TW201014772A - Baling device for glass substrate and baling method thereof - Google Patents
Baling device for glass substrate and baling method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- TW201014772A TW201014772A TW98123901A TW98123901A TW201014772A TW 201014772 A TW201014772 A TW 201014772A TW 98123901 A TW98123901 A TW 98123901A TW 98123901 A TW98123901 A TW 98123901A TW 201014772 A TW201014772 A TW 201014772A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- glass substrate
- protective sheet
- station
- stowage
- glass
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67745—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Wrapping Of Specific Fragile Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
201014772 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種把玻璃基板與保護片(sheet)交互 地積載在平板(plate)等的積載面上,以進行抽包的技術, 且例如是關於一種對液晶顯示器、電漿(plasma)顯示器 或是有機 EL (Organic Electro Luminescent, OEL)、表面 傳導電子發射顯不器(Surface-conduction Electron-emitter Display,SED)、场發射顯不器(Field Emission Display, FED )等的平面顯示器(Flat Panel Display,FpD )用的玻 璃基板進行積載捆包的技術。 【先前技術】 在保管或輸送玻璃基板的時候,會有需要讓保護片與 玻璃基板在平板上互相密合且以縱向姿勢(大略鉛直姿勢) 或是橫向姿勢(大略水平姿勢)來進行積層捆包的場合。 在以前’雖然像這樣的捆包作業能夠讓作業員以徒手作業 的方式來進行,不過作業效率差且隨著近年的玻璃基板的 大型化,徒手作業變成相當困難。因此,一定要改善此點。 亦即,以玻璃基板的捆包作業自動化、生產性或品質提升 為目的’而提出以下所示的捆包技術。 例如,以下所記載的專利文獻丨揭露了一種移載裝 置’包括玻璃板吸附手段’對被決定了位置的玻璃板進行 ,附支持;紙墊板(slip sheet)吸附手段,在被載置在預 定位置的紙墊板上’以使玻璃板重疊的狀態對從玻璃板的 上端及下端所露出的一端邊部進行吸附;工作手(hand), 201014772 安裝固定前述玻璃板吸附手段與前述紙墊板吸附手段;以 及移動手段’全方位地移動且自由地旋轉該工作手。移載 裝置使玻璃板與位於此玻璃板的吸附面相反侧的紙墊板同 時被向上持拿,且使玻璃板縱向層積在平板上。
又,在以下所記載的專利文獻2中,揭露了一種彎曲 玻璃板的積載裝置,包括玻璃吸附手段,在根據紙墊板供 給裝置的預定位置而決定了彎曲玻璃板的位置後,吸附支 持該彎曲玻璃板;一對紙墊板保持手段,在與紙墊板供給 裝置相異的預定位置上’對載置或吊下狀態的紙墊板的上 端邊部進行把持或吸附,藉此在吊下且張緊狀態下進行接 收及保持,其中紙墊板供給裝置設置於彎曲玻璃板的搬送 路徑的側邊,紙墊板保持部弛緩手段,使一對的紙墊板保 持裝置互相地接近且沿著彎曲玻璃板表面形狀而鬆弛;以 及積載機器人,由彎曲玻璃板與其外侧將吊下且鬆弛狀態 的紙墊板的兩面同時縱積於平板上。 專利文獻1:日本特開200M39138號公報 專利文獻2 ··日本特開2〇〇5_6〇〇63號公報 於是,在最近’ FPD產品成為液晶顯示器的代表。為 PFPD產品進—步地普及,更要求對於產_提高與成 f的降低。為此’捆包的時間也被要求要縮短 '然而,過 =捆包技術已經在構造上把玻璃基板_送距離與搬送 】間縮短到極限了,要完成上述的要求是相當_的。再 ’為了賴捆包咖,必須要提高保護片的移送速度。 …、而’在無法確實地保持賴片的情形下,便會發生移送 201014772 中的該片脫落的問題。因此,以上的狀況成為捆包系統的 可靠度降低的一種原因。 ^ 對於此點,例如上述的專利文獻丨是關於移載裝置, 雖然分別吸附移送玻璃基板與保護片,但當此 搬送下進行時,保護片容易受到撤送時所;生== 形。並且,大幅度的搖晃會使得保護片從吸附手段掉落的 情形產生。因此,讓使用上述移載裝置的工作於高速搬送 下進行是相當困難的。並且,上述的構成是無法依據搬送 時所產生的風壓來穩定保護片的姿勢,所以要讓保護片在 G 積載於傾斜平板時精密地密合於玻璃基板也是困難的。 並且,在上述專利文獻2中,藉由夾頭(Chuck)等 來保持紙墊板,且將此紙墊板與在先前被吸附保持而直立 的玻璃基板重疊的場合中,如上述專利文獻丨所揭露的構 成那樣使保護片從保持手段脫落的可能性低。然而,考慮 到由於一對的保持部於紙墊板的夾頭地方只限於在該紙墊 板的上端邊部,因此保護片受到高速搬送所產生的風壓 下,使得保護片的保持側與相對侧的下端邊部大幅搖晃, 而難以用安定姿勢來移送。 而且’保護片在大幅度搖晃的狀態下若被積載於平板 等地方,保護片會變成以大量殘留麟、f曲等的狀態而 與玻璃基板一起積載’恐怕會讓玻璃基板精度產生不好的 影響。 【發明内容】 有鑑於上述事情,本說明書中實現玻璃基板與該保護 6 201014772 片的高速搬送’同時根據本發明應該解決的技術課題來達 成以高精度進行高品質積載捆包的事項。
上述課題的解決是藉由與本發明有關的玻璃基板的 捆包裝置來達成的。亦即,此捆包裝置為玻璃基板捆包裝 置,包括:載置站,讓玻璃基板载置於保護片上;積載站, 父互積載保護片與玻璃基板;以及積載手段,將被載置於 保護片上的玻璃基板與保護片同時保持且積載於積載站。 此玻璃基板捆包裝置的特徵在於積載手段具有挾持部,挾 持從載置狀態下的玻璃基板所露出的保護片的邊緣部分中 互相相對的兩邊緣。 如此一來,若保護片在載置玻璃基板的狀態,且保護 片從玻璃基板露出的邊緣部分中互相相對的兩邊緣被挾持 保持著,舰触免在高賴送時’保持#側邊未被保持 的一邊緣側受到大幅度的搖晃而變形的事態。並且,藉由 挾持載置有玻璃基板的狀態下的賴#,麟以平坦狀 開的狀態下挾持保護片。再者,藉由挾持保護片互相相對 ,兩邊緣,不會產生像吸㈣合下容祕照移送方向而脫 洛的問題’而能夠確實地保持保護片。基於上述不但不 護片脫離’而絲據風壓該積載手段(如搬送用的機 械手# (robot arm)等等)受到的反作用力小, ==能。而且,在高速移送進行積載的場合中 =制在保護片上產生的敵折或曲折= 办以在间精度下局品質地積載玻璃基板。 7 201014772 於此,挾持部也可以構成為另外能夠挾持保護片的邊 緣部分内互相相對的兩邊緣以外的邊緣部分。若保護片的 邊緣部分中有從玻璃基板露出的部分,則在移送時容易受 到風壓而大幅度地搖晃,如上述這樣,不只對從玻璃基板 露出的對向的邊緣,也對其以外的邊緣部分進行挾持,藉 此讓容易搖晃的地方受到固定,且使得保護片全體的搖晃 能夠進一步減少。 還有,挾持部也可以構成為能夠分別在多個位置挾持 各個邊緣部份。通常,由於保護片具有與玻璃基板相同或 更大的大小,從玻璃基板露出的邊緣部分的長度方向的尺 寸也是相當的大小。於是,藉由兩個以上的挾持部挾持一 個邊緣部分的話,能夠大範圍地挾持固定該邊緣部分,使 得安定性增加。 還有,挾持部更可構成為能夠施加張力於保護片上。 藉由如此的構成,張力會施加在保護片的大範圍區域上, 而且能夠維持施加了張力的狀態來移送保護片。因此,移 送時保護片受到風壓的影響會變得相當的小,使得保護片 與玻璃機板能以高速且安定的姿勢來積載。 或者,本發明相關的綑包裝置,也可以在挾持部外, 另具備對載置站上的保護片施加張力的張力施加手段。藉 由如此的構成,施加張力狀態的保護片上載置玻 時,兩者的密合度向上提升。因此,能夠維持此密合&離 來分別對保護片與玻璃基板進行保持移送。在此場合,^ 送時的保護片幾乎沒有搖晃,皺折或曲折等亦不會發生。 201014772 又’在載置在玻璃基板上之前若施加張力在保護片上,則 也能使保護片受到施加的張力而伸長的時候,不會受到與 ΐϊ基ίϋΐΐ的影響,而讓保持保護片時的姿勢穩定。 ί且’施加張力時與玻璃基板的位置偏移的產生也能夠避 免。 ❹ 雖f保護片的構造、材f等並不限^,但從施 樹脂製的較佳,若是發泡構造的話更 二種材質的構成’為了優化伸縮性, 保護片的密合度就能伸長,則也可讓玻璃基板與 段把ί:基裝置更可以是根據積載手 置於不$片、同保持取出的取出站與載置站設 移送手移;常,由於玻璃基板是根據適當的 + 業空間有重複的可能性不少。對 的取出站β 式如下’若保持取出玻璃基板與保護片 ί=疋=置於不同位置,能夠避免各作業的 :的保持動作;的工J (此處的保護片與玻璃基 空間相互細域。4有,各搬送手段的可動 度也能提高置’所咐-連串_包系統的信賴 還有,本發明中相關的捆包裝置更可包括一種在載置 9 201014772 站上供給保護片的片供給手段。並且,在此場合片供給 ^段也可以構絲㈣諸給龍置站且載置有破璃基板 後,將保護Μ制取出料止。諸給手财兼玻璃基 板的搬送手段,藉此㈣把保護定的態樣從載置站 然後往取出馳送。還有,在採取此構成的場合,例如能 夠把載置站上施加張力於保護片的張力施加手段與片供給 手段的搬·構-航’且㈣將施加張力狀態的保護片 往載置站供給。 還有,本發明相關的捆包裴置還可包括移載手段,用 以把玻璃基板從供給玻璃基板的供給站往載置站進行移 載。還有,在此場合,移載手段會使玻璃基板的行進方向 的前端側作為下方而在玻璃基板成傾斜的狀態下接近載置 站。並且,隨著接近載置站,所構成的移動路徑會讓玻璃 基板的姿勢與載置姿勢相近。 雖然為了縮短生產時間,把玻璃基板往保護片上移送 的速度提高也是重要的,但單單以高速來移動玻璃基板的 話,移送時從玻璃基板產生的空氣流動會把載置站上所配 置的保護片往上吹,或是有產生大幅度的搖晃的疑慮。對 此,包括構成前述移送路徑的移載手段的捆包裝置,能夠 藉由前述姿勢的相似方式,而減少玻璃基板受到的空氣阻 力,使得玻璃基板以高速移送變為可能。還有,藉由前述 般的姿勢變化,基於玻璃基板的姿勢變更所產生的空氣流 主要發生在遠離載置站的方向。藉由以上的設計,不但能 夠以高速移送玻璃基板,亦可使從玻璃基板往載置站所產 201014772 生的氣流減弱,能夠防止載置站上的保護片上吹以及因大 幅度搖晃所產生的皺折或寶曲。 還有,採用上述移送路徑的場合,還能夠構成讓玻璃 基板的水平移動量相對下降量的比率提高來接近載置站的 移送路徑。此場合中,玻璃基板的下降量、水平移動量等 例如能以玻璃基板的重心位置為基準來評價。依據上述構 成,由於在與玻璃基板全體的接近方向成直交的情況相比 〇 較下,不如讓沿著該接近方向的方向上依照玻璃基板的姿 勢而移送,所以隨著玻璃基板全體的移送而產生空氣流 時,能夠使朝向載置站所產生的空氣流變得更弱。 另一方面,前記課題的解決能夠透過以下的基板捆包 方法來達成:於載置站上將玻璃基板載置到保護片上;將 載置後的玻璃基板與保護片同時往積載站移送;在積載站 上,交互地積載玻璃基板與保護片;以及同時對載置於保 護片上的玻璃基板與保護片進行保持;於積載站令設置用 以積載的積載手段,其中積載手段具有挾持部,挾持從載 參 置狀態下的玻璃基板所露出的保護片的邊緣部分中互相相 對的兩邊緣。。 基於上述,藉由本發明相關的玻璃基板捆包裝置與其 相包方法,能夠實現玻璃基板與其保護片的高迷搬送,'並 且以高精度達成高品質的積載捆包,因而能夠對捆包系統 的可靠度的提升有所貢獻。 ^ 為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂,下文特 舉實施例,並配合所附圖式,作詳細說明如下。 11 201014772 【實施方式】 以下,參照所附圖面來說明本發明的實施型熊。 圖1為示意本發明-實施型態相關的破璃基g拥包裝 置1的俯視圖。此捆包裝置i為用以進行下列動作的裝置: 在載置站2上將玻璃基板4載置於保護片3上,且將載置 後的玻璃基板4連同保護片3同時往積载站5移送,'且在 積載站5上交互地積載玻璃基板4與保護片3。具體來說, 此捆包裝置1包括··玻璃基板供給裝置1G ;麵基板移載 裝置20’在玻璃基板4的供給站6上接受玻璃基板4的供 給,且往載置站2移触璃基板4,其巾供給站6被配設 成與玻璃基板供給裝置10相鄰接;保護片供給裝置3〇, 被配設成與載置站2相鄰接,且在載置站2上供給保護片 3 ;積載裝置40,同時保持被載置於保護片3上的 板4與保護片3,且在積載站5上進行鋪;以^3 板裝置50,具有積載站5。以下,主要參照圖2所示的捆 包裝置1的立體圖,藉以詳細說明各構成元件。 玻璃基板供給裝置10具有用於以水平姿勢搬送玻璃 基板4的輸送道11,此輸送道U例如由複數個滾筒輸送 裝置(roller conveyer) 12等所構成。如圖2所示的例子, 在輸送道11的終端位置上配設該供給站6,用以取得來自 玻璃基板移載裝置20的玻璃基板4。在供給站6上,凹部 13的形狀能夠在鉛直上下的方向中使後述的機械手臂22 的工作保持部28通過,且被形成為往玻璃基板供給裝置 10的供給方向的侧方向成開放的狀態。於是,把在供給站 12 201014772 上呈停止狀L的柄基板4肋部丨 持部28來保持,就這檨於卜太兩山 下藉由作保 7 &樣於上方取出。再者,雖然圖示省略, =在輸送道U上配設適#的位置娜手段,糊整停正 f供給站6上的玻璃基板4的搬送方向位置献搬送的正 父方向位置。
玻璃基板移載裝置20包括基座21、配設於基座21上 的機械手臂22、㈣機械手臂22動作的控職置23。在 此,機械手臂22具有多關節構造,且各關節轴全部以互相 平行且沿著配Ϊ於供給站6上的麵絲4 _側端面的 方向而配置。換句話說,被工作保持部2S所歸的玻璃基 板4的法線相對任一的關節轴都是經常保持正交的姿勢, 以對應於機械手臂22的構造、供給站6、載置站2等來設 定機械手臂22的設置姿勢。在此圖示的例中,玻璃基板移 載裝置20如圖1所示般被配置在供給站6與載置站2之間 所形成的玻璃基板4的移送路徑的侧邊。 於此’將對機械手臂22進行詳述,如圖2所示般, 機械手臂22為3軸關節構造’位置最靠近基座21的第一 連桿(link) 24相對基座21而共同直立設置著,藉由第一 接頭(joint) 24a使第二連桿25的一端與第一連桿24的 另一端相連結。在第二連桿25的另一端藉由第二接頭25a 而連結至第三連桿26的一端,在第三連桿26的另一端藉 由第三接頭26a而連結工作保持部28的腕部27。各接頭 24a、25a、26a的附近分別一體地配設著驅動馬達(只有 第一接頭24a用的驅動馬達於圖6中有表示),這些驅動 13 201014772 馬達與各連桿24、25、26共同地構成機械手臂22。再者, SSL24': ΐ :加裝有減速機’或者使用附有減 、、…達來作為前述的驅動馬達也可以。還有,此時所 =的減速機是為了進—步提高手臂的剛性而能夠抑制後 座力(backlash)發生的減速機(例如,株式會社三共製 作所製作的零後座力精誠速機的滾筒驅㈣(註冊商標) ,)也是適當的。此外,各連桿24、25、26 _分別藉由 ❹ 各接頭24a、25a、26a而獨立地正逆旋轉,且按照迴轉角 度,連桿相互間或是與周邊的物體不會產生干涉。 工作保持部28具有讓設置於輸送道丨丨上對應_ 6的對應位置的凹部13能在财方向上通過的^供= 圖不中’複數個絲部平行配置,也就是具有所謂的梳齒 形狀。工作保持部28的一面的侧邊配設了複數個吸附墊 29’雖然圖示省略了,但是藉由機械手臂22連接了真空泵 等的減壓手段,吸附墊29所壓附的物體(玻璃基板4^變 得能夠被吸附保持。 保護片供給裝置30主要包括:滾筒狀片31,形成為 捲取保護片3的帶狀體的型態;張力調整機構32,使伸出 的滚筒狀片31的張力保持一定,且用以讓滾筒狀片31伸 出的長度保持一定;旋轉切刀(r〇taiycutter) 33,將伸出 的滚筒狀片31以預定長度且以枚葉狀(矩形狀)地切斷; 以及搬送手段’將枚葉狀地切斷後的保護片3—片一片地 向載置站2進行搬送。 滚请狀片31及保護片3例如使用發泡聚乙稀 14 201014772 (polyethylene )等具有伸縮性的材質乃至於具有結構 物質,但特別是並不限定於此。保護片3為公知的材質, 只要是具有結構性的物質都可任意使用。還有,雖然圖示 置能夠對備用的滾筒狀片31與使用中的 /袞同狀片31父換的機構。 ❹ ❿ 並且,對搬送手段詳細地說明,搬送手段由以下所構 成:輸送道34,從旋轉切刀33的配設位置開始經由載置 站2而延伸到玻璃基板4的取出站7;左右―對夾頭部%、 35,挾持著輸送道34上所供給的保護片3,將被挟持的保 護片3從載置站2搬送到取出站7;以及第—滑動(siide) 機構36,同步地將左右—對的夾頭部%%沿著保護片3 的搬送方向移動。如此圖示的例子中,2㈣左右一對的 夾頭部35、35沿著搬送方向配設,輸送道34上被載置的 保護片3的左右兩側的邊緣部3a、扑(參照後述的圖4) 刀別以兩個的夾頭部35(即4個夹頭部35)來夾持。然後, 前述兩組的左右一對的夾頭部35、35同步地藉由第一滑動 機構36而沿著搬送方向移動,使得義前述—對的夾頭部 35、35所挾持的保護片3變得能夠沿著輸送道搬送。又, 第:滑動機構36例如為滑軌(rail)機構,且可由設置於 夾頭部35側邊的凹部以及與此凹部嵌合的凸條部所構 成。後述的第二滑動機構37也具有相同的構成。 還有,此實施型態中,在各個的夾頭部35與第一滑 動機構36之間,設置有第二滑動機構37,能夠讓夾頭部 35與第一滑動機構36獨立地以搬送的正交方向來滑動。 15 201014772 在此場合,左右一對的夾頭部35、35藉由第一滑動機構 36而沿著保護片3的搬送方向共同移動,此移動是獨立 的’能夠在保護片3的搬送方向上成正交的方向相互靠近 也能互相遠離。此外,此實施型態中,如圖2或後述的圖 6所示,左右一對的夾頭部35,、35,具有前述構成的第一 及第二滑動機構36,37,且分別地設置於已述的夾頭部 35、35的内側。又,在前述的夾頭部35’、35,的第一滑動 機構36與第二滑動機構37之間設置有第三滑動機構%,
使得各滑動機構%、37能夠在鉛直上下方向移動。透過以 G 上的構成’藉由外側的夾頭部35、35挾持保護片3往載置 站2搬送的時候’内側的夾頭35,、35,也根據外側的夾頭 部35、35往下方移動的狀態而從搬送方向的下游側(載置 站2側)往上游側(保護片3挾持位置側)移動;藉由内 側的夾頭部35,、35,挾持保護片3往载置站2搬送的時候, 外側的夾頭部35、35在與内側的夾頭部35’、35,比較下以 向搬送方向側邊移動的狀態而向搬送方向的更上游測移 動,如此一來,藉由雙方的夾頭部35、35,交互地挾持保 護片3而變得能夠搬送。 再者,如圖2所示般,在輸送道34上也可設置氣浮 面板(air float panel) 38,其設有氣浮用的多個喷出孔。 藉由如此構成,對輸送道34上所載置的保護片3喷射氣 體,以在搬送時能夠減輕保護片3的摩擦抵抗。 並且,前述的氣浮面板38之間亦可另外形成有沿著 搬送方向的溝部,把玻璃基板4壓到水平方向用的橫桿 16 201014772 (bar)(省略圖不)從這個溝部突出於上方,且與前述四 個夹頭部35同步地往溝部内移動。 藉由這獅構成,㈣將保護片3上載置的玻璃基板 4與該保護片3同時往取出站7搬送。
玻璃基板積餘置4G主要包括基座41與設置於基座 :ι上的機械手臂42,而取出站7與積載站5配設在機械手 的可祕圍崎涵括的位置。在賊手臂42的前端 权置有保持部43 ’關時保持玻璃基板4與保護片3。在 圖3所示’保持部43具有:略呈格子狀的框架(f) ’吸附塾45,配設於框架體的各框邊的-面,用以吸 玻璃基板4 ;複數個挾持部46,在保護片3載置玻 璃^ 4時,分職持保護# 3互相姆的左右邊緣部 今料w照圖4)。挟持部46由一對的爪部所構成。在 中,隨著可動爪部例如藉由氣紅(咖㈣ 之門成段所驅動而制_作時,與111定側的爪部 可 片3進行挾持或開放的情況。在此圖示 體44兩側的框邊分別配設有3個挾持部, 而此夠挾持取出站7上的保護片3 3a、3b的各3個地方。 遭緣4 實施賴中,在設置複數個挾持部46的 兩侧框邊_結社雜邊上連財平㈣— ^ 的保護片3的上侧邊緣部& (參關彳)。摘保持後达 在此實施型態中,捆包平板裝置50包括:兩台捆包 17 201014772 用平板51、51 ;以及旋轉台(turatabie) 53,載置這些拥 包用平板51、51,且能夠以鉛直軸來旋轉。於此,各拥包 用平板62具有以任何的預定角度而傾斜的積载面%,且 複數個玻璃基板4與保護片3能夠交替地積載在此積載面 52上。此情況下,積載站5配設在與上述的玻璃基板積載 裝置40的機械手臂42的可動範圍中所包含的侧邊(或更靠 近機械手臂42的側邊)的積載面52相同的位置。 以下’將對利用上述構成的玻璃基板捆包裝置1所進 行的玻璃基板4的積載捆包作業的一個例子進行說明。 ❿ 首先,經由玻璃基板供給裝置1〇搬送到輸送道u上 的玻璃基板4在到達位於輸送道U末端位置的供給站u 時,會藉由適當的感測器(sensor)(省略圖示)來感知 此I#况,且停止滾筒輸送裝置12。藉此,玻璃基板4減速 停止而設定在供給站6上。然後,對配置於前述供給站6 上的破璃基板4的輸送道π侧的表面(内面)以設置在基 ,移載裝置20的工作保持部28的吸附墊29來吸附保持 著且使被保持的玻璃基板4隨著内外反轉動作而往載置 爲 站2移送。 ¥ s另一方面,就保護片供給裝置3〇而言,是藉由張力 調整機構32及旋轉切刀33而從滾筒狀片31定尺寸地切出 枚,狀的保護片。切出的保護片3同時供給到輸送道34, ,又到配設於輸送道34的兩侧上的兩組的左右一對夾頭 35所挟持。並且,當所有的夾頭部%同步地藉由 月動機構36而沿著輸送道34移動時’被這些夾頭部 201014772 35所挾持的保護片3會被搬送到載置站2。然後,藉由破 璃基板移載裝置20,將玻璃基板4往載置站2移送,且破 璃基板4會被載置於先前被搬送到載置站2待命的保護片 3上。此實施型態中’保護片3所切出的尺寸會比對應的 玻璃基板4的縱方向上的尺寸還大,並且,保護片3的左 右寬度的尺寸也分別比玻璃基板4的還大。如此場合中, 例如像圖4所示,玻璃基板4被載置於保護片3時,保護 ❹
^ 3以預定尺寸(例如數十麵的程度)從玻璃基板4的 三個邊(左右兩邊及與這兩邊的上端所連接的上邊)露出。 再者,於此實施型態中,玻璃基板4被載置於保護片3時, 玻璃基板4的下侧邊緣部如從保護片3露出若干(例如數 mm的程度)的部分。這就是說,缺保護片3在下端邊 緣部露出的場合中,往後述的捆包用平板51 (積載站5) 積載的時候,該邊緣部會崎,且_基板4會變得被載 置於此曲折的部分上,便能_免產生朗基板4的載置 位置偏移的情形。 還有,此實施形態中’於載置站2上的保護片3被複 數個夾頭部35所挾持’且第二滑動機構%設置於各炎頭 部35與第一滑動機構36間。藉由第二滑動_ %,左右 -對的爽頭部35、35往相互地遠離的方向移動,以施加預 定的張力於保護片3上。如此處的圖2所示,藉由讓保護 片3的四角分別受到夾頭部35的拉伸,保護片㈣全體上 又到張力的施加’使得保護片3的整面呈平坦狀張開的樣 子。如此-來,施加了張力的狀態下的保護片3上會載置 19 201014772 玻璃基板4,使兩者3、4會以大範圍分布地互相緊密接合 的狀態而載置著。如上所述,載置玻璃基板4的保護片3, 藉由連續的左右一對的夾頭部35、35,同時將玻璃基板4 經由輸送道34而往玻璃基板4的取出站7搬送。 又,在此實施形態中,由於左右一對的夾頭部35、35 的搬送方向的内侧上設置有前述構成的夾頭部35,、35,,
所以在藉由外部的夾頭部35、35挾持保護片3且往載置站 2搬送的同時’内側的失頭部35,、35,會在與外侧的夾頭 部35、35無干涉的情形下’從輸送道34的下游侧往上游 侧移動,且由滾筒狀片31重新切出,以便在輸送道34上 能夠挾持新的後續供給的保護片3且往載置站2搬送。還 有,藉由内侧的夾頭部35,、35,來挾持保護片3同時往 载置站2搬送時,外侧的夾頭部35、35會在與内側的夾頭 部35’、35’無干涉的情形下,從輸送道34的下游侧往上游 側移動’使得輸送道34上能夠挾持新的後續供給的保護片 3且往載置站2搬送。藉此,挾持該保護片3且往載置站2 ,送’在載置了玻璃基板4後,更可往取出站7搬送而進 =上述連貫的作業,而能夠藉由外侧夾頭部35、35與内侧 夹頭部35’、35,來交互且重複地進行。 藉由出站7的保護片3與玻璃基拓 基板積載裝置40來保持後,會同時往成為一拥 為下面於載積載二If 得保護片3 的前端所設置的保持-的二=手板臂4 20 201014772 ❹ ❹ 吸附保持著。同時,玻璃基板4載置於保護片3的邊緣部 之内,且從玻璃基板4露出的兩侧的邊緣部3a、3b (參照 圖4)會由設置於保持部43的兩侧框邊上的挾持部46所 挾持著。再者,在此實施型態中,保護片3的邊緣部份内, 邊緣部3a、3b被複數個挾持部46所挾持,錢接邊緣部 3a、3b的上側邊緣部(圖4中上侧的邊緣部)允被所配設 的-整列吸附塾48所吸附保持。於是,由於如此所保持的 保護片3與玻璃基板4藉由機械手臂幻所移送,所以保護 片3在移送時的大幅度搖動、混爲匕等會被抑制且能夠^ 穩定的姿勢將保護片3往積載站5積載。 ,有,在此實施形態中,因為把施加有張力狀態下的 保護片3與玻璃基板4同時保持且積載,所以保護片3與 ,璃基板4 _合度,使得料料_姿勢也變得 二二層安定。尤其是’如上述般的在載置該 之刚施加張力於保護片3,所以在施加張力於保護片3使 之伸長時’不會受到與玻璃基板4的摩擦的影響。並且, 從圖2或圖4等的位置關係所了解者,藉由 =部位與藉由夾頭部35所夹的部位會分別設°定在不㊁ 複的位置,所以藉由夹頭部35來夾住保護片3所 加張力陳態_轉料,目此可料 部46來挾持保護片3。 3的挟持 藉由社攸覆作t,作為積載站 互地積載著保護片3與破璃基板4= 積載(積層)的片數達到預定的數量時,這些被交互 21 201014772 積層的玻璃基板4與保護片3會藉由捆包手段來捆包,且 食b夠即時地使旋轉台53旋轉’使得積載站5切換至另一個 的積載面52。藉由以上的反覆作業,玻璃 基板4的積載捆包作業會自動地繼續實施。
於此’將對藉由玻璃基板移載裝置2〇來移載玻璃基 ,的相關動作進行描述。如圖2所示的狀態,由於第二連 桿Μ以第-接頭24為中心而順時鐘地旋轉(將玻璃基板 4旋回至上抬方向),所以玻璃基板4能夠内外表面反轉 而移載至載置站2,但是考慮移_f的高軌以及當時 的保護片3的型態安錄的場合,可以將玻璃基板4的移 地蚊。訂’將對伽賴基_載裝置 20的移載動作的一個例子進行說明。
、首先,如圖6所示,把工作保持部28配置在供給站 上以及已設定的玻璃基板4的正下方。在此時把第二与 頭25a定位於比第一接頭24a以及第三接頭加更上方合 位置。然後’位於此位置的工作保持部28上設置有複數布 吸附塾29,絲此複數個吸_ 29壓接於_基板* ^ :面’以吸附保持玻璃基板4。然後,依據麵基板4 ^ 略地往上方上抬的狀態’實質地開始移送的動作。即,女 圖7所示般’使第一接頭24a旋轉且使第二連桿乃以逆峡 鐘方向旋轉,且對應於使第二連桿25的旋轉動作第三讀 桿26也往逆時鐘方向旋轉,同時,使腕部27在第三接再 %旋轉時以順時鐘方向旋轉。藉由這樣的動作,把玻璃羞 板4以其移送方向的前方侧(靠近載置站2的一側)作為 22 201014772 上方位置而徐徐地-邊傾斜-邊上抬,而往載置站2移動。 如上述般把玻璃基板4往載置站2移動,如圖8所示, 藉由第二連桿25與第三連桿26在一直線上㈣,機械手 臂22會使玻璃基板4移動至錯直上方伸展的位置為止。同 時,玻璃基板4會直立’機械手臂22往錯直上方伸展的狀 態下,玻璃基板4會以其前端侧的端面朝向下方而直 狀態下使腕部27旋轉。 ❹ 於是,從此狀態繼續的腕部27往順時鐘方向旋轉, 且第二連桿25與第三連桿26分別往順時鐘方向與逆時鐘 方向旋轉(都參關8)。藉由像這樣來轉動機械手臂22, 直接連接到玻璃基板4的全體的位置上的第三接頭2如 往下方移動,餅朗基板4下降,且_基板4的行進 方向的前端侧作為下方地使玻喊板4以傾斜的狀態 =2接近。並且,使玻璃基板4的行進方向前端^ (鄰 近載置站2的端部)相對地上昇,且使後端侧相對地下降, 所以玻璃基板4的姿勢會近似於水平(載置姿勢)。 於是,上述玻璃基板的移送動作中,如圖9所示,由 =使順時鐘方向旋轉的第二連桿25逆轉而以逆時鐘方向 旋轉’所以相對於玻璃基板4全體的下降量來說水平移動 量^比率會提高,且使玻板4—方面近似於载置姿勢 且-方面朝向載置站2而往水平方向移送。藉此,如圖 所不,破璃基板4以内外面反轉的狀態而移送至正對 的保護片3的位置為止。當該移送動作進行時,玻 項暴扳4在移送時所受到的空氣阻力盡量降低,而能朝載 23 201014772 置站2高速地搬送。 於是,如圖10所示的位置,即,玻璃基板4採取大 平姿勢而由與保護片3正對的位置…方面維持該正 ^立置’且-方面使朗基板4往保護片3以直線地移動。 置=片=基板4能夠在正確地決定位置的狀態下載 ,如此的玻璃基板4的移載動作完成後,應再進行玻 =板4的移送載置動作,使工作保持部28往供給站6 2方移動。由於如此重覆作與圖6〜圖1()湖的一連串 動作:能==站6往載置站2的玻璃基板4的移載 其此Γ上,軸說明了使用朗基板捆包裝置1來對玻璃 述的=積載捆包作業的—例,但本發财然不限定於上 二裝置:作械為手積臂載4手段的玻璃基板積載裝置40或是構 臂2的保持部43,並不限定以挾持部 ttr?置狀態的玻璃基板4所露出的保護片3的邊 互相相對的兩邊緣,也是能採用前述以外的積載 料基板積餘置4G,軸在前述的實施 保持部43兩侧框邊的挾持部46來挾 閛)甲的保持部43配設於框架體44 24 201014772 的兩側框邊’且具有分·以挾持保護片3的互相相對的 左右的邊緣部3a、3b的兩個挾持部46,同時也具有挾持 由這些複數個挾持部46挾持的左右邊緣部3a、3b所連接 的上侧邊緣部3e的兩個挾持部46。其他的構成,例 於吸附塾45、48的構成是與g 4巾既述的保持部43相 所以省略其說明。 依據屬於上述構成的玻璃基板積載裝置4〇 (保持部 43),不只由玻璃基板4所露出保護片3的邊緣部分中互 相相對的兩個邊緣部3a、3b,還有連接這些邊緣部%、3^ 的其他的邊緣部3也能被挾持著,所以在移送時容易受到 風壓而大幅度搖晃的地方須固定,使保護片全體的摇動或 因搖動,產生的折曲等的變形的情形能夠受到抑制而減 少,而能實現以高速進行高精度與高品質的搬送。 還有,在上述實施形態中,雜已對藉由設置於保護 片供給裝置3G的左右-制夾頭部35、35來施加張力於 輸送道34的保護片3進行說明,但特別是沒有必要限制於 © 此形態。例如,在玻璃基板積載裝置40的保持部43上所 設置的對應的左右-對的挾持部46、46能夠相互地接近或 也能相互遠離’且於取出站7上呈挟持保護片3的兩侧二 邊緣部3a、3b的狀態的—對的挾持部46、46互相往相互 遠離的方向移動,使得施加張力於該保護片3變得可能。 而且,在以上的說明中,關於構成玻璃基板移載裝置 20的機械手臂22,雖然是以三軸關節型的機械手臂為例來 說明,當然,沒有必要限制於此構造。只要能進行把玻璃 25 201014772 基板:從供給站6往載置站2移載的動作就可以,任意的 多關節機械手臂(例如6個自由度等的泛用型機械手臂等) 也可以使用。還有,關於構成玻璃基板積載裝置4〇的機械 手臂42也不特別限定為具體的構造,只要能把玻璃基板4 與保護片3 —體地從取出站7向積載站5移送即可可以 使用任意的多關節機械手臂。 還有,在以上的說明中,雖然是以作為移送對象的工 件的液晶顯示器用的玻璃基板4為例,但是本發明並不限 用於液晶顯示器,電槳顯示器、有機EL顯示器、FED、 © SED等的各種平面面板顯示器用的玻璃板(例如具有在 CMmm〜3.0mm範圍的板厚者)、各種電子顯示機能元件、 作為形成薄膜用的基材所用的玻璃板等,都能利用保護片 來進行積層捆包而能夠把玻璃基板全盤地作為移送對象。 雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定 本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離 本發明之精神和範圍内,當可作些許之更動與潤飾,因此 本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為 準。 【圖式簡單說明】 圖1為示意本發明一實施型態相關的玻璃基板捆包裝 置的全體構成的俯視圖。 圖2為示意玻璃基板捆包裝置的全體構成的立體圖。 圖3為構成玻璃基板捆包裝置的玻璃基板積載裝置的 保持部的立體圖。 26 201014772 圖4為概念性地示意藉由保持部來保持玻璃基板 護片的樣態的一例的俯視圖。 、’、 蠖片:f生地示意藉由保持部來保持玻璃基板與保 護月的樣態的另一例的俯視圖。 圖6為用以說明藉由玻璃基板移載装置的移送玻 板的動作的-綱圖,且躺要開始 ς 包裝置的部分側_。 ^明基板捆 ❹ Ο ,7為用以說明藉由_基板移載裝置來進行的移送 板捆包裝且為剛開始移送後的玻璃基 玻璃進行的移送 捆包裝置的部分側視圖。且為移送動作中的玻璃基板 圖9為用以說明藉由玻璃基板 玻璃基板的動作的-例的圖,且為移的移送 捆包裝置的部分側視圖。 中的破璃基板 圖10為用以說明藉由破璃基板移 送玻璃基板的動作的-例的圖,且為置來進行的移 基板捆包裝置的部分侧視圖。 34剛完成前的玻璃 【主要元件符號說明】 1 :玻璃基板捆包裝置 2 :載置站 3 :保護片 3a、3b、3c :邊緣部 27 201014772 4:玻璃基板 5 :積載站 6 :供給站 7 :取出站 10 :玻璃基板供給裝置 11 :輸送道 13 :凹部 20 :玻璃基板移載裝置 22 :機械手臂 24、25、26 :連桿 24a、25a、26a :接頭 28 :工作保持部 29 :吸附墊 30 :保護片供給裝置 31 :滚筒狀片 34 :輸送道 35 :夾頭部 36 :第一滑動機構 37 :第二滑動機構 40 :玻璃基板積載裝置 42 :機械手臂 43 :保持部 44 :框架體 45 :吸附墊(玻璃基板用) 201014772
46 :挾持部 48 :吸附墊(保護片用) 50 ··捆包平板裝置 51 :捆包用平板 52 :積載面 29
Claims (1)
- 201014772 七、申請專利範圍: L 一種玻璃基板捆包裝置,包括: 載置站,使玻璃基板載置於保護片上; 積載站,交互地積載前述保護片與前述玻璃基板;以 及 積載手段,同時保持被载置於前述保護片上的前述玻 璃基板與前述保護片且積載於前述積載站; ❹ 其中,前述積載手段具有挾持部,挾持由前述載置狀 態下的玻璃基板所露出的前述保護片的邊緣部分中互相相 對的兩邊緣。 2.如申:月專利範圍帛1項所述之玻璃基板拥包裝 置,其中前述挾持部更挾持前述互相相對的兩邊緣以外的 邊緣部分。 3 專鄉圍第1或第2項所述之玻璃基板捆包 ^地挾財述各㈣料分的賴個地方1項至第3項中任-項所述之玻 ^ ° ’其中前述挾持部更施加張力於前述保護 片上。 璃基項至帛4項巾任—項所述之玻 述載ί站上的張力施加手段,以施加張力於前 6.如申請專利範圍第\項至第5項中任—項所述之玻 30 201014772 璃基板捆包裝置,包括: 位置別於前述載置站的取出站’以經由前述積載手段 而同時保持及取出前述玻璃基板與前述保護片。 7.如申請專利範圍第6項所述之玻璃基板捆包裴 置’更包括:片供給手段,供給前述保護片至前述載置站上,其中 前述片供給手段將供給到前述載置站並載置有前述玻璃基 板的前述保護片搬送至前述取出站為止。 8.如申請專利範圍第1項至第7項其中任一項所述之 玻璃基板捆包裝置,更包括: 移裁手段,將前述玻璃基板從供給有前述玻璃基板的 供給站移載至前述載置站, 其中前述移載手段使前述玻璃基板則 移=述r基板的進行方向的:= 勢越接近前述栽置站,前述玻 9.—種玻璃基板捆包方法,包括: 於載置站上’載置朗基板到保護片上. 站移«錢料縣_料料片往猜載 在前述積載站上, 護片,其中 交互地積翁述_基板與前述保 則述保護片上的前述玻 且積載至前述積載站上, 積載手段被設置成將载置於 璃基板與前述保護片同時保持著1 201014772 前述積載手段具有挾持部,以挾持由前述載置狀態下 的玻璃基板所露出的前述保護片的邊緣部分中互相相對的 兩邊緣。32
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008260622A JP5196158B2 (ja) | 2008-10-07 | 2008-10-07 | ガラス基板梱包装置およびその梱包方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201014772A true TW201014772A (en) | 2010-04-16 |
TWI452003B TWI452003B (zh) | 2014-09-11 |
Family
ID=42100449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW098123901A TWI452003B (zh) | 2008-10-07 | 2009-07-15 | 玻璃基板捆包裝置及其捆包方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5196158B2 (zh) |
KR (1) | KR20110079575A (zh) |
CN (1) | CN102099272B (zh) |
TW (1) | TWI452003B (zh) |
WO (1) | WO2010041492A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI469899B (zh) * | 2012-08-10 | 2015-01-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Plate glass packaging device |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013100116A (ja) * | 2010-03-03 | 2013-05-23 | Asahi Glass Co Ltd | 板状体積層体 |
JP5633674B2 (ja) * | 2010-06-25 | 2014-12-03 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板姿勢変換装置及びガラス板姿勢変換方法 |
JP5545597B2 (ja) * | 2010-08-10 | 2014-07-09 | 日本電気硝子株式会社 | シート材供給装置及びシート材供給方法 |
CN102358517B (zh) * | 2011-07-19 | 2013-06-19 | 陕西彩虹电子玻璃有限公司 | 一种吸取玻璃基板的辅助方法 |
DE102012103533A1 (de) | 2012-04-20 | 2013-10-24 | Köra-Packmat Maschinenbau GmbH | Vorrichtung zum Fördern eines Substrats und System zum Bedrucken eines Substrats |
JP5768827B2 (ja) | 2013-03-14 | 2015-08-26 | 株式会社安川電機 | ロボットシステムおよびワークの搬送方法 |
JP2014234216A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | ストラパック株式会社 | シート供給方法、被包装物の保護処理方法、シート供給装置及び包装機 |
KR101489169B1 (ko) * | 2013-11-25 | 2015-02-03 | 주식회사 나노솔텍 | 부품흡착유닛의 부품 지지장치 |
US20160376113A1 (en) | 2014-01-28 | 2016-12-29 | Lisec Austria Gmbh | Conveying device |
JP6476076B2 (ja) * | 2015-06-09 | 2019-02-27 | 新電元工業株式会社 | 搬送装置 |
ITUB20152339A1 (it) * | 2015-07-21 | 2017-01-21 | Giuseppe Gallucci | Apparecchiatura per il ribaltamento di fogli e/o pannelli |
CN105035742A (zh) * | 2015-07-23 | 2015-11-11 | 苏州宏瑞达新能源装备有限公司 | 自动夹取装置 |
JP7110546B2 (ja) * | 2016-12-01 | 2022-08-02 | トヨタ自動車株式会社 | 物体の持上げ可否判定方法 |
CN106698022B (zh) * | 2017-01-18 | 2019-03-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种基板传送装置及方法 |
CN106903708A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-06-30 | 成都福莫斯佰龙智能科技有限公司 | 便于机器人高效工作的抓取工具 |
KR102494265B1 (ko) * | 2017-10-18 | 2023-02-06 | 코닝 인코포레이티드 | 유리 시트 패킹 시스템 |
KR20210153597A (ko) | 2019-04-18 | 2021-12-17 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 보호시트 절단장치 및 유리기판 곤포체의 제조방법 |
CN110143439A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-08-20 | 广东高力威机械科技有限公司 | 一种玻璃板上下片机 |
CN114286788A (zh) * | 2019-10-11 | 2022-04-05 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃板捆包体的制造方法以及制造装置 |
JP7163944B2 (ja) * | 2020-09-15 | 2022-11-01 | 日新イオン機器株式会社 | 基板保持装置およびイオン注入装置 |
CN112744590A (zh) * | 2021-02-09 | 2021-05-04 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种玻璃基板的移送机构 |
CN113830485B (zh) * | 2021-09-25 | 2023-01-10 | 浙江立镖机器人有限公司 | 固定在货架上的装卸货物设备 |
CN116730015A (zh) * | 2023-06-27 | 2023-09-12 | 龙口市龙发玻璃有限公司 | 一种汽车挡风玻璃转运装配夹持装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2603566B1 (fr) * | 1986-09-08 | 1992-07-03 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Dispositif pour charger des produits fabriques a partir de verre en feuilles |
JPH0628514Y2 (ja) * | 1986-09-08 | 1994-08-03 | 日本板硝子株式会社 | 合紙入込装置 |
JP2644163B2 (ja) * | 1993-03-19 | 1997-08-25 | 昭和アルミニウム株式会社 | 収容枠へのワークの多段積込み装置 |
JP3938645B2 (ja) * | 1999-11-16 | 2007-06-27 | セントラル硝子株式会社 | ガラス板の移載方法および移載装置 |
JP2001180822A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-03 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 基板の受渡し方法及び装置 |
JP4516686B2 (ja) * | 2000-11-15 | 2010-08-04 | 中村留精密工業株式会社 | ガラス板の搬送装置及び搬送方法 |
JP2005075284A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 自動車のシート制御装置 |
CN102336280B (zh) * | 2007-03-07 | 2013-08-28 | 日本电气硝子株式会社 | 保护片装载装置 |
-
2008
- 2008-10-07 JP JP2008260622A patent/JP5196158B2/ja active Active
-
2009
- 2009-06-12 WO PCT/JP2009/060793 patent/WO2010041492A1/ja active Application Filing
- 2009-06-12 KR KR1020107029414A patent/KR20110079575A/ko active Search and Examination
- 2009-06-12 CN CN200980128533.5A patent/CN102099272B/zh active Active
- 2009-07-15 TW TW098123901A patent/TWI452003B/zh active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI469899B (zh) * | 2012-08-10 | 2015-01-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Plate glass packaging device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110079575A (ko) | 2011-07-07 |
JP5196158B2 (ja) | 2013-05-15 |
TWI452003B (zh) | 2014-09-11 |
CN102099272A (zh) | 2011-06-15 |
JP2010093022A (ja) | 2010-04-22 |
WO2010041492A1 (ja) | 2010-04-15 |
CN102099272B (zh) | 2014-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW201014772A (en) | Baling device for glass substrate and baling method thereof | |
TWI487607B (zh) | 板狀工件的移送設備與移送方法 | |
TWI500558B (zh) | 保護片供給裝置 | |
JP2002145448A (ja) | 反転積み重ね装置 | |
EP2204280B1 (en) | Method and apparatus for supplying bags to a packaging machine | |
JP5146903B2 (ja) | ガラス基板梱包装置 | |
WO2014119458A1 (ja) | シート材取扱方法、及びシート材取扱装置 | |
JP2005060063A (ja) | 湾曲ガラス板の積載方法および装置 | |
TW201407677A (zh) | 片材黏貼裝置及片材黏貼方法 | |
JP5077718B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP5983445B2 (ja) | シート材積載方法、及びシート材積載装置 | |
JP5820260B2 (ja) | バッチシート給紙装置 | |
JP2006298507A (ja) | ガラス基板の移積装置及び移載方法 | |
TW201335984A (zh) | 片材黏貼裝置及黏貼方法 | |
JP2006327819A (ja) | ガラス板の移載装置および移載方法 | |
JP6166872B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP5633674B2 (ja) | ガラス板姿勢変換装置及びガラス板姿勢変換方法 | |
JP2008213919A (ja) | 保護シート積込装置 | |
JP2000072280A (ja) | フィルムの搬送装置 | |
JP2013235980A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
TW202333282A (zh) | 搬運裝置及搬運方法、以及薄片貼合裝置及薄片貼合方法 | |
JP2023104582A (ja) | 搬送装置 | |
CN115135590A (zh) | 纸张供给装置 | |
JPH08143093A (ja) | カセット内の平板状ワークの整列装置 |