TW200836360A - Production plant for manufacturing solar cells by using the inline method, inline batch transfer device, batch inline transfer device and method for integrating a batch process into a multitrack inline production plant for solar cells - Google Patents

Description

200836360 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於一種使用串聯方法製造太陽能電池的生產 設備，其具有於數個平行軌中用於傳輸個別電池的傳輸裝 置。本發明亦關於一種用於此生產設備的串聯批次傳送裝 置、一種用於此生產設備的批次串聯傳送裝置，.以及一種 將批次程序整合至太陽能電池的多軌串聯生產設備之方法 【先前技術】 製造太陽能電池的生產設備爲一般習知者。其包含多 重於晶圓（以下亦稱作電池）上執行特定化學或機械製程 操作的不同設備零件。這些包括，例如晶圓的表面結構化 (紋理）、於擴散爐中以熱進行處理或，例如以非反射性 塗層進行塗佈等。 針對將電池傳輸通過生產設備，有兩種不同的解決方 式，其一方面尤指所謂的串聯方法，而另一方面指批次方 法。 若使用串聯方法操作生產設備，電池將呈一列而一個 接著一個的被個別傳輸通過設備。爲了要提高產量，數個 列的電池同時相繼被傳輸。於此所提及的爲一種多軌串聯 方法。 與之相較，於批次方法中並不以停駐於傳輸橡圈上等 的方式個別傳輸電池通過設備，但以所謂的載體輔助，而 -5- 200836360 多重電池係堆疊於載體中。經由相應的處理單元，傳輸此 載體通過個別設備部。 爲技術上的緣故，僅使用串聯方法或使用批次方法而 執行特定方法步驟。因此，例如使用批次方法以鹼方式而 結構化單晶質晶圓，而較佳使用串聯方法透過酸處理來形 成多晶質晶圓的表面結構。相較於鹼處理，藉此可提升效 能° ^ 因此，當太陽能電池製造商試圖處理單晶質及多晶質 晶圓以形成太陽能電池時，需要操作兩種不同的生產設備 。投資兩種不同生產設備的成本高，且對於較小型的公司 而言，建構實質上具經濟風險而利用高產能的兩種設備並 沒有保障。然而，僅使用一種生產設備使製造商的彈性受 限且亦無法以充分的速度達到客戶的需求。 不同於以往，本發明之目的在於提供一種生產設備， 其不再受到這些缺點的阻礙。尤其是，此生產設備能夠彈 φ 性使用以維持低投資成本而仍可快速回應不同客戶的需求 【發明內容】 藉由前述命名之製造太陽能電池的生產設備達成此目 的，因所提供的串聯批次傳送裝置係經設計以同時自平行 軌負載電池至載體之中以及於載體中堆疊分別一軌的電池 之一者至另一者之上，且所提供的批次串聯傳送裝置係經 設計以自載體卸載電池以及導引電池至傳輸裝置的至少一 -6- 200836360 個軌之上。 換句話說，亦即生產設備組合串聯及批次方法而致使 ’例如其可使用串聯設備於單晶質晶圓的鹼結構化。根據 本發明’由於串聯批次傳送裝置的輔助而負載數個軌的個 別電池至載體中。藉由使用批次方法，可將載體接著傳輸 通過接繪的設備零件。位於此設備零件端部者爲批次串聯 傳送裝置，其再一次自載體將電池移除，以及取決於接續 φ 的設備零件而導引這些電池至個別軌之上或至數個軌之上 〇 因數個軌的電池同時地被導入串聯批次傳送裝置中之 載體的對應容器中，處理做法係爲最簡化，及降低極敏感 電池的損傷風險。尤其是，不必要使用機器夾持器自數軌 拾取電池以及於載體中堆疊一個電池至另一個電池之上。 大體上，本發明的生產設備增加了設備操作者的彈性 ，因操作者可使用單一設備以組合串聯及批次方法。接下 • 來，只要適當地確保產能體現，操作者不需提供兩種專用 的生產設備。因此，初始產生太陽能電池的新公司可維持 低投資成本，而不使產品範圍受到限制。 於一較佳實例中，於串聯批次傳送裝置與批次串聯傳 送裝置之間設置執行批次程序的設備零件，帶有電池的載 體係因而傳輸通過設備零件。更佳指派旁路傳輸裝置給批 次程序設備零件，旁路傳輸裝置係經設計以選擇性地橋接 設備零件，致使此設備零件中的電池未受到處理。 換句話說，亦即生產設備具有用於執行批次程序的設 200836360 備零件，然而若批次製程爲非所欲時，其可與旁路傳輸裝 置橋接而受到輔助。舉例而言，如於串聯批次傳送裝置之 上游供傳輸數個平行軌中個別電池之傳輸裝置般來設計此 旁路傳輸裝置，及較佳可自動設置於設備零件上。此外， 串聯批次傳送裝置係切換成電池未負載於載體中的旁路模 式，但藉由上游傳輸裝置直接導引電池至旁路傳輸裝置。 此做法之優點爲進一步提升生產設備的彈性，尤其又 因爲特別設備零件的批次程序與串聯程序相同而可結合使 用。經由實例，於批次製程中亦需要如串聯程序中之清潔 、淋洗或乾燥操作。因爲結合使用此等部分，本發明之生 產設備中的批次程序設備零件可爲較小，因其可使用已存 在的生產設備部分。 當位於串聯批次傳送裝置與批次串聯傳送裝置之間的 批次程序設備零件用於電池之鹼表面結構化時，使用本發 明之生產設備爲特別有利者。 然而，要注意的爲其他批次程序亦爲可行的，其實例 有電池之電流性處理、清潔及淋洗及/或乾燥。本發明並 不受限於供鹼表面結構化的批次程序。 於一較佳實例中，設置載體傳輸裝置以傳輸載體通過 批次程序設備零件。尤佳者爲設置於槽中具有傳輸單元的 載體傳輸裝置，以傳輸載體通過後者（槽）。 換句話說，亦即不同於先前說明者，載體並未***至 槽中、自槽中被舉起及放入接續的槽中，而是將載體傳輸 通過相對長的槽中。經由實例，載體因此可停留於槽之底 -8- 200836360 部的傳輸輥上以及於傳輸輥上被運送。 要注意的是，亦可單獨使用於此所描述之特別用於將 載體以水平方向傳輸通過槽的特徵，而不需上述的串聯批 次傳送裝置及批次串聯傳送裝置。 於一較佳實例中，分別指派載體樞轉裝置予傳送裝置 以藉由預定角度，較佳爲90°，而樞轉載體，使得電池呈 垂直對齊而傳輸通過設備零件。 φ 此做法之優點爲，額外地致能於載體中需要電池垂直 對齊之批次程序。藉此可進一步提升彈性。然而，相關於 電池的水平位置有特殊缺點，其爲電池邊緣上的壓力變得 較大而損傷的風險增加。 於一較佳實例中，設置用於將批次串聯傳送裝置中的 載體傳輸回到串聯批次傳送裝置的返回傳輸裝置。 換句話說，亦即於電池經移除之後，載體自動返回。 若需要，當返回時可旋轉或樞轉載體至串聯批次傳送裝置 φ 中的所欲位置。 於一較佳實例中，經由橡圏、皮帶、輥或鏈而將電池 負載至串聯批次傳送裝置的載體之中。 因爲其損傷風險極低，已證實此類型之傳輸電池至載 體之中爲特別有利者。 另一導引電池進入載體之中的可能性爲經由處理系統 配合夾持器的輔助。處理系統增加了整體系統的彈性，但 具有相關於橡圈或皮帶等之傳輸而升高的損傷風險之缺點 -9- 200836360 經由液體或氣態媒介而負載電池至載體之中爲特別有 利者。此實質上降低了損傷的風險。 最後，藉由於電池方向中位移載體亦可負載電池。 本發明之生產設備至少包含一個載體’其具有用於數 個軌之數個毗連的容器（行），以及每一行具有數個列以 於每一行堆疊數個電池。 換句話說，亦即如矩陣般設計載體，行數對應於串聯 Φ 設備零件中傳輸設備的軌數，以及選擇電池的數目（即欲 堆疊一者至另一者上的電池數）而致使其仍可於批次程序 設備零件中處理。 於一較佳實例中，載體係經設計而使其可自前側及後 側兩者被負載或卸載。 此做法之優點在於簡化處理程序，因不需轉動載體而 進行卸載。 於一較佳實例中，載體係經設計而致使電池僅於其側 φ 邊緣區域受到支撐。 此做法之優點在於，電池上的負載低而可降低損傷的 風險。 藉由使用多軌串聯方法製造太陽能電池的生產設備之 串聯批次傳送裝置亦達成本發明之目的，串聯批次傳送裝 置具有升降裝置、傳輸裝置以及交接裝置，升降裝置係經 設計以相關電池傳輸平面而舉起用於電池之載體，傳輸裝 置用於傳輸數個軌的電池至載體之中，而交接裝置用於自 升降裝置接管載體及用於轉移載體至批次程序設備零件。 -10- 200836360 此串聯批次傳送裝置之優點已於前文中連同本發明之 生產設備一倂說明，故不需要進一步說明。 交接裝置較佳包含樞轉單元，其於交接前將載體旋轉 9 0°，致使載體中的電池垂直配置。 傳輸裝置更佳具有指派給個別軌的傳輸橡圈a。 於一較佳實例中，設置載體匣以固持數個載體，及從 載體匣饋送載體予升降裝置。亦爲較佳者設置有返回傳輸 φ 裝置’其自批次串聯傳送裝置將空的載體傳輸至載體匣之 中’返回傳輸裝置較佳具有用於樞轉載體至升降裝置所需 之位置之中的單元。 藉由使用多軌串聯方法製造太陽能電池的生產設備之 批次串聯傳送裝置亦達成本發明之目的，傳送裝置具有： 交接裝置及傳輸裝置，交接裝置用於自批次程序設備零件 接管用於電池的載體及用於轉移載體至升降裝置，升降裝 置係經設計以關於接續的電池傳輸平面而降低載體，而傳 • 輸裝置用於自載體傳輸數個軌的電池至接續的單軌或多軌 串聯程序設備零件之中。 交接裝置較佳包含樞轉單元，其於交接前將載體旋轉 900，致使載體中的電池水平配置。傳輸裝置較佳亦具有 指派給個別軌的數個傳輸橡圈。 此做法之優點已於前文中連同本發明之生產設備一倂 說明，故不需要進一步說明。 藉由將批次程序整合至太陽能電池的多軌串聯生產設 備之方法亦達成本發明之目的，而方法包含下列步驟： -11 . 200836360 -轉移數個軌的電池至載體之中， •舉起或降低載體一位置，以及重複交接步驟，以在 各情況下堆疊載體中一個軌的數個電池；以及 -轉移載體至接續的批次程序設備零件，尤其是當載 體全滿時。 方法較佳具有下列步驟： -接管批次程序設備零件之端點的載體， φ -相對於單軌或多軌串聯程序設備零件上之接續的傳 輸平面而定位載體， -自載體的一平面轉移電池至串聯程序設備零件的一 個軌或數個軌， -降低或舉起載體一位置，及重複交接步驟以將各堆 疊的所有電池饋送至接續的串聯程序設備零件，以及 -返回空的載體。 此方法之優點已於前文中連同本發明之生產設備一倂 φ 說明，故於此可省卻重複說明。 於一較佳實例中，批次設備零件具有供處理電池的槽 ，載體連同電池係運送通過槽。 換句話說，亦即載體以水平方向被運送通過處理槽’ 以及直到槽的端點之前不再將載體舉起。 如同先前連同本發明之生產設備一倂說明者，亦可單 獨使用此方法而不需串聯批次傳送方法。 本發明之其他優點及修飾係基於說明書及後附的圖式 -12- 200836360 不需強調的是，以上提及的特徵及以下將說明者不僅 可使用於分別的特別組合，亦可在不脫離本發明的範圍下 用於其他組合或使用其自身。此尤其適用於在批次程序設 備零件中將載體水平傳輸通過槽的特徵。 經由示範性實施例的輔助及參考圖式，將更詳細地說 明本發明。 Φ 【實施方式】 於第1圖中圖說製造太陽能電池的部分生產設備，圖 中生產設備呈方塊形式及以參考符號1 0標示。所說明的 生產設備1 〇包含第一設備零件1 2、第二設備零件14以及 第三設備零件1 6，零件沿著傳輸方向T而一個接著一個 配置。 第一設備零件1 2具有傳輸裝置1 3，其於傳輸方向τ 中傳輸待處理的晶圓或電池2 0。可清楚地見到，於數個軌 φ 18·1-18·η中的電池20 —個接著一個連續地被傳輸。此類 型的傳輸亦稱爲多軌串聯傳輸，及使用於實施所謂串聯程 序的生產設備中。於此等串聯程序的情況中，電池以多軌 方式連續移動及一個接著一個通過設備零件，此爲一般習 知者因而不再贅述。軌1 8 .1 -1 8 . η的數目係至少爲2及以 上’例如藉擴散爐等特殊設備零件之最大寬度而達成。 第三設備零件1 6係以相同方法設計及包含傳輸裝置 1 3，傳輸裝置於數個軌中以串聯方式傳輸電池2 〇。 於此要注意的是，可以其他例如於一個軌中以串聯方 -13- 200836360 式傳輸電池的設備零件來替代設備零件1 6。 第二設備零件1 4爲使用所謂批次方法傳輸電池之 況中的零件。此意謂電池20未於數個軌中一個接著一 的連續傳輸，但是特定數目的電池被負載至載體50之 及接著與載體一起通過設備零件14。 經由實例，設備零件1 4可具有一或多個槽2 2 ’其 有例如用於鹼表面結構化的機構。然而，於此要注意的 φ ，本發明並不受限於此類型處理。第二設備零件1 4亦 包含用於實施其他所謂批次方法的單元。舉例來說’這 包括電流法、清潔或淋洗操作等。於使用批次方法導引 池通過載體的情況中，原則上第二設備零件1 4 一般適 於任何製造太陽能電池的生產設備。 於第1圖中所示之生產設備10包含由第一設備零 1 2過渡到第二設備零件1 4的串聯批次傳送裝置3 0 ’以 位於第二設備零件1 4與第三設備零件1 6之間的批次串 φ 傳送裝置40。 串聯批次傳送裝置30係經設計以及提供於載體50 負載數個軌18.1-18.n之電池20的用途。於此，載體 具有數個隔間5 1 . 1 -5 1 .η，其對應於軌的數目η且自圖 平面垂直延伸，其可固持沿此方向堆疊而彼此間留有空 的數個電池。 此外，串聯批次傳送裝置30係設計爲將載體50裝 至第二設備零件14，使得此載體50可被導引通過此設 零件。 情 個 中 含 是 可 些 電 用 件 及 聯 中 50 式 間 箍 備 -14- 200836360 設置批次串聯裝置40之目的爲自第二設備零件接管 載體50，及轉移堆疊於隔間51. l-51.il之電池至接續的第 三設備零件1 6。 可使用兩種裝置30、40以整合設備零件14至可實施 批次程序之用於串聯程序的設備之中。 若爲特殊原因而未使用生產設備1 〇的第二設備零件 14，則人工或以自動方式納入旁路傳輸裝置32以橋接第 φ 二設備零件1 4。於第1圖中之下半部說明此裝置。此旁路 傳輸裝置32係如傳輸裝置1 3般而設計，使得藉由串聯方 法以多軌方式將電池20傳輸至第三設備零件1 6，及此做 法不會越過槽22。雖於第1圖中，旁路傳輸裝置最遠到達 設備零件12及16，應暸解的是亦可使旁路傳輸裝置的長 度適應於槽（多個槽）的長度，以及延伸傳輸裝置13至 此。 當欲於生產設備中使用串聯方法進行電池酸表面結構 φ 化及使用批次方法進行鹼表面結構化兩者時，前述之具有 串聯批次傳送裝置3〇、批次串聯傳送裝置40及旁路傳輸 裝置3 2的設備設計爲特別有利者。截至目前爲止，已可 於多軌串聯生產設備施行單晶質晶圓之結構化及多晶質晶 圓的酸結構化，只是其伴隨以效能損失。 於第2圖中圖說第1圖之生產設備1 〇的側面視圖。 於此特別可看到，第一及第三設備零件1 6的傳輸裝置1 3 以及第二設備零件1 4 (於本示範性實施例中其具有三個槽 以處理電池20 )。串聯批次傳送裝置3 0係設置於第一與 -15 - 200836360 第二設備零件12、14之間，其自一較低平面經由升降裝 置62而垂直向上運送載體50。如此一來，軌18.l-18.il 的電池20可被傳輸至載體50之中。一旦電池於載體50 中，升降裝置62向上舉起載體一位置（載體之隔間5 1中 ，相鄰電池之間的空間）。重複此電池之脈動式負載及載 體的抬升直到載體5 0全滿爲止。 僅於第2圖中圖說的傳送單元64係設置而用於轉移 I 全滿的載體5 0至第二設備零件1 4。傳送裝置64將全滿的 載體50直接轉移至第二設備中所指派之接續的處理系統 或是將載體直接放置於例如第一槽22中。當然，將載體 轉移至接續的設備零件之其他方法亦可行者。本發明不受 到個別案例的限制。 於第二設備零件1 4之內，使用批次方法而導引具有 堆疊的電池之載體50通過一或多個槽22，然本發明不受 到第二設備零件1 4內之特殊程序的限制。而是以任何能 φ 夠使用批次方法之所欲的程序施行。這些亦包括，特別爲 ，電流方法、清潔及淋洗方法、乾燥程序及其他。 於此特別要指出的是，於第二設備零件1 4內的最後 一個槽22 (見傳輸方向）設置有傳輸裝置36，其於傳輸 方向中運送載體50通過槽22。一旦其到達槽22的端部， 由傳輸裝置（未敘明）移除載體及將載體轉移至接續的批 次串聯傳送裝置4〇。 於此批次串聯傳送裝置40中亦設有升降裝置（然而 爲清楚說明的緣故未繪示）。此升降裝置用於以限時方式 -16- 200836360 導引載體50向下移動一位置，以在各情況中移除平面隔 間中的電池。這些電池到達第三設備零件1 6的傳輸裝置 1 3及接著使用串聯方法以多軌方式被傳輸到接續的工作站 〇 再次將批次串聯傳送裝置40中之空的載體50送回串 聯批次傳送裝置30的升降裝置62，爲此目的而設有返回 傳輸裝置60，然而於圖式中未仔細說明此返回傳輸裝置。 返回傳輸裝置60可例如爲橡圈或輥傳輸系統，而於一平 面中之空的載體5 0返回至系統上。較佳於返回傳輸期間 經由清潔系統（未繪示）而執行載體清潔。 於一些批次程序的情況中，電池未被固定於水平位置 (例如於第2圖中所示者）而是於垂直位置係有利者。爲 達成此，於第3圖中所示之示範性實施例的情況中，於轉 移至第二設備零件14之中時，載體50呈傾斜或旋轉90° ，使得電池接著呈垂直。於交接期間可由傳送單元64施 行此額外的步驟。 於轉移具垂直電池的載體5 0至批次串聯傳送裝置期 間，需要再一次將載體旋轉或傾斜90。，而使電池位於所 欲水平位置中及可被移除。此樞轉90。係由圖說指出的交 接裝置6 6接管。 最後，相較於根據第2圖之實施例，於第3圖中所顯 示之示範性實施例的情況中’於返回傳輸期間有必要樞轉 載體1 8 0。，及經由返回傳輸裝置6 0區域中的樞轉裝置6 8 進行此樞轉。 -17- 200836360 除此之外，串聯批次及批次串聯傳送裝置3 0、4 0的 操作模式皆相同，因而不需進一步說明。 第4圖示一部分載體50的透視性說明。於第4圖中 可見的是載體5 0具有數個側部5 2 (本示範性實施例中爲 3個），其形成於本身與隔間5 1之間以固持電池。 側壁52由載體56所固持，由實例僅可看見一個載體 56 ° 於隔間5 1之區域中的側壁5 2中設置有溝槽5 4，其尺 寸適應於電池的厚度。溝槽5 4係設計爲具開放邊緣及延 伸跨越側部5 2的總長度（見傳輸方向）。此外，於各隔 間5 1中的相對溝槽54係彼此對齊，使得負載於兩個溝槽 中的電池平坦放置。 此外，相鄰隔間51的溝槽同樣地彼此對齊。 無關乎所使用的批次程序，整體載體5 0由金屬、矽 石玻璃、塑料或陶瓷所製造。 於第4圖中圖示性指出，於傳送裝置3 0、40之區域 中設置有傳輸裝置58。此傳輸裝置58用於推送電池至載 體50之中，尤其是至適當的溝槽54。除了以第4圖中指 出的橡圈作爲傳輸裝置5 8，其他傳輸元件亦可行者，雖仍 需要確保於負載太陽能電池至載體50期間的損傷風險爲 盡可能的低。 於第5圖的平面圖中再一次更清楚地說明傳輸電池進 及出載體50。 以多軌方式傳輸電池20以及經由傳輸裝置58將電池 -18- 200836360 同時傳輸至載體5 0的個別隔間5 1之中，以及電池受到載 體中溝槽54的支撐。 於批次串聯傳送裝置40中，經由對應的傳輸裝置5 8 可將電池重新傳輸至載體5 0之外，於此不需要旋轉載體 。因可自載體的兩側進行負載，故得以完成此動作，如第 4圖之說明中清楚可見。 大致上，可因此陳明本發明提供了以簡單方式將批次 程序整合至太陽能電池串聯生產設備的可行性。其僅需要 設置於批次程序設備零件之上游及下游的兩個傳送裝置3 0 、40。於不需批次程序的情況中，此設備零件可與旁路傳 輸裝置3 2橋接。 於生產設備中組合串聯及批次方法可維持低投資成本 ’而使用者並不會受限於例如單晶質或多晶質晶圓之處理 程序。此外，將電池水平傳輸通過批次程序之優點在於， 可維持電池邊緣上的低壓力，因此可降低破裂的風險。 於結論中進一步指出的是，本發明不取決於第二設備 零件1 4的類型及設計。此外，本發明亦不受限於生產設 備之第三設備零件16爲多軌者的情況。而是，於此區域 之單軌中使用串聯方法另外傳輸電池亦爲可行的。 【圖式簡單說明】 於圖式中： 第1圖爲製造太陽能電池之部分的方塊圖； 第2圖爲第1圖中所示之設備零件之側面圖說； -19- 200836360 第3圖爲第1圖之設備零件與另外的樞轉裝置之圖說 9 第4圖爲用於電池之載體的透視性圖說；以及 第5圖爲負載及卸載期間之載體的圖說。 【主要元件符號說明】 1 〇 :生產設備 1 2 :第一設備零件 1 3 :傳輸裝置 1 4 :第二設備零件 1 6 :第三設備零件 18 :槽 2 0 :電池 22 :槽 30 :傳送裝置 32 :傳輸裝置 3 6 :傳輸裝置 40 :批次串聯傳送裝置 5 〇 :載體 51 :隔間 52 :側部 54 :溝槽 56 :載體 5 8 :傳輸裝置 -20- 200836360

60 :返回傳輸裝置 62 :升降裝置 64 :傳送單元 66 :交接裝置 68 :樞轉裝置 -21 -

Claims (1)

1. 200836360 十、申請專利範圍 1. 一種使用串聯方法製造太陽能電池的生產設備， 該生產δ又備具有一傳輸裝置（13)，係用於傳輸數個平行 軌（1 8 )中的個別電池（2 〇 )，其特徵在於 一串聯批次傳送裝置（3 〇 )，其係經設計以同時地自 該等平行軌（18.1_18.η)負載該等電池（20)至一載體（ 50)之中以及於該載體（5〇)中以一者在另一者上部之方 式堆疊個別之一軌（1 8 )的該等電池（2〇 )，以及 一批次串聯傳送裝置（4 0 )，其係經設計以自該載體 卸載該等電池（20)，以及導引該等電池至一傳輸裝置（ 13)之至少一個軌（18)之上。 2 ·根據申請專利範圍第〗項之生產設備，其中用於 執行一批次程序的一設備零件（1 4 )係設置於該串聯批次 (30)與該批次串聯傳送裝置（40)之間，帶有該等電池 的該載體（5 0 )因此係傳輸通過該設備零件。 3. 根據申請專利範圍第2項之生產設備，其中指派一 旁路傳輸裝置（32)予該批次程序設備零件，該旁路傳輸 裝置（3 2 )係經設計以選擇性地橋接該設備零件（1 4 )使 得於該設備零件（1 4 )中該等電池不受到處理。 4. 根據申請專利範圍第3項之生產設備，其中該旁路 傳輸裝置（32)具有對應至該傳輸裝置（13)的一傳輸單 元，以在數個軌（1 8 )中傳輸電池。 5. 根據申請專利範圍第2至4項中任一項之生產設備 ，其中設置該批次程序設備零件（1 4 )，以用於該等電池 -22- 200836360 之鹼性表面結構化。 6.根據申請專利範圍第2至4項中任一項之生產設備 ，其中該批次程序設備零件（14)至少具有一個槽（22) ，以用於電流性處理、清潔、淋洗及/或乾燥於該載體中 的該等電池。 7·根據申請專利範圍第2至4項中任一項之生產設備 ，其中設置一載體傳輸裝置（36)，其傳輸該載體通過該 批次程序設備零件。 8·根據申請專利範圍第7項之生產設備，其中該載體 傳輸裝置包含一傳輸電池（36)，其係設置於一槽中以傳 輸該載體通過該槽。 9·根據申請專利範圍第1至4項中任一項之生產設備 ，其中該等傳送裝置（30，40 )分別指派有一載體樞轉裝 置（6 4 )，以藉由較佳爲9 0 °的一預定角度而樞轉該載體 ，使得該等電池呈垂直對齊地被傳輸通過該設備零件。 1〇·根據申請專利範圍第1至4項中任一項之生產設 備，其中設置一返回傳輸裝置（60 )，以自該批次串聯傳 送裝置（40 )將該載體（50 )傳輸回到該串聯批次傳送裝 置（3 0 )。 11·根據申請專利範圍第1至4項中任一項之生產設 備’其中經由橡圈、皮帶、輥或鏈（5 8 )而負載該等電池 至該串聯批次傳送裝置（30)中的該載體之中。 1 2 .根據申請專利範圍第1至4項中任一項之生產設 備’其中經由一處理系統與挾持器的輔助而實施將該等電 •23- .200836360 池（2 0 )負載至該串聯批次傳送裝置（30)中的該載體（ 50 )之中。 13.根據申請專利範圍第1至4項中任一項之生產設 備，其中經由液體或氣體媒介而實施將該等電池（20)負 載至該串聯批次傳送裝置（3 0 )中的該載體（5 〇 )之中。 1 4 ·根據申請專利範圍第1至4項中任一項之生產設 備，其中藉由於該等電池之方向上位移該載體（50)而實 施將該等電池（20 )負載至該串聯批次傳送裝置（30 )中 的該載體（5 0 )之中。 1 5 ·根據申請專利範圍第1至4項中任一項之生產設 備，其中至少一個載體（5 0 )設置爲具有用於數個軌之電 池的數個毗連的容器（行），且每一行具有數個列以於每 一行堆疊數個電池。 16. 根據申請專利範圍第15項之生產設備，其中該載 體（50)係經設計使得其可自前側及後側兩者負載或卸載 〇 17. 根據申請專利範圍第15項之生產設備，其中該載 體（50 )係經設計使得該等電池僅於其側邊緣區域受到支 撐。 1 8. —種供使用多軌串聯方法製造太陽能電池之生產 設備的串聯批次傳送裝置（3 0 )，其特徵在於一升降裝置 (62 )、一傳輸裝置（58 )以及一交接裝置（64 )，該升 降裝置（62 )係經設計以相關一電池傳輸平面而舉起用於 電池之一載體（50)，該傳輸裝置（58 )用於傳輸數個軌 24- 200836360 (18)的電池（20)至該載體（50)之中，而該交接裝置 (64)用於自該升降裝置接管該載體及用於轉移該載體至 一批次程序設備零件。 1 9 .根據申請專利範圍第1 8項之串聯批次傳送裝置， 其中該父接裝置（64)包含一樞轉單元（66)，其於交接 前將該載體旋轉900使得該等電池垂直地配置於該載體中 〇 I 2 0 ·根據申請專利範圍第1 8或1 9項之串聯批次傳送 裝置’其中該傳輸裝置（58)具有指派給個別軌（18)的 數個傳輸橡圏。 2 1 .根據申請專利範圍第18或19項之串聯批次傳送 裝置’其中設置有一載體匣以固持數個載體，及從該載體 匣饋送一載體（50)予該升降裝置（62 )。 22·根據申請專利範圍第21項之串聯批次傳送裝置， 其中設置有一返回傳輸裝置（60)，其自一批次串聯傳送 Φ 裝置（40)而將空的載體（5〇)傳輸至該載體匣之中。 2 3 .根據申請專利範圍第22項之串聯批次傳送裝置， 其中該返回傳輸裝置（60)具有一單元（68)，其用於樞 轉一載體至該升降裝置所需要的位置之中。 24. —種供使用多軌串聯方法製造太陽能電池之生產 設備的批^串聯傳送裝置（4 〇 )，其特徵在於—交接裝置 (66)及一傳輸裝置（58)，該交接裝置（66)用於自一 批次程序設備零件（1 4 )接管用於電池的一載體（5 〇 )及 用於轉移該載體至一升降裝置（62)，該升降裝置（62) -25- .200836360 係經設計以關於一接續的電池傳輸平面而降低該載體，而 該傳輸裝置（58)用於自該載體傳輸數個軌的電池至該接 續的單軌或多軌串聯程序設備零件（1 6 )之中。 25·根據申請專利範圍第24項之批次串聯傳送裝置， 其中該父接裝置包含一樞轉單元（66)，其於交接前將該 載體旋轉90°使得該等電池水平地配置於該載體中。 2 6 ·根據申請專利範圍第2 4或2 5項之批次串聯傳送 裝置，其中該傳輸裝置（58 )具有指派給個別軌的數個傳 輸橡圈。 27· —種將批次程序整合至用於太陽能電池的一多軌 串聯生產設備之方法，其具有以下步驟： 轉移數個軌的電池至一載體之中，舉起或降低該載體 一位置；及 重複該交接步驟，以在各情況下，堆疊該載體中一個 軌的數個電池，以及 轉移該載體至一接續的批次程序設備零件。 2 8 .根據申請專利範圍第27項之方法，其具有以下步 驟·· fee S該批次程序設備零件之端點的一'載體’ 相對於該單軌或多軌串聯程序設備零件上之一接續的 傳輸平面而定位該載體， (同時）自該載體的一平面轉移電池至該串聯程序設 備零件的一個軌或數個軌， 降低或舉起該載體一位置，及重複該交接步驟以將各 -26- 200836360 堆疊的所有電池饋送至該接續的串聯程序設備零件，以及 返回該空的載體。 29·根據申請專利範圍第27或28項之方法，其中於 交接至該批次程序設備零件之前將該載體旋轉9 0°。 3 0.根據申請專利範圍第27或28項之方法，其中該 批次設備零件具有用於處理該等電池的一槽，運送該載體 與該等電池通過該槽。

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