RU2242063C2 - Способ изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для объемных и энергетических потоков - Google Patents
Способ изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для объемных и энергетических потоков Download PDFInfo
- Publication number
- RU2242063C2 RU2242063C2 RU2001126395/28A RU2001126395A RU2242063C2 RU 2242063 C2 RU2242063 C2 RU 2242063C2 RU 2001126395/28 A RU2001126395/28 A RU 2001126395/28A RU 2001126395 A RU2001126395 A RU 2001126395A RU 2242063 C2 RU2242063 C2 RU 2242063C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- layer
- layers
- connecting structures
- dimensional
- curing
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0017—Etching of the substrate by chemical or physical means
- H05K3/0023—Etching of the substrate by chemical or physical means by exposure and development of a photosensitive insulating layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
- B29C64/10—Processes of additive manufacturing
- B29C64/106—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material
- B29C64/124—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified
- B29C64/129—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified characterised by the energy source therefor, e.g. by global irradiation combined with a mask
- B29C64/135—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified characterised by the energy source therefor, e.g. by global irradiation combined with a mask the energy source being concentrated, e.g. scanning lasers or focused light sources
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0035—Multiple processes, e.g. applying a further resist layer on an already in a previously step, processed pattern or textured surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2011/00—Optical elements, e.g. lenses, prisms
- B29L2011/0075—Light guides, optical cables
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2031/00—Other particular articles
- B29L2031/30—Vehicles, e.g. ships or aircraft, or body parts thereof
- B29L2031/3055—Cars
- B29L2031/3061—Number plates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0272—Adaptations for fluid transport, e.g. channels, holes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
- H05K1/095—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks for polymer thick films, i.e. having a permanent organic polymeric binder
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/05—Patterning and lithography; Masks; Details of resist
- H05K2203/0562—Details of resist
- H05K2203/0568—Resist used for applying paste, ink or powder
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4644—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
- H05K3/465—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits by applying an insulating layer having channels for the next circuit layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4644—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
- H05K3/4664—Adding a circuit layer by thick film methods, e.g. printing techniques or by other techniques for making conductive patterns by using pastes, inks or powders
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4697—Manufacturing multilayer circuits having cavities, e.g. for mounting components
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Waveguides (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Moulding By Coating Moulds (AREA)
Abstract
Использование: для изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для объемных и энергетических потоков. Объемные потоки могут быть газообразными, жидкими, твердыми или состоять из смеси этих агрегатных состояний. Энергетические потоки могут иметь акустический, электрический или электромагнитный характер. Сущность изобретения: в способе изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для получения слоев применяются различные светоотверждаемые материалы. При замене материалов новым материалом заполняют также участки слоев, в которых в предшествующем процессе отверждения отверждение не состоялось, так что при последующем отверждении с нижерасположенным слоем соединяется не только самый верхний слой, но и материал самого верхнего слоя соединяется с материалом слоя, расположенного под предпоследним слоем. Тем самым внутри последовательных слоев можно соединять друг с другом слой за слоем структуру с другими свойствами. Техническим результатом изобретения является изготовление комплексной микросхемы на базе слоистой конструкции, имеющей полости, в которые могут устанавливаться, например, электрические детали, и при этом существует возможность соединения их между собой посредством проводников. 3 з.п. ф-лы, 6 ил.
Description
Изобретение относится к способу изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для объемных и энергетических потоков. Объемные потоки могут быть газообразными, жидкими, твердыми или состоять из смеси этих агрегатных состояний. Энергетические потоки могут иметь акустический, электрический или электромагнитный характер.
Подобные объемные и энергетические потоки в настоящее время могут быть реализованы с помощью различных технологий. Для микросистемной техники чаще всего применяемыми являются направляющие и гибкие металлические проводники. Для транспортировки электромагнитной энергии наряду с полыми проводниками применяются также стекловолокна. Объемные потоки реализуют с помощью каналов, шлангов и трубопроводов. При нарастающей миниатюризации эти проводящие и соединительные элементы удается соединять с большим трудом.
Предложенный способ относится к созданию комплексной микросистемы, в которой, например, рядом расположено несколько соединенных друг с другом интегрированных схем, причем одновременно система может включать в себя и механические детали, например микронасос, и система имеет выводы, предназначенные, например, для соединения с другой подобной системой.
Изобретение решает задачу посредством применения структурообразующей слоистой конструкции. Способы последовательного расположения слоев известны из микротехнологии. Так, например, патент ФРГ DE-PS 4420996 описывает способ, в котором между двумя параллельными друг другу пластинами, из которых, по меньшей мере, одна может пропускать электромагнитные волны, благодаря поверхностному натяжению удерживается небольшое количество отверждаемого светом синтетического материала. Поверхность синтетической жидкости под пластиной, пропускающей электромагнитные волны, отверждается, причем воздействие осуществляют по заранее заданному контуру, например при помощи направляющей матрицы или при помощи лазерного луча, управляемого компьютером согласно заданной трехмерной модели, то есть отверждению подвергается не весь материал, а только его часть, при этом возникает область жидкого материала, окруженная отвержденным материалом.
Целью предлагаемого изобретения является изготовление комплексной микросистемы на базе слоистой конструкции, имеющей полости, в которые могут устанавливаться, например, электрические детали, и при этом существует возможность соединения их между собой посредством проводников.
Для достижения данной цели необходимо формирование слоистой трехмерной конструкции, имеющей полости, и проводящие и соединительные структуры, например каналы. В эти полости могут устанавливаться различные элементы, например ИС. Проводящие и соединительные структуры могут использоваться для транспортировки различных фаз, например газов или жидкостей при использовании микронасоса. При этом каналы или полости могут заполняться светоотверждаемым материалом, имеющим отличные свойства от материала, образующего стенки полостей или каналов, например электрическую проводимость, и использоваться для энергетических потоков.
Процесс формирования слоистой трехмерной конструкции заключается в послойном отверждении лазерным лучом по трехмерной слоистой модели синтетической жидкости между двумя параллельными друг другу пластинами, из которых, по меньшей мере, одна может пропускать электромагнитные волны, и на поверхности одной из пластин благодаря поверхностному натяжению удерживается небольшое количество отверждаемой светом жидкости, причем после отверждения слоя расстояние между пластинами увеличивается соответственно на толщину слоя так, что свежий синтетический материал только вследствие своего поверхностного натяжения может стекать в создаваемое пространство между отвержденным слоем и пластиной, таким образом очень точно могут быть созданы структуры в микрометрическом диапазоне.
При этом для получения слоев применяются различные отверждаемые светом материалы. Эти материалы могут иметь различные физические, химические и биологические свойства, например, электропроводящие, электроизолирующие, различные оптические расчетные показатели. При замене материалов, области слоев, в которых на предшествующей операции процесса отверждение не состоялось, также заполняются новым материалом, и подвергаются последующему отверждению. Тем самым совокупность последовательных слоев образует структуры с отличающимися свойствами. Таким же образом могут быть образованы каналы, используемые для объемных потоков. Эти каналы могут использоваться также как полые проводники для высокой частоты, когда стенки каналов изготавливаются из материала с соответствующими свойствами.
Из материалов с разным показателем преломления также можно получать светопроводящие структуры. Эти светопроводящие структуры в соединении со светотранзисторами (ключевые слова: свет включает свет) могут использоваться в оптических интегральных схемах.
Таким образом, согласно данному способу может создаваться комплексная микросистема, включающая несколько интегральных схем (ИС), соединенных между собой, причем от одной ИС с помощью присоединений (контактных площадок) можно образовать проводящую структуру или канал с проводящим материалом, который затем можно провести до следующей ИС, а также к выполненным штепсельным разъемам.
Далее изобретение поясняется графически.
На фиг.1-6 показана последовательность создания комплексной микросистемы, причем на каждой последующей фигуре содержится большее число трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур, а также полостей.
Способ согласно изобретению осуществляется между двумя пластинками, между которыми за счет поверхностного натяжения удерживается некоторое количество светоотверждаемой жидкости. Подобного небольшого количество жидкости достаточно для образования тонкого слоя соответствующей толщины. При осуществлении способа пластины отодвигаются друг от друга на толщину слоя, что позволяет послойно создавать комплексную микросистему, состоящую из структурированных слоев. При данном способе сначала формируют днище микросистемы в виде сплошного слоя, как изображено на фиг.1. Слой 1 выполняется в форме круга. После отверждения данного слоя пластины раздвигают на толщину следующего слоя, а зазор между ними любым способом, например при помощи пипетки, заполняют подаваемой сбоку новой порцией светоотверждаемого материала. Следующий слой структурирован таким образом, что в нем имеется полость. Материал, находящийся в области 2, полностью отверждают, а остаток неотвержденного материала из области 3 удаляют. При формировании следующий слоев так же как и предыдущего образуется вертикальный канал или полость 4. Таким образом, может быть создана полость, подходящая для установки ИС. Как следует из фиг.2 в полость 4 может устанавливаться ИС 5, к которой подводят выводы 6, выполненные из электропроводного материала послойным методом, таким образом образуется электропроводное соединение 7.
При этом электропроводное соединение 7 внедрено в основной материал, из которого состоит корпус, причем при формировании корпуса, те места, в которых должен располагаться электрический проводник, не подвергаются воздействию электромагнитных волн, после чего происходит промывка и удаление неотвержденного материала. Следующим шагом в пространство между пластинками или в качестве следующего слоя подается электропроводный материал, который заполняет оставленные для него полости и подвергается отверждению только в них, после чего также вымывается из остальных областей. Так послойно формируют слоистую конструкцию, содержащую структуры, которые изображены на фиг.4.
На фиг.5 и фиг.6 изображено, что электропроводное соединение достигает второй полости 8, в которой также устанавливается электрическая деталь, например вторая ИС 9. При дальнейшем формировании системы также образуют полость 10, в которую входит канал 11. По этому каналу может подаваться среда, например химический реагент, который транспортируется к реактору 12 для осуществления химической реакции. Канал 13 в свою очередь является внешним выводом, например для подачи реагента. Таким образом создается комплексная микросистема, включающая несколько ИС 5, 9, соединенных между собой посредством электропроводных соединений 7, а также включающая каналы 11, 13 для объемных потоков и реактор 12 для осуществления химических реакций.
Claims (4)
1. Способ изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для объемных и энергетических потоков в 3-мерной слоистой конструкции, включающий в себя создание структурированных слоев из различных жидких светоотверждаемых материалов, удерживаемых за счет поверхностных явлений между двумя плоскими расположенными параллельно пластинами, по меньшей мере одна из которых является проницаемой для электромагнитного излучения, путем отверждения сегментов слоев этих материалов в соответствии с моделью слоистой конструкции под воздействием электромагнитных волн, причем расстояние между пластинами для создания каждого нового структурированного слоя увеличивается в соответствие с толщиной слоя, отличающийся тем, что после отверждения светом жидкого материала с избранными физическими, химическими или биологическими свойствами структурированный слой очищают от неотвердевшего материала промывкой, сегменты слоев заполняют новым материалом с другими физическими, химическими или биологическими свойствами и проводят последующее отверждение в соответствии с моделью слоистой конструкции, содержащей проводящие и соединительные структуры.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что не заполненные светоотверждаемым материалом сегменты слоев оснащают электронными, механическими, оптическими или химическими деталями.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что проводящие и соединительные структуры используют для соединения электронных, механических, химических или биологических/электрических деталей.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что проводящие и соединительные структуры используют для соединения между деталями и окружающей средой.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19964099A DE19964099B4 (de) | 1999-12-31 | 1999-12-31 | Verfahren zur Herstellung dreidimensional angeordneter Leit- und Verbindungsstrukturen für Volumen- und Energieströme |
DE19964099.8 | 1999-12-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2001126395A RU2001126395A (ru) | 2003-08-20 |
RU2242063C2 true RU2242063C2 (ru) | 2004-12-10 |
Family
ID=7935210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2001126395/28A RU2242063C2 (ru) | 1999-12-31 | 2000-12-08 | Способ изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для объемных и энергетических потоков |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6805829B2 (ru) |
EP (1) | EP1196820A2 (ru) |
JP (1) | JP2003519039A (ru) |
KR (1) | KR100652036B1 (ru) |
CN (1) | CN1211197C (ru) |
AU (1) | AU757191B2 (ru) |
CA (1) | CA2362387C (ru) |
DE (1) | DE19964099B4 (ru) |
IS (1) | IS6064A (ru) |
NO (1) | NO328157B1 (ru) |
RU (1) | RU2242063C2 (ru) |
TW (1) | TWI248555B (ru) |
WO (1) | WO2001050198A2 (ru) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19964099B4 (de) * | 1999-12-31 | 2006-04-06 | Götzen, Reiner, Dipl.-Ing. | Verfahren zur Herstellung dreidimensional angeordneter Leit- und Verbindungsstrukturen für Volumen- und Energieströme |
DE10102063A1 (de) * | 2001-01-17 | 2002-07-25 | Alpha Technology Ges Fuer Ange | Analysechip mit mehreren funktionalen Ebenen für elektrofokussiertes Spotten |
DE102004013161B4 (de) * | 2004-03-17 | 2008-04-10 | microTec Gesellschaft für Mikrotechnologie mbH | Mikrofluidik-Chip |
DE102006008332B4 (de) * | 2005-07-11 | 2009-06-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Herstellung einer funktionellen Baueinheit und funktionelle Baueinheit |
US20070074579A1 (en) * | 2005-10-03 | 2007-04-05 | Honeywell International Inc. | Wireless pressure sensor and method of forming same |
DE102009050325B4 (de) * | 2009-10-22 | 2014-03-20 | Amphenol-Tuchel Electronics Gmbh | Kontaktiervorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Kontaktiervorrichtung, Band mit Kontaktiervorrichtungen sowie SIM-Block |
US10828828B2 (en) * | 2016-11-08 | 2020-11-10 | Flex Ltd. | Method of manufacturing a part |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01232024A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-18 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 光硬化性樹脂を用いた3次元模型の製造方法 |
DK0500225T3 (da) * | 1991-01-31 | 1996-02-05 | Texas Instruments Inc | System, fremgangsmåde og proces til computerstyret fremstilling af tredimensionale genstande udfra computerdata |
US6175422B1 (en) * | 1991-01-31 | 2001-01-16 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus for the computer-controlled manufacture of three-dimensional objects from computer data |
US5173220A (en) * | 1991-04-26 | 1992-12-22 | Motorola, Inc. | Method of manufacturing a three-dimensional plastic article |
US5278442A (en) * | 1991-07-15 | 1994-01-11 | Prinz Fritz B | Electronic packages and smart structures formed by thermal spray deposition |
CA2118021A1 (en) * | 1992-04-15 | 1993-10-28 | Young C. Bae | Rapid prototype three-dimensional stereolithography |
US5264061A (en) * | 1992-10-22 | 1993-11-23 | Motorola, Inc. | Method of forming a three-dimensional printed circuit assembly |
US5398193B1 (en) * | 1993-08-20 | 1997-09-16 | Alfredo O Deangelis | Method of three-dimensional rapid prototyping through controlled layerwise deposition/extraction and apparatus therefor |
DE4332982A1 (de) * | 1993-09-28 | 1995-03-30 | Eos Electro Optical Syst | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts |
DE4420996C2 (de) * | 1994-06-16 | 1998-04-09 | Reiner Dipl Ing Goetzen | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptischen Bauelementen |
US6549821B1 (en) * | 1999-02-26 | 2003-04-15 | Micron Technology, Inc. | Stereolithographic method and apparatus for packaging electronic components and resulting structures |
DE19964099B4 (de) * | 1999-12-31 | 2006-04-06 | Götzen, Reiner, Dipl.-Ing. | Verfahren zur Herstellung dreidimensional angeordneter Leit- und Verbindungsstrukturen für Volumen- und Energieströme |
-
1999
- 1999-12-31 DE DE19964099A patent/DE19964099B4/de not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-12-08 EP EP00991054A patent/EP1196820A2/de not_active Ceased
- 2000-12-08 RU RU2001126395/28A patent/RU2242063C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2000-12-08 WO PCT/DE2000/004393 patent/WO2001050198A2/de active Application Filing
- 2000-12-08 CN CNB008044791A patent/CN1211197C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-12-08 US US09/914,585 patent/US6805829B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-12-08 CA CA002362387A patent/CA2362387C/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-12-08 AU AU31504/01A patent/AU757191B2/en not_active Ceased
- 2000-12-08 JP JP2001550494A patent/JP2003519039A/ja active Pending
- 2000-12-08 KR KR1020017010676A patent/KR100652036B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-12-13 TW TW089126539A patent/TWI248555B/zh not_active IP Right Cessation
-
2001
- 2001-08-28 IS IS6064A patent/IS6064A/is unknown
- 2001-08-30 NO NO20014209A patent/NO328157B1/no not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NO20014209D0 (no) | 2001-08-30 |
US6805829B2 (en) | 2004-10-19 |
US20020125612A1 (en) | 2002-09-12 |
CN1211197C (zh) | 2005-07-20 |
CA2362387C (en) | 2007-09-11 |
CA2362387A1 (en) | 2001-07-12 |
KR20010105354A (ko) | 2001-11-28 |
WO2001050198A2 (de) | 2001-07-12 |
EP1196820A2 (de) | 2002-04-17 |
WO2001050198A3 (de) | 2002-01-17 |
JP2003519039A (ja) | 2003-06-17 |
AU3150401A (en) | 2001-07-16 |
AU757191B2 (en) | 2003-02-06 |
CN1358131A (zh) | 2002-07-10 |
IS6064A (is) | 2001-08-28 |
KR100652036B1 (ko) | 2006-11-30 |
NO20014209L (no) | 2001-10-25 |
DE19964099B4 (de) | 2006-04-06 |
NO328157B1 (no) | 2009-12-21 |
DE19964099A1 (de) | 2001-09-13 |
TWI248555B (en) | 2006-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8479375B2 (en) | Method of making an embedded electromagnetic device | |
Ding et al. | Surface acoustic wave microfluidics | |
Zheng et al. | A mathematically defined 3D auxetic metamaterial with tunable mechanical and conduction properties | |
US20230226751A1 (en) | Method for the manufacture of a spatially varying dielectric material, articles made by the method, and uses thereof | |
RU2242063C2 (ru) | Способ изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для объемных и энергетических потоков | |
US7419630B2 (en) | Methods and systems for rapid prototyping of high density circuits | |
US10099918B2 (en) | Photostructured chemical devices and methods for making same | |
US9073258B2 (en) | Methods for making photostructured acoustic devices | |
JP6602535B2 (ja) | 環境に配慮した回路基板構築方法 | |
JP2007526108A (ja) | 流体memsデバイス | |
US20150370076A1 (en) | Photostructured Optical Devices and Methods For Making Same | |
Tribe et al. | Additively manufactured heterogeneous substrates for three‐dimensional control of local permittivity | |
Nawrot et al. | Additive manufacturing revolution in ceramic microsystems | |
Hegg et al. | Remote monitoring of resin transfer molding processes by distributed dielectric sensors | |
US8369070B2 (en) | Photostructured electronic devices and methods for making same | |
TWI295273B (en) | Mikrofluidik-chip | |
US20210252757A1 (en) | Field Programmable Fluidic Array | |
AU2003214001B2 (en) | Method for producing microsystems | |
US8845842B2 (en) | Method for manufacturing circuit board using electrically conductive particles and circuit board manufactured by the method | |
Chudpooti et al. | Harmonized Rapid Prototyping of Millimeter-Wave Components Using Additive and Subtractive Manufacturing | |
RU2001126395A (ru) | Способ изготовления трехмерно расположенных проводящих и соединительных структур для объемных и энергетических потоков | |
EP3224899A1 (en) | Systems and methods for manufacturing stacked circuits and transmission lines | |
KR101086466B1 (ko) | 고분자 광결합 소자의 정렬을 위한 임프린트 금형의 제작 방법 및 이를 이용한 광결합 소자의 제작 방법 | |
WIXFORTH et al. | XIAOYUN DINGa, PENG LIa, SZ-CHIN STEVEN LINa, ZACKARY S. STRATTONa, NITESH NAMAa, FENG GUOa, DANIEL SLOTCAVAGEa, XIAOLE MAOb, JINJIE SHIa, FRANCESCO COSTANZOa, THOMAS FRANKEc | |
Liu | Case studies of microwave applicators for industrial heating processes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PC4A | Invention patent assignment |
Effective date: 20070425 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20121209 |