NL8403971A - Magnetische transducentkop. - Google Patents

Description

H AL/EW/1667 Sony Magnetische transducentkop

De uitvinding betreft een magnetisch transducentkop en meer in het bijzonder een dergelijke, uit samengesteld magnetisch materiaal gevormde kop, te weten ferromagnetische oxyde-materiaal en ferromagnetische metalen materiaal.

5 Bij toeneming van registreerdichtheid op magnetische banden die gebruikt worden als registreermedia voor video-bandrecorders (VTR's), worden magnetische banden met een grote overblijvende fluxdichtheid Br en een grote coercive kracht Hc, bijvoorbeeld magnetische metaalbanden, waarbij 10 magnetisch metaalpoeder in een laag is aangebracht op een niet-magnetisch substraat met behulp van een bindmiddel voor het vormen van een magnetische registreerlaag, in toenemende aantallen toegepast. Wanneer de magnetische transducentkop gebruikt moet worden bij de metaalband, moet de magnetische 15 veldsterkte van de magnetische spleet van de. kop verhoogd worden om de grote coërcive kracht van de band te kunnen verwerken. Het is ook noodzakelijk de spoorbreedte van de magnetische transducentkop te verminderen bij verhoging van registreerdichtheid. Er zijn bekende, verscheidene magne-20 tische transducentkoppen ontworpen om aan deze vereisten te voldoen, zoals de magnetische transducentkop met de in figuur 1 weergegeven smalle spoorbreedte. Het grootste deel van de magnetische, in figuur 1 transducentkop is gevormd uit glas of dergelijk non-magnetisch materiaal IA, 1B, en een ferro-25 magnetisch metalen, dunne film 2 met een gelijke dikte als de spoorbreedte is centraal ten opzichte van de magnetische kop tussen deze non-magnetische materialen gesandwitched. Deze film 2 wordt vervaardigd door het vormen van een legering met een grote permeabiliteit zoals Sendust (Fe-Al-Si legeringen) 30 op het niet-magnetische materiaal 1A in de vorm van een kern-helft door fysische dampneerslag, zoals sputteren. Hoewel de spoorbreedte op deze wijze verminderd kan worden, wordt de magnetische fluxlijn slechts door de metalen dunne film 2 gedefinieerd en wordt zodoende de bedrijfsefficiëntie 35 verminderd vanwege verhoogde magnetische weerstand. De 8403971 -2- metalen dunne film 2 dient gevormd te worden tot een film-dikte, die gelijk is aan de spoorbreedte door fysische damp-neerslag zoals sputteren. Zodoende is de vervaardiging op de magnetische kop aanzienlijk tijdrovend gezien de lage neer-5 slagsnelheid die met fysische dampneerslag bereikt kan worden. Daar de film 2 op een groot oppervlak gevormd moet worden, is het aantal eenheden dat door een sputtereenheid behandeld kan worden noodzakelijkerwijs gelimiteerd, zodat de koppen niet efficiënt in massa's geproduceerd kunnen worden. 10 De metalen films 2 van extreem kleine filmdikte worden met elkaar in contact geplaatst voor de vorming van de magnetische spleet van de magnetische transducentkop, met het resultaat dat nauwkeurigheid qua spleetgrootte en daardoor de bedrijfszekerheid verminderd worden.

15 De in figuur 2 getoonde magnetische transducentkop is op een zodanige wijze vervaardigd, dat, voor het verhogen van de magnetische veldsterkte van de magnetische spleet, ferro-magnetisch metalen dunne films 4 zoals Sendust aan de magnetische spleet zijn gevormd, en zodoende oppervlakken van 20 de kernhelften van ferromagnetische oxyden vormen door gebruik van een fysische dampneerslag, zoals sputteren, en dat de kernhelften onderling worden gekoppeld door het glas 5. Hoewel de magnetische weerstand van de magnetische transducentkop van figuur 2 die gevormd is uit het samengestelde 25 magnetische materiaal, lager gemaakt kan worden dan in het geval van de in figuur 1 getoonde transducentkop, zijn de films 4 gevormd in een richting loodrecht op de magnetische fluxlijn, zodat het terugspeeluitgangssignaal wordt verlaagd vanwege eddy-stroomverliezen. Additionele spleten kunnen ook 30 worden gevormd tussen de ferromagnetische oxydekernen 3 en de metalen magnetische films 4, welke zodoende de bedrijfszekerheid van de transducentkop verminderen.

Ook bekend is een magnetische transducentkop die gevormd is uit samengesteld magnetisch materiaal, en waarvan 35 het de magnetische spleet vormende oppervlak schuin staat ten opzichte van het oppervlak dat de ferromagnetisch metalen film vormt. Figuur 3 laat bij voorbeeld in bovenaanzicht het aangrijpoppervlak met de magneetband van de magnetische transducentkop die beschreven is in een Japans octrooi, te 8403971 m -3- weten Kokai nr. 155513/1983, zien.

De in figuur 3 getoonde magnetische transducentkop omvat kernhelften of kernelementen 150, 151 die uit ferro-magnetische oxyden zoals Mn-Zn-ferriet, gevormd zijn. Ferro-5 magnetisch metalen dunne films 155, 156 zoals Sendust zijn aan beide zijden en schrijlings van de ferrietdelen 153, 154 die uitsteken naar een de magnetische spleet 152 vormend oppervlak, aangebracht. Het nummer 157 verwijst naar een stuk versterkt glasmateriaal. De magnetische spleet van de kop 10 wordt gevormd door de dunne films 155, 156 van een ferro-magnetisch metalen materiaal dat aangebracht is in de nabijheid van de uiteinden van de uitstekende ferrietdelen 153, 154. Door deze films 155, 156 van het ferromagnetisch metalen materiaal is de groeirichting van de zuilvormige 15 korrelstructuur bij de uiteinden van de uitstekende ferrietdelen 153, 154 verschillend van die bij de schuine zijden daarvan, één en ander zodanig, dat de kristallen aan beide zijden parallel en uniform met een constante hoek ten opzichte van de zijden groeien, terwijl de kristalgroei aan 20 de uiteinden in een waaiervorm is, dat wil zeggen dat de kristallen uit elkaar worden gespreid naar hun afgelegen einden toe. Het resultaat is, dat de magnetische permeabiliteit van de ferromagnetische, aan de uiteinden gevormde dunne films 155, 156 wordt verlaagd met dienovereenkomstig 25 verlaagde registreerkarakteristieken en terugspeeluitgangs-signaal van de magneetkop.

Het zou de moeite waard zijn, te weten of de opper-vlaktecondities van bij voorbeeld het ferrietsubstraat-oppervlak het filmvormproces beïnvloeden, wanneer de ferro-30 magnetische metalen dunne film wordt gevormd door fysische dampneerslag op het ferrietsubstraat.

In het algemeen wordt een dunne, door een fysisch dampneerslagsproces gevormde magnetische film op bekende wijze beïnvloedt door de onderlaagcondities. Behalve de 35 kristalstructuur van het substraat en van de onderlaagfilm die gevormd is als een extreem dunne onderlaag op het substraat, zijn ook de geometrische configuratie en uniformiteit van het substraatoppervlak opmerkenswaardig.

Figuur 4A is een met een aftast-elektronenmicroscoop 8403971 ♦ -4- (SEM) genomen foto van een tweelagige Sendust-film die door sputteren op het ferrietsubstraat met een Si02-film van 500A dikte tussen de Sendustlagen is gevormd. Deze figuur toont, samen met een SEM-foto van figuur 5A het effect van de 5 ferrietsubstraatoppervlak-configuraties op de filmformatie. Figuur 4B en 5B zijn schetsen die slechts de belangrijkste, in de foto’s van figuur 4A, resp. 5A verschijnende kenmerken tonen.

Figuur 4A toont de op een vlak ferrietsubstraatopper-10 vlak gevormde Sendustfilm. Zoals te zien is in deze foto, zijn de op het vlakke oppervlak gevormde Sendustfilmopper-vlakken 159A, 159B uniform en is de groei van de zuilvormige korrelstructuur van de in doorsneden 160A, 160B verschijnende kristallen van de Sendustfilm uniform en strekt deze zich 15 parallel aan de dikte van de film uit. In deze foto, is de gebroken doorsnede niet alleen van de Sendustfilm, maar ook van het ferrietsubstraat genomen en wordt de gebroken doorsnede in beeld gebracht met de aftast-elektronenmicroscoop vanuit een scheve richting. Op de doorsnede van het ferriet-20 substraat 161 is de doorsnede 160A van de eerste Sendustlaag gevolgd door de doorsnede 160B van de tweede Sendustlaag te zien. De filmoppervlakken 159A, 150B behoren tot de eerste resp. tweede Sendustlaag. De aan het oppervlak 159B van de tweede Sendustlaag verschijnende dunne lijnen vertegen-25 woordigen micro-lijnoneffenheden op het gepoliiste-oppervlak van de naar de Sendustfilm toe verbreide ferrietplak en deze beïnvloeden de magnetische permeabiliteit vah de film niet,

De foto wordt op zijn kop getoond, dat wil zeggen met de bovenzijde naar beneden en omgekeerd.

30 Figuur 5A toont de op een onregelmatig oppervlak van het ferrietsubstraat gevormde Sendustfilm. De foto toont het onregelmatige oppervlak 162 van de Sendustfilm overeenkomstig met het originele onregelmatige oppervlak van het ferrietsubstraat. Dit is een aanwijzing voor de vergelijkende groei van 35 de kristalkorrels die niet wordt waargenomen, indien de kristallen op een glad vlak oppervlak kunnen groeien. Ook is de richting van de zuilvormige kristalgroei niet parallel, zoals te zien is in een doorsnede 163 van de Sendustfilm, maar is de zuilvormige kristalgroei uitgespreid in een 8403971 -5-- * ϊ waaiervorm op de uitstekende delen van het ferrietsubstraat.

In de onderhavige SEM-foto, is de gebroken doorsnede niet slechts van de Sendustfilm maar ook van het ferrietsubstraat genomen en de kijkrichting is vanaf de schuine onderzijde.

5 Een Sendustfilmdoorsnede 163 is te zien boven een ferriet-substraatdoorsnede 164. Een grenslijn 164A tussen de doorsneden 163, 164 stelt een uitstekend deel op het ferrietsub-straatoppervlak voor«

De op het ferrietsubstraat met uitsparingen en uit-10 steeksels gevormde Sendustfilm vertoont een verschillende richting van zuilvormige kristalgroei al naar gelang de helling van de uitsparingen. Zodoende zijn de richting en grootte van de zuilvormige kristallen verschillend al naar gelang het profiel en de helling van de bodem van de sub-15 straatuitsparing. Het Sendustfilmoppervlak 162 wordt ook verstoord en de kristalstructuur van de film verschilt aanzienlijk bij verschillende helling op de boedem van de uitsparing. Dergelijke verschillen in de kristalkorrelstructuur nemen grote verschillen in de magnetische permeabiliteit van 20 de Sendustfilm voor hun rekening. De foto in deze figuur is opnieuw in een op-zijn-kop-staande positie genomen.

Opgemerkt wordt, dat, daar zowel magnetische permeabiliteit als anisotrope eigenschappen (de richting van gemakkelijke magnetisatie) van een ferromagnetische film aan-25 merkelijk afhangt van de filmstructuur, het gewenst is, dat de magnetische film die een magnetische transducentkop, in het bijzonder één die gebruikt wordt voor magnetisch opnemen en afspelen, vormt, uniform is in structuur. Het is bij voorbeeld vereist, dat zuilvormige kristallen van de boven-30 genoemde Sendustfilm uniform en in één richting moeten groeien. Zou de oriëntatie van de kristalgroei niet uniform zijn in een magnetisch film, dan zou een deel van de film de -juiste magnetische eigenschappen hebben, terwijl het overblijvende deel daarvan inferieure magnetische eigenschappen 35 (vanwege anisotropie) zou hebben.

In figuur 6 is schematisch de structuur van een Sendustfilm getoond, dat wil zeggen de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei, indien de Sendustfilm is neergeslagen door middel van sputteren op en schrijlings over het ^ i § --¾ 3 :· ; v / i ‘ * . \' \ -6- uitstekende deel van het in figuur 3 getoonde ferrietsub-straat. Het is te zien in figuur 6, dat zuilvormige kristallen van de Sendustfilm 171 uniform en onderling parallel aan beide zijden 170A van het uitstekende deel 170 groeien, 5 maar dat deze uit elkaar naa de afgelegen einden toe bij een uiteinde 170B worden uitgespreid. Wanneer de op de uiteinden 170B neergeslagen Sendustfilm 171 is afgeslepen voor het vormen van een magnetisch spleetoppervlak 172, is de filmstructuur bij of in de nabijheid van het spleetoppervlak 172 10 verschillend van die aan de zijden 170A. Zodoende heeft de film 171, met de tranducentkop van het samengestelde magnetische materiaal gebruikmakende van de op het uitstekende deel 170 neergeslagen Sendustfilm 171, indien de Sendustfilm 171 op de zijde 170A een hogere magnetische 15 permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn bezit, nabij het uiteinde 170B slechts een slechte magnetische permeabiliteit.

In plaats van bij voorbeeld een Sendustfilm op en schrijlings over het uitstekende deel van het ferrietsub-20 straat te doen neerslaan, is het ook uitvoerbaar de Sendustfilm 177 slechts op één zijde van het uitstekende deel 175 te doen neerslaan, bij voorbeeld door middel van sputteren, waarbij een maskeerplaat 176 wordt geplaatst om de andere zijde van het uitstekende deel 175 te bedekken. De maskeer-25 plaat 176 geeft echter aanleiding tot een schaduweffect, daar een plaatdikte van meer dan verscheidene tientallen microns vereist is met betrekking tot het hanteren, tot de maskeer-oplijning en vanwege vormvereisten. Vanwege het schaduweffect is de filmstructuur van de in de nabijheid van het uiteinde 30 175B van het uitstekende deel 175 gevormde Sendustfilm 177 en de daaruit voortvloeiende magnetische permeabiliteit-karakteristiek verschillend van die van de filmstructuur op de zijde 175A. Zodoende, indien de op het uiteinde 175B neergeslagen Sendustfilm 177 is afgevlakt tot een magnetisch 35 spleetoppervlak 178.van de magnetische transducentkop, is het niet mogelijk met deze magnetische kop zowel het filmdeel op het uiteinde 175B als het filmdeel op de zijde 175A met hoge permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn toe te rusten.

8403971 * > -7-

Het is ook uitvoerbaar het spleetoppervlak verder af te vlakken om zodoende de filmstructuur bij het uiteinde 175b van de Sendustfilm identiek met die bij de zijde 175a te krijgen. In dit geval echter wordt het ferrietdeel bloot-5 gesteld aan het magnetische spleetoppervlak 179 van de magnetische kop met het resulterende ongemak dat een voldoende magnetische registratie niet kan worden verkregen op de spoordelen van de hoge coërcive kracht bezittende magneetband, zoals metaalband, overeenkomstig met de breedte van het 10 blootgestelde ferrietdeel.

Figuur 11 en 12 tonen in bovenaanzicht twee andere voorbeelden van het aangrijpoppervlak met de band van de mag-neetkoppen volgens de stand van de techniek, waarbij het magnetische spleetdeel wordt getoond op een vergrote schaal. Bij 15 de in figuur 11 getoonde magneetkop zijn de Sendustfilms 183 bij voorbeeld slechts aan beide zijden van de naar het de spleetvormende vlakke vlak 180 uitstekende ferrietdelen aangebracht en is het ferrietdeel onbedekt aan het de spleet vormende platte vlak 180. Het nummer 184 verwijst naar een 20 versterkt glasachtig vulmateriaal. Deze magnetische trans-ducentkop maakt gebruik van de op het vlakke oppervlak gevormde Sendustfilm 183 en heeft zodoende geen last van de bovengenoemde non-uniforme filmstructuur. Het magnetisch registreren op een magneetband met een hoge coërcive kracht 25 is echter onvoldoende door de breedte van het op het magnetische spleetoppervlak blootgestelde ferrietdeel, en de magnetische registreerkarakteristieken en het terugspeel-uitgangssignaal zijn overeenkomstig verlaagd.

In de in figuur 12 getoonde magnetische transducent-30 kop is bij voorbeeld een Sendustfilm 187 op ferrietdelen gevormd en op non-magnetisch glas, dat voorzien is van een hoog smeltpunt bezittende delen 188 van kernelementen 185, 186, zodat de kop wordt gevormd uit samengesteld magnetisch materiaal, te weten ferriet en Sendust. Het nummer 190 35 verwijst naar een glas 190 met en smeltpunt lager dan dat van glas 188. De magneetspleet 189 van de magnetische trans-ducentkop wordt gevormd door de delen van de Sendustfilm 187 die zich parallel aan de magnetische fluxlijn uitstrekken, zodat de Sendustfilm 187A in de nabijheid van de magneet- * e ""v - __ j w -.-1 - -8- ' . * \l \ spleet 189 een uniforme filmstructuur vertoont. Het Sendust-filmdeel 187b dat overeenkomt met de bocht of knie van de Sendustfilm 187 en dat zich daardoor over twee vlakke oppervlakken uitstrekt, heeft geen uniforme filmstructuur, zodat 5 de Sendustfilm 187 als geheel niet constant is qua magnetische permeabiliteit. Ook moet bij deze magnetische trans-ducentkop het Sendustfilmdeel 187a van een filmdeeldikte zijn, die overeenkomt met de spoorbreedte. Vanwege de langzame neerslagsnelheid van de film, zoals mogelijk is met de 10 fysische dampneerslag, is het proces van fabricage van de magnetische transducentkop tijdrovend.

Het Japanse octrooischrift Kokai nr. 169214/1981 toont een magnetische transducentkop, waarin, zoals is getoond in figuur 13, overgangsoppervlakken 195, 196 van mag-15 netische legeringsfilms 191, 192 en ferrietdelen 193, 194 onder een scherpe hoek met betrekking tot het tegenoverliggende oppervlak van de kopspleet 197 staan of ten opzichte van een richting loodrecht op de relatieve bewegingsrichting van het magnetische registreermedium. Bij de in figuur 13 ge-20 toonde magnetische transducentkop echter zijn de magnetische legeringsfilms 191, 192 onderling tegenover elkaar liggend in andere delen dan de kopspleet 197 aangebracht, zodat over-spraak veroorzaakt kan worden, in het bijzonder in het een grote golflengte bezittend signaal door het opnemen van 25 signalen van naburige sporen of de signalen van elk ander spoor, en tot nu toe zijn geen middelen gevonden voor het vermijden hiervan. Bovendien kan plaatselijke slijtage worden veroorzaakt door de naar één zijrand van de kopschijf versprongen kopspleet 197. De magnetische legeringsfilms 191, 30 192 zijn onderling op een zodanige wijze aanliggend, dat de richting van de zuilvormige kristalgroei van de film 191 niet samenvalt met die van de film 192, en uniforme magnetische eigenschappen zijn moeilijk te bereiken met de magneetkop 197.

35 Hoewel de kristallijne Sendustfilm hierboven aan gegeven is als een voorbeeld van een dunne ferromagnetische film, is een uniforme filmstructuur ook vereist, indien een amorfe legering wordt gebruikt voor het vormen' van de dunne film. Daar de film amorf is, gaat het niet om de uniformiteit 8403971 ιρ -9- r in de kristalkorrelstructuur, maar om de uniformiteit in de magnetische anisotropie. Indien de amorfe legering op een vlak oppervlak wordt opgedampt voor het vormen van een dunne film, is de magnetische anisotropie hetzelfde over de gehele 5 film. Indien de legering echter schrijlings over een uitstekend deel en over een vlak deel wordt opgedampt, is de magnetische gebiedstructuur of de magnetische permeabiliteit niet uniform.

In het licht van de bovenbeschreven inrichting vol-10 gens de stand van de techniek, is het belangrijkste doel van de onderhavige uitvinding een magnetische transducentkop die voordelig in massa geproduceerd kan worden, te verschaffen, en die geschikt is voor het met hoge dichtheid registreren op een magneetband die een hoge coërcive kracht Hc vertoont, zo-15 als metaalband.

Een ander doel van·de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een een groot uitgangssignaal verschaffende magnetische transducentkop die betrouwbaar in bedrijf is, en die uniforme filmkarakteristiéken van de dunne ferromag-20 netische metalen film in de nabijheid van de magneetspleet vertoont.

Een ander doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een magnetische transducentkop, die vrij is van plaatselijke slijtage, en die superieure slijtweerstand 25 vertoont.

Volgens een uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding presenteert de uitvinding een magnetische transducentkop omvattende: een eerste magnetisch kernelement, en een tweede magnetisch kernelement, 30 waarbij elk eerste en tweede kernelement een magnetisch ferrietblok en een met het magnetische ferrietblok geïntegreerde magnetische, metalen dunne film omvatten; waarbij het kernelement een eerste vlak oppervlak en een tweede vlak oppervlak vertoont, 35 waarbij de magnetisch metalen dunne film is aangebracht op het tweede vlakke oppervlak en een rand daarop heeft, welke rand wijst naar het eerste vlakke oppervlak, waarbij het tweede vlakke oppervlak schuin is aangebracht ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak; en ·*»' * Λ ' - i -10- - ' 4 \' \ waarbij eerste en tweede kernelementen op zodanige wijze onderling worden gekoppeld, dat een werkende magneetspleet tussen de rand van de magnetisch metalen dunne film op het eerste kernelement en de rand van de magnetisch metalen dunne film op het tweede kernelement gevormd wordt, en de magnetisch dunne film op het eerste kernelement en de magnetisch metalen dunne film op het tweede kernelement in één gezamenlijk vlak zijn gevormd.

In de tekening tonen: figuur 1 en 2 perspectivische aanzichten die twee voorbeelden van de gebruikelijke magnetische transducent-koppen tonen, figuur 3 een bovenaanzicht dat op vergrote schaal het op de band aangrijpende oppervlak van een gebruikelijkemag-neetkop toont, figuur 4A een SEM-foto die een kristallijne structuur van een tweelagige, door sputteren op een vlak ferrietsub-straatoppervlak gevormde Sendustfilm, figuur 4B een schets die slechts de in het oog springende kenmerken van de SEM-foto van figuur 4A toont, figuur 5A een SEM-foto, die een kristallijne structuur van de door sputteren op een onregelmatig ferrietsub-straatoppervlak gevormde Sendustfilm toont, figuur 5B een schets, die slechts de in het oog springende kenmerken van de SEM-foto van figuur 5 toont, figuur 6 tot 10 schematische doorsnede-aanzichten die het vervaardigingsproces van de gebruikelijke magnetische transducentkop tonen en in het bijzonder de richting van de zuilvormige kristalgroei van, bij voorbeeld, de op uitstekende ferrietdelen gevormde Sendustfilm tonen, figuur 11 en 12 vergrote bovenaanzichten, die aan-grijpoppervlakken met de band van de gebruikelijke magnetische transducentkoppen tonen, figuur 13 een vergroot bovenaanzicht dat het aan-grijpvlak met de band van een andere conventionele transducentkop toont, figuur 14 een perspectivisch aanzicht, dat een magnetische transducentkop volgens een uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding toont, 8403971 * *5 -11- » figuur 15 een vergroot bovenaanzicht, dat het aan-grijpoppervlak met de band van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop toont, figuur 16 een geëxplodeerd perspectivisch aanzicht 5 van de in figuur. 14 getoonde kop, waarbij de figuur op het de kern scheidende vlak is geëxplodeerd, figuur 17 tot 23 perspectivische aanzichten die dè achtereenvolgende stappen voor de vervaardiging van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop tonen, 10 figuur 24 en 25 schematische doorsnede-aanzichten, ; die de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de ferromagnetisch metalen film (Fe-Al-Si legeringsfilm) die op het substraat bij de in figuur 20 respectievelijk figuur 21 getoonde stappen gevormd zijn, tonen, 15 figuur 26 een perspectivisch aanzicht dat een gemodi ficeerd groefprofiel voor de in figuur 17 getoonde stap toont, figuur 27 een vergroot bovenaanzicht van het aan-grijpvlak met de band van de magnetische transducentkop in-20 dien het in figuur 26 getoonde groefprofiel wordt toegepast, figuur 28 tot 30 vergrote bovenaanzichten van het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop overeenkomend met de in figuur 26 getoonde modificatie, figuur 31 een perspectivisch bovenaanzicht dat het 25 aangrijpvlak met de band van de in figuur 26 getoonde magnetische transducentkop toont, figuur 33 tot 39 perspectivische aanzichten die de achtereenvolgende stappen voor de vervaardiging van de in figuur 31 getoonde transducentkop tonen, 30 figuur 40 en 41 schematische doorsnede-aanzichten die de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de ferro-magnetische metaalfilm (Fe-Al-Si legeringsfilm) tonen, welke film is gevormd op het substraat bij de in figuur 36 respectievelijk 37 getoonde processtappen, 35 % figuur 42 tot 48 perspectivische aanzichten die de achtereenvolgende stappen voor de vervaardiging van een magnetische transducentkop volgens een andere modificatie tonen, figuur 49 een perspectivisch aanzicht dat een magnetische transducentkop toont, welke volgens de in figuren / ^ -12- 42 tot 48 getoonde processtappen is vervaardigd.

Met referentie aan de tekeningen worden verscheidene voorkeursuitvoeringsvormen van de onderhavige uitvinding in detail besproken.

5 Met referentie allereerst aan figuur 14 wordt een magnetische transducentkop volgens de eerste uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding beschreven, waarbij een fêrro-magnetisch metalen dunne film ononderbroken wordt gevormd vanaf de voorzijde of vanaf het de voorspleet vormende opper-10 vlak tot de achterzijde of het de achterspleet vormende oppervlak van de magnetische transducentkop gevormd.

Deze kop is samengesteld uit uit ferromagnetische oxyden gevormde kernelementen 80, 81 bij voorbeeld uit Mn-Zn ferriet. Aan de overgangsoppervlakken van de kernelementen 15 80, 81 zijn metalen dunne films 82 van ferromagnetisch metaal of van raetaallegeringen met een hoge permeabiliteit gevormd, zoals Fe-Al-Si legeringen door gebruik van de fysische damp-neerslag, zoals sputteren. Deze films 82 zijn ononderbroken gevormd vanaf het de voorspleet vormende oppervlak tot aan 20 het de achterspleet vormende oppervlak. Een magnetische spleet g wordt gevormd slechts door deze dunne films 82. Deze films 82 op de kernelementen 80, 81 strekken zich als een schuine rechte lijn uit, gezien vanaf het bandaangrijpopper-vlak, indien de kleine dikte van deze films 82 wordt verwaar-25 loosd. De nummers 83, 84 verwijzen naar versterkende non-magnetische secties die zijn gevuld in uitgesneden delen nabij het overgangsoppervlak en ook voor het bepalen van een spoorbreedte Tw worden gebruikt. Het nummer 85 verwijst naar een opening voor spoelen.

30 De metalen dunne films 82 zijn gevormd op een enkel vlak oppervlak dat gedefinieerd wordt door één schuin oppervlak 80a van het kernelement 80 en door een schuin oppervlak 81a van het kernelement 81. Daardoor zijn de metalen dunne films 82 in het geheel van uniforme filmstructuur en vertonen 35 zij,een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn voor het verbeteren van de registreer-karakteristieken en verhoogde terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop.

Het de dunne films 82 bepalende oppervlak vormt een 8403971 m -13- scherpe hoek ö met het de magnetische spleet g vormende oppervlak, zoals dat getoond is in figuur 15 die het aan-grijpvlak met de magneetband in bovenaanzicht toont, in de onderhavige uitvoeringsvorm wordt de hoek θ gekozen met een 5 relatief kleine waarde van ongeveer 45°, zodat de interactie van de magneetspleet g met het scheidingsvlak tussen de schuine oppervlakken 80a, 81a en de dunne films 82 verwaarloosbaar is.

De neergeslagen metalen dunne films 82 behoeven 10 slechts van een filmdikte t te zijn, zodat t = Tw sin θ waarbij Tw een spoorbreedte voorstelt en een hoek tussen het de metalen dunne film.bepalende oppervlak en het de magnetische spleet bepalende oppervlak voorstelt. Het 15 resultaat is dat de film niet behoeft te worden neergeslagen tot een dikte die gelijk is aan de spoorbreedte en zodoende wordt de voor de vervaardiging van de magnetische trans-ducentkop vereiste tijd aanzienlijk teruggebracht.

Opgemerkt zij, dat de hoek θ van 45* tussen het de 20 films 82 bepalende oppervlak en het de magnetische spleet g bepalende oppervlak niet tot die waarde beperkt is en ook een waarde in het gebied van ongeveer 20* tot ongeveer 80“ kan bedragen. Niettegenstaande dat, wordt aan een hoek van meer dan 30" de voorkeur heeft, daar overspraak met het naburige 25 spoor wordt vermeerderd met een hoek die minder dan 20“ bedraagt. De hoek kleiner dan ongeveer 80* heeft de voorkeur, daar slijtweerstand afneemt met de hoek gelijk aan 90". De hoek Θ gelijk aan 90* heeft eveneens niet de voorkeur, daar de. dikte van de dunne film 82 van het ferromagrtetisch metaal 30 niet gelijk behoeft te zijn aan de spoorbreedte die aanleiding geeft tot de non-uniforme filmstructuur en de tijdrovende operatie van het vormen van de dunne film in vacuüm, zoals hierboven is beschreven.

De metalen dunne films 82 kunnen gevormd worden uit 35 ferrpmagnetische metalen, omvattende Fe-Al-Si legeringen, Fe-Al legeringen, Fe-Si legeringen, Fe-Si-Co legeringen,

Ni-Fe legeringen (zogenoemde permlegeringen), ferromag-netische amorfe metaallegeringen, of zogenoemde amorfe legeringen, zoals raetaal-metaloïd amorfe legeringen, bij 8403971 ' - * 3 -14- voorbeeld een legering van één of meer uit de groep van Fe#

Ni en Co gekozen elementen met één of meer van de groep van P, C, B en Si gekozen elementen, of een legering béstaande in hoofdzaak uit de eerstgenoemde legering en bevattende Al, Ge, 5 Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf of Nb, of een metaal-metaal amorfe legering bestaande uit in hoofdzaak overgangs-metaalelementen en een glas vormende metalen elementen zoals Hf of Zr.

Bij voorkeur is de samenstelling van de Fe-Al-Si 10 legeringen zodanig gekozen, dat de Al bestanddelen in het gebied van 2 tot 10 gewichtspocent zijn, en de Si bestanddelen in het gebied van 4 tot 15 gewichtsprocent zijn, waarbij de rest Fe is. Daardoor heeft het de voorkeur, dat indien de Fe-Al-Si legeringen worden uitgedrukt als 15 Fe a Al b Si c waarbij a, b en c de gewichtsverhouding van de respectievelijk daarbij behorende componenten de waarden a, b en c in het gebied zijn van: 70; 5 a < 95 20 2 S b£ 10 4 < c £ 15

Indien de Al of Si bestanddelen te weinig of te veel zijn, worden de magnetische eigenschappen van de Fe-Al-Si legeringen verslechterd.

25 In de bovengenoemde samenstelling kan een gedeelte van Fe worden vervangen door ten minste één van Co en Ni.

De verzadigingsmagnetische-fluxdichtheid kan worden verbeterd door het vervangen van een deel Fe met Co. Bovenal kan de maximale verzadigingsmagnetische-fluxdichtheid Bs 30 worden bereikt wanneer 40 gewichtsprocent Fe wordt vervangen door Co. Bij voorkeur is de hoeveelheid Co 0 tot 60 gewichtsprocent ten opzichte van Fe.

Anderzijds kan, door het vervangen van een deel Fe met Ni de magnetische permeabiliteit worden gehandhaafd op 35 een hogere waarde zonder de verzadigingsmagnetische flux-* dichtheid Bs te verminderen. In dit geval is de hoeveelheid Ni bij voorkeur in het gebied van 0 tot 40 gewichtsprocent ten opzichte van Fe.

Andere elementen kunnen ook worden toegevoegd aan de 8 4 0 3 S 7 1 -15-

Fe-Al-Si legeringen voor het verbeteren van de corrosie en slijtweerstand. De elementen die als zulke toevoegingen gebruikt kunnen worden, kunnen elementen uit groep lila omvatten, inclusief lanthanides zoals Sc, Y, La, Ce, Nd en Gd, 5 elementen uit groep IVa zoals Ti, Zr of Hf, elementen uit groep Va zoals V, Nb of Ta? elementen uit groep Vla zoals Cr,

Mo of W? elementen uit groep Vila zoals Mn, Te of Re? elementen uit groep Ib zoals Cu, Ag of Au, of elementen uit de platinagroep zoals Ru, Rh, Pd, en Ga, In, Ge, Sn, Sb of 10 Bi.

Als filmvormend proces kan elke bekende fysische dampneerslag worden toegepast, zoals ontladingsopdamping, ionenbekleding, sputteren of een gebundeld ionenstraalproces.

Het is bekend, dat bij het produceren van de boven-15 beschreven dunne film van een ferromagnetisch metaal door bij voorbeeld sputteren, er een zuilvormige structuur wordt opgewekt in een dunne film van een onder een bepaalde conditie verkregen ferromagnetisch metaal en zodoende een dunne film met excellente magnetische eigenschappen kan worden ver- .

20 kregen. Bovenal wordt in het algemeen gedacht dat', indien de dunne film van het ferromagnetische metaal bedoeld is om te worden gebruikt als de samengestelde magnetische kop om de anisotropen van de gevormde film te onderdrukken, er de voorkeur aan wordt gegeven aan het opwekken van de zuilvormige 25 structuur met rechte hoeken met het substraatoppervlak waarop de film'is gevormd.

Niettegenstaande dat heeft, bij de op deze wijze verkregen ferromagnetisch metalen dunne film, dat wil zeggen met de zuilvormige structuur die gegroeid is met rechte hoeken op 30 het substraatoppervlak, de kleinste verandering in sputter-condities of substraatpositie op delicate wijze een invloed op de groei van de zuilvormige structuur hebben, zodat de resulterende dunne film op belangrijke wijze qua magnetische permeabiliteit met daaruit voortvloeiende dispersie in het 35 terugspeeluitgangssignaal van de magnetische tranducentkop wordt veranderd.

Daarom heeft het de voorkeur, indien de metalen dunne film 82 op een zodanige manier wordt aangebracht, dat de richting van de zuilvormige kristalgroei onder een vooraf- 8403971 * Zk -16- bepaalde hoek λ van 5® tot 45° schuin staat met betrekking tot een op elk van de schuine vlakke oppervlakken 80A, 81A getrokken loodlijn.

Indien ervoor wordt gezorgd dat de metalen dunne 5 films 82 op deze wijze met een vooraf gekozen hoek λ met betrekking tot de op de schuine oppervlakken 80A, 81A getrokken loodlijnen groeien, zijn magnetische eigenschappen van het resulterende ferromagnetische metalen dunne films 82 stabiel en superieur, hetgeen resulteert in verbeterde magne-10 tische eigenschappen van de magnetische transducentkop.

De hoek die de richting van de zuilvormige kristalgroei van de metalen dunne film 82 maakt met de loodrechte richting op het schuine oppervlak 80A, 81A is bij voorkeur in het gebied van 5° tot 45° voor de beste resultaten.

15 Indien de hoek λ minder dan 5e is, is het terug- speeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop sterk fluctuerend, wat daardoor resulteert in een lagere opbrengst snelheid en verhoogde kosten. Indien λ meer dan 45® bedraagt, worden de magnetische eigenschappen van de dunne films 82 20 drastisch beïnvloed door aanzienlijke verarming tussen de zuilvormige kristallen en oppervlakteruwheid die zodoende het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop doet verminderen. Met de hoek λ in het gebied van 5® tot 45° is de groei van de zuilvormige kristallen gefixeerd vanwege 25 de schuine inval en worden de magnetische eigenschappen niet merkbaar veranderd met kleine fluctuaties in de sputtercondities of verschillen in de substraatpositie. De afwisselende condensatie en verdunning tussen of in de zuilvormige kristallen die opgewekt worden door schuine groei, verspreiden de 30 gedurende het sputteren veroorzaakte spanning, het uitgloeien van de film en de werking van de kop, zodat het terugspeeluitgangssignaal wordt verhoogd, waarbij de uitgangs-fluctuaties minder dan ongeveer 2dB zijn.

Door middel van het regelen van de groeirichting van 3‘5 de ferromagnetische metalen dunne film 82 kan het substraat-oppervlak schuin staan ten opzichte van een verdampingsbron, of kan het substraat rondom de verdampingsbron geplaatst worden, zodat van een schuine richting komende verdampte magnetische deeltjes op het substraat kunnen worden neer- 8403971 *· ' -17- geslagen.

Hoewel de metalen dunne film 82 is gevormd als een enkele laag door de bovenbeschreven fysische dampneerslag, kan ook een veelvoud van dunne metalen lagen worden gevormd 5 met een elektrisch isolerende film of films zoals Si02* ^a205, AI2O3, Zr02, of S13N4 tussen de naburige dunne metalen laag of lagen. Elk gewenst aantal ferromagnetishe metalen lagen kan worden gebruikt voor de vorming van de metalen dunne film.

10 Daar de magneetspleet g slechts gevormd is door de metalen dunne films 82 die zijn uitgerust met een hoge magnetische permeabiliteit, heeft de magnetische transducentkop een goede registreerkarakteristiek en een terugspeeluitgangs-signaal dat vergelijkbaar is met de magneetband die een hoge 15 coercive kracht Hc vertoont, zoals metaalband.

Daar de metalen dunne films 82 op een gezamenlijk vlak oppervlak zoals het schuine oppervlak 80A van het uitstekende deel van het kernelement 80 of op het schuine oppervlak 81A van het uitstekende deel zijn gevormd, is de film-20 structuur van de metalen dunne film 82 (Fe-Al-Si legerings-film), te weten de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei uniform en niet slechts parallel in de nabijheid van de magneetspleet g maar over het gehele oppervlak van de schuine zijde 80A, 81A. Het resultaat is dat de metalen dunne film 82 25 in zijn geheel een hoge magnetische permeabiliteit vertoont langs de magnetische fluxlijnen voor het verbeteren van de registreerkarakteristieken en het verhogen van het terug-speeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop.

Het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische 30 transducentkop is in hoofdzaak gevormd uit ferromagnetische oxyden, waardoor de slijtweerstand van de kop eveneens wordt verbeterd.

In afwijking van de gebruikelijke praktijk volgens welke ferromagnetische metalen folies met de hand worden toe-35 gepast met behulp van glas, organische lijm of anorganische lijm, worden de metalen: dunne films 82 aangebracht door fysische dampneerslag, zodat de films homogener zijn en de bedrijfszekerheid van de transducentkop eveneens wordt verbeterd .

8403971 * * * *+ -18-

Volgens de onderhavige uitvinding, kunnen spoorbreedten in het gebied van enkele tot enkele tientallen microns gemakkelijk gevormd worden en een smal spoor kan worden aangebracht aan de kop door het verminderen van het aan-5 tal lagen of van de filmdikte van de metalen dunne film 82.

De hierbovenbeschreven magnetische transducentkop kan met voordeel gebruikt worden voor het met een hoge dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coërcive kracht Hc vanwege de hoge magnetische veldsterkte van de magneet-10 spleet g en het versterkte terugspeeluitgangssignaal.

Voor het verhelderen van de structuur van de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoering, zal het vervaardigingsproces daarvan hieronder worden verklaard met referentie aan figuren 17 tot 23.

15 Bij het prepareren van de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoering, wordt een veelvoud van vee-groeven 91 dwars op het bovenoppervlak van een substraat 90 van ferromagnetische oxyden zoals Mn-Zn ferriet, gevormd met behulp van een ronddraaiende slijpsteen (figuur 17).

20 Deze groeven 91 kunnen' ook veelhoekig in doorsnede zijn en de binnenzijvlakken van deze groeven 91 kunnen in twee of meer stappen gebogen zijn voor het vergroten van de afstand tussen de ferromagnetische oxyden en de ferromagnetische metalen dunne film. Met een dergelijk groef-25 profiel kunnen een hoog uitgangssignaal bezittende magnetische transducentkoppen met minder overspraak in de lange golflengtegebieden worden verkregen, waarbij een groot over-gang soppervlak tussen het ferromagnetische oxyde op één kern-helft en de ferromagnetische metalen dunne film op een andere 30 kernhelft wordt onderhouden.

Het profiel van de in figuur 26 getoonde groeven 91 kunnen als voorbeeld worden gebruikt. Het aangrijpoppervlak met de band van de resulterende magneetkop is zoals getoond in figuur 27, waarin eindvlakken 80b, 81b van de een spoor-35 breedte regelende groeven van de kernelementen 80, 81 gebogen zijn in twee stappen, om zodoende in lijn te zijn met het profiel van de groeven 91, dat wil zeggen met een deel van het binnenzijvlak van een veelhoek.

Zodoende kan ervoor gezorgd worden, dat er enige 8403971 -19- afstand tussen de eindvlakken 80B, 8TB van de een spoorbreedte regelende groeven en de ferromagnetische metalen dunne films 82 worden onderhouden en kunnen de overspraakcom-ponenten die ontstaan door het weergeven van de lange golf-5 lengtecomponenten verlaagd worden.

Voorts staan de eindvlakdelen 8OB1, 8OB2 of 81Bi, 8IB2 die de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven bepalen schuin met verschillende hoeken ten opzichte van de azimuthhoek van de magneetspleet gf zodat TO overspraak met naburige en de volgende sporen wordt verminderd .

In het algemeen worden middelen toegepast voor het verlagen van de overspraak tussen de naburige sporen tot een verwaarloosbaar niveau» bij voorbeeld door het registreren 15 van de naburige sporen met verschillende azimuthhoeken voor het verwijderen van het overspraak effect (magneetband in VTR). Niettegenstaande dat ontstaat overspraak tussen de om de andere gelegen sporen met dezelfde azimuthhoek. In de onderhavige uitvoeringsvorm staan de eindvlakken 80B, 81B van 28 de spoorbreedte regelende groeven van de kernelementen 80, 81 schuin in twee stappen met verschillende hoeken ten opzichte van de azimuthhoek van de magnetische spleet g, zodat zelfs indien de randen van de eindvlakdelen 80Bi,8QB2» 8IB1, 8IB2 van de kernelementen 80» 81 in lijn zijn met elk naburig 25 spoor of om het andere spoor» kan signaalopname van elk naburig spoor of van om het andere spoor of overspraak verlaagd worden door azimuthverlies.

Figuren 28, 29 en 30 tonen in bovenaanzicht het aan-grijpvlak met de band volgens gemodificeerde uitvoeringsvor-30 men, waarbij de groef 91 qua profiel is veranderd. Bij deze modificaties, zijn de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven aan beide zijden van de magneetspleet g veranderd qua profiel. In de in figuur 28 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 81B van de op kern-35 elementen 80, 81 gevormde een spoorbreedte regelende groeven gevormd als flauw gehelde oppervlakken met knieën 80B-J, 8OB2» 81Bt» 8IB2* In de figuur 29 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80S, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven op de kernelementen 80, 81 gevormd als oppervlakken 8403371 * -Λ -20- met knieën 8OB1, 80B2, 81Bi/ 8132 met grotere krommings-stralen bij de knieën. In de in figuur 30 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 813 van de een spoorbreedte regelende groeven op de kernelementen 80, 81 gevormd 5 als oppervlakken met dubbele knieën 80B-|, 8OB2, 8OB3, 81B-|, 81B2r 8IB3.

De eindvlakken van de een spoorbreedte regelende groeven kunnen ook op een zodanige manier gemodificeerd worden, dat het geschuinde oppervlak met de knie verschil-10 lende kantelingen in de respectievelijke door de knie verdeelde segmenten heeft, of dat het geschuinde oppervlak meer dan drie knieën heeft.

Vervolgens wordt een glas met een hoog smeltpunt 92 opgevuld in gesmolten toestand in de groeven 91, waarna het 15 substraatoppervlak glad wordt afgevlakt (figuur 18).

Vervolgens wordt een veelvoud van vee-groeven 93 gevormd die zich naast de bovengenoemde vee-groeven 91 bevinden en daarmee niet overlappen. Het binnenwandoppervlak van elke groef 93 maakt een hoek van ongeveer 45* ten opzichte van het 20 substraatbovenoppervlak (figuur 19).

Daarna wordt een ferromagnetische legering, zoals Fe-Al-Si legering, opgedampt op het bovenoppervlak van het substraat 90 met behulp van welke bekende fysische damp-neerslag dan ook, zoals sputteren, met een ionenlaag bekleden 25 of vacuüm opdampen, waardoor een metalen dunne film 94 in de vee-groeven gevormd wordt (figuur 20).

Vervolgens worden de boven- en vooroppervlakken van het substraat 90 glad afgevlakt en wordt zodoende de metalen dunne film op het oppervlak van het substraat verwijderd 30 (figuur 21).

Voor het vormen van het kernelement op de bindings-groefzijden worden een groef 95 voor spoelen in de resulterende magnetische transducentkop en een glasvulsel-groef 96 gesneden op het zodoende vervaardigde substraat 90 (figuur 35 21) voor het verschaffen van een van ferromagnetisch oxyde gevormd substraat 97 (figuur 22).

De substraten 90 en 97 worden dan samen opgestapeld door het plaatsen van een magneetafstandlaag daartussen en met de respectievelijke van de metalen dunne films 94 84 0 3 §7 1 -21- voorziene vlakke oppervlakken naar elkaar toe wijzend. Glazen staven met een laag smeltpunt worden tot in de groeven voor spoelen 95 en tot in de glasvulsel-groef 96 voor het smeltend onderling koppelen van het substraat tot in één blok 98 5 gestoken. Op dit moment wordt glas met een laag smeltpunt 99 tot in de overblijvende groeven op de metalen dunne films 94 van het substraat 90, 97 gevuld (figuur 23).

Het blok 98 wordt dan langs de lijnen b-b en b'-bT gesneden voor het verschaffen van een veelvoud van kop-10 plakken.

Het aangrijpoppervlak van elke kopschijf met de magneetband wordt dan afgevlakt tot een cilindrisch profiel voor het vervaardigen van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop. Deze magnetische transducentkop 15 heeft zijn kernelement 80 verkregen van het substraat 90, een ander kernelement 81 verkregen van substraat 90 en een ander kernelement 81 verkregen van substraat 97. De metalen dunne film 82 stemt overeen met de metalen dunne film 94, het non-magnetische vulmateriaal 93 met het glas met een hoog smelt-20 punt 92 en het non-magnetische vulmateriaal met het glas met een lager smeltpunt 99. De opening voor spoelen 85 komt overeen met de groef voor spoelen 95.

In figuren 24 en 25 zijn doorsneden door het substraat 90 bij de in figuur 20 respectievelijk 21 getoonde 25 stappen genomen voor het illustreren van de filmstructuur van de metalen dunne films 94 (Fê-Al-Si legeringsfilms) of de oriëntatie van de kolomsgewijze kristalgroei. Zoals in deze figuren getoond is, wordt een non-uniforme filmstructuur deel R afgevlakt gedurende de het spleetoppervlak slijpende in 30 figuur 21 getoonde stap, zodat slechts de metalen dunne film 94 met een uniforme filmstructuur overblijft op het schuine oppervlak van de groef 93. Het resultaat is dat de magnetische transducentkop met een hoog en stabiel uitgangssignaal verkregen kan worden, daar elk deel van de op het gezamen-35 lijke vlakke oppervlak gevormde metalen dunne film 82 een hoge permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn kan hebben.

Een gemodificeerde uitvoeringsvorm, waarin de ferro-magnetisch metalen dunne film slechts in de nabijheid van de magneetspleet is gevormd, wordt hierna verklaard.

8403071 * * -22-

Fig uur 31 toont in perspectief de magnetische transducentkop volgens de onderhavige modificatie. De magnetische transducentkop is gevormd uit een samengesteld magnetisch materiaal en bestaat uit een paar kernelementen 10, 11 van 5 ferromagnetische oxyden zoals Mn-Zn ferriet. In de nabijheid van de magneetspleet g zijn metalen dunne films 14A, 14B van ferromagnetisch metaal of van een een hoge permeabiliteit bezittende metaallegering, zoals Fe-Al-Si legeringen, gevormd door het gebruik van de fysische dampneerslag zoals sput-10 teren. Non-magnetische pakkingsmaterialen 12A, 12B en 13 zijn gepakt in gegoten staat in de nabijheid van het vlakke oppervlak van de magneetspleet g.

Opgemerkt wordt, dat het vlakke, de metalen dunne films 14A, 14B vormende oppervlak en het vlakke, de magneet-15 spleet g vormende oppervlak schuin ten opzichte van elkaar staan met een hoek Θ , zoals getoond is in figuur 32 die het aangrijpvlak met de band van de magnetische transducentkop toont. In de onderhavige uitvoeringsvorm is de hoek Θ ongeveer 45° o 20 Daar de metalen dunne films 14A, 14B slechts in de nabijheid van de magneetspleet g zijn gevormd, kan het film-oppervlak worden verkleind met het resultaat dat het aantal eenheidsplakken dat tegelijkertijd vervaardigd kan worden door middel van bij voorbeeld sputteren, aanzienlijk verhoogd 25 kan worden met verbeterde effectiviteit bij massaproduktie. Bij verhoging van het aantal magnetische transducentkoppen dat van een eenheidsfilmopper'vlak geproduceerd kan worden, kunnen de vervaardigingskosten van de magnetische transducentkoppen verlaagd worden.

30 Vanwege het verkleinde oppervlak van de metalen dunne films 14A, 14B op de kernelementen 10, 11 van de ferromagnetische oxyden kan welke spanning dan ook van de metalen dunne films 14A, 14B, welke veroorzaakt wordt door het verschil in de coëfficiënten van thermische uitzetting van de 35 kernelementen en van de metalen dunne films, of resulterende breek- of barstoptreden in de kernelementen 10, 11, vermeden worden met verbeterde bedrijfsefficiëntie en opbrengstsnel-heid in de vervaardiging van de magnetische transducentkoppen .

8403971 -23-

De metalen dunne films 14A, 143 van hoge magnetische permeabiliteit die de magneetspleet g bepalen, worden gevormd in de nabijheid van de magneetspleet g, en de achterzijde van de kop wordt gevormd door ferromagnetische oxyden met een 5 groot overgangsoppervlak, zodat de kop een verbeterd bedrijf met minder magnetische weerstand en een hoge gevoeligheid vertoont.

Daar de magneetspleet g slechts bij de ferromagne-tisch metalen dunne film 14A, 14B van hoge magnetische per-10 meabiliteit wordt gevormd, heeft de kop een goede registreer-karakteristiek en een terugspeeluitgangssignaal dat vergelijkbaar is met magneetbanden met een hoge coercive kracht zoals metaalband.

De metalen dunne film 14A wordt gevormd op een vlak 15 oppervlak op het non-magnetische vulmateriaal 12A en de zijde 10A van het uitstekende deel van het kernelement 10, waarbij de metalen dunne film 143 wordt gevormd op een vlak oppervlak op het non-magnetische vulmateriaal 12B en de zijde 11A van het uitstekende deel van het kernelement 11. Zodoende is de 20 filmstructuur van de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de metalen (Pe-Al-Si legeringen) dunne films T4A, 14B uniform en zowel parallel in de nabijheid van de magneetspleet g als op de zijde 10A, 11A. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 14A, 14B in hun geheel een hoge magne-25 tische permeabiliteit in de richting van de magnetische flux-lijn vertonen, zodat de registreerkarakteristieken en het terugspeeluitgangsignaal van de magnetische transducentkop aanzienlijk wordt verbeterd.

De achterzijden van de magnetische transducentkop 30 zijn onderling gekoppeld met de ferromagnetische oxyden, zoals Mn-Zn ferriet die onderling aanliggen, zodat een sterke bindkracht kan worden verkregen met verbeterde opbrengstsnel-heid, ondanks inferieure bindeigenschappen tussen de metalen dunne films 14a, 14b en de kernelementen 10, 11. Er is geen 35 gevaar, dat terugspoorafwijkingen worden veroorzaakt gedurende het vervaardigen, wat zodoende resulteert in een verhoogde bedrijfsbetrouwbaarheid van de magnetische transducentkop.

Daar het grootste deel van het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop wordt gevormd uit ' 8403971 -24- 4 * ferromagnetische oxyden, wordt ook slijtweerstand van de magnetische transducentkop verbeterd.

In afwijking van gebruikelijke praktijk, waarbij ferromagnetische metalen folies met de hand op elkaar worden 5 gebonden met een lijmlaag van glas, met organische lijm of inorganische lijm, worden de metalen dunne films 14A, 14B gevormd door middel van een fysische dampneerslag, zodat de gevormde film homogeen is voor het verder verbeteren van de bedrijfszekerheid van de magnetische transducentkop.

10 De spoorbreedte kan gemakkelijk worden gekozen in een uitgestrekt gebied van enkele tot enkele tientallen microns, zodat de magnetische transducentkop met een smalle spoorbreedte verkregen kan worden door gebruik van een .verminderde filmdikte of van een verminderd aantal filmlagen.

15 Zoals hierboven is beschreven, heeft de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoeringsvorm een hoge magnetische veldsterkte van de magneetspleet g en een hoog terugspeeluitgangssignaal, zodat deze superieur is qua bedrijfszekerheid en productiviteit, en geschikt is voor het 20 met hoge dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coërcive kracht Hc, zoals metaalband.

Het vervaardigingsproces voor de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop wordt nu beschreven met referentie aan de figuren 33 tot 39.

25 Op een langsrand van een substraat 20 van een ferro- magnetisch oxyde zoals Mn-Zn ferriet, zijn een veelvoud van V-vormige uitsparingen 21 gesneden met behulp van een ronddraaiende slijpsteen of met behulp van electrolytisch etsen (figuur 33). De bovenzijde of oppervlakte 23 van het sub-30 straat 20 komt overeen met het de magneetspleet vormende oppervlak, en de uitsparing 21 is gevormd bij een deel van het substraat 20 waar de magneetspleet gevormd moet worden.

De uitsparing 21 kan ook veelhoekig en voorzien zijn van gekromde delen, zoals in de voorgaande uitvoeringsvorm.

35 Glas met een hoog smeltpunt wordt in gesmolten vorm gepakt in de uitsparing 21 bij 22a en zowel de bovenzijde 23 als de voorzijde 24 zijn glad afgevlakt (figuur 34).

Op dezelfde rand 25 is dan een tweede veelvoud van V-vormige uitsparingen 25 in de nabijheid van de uitsparing 8403971 -25- V * \ 21 die gevuld is met glasvulsel 22a, gevormd, één en ander zodanig dat deze gedeeltelijk overlappen met de uitsparing 21 (figuur 35). Een deel van het glasvulsel 22a wordt blootgesteld aan een binnenwandzijde of facet 26 van de uitsparing 5 25. Een kruisingslijn 27 van de wandzijde 26 en van de bovenzijde 23 vormen een rechte hoek met de voorzijde 24, terwijl de binnenwandzijde 26 een hoek van zeg 45° met de bovenzijde 23 maakt.

Vervolgens wordt een legering met een hoge permea-10 biliteit, zoals Fe-Al-Si legeringen, opgedampt in de nabijheid van de uitsparingen 25 van het substraat 20 met als tussenstof een isolerende film, met behulp van een fysische dampneerslag zoals sputteren voor het vormen van ferromag-netisch metalen dunne film 28 (figuur 36). Het substraat 20 15 wordt op dit moment in het sputterapparaat in een schuine stand geplaatst voor het efficiënter neerslaan van de binnenwand zij de 26.

Vervolgens wordt een glasvulsel 29 met een smeltpunt lager dan dat van het glasvulsel 22 gevuld in gesmolten toe-20 stand in de van de metalen dunne film 28 voorziene uitsparingen 25, waarna de bovenzijde 23 en de voorzijde 24 uiteindelijk als een spiegel worden afgevlakt (figuur 37). Op dit moment blijft een deel van de gedurende de voorgaande stap neergeslagen metalen dunne film 28 over op de wandzijden 25 26 van de uitsparingen 25, zodat de ferromagnetisch metalen dunne films 28A worden neergeslagen op de zijde 26.

Voor het vormen van een van een windingsgroef voorziene zijdelings kernelement wordt een groef 31 voor spoelen gevormd in het in figuur 32 getoonde substraat 20 van ferro-30 magnetische oxyde voor het verschaffen van een in figuur 38 getoond· substraat 30 van ferromagnetische oxyden. De uitsparingen 21 van het in figuur 38 getoonde substraat worden gevuld met glas 22b met een hoog smeltpunt in de gesmolten toestand, waarbij de binnenwandzijden van de uitsparingen 25 35 zijn voorzien van ferromagnetische metalen dunne films 28b.

De substraten 20, 30 zijn opgestapeld.en onderling gekoppeld met gesmolten glas, waarbij de bovenzijde 23 of het de magneetspleet vormende oppervlak van het substraat 20 aanligt aan het bovenvlak 32 of het 'de magneetspleet vormende 8403971 to * -26- oppervlak van het substraat 30 met het medium van een spleet-afstandslaag (figuur 39} voor het verschaffen van een blok dat uit de substraten 20 en 30 bestaat. Het blok 33 wordt dan in plakken langs lijnen a-a, a'-a' gesneden voor het vormen 5 van een veelvoud van kopplakken. De spleetafstandslaag kan naar wens gevormd zijn uit SiC>2, Zr02, Ta2C>5 of Cr,

Het aangrijpoppervlak met de band van de kopplak wordt dan blootgesteld aan cilindrisch slijpen voor het vormen van een magnetische transducentkop, zoals getoond in 10 figuur 31. De kernelementen 10 en 11 van de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop zijn verkregen van de substraten 20 resp. 30. Het non-magnetische vulmateriaal 12A, 123 komt overeen met de glasvulselmaterialen met een hoog smeltpunt 22A resp. 22B, terwijl het non-magnetische vul-15 materiaal 13 overeenkomt met het glasvulselmateriaal 13 met een laag smeltpunt, De ferromagnetisch metalen dunne films 14A, 14B van de magnetische transducentkop komen overeen met de metalen dunne films 28A, 28B, terwijl de opening voor spoelen 15 overeenkomt met de groef 31 voor spoelen op het 20 substraat.

In de bovenbeschreven magnetische transducentkop, wordt een deel Q van de metalen dunne film 28 van de non-uniforme filmstructuur die gevormd is gedurende de in figuur 36 getoonde processtap verwijderd door de slijpoperatie van 25 het spleetoppervlak, zoals dat schematisch is getoond in figuren 40, 41 die de oriëntatie van zuilvormige kristalgroei of filmstructuur van de ferromagnetisch metalen dunne films, bij voorbeeld de Fe-Al-Si legeringsfilm, tonen. Op deze wijze blijven slechts de metalen dunne films 28A, 28B van de uni-30 forme structuur over op een enkel schuin vlak oppervlak dat de binnenwandzij.de van facet 26 van de uitsparing 25 is.

Het resultaat is, dat elk deel van de metalen dunne films 28A, 28B een hoge magnetische permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn vertoont en dat de magnetische trans-35 ducentkop een hoog en stabiel uitgangssignaal heeft.

• In de onderhavige uitvoeringsvorm, zoals hierboven is beschreven, is een tweede vlak oppervlak dat een hoek van 20° tot 80° ten opzichte van een eerste vlak oppervlak dat later het magneetspleetoppervlak vormt, gevormd door het 8403971 \ -27- slijpproces en is dit in de nabijheid van de eerste uitsparing 21 van te voren gevuld met glas met een hoog smeltpunt, en is de ferromagnetisch metalen dunne film 28 gevormd door een fysische dampneerslag op het tweede oppervlak dat 5 schuin staat ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak, dat daarna afgevlakt wordt, zodat slechts de op het schuine tweede oppervlak gevormde dunne film overblijft ten minste in de nabijheid van de magneetspleet. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 28A, 28B van uniforme filmstructuur zijn 10 over hun geheel en zodoende een hoog en stabiel uitgangssignaal van de magnetische transducentkop verschaffen.

Met de bovengenoemde magnetische transducentkop worden de ferromagnetische oxyden van de twee kernhelften smeltend samengebonden direct met gesmolten glas op de 15 achterovergangzijde of achterspleetoppervlakken van de kop. Het resultaat is, dat de getoonde kopplak een verhoogde breeksterkte heeft en dat deze gemakkelijk vervaardigd kan worden met een verbeterde opbrengstsnelheid.

Met referentie aan figuur 42 tot 48, wordt een ander 20 voorbeeld van de magnetische transducentkop die vervaardigd wordt door middel van een ander proces, verklaard.

Op een bovenoppervlak 41 dat overeenkomt met het aan-grijpvlak met de band, van het substraat 40 van ferromagnetische oxyden, zoals Mn-Zn ferriet, is een veelvoud van 25 groeven 42 met een vierkantige doorsnede op schuine wijze gevormd (figuur 42). Elke groef 42 heeft een diepte voor het zich uitstrekken naar de opening voor in de transducentkop aangebrachte spoelen.

Glas met een hoog smeltpunt wordt dan gevuld in ge-30 smolten toestand bij 43a in elke groef 42, waarna de bovenzijde 41 en de voorzijde 44 glad worden afgevlakt (figuur 43) .

Vervolgens wordt een tweede veelvoud van groeven 45 met de vierkantige doorsnede gevormd tot de bovenzijde 41 in 35 de omgekeerde schuine richting ten opzichte van de groeven 42, zodat deze gedeeltelijk overlappen met deze groeven 42 die gevuld zijn met glas 43A met een hoog smeltpunt (figuur 44) . Deze groeven 45 zijn bij benadering gelijk in diepte aan de glasgevulde groeven 42. De snijlijn 47 die de binnenzijde 8403971 -28- 46 van de groef 45 maakt met de voorzijde 44, is gesitueerd op het doorsnede vlak van het glas 43a, dat aan de voorzijde 44 is blootgesteld, en vormt een rechte hoek met de bovenzijde 41. De binnenzijde 46 maakt een hoek van zeg 45" met de 5 voorzijde 44.

Vervolgens wordt een film van een legering met een hoge permeabiliteit, zoals Fe-Al-Si legeringen gevormd in de nabijheid van de groeven 44 op het substraat 40 door middel van fysische dampneerslag, zoals sputteren voor het vormen 10 van een ferromagnetisch metalen dunne film 48 (figuur 45).

Het substraat 40 wordt in een schuine stand gehouden binnen het sputterapparaat voor het efficiënter vormen van de film op de binnenzijde 46.

Vervolgens wordt een glas 49 met een lager smeltpunt 15 dan het glas 43, gevuld in gesmolten toestand in de van de metalen dunne films 48 voorziene groeven 45, waarna de bovenen voorzijde 41, 44 uiteindelijk als een spiegel worden afgevlakt (figuur 46). Op dit moment blijft een deel van de metalen dunne film 48 over op de binnenzijden 46 van de 20 groeven 45, zodat de ferromagnetisch metalen film 48a is aangebracht op deze binnenzijden 46.

Voor het vormen van het van een groef voor spoelen 61 voorzien kernelement, wordt de groef 61 gevormd op het substraat 40 van ferromagnetische oxyden, zoals dat getoond is 25 in figuur 46, voor het produceren van het substraat 60 van ferromagnetische oxyden zoals getoond in figuur 47. De groeven 42 van het substraat 60 zijn gevuld met glas 43b met een hoog smeltpunt in gesmolten toestand, terwijl de ferromagnetisch metalen dunne films 48b zijn gevormd op de binnen-30 zijden 46 van de groeven 45.

De substraten 40, 60 worden dan opgestapeld en onderling gekoppeld door middel van gesmolten glas op de voorzijde 44 van het substraat 40, welke later de magnetische spleet die aanligt aan de voorzijde 62 van het substraat 60 vormt, 35 welke later de spleet door het medium van een spleetafstands-laag (figuur 48) vormt voor het verschaffen van een blok 43 dat bestaat uit de substraten 40 en 60. Blok 63 wordt dan in plakken gesneden langs lijnen A-A, A'-A' voor het vormen van een veelvoud van kopplakken.

8403971 y . .

-29-

Het aangrijpvlak met de magneetband van de kopplak wordt vervolgens onderworpen aan een cilindrische behandeling voor het vormen van een magnetische, in figuur 49 getoonde transducentkop. De kernelementen 70, 71 van de in figuur 49 5 getoonde magnetische transducentkop zijn verkregen van de substraten 40 resp. 60» De non-magnetische vulmaterialen 72A, 72B komen overeen met de in de groeven 42 gevulde glasmaterialen 43A, 43B met een hoog smeltpunt, terwijl het non-magnetische vulmateriaal 73 overeenkomt met het tot in de groe-10 ven 45 gevulde glasmateriaal 49 met een laag smeltpunt. De op de magnetische transducentkop gevormde ferromagnetisch metalen dunne films 74A, 74B komen overeen met de metalen dunne films 48A, 48B die op de binnenzijden 46 van de groeven 45 gevormd zijn, terwijl de opening voor spoelen 75 overeenkomt 15 met de groef voor spoelen 61.

Bij de met het bovenbeschreven porces vervaardigde magnetische transduceentkop van figuur 49, staat het de mag-neetspleet vormende vlakke oppervlak schuin met een geschikte hoek met betrekking tot het vlakke oppervlak van de magne-20 tisch metalen dunne films 74A, 74B, die slechts in de nabijheid van de magneetspleet gevormd zijn, en zodoende ervoor zorgen, dat de eigenschappen van de magnetische transducent-kop vergelijkbaar zijn met die van de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop.

25 Daar de magneetspleet g slechts door metalen dunne films 74A, 74B wordt gevormd, is de kop verbeterd qua uitgangssignaal en vergelijkbaar met metaalbanden.

De metalen dunne film 74A is gevormd op een continu vlak oppervlak dat bestaat uit de zijde 70A van het uitste-30 kende deel van het kernelement 70 en een zijde van het non-magnetische materiaal 72A, terwijl de metalen dunne film 74B is gevormd op een continu vlak oppervlak dat bestaat uit de zijde 71A van het uitstekende deel van het kernelement 71 en een zijde van het non-magnetische materiaal 72B. Het resul-35 taat is, dat de metalen dunne films 74A, 74B in hun geheel van uniforme filmstructuur zijn en een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn vertonen, zodat een verbetering wordt bereikt in de regi-streerkarakteristiek en het terugspeeluitgangssignaal van 8403971 -30- de transducentkop.

Bij de voorgaande uitvoeringsvorm hadden de lijnen a-a, a'-a', waarlangs het samengestelde in figuur 39 getoonde blok in plakken is gesneden, rechte hoeken ten opzichte van 5 de aanliggende oppervlakken van de substraten 20 en 30. Het is echter mogelijk het blok in een andere richting dan met een rechte hoek in plakken te snijden voor het verschaffen van een magnetische transducentkop voor azimuth-registreren. Het is ook mogelijk in de onderhavige uitvoeringsvorm het in 10 figuur 48 getoonde blok in een schuine richting ten opzichte i van de aanliggende oppervlakken van het substraat 40, 60 in plakken te snijden in plaats van langs lijnen A-A, A’-A' of met rechte hoeken met de aanliggende oppervlakken voor het op overeenkomstige wijze produceren van magnetische transducent-15 koppen voor azimuth-registreren.

Met de in figuur 14, 31 en 49 getoonde magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding, zijn op het substraat van ferromagnetische oxyden gevormde groeven voorheen gevuld met glas en zijn tweede groeven gevormd in de 20 nabijheid van de eerste groeven voor het vormen van schuine vlakke oppervlakken, waarop ferromagnetisch metalen dunne films gevormd worden. Het resultaat is, dat magnetische eigenschappen van de kop uniform zijn, niet slechts in de nabij de magneetspleet gelegen filmdelen, maar in de film-25 delen op de zijden van de uitstekende substraatdelen en worden de ferromagnetische oxyden niet blootgesteld aan het magneetspleetdeel.

Bij gebruik van een magneetband met een hoge coërcive kracht, zoals metaalband, is gevonden, dat de magnetische 30 transducentkop volgens de onderhavige uitvinding een terug-speeluitgangssignaal heeft, dat ongeveer 3 dB hoger is in het frequentiegebied van 1 tot 5 MHz, heeft, dan vergeleken met de experimentele waarden die verkregen zijn met de gebruikelijke magnetische transducentkop, zoals die getoond is in 35 figuur 11, waarbij het ferriet is blootgesteld in het spleet-deel voor een lengte gelijk aan bij voorbeeld 40% van de spoorbreedte. De magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding kan vervaardigd worden met kleinere di-mensionele fluctuaties dan in het geval van de in figuur 3 84 0 3.97 1 -31- getoonde gebruikelijke magnetische transducentkop en gebleken is dat deze een terugspeeluitgangssignaal dat ongeveer 3 dB hoger is dan dat van deze gebruikelijk transducentkop, heeft.

Het Ni-Zn ferriet bij voorbeeld kan in plaats van het 5 Mn-Zn ferriet gebruikt worden als het de kernelementen vormende ferromagnetische oxyde. Permlegeringen of amorfe legeringen kunnen in plaats van Fe-Al-Si legeringen gebruikt worden als het de ferromagnetisch metalen dunne film vormende materiaal met hoge magnetische permeabiliteit, zoals hier-10 boven is besproken.

Bij gebruik van de amorfe legeringen worden uniforme filmeigenschappen van de ferromagnetisch metalen dunne film verhinderd door magnetische anisotropie. De metalen dunne film kan in zijn geheel uniforme magnetische eigenschappen 15 hebben door het vormen van de dunne film op een enkel vlak oppervlak in overeenstemming met de onderhavige uitvinding.

De ferromagnetisch metalen dunne film kan op voordelige wijze worden samengesteld uit één of meer lagen binnen de strekking van de onderhavige uitvinding.

20 Het zal duidelijk zijn uit het voorgaande, dat de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding is samengesteld uit twee, uit ferromagnetische oxyden gevormde kernelementen, en dat de ferromagnetisch metalen dunne film zijn opgedampt door middel van fysische dampneerslag in 25 de nabijheid van het overgangsoppervlak van de kernelementen, zodat het vlak waarin deze metalen dunne films zich hoofdzakelijk bevinden, schuin staat onder een hoek ten opzichte van het overgangsoppervlak van de kernelementen die later het magneetspleetoppervlak vormen. De magneetspleet is slechts 30 door de metalen dunne films die op een gezamenlijk vlak oppervlak zijn gevormd, gevormd.

Zodoende is er bij de vorming van de metalen dunne films geen noodzaak een filmdikte te verschaffen, welke overeenkomt met de spoorbreedte, en kan de transducentkop in 35 massa in een kortere tijd geproduceerd worden.

Het belangrijkste deel van het aangrijpoppervlak met de band wordt gevormd uit ferromagnetische oxyden, zodat de kop superieure slijtweerstand heeft.

De magneetspleet wordt slechts uit de metalen dunne 8403971 -32- films gevormd, zodat de kop een hoog uitgangssignaal heeft en toepasbaar is met de een hoge coërciviteit bezittende band zoals metaalband.

De metalen dunne film wordt gevormd op één vlak 5 oppervlak en is zodoende overal uniform in filmstructuur, terwijl de metalen dunne film als geheel een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn vertoont. Zodoende is de magnetische transducentkop zeer bruikbaar in gebruik en heeft deze een hoge registreerkarak-10 teristiek en een hoog terugspeeluitgangssignaal.

De magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding is zodanig geconstrueerd, dat de magneetspleet in het centrum van de kopplak is en aan beide zijden omgeven is met non-magnetische materialen voor het vermijden van 15 plaatselijke slijtage van de kop.

De de magneetspleet vormende ferromagnetisch metalen dunne films zijn op een rechte lijn gezien op het aangrijp-vlak met de band, gevormd, zodat de ferromagnetisch metalen dunne films niet tegenover· elkaar liggen op andere plaatsen 20 dan de magneetspleet. Het resultaat is de verminderde over-spraak in het lange golflengtegebied. De overspraak kan verder worden verminderd door het veranderen van het groefpro-fiel ten opzichte van het kernelement.

De uniforme magnetische eigenschappen kunnen ver-25 zekerd worden door de gelijkgerichte groei van de zuilvormige structuur van de ferromagnetisch metalen dunne films gezien op het contactoppervlak met de band.

8493971

Claims (41)

1. Magnetische transducentkop omvattende: een eerste magnetisch kernelement, en een tweede magnetisch kernelement, waarbij elk eerste en tweede kernelement een magnetisch 5 ferrietblok en een met het magnetische ferrietblok geïntegreerde magnetische, metalen dunne film omvatten; waarbij het kernelement een eerste vlak oppervlak en een tweede vlak oppervlak vertoont, waarbij de magnetisch metalen dunne film is aangebracht op 10 het tweede vlakke oppervlak en een rand daarop heeft, welke rand wijst naar het eerste vlakke oppervlak, waarbij het tweede vlakke oppervlak schuin is aangebracht ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak? en waarbij eerste en tweede kernelementen op zodanige wijze 15 onderling worden gekoppeld, dat een werkende magneetspleet tussen de rand van de magnetisch metalen dunne film op het eerste kernelement en de rand van de magnetisch metalen dunne film op het tweede kernelement gevormd wordt, en de magnetisch dunne film op het eerste kernelement en de magnetisch 20 metalen dunne film op het tweede kernelement in één gezamenlijk vlak zijn gevormd. 2o Magnetische transducentkop omvattende: een eerste en een tweede magnetische kernelement, die onderling gekoppeld zijn en een werkende magneetspleet tussen 25 eerste oppervlakken van elk van de magnetische kernelementen en een aangrijpvlak dat naar een bewegend magnetisch regi-streermedium wijst, vertoont, waarbij de spleet zich in hoofdzaak loodrecht op het een diepte van de werkende magneetspleet vormende aangrijpoppervlak uitstrekt, 30 waarbij elk magnetisch kernelement gevormd is uit een mane-tisch ferrietblok, en een magnetisch metalen dunne film is gevormd op een tweede oppervlak van het magnetische ferrietblok, waarbij de magnetisch metalen dunne film op een zodanige 35 manier is aangebrachf, dat een rand van de magnetisch metalen dunne film die blootkomt op een eerste oppervlak van het magnetisch kernelement, zich parallel aan een richting van de 8403971 ~ \ ♦ -34- diepte uitstrekt, en een andere rand die op het aangrijpoppervlak blootkorat, zich langs een lijn met een niet-rechte hoek naar de werkende magneetspleet gezien op het aangrijpoppervlak, uitstrekt, 5 en waarbij de kernelemeten op een zodanige manier zijn gekoppeld, dat de werkende magneetspleet wordt gevormd tussen de randen die op het eerste oppervlak van elk van de magnetische kernelementen blootkomen en de andere randen in een gewone rechte lijn zijn opgesteld.

3. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de werkende magneetspleet is aangebracht aan het centrale deel van het aangrijpoppervlak.

4. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat een hoek van het eerste vlakke opper- 15 vlak en het tweede vlakke oppervlak gezien op het aangrijpoppervlak, zich tussen 20° en 80° bevindt.

5. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, gekenmerkt door een opening voor een windingsspoel die op ten minste één van de naar het eerste vlakke oppervlak wij- 20 zende kernelement is aangebracht, welke de werkende magneetspleet en een achterspleet scheidt, en door een gewonden spoel door de opening.

6. Magnetische transducentkop volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat.de magnetisch metalen dunne film zich 25 uitstrekt naar de achterspleet.

7. Magnetische transducentkop volgens, conclusie 5, met het kenmerk, dat de achterspleet is gevormd tussen elk ferrietblok van het kernelement.

8. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 30 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film in hoofdzaak een uniforme zuilvormige structuur over het gehele gebied van de magnetisch metalen dunne film heeft.

9. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een 35 kristallijne legering is.

10. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een Fe-Al-Si legering is,

11. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 8403971 » -35- 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film in hoofdzaak uniforme magnetisch anisotropiekarakteristieken over het gehele gebied van de magnetisch metalen dunne film heeft.

12. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een amorfe legering is.

13. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een 10 metaal-metaloïd amorfelegering is.

14. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaal amorfelegering is.

15. Magnetische transducentkop omvattende: 15 een eerste en een tweede magnetisch kernelement die gekoppeld zijn en een werkende magneetspleet vertonen tussen eerste vlakke oppervlakken van elk van de magnetische kernelementen en een aangrijpvlak met een bewegend magnetisch registreermedium hebben, 20 waarbij elk magnetisch kernelement een derde oppervlak dat zich nabij het eerste vlakke oppervlak en het aangrijpopper-• vlak uitstrekt, vertoont, waarbij het kernelement een magnetisch ferrietblok met een tweede vlak oppervlak dat zich vanaf het eerste vlakke opper-25 vlak naar een zijde van het derde oppervlak uitstrekt, omvat , waarbij een op het tweede vlakke oppervlak gevormde magnetisch metalen dunne film zich uitstrekt vanaf het eerste vlakke oppervlak naar de zijde van het derde oppervlak toe 30 langs een lijn die niet loodrecht is op de magneetspleet gezien op het aangrijpoppervlak, waarbij een non-magnetisch materiaaldeel zich uitstrekt naar het eerste vlakke oppervlak, naar het aangrijpoppervlak en naar het derde oppervlak, 35 waapbij een uitgesneden deel zich uitstrekt vanaf het eerste vlakke oppervlak nabij de magnetisch metalen dunne film, naar het aangrijpoppervlak en naar een ander oppervlak dat zich nabij het eerste vlakke oppervlak en het aangrijpoppervlak uitstrekt, 8403271 * . * -36- waarbij de eerste en tweede kernelementen op een zodanige manier onderling zijn gekoppeld, dat de werkende magneetspleet wordt gevormd tussen randen van de magnetisch metalen dunne films die blootkomen op de eerste vlakke oppervlakken van elk 5 kernelement, en waarbij elke lijn van het eerste kernelement en het tweede kernelement op een gezamenlijke rechte lijn gezien op het aangrijpoppervlak, liggen.

16. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de werkende magneetspleet is aangebracht 10 aan het centrale deel van het aangrijpoppervlak.

17. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat een hoek van het eerste vlakke oppervlak en het tweede vlakke oppervlak gezien op het aangrijpoppervlak, tussen 20® en 80® is.

18. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, gekenmerkt door een opening voor een windingsspoel die op ten minste één van de naar het eerste vlakke oppervlak wijzende kernelementen is aangebracht, welke de werkende magneetspleet en een achterspleet uit elkaar houdt, en door een gewonden 20 spoel door de opening. T9. Magnetische transducentkop volgens conclusie 18, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film zodanig is aangebracht, dat deze zich uitstrekt naar de achterspleet.

20. Magnetische transducentkop volgens conclusie 18, 25 met het kenmerk, dat de achterspleet is gevormd tussen elk ferrietblok van het kernelement.

21. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen film in hoofdzaak een uniforme zuilvormige structuur over het gehele oppervlak 30 van de magnetisch metalen dunne film heeft.

22. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een kristallijne legering is.

23. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, 35 met .het kenmerk, dat de magnetiisch metalen dunne film een Fe-Al-Si legering is.

24. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film in hoofdzaak uniforme magnetische anisotropiekarakteristieken 8403071 m -37- over het gehele oppervlak van de magnetisch metalen dunne film heeft.

25. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een 5 amorfe legering is.

26. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaloïd amorfe legering is.

27. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, 10 met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaal amorfe legering is.

28. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat het non-magnetische materiaaldeel is gevormd uit non-magnetisch glas met een eerste smeltpunt.

29. Magnetische transducentkop volgens conclusie 28, met het kenmerk, dat het uitgesneden deel is gevuld met non-magnetisch materiaal.

30. Magnetische transducentkop volgens conclusie 29, met het kenmerk, dat het non-magnetische materiaal een non- 20 magnetisch glas met een smeltpunt lager dan het eerste smeltpunt is.

31. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat het uitgesneden deel een uitstulpend deel naar de magnetisch metalen dunne film heeft.

32. Magnetische transducentkop omvattende een paar magnetische kernelementen die onderling gekoppeld zijn voor het vormen van een werkende magneetspleet daartussenin en die een aangrijpvlak met een bewegend magnetisch registreermedium vormen, 30 waarbij de werkende magneetspleet gevormd is tussen magnetisch metalen dunne films die elk gevormd zijn in de magnetische kernelementen, en waarbij de magnetisch metalen dunne films zich uitstrekken op het aangrijpoppervlak langs een rechte lijn met een niet-rechte hoek ten opzichte van de wer- 35 kende magneetspleet, en waarbij de magnetisch metalen dunne films een in hoofdzaak uniforme zuilvormige korrelstructuur over het gehele gebied van de magnetisch metalen dunne film hebben.

33. Magnetische transducentkop volgens conclusie 32, 8403971 ^ * ί - -38- met het kenmerk/ dat de magnetisch metalen dunne film een kristallijne legering is.

34. Magnetische transducentkop volgens conclusie 32, met het kenmerk/ dat de magnetisch metalen dunne film een

5 Fe-Al-Si legering is.

35. Magnetische transducentkop omvattende een paar magnetische kernelementen die onderling gekoppeld zijn voor het vormen van een werkende magneetspleet daartussen, en die een aangrijpvlak met een bewegend magnetisch registreermedium 10 vormen, waarbij de werkende magneetspleet is gevormd tussen magnetisch metalen dunne films die elk gevormd zijn in de magnetische kernelementen, en de metalen dunne films zich uitstrekken op het aangrijpvlak langs een rechte lijn met een 15 niet-rechte hoek ten opzichte van de werkende magneetspleet, en waarbij de magnetisch metalen dunne film in hoofdzaak uniforme magnetische anisotropiekarakteristieken over het gehele gebied van de magnetisch metalen dunne film heeft.

36. Magnetische transducentkop volgens conclusie 35, 20 met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een / amorfe legering is.

37. Magnetische transducentkop volgens conclusie 35, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaloïd amorfe legering is.

38. Magnetische transducentkop volgens conclusie 35, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaal amorfe legering is.

39. Werkwijze voor de vervaardiging van een magnetische transducentkop omvattende de volgende stappens 30 a) het preparen van een paar magnetische ferrietblokken die elk een eerste en een tweede nabij elkaar gelegen oppervlakken hebben; b) het vormen van een eerste groef over een hoek van het eerste en het tweede oppervlak, welke groef zich uitstrekt 35 naat het eerste en het tweede oppervlak; c) het over de hoek en nabij de eerste groef vormen van een tweede groef, waarbij de tweede groef een derde oppervlak nabij de eerste groef vertoont en zich schuin uitstrekt ten opzichte van het tweede oppervlak, waarbij een door het tweede « 8403971 i > -39- oppervlak en het derde oppervlak gevormde lijn zich loodrecht op het eerste oppervlak uitstrekt? d) het vormen van een magnetisch metalen dunne film over het oppervlak door fysische dampneerslag? 5 e) het slijpen van een zijde van het tweede oppervlak voor het doen blootkomen van een rand van de magnetisch metalen dunne film? f) het vormen van een derde groef voor het winden van een spoel op ten minste één van de ferrietblokken? en 10 g) het onderling koppelen van de ferrietblokken voor het vormen van een magneetspleet tussen de randen van de op de ferrietblokken gevormde magnetisch metalen dunne films?

40. Werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop volgens conclusie 39, gekenmerkt door 15 de stap van het vullen van non-magnetisch materiaalin de eerste groef.

41. Werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop volgens conclusie 39, gekenmerkt door de stap van het vullen van non-magnetisch materiaal in de 20 tweede groef.

42. Werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop volgens conclusie 41, met het kenmerk, dat een stap van het vullen van non-magnetisch materiaal in de tweede groef en de stap van het onderling koppelen van de 25 ferrietblokken voor het vormen van een magneetspleet tussen de randen van de op elk ferrietblok gevormde magnetisch metalen dunne films tegelijkertijd zijn uitgevoerd. 8403971