CN112744590A - 一种玻璃基板的移送机构 - Google Patents
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Abstract
本发明属于玻璃技术领域,公开了一种玻璃基板的移送机构包括吸附组件、驱动组件和归正组件,吸附组件包括吸附主体和吸附部,吸附部包括多个吸盘,多个吸盘均设置于吸附主体上,吸附主体沿Y方向移动,以便多个吸盘吸附玻璃基板,且该多个吸盘均为伯努利吸盘,能够防止多个吸盘在吸附玻璃基板时,吸盘与玻璃基板的工艺面相接触,避免了吸盘污染玻璃基板的工艺面,进而提升了对玻璃基板电镀加工时的加工质量;驱动组件用于驱动吸附主体移动;归正组件包括第一抵接部,第一抵接部能够抵接于吸附于多个伯努利吸盘上的玻璃基板的底边,以沿Z方向调节玻璃基板的位置,并对玻璃基板进行一定的支撑。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃技术领域,尤其涉及一种玻璃基板的移送机构。
背景技术
玻璃广泛应用于各领域,随着社会的发展,普通的玻璃往往不再能够满足使用需求,钢化玻璃、有色玻璃、镀膜玻璃等应运而生,然而,在生产镀膜玻璃时,往往需要使用电镀工艺将金属、合金或金属化合物电镀在玻璃的表面。通常情况下,镀膜玻璃使用水平电镀的方式进行电镀处理,然而,在对较大尺寸的玻璃进行电镀处理时,需将玻璃基板垂直固定在载具上,再将该载具放置到电镀设备中进行电镀作业,以实现对玻璃基板的垂直电镀;由于需要对玻璃基板的工艺面进行电镀处理,所以玻璃基板的工艺面不能受到污染。
因此,亟需设计一种玻璃基板的移送机构,以将玻璃基板移送至载具上,并能保证该移送机构不与玻璃基板的工艺面相接触,以防污该工艺面。
发明内容
本发明的目的在于提供一种玻璃基板的移送机构,以将玻璃基板移送至载具上,并能保证该移送机构不与玻璃基板的工艺面相接触,以防污该工艺面。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
本发明提供一种玻璃基板的移送机构,包括:
吸附组件,包括吸附主体和吸附部,所述吸附主体能够沿Y方向移动,所述吸附部包括多个吸盘,多个所述吸盘均设置于所述吸附主体上,多个所述吸盘均为伯努利吸盘;及
驱动组件,用于驱动所述吸附主体移动;
归正组件,包括第一抵接部,所述第一抵接部能够沿Z方向移动,所述第一抵接部能够抵接于吸附于多个所述伯努利吸盘上的所述玻璃基板的底边。
该玻璃基板的移送机构包括吸附组件、驱动组件和归正组件,吸附组件包括吸附主体和吸附部,吸附主体能够沿Y方向移动,吸附部包括多个吸盘,多个吸盘均设置于吸附主体上,吸附主体沿Y方向移动,以便多个吸盘吸附玻璃基板,且该多个吸盘均为伯努利吸盘,能够防止多个吸盘在吸附玻璃基板时,吸盘与玻璃基板的工艺面相接触,避免了吸盘污染玻璃基板的工艺面,进而提升了对玻璃基板电镀加工时的加工质量;驱动组件用于驱动吸附主体移动;归正组件包括第一抵接部,第一抵接部能够沿Z方向移动,第一抵接部能够抵接于吸附于多个伯努利吸盘上的玻璃基板的底边,以沿Z方向调节玻璃基板的位置,使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具,此外,该第一抵接部还能够对玻璃基板起到一定的支撑作用,以防玻璃基板从多个吸盘上脱落,还能防止玻璃基板发生倾斜的现象。
作为优选,所述驱动组件包括:
传动部,与所述吸附主体传动相连;及
第一驱动部,与所述传动部传动相连。
驱动组件包括传动部和第一驱动部,传动部与吸附主体传动相连,第一驱动部与传动部传动相连,以驱动吸附组件沿Y方向移动。
作为优选,所述传动部为同步升降器。
该传动部为同步升降器,能够提升吸附组件的移动稳定性,以防止吸附主体在移动过程中发生倾斜或卡顿等现象。
作为优选,所述归正组件还包括:
两组第二抵接部,两组所述第二抵接部能够沿X方向相互靠近或远离,所述第二抵接部能够抵接于所述玻璃基板的侧边。
两组第二抵接部能够沿X方向相互靠近或远离,第二抵接部能够抵接于玻璃基板的侧边,以沿X方向调节玻璃基板的位置,使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具。
作为优选,所述归正组件还包括:
第二驱动部,所述第二驱动部与所述第一抵接部传动相连;及
两组第三驱动部,每组所述第三驱动部与对应的一组所述第二抵接部传动相连。
第二驱动部与第一抵接部传动相连,以使第一抵接部沿Z方向移动;每组第三驱动部与对应的一组第二抵接部传动相连,以使第二抵接部沿沿X方向移动。
作为优选,所述第二驱动部和所述第三驱动部均包括传动相连的驱动电机和传动丝杠,所述第二驱动部的所述传动丝杠与所述第一抵接部传动相连,所述第三驱动部的所述传动丝杠与所述第二抵接部传动相连。
第二驱动部和第三驱动部均包括传动相连的驱动电机和传动丝杠,第二驱动部的传动丝杠与第一抵接部传动相连,以驱动第一抵接部移动,第三驱动部的传动丝杠与第二抵接部传动相连,以驱动第二抵接部移动。
作为优选,所述第二驱动部和所述第三驱动部均为直线电机或气缸。
第二驱动部和第三驱动部均为直线电机或气缸,以驱动对应的第一抵接部或对应的第二抵接部移动。
作为优选,所述玻璃基板的移送机构还包括:
导向组件,被配置为使所述吸附主体沿Y方向移动。
导向组件能够使吸附主体沿Y方向移动,对吸附主体起到了一定的导向作用,提升了吸附组件的运动稳定性和运动精度,同时还对吸附组件起到了支撑作用。
作为优选,所述导向组件包括:
多个导向柱,均延Y方向延伸;及
多个导向环,滑动设置于对应的所述导向柱上,多个所述导向环均与所述吸附主体相连。
导向组件包括多个导向柱和多个导向环,导向组件的结构较为简单,易于操作和制造。
作为优选,所述玻璃基板的移送机构还包括:
限位组件,被配置为限制所述吸附主体的移动。
限位组件能够限制吸附主体的移动,以防止吸附组件的移动距离过大,发生撞机现象。
本发明的有益效果:
本发明提出的玻璃基板的移送机构包括吸附组件、驱动组件和归正组件,吸附组件包括吸附主体和吸附部,吸附主体能够沿Y方向移动,吸附部包括多个吸盘,多个吸盘均设置于吸附主体上,吸附主体沿Y方向移动,以便多个吸盘吸附玻璃基板,且该多个吸盘均为伯努利吸盘,能够防止多个吸盘在吸附玻璃基板时,吸盘与玻璃基板的工艺面相接触,避免了吸盘污染玻璃基板的工艺面,进而提升了对玻璃基板电镀加工时的加工质量;驱动组件用于驱动吸附主体移动;归正组件包括第一抵接部,第一抵接部能够沿Z方向移动,第一抵接部能够抵接于吸附于多个伯努利吸盘上的玻璃基板的底边,以沿Z方向调节玻璃基板的位置,使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具,此外,该第一抵接部还能够对玻璃基板起到一定的支撑作用,以防玻璃基板从多个吸盘上脱落,还能防止玻璃基板发生倾斜的现象。
附图说明
图1是本发明提出的玻璃基板的移送机构示意图一;
图2是本发明提出的玻璃基板的移送机构示意图二。
图中:
1、吸附组件;2、驱动组件;3、归正组件;4、导向组件;
11、吸附主体;12、吸附部;21、传动部;22、第一驱动部;31、第一抵接部;32、第二抵接部;33、第二驱动部;34、第三驱动部;
111、减重结构。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
在本发明的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中,术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述和简化操作,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分,并没有特殊的含义。
本发明提供一种玻璃基板的移送机构,用于将玻璃基板移送至用于固定玻璃基板的专用载具上,如图1和图2所示,该玻璃基板的移送机构包括吸附组件1、驱动组件2和归正组件3,吸附组件1包括吸附主体11和吸附部12,吸附主体11能够沿Y方向移动,吸附部12包括多个吸盘,多个吸盘均设置于吸附主体11上,吸附主体11沿Y方向移动,以便多个吸盘吸附玻璃基板,且该多个吸盘均为伯努利吸盘,能够防止多个吸盘在吸附玻璃基板时,吸盘与玻璃基板的工艺面相接触,避免了吸盘污染玻璃基板的工艺面,进而提升了对玻璃基板电镀加工时的加工质量;驱动组件2用于驱动吸附主体11移动;归正组件3包括第一抵接部31,第一抵接部31能够沿Z方向移动,第一抵接部31能够抵接于吸附于多个伯努利吸盘上的玻璃基板的底边,以沿Z方向调节玻璃基板的位置,使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具,此外,该第一抵接部31还能够对玻璃基板起到一定的支撑作用,以防玻璃基板从多个吸盘上脱落,还能防止玻璃基板发生倾斜的现象。
由于吸附主体11的尺寸较大,其重量也相对较重,为了提升吸附主体11移动的灵活性,本实施例在吸附主体11上设置了减重结构111,以在不降低吸附主体11刚度的前提下,降低吸附主体11的重量,以便于吸附主体11的移动,同时还能提升吸附主体11移动的精度。
优选地,吸附主体11上设置有多个减重通孔,以降低吸附主体11的重量。
具体地,驱动组件2包括传动部21和第一驱动部22,传动部21与吸附主体11传动相连;第一驱动部22与传动部21传动相连,以驱动吸附组件1沿Y方向移动。
优选地,第一驱动部22采用驱动电机,传动部21采用同步升降器,当驱动电机转动时,同步升降器能够使吸附组件1沿Y方向移动,在本实施例中,同步升降器由四个传动丝杠和五个传动轴和一个减速器组成,四个传动丝杠分别传动连接于吸附主体11的四个角,驱动电机通过减速器和五个传动轴与四个传动丝杠传动相连,驱动电机转动,经减速器减速后,将驱动力传递给传动轴,传动轴再使传动丝杠转动,五个传动轴能够使四个传动丝杠同时转动;使传动部21采用同步升降器,能够提升吸附组件1的移动稳定性,以防止吸附主体11在移动过程中发生倾斜或卡顿等现象。
如图2所示,归正组件3还包括两组第二抵接部32,两组第二抵接部32能够沿X方向相互靠近或远离,第二抵接部32能够抵接于玻璃基板的侧边,以沿X方向调节玻璃基板的位置,使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具。
进一步地,归正组件3还包括第二驱动部33和两组第三驱动部34,第二驱动部33与第一抵接部31传动相连,以使第一抵接部31能够沿Z方向移动;每组第三驱动部34与对应的一组第二抵接部32传动相连,以使两组第二抵接部32能够沿X方向移动。
优选地,第二驱动部33和第三驱动部34均包括传动相连的驱动电机和传动丝杠,第二驱动部33的传动丝杠与第一抵接部31传动相连,以驱动第一抵接部31移动,第三驱动部34的传动丝杠与第二抵接部32传动相连,以驱动第二抵接部32移动。
可选地,第二驱动部33和第三驱动部34还可以均采用直线电机或气缸,以驱动对应的第一抵接部31或对应的第二抵接部32移动,在这里不再对第二驱动部33和第三驱动部34的具体形式进行限定,只要能实现驱动第一抵接部31或第二抵接部32沿对应的方向移动即可。
需要提到的是,当玻璃基板放置在第一抵接部31上时,吸附主体11上的多个伯努利吸盘还能够对该玻璃基板起到一定的缓冲作用,以使玻璃基板能够稳定地支撑于第一抵接部31上,以便于该玻璃基板能够顺利地转移到载具的吸盘上。
如图2所示,玻璃基板的移送机构还包括导向组件4,导向组件4能够使吸附主体11沿Y方向移动,对吸附主体11起到了一定的导向作用,提升了吸附组件1的运动稳定性和运动精度,同时还对吸附组件1起到了支撑作用。
具体地,导向组件4包括多个导向柱和多个导向环,多个导向柱均延Y方向延伸;多个导向环滑动设置于对应的导向柱上,多个导向环均与吸附主体11相连,该导向组件4的结构较为简单,易于操作和制造。
为了防止吸附组件1的移动距离过大,发生撞机现象,玻璃基板的移送机构还设置了限位组件,限位组件能够限制吸附主体11的移动,以防止吸附组件1的移动距离过大,发生撞机现象。
显然,本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种玻璃基板的移送机构,其特征在于,包括:
吸附组件(1),包括吸附主体(11)和吸附部(12),所述吸附主体(11)能够沿Y方向移动,所述吸附部(12)包括多个吸盘,多个所述吸盘均设置于所述吸附主体(11)上,多个所述吸盘均为伯努利吸盘;
驱动组件(2),用于驱动所述吸附主体(11)移动;及
归正组件(3),包括第一抵接部(31),所述第一抵接部(31)能够沿Z方向移动,所述第一抵接部(31)能够抵接于吸附于多个所述伯努利吸盘上的所述玻璃基板的底边。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,所述驱动组件(2)包括:
传动部(21),与所述吸附主体(11)传动相连;及
第一驱动部(22),与所述传动部(21)传动相连。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,所述传动部(21)为同步升降器。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,所述归正组件(3)还包括:
两组第二抵接部(32),两组所述第二抵接部(32)能够沿X方向相互靠近或远离,所述第二抵接部(32)能够抵接于所述玻璃基板的侧边。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,所述归正组件(3)还包括:
第二驱动部(33),所述第二驱动部(33)与所述第一抵接部(31)传动相连;及
两组第三驱动部(34),每组所述第三驱动部(34)与对应的一组所述第二抵接部(32)传动相连。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,所述第二驱动部(33)和所述第三驱动部(34)均包括传动相连的驱动电机和传动丝杠,所述第二驱动部(33)的所述传动丝杠与所述第一抵接部(31)传动相连,所述第三驱动部(34)的所述传动丝杠与所述第二抵接部(32)传动相连。
7.根据权利要求5所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,所述第二驱动部(33)和所述第三驱动部(34)均为直线电机或气缸。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,还包括:
导向组件(4),被配置为使所述吸附主体(11)沿Y方向移动。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,所述导向组件(4)包括:
多个导向柱,均延Y方向延伸;及
多个导向环,滑动设置于对应的所述导向柱上,多个所述导向环均与所述吸附主体(11)相连。
10.根据权利要求1-7中任一项所述的玻璃基板的移送机构,其特征在于,还包括:
限位组件,被配置为限制所述吸附主体(11)的移动。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001139138A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-22 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の移載装置および移載方法 |
CN102099272A (zh) * | 2008-10-07 | 2011-06-15 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃基板捆包装置及其捆包方法 |
CN102479734A (zh) * | 2010-11-23 | 2012-05-30 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 一种硅片承载盒及具有该硅片承载盒的上料装置 |
CN205634143U (zh) * | 2016-04-08 | 2016-10-12 | 苏州三星显示有限公司 | 电子产品定位装置及电子产品输送设备 |
CN106219242A (zh) * | 2016-09-30 | 2016-12-14 | 深圳商巨智能设备股份有限公司 | 液晶面板的归正装置 |
CN212711672U (zh) * | 2020-08-10 | 2021-03-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板上下料装置及电沉积设备 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001139138A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-22 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の移載装置および移載方法 |
CN102099272A (zh) * | 2008-10-07 | 2011-06-15 | 日本电气硝子株式会社 | 玻璃基板捆包装置及其捆包方法 |
CN102479734A (zh) * | 2010-11-23 | 2012-05-30 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 一种硅片承载盒及具有该硅片承载盒的上料装置 |
CN205634143U (zh) * | 2016-04-08 | 2016-10-12 | 苏州三星显示有限公司 | 电子产品定位装置及电子产品输送设备 |
CN106219242A (zh) * | 2016-09-30 | 2016-12-14 | 深圳商巨智能设备股份有限公司 | 液晶面板的归正装置 |
CN212711672U (zh) * | 2020-08-10 | 2021-03-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板上下料装置及电沉积设备 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20210504 |