NL8403971A - MAGNETIC TRANSDUCENT HEAD. - Google Patents

Description

H AL/EW/1667 Sony Magnetische transducentkopH AL / EW / 1667 Sony Magnetic transducer head

De uitvinding betreft een magnetisch transducentkop en meer in het bijzonder een dergelijke, uit samengesteld magnetisch materiaal gevormde kop, te weten ferromagnetische oxyde-materiaal en ferromagnetische metalen materiaal.The invention relates to a magnetic transducer head and more particularly such a head formed from a composite magnetic material, namely ferromagnetic oxide material and ferromagnetic metal material.

5 Bij toeneming van registreerdichtheid op magnetische banden die gebruikt worden als registreermedia voor video-bandrecorders (VTR's), worden magnetische banden met een grote overblijvende fluxdichtheid Br en een grote coercive kracht Hc, bijvoorbeeld magnetische metaalbanden, waarbij 10 magnetisch metaalpoeder in een laag is aangebracht op een niet-magnetisch substraat met behulp van een bindmiddel voor het vormen van een magnetische registreerlaag, in toenemende aantallen toegepast. Wanneer de magnetische transducentkop gebruikt moet worden bij de metaalband, moet de magnetische 15 veldsterkte van de magnetische spleet van de. kop verhoogd worden om de grote coërcive kracht van de band te kunnen verwerken. Het is ook noodzakelijk de spoorbreedte van de magnetische transducentkop te verminderen bij verhoging van registreerdichtheid. Er zijn bekende, verscheidene magne-20 tische transducentkoppen ontworpen om aan deze vereisten te voldoen, zoals de magnetische transducentkop met de in figuur 1 weergegeven smalle spoorbreedte. Het grootste deel van de magnetische, in figuur 1 transducentkop is gevormd uit glas of dergelijk non-magnetisch materiaal IA, 1B, en een ferro-25 magnetisch metalen, dunne film 2 met een gelijke dikte als de spoorbreedte is centraal ten opzichte van de magnetische kop tussen deze non-magnetische materialen gesandwitched. Deze film 2 wordt vervaardigd door het vormen van een legering met een grote permeabiliteit zoals Sendust (Fe-Al-Si legeringen) 30 op het niet-magnetische materiaal 1A in de vorm van een kern-helft door fysische dampneerslag, zoals sputteren. Hoewel de spoorbreedte op deze wijze verminderd kan worden, wordt de magnetische fluxlijn slechts door de metalen dunne film 2 gedefinieerd en wordt zodoende de bedrijfsefficiëntie 35 verminderd vanwege verhoogde magnetische weerstand. De 8403971 -2- metalen dunne film 2 dient gevormd te worden tot een film-dikte, die gelijk is aan de spoorbreedte door fysische damp-neerslag zoals sputteren. Zodoende is de vervaardiging op de magnetische kop aanzienlijk tijdrovend gezien de lage neer-5 slagsnelheid die met fysische dampneerslag bereikt kan worden. Daar de film 2 op een groot oppervlak gevormd moet worden, is het aantal eenheden dat door een sputtereenheid behandeld kan worden noodzakelijkerwijs gelimiteerd, zodat de koppen niet efficiënt in massa's geproduceerd kunnen worden. 10 De metalen films 2 van extreem kleine filmdikte worden met elkaar in contact geplaatst voor de vorming van de magnetische spleet van de magnetische transducentkop, met het resultaat dat nauwkeurigheid qua spleetgrootte en daardoor de bedrijfszekerheid verminderd worden.5 As recording density increases on magnetic tapes used as recording media for video tape recorders (VTRs), magnetic tapes with a large residual flux density Br and a large coercive force Hc become, for example, magnetic metal tapes, with 10 magnetic metal powder coated on a non-magnetic substrate using a binder to form a magnetic recording layer, used in increasing numbers. When the magnetic transducer head is to be used with the metal tape, the magnetic field strength of the magnetic gap of the. head to be able to handle the band's great coercive force. It is also necessary to reduce the track width of the magnetic transducer head as recording density increases. Known, various magnetic transducer heads have been designed to meet these requirements, such as the magnetic transducer head with the narrow track shown in Figure 1. Most of the magnetic transducer head, shown in Figure 1, is formed of glass or the like non-magnetic material IA, 1B, and a ferro-magnetic metal thin film 2 having the same thickness as the track width is central to the magnetic head switch between these non-magnetic materials. This film 2 is manufactured by forming a high permeability alloy such as Sendust (Fe-Al-Si alloys) 30 on the non-magnetic material 1A in the form of a core half by physical vapor deposition, such as sputtering. Although the track width can be reduced in this way, the magnetic flux line is defined only by the metal thin film 2 and thus the operating efficiency is reduced due to increased magnetic resistance. The 8403971-2 metal thin film 2 should be formed into a film thickness equal to the track width by physical vapor deposition such as sputtering. Thus, manufacture on the magnetic head is considerably time consuming in view of the low deposition rate that can be achieved with physical vapor deposition. Since the film 2 is to be formed on a large area, the number of units that can be handled by a sputtering unit is necessarily limited, so that the heads cannot be mass-produced efficiently. The metal films 2 of extremely small film thickness are placed in contact with each other to form the magnetic slit of the magnetic transducer head, with the result that slit size accuracy and thereby operational reliability are reduced.

15 De in figuur 2 getoonde magnetische transducentkop is op een zodanige wijze vervaardigd, dat, voor het verhogen van de magnetische veldsterkte van de magnetische spleet, ferro-magnetisch metalen dunne films 4 zoals Sendust aan de magnetische spleet zijn gevormd, en zodoende oppervlakken van 20 de kernhelften van ferromagnetische oxyden vormen door gebruik van een fysische dampneerslag, zoals sputteren, en dat de kernhelften onderling worden gekoppeld door het glas 5. Hoewel de magnetische weerstand van de magnetische transducentkop van figuur 2 die gevormd is uit het samengestelde 25 magnetische materiaal, lager gemaakt kan worden dan in het geval van de in figuur 1 getoonde transducentkop, zijn de films 4 gevormd in een richting loodrecht op de magnetische fluxlijn, zodat het terugspeeluitgangssignaal wordt verlaagd vanwege eddy-stroomverliezen. Additionele spleten kunnen ook 30 worden gevormd tussen de ferromagnetische oxydekernen 3 en de metalen magnetische films 4, welke zodoende de bedrijfszekerheid van de transducentkop verminderen.The magnetic transducer head shown in Figure 2 is manufactured in such a way that, in order to increase the magnetic field strength of the magnetic slit, ferromagnetic metal thin films 4 such as Sendust are formed on the magnetic slit, and thus surfaces of 20 the core halves of ferromagnetic oxides form by using a physical vapor deposition, such as sputtering, and that the core halves are coupled together by the glass 5. Although the magnetic resistance of the magnetic transducer head of Figure 2 formed from the composite magnetic material is lower can be made than in the case of the transducer head shown in Figure 1, the films 4 are formed in a direction perpendicular to the magnetic flux line, so that the playback output signal is lowered due to eddy current losses. Additional gaps can also be formed between the ferromagnetic oxide cores 3 and the metal magnetic films 4, thus reducing the reliability of the transducer head.

Ook bekend is een magnetische transducentkop die gevormd is uit samengesteld magnetisch materiaal, en waarvan 35 het de magnetische spleet vormende oppervlak schuin staat ten opzichte van het oppervlak dat de ferromagnetisch metalen film vormt. Figuur 3 laat bij voorbeeld in bovenaanzicht het aangrijpoppervlak met de magneetband van de magnetische transducentkop die beschreven is in een Japans octrooi, te 8403971 m -3- weten Kokai nr. 155513/1983, zien.Also known is a magnetic transducer head formed of composite magnetic material, the magnetic slit forming surface of which is inclined relative to the surface forming the ferromagnetic metal film. For example, Figure 3 is a top plan view of the magnetic tape engagement surface of the magnetic transducer head described in a Japanese patent, 8403971 m -3- Kokai No. 155513/1983.

De in figuur 3 getoonde magnetische transducentkop omvat kernhelften of kernelementen 150, 151 die uit ferro-magnetische oxyden zoals Mn-Zn-ferriet, gevormd zijn. Ferro-5 magnetisch metalen dunne films 155, 156 zoals Sendust zijn aan beide zijden en schrijlings van de ferrietdelen 153, 154 die uitsteken naar een de magnetische spleet 152 vormend oppervlak, aangebracht. Het nummer 157 verwijst naar een stuk versterkt glasmateriaal. De magnetische spleet van de kop 10 wordt gevormd door de dunne films 155, 156 van een ferro-magnetisch metalen materiaal dat aangebracht is in de nabijheid van de uiteinden van de uitstekende ferrietdelen 153, 154. Door deze films 155, 156 van het ferromagnetisch metalen materiaal is de groeirichting van de zuilvormige 15 korrelstructuur bij de uiteinden van de uitstekende ferrietdelen 153, 154 verschillend van die bij de schuine zijden daarvan, één en ander zodanig, dat de kristallen aan beide zijden parallel en uniform met een constante hoek ten opzichte van de zijden groeien, terwijl de kristalgroei aan 20 de uiteinden in een waaiervorm is, dat wil zeggen dat de kristallen uit elkaar worden gespreid naar hun afgelegen einden toe. Het resultaat is, dat de magnetische permeabiliteit van de ferromagnetische, aan de uiteinden gevormde dunne films 155, 156 wordt verlaagd met dienovereenkomstig 25 verlaagde registreerkarakteristieken en terugspeeluitgangs-signaal van de magneetkop.The magnetic transducer head shown in Figure 3 includes core halves or core elements 150, 151 formed from ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite. Ferrous-5 magnetic metal thin films 155, 156 such as Sendust are disposed on both sides and astride the ferrite members 153, 154 projecting to a surface forming the magnetic gap 152. The number 157 refers to a piece of reinforced glass material. The magnetic slit of the head 10 is formed by the thin films 155, 156 of a ferromagnetic metal material arranged in the vicinity of the ends of the projecting ferrite parts 153, 154. Through these films 155, 156 of the ferromagnetic metals material, the direction of growth of the columnar grain structure at the ends of the projecting ferrite parts 153, 154 is different from that of the bevel sides thereof, such that the crystals on both sides are parallel and uniform at a constant angle to the sides grow, while the crystal growth at the ends is in a fan shape, ie the crystals are spread apart towards their remote ends. As a result, the magnetic permeability of the ferromagnetic, end-formed thin films 155, 156 is lowered with correspondingly reduced recording characteristics and playback output signal from the magnetic head.

Het zou de moeite waard zijn, te weten of de opper-vlaktecondities van bij voorbeeld het ferrietsubstraat-oppervlak het filmvormproces beïnvloeden, wanneer de ferro-30 magnetische metalen dunne film wordt gevormd door fysische dampneerslag op het ferrietsubstraat.It would be worth knowing whether the surface conditions of, for example, the ferrite substrate surface affect the film-forming process when the ferrous magnetic metal thin film is formed by physical vapor deposition on the ferrite substrate.

In het algemeen wordt een dunne, door een fysisch dampneerslagsproces gevormde magnetische film op bekende wijze beïnvloedt door de onderlaagcondities. Behalve de 35 kristalstructuur van het substraat en van de onderlaagfilm die gevormd is als een extreem dunne onderlaag op het substraat, zijn ook de geometrische configuratie en uniformiteit van het substraatoppervlak opmerkenswaardig.Generally, a thin magnetic film formed by a physical vapor deposition process is affected in known manner by the underlayer conditions. In addition to the crystal structure of the substrate and of the substrate film formed as an extremely thin substrate on the substrate, the geometric configuration and uniformity of the substrate surface are also noteworthy.

Figuur 4A is een met een aftast-elektronenmicroscoop 8403971 ♦ -4- (SEM) genomen foto van een tweelagige Sendust-film die door sputteren op het ferrietsubstraat met een Si02-film van 500A dikte tussen de Sendustlagen is gevormd. Deze figuur toont, samen met een SEM-foto van figuur 5A het effect van de 5 ferrietsubstraatoppervlak-configuraties op de filmformatie. Figuur 4B en 5B zijn schetsen die slechts de belangrijkste, in de foto’s van figuur 4A, resp. 5A verschijnende kenmerken tonen.Figure 4A is a scanning electron microscope 8403971-4 (SEM) photograph of a two-layer Sendust film formed by sputtering the ferrite substrate with a SiO 2 film of 500A thickness between the Sendust layers. This figure, together with a SEM photo of Figure 5A, shows the effect of the 5 ferrite substrate surface configurations on the film formation. Figures 4B and 5B are sketches that show only the most important ones, in the photos of Figure 4A, respectively. 5A show features.

Figuur 4A toont de op een vlak ferrietsubstraatopper-10 vlak gevormde Sendustfilm. Zoals te zien is in deze foto, zijn de op het vlakke oppervlak gevormde Sendustfilmopper-vlakken 159A, 159B uniform en is de groei van de zuilvormige korrelstructuur van de in doorsneden 160A, 160B verschijnende kristallen van de Sendustfilm uniform en strekt deze zich 15 parallel aan de dikte van de film uit. In deze foto, is de gebroken doorsnede niet alleen van de Sendustfilm, maar ook van het ferrietsubstraat genomen en wordt de gebroken doorsnede in beeld gebracht met de aftast-elektronenmicroscoop vanuit een scheve richting. Op de doorsnede van het ferriet-20 substraat 161 is de doorsnede 160A van de eerste Sendustlaag gevolgd door de doorsnede 160B van de tweede Sendustlaag te zien. De filmoppervlakken 159A, 150B behoren tot de eerste resp. tweede Sendustlaag. De aan het oppervlak 159B van de tweede Sendustlaag verschijnende dunne lijnen vertegen-25 woordigen micro-lijnoneffenheden op het gepoliiste-oppervlak van de naar de Sendustfilm toe verbreide ferrietplak en deze beïnvloeden de magnetische permeabiliteit vah de film niet,Figure 4A shows the Sendust film flat-formed on a ferrite substrate surface-10 plane. As can be seen in this photo, the Sendust film surfaces 159A, 159B formed on the flat surface are uniform and the growth of the columnar grain structure of the crystals of the Sendust film appearing in sections 160A, 160B is uniform and extends parallel to the thickness of the film. In this photo, the broken cross-section is taken not only from the Sendust film, but also from the ferrite substrate, and the broken cross-section is imaged with the scanning electron microscope from an oblique direction. The cross-section of the ferrite-substrate 161 shows the cross-section 160A of the first Sendust layer followed by the cross-section 160B of the second Sendust layer. The film surfaces 159A, 150B belong to the first resp. second Sendust layer. The thin lines appearing on the surface 159B of the second Sendust layer represent micro-line unevenness on the polished surface of the ferrite wafer spread towards the Sendust film and do not affect the magnetic permeability of the film,

De foto wordt op zijn kop getoond, dat wil zeggen met de bovenzijde naar beneden en omgekeerd.The photo is shown upside down, that is, with the top side down and vice versa.

30 Figuur 5A toont de op een onregelmatig oppervlak van het ferrietsubstraat gevormde Sendustfilm. De foto toont het onregelmatige oppervlak 162 van de Sendustfilm overeenkomstig met het originele onregelmatige oppervlak van het ferrietsubstraat. Dit is een aanwijzing voor de vergelijkende groei van 35 de kristalkorrels die niet wordt waargenomen, indien de kristallen op een glad vlak oppervlak kunnen groeien. Ook is de richting van de zuilvormige kristalgroei niet parallel, zoals te zien is in een doorsnede 163 van de Sendustfilm, maar is de zuilvormige kristalgroei uitgespreid in een 8403971 -5-- * ϊ waaiervorm op de uitstekende delen van het ferrietsubstraat.Figure 5A shows the Sendust film formed on an irregular surface of the ferrite substrate. The photograph shows the irregular surface 162 of the Sendust film corresponding to the original irregular surface of the ferrite substrate. This is indicative of the comparative growth of the crystal grains that is not observed if the crystals can grow on a smooth flat surface. Also, the direction of columnar crystal growth is not parallel, as can be seen in a section 163 of the Sendust film, but columnar crystal growth is spread in an 8403971 -5-- * vorm fan shape on the protruding parts of the ferrite substrate.

In de onderhavige SEM-foto, is de gebroken doorsnede niet slechts van de Sendustfilm maar ook van het ferrietsubstraat genomen en de kijkrichting is vanaf de schuine onderzijde.In the present SEM photograph, the broken cross-section is taken not only from the Sendust film but also from the ferrite substrate and the viewing direction is from the oblique bottom.

5 Een Sendustfilmdoorsnede 163 is te zien boven een ferriet-substraatdoorsnede 164. Een grenslijn 164A tussen de doorsneden 163, 164 stelt een uitstekend deel op het ferrietsub-straatoppervlak voor«5 A Sendust film section 163 can be seen above a ferrite substrate section 164. A boundary line 164A between sections 163, 164 represents a projection on the ferrite substrate surface.

De op het ferrietsubstraat met uitsparingen en uit-10 steeksels gevormde Sendustfilm vertoont een verschillende richting van zuilvormige kristalgroei al naar gelang de helling van de uitsparingen. Zodoende zijn de richting en grootte van de zuilvormige kristallen verschillend al naar gelang het profiel en de helling van de bodem van de sub-15 straatuitsparing. Het Sendustfilmoppervlak 162 wordt ook verstoord en de kristalstructuur van de film verschilt aanzienlijk bij verschillende helling op de boedem van de uitsparing. Dergelijke verschillen in de kristalkorrelstructuur nemen grote verschillen in de magnetische permeabiliteit van 20 de Sendustfilm voor hun rekening. De foto in deze figuur is opnieuw in een op-zijn-kop-staande positie genomen.The Sendust film formed on the ferrite substrate with recesses and protrusions shows a different direction of columnar crystal growth depending on the slope of the recesses. Thus, the direction and size of the columnar crystals are different according to the profile and slope of the bottom of the substrate recess. The Sendust film surface 162 is also disturbed and the crystal structure of the film differs significantly with different slope on the base of the recess. Such differences in the crystal grain structure account for large differences in the magnetic permeability of the Sendust film. The photo in this figure has been taken upside down again.

Opgemerkt wordt, dat, daar zowel magnetische permeabiliteit als anisotrope eigenschappen (de richting van gemakkelijke magnetisatie) van een ferromagnetische film aan-25 merkelijk afhangt van de filmstructuur, het gewenst is, dat de magnetische film die een magnetische transducentkop, in het bijzonder één die gebruikt wordt voor magnetisch opnemen en afspelen, vormt, uniform is in structuur. Het is bij voorbeeld vereist, dat zuilvormige kristallen van de boven-30 genoemde Sendustfilm uniform en in één richting moeten groeien. Zou de oriëntatie van de kristalgroei niet uniform zijn in een magnetisch film, dan zou een deel van de film de -juiste magnetische eigenschappen hebben, terwijl het overblijvende deel daarvan inferieure magnetische eigenschappen 35 (vanwege anisotropie) zou hebben.It should be noted that since both magnetic permeability and anisotropic properties (the direction of easy magnetization) of a ferromagnetic film depend significantly on the film structure, it is desirable that the magnetic film containing a magnetic transducer head, especially one is used for magnetic recording and playback, forms, is uniform in structure. For example, it is required that columnar crystals of the above Sendust film must grow uniformly and in one direction. If the orientation of the crystal growth were not uniform in a magnetic film, part of the film would have the correct magnetic properties, while the remainder would have inferior magnetic properties (due to anisotropy).

In figuur 6 is schematisch de structuur van een Sendustfilm getoond, dat wil zeggen de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei, indien de Sendustfilm is neergeslagen door middel van sputteren op en schrijlings over het ^ i § --¾ 3 :· ; v / i ‘ * . \' \ -6- uitstekende deel van het in figuur 3 getoonde ferrietsub-straat. Het is te zien in figuur 6, dat zuilvormige kristallen van de Sendustfilm 171 uniform en onderling parallel aan beide zijden 170A van het uitstekende deel 170 groeien, 5 maar dat deze uit elkaar naa de afgelegen einden toe bij een uiteinde 170B worden uitgespreid. Wanneer de op de uiteinden 170B neergeslagen Sendustfilm 171 is afgeslepen voor het vormen van een magnetisch spleetoppervlak 172, is de filmstructuur bij of in de nabijheid van het spleetoppervlak 172 10 verschillend van die aan de zijden 170A. Zodoende heeft de film 171, met de tranducentkop van het samengestelde magnetische materiaal gebruikmakende van de op het uitstekende deel 170 neergeslagen Sendustfilm 171, indien de Sendustfilm 171 op de zijde 170A een hogere magnetische 15 permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn bezit, nabij het uiteinde 170B slechts een slechte magnetische permeabiliteit.Figure 6 shows schematically the structure of a Sendust film, that is, the orientation of the columnar crystal growth, if the Sendust film has been deposited by sputtering and straddling the cross-section: v / i "*. Projecting portion of the ferrite substrate shown in Figure 3. It can be seen in Figure 6 that columnar crystals of the Sendust film 171 grow uniformly and mutually parallel on both sides 170A of the projection 170, but spread out apart at the distal ends at one end 170B. When the Sendust film 171 deposited on the ends 170B is buffed to form a magnetic slit surface 172, the film structure at or near the slit surface 172 is different from that on the sides 170A. Thus, the film 171, with the transducer head of the composite magnetic material using the Sendust film 171 deposited on the protruding portion 170, if the Sendust film 171 on the side 170A has a higher magnetic permeability in the direction of the magnetic flux line, near the end 170B only poor magnetic permeability.

In plaats van bij voorbeeld een Sendustfilm op en schrijlings over het uitstekende deel van het ferrietsub-20 straat te doen neerslaan, is het ook uitvoerbaar de Sendustfilm 177 slechts op één zijde van het uitstekende deel 175 te doen neerslaan, bij voorbeeld door middel van sputteren, waarbij een maskeerplaat 176 wordt geplaatst om de andere zijde van het uitstekende deel 175 te bedekken. De maskeer-25 plaat 176 geeft echter aanleiding tot een schaduweffect, daar een plaatdikte van meer dan verscheidene tientallen microns vereist is met betrekking tot het hanteren, tot de maskeer-oplijning en vanwege vormvereisten. Vanwege het schaduweffect is de filmstructuur van de in de nabijheid van het uiteinde 30 175B van het uitstekende deel 175 gevormde Sendustfilm 177 en de daaruit voortvloeiende magnetische permeabiliteit-karakteristiek verschillend van die van de filmstructuur op de zijde 175A. Zodoende, indien de op het uiteinde 175B neergeslagen Sendustfilm 177 is afgevlakt tot een magnetisch 35 spleetoppervlak 178.van de magnetische transducentkop, is het niet mogelijk met deze magnetische kop zowel het filmdeel op het uiteinde 175B als het filmdeel op de zijde 175A met hoge permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn toe te rusten.For example, instead of depositing a Sendust film on and straddling the projecting portion of the ferrite substrate, it is also feasible to deposit the Sendust film 177 on only one side of the projecting portion 175, for example, by sputtering. wherein a masking plate 176 is placed to cover the other side of the projection 175. However, the masking plate 176 gives rise to a shadow effect, since a plate thickness of more than several tens of microns is required with respect to handling, masking alignment and due to molding requirements. Because of the shadow effect, the film structure of the Sendust film 177 formed in the vicinity of the tip 175B of the projection 175 and the resulting magnetic permeability characteristic is different from that of the film structure on the side 175A. Thus, if the Sendust film 177 deposited on the end 175B is smoothed to a magnetic slit surface 178 of the magnetic transducer head, it is not possible with this magnetic head to have both the film part on the end 175B and the film part on the high permeability side 175A. along the magnetic flux line.

8403971 * > -7-8403971 *> -7-

Het is ook uitvoerbaar het spleetoppervlak verder af te vlakken om zodoende de filmstructuur bij het uiteinde 175b van de Sendustfilm identiek met die bij de zijde 175a te krijgen. In dit geval echter wordt het ferrietdeel bloot-5 gesteld aan het magnetische spleetoppervlak 179 van de magnetische kop met het resulterende ongemak dat een voldoende magnetische registratie niet kan worden verkregen op de spoordelen van de hoge coërcive kracht bezittende magneetband, zoals metaalband, overeenkomstig met de breedte van het 10 blootgestelde ferrietdeel.It is also feasible to further flatten the slit surface so as to make the film structure at the end 175b of the Sendust film identical to that at the side 175a. In this case, however, the ferrite portion is exposed to the magnetic slit surface 179 of the magnetic head with the resulting inconvenience that a sufficient magnetic recording cannot be obtained on the tracks of the high coercive magnetic tape, such as metal tape, corresponding to the width of the exposed ferrite portion.

Figuur 11 en 12 tonen in bovenaanzicht twee andere voorbeelden van het aangrijpoppervlak met de band van de mag-neetkoppen volgens de stand van de techniek, waarbij het magnetische spleetdeel wordt getoond op een vergrote schaal. Bij 15 de in figuur 11 getoonde magneetkop zijn de Sendustfilms 183 bij voorbeeld slechts aan beide zijden van de naar het de spleetvormende vlakke vlak 180 uitstekende ferrietdelen aangebracht en is het ferrietdeel onbedekt aan het de spleet vormende platte vlak 180. Het nummer 184 verwijst naar een 20 versterkt glasachtig vulmateriaal. Deze magnetische trans-ducentkop maakt gebruik van de op het vlakke oppervlak gevormde Sendustfilm 183 en heeft zodoende geen last van de bovengenoemde non-uniforme filmstructuur. Het magnetisch registreren op een magneetband met een hoge coërcive kracht 25 is echter onvoldoende door de breedte van het op het magnetische spleetoppervlak blootgestelde ferrietdeel, en de magnetische registreerkarakteristieken en het terugspeel-uitgangssignaal zijn overeenkomstig verlaagd.Figures 11 and 12 show in top view two other examples of the engagement surface with the band of the magnetic heads according to the prior art, the magnetic slit part being shown on an enlarged scale. For example, in the magnetic head shown in Figure 11, the Sendust films 183 are disposed only on both sides of the ferrite parts projecting toward the slit-forming flat surface 180 and the ferrite part is uncovered at the slit-forming flat surface 180. The number 184 refers to a 20 reinforced glass-like filler material. This magnetic transducer head utilizes the Sendust film 183 formed on the flat surface and thus does not suffer from the above non-uniform film structure. However, the magnetic recording on a magnetic tape having a high coercive force 25 is insufficient due to the width of the ferrite portion exposed on the magnetic slit surface, and the magnetic recording characteristics and the playback output signal are correspondingly lowered.

In de in figuur 12 getoonde magnetische transducent-30 kop is bij voorbeeld een Sendustfilm 187 op ferrietdelen gevormd en op non-magnetisch glas, dat voorzien is van een hoog smeltpunt bezittende delen 188 van kernelementen 185, 186, zodat de kop wordt gevormd uit samengesteld magnetisch materiaal, te weten ferriet en Sendust. Het nummer 190 35 verwijst naar een glas 190 met en smeltpunt lager dan dat van glas 188. De magneetspleet 189 van de magnetische trans-ducentkop wordt gevormd door de delen van de Sendustfilm 187 die zich parallel aan de magnetische fluxlijn uitstrekken, zodat de Sendustfilm 187A in de nabijheid van de magneet- * e ""v - __ j w -.-1 - -8- ' . * \l \ spleet 189 een uniforme filmstructuur vertoont. Het Sendust-filmdeel 187b dat overeenkomt met de bocht of knie van de Sendustfilm 187 en dat zich daardoor over twee vlakke oppervlakken uitstrekt, heeft geen uniforme filmstructuur, zodat 5 de Sendustfilm 187 als geheel niet constant is qua magnetische permeabiliteit. Ook moet bij deze magnetische trans-ducentkop het Sendustfilmdeel 187a van een filmdeeldikte zijn, die overeenkomt met de spoorbreedte. Vanwege de langzame neerslagsnelheid van de film, zoals mogelijk is met de 10 fysische dampneerslag, is het proces van fabricage van de magnetische transducentkop tijdrovend.For example, in the magnetic transducer-30 head shown in Figure 12, a Sendust film 187 is formed on ferrite parts and on non-magnetic glass having high melting point parts 188 of core elements 185, 186, so that the head is formed of composite magnetic material, namely ferrite and Sendust. The number 190 35 refers to a glass 190 with a melting point lower than that of glass 188. The magnetic gap 189 of the magnetic transducer head is formed by the parts of the Sendust film 187 that extend parallel to the magnetic flux line, so that the Sendust film 187A in the vicinity of the magnet * e "" v - __ jw -.- 1 - -8- '. Slit 189 exhibits a uniform film structure. The Sendust film portion 187b corresponding to the bend or knee of the Sendust film 187 and thereby extending over two flat surfaces does not have a uniform film structure, so that the Sendust film 187 as a whole is not constant in magnetic permeability. Also, with this magnetic transducer head, the Sendust film portion 187a must be of a film section thickness corresponding to the track width. Due to the slow deposition rate of the film, as is possible with the physical vapor deposition, the process of fabrication of the magnetic transducer head is time consuming.

Het Japanse octrooischrift Kokai nr. 169214/1981 toont een magnetische transducentkop, waarin, zoals is getoond in figuur 13, overgangsoppervlakken 195, 196 van mag-15 netische legeringsfilms 191, 192 en ferrietdelen 193, 194 onder een scherpe hoek met betrekking tot het tegenoverliggende oppervlak van de kopspleet 197 staan of ten opzichte van een richting loodrecht op de relatieve bewegingsrichting van het magnetische registreermedium. Bij de in figuur 13 ge-20 toonde magnetische transducentkop echter zijn de magnetische legeringsfilms 191, 192 onderling tegenover elkaar liggend in andere delen dan de kopspleet 197 aangebracht, zodat over-spraak veroorzaakt kan worden, in het bijzonder in het een grote golflengte bezittend signaal door het opnemen van 25 signalen van naburige sporen of de signalen van elk ander spoor, en tot nu toe zijn geen middelen gevonden voor het vermijden hiervan. Bovendien kan plaatselijke slijtage worden veroorzaakt door de naar één zijrand van de kopschijf versprongen kopspleet 197. De magnetische legeringsfilms 191, 30 192 zijn onderling op een zodanige wijze aanliggend, dat de richting van de zuilvormige kristalgroei van de film 191 niet samenvalt met die van de film 192, en uniforme magnetische eigenschappen zijn moeilijk te bereiken met de magneetkop 197.Japanese Patent Kokai No. 169214/1981 shows a magnetic transducer head in which, as shown in Figure 13, transition surfaces 195, 196 of magnetic alloy films 191, 192 and ferrite parts 193, 194 are at an acute angle with respect to the opposite surface of the head gap 197 or with respect to a direction perpendicular to the relative direction of movement of the magnetic recording medium. However, in the magnetic transducer head shown in Figure 13, the alloy magnetic films 191, 192 are mutually opposed in parts other than the head gap 197, so that cross-talk can be caused, especially in the high wavelength signal by recording signals from neighboring tracks or the signals from any other track, and no means have yet been found to avoid them. In addition, local wear may be caused by the head gap 197 offset to one side edge of the head disc. The magnetic alloy films 191, 192 are abutting in such a manner that the direction of columnar crystal growth of the film 191 does not coincide with that of the film 192, and uniform magnetic properties are difficult to achieve with the magnetic head 197.

35 Hoewel de kristallijne Sendustfilm hierboven aan gegeven is als een voorbeeld van een dunne ferromagnetische film, is een uniforme filmstructuur ook vereist, indien een amorfe legering wordt gebruikt voor het vormen' van de dunne film. Daar de film amorf is, gaat het niet om de uniformiteit 8403971 ιρ -9- r in de kristalkorrelstructuur, maar om de uniformiteit in de magnetische anisotropie. Indien de amorfe legering op een vlak oppervlak wordt opgedampt voor het vormen van een dunne film, is de magnetische anisotropie hetzelfde over de gehele 5 film. Indien de legering echter schrijlings over een uitstekend deel en over een vlak deel wordt opgedampt, is de magnetische gebiedstructuur of de magnetische permeabiliteit niet uniform.Although the crystalline Sendust film has been cited above as an example of a thin ferromagnetic film, a uniform film structure is also required if an amorphous alloy is used to form the thin film. Since the film is amorphous, it is not about the uniformity in the crystal grain structure, but about the uniformity in the magnetic anisotropy. If the amorphous alloy is deposited on a flat surface to form a thin film, the magnetic anisotropy is the same throughout the film. However, if the alloy is vapor-deposited over a protruding portion and over a flat portion, the magnetic region structure or magnetic permeability is not uniform.

In het licht van de bovenbeschreven inrichting vol-10 gens de stand van de techniek, is het belangrijkste doel van de onderhavige uitvinding een magnetische transducentkop die voordelig in massa geproduceerd kan worden, te verschaffen, en die geschikt is voor het met hoge dichtheid registreren op een magneetband die een hoge coërcive kracht Hc vertoont, zo-15 als metaalband.In view of the prior art apparatus described above, the main object of the present invention is to provide a magnetic transducer head which can be mass-produced advantageously and which is suitable for high density recording on a magnetic tape exhibiting a high coercive force Hc, such as a metal tape.

Een ander doel van·de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een een groot uitgangssignaal verschaffende magnetische transducentkop die betrouwbaar in bedrijf is, en die uniforme filmkarakteristiéken van de dunne ferromag-20 netische metalen film in de nabijheid van de magneetspleet vertoont.Another object of the present invention is to provide a large output magnetic transducer head which is reliable in operation, and which exhibits uniform film characteristics of the ferrous magnetic metal thin film in the vicinity of the magnetic gap.

Een ander doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een magnetische transducentkop, die vrij is van plaatselijke slijtage, en die superieure slijtweerstand 25 vertoont.Another object of the present invention is to provide a magnetic transducer head which is free from local wear and which exhibits superior wear resistance.

Volgens een uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding presenteert de uitvinding een magnetische transducentkop omvattende: een eerste magnetisch kernelement, en een tweede magnetisch kernelement, 30 waarbij elk eerste en tweede kernelement een magnetisch ferrietblok en een met het magnetische ferrietblok geïntegreerde magnetische, metalen dunne film omvatten; waarbij het kernelement een eerste vlak oppervlak en een tweede vlak oppervlak vertoont, 35 waarbij de magnetisch metalen dunne film is aangebracht op het tweede vlakke oppervlak en een rand daarop heeft, welke rand wijst naar het eerste vlakke oppervlak, waarbij het tweede vlakke oppervlak schuin is aangebracht ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak; en ·*»' * Λ ' - i -10- - ' 4 \' \ waarbij eerste en tweede kernelementen op zodanige wijze onderling worden gekoppeld, dat een werkende magneetspleet tussen de rand van de magnetisch metalen dunne film op het eerste kernelement en de rand van de magnetisch metalen dunne film op het tweede kernelement gevormd wordt, en de magnetisch dunne film op het eerste kernelement en de magnetisch metalen dunne film op het tweede kernelement in één gezamenlijk vlak zijn gevormd.According to an embodiment of the present invention, the invention presents a magnetic transducer head comprising: a first magnetic core element, and a second magnetic core element, wherein each first and second core element comprise a magnetic ferrite block and a magnetic metal thin film integrated with the magnetic ferrite block; the core element having a first flat surface and a second flat surface, the magnetic metal thin film being applied to the second flat surface and having an edge thereon, said edge pointing to the first flat surface, the second flat surface being oblique arranged relative to the first flat surface; and · * »'* Λ' - i -10- - '4 \' \ whereby first and second core elements are mutually coupled in such a manner that a working magnetic gap between the edge of the magnetic metal thin film on the first core element and the edge of the magnetic metal thin film on the second core element, and the magnetic thin film on the first core element and the magnetic metal thin film on the second core element are formed in one common plane.

In de tekening tonen: figuur 1 en 2 perspectivische aanzichten die twee voorbeelden van de gebruikelijke magnetische transducent-koppen tonen, figuur 3 een bovenaanzicht dat op vergrote schaal het op de band aangrijpende oppervlak van een gebruikelijkemag-neetkop toont, figuur 4A een SEM-foto die een kristallijne structuur van een tweelagige, door sputteren op een vlak ferrietsub-straatoppervlak gevormde Sendustfilm, figuur 4B een schets die slechts de in het oog springende kenmerken van de SEM-foto van figuur 4A toont, figuur 5A een SEM-foto, die een kristallijne structuur van de door sputteren op een onregelmatig ferrietsub-straatoppervlak gevormde Sendustfilm toont, figuur 5B een schets, die slechts de in het oog springende kenmerken van de SEM-foto van figuur 5 toont, figuur 6 tot 10 schematische doorsnede-aanzichten die het vervaardigingsproces van de gebruikelijke magnetische transducentkop tonen en in het bijzonder de richting van de zuilvormige kristalgroei van, bij voorbeeld, de op uitstekende ferrietdelen gevormde Sendustfilm tonen, figuur 11 en 12 vergrote bovenaanzichten, die aan-grijpoppervlakken met de band van de gebruikelijke magnetische transducentkoppen tonen, figuur 13 een vergroot bovenaanzicht dat het aan-grijpvlak met de band van een andere conventionele transducentkop toont, figuur 14 een perspectivisch aanzicht, dat een magnetische transducentkop volgens een uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding toont, 8403971 * *5 -11- » figuur 15 een vergroot bovenaanzicht, dat het aan-grijpoppervlak met de band van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop toont, figuur 16 een geëxplodeerd perspectivisch aanzicht 5 van de in figuur. 14 getoonde kop, waarbij de figuur op het de kern scheidende vlak is geëxplodeerd, figuur 17 tot 23 perspectivische aanzichten die dè achtereenvolgende stappen voor de vervaardiging van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop tonen, 10 figuur 24 en 25 schematische doorsnede-aanzichten, ; die de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de ferromagnetisch metalen film (Fe-Al-Si legeringsfilm) die op het substraat bij de in figuur 20 respectievelijk figuur 21 getoonde stappen gevormd zijn, tonen, 15 figuur 26 een perspectivisch aanzicht dat een gemodi ficeerd groefprofiel voor de in figuur 17 getoonde stap toont, figuur 27 een vergroot bovenaanzicht van het aan-grijpvlak met de band van de magnetische transducentkop in-20 dien het in figuur 26 getoonde groefprofiel wordt toegepast, figuur 28 tot 30 vergrote bovenaanzichten van het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop overeenkomend met de in figuur 26 getoonde modificatie, figuur 31 een perspectivisch bovenaanzicht dat het 25 aangrijpvlak met de band van de in figuur 26 getoonde magnetische transducentkop toont, figuur 33 tot 39 perspectivische aanzichten die de achtereenvolgende stappen voor de vervaardiging van de in figuur 31 getoonde transducentkop tonen, 30 figuur 40 en 41 schematische doorsnede-aanzichten die de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de ferro-magnetische metaalfilm (Fe-Al-Si legeringsfilm) tonen, welke film is gevormd op het substraat bij de in figuur 36 respectievelijk 37 getoonde processtappen, 35 % figuur 42 tot 48 perspectivische aanzichten die de achtereenvolgende stappen voor de vervaardiging van een magnetische transducentkop volgens een andere modificatie tonen, figuur 49 een perspectivisch aanzicht dat een magnetische transducentkop toont, welke volgens de in figuren / ^ -12- 42 tot 48 getoonde processtappen is vervaardigd.In the drawing: Figures 1 and 2 show perspective views showing two examples of the conventional magnetic transducer heads, Figure 3 shows a top view to an enlarged scale of the tape-engaging surface of a conventional magnetic head, Figure 4A a SEM photo showing a crystalline structure of a two-layer Sendust film formed by sputtering on a flat ferrite substrate surface, Figure 4B, a sketch showing only the salient features of the SEM photo of Figure 4A, Figure 5A, a SEM photo crystalline structure of the Sendust film formed by sputtering on an irregular ferrite substrate surface, Figure 5B shows a sketch showing only the salient features of the SEM photo of Figure 5, Figures 6 to 10 schematic cross-sectional views showing the manufacturing process of the conventional magnetic transducer head and in particular the direction of columnar crystal growth of, for example, the Sendust film formed on protruding ferrite parts, FIGS. 11 and 12 are enlarged plan views showing band engagement surfaces of the conventional magnetic transducer heads, FIG. 13 an enlarged plan view showing the band engagement surface of another conventional transducer head, FIG. 14 is a perspective view showing a magnetic transducer head according to an embodiment of the present invention; FIG. 15 is an enlarged plan view showing the engagement surface with the band of the magnetic transducer head shown in FIG. 14, figure 16 is an exploded perspective view 5 of the one in figure. 14, with the figure exploded on the core-separating plane, FIGS. 17 to 23, perspective views showing the successive steps for the fabrication of the magnetic transducer head shown in FIG. 14, FIG. 24, and 25 schematic sectional views; showing the orientation of the columnar crystal growth of the ferromagnetic metal film (Fe-Al-Si alloy film) formed on the substrate in the steps shown in Figure 20 and Figure 21, respectively, Figure 26 is a perspective view showing a modified groove profile for the step shown in figure 17, figure 27 shows an enlarged plan view of the engagement surface with the band of the magnetic transducer head if the groove profile shown in figure 26 is used, figure 28 to 30 enlarged plan views of the engagement surface with the band of the magnetic transducer head corresponding to the modification shown in Figure 26, Figure 31 is a top perspective view showing the engagement surface with the band of the magnetic transducer head shown in Figure 26, Figures 33 to 39 are perspective views showing the successive steps for manufacturing show the transducer head shown in Figure 31, diagrams 40 and 41 sectional views showing the orientation of the columnar crystal growth of the ferromagnetic metal film (Fe-Al-Si alloy film), which film is formed on the substrate in the process steps shown in Figures 36 and 37, respectively, 35% Figures 42 to 48 views showing the successive steps for manufacturing a magnetic transducer head according to another modification, Figure 49 shows a perspective view showing a magnetic transducer head made according to the process steps shown in Figures 42 to 48.

Met referentie aan de tekeningen worden verscheidene voorkeursuitvoeringsvormen van de onderhavige uitvinding in detail besproken.With reference to the drawings, various preferred embodiments of the present invention are discussed in detail.

5 Met referentie allereerst aan figuur 14 wordt een magnetische transducentkop volgens de eerste uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding beschreven, waarbij een fêrro-magnetisch metalen dunne film ononderbroken wordt gevormd vanaf de voorzijde of vanaf het de voorspleet vormende opper-10 vlak tot de achterzijde of het de achterspleet vormende oppervlak van de magnetische transducentkop gevormd.Referring first to Fig. 14, a magnetic transducer head according to the first embodiment of the present invention is described, wherein a ferro-magnetic metal thin film is continuously formed from the front or from the slit surface to the back or the the rear slit-forming surface of the magnetic transducer head.

Deze kop is samengesteld uit uit ferromagnetische oxyden gevormde kernelementen 80, 81 bij voorbeeld uit Mn-Zn ferriet. Aan de overgangsoppervlakken van de kernelementen 15 80, 81 zijn metalen dunne films 82 van ferromagnetisch metaal of van raetaallegeringen met een hoge permeabiliteit gevormd, zoals Fe-Al-Si legeringen door gebruik van de fysische damp-neerslag, zoals sputteren. Deze films 82 zijn ononderbroken gevormd vanaf het de voorspleet vormende oppervlak tot aan 20 het de achterspleet vormende oppervlak. Een magnetische spleet g wordt gevormd slechts door deze dunne films 82. Deze films 82 op de kernelementen 80, 81 strekken zich als een schuine rechte lijn uit, gezien vanaf het bandaangrijpopper-vlak, indien de kleine dikte van deze films 82 wordt verwaar-25 loosd. De nummers 83, 84 verwijzen naar versterkende non-magnetische secties die zijn gevuld in uitgesneden delen nabij het overgangsoppervlak en ook voor het bepalen van een spoorbreedte Tw worden gebruikt. Het nummer 85 verwijst naar een opening voor spoelen.This head is composed of core elements 80, 81 formed from ferromagnetic oxides, for example from Mn-Zn ferrite. Metal thin films 82 of ferromagnetic metal or high permeability ferrous metal alloys, such as Fe-Al-Si alloys, are formed at the transition surfaces of the core elements 15, 80, 81 using the physical vapor deposition, such as sputtering. These films 82 are continuously formed from the slit-forming surface to the back slit-forming surface. A magnetic gap g is formed only by these thin films 82. These films 82 on the core elements 80, 81 extend as an oblique straight line as viewed from the tape engaging surface if the small thickness of these films 82 is neglected. unloaded. Numbers 83, 84 refer to reinforcing non-magnetic sections which are filled in cut sections near the transition surface and are also used to determine track width Tw. The number 85 refers to an opening for rinsing.

30 De metalen dunne films 82 zijn gevormd op een enkel vlak oppervlak dat gedefinieerd wordt door één schuin oppervlak 80a van het kernelement 80 en door een schuin oppervlak 81a van het kernelement 81. Daardoor zijn de metalen dunne films 82 in het geheel van uniforme filmstructuur en vertonen 35 zij,een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn voor het verbeteren van de registreer-karakteristieken en verhoogde terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop.The metal thin films 82 are formed on a single flat surface which is defined by one sloping surface 80a of the core element 80 and by an inclined surface 81a of the core element 81. Therefore, the metal thin films 82 are in the entirety of uniform film structure and they exhibit a high magnetic permeability in the direction of the magnetic flux line for improving the recording characteristics and increased playback output from the magnetic transducer head.

Het de dunne films 82 bepalende oppervlak vormt een 8403971 m -13- scherpe hoek ö met het de magnetische spleet g vormende oppervlak, zoals dat getoond is in figuur 15 die het aan-grijpvlak met de magneetband in bovenaanzicht toont, in de onderhavige uitvoeringsvorm wordt de hoek θ gekozen met een 5 relatief kleine waarde van ongeveer 45°, zodat de interactie van de magneetspleet g met het scheidingsvlak tussen de schuine oppervlakken 80a, 81a en de dunne films 82 verwaarloosbaar is.The surface defining the thin films 82 forms an acute angle ö with the surface forming the magnetic slit g, as shown in Fig. 15, which shows the engagement surface with the magnetic tape in top view, in the present embodiment. the angle θ chosen with a relatively small value of about 45 °, so that the interaction of the magnetic gap g with the interface between the inclined surfaces 80a, 81a and the thin films 82 is negligible.

De neergeslagen metalen dunne films 82 behoeven 10 slechts van een filmdikte t te zijn, zodat t = Tw sin θ waarbij Tw een spoorbreedte voorstelt en een hoek tussen het de metalen dunne film.bepalende oppervlak en het de magnetische spleet bepalende oppervlak voorstelt. Het 15 resultaat is dat de film niet behoeft te worden neergeslagen tot een dikte die gelijk is aan de spoorbreedte en zodoende wordt de voor de vervaardiging van de magnetische trans-ducentkop vereiste tijd aanzienlijk teruggebracht.The deposited metal thin films 82 need only be of a film thickness t, so that t = Tw sin θ where Tw represents a track width and an angle between the surface defining the metal thin film and the magnetic gap defining surface. The result is that the film does not have to be deposited to a thickness equal to the track width and thus the time required for the manufacture of the magnetic transducer head is considerably reduced.

Opgemerkt zij, dat de hoek θ van 45* tussen het de 20 films 82 bepalende oppervlak en het de magnetische spleet g bepalende oppervlak niet tot die waarde beperkt is en ook een waarde in het gebied van ongeveer 20* tot ongeveer 80“ kan bedragen. Niettegenstaande dat, wordt aan een hoek van meer dan 30" de voorkeur heeft, daar overspraak met het naburige 25 spoor wordt vermeerderd met een hoek die minder dan 20“ bedraagt. De hoek kleiner dan ongeveer 80* heeft de voorkeur, daar slijtweerstand afneemt met de hoek gelijk aan 90". De hoek Θ gelijk aan 90* heeft eveneens niet de voorkeur, daar de. dikte van de dunne film 82 van het ferromagrtetisch metaal 30 niet gelijk behoeft te zijn aan de spoorbreedte die aanleiding geeft tot de non-uniforme filmstructuur en de tijdrovende operatie van het vormen van de dunne film in vacuüm, zoals hierboven is beschreven.It should be noted that the angle θ of 45 * between the surface defining the films 82 and the surface defining the magnetic gap g is not limited to that value and may also be a value in the range from about 20 * to about 80 °. Notwithstanding, an angle of more than 30 "is preferred, since crosstalk with the neighboring track is increased by an angle of less than 20". The angle of less than about 80 * is preferred, since wear resistance decreases by the angle equal to 90 ". The angle Θ equal to 90 * is also not preferred, since the. thickness of the thin film 82 of the ferrous magnetic metal 30 need not be equal to the track giving rise to the non-uniform film structure and the time consuming operation of forming the thin film in vacuum, as described above.

De metalen dunne films 82 kunnen gevormd worden uit 35 ferrpmagnetische metalen, omvattende Fe-Al-Si legeringen, Fe-Al legeringen, Fe-Si legeringen, Fe-Si-Co legeringen,The metal thin films 82 can be formed from 35 ferromagnetic metals, including Fe-Al-Si alloys, Fe-Al alloys, Fe-Si alloys, Fe-Si-Co alloys,

Ni-Fe legeringen (zogenoemde permlegeringen), ferromag-netische amorfe metaallegeringen, of zogenoemde amorfe legeringen, zoals raetaal-metaloïd amorfe legeringen, bij 8403971 ' - * 3 -14- voorbeeld een legering van één of meer uit de groep van Fe#Ni-Fe alloys (so-called perm alloys), ferromagnetic amorphous metal alloys, or so-called amorphous alloys, such as rational metaloid amorphous alloys, for example, an alloy of one or more from the group of Fe # 8403971.

Ni en Co gekozen elementen met één of meer van de groep van P, C, B en Si gekozen elementen, of een legering béstaande in hoofdzaak uit de eerstgenoemde legering en bevattende Al, Ge, 5 Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf of Nb, of een metaal-metaal amorfe legering bestaande uit in hoofdzaak overgangs-metaalelementen en een glas vormende metalen elementen zoals Hf of Zr.Ni and Co selected elements with one or more of the group of P, C, B and Si selected elements, or an alloy consisting essentially of the former alloy and containing Al, Ge, 5 Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf or Nb, or a metal-metal amorphous alloy consisting of mainly transition metal elements and glass-forming metal elements such as Hf or Zr.

Bij voorkeur is de samenstelling van de Fe-Al-Si 10 legeringen zodanig gekozen, dat de Al bestanddelen in het gebied van 2 tot 10 gewichtspocent zijn, en de Si bestanddelen in het gebied van 4 tot 15 gewichtsprocent zijn, waarbij de rest Fe is. Daardoor heeft het de voorkeur, dat indien de Fe-Al-Si legeringen worden uitgedrukt als 15 Fe a Al b Si c waarbij a, b en c de gewichtsverhouding van de respectievelijk daarbij behorende componenten de waarden a, b en c in het gebied zijn van: 70; 5 a < 95 20 2 S b£ 10 4 < c £ 15Preferably, the composition of the Fe-Al-Si 10 alloys is chosen such that the Al components are in the range of 2 to 10 weight percent, and the Si components are in the range of 4 to 15 weight percent, the balance being Fe . Therefore, it is preferred that if the Fe-Al-Si alloys are expressed as 15 Fe a Al b Si c where a, b and c are the weight ratio of the respective associated components the values a, b and c in the range from: 70; 5 a <95 20 2 S b £ 10 4 <c £ 15

Indien de Al of Si bestanddelen te weinig of te veel zijn, worden de magnetische eigenschappen van de Fe-Al-Si legeringen verslechterd.If the Al or Si components are too little or too much, the magnetic properties of the Fe-Al-Si alloys are deteriorated.

25 In de bovengenoemde samenstelling kan een gedeelte van Fe worden vervangen door ten minste één van Co en Ni.In the above composition, a portion of Fe can be replaced by at least one of Co and Ni.

De verzadigingsmagnetische-fluxdichtheid kan worden verbeterd door het vervangen van een deel Fe met Co. Bovenal kan de maximale verzadigingsmagnetische-fluxdichtheid Bs 30 worden bereikt wanneer 40 gewichtsprocent Fe wordt vervangen door Co. Bij voorkeur is de hoeveelheid Co 0 tot 60 gewichtsprocent ten opzichte van Fe.The saturation magnetic flux density can be improved by replacing a portion of Fe with Co. Most importantly, the maximum saturation magnetic flux density Bs 30 can be achieved when 40 weight percent Fe is replaced by Co. Preferably, the amount of Co is 0 to 60 weight percent relative to Fe.

Anderzijds kan, door het vervangen van een deel Fe met Ni de magnetische permeabiliteit worden gehandhaafd op 35 een hogere waarde zonder de verzadigingsmagnetische flux-* dichtheid Bs te verminderen. In dit geval is de hoeveelheid Ni bij voorkeur in het gebied van 0 tot 40 gewichtsprocent ten opzichte van Fe.On the other hand, by replacing a portion of Fe with Ni, the magnetic permeability can be maintained at a higher value without reducing the saturation magnetic flux density Bs. In this case, the amount of Ni is preferably in the range of 0 to 40 weight percent relative to Fe.

Andere elementen kunnen ook worden toegevoegd aan de 8 4 0 3 S 7 1 -15-Other elements can also be added to the 8 4 0 3 S 7 1 -15-

Fe-Al-Si legeringen voor het verbeteren van de corrosie en slijtweerstand. De elementen die als zulke toevoegingen gebruikt kunnen worden, kunnen elementen uit groep lila omvatten, inclusief lanthanides zoals Sc, Y, La, Ce, Nd en Gd, 5 elementen uit groep IVa zoals Ti, Zr of Hf, elementen uit groep Va zoals V, Nb of Ta? elementen uit groep Vla zoals Cr,Fe-Al-Si alloys for improving corrosion and wear resistance. The elements which can be used as such additives may include Group IIIa elements including lanthanides such as Sc, Y, La, Ce, Nd and Gd, Group IVa elements such as Ti, Zr or Hf, Group Va elements such as V , Nb or Ta? elements from group Vla such as Cr,

Mo of W? elementen uit groep Vila zoals Mn, Te of Re? elementen uit groep Ib zoals Cu, Ag of Au, of elementen uit de platinagroep zoals Ru, Rh, Pd, en Ga, In, Ge, Sn, Sb of 10 Bi.Mo or W? elements from group Vila such as Mn, Te or Re? elements from group Ib such as Cu, Ag or Au, or elements from the platinum group such as Ru, Rh, Pd, and Ga, In, Ge, Sn, Sb or 10 Bi.

Als filmvormend proces kan elke bekende fysische dampneerslag worden toegepast, zoals ontladingsopdamping, ionenbekleding, sputteren of een gebundeld ionenstraalproces.Any known physical vapor deposition can be used as the film-forming process, such as discharge evaporation, ion coating, sputtering or a bundled ion beam process.

Het is bekend, dat bij het produceren van de boven-15 beschreven dunne film van een ferromagnetisch metaal door bij voorbeeld sputteren, er een zuilvormige structuur wordt opgewekt in een dunne film van een onder een bepaalde conditie verkregen ferromagnetisch metaal en zodoende een dunne film met excellente magnetische eigenschappen kan worden ver- .It is known that in producing the above-described thin film of a ferromagnetic metal by, for example, sputtering, a columnar structure is generated in a thin film of a ferromagnetic metal obtained under a certain condition and thus a thin film with excellent magnetic properties can be changed.

20 kregen. Bovenal wordt in het algemeen gedacht dat', indien de dunne film van het ferromagnetische metaal bedoeld is om te worden gebruikt als de samengestelde magnetische kop om de anisotropen van de gevormde film te onderdrukken, er de voorkeur aan wordt gegeven aan het opwekken van de zuilvormige 25 structuur met rechte hoeken met het substraatoppervlak waarop de film'is gevormd.20. Above all, it is generally believed that if the ferromagnetic metal thin film is intended to be used as the composite magnetic head to suppress the anisotropes of the formed film, it is preferred to generate the columnar Right angle structure with the substrate surface on which the film is formed.

Niettegenstaande dat heeft, bij de op deze wijze verkregen ferromagnetisch metalen dunne film, dat wil zeggen met de zuilvormige structuur die gegroeid is met rechte hoeken op 30 het substraatoppervlak, de kleinste verandering in sputter-condities of substraatpositie op delicate wijze een invloed op de groei van de zuilvormige structuur hebben, zodat de resulterende dunne film op belangrijke wijze qua magnetische permeabiliteit met daaruit voortvloeiende dispersie in het 35 terugspeeluitgangssignaal van de magnetische tranducentkop wordt veranderd.Notwithstanding, with the ferromagnetic metal thin film thus obtained, that is, with the columnar structure grown with right angles on the substrate surface, the slightest change in sputtering conditions or substrate position delicately influences growth of the columnar structure so that the resulting thin film is significantly changed in magnetic permeability with resulting dispersion in the playback output signal of the magnetic transducer head.

Daarom heeft het de voorkeur, indien de metalen dunne film 82 op een zodanige manier wordt aangebracht, dat de richting van de zuilvormige kristalgroei onder een vooraf- 8403971 * Zk -16- bepaalde hoek λ van 5® tot 45° schuin staat met betrekking tot een op elk van de schuine vlakke oppervlakken 80A, 81A getrokken loodlijn.Therefore, it is preferable if the metal thin film 82 is applied in such a manner that the direction of columnar crystal growth is inclined at a predetermined angle λ from 5® to 45 ° with respect to one perpendicular drawn on each of the inclined planar surfaces 80A, 81A.

Indien ervoor wordt gezorgd dat de metalen dunne 5 films 82 op deze wijze met een vooraf gekozen hoek λ met betrekking tot de op de schuine oppervlakken 80A, 81A getrokken loodlijnen groeien, zijn magnetische eigenschappen van het resulterende ferromagnetische metalen dunne films 82 stabiel en superieur, hetgeen resulteert in verbeterde magne-10 tische eigenschappen van de magnetische transducentkop.If the metal thin films 82 are caused to grow in this manner at a preselected angle λ with respect to the perpendiculars drawn on the inclined surfaces 80A, 81A, magnetic properties of the resulting ferromagnetic metal thin films 82 are stable and superior, resulting in improved magnetic properties of the magnetic transducer head.

De hoek die de richting van de zuilvormige kristalgroei van de metalen dunne film 82 maakt met de loodrechte richting op het schuine oppervlak 80A, 81A is bij voorkeur in het gebied van 5° tot 45° voor de beste resultaten.The angle making the columnar crystal growth direction of the metal thin film 82 with the perpendicular direction to the bevel surface 80A, 81A is preferably in the range of 5 ° to 45 ° for best results.

15 Indien de hoek λ minder dan 5e is, is het terug- speeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop sterk fluctuerend, wat daardoor resulteert in een lagere opbrengst snelheid en verhoogde kosten. Indien λ meer dan 45® bedraagt, worden de magnetische eigenschappen van de dunne films 82 20 drastisch beïnvloed door aanzienlijke verarming tussen de zuilvormige kristallen en oppervlakteruwheid die zodoende het terugspeeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop doet verminderen. Met de hoek λ in het gebied van 5® tot 45° is de groei van de zuilvormige kristallen gefixeerd vanwege 25 de schuine inval en worden de magnetische eigenschappen niet merkbaar veranderd met kleine fluctuaties in de sputtercondities of verschillen in de substraatpositie. De afwisselende condensatie en verdunning tussen of in de zuilvormige kristallen die opgewekt worden door schuine groei, verspreiden de 30 gedurende het sputteren veroorzaakte spanning, het uitgloeien van de film en de werking van de kop, zodat het terugspeeluitgangssignaal wordt verhoogd, waarbij de uitgangs-fluctuaties minder dan ongeveer 2dB zijn.If the angle λ is less than 5th, the playback output signal from the magnetic transducer head is highly fluctuating, resulting in a lower yield rate and increased cost. If λ is more than 45®, the magnetic properties of the thin films 82 are drastically affected by significant depletion between the columnar crystals and surface roughness, thus reducing the playback output signal of the magnetic transducer head. With the angle λ in the range 5® to 45 °, the growth of the columnar crystals is fixed due to the oblique incidence and the magnetic properties are not noticeably changed with small fluctuations in the sputtering conditions or differences in the substrate position. The alternating condensation and dilution between or in the columnar crystals generated by oblique growth disperses the stress generated during sputtering, film annealing and head action, thereby increasing the playback output signal, thereby increasing output fluctuations be less than about 2dB.

Door middel van het regelen van de groeirichting van 3‘5 de ferromagnetische metalen dunne film 82 kan het substraat-oppervlak schuin staan ten opzichte van een verdampingsbron, of kan het substraat rondom de verdampingsbron geplaatst worden, zodat van een schuine richting komende verdampte magnetische deeltjes op het substraat kunnen worden neer- 8403971 *· ' -17- geslagen.By controlling the growth direction of 3'5 the ferromagnetic metal thin film 82, the substrate surface can be inclined relative to an evaporation source, or the substrate can be placed around the evaporation source, so that evaporated magnetic particles coming from an oblique direction can be deposited on the substrate.

Hoewel de metalen dunne film 82 is gevormd als een enkele laag door de bovenbeschreven fysische dampneerslag, kan ook een veelvoud van dunne metalen lagen worden gevormd 5 met een elektrisch isolerende film of films zoals Si02* ^a205, AI2O3, Zr02, of S13N4 tussen de naburige dunne metalen laag of lagen. Elk gewenst aantal ferromagnetishe metalen lagen kan worden gebruikt voor de vorming van de metalen dunne film.Although the metal thin film 82 is formed as a single layer by the above-described physical vapor deposition, a plurality of thin metal layers can also be formed with an electrically insulating film or films such as SiO2 * a205, Al2O3, ZrO2, or S13N4 between the neighboring thin metal layer or layers. Any number of ferromagnetic metal layers can be used to form the metal thin film.

10 Daar de magneetspleet g slechts gevormd is door de metalen dunne films 82 die zijn uitgerust met een hoge magnetische permeabiliteit, heeft de magnetische transducentkop een goede registreerkarakteristiek en een terugspeeluitgangs-signaal dat vergelijkbaar is met de magneetband die een hoge 15 coercive kracht Hc vertoont, zoals metaalband.Since the magnetic gap g is formed only by the metal thin films 82 which are equipped with a high magnetic permeability, the magnetic transducer head has a good recording characteristic and a playback output signal comparable to the magnetic tape exhibiting a high coercive force Hc, such as metal tape.

Daar de metalen dunne films 82 op een gezamenlijk vlak oppervlak zoals het schuine oppervlak 80A van het uitstekende deel van het kernelement 80 of op het schuine oppervlak 81A van het uitstekende deel zijn gevormd, is de film-20 structuur van de metalen dunne film 82 (Fe-Al-Si legerings-film), te weten de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei uniform en niet slechts parallel in de nabijheid van de magneetspleet g maar over het gehele oppervlak van de schuine zijde 80A, 81A. Het resultaat is dat de metalen dunne film 82 25 in zijn geheel een hoge magnetische permeabiliteit vertoont langs de magnetische fluxlijnen voor het verbeteren van de registreerkarakteristieken en het verhogen van het terug-speeluitgangssignaal van de magnetische transducentkop.Since the metal thin films 82 are formed on a common flat surface such as the sloping surface 80A of the protruding part of the core member 80 or on the sloping surface 81A of the protruding part, the film-20 structure of the metal thin film 82 ( Fe-Al-Si alloy film), i.e. the orientation of the columnar crystal growth is uniform and not only parallel in the vicinity of the magnet slit g but over the entire surface of the bevel 80A, 81A. As a result, the metal thin film 82 as a whole exhibits high magnetic permeability along the magnetic flux lines to improve the recording characteristics and increase the playback output signal of the magnetic transducer head.

Het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische 30 transducentkop is in hoofdzaak gevormd uit ferromagnetische oxyden, waardoor de slijtweerstand van de kop eveneens wordt verbeterd.The strap engagement surface of the magnetic transducer head is formed primarily from ferromagnetic oxides, which also improves the abrasion resistance of the head.

In afwijking van de gebruikelijke praktijk volgens welke ferromagnetische metalen folies met de hand worden toe-35 gepast met behulp van glas, organische lijm of anorganische lijm, worden de metalen: dunne films 82 aangebracht door fysische dampneerslag, zodat de films homogener zijn en de bedrijfszekerheid van de transducentkop eveneens wordt verbeterd .Contrary to the usual practice according to which ferromagnetic metal foils are applied by hand using glass, organic glue or inorganic glue, the metals: thin films 82 are applied by physical vapor deposition, so that the films are more homogeneous and the operating reliability of the transducer head is also improved.

8403971 * * * *+ -18-8403971 * * * * + -18-

Volgens de onderhavige uitvinding, kunnen spoorbreedten in het gebied van enkele tot enkele tientallen microns gemakkelijk gevormd worden en een smal spoor kan worden aangebracht aan de kop door het verminderen van het aan-5 tal lagen of van de filmdikte van de metalen dunne film 82.According to the present invention, track widths ranging from a few to several tens of microns can be easily formed and a narrow track can be applied to the head by reducing the number of layers or the film thickness of the metal thin film 82.

De hierbovenbeschreven magnetische transducentkop kan met voordeel gebruikt worden voor het met een hoge dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coërcive kracht Hc vanwege de hoge magnetische veldsterkte van de magneet-10 spleet g en het versterkte terugspeeluitgangssignaal.The above-described magnetic transducer head can be advantageously used for recording at a high density on a magnetic tape having a high coercive force Hc because of the high magnetic field strength of the magnet gap g and the amplified playback output signal.

Voor het verhelderen van de structuur van de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoering, zal het vervaardigingsproces daarvan hieronder worden verklaard met referentie aan figuren 17 tot 23.For clarifying the structure of the magnetic transducer head according to the present embodiment, the manufacturing process thereof will be explained below with reference to Figures 17 to 23.

15 Bij het prepareren van de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoering, wordt een veelvoud van vee-groeven 91 dwars op het bovenoppervlak van een substraat 90 van ferromagnetische oxyden zoals Mn-Zn ferriet, gevormd met behulp van een ronddraaiende slijpsteen (figuur 17).In preparing the magnetic transducer head according to the present embodiment, a plurality of cattle grooves 91 transverse to the top surface of a substrate 90 of ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite are formed using a rotary grinding wheel (Figure 17).

20 Deze groeven 91 kunnen' ook veelhoekig in doorsnede zijn en de binnenzijvlakken van deze groeven 91 kunnen in twee of meer stappen gebogen zijn voor het vergroten van de afstand tussen de ferromagnetische oxyden en de ferromagnetische metalen dunne film. Met een dergelijk groef-25 profiel kunnen een hoog uitgangssignaal bezittende magnetische transducentkoppen met minder overspraak in de lange golflengtegebieden worden verkregen, waarbij een groot over-gang soppervlak tussen het ferromagnetische oxyde op één kern-helft en de ferromagnetische metalen dunne film op een andere 30 kernhelft wordt onderhouden.These grooves 91 may also be polygonal in cross-section and the inner side surfaces of these grooves 91 may be curved in two or more steps to increase the distance between the ferromagnetic oxides and the ferromagnetic metal thin film. With such a groove profile, a high output magnetic transducer heads with less crosstalk in the long wavelength regions can be obtained, with a large transition area between the ferromagnetic oxide on one core half and the ferromagnetic metal thin film on another. core half is maintained.

Het profiel van de in figuur 26 getoonde groeven 91 kunnen als voorbeeld worden gebruikt. Het aangrijpoppervlak met de band van de resulterende magneetkop is zoals getoond in figuur 27, waarin eindvlakken 80b, 81b van de een spoor-35 breedte regelende groeven van de kernelementen 80, 81 gebogen zijn in twee stappen, om zodoende in lijn te zijn met het profiel van de groeven 91, dat wil zeggen met een deel van het binnenzijvlak van een veelhoek.The profile of the grooves 91 shown in Figure 26 can be used as an example. The strap engagement surface of the resulting magnetic head is as shown in Figure 27, in which end faces 80b, 81b of the track-width grooves of the core members 80, 81 are curved in two steps, so as to align with the profile of the grooves 91, i.e. with part of the inner side face of a polygon.

Zodoende kan ervoor gezorgd worden, dat er enige 8403971 -19- afstand tussen de eindvlakken 80B, 8TB van de een spoorbreedte regelende groeven en de ferromagnetische metalen dunne films 82 worden onderhouden en kunnen de overspraakcom-ponenten die ontstaan door het weergeven van de lange golf-5 lengtecomponenten verlaagd worden.Thus, it can be ensured that some distance between the end faces 80B, 8TB of the track width grooves and the ferromagnetic metal thin films 82 is maintained and the crosstalk components created by the long wave display can be maintained. -5 length components are lowered.

Voorts staan de eindvlakdelen 8OB1, 8OB2 of 81Bi, 8IB2 die de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven bepalen schuin met verschillende hoeken ten opzichte van de azimuthhoek van de magneetspleet gf zodat TO overspraak met naburige en de volgende sporen wordt verminderd .Furthermore, the end face portions 8OB1, 8OB2 or 81Bi, 8IB2 defining the end faces 80B, 81B of the track width grooves are inclined at different angles to the azimuth angle of the magnet gap gf so that TO cross-talk with neighboring and the following tracks is reduced.

In het algemeen worden middelen toegepast voor het verlagen van de overspraak tussen de naburige sporen tot een verwaarloosbaar niveau» bij voorbeeld door het registreren 15 van de naburige sporen met verschillende azimuthhoeken voor het verwijderen van het overspraak effect (magneetband in VTR). Niettegenstaande dat ontstaat overspraak tussen de om de andere gelegen sporen met dezelfde azimuthhoek. In de onderhavige uitvoeringsvorm staan de eindvlakken 80B, 81B van 28 de spoorbreedte regelende groeven van de kernelementen 80, 81 schuin in twee stappen met verschillende hoeken ten opzichte van de azimuthhoek van de magnetische spleet g, zodat zelfs indien de randen van de eindvlakdelen 80Bi,8QB2» 8IB1, 8IB2 van de kernelementen 80» 81 in lijn zijn met elk naburig 25 spoor of om het andere spoor» kan signaalopname van elk naburig spoor of van om het andere spoor of overspraak verlaagd worden door azimuthverlies.Generally, means are used to reduce the cross-talk between the neighboring tracks to a negligible level, eg by recording the neighboring tracks with different azimuth angles to remove the cross-talk effect (magnetic tape in VTR). Notwithstanding, cross-talk occurs between the other located tracks with the same azimuth angle. In the present embodiment, the end faces 80B, 81B of 28 track the groove controlling grooves of the core members 80, 81 in two steps at different angles to the azimuth angle of the magnetic gap g, so that even if the edges of the end face portions 80Bi, 8QB2 »8IB1, 8IB2 of the core elements 80» 81 aligned with each neighboring track or every other track, signal recording from each neighboring track or from every other track or crosstalk can be decreased by azimuth loss.

Figuren 28, 29 en 30 tonen in bovenaanzicht het aan-grijpvlak met de band volgens gemodificeerde uitvoeringsvor-30 men, waarbij de groef 91 qua profiel is veranderd. Bij deze modificaties, zijn de eindvlakken 80B, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven aan beide zijden van de magneetspleet g veranderd qua profiel. In de in figuur 28 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 81B van de op kern-35 elementen 80, 81 gevormde een spoorbreedte regelende groeven gevormd als flauw gehelde oppervlakken met knieën 80B-J, 8OB2» 81Bt» 8IB2* In de figuur 29 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80S, 81B van de een spoorbreedte regelende groeven op de kernelementen 80, 81 gevormd als oppervlakken 8403371 * -Λ -20- met knieën 8OB1, 80B2, 81Bi/ 8132 met grotere krommings-stralen bij de knieën. In de in figuur 30 getoonde uitvoeringsvorm zijn de eindvlakken 80B, 813 van de een spoorbreedte regelende groeven op de kernelementen 80, 81 gevormd 5 als oppervlakken met dubbele knieën 80B-|, 8OB2, 8OB3, 81B-|, 81B2r 8IB3.Figures 28, 29 and 30 show in top view the engagement surface with the belt according to modified embodiments, wherein the groove 91 has changed in profile. In these modifications, the end faces 80B, 81B of the track width grooves on both sides of the magnet gap g have changed profile. In the embodiment shown in Figure 28, the end faces 80B, 81B of the track width grooves formed on core 35 elements 80, 81 are formed as gently inclined surfaces with knees 80B-J, 8OB2 »81Bt» 8IB2 * shown in Figure 29 Embodiment, the end faces 80S, 81B of the track width grooves on the core members 80, 81 are formed as surfaces 8403371 * -Λ -20- with knees 8OB1, 80B2, 81Bi / 8132 with greater radius of curvature at the knees. In the embodiment shown in Figure 30, the end faces 80B, 813 of the track-controlling grooves on the core members 80, 81 are formed as double-knee surfaces 80B-, 8OB2, 8OB3, 81B- |, 81B2r-8IB3.

De eindvlakken van de een spoorbreedte regelende groeven kunnen ook op een zodanige manier gemodificeerd worden, dat het geschuinde oppervlak met de knie verschil-10 lende kantelingen in de respectievelijke door de knie verdeelde segmenten heeft, of dat het geschuinde oppervlak meer dan drie knieën heeft.The end faces of the track width grooves can also be modified in such a way that the beveled surface has different angles with the knee in the respective segments divided by the knee, or that the beveled surface has more than three knees.

Vervolgens wordt een glas met een hoog smeltpunt 92 opgevuld in gesmolten toestand in de groeven 91, waarna het 15 substraatoppervlak glad wordt afgevlakt (figuur 18).Then, a high melting point glass 92 is filled in the molten state into the grooves 91, after which the substrate surface is smoothed (Figure 18).

Vervolgens wordt een veelvoud van vee-groeven 93 gevormd die zich naast de bovengenoemde vee-groeven 91 bevinden en daarmee niet overlappen. Het binnenwandoppervlak van elke groef 93 maakt een hoek van ongeveer 45* ten opzichte van het 20 substraatbovenoppervlak (figuur 19).Then, a plurality of cattle grooves 93 are located adjacent to the above-mentioned cattle grooves 91 and do not overlap therewith. The inner wall surface of each groove 93 is at an angle of about 45 ° from the substrate top surface (Figure 19).

Daarna wordt een ferromagnetische legering, zoals Fe-Al-Si legering, opgedampt op het bovenoppervlak van het substraat 90 met behulp van welke bekende fysische damp-neerslag dan ook, zoals sputteren, met een ionenlaag bekleden 25 of vacuüm opdampen, waardoor een metalen dunne film 94 in de vee-groeven gevormd wordt (figuur 20).Then, a ferromagnetic alloy, such as Fe-Al-Si alloy, is deposited on the top surface of the substrate 90 using any known physical vapor deposition, such as sputtering, ion-coating or vacuum-depositing a metal thin film 94 is formed in the livestock grooves (Figure 20).

Vervolgens worden de boven- en vooroppervlakken van het substraat 90 glad afgevlakt en wordt zodoende de metalen dunne film op het oppervlak van het substraat verwijderd 30 (figuur 21).Then, the top and front surfaces of the substrate 90 are smoothed smooth, thereby removing the metal thin film on the surface of the substrate (Figure 21).

Voor het vormen van het kernelement op de bindings-groefzijden worden een groef 95 voor spoelen in de resulterende magnetische transducentkop en een glasvulsel-groef 96 gesneden op het zodoende vervaardigde substraat 90 (figuur 35 21) voor het verschaffen van een van ferromagnetisch oxyde gevormd substraat 97 (figuur 22).To form the core member on the bonding groove sides, a coil groove 95 in the resulting magnetic transducer head and a glass fill groove 96 are cut on the substrate 90 thus prepared (Figure 35-21) to provide a ferromagnetic oxide formed substrate 97 (Figure 22).

De substraten 90 en 97 worden dan samen opgestapeld door het plaatsen van een magneetafstandlaag daartussen en met de respectievelijke van de metalen dunne films 94 84 0 3 §7 1 -21- voorziene vlakke oppervlakken naar elkaar toe wijzend. Glazen staven met een laag smeltpunt worden tot in de groeven voor spoelen 95 en tot in de glasvulsel-groef 96 voor het smeltend onderling koppelen van het substraat tot in één blok 98 5 gestoken. Op dit moment wordt glas met een laag smeltpunt 99 tot in de overblijvende groeven op de metalen dunne films 94 van het substraat 90, 97 gevuld (figuur 23).Substrates 90 and 97 are then stacked together by placing a magnetic spacer layer therebetween and facing the respective flat surfaces provided with the metal thin films 94 84 0 3 §7 1 -21. Low melting glass rods are inserted into the coil grooves 95 and into the glass fill groove 96 for melt-bonding the substrate into one block 98. At this time, low melting point glass 99 is filled into the remaining grooves on the metal thin films 94 of the substrate 90, 97 (Figure 23).

Het blok 98 wordt dan langs de lijnen b-b en b'-bT gesneden voor het verschaffen van een veelvoud van kop-10 plakken.Block 98 is then cut along lines b-b and b'-bT to provide a plurality of head-10 slices.

Het aangrijpoppervlak van elke kopschijf met de magneetband wordt dan afgevlakt tot een cilindrisch profiel voor het vervaardigen van de in figuur 14 getoonde magnetische transducentkop. Deze magnetische transducentkop 15 heeft zijn kernelement 80 verkregen van het substraat 90, een ander kernelement 81 verkregen van substraat 90 en een ander kernelement 81 verkregen van substraat 97. De metalen dunne film 82 stemt overeen met de metalen dunne film 94, het non-magnetische vulmateriaal 93 met het glas met een hoog smelt-20 punt 92 en het non-magnetische vulmateriaal met het glas met een lager smeltpunt 99. De opening voor spoelen 85 komt overeen met de groef voor spoelen 95.The engaging surface of each head disk with the magnetic tape is then flattened into a cylindrical profile to produce the magnetic transducer head shown in Figure 14. This magnetic transducer head 15 has its core element 80 obtained from the substrate 90, another core element 81 obtained from substrate 90 and another core element 81 obtained from substrate 97. The metal thin film 82 corresponds to the metal thin film 94, the non-magnetic fill material 93 with the high melting-glass point 92 and the non-magnetic fill material with the lower melting-point glass 99. The opening for rinsing 85 corresponds to the groove for rinsing 95.

In figuren 24 en 25 zijn doorsneden door het substraat 90 bij de in figuur 20 respectievelijk 21 getoonde 25 stappen genomen voor het illustreren van de filmstructuur van de metalen dunne films 94 (Fê-Al-Si legeringsfilms) of de oriëntatie van de kolomsgewijze kristalgroei. Zoals in deze figuren getoond is, wordt een non-uniforme filmstructuur deel R afgevlakt gedurende de het spleetoppervlak slijpende in 30 figuur 21 getoonde stap, zodat slechts de metalen dunne film 94 met een uniforme filmstructuur overblijft op het schuine oppervlak van de groef 93. Het resultaat is dat de magnetische transducentkop met een hoog en stabiel uitgangssignaal verkregen kan worden, daar elk deel van de op het gezamen-35 lijke vlakke oppervlak gevormde metalen dunne film 82 een hoge permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn kan hebben.In Figures 24 and 25, sections through the substrate 90 have been taken at the steps shown in Figures 20 and 21, respectively, to illustrate the film structure of the metal thin films 94 (Fe-Al-Si alloy films) or the orientation of the columnar crystal growth. As shown in these figures, a non-uniform film structure portion R is flattened during the step surface grinding step shown in Figure 21, so that only the metal thin film 94 having a uniform film structure remains on the bevel surface of the groove 93. the result is that the magnetic transducer head can be obtained with a high and stable output signal, since any part of the metal thin film 82 formed on the common flat surface can have a high permeability along the magnetic flux line.

Een gemodificeerde uitvoeringsvorm, waarin de ferro-magnetisch metalen dunne film slechts in de nabijheid van de magneetspleet is gevormd, wordt hierna verklaard.A modified embodiment in which the ferromagnetic metal thin film is formed only in the vicinity of the magnet slit is explained below.

8403071 * * -22-8403071 * * -22-

Fig uur 31 toont in perspectief de magnetische transducentkop volgens de onderhavige modificatie. De magnetische transducentkop is gevormd uit een samengesteld magnetisch materiaal en bestaat uit een paar kernelementen 10, 11 van 5 ferromagnetische oxyden zoals Mn-Zn ferriet. In de nabijheid van de magneetspleet g zijn metalen dunne films 14A, 14B van ferromagnetisch metaal of van een een hoge permeabiliteit bezittende metaallegering, zoals Fe-Al-Si legeringen, gevormd door het gebruik van de fysische dampneerslag zoals sput-10 teren. Non-magnetische pakkingsmaterialen 12A, 12B en 13 zijn gepakt in gegoten staat in de nabijheid van het vlakke oppervlak van de magneetspleet g.Fig. 31 shows in perspective the magnetic transducer head according to the present modification. The magnetic transducer head is formed from a composite magnetic material and consists of a pair of core elements 10, 11 of 5 ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite. In the vicinity of the magnetic gap g, metal thin films 14A, 14B of ferromagnetic metal or of a high permeability metal alloy, such as Fe-Al-Si alloys, are formed using the physical vapor deposition such as sputtering. Non-magnetic gasket materials 12A, 12B and 13 are packed in the molded state in the vicinity of the flat surface of the magnet gap g.

Opgemerkt wordt, dat het vlakke, de metalen dunne films 14A, 14B vormende oppervlak en het vlakke, de magneet-15 spleet g vormende oppervlak schuin ten opzichte van elkaar staan met een hoek Θ , zoals getoond is in figuur 32 die het aangrijpvlak met de band van de magnetische transducentkop toont. In de onderhavige uitvoeringsvorm is de hoek Θ ongeveer 45° o 20 Daar de metalen dunne films 14A, 14B slechts in de nabijheid van de magneetspleet g zijn gevormd, kan het film-oppervlak worden verkleind met het resultaat dat het aantal eenheidsplakken dat tegelijkertijd vervaardigd kan worden door middel van bij voorbeeld sputteren, aanzienlijk verhoogd 25 kan worden met verbeterde effectiviteit bij massaproduktie. Bij verhoging van het aantal magnetische transducentkoppen dat van een eenheidsfilmopper'vlak geproduceerd kan worden, kunnen de vervaardigingskosten van de magnetische transducentkoppen verlaagd worden.It should be noted that the planar metal thin films 14A, 14B forming surface and the planar magnet-slit g-forming surface are inclined relative to each other at an angle Θ, as shown in Fig. 32 which defines the engagement surface with the band of the magnetic transducer head. In the present embodiment, the angle Θ is about 45 ° o. Since the metal thin films 14A, 14B are formed only in the vicinity of the magnetic gap g, the film surface can be reduced with the result that the number of unit wafers that can be manufactured at the same time by, for example, sputtering, can be significantly increased with improved effectiveness in mass production. By increasing the number of magnetic transducer heads that can be produced from a unit film surface, the manufacturing cost of the magnetic transducer heads can be reduced.

30 Vanwege het verkleinde oppervlak van de metalen dunne films 14A, 14B op de kernelementen 10, 11 van de ferromagnetische oxyden kan welke spanning dan ook van de metalen dunne films 14A, 14B, welke veroorzaakt wordt door het verschil in de coëfficiënten van thermische uitzetting van de 35 kernelementen en van de metalen dunne films, of resulterende breek- of barstoptreden in de kernelementen 10, 11, vermeden worden met verbeterde bedrijfsefficiëntie en opbrengstsnel-heid in de vervaardiging van de magnetische transducentkoppen .Because of the reduced surface area of the metal thin films 14A, 14B on the core elements 10, 11 of the ferromagnetic oxides, any voltage of the metal thin films 14A, 14B caused by the difference in the coefficients of thermal expansion can be the core elements and of the metal thin films, or resulting fracture or cracking steps in the core elements 10, 11, are avoided with improved operating efficiency and yield rate in the manufacture of the magnetic transducer heads.

8403971 -23-8403971 -23-

De metalen dunne films 14A, 143 van hoge magnetische permeabiliteit die de magneetspleet g bepalen, worden gevormd in de nabijheid van de magneetspleet g, en de achterzijde van de kop wordt gevormd door ferromagnetische oxyden met een 5 groot overgangsoppervlak, zodat de kop een verbeterd bedrijf met minder magnetische weerstand en een hoge gevoeligheid vertoont.The high magnetic permeability metal thin films 14A, 143 that define the magnetic gap g are formed in the vicinity of the magnetic gap g, and the back of the head is formed by ferromagnetic oxides with a large transition area, so that the head has improved operation with less magnetic resistance and high sensitivity.

Daar de magneetspleet g slechts bij de ferromagne-tisch metalen dunne film 14A, 14B van hoge magnetische per-10 meabiliteit wordt gevormd, heeft de kop een goede registreer-karakteristiek en een terugspeeluitgangssignaal dat vergelijkbaar is met magneetbanden met een hoge coercive kracht zoals metaalband.Since the magnetic gap g is formed only with the ferromagnetic metal thin film 14A, 14B of high magnetic permeability, the head has a good recording characteristic and a playback output signal comparable to magnetic tapes having a high coercive force such as metal tape.

De metalen dunne film 14A wordt gevormd op een vlak 15 oppervlak op het non-magnetische vulmateriaal 12A en de zijde 10A van het uitstekende deel van het kernelement 10, waarbij de metalen dunne film 143 wordt gevormd op een vlak oppervlak op het non-magnetische vulmateriaal 12B en de zijde 11A van het uitstekende deel van het kernelement 11. Zodoende is de 20 filmstructuur van de oriëntatie van de zuilvormige kristalgroei van de metalen (Pe-Al-Si legeringen) dunne films T4A, 14B uniform en zowel parallel in de nabijheid van de magneetspleet g als op de zijde 10A, 11A. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 14A, 14B in hun geheel een hoge magne-25 tische permeabiliteit in de richting van de magnetische flux-lijn vertonen, zodat de registreerkarakteristieken en het terugspeeluitgangsignaal van de magnetische transducentkop aanzienlijk wordt verbeterd.The metal thin film 14A is formed on a flat surface on the non-magnetic filler material 12A and the side 10A of the protruding part of the core member 10, the metal thin film 143 is formed on a flat surface on the non-magnetic filler material. 12B and the side 11A of the protruding part of the core element 11. Thus, the film structure of the columnar crystal growth orientation of the metal (Pe-Al-Si alloys) thin films T4A, 14B is uniform and both parallel in the vicinity of the magnetic gap g as on the side 10A, 11A. As a result, the metal thin films 14A, 14B as a whole exhibit high magnetic permeability in the direction of the magnetic flux line, so that the recording characteristics and the playback output signal of the magnetic transducer head are greatly improved.

De achterzijden van de magnetische transducentkop 30 zijn onderling gekoppeld met de ferromagnetische oxyden, zoals Mn-Zn ferriet die onderling aanliggen, zodat een sterke bindkracht kan worden verkregen met verbeterde opbrengstsnel-heid, ondanks inferieure bindeigenschappen tussen de metalen dunne films 14a, 14b en de kernelementen 10, 11. Er is geen 35 gevaar, dat terugspoorafwijkingen worden veroorzaakt gedurende het vervaardigen, wat zodoende resulteert in een verhoogde bedrijfsbetrouwbaarheid van de magnetische transducentkop.The backsides of the magnetic transducer head 30 are mutually coupled to the ferromagnetic oxides, such as Mn-Zn ferrite, which abut each other, so that a strong binding force can be obtained with improved yield speed, despite inferior bonding properties between the metal thin films 14a, 14b and the core elements 10, 11. There is no danger of causing back-track deviations during manufacture, thus resulting in increased operating reliability of the magnetic transducer head.

Daar het grootste deel van het aangrijpoppervlak met de band van de magnetische transducentkop wordt gevormd uit ' 8403971 -24- 4 * ferromagnetische oxyden, wordt ook slijtweerstand van de magnetische transducentkop verbeterd.Since the majority of the engagement surface with the magnetic transducer head band is formed of 8403971-4 * ferromagnetic oxides, wear resistance of the magnetic transducer head is also improved.

In afwijking van gebruikelijke praktijk, waarbij ferromagnetische metalen folies met de hand op elkaar worden 5 gebonden met een lijmlaag van glas, met organische lijm of inorganische lijm, worden de metalen dunne films 14A, 14B gevormd door middel van een fysische dampneerslag, zodat de gevormde film homogeen is voor het verder verbeteren van de bedrijfszekerheid van de magnetische transducentkop.Contrary to usual practice, in which ferromagnetic metal foils are bonded together by hand with an adhesive layer of glass, with organic glue or inorganic glue, the metal thin films 14A, 14B are formed by means of a physical vapor deposition, so that the formed film is homogeneous to further improve the operational reliability of the magnetic transducer head.

10 De spoorbreedte kan gemakkelijk worden gekozen in een uitgestrekt gebied van enkele tot enkele tientallen microns, zodat de magnetische transducentkop met een smalle spoorbreedte verkregen kan worden door gebruik van een .verminderde filmdikte of van een verminderd aantal filmlagen.The track width can be easily selected in a wide range from a few to several tens of microns, so that the narrow track magnetic transducer head can be obtained by using a reduced film thickness or a reduced number of film layers.

15 Zoals hierboven is beschreven, heeft de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvoeringsvorm een hoge magnetische veldsterkte van de magneetspleet g en een hoog terugspeeluitgangssignaal, zodat deze superieur is qua bedrijfszekerheid en productiviteit, en geschikt is voor het 20 met hoge dichtheid registreren op een magneetband met een hoge coërcive kracht Hc, zoals metaalband.As described above, the magnetic transducer head of the present embodiment has a high magnetic field strength of the magnetic gap g and a high playback output signal, so that it is superior in operation reliability and productivity, and is suitable for recording high density on a magnetic tape with a high coercive force Hc, such as metal tape.

Het vervaardigingsproces voor de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop wordt nu beschreven met referentie aan de figuren 33 tot 39.The manufacturing process for the magnetic transducer head shown in Figure 31 is now described with reference to Figures 33 to 39.

25 Op een langsrand van een substraat 20 van een ferro- magnetisch oxyde zoals Mn-Zn ferriet, zijn een veelvoud van V-vormige uitsparingen 21 gesneden met behulp van een ronddraaiende slijpsteen of met behulp van electrolytisch etsen (figuur 33). De bovenzijde of oppervlakte 23 van het sub-30 straat 20 komt overeen met het de magneetspleet vormende oppervlak, en de uitsparing 21 is gevormd bij een deel van het substraat 20 waar de magneetspleet gevormd moet worden.On a longitudinal edge of a substrate 20 of a ferromagnetic oxide such as Mn-Zn ferrite, a plurality of V-shaped recesses 21 have been cut by means of a rotary grinding wheel or by electrolytic etching (Figure 33). The top or surface 23 of the substrate 20 corresponds to the magnet slit-forming surface, and the recess 21 is formed at a portion of the substrate 20 where the magnet slit is to be formed.

De uitsparing 21 kan ook veelhoekig en voorzien zijn van gekromde delen, zoals in de voorgaande uitvoeringsvorm.The recess 21 can also be polygonal and have curved parts, as in the previous embodiment.

35 Glas met een hoog smeltpunt wordt in gesmolten vorm gepakt in de uitsparing 21 bij 22a en zowel de bovenzijde 23 als de voorzijde 24 zijn glad afgevlakt (figuur 34).High melting point glass is packed in molten form in the recess 21 at 22a and both the top 23 and the front 24 are smoothed (Figure 34).

Op dezelfde rand 25 is dan een tweede veelvoud van V-vormige uitsparingen 25 in de nabijheid van de uitsparing 8403971 -25- V * \ 21 die gevuld is met glasvulsel 22a, gevormd, één en ander zodanig dat deze gedeeltelijk overlappen met de uitsparing 21 (figuur 35). Een deel van het glasvulsel 22a wordt blootgesteld aan een binnenwandzijde of facet 26 van de uitsparing 5 25. Een kruisingslijn 27 van de wandzijde 26 en van de bovenzijde 23 vormen een rechte hoek met de voorzijde 24, terwijl de binnenwandzijde 26 een hoek van zeg 45° met de bovenzijde 23 maakt.A second plurality of V-shaped recesses 25 is then formed on the same edge 25 in the vicinity of the recess 8403971 -25- V * \ 21 which is filled with glass filling 22a, all such that they partly overlap with the recess 21. (figure 35). Part of the glass fill 22a is exposed to an inner wall side or facet 26 of the recess 5 25. An intersection line 27 of the wall side 26 and of the top 23 forms a right angle to the front 24, while the inner wall side 26 is an angle of say 45 ° with the top side 23.

Vervolgens wordt een legering met een hoge permea-10 biliteit, zoals Fe-Al-Si legeringen, opgedampt in de nabijheid van de uitsparingen 25 van het substraat 20 met als tussenstof een isolerende film, met behulp van een fysische dampneerslag zoals sputteren voor het vormen van ferromag-netisch metalen dunne film 28 (figuur 36). Het substraat 20 15 wordt op dit moment in het sputterapparaat in een schuine stand geplaatst voor het efficiënter neerslaan van de binnenwand zij de 26.Then, an alloy with a high permeability, such as Fe-Al-Si alloys, is deposited in the vicinity of the recesses 25 of the substrate 20 with an insulating film as an intermediate, using a physical vapor deposition such as sputtering to form of ferromagnetic metal thin film 28 (Figure 36). The substrate 20 is currently tilted in the sputtering device to more efficiently deposit the inner wall side by side 26.

Vervolgens wordt een glasvulsel 29 met een smeltpunt lager dan dat van het glasvulsel 22 gevuld in gesmolten toe-20 stand in de van de metalen dunne film 28 voorziene uitsparingen 25, waarna de bovenzijde 23 en de voorzijde 24 uiteindelijk als een spiegel worden afgevlakt (figuur 37). Op dit moment blijft een deel van de gedurende de voorgaande stap neergeslagen metalen dunne film 28 over op de wandzijden 25 26 van de uitsparingen 25, zodat de ferromagnetisch metalen dunne films 28A worden neergeslagen op de zijde 26.Subsequently, a glass filling 29 with a melting point lower than that of the glass filling 22 is filled in a molten state in the recesses 25 provided with the metal thin film 28, after which the top side 23 and the front side 24 are finally flattened like a mirror (figure 37). At this time, a portion of the metal thin film 28 deposited during the previous step remains on the wall sides 26 of the recesses 25, so that the ferromagnetic metal thin films 28A are deposited on the side 26.

Voor het vormen van een van een windingsgroef voorziene zijdelings kernelement wordt een groef 31 voor spoelen gevormd in het in figuur 32 getoonde substraat 20 van ferro-30 magnetische oxyde voor het verschaffen van een in figuur 38 getoond· substraat 30 van ferromagnetische oxyden. De uitsparingen 21 van het in figuur 38 getoonde substraat worden gevuld met glas 22b met een hoog smeltpunt in de gesmolten toestand, waarbij de binnenwandzijden van de uitsparingen 25 35 zijn voorzien van ferromagnetische metalen dunne films 28b.To form a winding grooved lateral core element, a coil groove 31 is formed in the ferrous magnetic oxide substrate 20 shown in Figure 32 to provide a ferromagnetic oxide substrate 30 shown in Figure 38. The recesses 21 of the substrate shown in Figure 38 are filled with high melting point glass 22b in the molten state, the inner wall sides of the recesses 35 being provided with ferromagnetic metal thin films 28b.

De substraten 20, 30 zijn opgestapeld.en onderling gekoppeld met gesmolten glas, waarbij de bovenzijde 23 of het de magneetspleet vormende oppervlak van het substraat 20 aanligt aan het bovenvlak 32 of het 'de magneetspleet vormende 8403971 to * -26- oppervlak van het substraat 30 met het medium van een spleet-afstandslaag (figuur 39} voor het verschaffen van een blok dat uit de substraten 20 en 30 bestaat. Het blok 33 wordt dan in plakken langs lijnen a-a, a'-a' gesneden voor het vormen 5 van een veelvoud van kopplakken. De spleetafstandslaag kan naar wens gevormd zijn uit SiC>2, Zr02, Ta2C>5 of Cr,The substrates 20, 30 are stacked and mutually coupled with molten glass, with the top 23 or the magnet slit-forming surface of the substrate 20 abutting the top surface 32 or the magnet-slit 8403971 to * -26 surface of the substrate 30 with the slit spacer medium (Figure 39} to provide a block consisting of the substrates 20 and 30. The block 33 is then sliced along lines aa, a'-a 'to form 5 a plurality of end gaps The gap spacing layer may be formed as desired from SiC> 2, ZrO 2, Ta 2 C> 5 or Cr,

Het aangrijpoppervlak met de band van de kopplak wordt dan blootgesteld aan cilindrisch slijpen voor het vormen van een magnetische transducentkop, zoals getoond in 10 figuur 31. De kernelementen 10 en 11 van de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop zijn verkregen van de substraten 20 resp. 30. Het non-magnetische vulmateriaal 12A, 123 komt overeen met de glasvulselmaterialen met een hoog smeltpunt 22A resp. 22B, terwijl het non-magnetische vul-15 materiaal 13 overeenkomt met het glasvulselmateriaal 13 met een laag smeltpunt, De ferromagnetisch metalen dunne films 14A, 14B van de magnetische transducentkop komen overeen met de metalen dunne films 28A, 28B, terwijl de opening voor spoelen 15 overeenkomt met de groef 31 voor spoelen op het 20 substraat.The engaging surface with the tape of the header is then subjected to cylindrical grinding to form a magnetic transducer head, as shown in Figure 31. The core elements 10 and 11 of the magnetic transducer head shown in Figure 31 are obtained from the substrates 20 and 20, respectively. 30. The non-magnetic filler material 12A, 123 corresponds to the glass filler materials with high melting point 22A, respectively. 22B, while the non-magnetic filler material 13 corresponds to the low melting glass filler material 13, The ferromagnetic metal thin films 14A, 14B of the magnetic transducer head correspond to the metal thin films 28A, 28B, while the coil opening 15 corresponds to the groove 31 for rinsing on the substrate.

In de bovenbeschreven magnetische transducentkop, wordt een deel Q van de metalen dunne film 28 van de non-uniforme filmstructuur die gevormd is gedurende de in figuur 36 getoonde processtap verwijderd door de slijpoperatie van 25 het spleetoppervlak, zoals dat schematisch is getoond in figuren 40, 41 die de oriëntatie van zuilvormige kristalgroei of filmstructuur van de ferromagnetisch metalen dunne films, bij voorbeeld de Fe-Al-Si legeringsfilm, tonen. Op deze wijze blijven slechts de metalen dunne films 28A, 28B van de uni-30 forme structuur over op een enkel schuin vlak oppervlak dat de binnenwandzij.de van facet 26 van de uitsparing 25 is.In the magnetic transducer head described above, a part Q of the metal thin film 28 of the non-uniform film structure formed during the process step shown in Figure 36 is removed by the grinding operation of the slit surface, as shown schematically in Figures 40, 41 showing the orientation of columnar crystal growth or film structure of the ferromagnetic metal thin films, for example, the Fe-Al-Si alloy film. In this manner, only the metal thin films 28A, 28B of the uniform structure remain on a single oblique flat surface which is the inner wall side of facet 26 of the recess 25.

Het resultaat is, dat elk deel van de metalen dunne films 28A, 28B een hoge magnetische permeabiliteit langs de magnetische fluxlijn vertoont en dat de magnetische trans-35 ducentkop een hoog en stabiel uitgangssignaal heeft.As a result, each part of the metal thin films 28A, 28B exhibits high magnetic permeability along the magnetic flux line, and the magnetic transducer head has a high and stable output signal.

• In de onderhavige uitvoeringsvorm, zoals hierboven is beschreven, is een tweede vlak oppervlak dat een hoek van 20° tot 80° ten opzichte van een eerste vlak oppervlak dat later het magneetspleetoppervlak vormt, gevormd door het 8403971 \ -27- slijpproces en is dit in de nabijheid van de eerste uitsparing 21 van te voren gevuld met glas met een hoog smeltpunt, en is de ferromagnetisch metalen dunne film 28 gevormd door een fysische dampneerslag op het tweede oppervlak dat 5 schuin staat ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak, dat daarna afgevlakt wordt, zodat slechts de op het schuine tweede oppervlak gevormde dunne film overblijft ten minste in de nabijheid van de magneetspleet. Het resultaat is, dat de metalen dunne films 28A, 28B van uniforme filmstructuur zijn 10 over hun geheel en zodoende een hoog en stabiel uitgangssignaal van de magnetische transducentkop verschaffen.In the present embodiment, as described above, a second flat surface that is angled from 20 ° to 80 ° to a first flat surface that later forms the magnetic gap surface is formed by the 8403971 \ 27 grinding process and is in the vicinity of the first recess 21 pre-filled with high melting point glass, and the ferromagnetic metal thin film 28 is formed by a physical vapor deposition on the second surface which is inclined relative to the first flat surface, which is then flattened so that only the thin film formed on the oblique second surface remains at least in the vicinity of the magnet slit. As a result, the metal thin films 28A, 28B are of uniform film structure overall and thus provide a high and stable output signal from the magnetic transducer head.

Met de bovengenoemde magnetische transducentkop worden de ferromagnetische oxyden van de twee kernhelften smeltend samengebonden direct met gesmolten glas op de 15 achterovergangzijde of achterspleetoppervlakken van de kop. Het resultaat is, dat de getoonde kopplak een verhoogde breeksterkte heeft en dat deze gemakkelijk vervaardigd kan worden met een verbeterde opbrengstsnelheid.With the above magnetic transducer head, the ferromagnetic oxides of the two core halves are melt bonded together directly with molten glass on the back transition side or back gap surfaces of the head. As a result, the headstock shown has an increased breaking strength and can be easily manufactured with an improved yield rate.

Met referentie aan figuur 42 tot 48, wordt een ander 20 voorbeeld van de magnetische transducentkop die vervaardigd wordt door middel van een ander proces, verklaard.With reference to Figures 42 to 48, another example of the magnetic transducer head manufactured by another process is explained.

Op een bovenoppervlak 41 dat overeenkomt met het aan-grijpvlak met de band, van het substraat 40 van ferromagnetische oxyden, zoals Mn-Zn ferriet, is een veelvoud van 25 groeven 42 met een vierkantige doorsnede op schuine wijze gevormd (figuur 42). Elke groef 42 heeft een diepte voor het zich uitstrekken naar de opening voor in de transducentkop aangebrachte spoelen.On a top surface 41 corresponding to the engagement surface with the belt, of the substrate 40 of ferromagnetic oxides, such as Mn-Zn ferrite, a plurality of 25 grooves 42 of a square section are obliquely formed (Figure 42). Each groove 42 has a depth for extending to the opening for coils mounted in the transducer head.

Glas met een hoog smeltpunt wordt dan gevuld in ge-30 smolten toestand bij 43a in elke groef 42, waarna de bovenzijde 41 en de voorzijde 44 glad worden afgevlakt (figuur 43) .High melting point glass is then filled in the molten state at 43a in each groove 42, after which the top 41 and the front 44 are smoothed (Figure 43).

Vervolgens wordt een tweede veelvoud van groeven 45 met de vierkantige doorsnede gevormd tot de bovenzijde 41 in 35 de omgekeerde schuine richting ten opzichte van de groeven 42, zodat deze gedeeltelijk overlappen met deze groeven 42 die gevuld zijn met glas 43A met een hoog smeltpunt (figuur 44) . Deze groeven 45 zijn bij benadering gelijk in diepte aan de glasgevulde groeven 42. De snijlijn 47 die de binnenzijde 8403971 -28- 46 van de groef 45 maakt met de voorzijde 44, is gesitueerd op het doorsnede vlak van het glas 43a, dat aan de voorzijde 44 is blootgesteld, en vormt een rechte hoek met de bovenzijde 41. De binnenzijde 46 maakt een hoek van zeg 45" met de 5 voorzijde 44.Then, a second plurality of grooves 45 of the square cross section are formed up to the top 41 in the reverse oblique direction with respect to the grooves 42 so that they partially overlap with these grooves 42 filled with high melting point glass 43A (Figure 44). These grooves 45 are approximately equal in depth to the glass-filled grooves 42. The cutting line 47 making the inside 8403971 -28- 46 of the groove 45 with the front 44 is located on the cross-sectional plane of the glass 43a, which is front 44 is exposed and forms a right angle to top 41. Inside 46 is at an angle of say 45 "to front 44.

Vervolgens wordt een film van een legering met een hoge permeabiliteit, zoals Fe-Al-Si legeringen gevormd in de nabijheid van de groeven 44 op het substraat 40 door middel van fysische dampneerslag, zoals sputteren voor het vormen 10 van een ferromagnetisch metalen dunne film 48 (figuur 45).Then, a high permeability alloy film such as Fe-Al-Si alloys is formed in the vicinity of the grooves 44 on the substrate 40 by physical vapor deposition such as sputtering to form a ferromagnetic metal thin film 48 (figure 45).

Het substraat 40 wordt in een schuine stand gehouden binnen het sputterapparaat voor het efficiënter vormen van de film op de binnenzijde 46.The substrate 40 is tilted within the sputtering device to more efficiently form the film on the inside 46.

Vervolgens wordt een glas 49 met een lager smeltpunt 15 dan het glas 43, gevuld in gesmolten toestand in de van de metalen dunne films 48 voorziene groeven 45, waarna de bovenen voorzijde 41, 44 uiteindelijk als een spiegel worden afgevlakt (figuur 46). Op dit moment blijft een deel van de metalen dunne film 48 over op de binnenzijden 46 van de 20 groeven 45, zodat de ferromagnetisch metalen film 48a is aangebracht op deze binnenzijden 46.Subsequently, a glass 49 with a lower melting point 15 than the glass 43 is filled in the molten state in the grooves 45 provided with the metal thin films 48, after which the top front 41, 44 are finally flattened like a mirror (figure 46). At this time, some of the metal thin film 48 remains on the inner sides 46 of the grooves 45, so that the ferromagnetic metal film 48a is applied to these inner sides 46.

Voor het vormen van het van een groef voor spoelen 61 voorzien kernelement, wordt de groef 61 gevormd op het substraat 40 van ferromagnetische oxyden, zoals dat getoond is 25 in figuur 46, voor het produceren van het substraat 60 van ferromagnetische oxyden zoals getoond in figuur 47. De groeven 42 van het substraat 60 zijn gevuld met glas 43b met een hoog smeltpunt in gesmolten toestand, terwijl de ferromagnetisch metalen dunne films 48b zijn gevormd op de binnen-30 zijden 46 van de groeven 45.To form the core element provided with a coil for coil 61, the groove 61 is formed on the substrate 40 of ferromagnetic oxides, as shown in Figure 46, to produce the substrate 60 of ferromagnetic oxides as shown in Figure. 47. The grooves 42 of the substrate 60 are filled with high melting point glass 43b in the molten state, while the ferromagnetic metal thin films 48b are formed on the inner sides 46 of the grooves 45.

De substraten 40, 60 worden dan opgestapeld en onderling gekoppeld door middel van gesmolten glas op de voorzijde 44 van het substraat 40, welke later de magnetische spleet die aanligt aan de voorzijde 62 van het substraat 60 vormt, 35 welke later de spleet door het medium van een spleetafstands-laag (figuur 48) vormt voor het verschaffen van een blok 43 dat bestaat uit de substraten 40 en 60. Blok 63 wordt dan in plakken gesneden langs lijnen A-A, A'-A' voor het vormen van een veelvoud van kopplakken.The substrates 40, 60 are then stacked and interconnected by means of molten glass on the front 44 of the substrate 40, which later forms the magnetic gap abutting the front 62 of the substrate 60, which later the slit through the medium of a gap spacing layer (Figure 48) to provide a block 43 consisting of the substrates 40 and 60. Block 63 is then sliced along lines AA, A'-A 'to form a plurality of headers .

8403971 y . .8403971 y. .

-29--29-

Het aangrijpvlak met de magneetband van de kopplak wordt vervolgens onderworpen aan een cilindrische behandeling voor het vormen van een magnetische, in figuur 49 getoonde transducentkop. De kernelementen 70, 71 van de in figuur 49 5 getoonde magnetische transducentkop zijn verkregen van de substraten 40 resp. 60» De non-magnetische vulmaterialen 72A, 72B komen overeen met de in de groeven 42 gevulde glasmaterialen 43A, 43B met een hoog smeltpunt, terwijl het non-magnetische vulmateriaal 73 overeenkomt met het tot in de groe-10 ven 45 gevulde glasmateriaal 49 met een laag smeltpunt. De op de magnetische transducentkop gevormde ferromagnetisch metalen dunne films 74A, 74B komen overeen met de metalen dunne films 48A, 48B die op de binnenzijden 46 van de groeven 45 gevormd zijn, terwijl de opening voor spoelen 75 overeenkomt 15 met de groef voor spoelen 61.The magnetic tape engagement surface of the headstock is then subjected to a cylindrical treatment to form a magnetic transducer head shown in Figure 49. The core elements 70, 71 of the magnetic transducer head shown in Figure 49 are obtained from the substrates 40 and 50, respectively. 60 »The non-magnetic filling materials 72A, 72B correspond to the high melting point glass materials 43A, 43B filled in the grooves 42, while the non-magnetic filling material 73 corresponds to the glass material 49 filled into the grooves 45 with a low melting point. The ferromagnetic metal thin films 74A, 74B formed on the magnetic transducer head correspond to the metal thin films 48A, 48B formed on the inner sides 46 of the grooves 45, while the opening for coils 75 corresponds to the groove for coils 61.

Bij de met het bovenbeschreven porces vervaardigde magnetische transduceentkop van figuur 49, staat het de mag-neetspleet vormende vlakke oppervlak schuin met een geschikte hoek met betrekking tot het vlakke oppervlak van de magne-20 tisch metalen dunne films 74A, 74B, die slechts in de nabijheid van de magneetspleet gevormd zijn, en zodoende ervoor zorgen, dat de eigenschappen van de magnetische transducent-kop vergelijkbaar zijn met die van de in figuur 31 getoonde magnetische transducentkop.In the magnetic transducent head of Figure 49 fabricated with the porces described above, the magnetic slit-forming planar surface is inclined at an appropriate angle to the planar surface of the magnetic metal thin films 74A, 74B, which is only in the proximity of the magnetic slit, thus ensuring that the properties of the magnetic transducer head are comparable to those of the magnetic transducer head shown in Figure 31.

25 Daar de magneetspleet g slechts door metalen dunne films 74A, 74B wordt gevormd, is de kop verbeterd qua uitgangssignaal en vergelijkbaar met metaalbanden.Since the magnet slit g is formed only by metal thin films 74A, 74B, the head is improved in output and comparable to metal tapes.

De metalen dunne film 74A is gevormd op een continu vlak oppervlak dat bestaat uit de zijde 70A van het uitste-30 kende deel van het kernelement 70 en een zijde van het non-magnetische materiaal 72A, terwijl de metalen dunne film 74B is gevormd op een continu vlak oppervlak dat bestaat uit de zijde 71A van het uitstekende deel van het kernelement 71 en een zijde van het non-magnetische materiaal 72B. Het resul-35 taat is, dat de metalen dunne films 74A, 74B in hun geheel van uniforme filmstructuur zijn en een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn vertonen, zodat een verbetering wordt bereikt in de regi-streerkarakteristiek en het terugspeeluitgangssignaal van 8403971 -30- de transducentkop.The metal thin film 74A is formed on a continuous flat surface consisting of the side 70A of the protruding portion of the core member 70 and one side of the non-magnetic material 72A, while the metal thin film 74B is formed on a continuous flat surface consisting of the side 71A of the protruding part of the core element 71 and one side of the non-magnetic material 72B. As a result, the metal thin films 74A, 74B as a whole are of uniform film structure and exhibit a high magnetic permeability in the direction of the magnetic flux line, so that an improvement in the recording characteristic and the playback output signal is achieved. 8403971 -30- the transducer head.

Bij de voorgaande uitvoeringsvorm hadden de lijnen a-a, a'-a', waarlangs het samengestelde in figuur 39 getoonde blok in plakken is gesneden, rechte hoeken ten opzichte van 5 de aanliggende oppervlakken van de substraten 20 en 30. Het is echter mogelijk het blok in een andere richting dan met een rechte hoek in plakken te snijden voor het verschaffen van een magnetische transducentkop voor azimuth-registreren. Het is ook mogelijk in de onderhavige uitvoeringsvorm het in 10 figuur 48 getoonde blok in een schuine richting ten opzichte i van de aanliggende oppervlakken van het substraat 40, 60 in plakken te snijden in plaats van langs lijnen A-A, A’-A' of met rechte hoeken met de aanliggende oppervlakken voor het op overeenkomstige wijze produceren van magnetische transducent-15 koppen voor azimuth-registreren.In the foregoing embodiment, the lines aa, a'-a ', along which the composite block shown in Figure 39 has been sliced, had right angles to the adjacent surfaces of the substrates 20 and 30. However, it is possible for the block slicing in a direction other than at right angles to provide a magnetic transducer head for azimuth recording. It is also possible in the present embodiment to slice the block shown in Figure 48 in an oblique direction to the adjacent surfaces of the substrate 40, 60 instead of along lines AA, A'-A 'or with right angles to the abutting surfaces to similarly produce magnetic transducer heads for azimuth recording.

Met de in figuur 14, 31 en 49 getoonde magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding, zijn op het substraat van ferromagnetische oxyden gevormde groeven voorheen gevuld met glas en zijn tweede groeven gevormd in de 20 nabijheid van de eerste groeven voor het vormen van schuine vlakke oppervlakken, waarop ferromagnetisch metalen dunne films gevormd worden. Het resultaat is, dat magnetische eigenschappen van de kop uniform zijn, niet slechts in de nabij de magneetspleet gelegen filmdelen, maar in de film-25 delen op de zijden van de uitstekende substraatdelen en worden de ferromagnetische oxyden niet blootgesteld aan het magneetspleetdeel.With the magnetic transducer head according to the present invention shown in Figures 14, 31 and 49, grooves formed on the ferromagnetic oxide substrate have previously been filled with glass and second grooves are formed in proximity to the first grooves to form oblique planar surfaces on which ferromagnetic metal thin films are formed. The result is that magnetic properties of the head are uniform not only in the film parts located near the magnet slit, but in the film parts on the sides of the projecting substrate parts, and the ferromagnetic oxides are not exposed to the magnet slit part.

Bij gebruik van een magneetband met een hoge coërcive kracht, zoals metaalband, is gevonden, dat de magnetische 30 transducentkop volgens de onderhavige uitvinding een terug-speeluitgangssignaal heeft, dat ongeveer 3 dB hoger is in het frequentiegebied van 1 tot 5 MHz, heeft, dan vergeleken met de experimentele waarden die verkregen zijn met de gebruikelijke magnetische transducentkop, zoals die getoond is in 35 figuur 11, waarbij het ferriet is blootgesteld in het spleet-deel voor een lengte gelijk aan bij voorbeeld 40% van de spoorbreedte. De magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding kan vervaardigd worden met kleinere di-mensionele fluctuaties dan in het geval van de in figuur 3 84 0 3.97 1 -31- getoonde gebruikelijke magnetische transducentkop en gebleken is dat deze een terugspeeluitgangssignaal dat ongeveer 3 dB hoger is dan dat van deze gebruikelijk transducentkop, heeft.When using a magnetic tape with a high coercive force, such as metal tape, it has been found that the magnetic transducer head of the present invention has a playback signal, which is about 3 dB higher in the frequency range of 1 to 5 MHz, than compared to the experimental values obtained with the conventional magnetic transducer head, such as that shown in Figure 11, wherein the ferrite is exposed in the slit portion for a length equal to, for example, 40% of the track width. The magnetic transducer head according to the present invention can be manufactured with smaller dimensional fluctuations than in the case of the conventional magnetic transducer head shown in Fig. 3 84 0 3.97-1 -31 and has been found to have a playback output signal about 3 dB higher than that of this conventional transducer head.

Het Ni-Zn ferriet bij voorbeeld kan in plaats van het 5 Mn-Zn ferriet gebruikt worden als het de kernelementen vormende ferromagnetische oxyde. Permlegeringen of amorfe legeringen kunnen in plaats van Fe-Al-Si legeringen gebruikt worden als het de ferromagnetisch metalen dunne film vormende materiaal met hoge magnetische permeabiliteit, zoals hier-10 boven is besproken.For example, the Ni-Zn ferrite can be used in place of the 5 Mn-Zn ferrite as the core element ferromagnetic oxide. Perm alloys or amorphous alloys can be substituted for Fe-Al-Si alloys as the high magnetic permeability ferromagnetic metal thin film forming material as discussed above.

Bij gebruik van de amorfe legeringen worden uniforme filmeigenschappen van de ferromagnetisch metalen dunne film verhinderd door magnetische anisotropie. De metalen dunne film kan in zijn geheel uniforme magnetische eigenschappen 15 hebben door het vormen van de dunne film op een enkel vlak oppervlak in overeenstemming met de onderhavige uitvinding.When using the amorphous alloys, uniform film properties of the ferromagnetic metal thin film are prevented by magnetic anisotropy. The metal thin film as a whole can have uniform magnetic properties by forming the thin film on a single flat surface in accordance with the present invention.

De ferromagnetisch metalen dunne film kan op voordelige wijze worden samengesteld uit één of meer lagen binnen de strekking van de onderhavige uitvinding.The ferromagnetic metal thin film can advantageously be composed of one or more layers within the scope of the present invention.

20 Het zal duidelijk zijn uit het voorgaande, dat de magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding is samengesteld uit twee, uit ferromagnetische oxyden gevormde kernelementen, en dat de ferromagnetisch metalen dunne film zijn opgedampt door middel van fysische dampneerslag in 25 de nabijheid van het overgangsoppervlak van de kernelementen, zodat het vlak waarin deze metalen dunne films zich hoofdzakelijk bevinden, schuin staat onder een hoek ten opzichte van het overgangsoppervlak van de kernelementen die later het magneetspleetoppervlak vormen. De magneetspleet is slechts 30 door de metalen dunne films die op een gezamenlijk vlak oppervlak zijn gevormd, gevormd.It will be apparent from the foregoing that the magnetic transducer head of the present invention is composed of two core elements formed from ferromagnetic oxides, and that the ferromagnetic metal thin film has been vapor deposited in the vicinity of the transition surface of the core elements, so that the plane in which these metal thin films are mainly located is inclined at an angle to the transition surface of the core elements which later form the magnetic gap surface. The magnet slit is formed only by the metal thin films formed on a common flat surface.

Zodoende is er bij de vorming van de metalen dunne films geen noodzaak een filmdikte te verschaffen, welke overeenkomt met de spoorbreedte, en kan de transducentkop in 35 massa in een kortere tijd geproduceerd worden.Thus, in the formation of the metal thin films, there is no need to provide a film thickness corresponding to the track width, and the transducer head can be mass-produced in a shorter time.

Het belangrijkste deel van het aangrijpoppervlak met de band wordt gevormd uit ferromagnetische oxyden, zodat de kop superieure slijtweerstand heeft.The main part of the engagement surface with the belt is formed from ferromagnetic oxides, so that the head has superior wear resistance.

De magneetspleet wordt slechts uit de metalen dunne 8403971 -32- films gevormd, zodat de kop een hoog uitgangssignaal heeft en toepasbaar is met de een hoge coërciviteit bezittende band zoals metaalband.The magnet slit is formed only from the metal thin films 8403971-32 so that the head has a high output signal and is applicable with the high coercivity band such as metal band.

De metalen dunne film wordt gevormd op één vlak 5 oppervlak en is zodoende overal uniform in filmstructuur, terwijl de metalen dunne film als geheel een hoge magnetische permeabiliteit in de richting van de magnetische fluxlijn vertoont. Zodoende is de magnetische transducentkop zeer bruikbaar in gebruik en heeft deze een hoge registreerkarak-10 teristiek en een hoog terugspeeluitgangssignaal.The metal thin film is formed on one flat surface and is thus uniform in film structure throughout, while the metal thin film as a whole exhibits high magnetic permeability towards the magnetic flux line. Thus, the magnetic transducer head is very useful in use and has a high recording characteristic and a high playback output signal.

De magnetische transducentkop volgens de onderhavige uitvinding is zodanig geconstrueerd, dat de magneetspleet in het centrum van de kopplak is en aan beide zijden omgeven is met non-magnetische materialen voor het vermijden van 15 plaatselijke slijtage van de kop.The magnetic transducer head of the present invention is constructed such that the magnet slit is in the center of the head slice and surrounded on both sides with non-magnetic materials to avoid local wear of the head.

De de magneetspleet vormende ferromagnetisch metalen dunne films zijn op een rechte lijn gezien op het aangrijp-vlak met de band, gevormd, zodat de ferromagnetisch metalen dunne films niet tegenover· elkaar liggen op andere plaatsen 20 dan de magneetspleet. Het resultaat is de verminderde over-spraak in het lange golflengtegebied. De overspraak kan verder worden verminderd door het veranderen van het groefpro-fiel ten opzichte van het kernelement.The ferromagnetic metal thin films forming the magnetic gap are seen in a straight line on the engagement surface with the tape, so that the ferromagnetic metal thin films do not face each other in places other than the magnetic gap. The result is the reduced over-speech in the long wavelength range. The crosstalk can be further reduced by changing the groove profile relative to the core element.

De uniforme magnetische eigenschappen kunnen ver-25 zekerd worden door de gelijkgerichte groei van de zuilvormige structuur van de ferromagnetisch metalen dunne films gezien op het contactoppervlak met de band.The uniform magnetic properties can be ensured by the rectified growth of the columnar structure of the ferromagnetic metal thin films seen on the contact surface with the belt.

84939718493971

Claims (41)

1. Magnetische transducentkop omvattende: een eerste magnetisch kernelement, en een tweede magnetisch kernelement, waarbij elk eerste en tweede kernelement een magnetisch 5 ferrietblok en een met het magnetische ferrietblok geïntegreerde magnetische, metalen dunne film omvatten; waarbij het kernelement een eerste vlak oppervlak en een tweede vlak oppervlak vertoont, waarbij de magnetisch metalen dunne film is aangebracht op 10 het tweede vlakke oppervlak en een rand daarop heeft, welke rand wijst naar het eerste vlakke oppervlak, waarbij het tweede vlakke oppervlak schuin is aangebracht ten opzichte van het eerste vlakke oppervlak? en waarbij eerste en tweede kernelementen op zodanige wijze 15 onderling worden gekoppeld, dat een werkende magneetspleet tussen de rand van de magnetisch metalen dunne film op het eerste kernelement en de rand van de magnetisch metalen dunne film op het tweede kernelement gevormd wordt, en de magnetisch dunne film op het eerste kernelement en de magnetisch 20 metalen dunne film op het tweede kernelement in één gezamenlijk vlak zijn gevormd. 2o Magnetische transducentkop omvattende: een eerste en een tweede magnetische kernelement, die onderling gekoppeld zijn en een werkende magneetspleet tussen 25 eerste oppervlakken van elk van de magnetische kernelementen en een aangrijpvlak dat naar een bewegend magnetisch regi-streermedium wijst, vertoont, waarbij de spleet zich in hoofdzaak loodrecht op het een diepte van de werkende magneetspleet vormende aangrijpoppervlak uitstrekt, 30 waarbij elk magnetisch kernelement gevormd is uit een mane-tisch ferrietblok, en een magnetisch metalen dunne film is gevormd op een tweede oppervlak van het magnetische ferrietblok, waarbij de magnetisch metalen dunne film op een zodanige 35 manier is aangebrachf, dat een rand van de magnetisch metalen dunne film die blootkomt op een eerste oppervlak van het magnetisch kernelement, zich parallel aan een richting van de 8403971 ~ \ ♦ -34- diepte uitstrekt, en een andere rand die op het aangrijpoppervlak blootkorat, zich langs een lijn met een niet-rechte hoek naar de werkende magneetspleet gezien op het aangrijpoppervlak, uitstrekt, 5 en waarbij de kernelemeten op een zodanige manier zijn gekoppeld, dat de werkende magneetspleet wordt gevormd tussen de randen die op het eerste oppervlak van elk van de magnetische kernelementen blootkomen en de andere randen in een gewone rechte lijn zijn opgesteld.1. Magnetic transducer head comprising: a first magnetic core element, and a second magnetic core element, each first and second core element comprising a magnetic ferrite block and a magnetic metal thin film integrated with the magnetic ferrite block; the core element having a first flat surface and a second flat surface, the magnetic metal thin film being applied to the second flat surface and having an edge thereon, which edge points to the first flat surface, the second flat surface being oblique arranged relative to the first flat surface? and wherein first and second core elements are mutually coupled such that a working magnetic gap is formed between the edge of the magnetic metal thin film on the first core element and the edge of the magnetic metal thin film on the second core element, and the magnetic thin film on the first core element and the magnetic metal thin film on the second core element are formed in one common plane. Magnetic transducer head comprising: a first and a second magnetic core element, which are mutually coupled and exhibit a working magnetic gap between first surfaces of each of the magnetic core elements and an engagement surface pointing to a moving magnetic recording medium, the gap being extending substantially perpendicular to the engaging surface forming a depth of the working magnetic gap, each magnetic core element being formed from a magnetic ferrite block, and a magnetic metal thin film formed on a second surface of the magnetic ferrite block, the magnetic metals thin film is arranged in such a manner that an edge of the magnetic metal thin film exposed on a first surface of the magnetic core element extends parallel to a direction of the depth 8403971 ~ 34 and another edge that is exposed on the engagement surface along a line with a seen at right angles to the working magnetic gap on the engaging surface, extends, and the kernel blades are coupled in such a manner that the working magnetic gap is formed between the edges exposed on the first surface of each of the magnetic core elements and the other edges are arranged in a straight line. 3. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de werkende magneetspleet is aangebracht aan het centrale deel van het aangrijpoppervlak.Magnetic transducer head according to claim 1 or 2, characterized in that the working magnetic gap is arranged on the central part of the engaging surface. 4. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat een hoek van het eerste vlakke opper- 15 vlak en het tweede vlakke oppervlak gezien op het aangrijpoppervlak, zich tussen 20° en 80° bevindt.Magnetic transducer head according to claim 1 or 2, characterized in that an angle of the first flat surface and the second flat surface as seen on the engaging surface is between 20 ° and 80 °. 5. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, gekenmerkt door een opening voor een windingsspoel die op ten minste één van de naar het eerste vlakke oppervlak wij- 20 zende kernelement is aangebracht, welke de werkende magneetspleet en een achterspleet scheidt, en door een gewonden spoel door de opening.5. Magnetic transducer head according to claim 1 or 2, characterized by an opening for a winding coil arranged on at least one of the core element pointing towards the first flat surface, which separates the working magnet gap and a rear gap, and by a wound rinse through the opening. 6. Magnetische transducentkop volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat.de magnetisch metalen dunne film zich 25 uitstrekt naar de achterspleet.6. Magnetic transducer head according to claim 5, characterized in that the magnetic metal thin film extends to the rear slit. 7. Magnetische transducentkop volgens, conclusie 5, met het kenmerk, dat de achterspleet is gevormd tussen elk ferrietblok van het kernelement.Magnetic transducer head according to claim 5, characterized in that the back gap is formed between each ferrite block of the core element. 8. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 30 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film in hoofdzaak een uniforme zuilvormige structuur over het gehele gebied van de magnetisch metalen dunne film heeft.Magnetic transducer head according to claim 1 or 30, characterized in that the magnetic metal thin film has a substantially uniform columnar structure over the entire area of the magnetic metal thin film. 9. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een 35 kristallijne legering is.Magnetic transducer head according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic metal thin film is a crystalline alloy. 10. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een Fe-Al-Si legering is,Magnetic transducer head according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic metal thin film is an Fe-Al-Si alloy, 11. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 8403971 » -35- 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film in hoofdzaak uniforme magnetisch anisotropiekarakteristieken over het gehele gebied van de magnetisch metalen dunne film heeft.Magnetic transducer head according to claim 1 or 8403971 -35-2, characterized in that the magnetic metal thin film has substantially uniform magnetic anisotropy characteristics over the entire range of the magnetic metal thin film. 12. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een amorfe legering is.Magnetic transducer head according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic metal thin film is an amorphous alloy. 13. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een 10 metaal-metaloïd amorfelegering is.Magnetic transducer head according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic metal thin film is a metal-metaloid amorphous alloy. 14. Magnetische transducentkop volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaal amorfelegering is.Magnetic transducer head according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic metal thin film is a metal-metal amorphous alloy. 15. Magnetische transducentkop omvattende: 15 een eerste en een tweede magnetisch kernelement die gekoppeld zijn en een werkende magneetspleet vertonen tussen eerste vlakke oppervlakken van elk van de magnetische kernelementen en een aangrijpvlak met een bewegend magnetisch registreermedium hebben, 20 waarbij elk magnetisch kernelement een derde oppervlak dat zich nabij het eerste vlakke oppervlak en het aangrijpopper-• vlak uitstrekt, vertoont, waarbij het kernelement een magnetisch ferrietblok met een tweede vlak oppervlak dat zich vanaf het eerste vlakke opper-25 vlak naar een zijde van het derde oppervlak uitstrekt, omvat , waarbij een op het tweede vlakke oppervlak gevormde magnetisch metalen dunne film zich uitstrekt vanaf het eerste vlakke oppervlak naar de zijde van het derde oppervlak toe 30 langs een lijn die niet loodrecht is op de magneetspleet gezien op het aangrijpoppervlak, waarbij een non-magnetisch materiaaldeel zich uitstrekt naar het eerste vlakke oppervlak, naar het aangrijpoppervlak en naar het derde oppervlak, 35 waapbij een uitgesneden deel zich uitstrekt vanaf het eerste vlakke oppervlak nabij de magnetisch metalen dunne film, naar het aangrijpoppervlak en naar een ander oppervlak dat zich nabij het eerste vlakke oppervlak en het aangrijpoppervlak uitstrekt, 8403271 * . * -36- waarbij de eerste en tweede kernelementen op een zodanige manier onderling zijn gekoppeld, dat de werkende magneetspleet wordt gevormd tussen randen van de magnetisch metalen dunne films die blootkomen op de eerste vlakke oppervlakken van elk 5 kernelement, en waarbij elke lijn van het eerste kernelement en het tweede kernelement op een gezamenlijke rechte lijn gezien op het aangrijpoppervlak, liggen.15. Magnetic transducer head comprising: 15 a first and a second magnetic core element which are coupled and exhibit a working magnetic gap between first planar surfaces of each of the magnetic core elements and have an engagement surface with a moving magnetic recording medium, each magnetic core element having a third surface extending near the first flat surface and the engaging surface, the core element comprising a magnetic ferrite block having a second flat surface extending from the first flat surface to one side of the third surface, wherein a magnetic metal thin film formed on the second flat surface extends from the first flat surface towards the side of the third surface along a line not perpendicular to the magnetic gap viewed on the engaging surface, a non-magnetic material portion extending to the first flat surface, to the engaging surface and to the third surface, where a cut portion extends from the first flat surface near the magnetic metal thin film, to the engaging surface and to another surface extending near the first flat surface and the engaging surface, 8403271 *. * -36- wherein the first and second core elements are mutually coupled in such a manner that the working magnet gap is formed between edges of the magnetic metal thin films exposed on the first flat surfaces of each core element, and each line of the the first core element and the second core element lie on a joint straight line seen on the engagement surface. 16. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de werkende magneetspleet is aangebracht 10 aan het centrale deel van het aangrijpoppervlak.Magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that the working magnetic gap is arranged on the central part of the engaging surface. 17. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat een hoek van het eerste vlakke oppervlak en het tweede vlakke oppervlak gezien op het aangrijpoppervlak, tussen 20® en 80® is.Magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that an angle of the first flat surface and the second flat surface, seen on the engaging surface, is between 20® and 80®. 18. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, gekenmerkt door een opening voor een windingsspoel die op ten minste één van de naar het eerste vlakke oppervlak wijzende kernelementen is aangebracht, welke de werkende magneetspleet en een achterspleet uit elkaar houdt, en door een gewonden 20 spoel door de opening. T9. Magnetische transducentkop volgens conclusie 18, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film zodanig is aangebracht, dat deze zich uitstrekt naar de achterspleet.Magnetic transducer head according to claim 15, characterized by an opening for a winding coil arranged on at least one of the core elements pointing towards the first flat surface, which separates the working magnet gap and a rear gap, and through a wound coil through the opening. T9. Magnetic transducer head according to claim 18, characterized in that the magnetic metal thin film is arranged to extend to the rear slit. 20. Magnetische transducentkop volgens conclusie 18, 25 met het kenmerk, dat de achterspleet is gevormd tussen elk ferrietblok van het kernelement.Magnetic transducer head according to claim 18, 25, characterized in that the back gap is formed between each ferrite block of the core element. 21. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen film in hoofdzaak een uniforme zuilvormige structuur over het gehele oppervlak 30 van de magnetisch metalen dunne film heeft.21. Magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that the magnetic metal film has a substantially uniform columnar structure over the entire surface of the magnetic metal thin film. 22. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een kristallijne legering is.Magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that the magnetic metal thin film is a crystalline alloy. 23. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, 35 met .het kenmerk, dat de magnetiisch metalen dunne film een Fe-Al-Si legering is.Magnetic transducer head according to claim 15, 35, characterized in that the magnetic metal thin film is an Fe-Al-Si alloy. 24. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film in hoofdzaak uniforme magnetische anisotropiekarakteristieken 8403071 m -37- over het gehele oppervlak van de magnetisch metalen dunne film heeft.Magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that the magnetic metal thin film has substantially uniform magnetic anisotropy characteristics 8403071 m -37- over the entire surface of the magnetic metal thin film. 25. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een 5 amorfe legering is.25. Magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that the magnetic metal thin film is an amorphous alloy. 26. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaloïd amorfe legering is.The magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that the magnetic metal thin film is a metal-metaloid amorphous alloy. 27. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, 10 met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaal amorfe legering is.Magnetic transducer head according to claim 15, 10, characterized in that the magnetic metal thin film is a metal-metal amorphous alloy. 28. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat het non-magnetische materiaaldeel is gevormd uit non-magnetisch glas met een eerste smeltpunt.Magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that the non-magnetic material part is formed from non-magnetic glass with a first melting point. 29. Magnetische transducentkop volgens conclusie 28, met het kenmerk, dat het uitgesneden deel is gevuld met non-magnetisch materiaal.Magnetic transducer head according to claim 28, characterized in that the cut-out part is filled with non-magnetic material. 30. Magnetische transducentkop volgens conclusie 29, met het kenmerk, dat het non-magnetische materiaal een non- 20 magnetisch glas met een smeltpunt lager dan het eerste smeltpunt is.30. Magnetic transducer head according to claim 29, characterized in that the non-magnetic material is a non-magnetic glass with a melting point lower than the first melting point. 31. Magnetische transducentkop volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat het uitgesneden deel een uitstulpend deel naar de magnetisch metalen dunne film heeft.Magnetic transducer head according to claim 15, characterized in that the cut-out part has a protruding part towards the magnetic metal thin film. 32. Magnetische transducentkop omvattende een paar magnetische kernelementen die onderling gekoppeld zijn voor het vormen van een werkende magneetspleet daartussenin en die een aangrijpvlak met een bewegend magnetisch registreermedium vormen, 30 waarbij de werkende magneetspleet gevormd is tussen magnetisch metalen dunne films die elk gevormd zijn in de magnetische kernelementen, en waarbij de magnetisch metalen dunne films zich uitstrekken op het aangrijpoppervlak langs een rechte lijn met een niet-rechte hoek ten opzichte van de wer- 35 kende magneetspleet, en waarbij de magnetisch metalen dunne films een in hoofdzaak uniforme zuilvormige korrelstructuur over het gehele gebied van de magnetisch metalen dunne film hebben.32. Magnetic transducer head comprising a pair of magnetic core elements which are mutually coupled to form a working magnetic gap therebetween and which form an engagement surface with a moving magnetic recording medium, the working magnetic gap being formed between magnetic metal thin films each formed in the magnetic core elements, and wherein the magnetic metal thin films extend on the gripping surface along a straight line at a non-right angle to the working magnetic gap, and wherein the magnetic metal thin films have a substantially uniform columnar grain structure across the entire area of the magnetic metal thin film. 33. Magnetische transducentkop volgens conclusie 32, 8403971 ^ * ί - -38- met het kenmerk/ dat de magnetisch metalen dunne film een kristallijne legering is.33. Magnetic transducer head according to claim 32, 8403971 ^ -38- characterized in that the magnetic metal thin film is a crystalline alloy. 34. Magnetische transducentkop volgens conclusie 32, met het kenmerk/ dat de magnetisch metalen dunne film eenA magnetic transducer head according to claim 32, characterized in that the magnetic metal thin film is a 5 Fe-Al-Si legering is.5 is Fe-Al-Si alloy. 35. Magnetische transducentkop omvattende een paar magnetische kernelementen die onderling gekoppeld zijn voor het vormen van een werkende magneetspleet daartussen, en die een aangrijpvlak met een bewegend magnetisch registreermedium 10 vormen, waarbij de werkende magneetspleet is gevormd tussen magnetisch metalen dunne films die elk gevormd zijn in de magnetische kernelementen, en de metalen dunne films zich uitstrekken op het aangrijpvlak langs een rechte lijn met een 15 niet-rechte hoek ten opzichte van de werkende magneetspleet, en waarbij de magnetisch metalen dunne film in hoofdzaak uniforme magnetische anisotropiekarakteristieken over het gehele gebied van de magnetisch metalen dunne film heeft.A magnetic transducer head comprising a pair of magnetic core elements which are mutually coupled to form a working magnetic gap therebetween and which form an engagement surface with a moving magnetic recording medium 10, the working magnetic gap being formed between magnetic metal thin films each formed in the magnetic core elements, and the metal thin films extend on the engagement surface along a straight line at a non-right angle to the working magnet slit, and the magnetic metal thin film having substantially uniform magnetic anisotropy characteristics over the entire range of the magnetic metal thin film. 36. Magnetische transducentkop volgens conclusie 35, 20 met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een / amorfe legering is.Magnetic transducer head according to claim 35, 20, characterized in that the magnetic metal thin film is an / amorphous alloy. 37. Magnetische transducentkop volgens conclusie 35, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaloïd amorfe legering is.The magnetic transducer head according to claim 35, characterized in that the magnetic metal thin film is a metal-metaloid amorphous alloy. 38. Magnetische transducentkop volgens conclusie 35, met het kenmerk, dat de magnetisch metalen dunne film een metaal-metaal amorfe legering is.Magnetic transducer head according to claim 35, characterized in that the magnetic metal thin film is a metal-metal amorphous alloy. 39. Werkwijze voor de vervaardiging van een magnetische transducentkop omvattende de volgende stappens 30 a) het preparen van een paar magnetische ferrietblokken die elk een eerste en een tweede nabij elkaar gelegen oppervlakken hebben; b) het vormen van een eerste groef over een hoek van het eerste en het tweede oppervlak, welke groef zich uitstrekt 35 naat het eerste en het tweede oppervlak; c) het over de hoek en nabij de eerste groef vormen van een tweede groef, waarbij de tweede groef een derde oppervlak nabij de eerste groef vertoont en zich schuin uitstrekt ten opzichte van het tweede oppervlak, waarbij een door het tweede « 8403971 i > -39- oppervlak en het derde oppervlak gevormde lijn zich loodrecht op het eerste oppervlak uitstrekt? d) het vormen van een magnetisch metalen dunne film over het oppervlak door fysische dampneerslag? 5 e) het slijpen van een zijde van het tweede oppervlak voor het doen blootkomen van een rand van de magnetisch metalen dunne film? f) het vormen van een derde groef voor het winden van een spoel op ten minste één van de ferrietblokken? en 10 g) het onderling koppelen van de ferrietblokken voor het vormen van een magneetspleet tussen de randen van de op de ferrietblokken gevormde magnetisch metalen dunne films?39. A method of manufacturing a magnetic transducer head comprising the following steps 30 a) prepairing a pair of magnetic ferrite blocks each having a first and a second adjacent surfaces; b) forming a first groove over an angle of the first and second surfaces, which groove extends to the first and second surfaces; c) forming a second groove over the corner and near the first groove, the second groove having a third surface near the first groove and extending obliquely relative to the second surface, whereby a through the second "8403971" is - 39- surface and the third surface formed line extends perpendicular to the first surface? d) forming a magnetic metal thin film over the surface by physical vapor deposition? E) grinding one side of the second surface to expose an edge of the magnetic metal thin film? f) forming a third groove for winding a coil on at least one of the ferrite blocks? and g) coupling the ferrite blocks together to form a magnetic gap between the edges of the magnetic metal thin films formed on the ferrite blocks? 40. Werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop volgens conclusie 39, gekenmerkt door 15 de stap van het vullen van non-magnetisch materiaalin de eerste groef.40. A method of manufacturing a magnetic transducer head according to claim 39, characterized by the step of filling non-magnetic material into the first groove. 41. Werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop volgens conclusie 39, gekenmerkt door de stap van het vullen van non-magnetisch materiaal in de 20 tweede groef.41. A method of manufacturing a magnetic transducer head according to claim 39, characterized by the step of filling non-magnetic material into the second groove. 42. Werkwijze voor het vervaardigen van een magnetische transducentkop volgens conclusie 41, met het kenmerk, dat een stap van het vullen van non-magnetisch materiaal in de tweede groef en de stap van het onderling koppelen van de 25 ferrietblokken voor het vormen van een magneetspleet tussen de randen van de op elk ferrietblok gevormde magnetisch metalen dunne films tegelijkertijd zijn uitgevoerd. 840397142. A method of manufacturing a magnetic transducer head according to claim 41, characterized in that a step of filling non-magnetic material in the second groove and the step of coupling the ferrite blocks together to form a magnetic gap between the edges of the magnetic metal thin films formed on each ferrite block are made simultaneously. 8403971