の中空領域を、当該入力軸と非接触で貫通するように延伸する保護パイプ
をさらに備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のロボットのアーム構造。 - 請求項1〜5のいずれか一つに記載のアーム構造を備えることを特徴とするロボット。
- 前記アームベースは、
鉛直方向と平行な旋回軸を中心として回転する旋回部を備えることを特徴とする請求項6に記載のロボット。
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