SU1477256A3 - Устройство дл напрессовки пленки - Google Patents

Abstract

Изобретение может быть использовано дл  нанесени  пленки фоторезиста на заготовки печатных плат. Устройство дл  напрессовки пленки имеет нагреваемые прессующие валки (НПВ) 2, 3, торсионную трубу 4, распорную трубу 5, детали 6, 6Ъ и подвижно установленные детали 7, 7Ъ, которые вместе с НПВ 2 и торсионной трубой 4 образуют параллельный качающийс  Г-образный рычаг и с определенным давлением прижимают НПВ 2 к подложке. Детали 6, 6Ъ и 7, 7Ъ расположены симметрично относительно середины устройства. НПВ 3 неподвижно установлен в детал х 6, 6Ъ, а НПВ 2 неподвижно установлен в детал х 7, 7Ъ, благодар  перемещению которых можно в заданных пределах измен ть зазор D между НПВ 2 и 3. Подложка вводитс  в зазор между НПВ 2 и 3, отжимает НПВ 2 и параллельный качающийс  Г-образный рычаг вниз так, что его плечо 39 поворачиваетс  вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршн  цилиндра до тех пор, пока не установитс  равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийс  Г-образный рычаг оказывает через плечо 39 на шток 37 поршн  цилиндра. Устройство имеет улучшенные эксплуатационные возможности. 7 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относитс  к устройствам дл  напрессовки пленки и может быть использовано дл  нанесени  пленки фоторезиста на заготовки печатных плат.

Цель изобретени  - улучшение эксплуатационных возможностей путем изменени  зазора между валками и давлени  прессовани .

На фиг.1 изображено устройство дл  напрессовки пленки, вид сбоку, частично в разрезе; на фиг.2 - подвижные элементы устройства дл  напрессовки пленки с установленной в боковинах торсионной трубой, разрез; на фиг.З - устройство дл  напрессовки пленки с приводным двигателем и зубчатой передачей, вариант исполнени ; на фиг.4 - то же, разрез; на фиг.5 - детали подвижных элементов устройства дл  напрессовки пленки.

Устройство дл  напрессовки пленки включает раму 1, напрессовочные валки 2 и 3, торсионную 4 и распорную 5 трубы, детали 6, б и подвижно установленные детали 7,7, которые вместе с напрессовочным валком 2 и торсионной трубой 4 образуют параллельный качающийс  рычаг и с определен- ным давлением прижимают напрессовоч- ный валок 2 к подложке (не показана) на которую напрессовываетс  слой и котора  перемещаетс  через зазор d между напреесовочными валками 2 и 3. Детали 6, б и 7 7 расположены симметрично относительно середины устройства дл  напрессовки пленки. Под напрессовочными валками 2 и 3 в боковинах 8 и 9 установлены торси- онна  4 и распорна  5 трубы. Скорость вращени  напрессовочных валков 2 и 3 больше скорости передвижени  подложки, котора  от нагревательного устройства (не показано) сверху в вертикальном направлении подводитс  к обоим напрессовочным валкам 2 и 3. Напрессовочный валок 3 неподвижно установлен в неподвижных детал х 6, 6 , а напрессовочный валок 2 непод- вижно установлен в подвижных детал х 7, 7 , благодар  перемещению которых можно в заданных пределах измен ть зазор d между валками. Зазор d может быть отрегулирован, например, на 0,5 10 мм.

Дл  установлени  зазора d между обоими напрессовочными валками 2 и 3 служат один или два регулировочных

элемента 10, 10 с установочными винтами , которые наход тс  в зацеплении с неподвижными детал ми 6,6 и к которым примыкают подвижные детали 7, 7 . Установочные винты ввинчены, например , горизонтально в неподвижные детали 6,6, при этом резьбовое отверстие имеет длину, по меньшей мере равную длине установочного винта. Установочные винты в соответствии с величиной желаемого зазора d между напрессовочными валками 2 и 3 ввинчиваютс  в резьбовое отверстие и фиксируютс  с помощью контргайки. . Подвижные детали 7, 7 устройства дл  напрессовки пленки упорной поверхностью примыкают к соответствующей головке 11 установочного винта.

Подвижные детали 7, 71 параллельного качающегос  рычага имеют по одному клещевому зажиму 12 и 13 (см. фиг.З) дл  приема напрессовочного валка 2. В горизонтальных верхних участках деталей 7, 7 или, соответственно , 6, 6 предусмотрены вертикальные резьбовые отверсти , в кото- рыа ввинчены винты 14 и 15, своими коническими концами примыкающие к напрессовочному валку 2 или 3 и фиксирующие их против бокового смещени  из зажимов..

На наружной стороне подвижной детали 7 параллельного качающегос  рычага имеетс  буртик 16, в котором выполнено сквозное отверстие 17, в которое ввинчен установочный винт 18. Под буртиком 16 находитс  шаровидный или трубчатый корпус 19, расположенный параллельно торсионной 4 и распорной 5 трубой. Корпус 19 сверху и снизу выполнен уплощенным и на уплощенных участках имеет сквозные отверсти  20 и 21. В корпусе 19 в отверстии 22 размещен предустановоч- ный винт 23, который проходит через нижнее сквозное отверстие 21 и находитс  в зацеплении с резьбовой гайкой 24, примыкающей к наружной стороне нижнего уплощенного участка корпуса 19, удерживающей предустановочный винт 23 и предохран ющей его от пружин щего действи  пружины 25 сжати . Пружина 25 сжати  огибает стержень предустановочного винта 23 и своим нижним концом располагаетс  в глухом отверстии 22, выполненном в дне корпуса, а своим верхним концом примыкает к

нижней стороне головки 26 предустано- вочного винта 23. Конец установочного винта 18 располагаетс  на верхней стороне винтовой головки 26. Вследствие симметричности параллельного качающегос  рычага друга  подвижна  деталь 7 имеет буртик 16 с резьбовым отверстием 17 . Предустановочный винт 23 окружен пружиной 25 , расположенной симметрично относительно центра корпусов 19, 19.

С помощью установочных винтов 18, 18 предустановочных винтов 23, 23, окруженных пружинами 25 и, соответственно 25 , а также резьбовых гаек 24 и, соответственно, 24 предварительно устанавливаетс  усилие, необходимое дл  поворота параллельного качающегос  рычага устройства дл  напрес- совки пленки.

Если винт 18 (фиг.1) ввинчиваетс  дальше в резьбовое отвер стие 17, то пружина 25 сильнее сжимаетс  отжатым вниз предустановочным винтом 23 и соответствующей регулировкой резьбовой гайки 24 удерживаетс  в желаемом положении . Чем сильнее сжимаетс  пружина 25, тем больше усилие, которое необходимо сообщить, чтобы повернуть параллельный качающийс  рычаг из его положени  наружу, т.е. давление напрессовывани , которое устройство дл  напрессовки пленки оказывает на подложку при ее прохождении через зазор d между напрессовочными валками 2 и 3, тем больше, чем сильнее сжаты пружины 25, 25 . Пружины сжати . 25, 25 имеют в целом линейную характеристику, однако могут иметь также характеристику, отличающуюс  от линейной.

Подвижные детали 7, 7 образуют параллельный качающийс  рычаг из торсионной трубы 4 и напрессовочного валка 2, который обеспечивает при увеличении зазора абсолютное параллельное перемещение подвижного на-- прессовочного валка 2 по отношению к неподвижно закрепленному напрессо- вочному валку 3. Торсионна  труба 4 передает совершенно равномерно по всей длине поворот подвижного напрессовочного валка 2, вследствие чего создаетс  сквозной посто нный зазор. Неподвижно установленные шестерни 27 и 28 через шестерню 29, котора  при повороте напрессовочного валка 2 остаетс  в зацеплении с второй шестер .

ней 30, обеспечивают одинаковую скорость вращени , которое получает жестко закрепленный напрессовочный г валок 3 от двигател  31. Это вращение через шестерни 27-30 передаетс  повернутому напрессовочноку валку 2, даже если перва  шестерн  29 не находитс  в зацеплении с второй шестерней Ю 30. Благодар  этому обеспечиваетс  всегда посто нна  скорость вращени  обоих напрессово ных валков 2 и 3.

На вал 32 напрессовочного валк,1 2 насажена шестерн  30, наход ща с  в 15 зацеплении с шестерней 27, расположенной на ступенчатом конце торсионной трубы 4. Шестерни 30 и 27 наход тс  между наружными поверхност ми детали 7 параллельного качающегос  20 рычага и внутренней поверхностью боковины 9.

В другом варианте исполнени  подложка сверху в вертикалы-ом направлении вводитс  в зазор между двум  5 напрессовочными валками 2 и 3. Торсионна  труба 4 своей осью 33 закреплена в боковинах 8 и 9 рамы 1. На правой стороне на торсионную ось 33 насажена треть  шестерн  27, сбоку 0 вход ща  в зацепление с четвертой шестерней 28 на валике 34 и с второй шестерней 30, расположенной над ней на валу 32 напрессовочного валка 2. Перва  шестерн  29 насажена на вал ,г напрессовочного валка 3, приводимого в действие двигателем 31.

В этом варианте исполнени  параллельный качающийс  рычаг поворачиваетс  с помощью пневмоцилнндра 35, 4Q который укреплен на выступе 36 основани  -рамы 1 и шток 37 поршн  которого примыкает к законтренному винту 38, проход щему по плечу 39 рычага. Плечо 39 рычага соосно соединено с 45 торсионной трубой 4, например, приварено к ней. Принцип работы пневмо- цилиндра 35 соответствует приципу работы пневмопружины, котора  с посто нным давлением выдавливает плечо CQ 39 рычага вверх и поворачивает параллельный качающийс  рычаг из напрессовочного валка 2, торсионной трубы 4 и подвижных деталей 7, 7 до тех пор, пока установочный винт 40 не коснетс  упорной поверхности 41 неподвижной детали 6. Вход ща  в зазор между напрессовочными валками 2 и 3 подложка 42 немного толще зазора и отжимает напрессовочный валок 2 и

5

514

тем самым параллельный качающийс  рычаг в виде полукруга налево вниз таким образом, что плечо 39 рычага поворачиваетс  вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршн  цилиндра в пневмоци- линдр 35 до тех пор, пока не установитс  равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийс  рычаг оказывает через плечо 39 рычага на шток поршн  цилиндра. В этом состо нии равновеси  напрессовочный валок оказывает на подложку достаточное давление напрессовывани ,

Устройство работает следующим образом .

Подложка 42 сверху в вертикальном направлении вводитс  в зазор между двум 0 напрессовочными валками 2 и 3, отжимает напрессовочный валок 2 и тем самым параллельный качающийс  рычаг в виде полукруга вниз таким образом , что плечо 39 рычага поворачиваетс  вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршн  цилиндра до тех пор, пока не установитс  равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийс  рычаг оказывает через плечо 39 рычага на шток поршн  цилиндра 35.

Claims (8)

1. Устройство дл  напрессовки пленки, преимущественно при нанесении фоторезиста, -содержащее раму с нагреваемыми прессующими валками, установленными в подшипниках, при этом один из прессующих валков соединен .с приводом его перемещени  в виде пневматического механизма и кинематически св зан при помощи шестерен с приводом его вращени f а каждый прессующий валок соединен .с токоведущими зажимами, отличающее с  тем, что 5 с целью улучшени  эксплуатационных возможностей путем изменени  зазора между валками, оно снабжено Г-образным качающимс  рычагом с 50/ч а ю щ е е с   тем, что Г-образный опорами, установленным на оси, а под- рычаг снабжен винтом, ввинченным в

одно из его плеч с возможностью взаимодействи  со штоком пневмоцилиндра.

вижный прессующий валок установлен на опорах одного из плеч Г-образного

рычага параллельно его оси, при этом другое плечо Г-обраэного рычага выполнено с возможностью взаимодействи  с пневмоцилиндром или пневматической пружиной, установленной на раме.

2. Устройство по п.1, о т л и чающеес  тем, что оно снабжено механизмом регулировани  зазора между валками, выполненным в виде винтов, ввинченных в раму с возможностью взаимодействи  головками винтов с опорами рычага.

3.Устройство пр п.отличающеес  тем, что кажда  опора рычага выполнена с посадочным отверстием , в котором размещен шарикоподшипник , и снабжена винтом, ввернутым в опору с возможностью взаимодействи  с подшипником.

4.Устройство по п.), отличающеес  тем, что кажда  опора рычага снабжена выступом с установочным винтом.

5.Устройство по п.1, отличающеес  тем, что оно снабжено сферическим или цилиндрическим корпусом с подпружиненным винтом, размещенным в его отверстии, при этом на конце винта, выход щем из отверсти  корпуса, навернута гайка; пружина одним концом опираетс  на дно корпуса , а другим концом - на нижнюю поверхность головки винта.

6.Устройство по п.1, отличающеес  тем, что двигатель привода размещен на раме и при помощи шестерни кинематически св зан с шестерн ми, установленными на оси Г-образного рычага и .на валу прессующего валка.

7.Устройство по п.2, отличающеес  тем, что механизм регулировани  зазора в виде винтов расположен после прессующих валков

или перед прессующими валками. f

8.Устройство по п.1, о т л и 6 ,6

Фиг.1

ШШ1 8 V///A У////77Лфие .2

3d

Фа г. 4

11

М ,3

и it I .iinj

/7