JPS60223012A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPS60223012A JPS60223012A JP59078242A JP7824284A JPS60223012A JP S60223012 A JPS60223012 A JP S60223012A JP 59078242 A JP59078242 A JP 59078242A JP 7824284 A JP7824284 A JP 7824284A JP S60223012 A JPS60223012 A JP S60223012A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気ヘッドに関し、特に強磁性酸化物材料と強
磁性金属材料との複合磁性材料からなる磁気ヘッドに関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head, and more particularly to a magnetic head made of a composite magnetic material of a ferromagnetic oxide material and a ferromagnetic metal material.
背景技術とその問題点
例えばＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）川の磁気記録媒
体である磁気テープに磁気記録される信号が高密度化さ
れ′ζくるに従い磁気テープとし”ζ高い残留時速密度
Ｏｒを有するメタルテープ等が使用されてきている。こ
のメタルテープ等の高い抗磁力Ｈｃを持つ磁気テープに
用いられる磁気ヘッドは磁気ギャップより発生する磁界
の強度を西くする必要があり、また記録される信号の高
密度化に伴ない磁気ヘッドのトラック幅を狭くする必要
がある。BACKGROUND TECHNOLOGY AND PROBLEMS For example, as signals magnetically recorded on magnetic tape, which is a magnetic recording medium for VTRs (video tape recorders), become more dense, magnetic tape is used as a metal with a high residual hourly density Or. magnetic tapes, etc. have been used.The magnetic heads used for magnetic tapes with high coercive force Hc, such as metal tapes, need to increase the strength of the magnetic field generated from the magnetic gap, and also reduce the intensity of the recorded signal. As the density increases, it is necessary to narrow the track width of the magnetic head.
そこで、このような磁気ヘッドとしては従来より種々の
ものが提案されており、この狭トラツク化の磁気ヘッド
としては第１図に不ずように強磁性酸化物よう成るコア
半休（ｌａ） （ｌｂ）間の°磁気ギャップｇを強磁性
金属Ｓ股（２ａ） （２ｂ）により形成したヘッドが知
られている。即ち、この第１図の磁気ヘッドは第２図に
そのテープ対接面を拡大して示すようにＭｎ−Ｚｎフェ
ライトｉの強磁性酸化物よりなるコア半’ｈ （ｌａ）
、（ｌｂ）の磁気ギャップ形成面側にトラック幅規制
凹部（ｌａ’）。Therefore, various types of magnetic heads have been proposed in the past, and the narrow track magnetic head shown in Figure 1 has a core made of ferromagnetic oxide (la) (lb). ) is formed by a ferromagnetic metal S crotch (2a) (2b). That is, the magnetic head of FIG. 1 has a core half made of a ferromagnetic oxide of Mn-Zn ferrite, as shown in FIG. 2 with an enlarged view of its tape contact surface.
, (lb) has a track width regulating recess (la') on the magnetic gap forming surface side.
（ｌｂ’）によりフェライト突起部（ｌａ”） 、（ｌ
ｂ″）を形成し、この突起部（Ｉａ”） 、（ｌｂ”）
の−側面からトラック幅規制凹部（Ｉａ’） 、、（ｌ
ｂ’）に充填される非磁性材（３ａ） （３ｂ）にかり
°ζスパッタリング等の真空薄膜形成技術を用いてセン
ダスト等Φ強磁性金属＠、膜（２ａ） 、（２ｂ）を被
着形成し、この一対のコア半休（ｌａ） 、（Ｉｂ）を
トラック幅規制四部（、Ｌａ’） （１’、ｉ’）に溶
融充填される補強用ガラス（４）により融着接合してい
る。(lb') makes the ferrite protrusion (la''), (l
b″), and these protrusions (Ia″), (lb″)
Track width regulating recess (Ia') , (l
Non-magnetic material (3a) (3b) filled in b') is coated with Φ ferromagnetic metal such as sendust, film (2a), (2b) using vacuum thin film forming technology such as sputtering. The pair of core halves (la) and (Ib) are fused and bonded to the four track width regulating portions (, La') (1', i') using reinforcing glass (4) which is fused and filled.
この磁気ヘッドは上記突起部（ｌａ”） 、（ｌｂ”）
に被着された強磁性金属薄膜（２ａ） 、（２ｂ）を利
用し゛ζ磁気ギャップｇを形成しているため磁気抵抗が
小さく効率の良い狭トラツクヘッドを得ることができる
。This magnetic head has the above-mentioned projections (la") and (lb").
Since the magnetic gap g is formed using the ferromagnetic metal thin films (2a) and (2b) deposited on the magnetic head, an efficient narrow track head with low magnetic resistance can be obtained.
しかし、このように複合磁性材料からなる磁気ヘットは
トランク幅規制凹部（ｌａ’） 、（ｌｂ″）の端面即
ち、コア半休（ｌａ） （ｌｂ）と非磁性材（２ａ）（
２ｂ）との界面が傾斜して形成されているので磁気ギャ
ップＩＪがアジマス記録を行うようにアジマス角度で形
成されている場合隣接又↓よ隣々接トラックの信号を拾
・いクロストークを生じるおそれがある。However, in the magnetic head made of composite magnetic material as described above, the end faces of the trunk width regulating recesses (la') and (lb''), that is, the core half-hole (la) (lb) and the non-magnetic material (2a) (
Since the interface with 2b) is formed at an angle, if the magnetic gap IJ is formed at an azimuth angle to perform azimuth recording, it picks up signals from adjacent or adjacent tracks, resulting in crosstalk. There is a risk.
発明の目的
本発明は断る点に鑑み強磁性酸化物よりなる磁気コアに
強磁性金属Ｓ膜を被着して磁気ギヤ・ノブを形成する磁
気ヘッドにおいて隣接又は隣々接トランクからのクロス
トークの低減化を図ったものである。Purpose of the Invention In view of the above points, the present invention solves the problem of crosstalk from adjacent or adjacent trunks in a magnetic head in which a magnetic gear knob is formed by coating a magnetic core made of a ferromagnetic oxide with a ferromagnetic metal S film. This is an attempt to reduce the amount of water used.
発明の概要
本発明は上記の目的を達成するために、強磁性酸化物よ
りなる磁気コア半休対の対接面に真空薄膜形成技術によ
り強磁性金属薄膜を形成し、この磁気コア半休対を突き
合わせ磁気ギャップを形成し°ζなる磁気ヘッドにおい
ζ、磁気ギャップと強磁性金属薄膜形成面とが所要角度
で傾斜しＣおり強磁性金属薄膜のみにより磁気ギャップ
を形成しテープ対接面に強磁性金属薄膜と強磁性酸化物
及び非磁性材が配され、且ワ強磁性酸化物と〕ト磁骨材
との界面が屈曲していることを特徴とし、隣１・８又は
隣々接トラックからのクロストークの低減化を図ったも
のである。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention forms a ferromagnetic metal thin film on the opposing surfaces of a pair of magnetic cores made of ferromagnetic oxide by vacuum thin film formation technology, and then butts the pairs of magnetic cores. In a magnetic head that forms a magnetic gap, the magnetic gap and the surface on which the ferromagnetic metal thin film is formed are inclined at a predetermined angle. A thin film, a ferromagnetic oxide, and a non-magnetic material are arranged, and the interface between the ferromagnetic oxide and the magnetic aggregate is curved, and it is characterized by the fact that the interface between the ferromagnetic oxide and the magnetic aggregate is curved. This is intended to reduce crosstalk.
実施例 以Ｆ本発明の実施例を図面に基づき説明する。Example Hereinafter, embodiments of the present invention will be described based on the drawings.
第３図は本発明記係わる磁気ヘッドの一例の斜視図で島
る。この複合磁性材料からなる磁気へ・ノドは例えば一
対の磁気コア半休（ｌｌａ ） 、＜ｌｌｂ ）がＭｎ
−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物により形成され磁気
ギャップｇの近傍部には晶透磁率合金のセンダスト等か
らなる強磁性金属Ｓ膜Ｍ （１２ａ ） 。FIG. 3 is a perspective view of an example of a magnetic head according to the present invention. For example, the magnetic node made of this composite magnetic material has a pair of magnetic cores (lla), <llb) with Mn
- A ferromagnetic metal S film M (12a) formed of a ferromagnetic oxide such as Zn ferrite, and in the vicinity of the magnetic gap g, formed of a crystalline permeability alloy such as sendust.
（１２ｂ）がスパックリング等の真空Ｗｔ膜形成技術を
用いて形成され、そして磁気ギャップｇの形成面近傍即
ちテープ対接面（１１）における磁気ギャップｇの両側
部にトラック幅を規制する凹部（ｌｌａ’）（ｌｌｂ’
）が形成され、この凹部に非磁性材としての酸化物ガラ
ス（１３ａ ） 、（１３ｂ ）及び融着ガラス（１４
）が溶融充填され°ζいる。(12b) are formed using a vacuum Wt film forming technique such as spuckling, and recesses (12b) for regulating the track width are formed near the surface where the magnetic gap g is formed, that is, on both sides of the magnetic gap g on the tape contact surface (11). lla') (llb'
) is formed, and oxide glasses (13a), (13b) as non-magnetic materials and fused glass (14) are formed in this recess.
) is melt-filled.
とごろで本例の磁気ヘッドはテープ対接面（ＩＩ）の平
面図を第４図に示すように磁気ギヤツブｇは所定のアジ
マス角度で形成され、また磁気コア半休（ｌｌａ ）
、（ｌｌｂ ）のトランク幅規制四部（ｌｌａ’）（ｌ
ｌｂ’）の端ｉｈ＋は磁気ギャップｇのアジマス角と異
なる方向で２段階の傾斜面（ｆｌａｘ’） （１ｌａ２
’） 。In the magnetic head of this example, as shown in FIG. 4, which is a plan view of the tape contacting surface (II), the magnetic gear gear g is formed at a predetermined azimuth angle, and the magnetic core is half-open (lla).
, (llb) trunk width regulation four parts (lla') (l
The end ih+ of lb') is a two-step inclined surface (flax') (1la2
').
（ｌｌｂ１’） （１ｌｂ２’）により形成し°ζある
。(llb1') (1lb2') is formed by °ζ.
また強磁性金属薄膜（１２ａ ） 、（１２ｂ ）の形
成面と磁気ギャップｇの形成面のなす傾斜角度θはほぼ
４５°となっているが、２０°〜８０°程度の範囲とし
てもよい。ここで２０°以Ｆの角度であると隣接トラン
クからのクロストークが大きくなり望ましくは３０”以
上の角度をもたせるのがよい。また傾斜角度を９０゛に
した場合は耐摩耗性が劣ることから８０°以下とするの
がよい。また傾斜角度を９０゜にするとアジマス角の傾
斜のない普通のヘッドの場合は磁気ギャップｇの近傍部
に形成される」二連の強磁性金属薄１ｉ’ （１２ａ
） 、（１２ｂ ）の映ｊ’１をトラック幅に等しく形
成する必要があり、真空薄膜形成技術を用い°ζ薄般を
形成するに当たっζ多（の時間を要してしまうことや膜
構造が不均一化しζしまう点で好ましくない。Further, the angle of inclination θ formed by the plane where the ferromagnetic metal thin films (12a) and (12b) are formed and the plane where the magnetic gap g is formed is approximately 45°, but may be in the range of approximately 20° to 80°. If the angle is 20 degrees or more, crosstalk from adjacent trunks will increase, so it is preferable to have an angle of 30" or more. Also, if the angle of inclination is 90 degrees, wear resistance will be poor. The angle of inclination is preferably 80° or less.If the inclination angle is 90°, two series of ferromagnetic metal thin layers 1i' ( 12a
), (12b) must be formed so that the reflection j'1 is equal to the track width, and it takes a long time to form a thin film using vacuum thin film formation technology, and the film structure This is undesirable in that it causes non-uniformity and ζ.
このように本例の磁気ヘッドは磁気コア半休（ｌｌａ）
の傾斜面及び非磁性材（１３ａ）上を連ねた一平面上に
強磁性金属′ＩＷ膜（１２ａ＞が被着形成され、また他
方の磁気コア半休（ｌｌｂ）の傾斜面及び非磁性材（１
３ｂ）上を連ねた一平面上に強磁性金属薄膜（１２ｂ）
が被着形成されていることにより、例えばセンゲスト膜
からなる強磁性金属薄膜（１２ａ ） 、（１２ｂ ）
の股構造即ち柱状晶の成長方位は磁気ギヤツブｇ近傍部
及び佃斜面に亘って一方向に平行に揃った均一なものと
なっており、このため磁気−・ラドは磁路に沿った方向
で強磁性金属１１１Ｗ （１２ａ ） 、（１２ｂ ）
の全体が商い透磁率を示すようになり高い記録再生出力
が得られる。In this way, the magnetic head of this example has a magnetic core half-open (lla).
A ferromagnetic metal 'IW film (12a) is deposited on one plane that connects the inclined surface of the magnetic core and the non-magnetic material (13a), and the inclined surface of the other magnetic core half-hole (llb) and the non-magnetic material (13a) are formed. 1
3b) Ferromagnetic metal thin film (12b) on one plane connected to the top
ferromagnetic metal thin films (12a) and (12b) made of, for example, Sengest films.
The crotch structure, that is, the growth direction of the columnar crystals is uniform and parallel to one direction over the vicinity of the magnetic gear g and the Tsukuda slope. Ferromagnetic metal 111W (12a), (12b)
The entire area exhibits magnetic permeability, resulting in high recording and reproducing output.
また磁気ヘッドの後部側はＭｎ−Ｚｎフェライト等の強
磁性酸化物どうしを突き合わせ゛ζ接合し“ζおた強磁
性金属＊１９ｉ （１２ａ ） 、（１２ｂ ）と磁気
コ°１半体（ｌｌａ ） 、（ｌｌｂ ）との密着性が
悪くとも大きな接着強度を得ることができ、また加工時
にバンクトラックずれが発生ずるようなこともなく歩留
りの向上を図ることができる。In addition, the rear side of the magnetic head is made by butting ferromagnetic oxides such as Mn-Zn ferrite and joining them together. ), (llb), it is possible to obtain a large adhesive strength even if the adhesion is poor, and it is possible to improve the yield without causing bank track deviation during processing.
またトラック幅は数μ〜数十μの広範囲に容易に形成す
ることができ絶縁腺を介して例えば多層に積層される強
磁性金属ｔＷＭ （１２ａ ） 、（１２ｂ ）の積層
数を少なくすることで狭トランク化の磁気ヘッドとする
ことができる。In addition, the track width can be easily formed in a wide range from several microns to several tens of microns, and by reducing the number of laminated layers of ferromagnetic metal tWM (12a) and (12b), which are laminated in multiple layers, for example, through insulating glands. The magnetic head can have a narrow trunk.
そして本例の磁気ヘッドは磁気コア半休（ｌｌａ）。The magnetic head of this example has a magnetic core half-open (lla).
（ｌｌｂ）のトランク幅規制凹部（ｌｌａ ’） 、＜
ｌｌｂ ’）の端面が磁気ギャップｇのアジマス角と
異なる方向で傾斜されているごとにより隣接及び隣々接
トラックからのクロストークが減少される。Trunk width regulating recess (lla') of (llb), <
Crosstalk from adjacent and adjacent tracks is reduced by slanting the end face of llb') in a direction different from the azimuth angle of the magnetic gap g.
即ち一般には隣接トラックのクロストークは問題となら
ないような方策がなされζおり、例えば第５図に示すＶ
ＴＲの磁気テープ′ｒのように１１−いに隣接するトラ
ンクｔ１とＬ２＋ｊ２とｔ３・・・・は相対的に異なる
アジマス角で記録し相互のクロストークの問題を解消す
るようになされているが、隣々接トランクＬ１とＬ３＋
Ｌ２とＬ４＋Ｌ３とＬ５・・・・の記録アジマス角は同
方向であるためクロストークの問題が生じるごとになり
、このクロストークの問題が生じるのは、隣々接トラッ
クのクロストークであるが、本例のごとく磁気コア半休
（ｌｌａ） 、（ｌｌｂ）のトラック幅規制四部（ｌｌ
ａ ’） 。That is, in general, measures are taken so that crosstalk between adjacent tracks does not become a problem. For example, V as shown in FIG.
Like the TR magnetic tape 'r, the 11-th adjacent trunks t1, L2+j2, t3, etc. are recorded at relatively different azimuth angles to solve the problem of mutual crosstalk. , adjacent trunks L1 and L3+
Since the recording azimuth angles of L2 and L4+L3 and L5... are in the same direction, a crosstalk problem occurs every time.This crosstalk problem occurs due to crosstalk between adjacent tracks. As in this example, the track width regulation four parts (lla) and (llb) of the magnetic core are half closed (lla) and (llb).
a').
（ｆｌｂ’）の端面を磁気ギャップｇのアジマス角と異
なる方向の角度で二段階に傾斜させて形成することによ
り、この磁気コア半休（ｌｌａ ） 、（ｆｌｂ ）の
トラック幅規制四部（ｌｌａ ’） 、（ｌｌｂ ’）
の端縁が隣接又は隣々接トラックに対応してもアジマス
損失によって、隣接又は隣々接トラックからの信号のピ
ック′１ツブ量即ちクロストークを減少させることがで
きる。By forming the end face of (flb') to be inclined in two steps at an angle in a direction different from the azimuth angle of the magnetic gap g, the track width regulating portions (lla') of the magnetic core half (lla) and (flb) are formed. , (llb')
Even if the edge of the track corresponds to an adjacent or adjacent track, the azimuth loss can reduce the amount of pick '1' or crosstalk of the signal from the adjacent or adjacent track.
尚、アジマス記録においても長波長成分の信号は磁気コ
ア半休のトラック幅規制凹部の端縁で再生され、クロス
トークとして本信号に交じるおそれがあるが、トラック
幅規制凹部（ｌｌａ ’） 、（ｌｌｂ ’）の端縁間
の距離を約５０μｍ以上に保つように形成するごとによ
りヘッド空隙損失を利用してクロストーク成分を低減さ
せることができる。In addition, even in azimuth recording, the long wavelength component signal is reproduced at the edge of the track width regulating recess in the half-closed part of the magnetic core, and there is a risk that it may be mixed with the main signal as crosstalk. By forming the head so that the distance between the edges thereof is maintained at approximately 50 μm or more, it is possible to reduce the crosstalk component by utilizing the head gap loss.
以上説明したように本例の磁気ヘッドは磁気ギャップｇ
から発生ずる磁界の強度が妬いことやせ１生出力を高く
とれ、また隣接又は隣々接トラックからのクロストーク
を低減させることができることなど、例えばメタルテー
プ等の高い抗磁力Ｈｃを有する磁気テープに高密度記録
するのに適した磁気ヘッドとなっている。As explained above, the magnetic head of this example has a magnetic gap g
The strength of the magnetic field generated by the magnetic field is very strong, so it is possible to obtain high raw output and reduce crosstalk from adjacent or adjacent tracks. This magnetic head is suitable for high-density recording.
次に上述の第３図に示す磁気ヘッドの製造工程を第６図
〜第１２図に基づき説明する。Next, the manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. 3 will be explained based on FIGS. 6 to 12.
先ず第６図に示すように例えばＭｎ−Ｚｎフェライト等
の強磁性酸化物基板（２０）の上面幅方向に複数の切り
溝（２１）を回転砥石または電界エツチング等により断
面多角形状に複数形成する。即ち上記基板（２０）の上
面（２３）は磁気ギャップ形成面に対応し、上記切り溝
（２１）は基板（２０）の磁気ギャップ形成位置近傍部
に相当する部分に形成される。First, as shown in FIG. 6, a plurality of kerfs (21) having a polygonal cross section are formed in the width direction of the top surface of a ferromagnetic oxide substrate (20) such as Mn-Zn ferrite using a rotating grindstone or electric field etching. . That is, the upper surface (23) of the substrate (20) corresponds to the magnetic gap forming surface, and the groove (21) is formed in a portion of the substrate (20) corresponding to the vicinity of the magnetic gap forming position.
次に第７図にボずように上記切り溝（２１）にＩｕｉ融
点ガラス（２２Ａ）を溶融充填した後−に面（２３）と
前面（２４）とを平向研磨する。そして第８図に示すよ
うに高融点ガラス（２２Ａ）を充填した上記切り溝（２
１）の一部とオーバラップするように−Ｆ記上面（２３
）に切り溝（２１）と隣り合うｉ数の切り溝（２５）を
断面三角形状に形成する。このとき形成される切り溝（
２５）の一方の内壁向（２６）には上記高融点ガラス（
２２＾）の一部が露出している。またこの一方の内壁面
（２６） と上記」二面（２３）との交線（２７）は上
記前面（２４）と直角をなしている。またこの一方の内
壁面（２６）と上面（２３）とのなす角度は所要角度例
えば４５°となっているがこの角度は上述の如＜２０°
〜８０°程度であればよい。Next, as shown in FIG. 7, the groove (21) is melted and filled with Iui melting point glass (22A), and then the surface (23) and the front surface (24) are flat-polished. Then, as shown in FIG. 8, the groove (2) filled with high melting point glass (22A) is
-F upper surface (23
), i number of kerf grooves (25) adjacent to the kerf groove (21) are formed with a triangular cross section. The kerf formed at this time (
The above-mentioned high melting point glass (
22^) is partially exposed. Further, the intersection line (27) between this one inner wall surface (26) and the above-mentioned two surfaces (23) is perpendicular to the above-mentioned front surface (24). Also, the angle formed between one of the inner wall surfaces (26) and the upper surface (23) is a required angle, for example, 45 degrees, but this angle is less than 20 degrees as described above.
It is sufficient if the angle is about 80°.
次に第９図にネオように上記基＆（２０）の上記切りｔ
Ｍ（２５）を含む上面（２３）にスパッタリング等の具
空薄膜形成技術を用いて西透磁率合金の例えばセンダス
トを絶縁膜を介して被着積層し、強磁性金属薄ＩＱ （
２８）を形成する。このとき切り溝（２５）の一方の内
壁面（２６）上に効率よく被着するように上記基＃ｌ！
（２０）を傾斜させ′ζスパッタリング装置■内に配置
するようにする。Next, in Figure 9, the above group & (20) are cut as shown in neo.
A ferromagnetic metal thin IQ (
28). At this time, the above-mentioned base #l! is applied so as to efficiently adhere to one inner wall surface (26) of the kerf (25).
(20) is tilted so that it is placed in the 'ζ sputtering apparatus (2).
次に第１Ｏ図にボずように強磁性金属薄膜（２８）が被
着された上記切り溝（２５）即ち、強磁性金属薄１１Ｑ
（２８）上に切り１（２５）に対応し°Ｃ形成される溝
（２５’）に上記ガラス（２２Ａ）よりも低融点のガラ
ス（２９）を溶融充填した後、上面（２３）即ち磁気ギ
ャップ形成面側に被着している不要なガラス及び強磁性
金属薄膜を研削除去し平面研磨し°ζζ画面げを行う。Next, as shown in FIG. 1O, the groove (25) on which the ferromagnetic metal thin film (28) is deposited, that is, the ferromagnetic metal thin film 11Q.
(28) After melting and filling the glass (29) with a lower melting point than the glass (22A) into the groove (25') formed on the top corresponding to the cut 1 (25), the upper surface (23), that is, the magnetic The unnecessary glass and ferromagnetic metal thin film adhering to the gap forming surface are removed by polishing, and the surface is polished to give a surface finish.
この状態におい′ζ前の工程で被着した強磁性金属薄Ｎ
＊（２Ｂ）の一部が上記切り溝（２５）の内壁面側に残
り、特に一方の内壁面（２６）に所定の厚さで被着され
た状態として残り、この一方の内壁面（２６）に強磁性
金属ｖＩ膜（２８Ａ）が被着された状態となる。尚、金
属薄膜は他方の内壁面にも被着されて残るがこれは上述
したスパッタリング装置内への配置により一方の内壁面
側に比して微少であるから図丞は省略する。In this state, the ferromagnetic metal thin N deposited in the previous process
*A part of (2B) remains on the inner wall surface side of the above-mentioned kerf (25), and in particular remains attached to one inner wall surface (26) with a predetermined thickness; ) is now covered with a ferromagnetic metal vI film (28A). Although the metal thin film remains on the other inner wall surface, it is not shown in the drawings because it is much smaller than that on the one inner wall surface due to the arrangement in the sputtering apparatus described above.
また巻線溝側の磁気コア半休を形成するために第１０図
に示すように加工を施した強磁性酸化物基板（２０）に
巻線溝（３１）を形成する溝加工を行い、第１１図に示
す強磁性酸化物基板（３０）を得る。この基板（３０）
で切り溝（２１）には曲融点ガラス（２２Ｂ）が充填さ
れ、切り溝（２５）の一方の内壁面には強磁性金属）ｌ
Ｖ険（２８Ｂ）が被着形成され°ζいる。In addition, in order to form the magnetic core half-hole on the winding groove side, the ferromagnetic oxide substrate (20) processed as shown in FIG. 10 is processed to form a winding groove (31). A ferromagnetic oxide substrate (30) shown in the figure is obtained. This board (30)
The cut groove (21) is filled with curved melting point glass (22B), and one inner wall surface of the cut groove (25) is filled with a ferromagnetic metal (ferromagnetic metal).
A V-shape (28B) is formed by adhesion.
次に上記基板（２０）の磁気ギヤツブ形成面となる上面
（？３）と上記基板（３ｏ）の磁気ギャップ形成面とな
る上向（３２）とを膜付けしたギャップスペー号を介し
て第１２図に示すように強磁性金属薄膜（２８Ａ）と（
２８Ｂ）とを対応させて突き合わせガラス融着を行う。Next, the 12th As shown in the figure, a ferromagnetic metal thin film (28A) and (
28B) are matched and glass fusion bonding is performed.
その後この基板（２ｏ）と基板（３０）とを合体させた
ブロック（３３）をこの接合面に対してアジマス角だけ
鋼けたａ−ａ線、ａ′ａ ｌ線の位置でスライシング加
工することでアジマス角で傾斜する磁気ギャップを有す
る複数個のヘントチツブを得ることができる。尚、基板
接合面に対して垂直にスライシングすると普通のヘッド
チップが形成できる。After that, the block (33) in which the substrate (2o) and the substrate (30) are combined is processed by slicing at the positions of the a-a line and the a'a l line, which are oriented at an azimuth angle with respect to this joint surface. A plurality of hent tips having magnetic gaps tilted at azimuthal angles can be obtained. Note that a normal head chip can be formed by slicing perpendicular to the substrate bonding surface.
ここで上記ギヤップスベー号としてはＳｉｏ２、ＺｒＯ
２、Ｔａ２ｅｓ 、Ｃｒ等を用いるこ止ができる。Here, the gears base numbers mentioned above include Sio2, ZrO
2. It is also possible to use Ta2es, Cr, etc.
次に、上記へラドチップの磁気テープ対接面を円筒４ｆ
磨することで第３図に示す磁気ヘッドとなる。この第３
図の磁気ヘッドにおい“ζ一方の磁気コア半休（ｌｌａ
）は上記基＆（２０）を母材としており、他方の磁気コ
ア半休（ｌｌｂ）は上記基板（３０）が母材となってい
る。また非磁性材（１３ａ）（１３ｂ）は上記高融点ガ
ラス（２２Ａ ） 、（２２８）に夫々対応し非磁性材
（１４）は上記低融点ガラス（２９）に対応しており、
この磁気ヘッドの強磁性金属＊股（１２ａ ） 、（１
２ｂ ）は上記金属薄膜（２８＾）。Next, attach the magnetic tape facing surface of the above Herad chip to a cylinder 4f.
After polishing, the magnetic head shown in FIG. 3 is obtained. This third
In the magnetic head shown in the figure, one of the magnetic cores is half closed (lla
) has the above base material &(20) as a base material, and the other magnetic core half body (llb) has the above substrate (30) as a base material. In addition, the non-magnetic materials (13a) and (13b) correspond to the high melting point glasses (22A) and (228), respectively, and the non-magnetic material (14) corresponds to the low melting point glass (29),
The ferromagnetic metal *crotch (12a) of this magnetic head, (1
2b) is the above metal thin film (28^).
（２８Ｂ）に夫々対応し、更に上記磁気ヘッドの巻線孔
（１５）は上記基板（３ｏ）に形成された巻線溝（３１
）に対応している。(28B), and the winding holes (15) of the magnetic head are formed in the winding grooves (31) formed in the substrate (3o).
) is supported.
そして上記磁気ヘッドのトラック幅規制四部（ｌｌａ
’） 、（ｌｌｂ ’）は上記基板（２０） 、（３０
） （７）切り溝（２５） 、（２５）に対応している
。そのためトラック幅規制四部（ｌｌａ ’） 、（ｌ
ｌｂ ’）の噛血部（ｆｌａｘ’） ＜ １ｌａ２’）
、（ｌ１ｂｘ’） （１ｌｂ２’）は上記切り溝（２
５） 、 、＜２５）の多角形内壁面の一部分に対応し
、２ｊ９階に折曲した形状となっている。The track width regulating section (lla) of the magnetic head is then
'), (llb') are the above substrates (20), (30
) (7) Corresponds to the kerfs (25) and (25). Therefore, track width regulations (lla'), (l
Blood biting part of lb') (flax') <1la2')
, (l1bx') (1lb2') is the above kerf (2
5) It corresponds to a part of the polygonal inner wall surface of , , <25), and has a shape bent to the 2j9th floor.
このように上記磁気ヘッドでは例えばセンゲスト験であ
る上記強磁性金属薄膜の膜構造は第９図に承ず工程で被
着形成された上記金属薄膜（２Ｂ）の内、膜構造の不均
一な部分をギヤツブＪ自戒面研磨加工により削り取っ°
ζしまうため、第１０図に小ずように切り溝（２５）の
一方の内壁面である斜めの平面即ち一平面上に形成され
た均一な膜構造の薄膜（２８＾）、（２８Ｂ）のみを使
用することができる。このため上記金属薄膜（２８Ａ
） 、（２８Ｂ ）の各部がヘッドの磁路方向に沿って
高い透磁率を７Ｊ＜ずようになり磁気ヘッドは安定した
晶出力を得ることができる。In this way, in the magnetic head, for example, the film structure of the ferromagnetic metal thin film, which is the Sengest experiment, is based on the non-uniform film structure of the metal thin film (2B) deposited in the process, as shown in FIG. The part is removed by Gear Tsubu J self-polishing process.
ζ For the sake of storage, only thin films (28^) and (28B) with a uniform film structure formed on a diagonal plane, that is, one plane, which is one inner wall surface of the cut groove (25), are shown in FIG. can be used. Therefore, the above metal thin film (28A
) and (28B) have a high magnetic permeability of 7 J along the magnetic path direction of the head, and the magnetic head can obtain stable crystal output.
以上説明したように本発明による磁気ヘッドは製造１−
程においζ予め高融点ガラス（２２＾）をパンクした切
りｆｉ（２１）に隣接して磁気ギャップ形成面となる平
面に対し４５’ （２０”〜８０゛の範囲であればよい
）の角度をなす平面（２６）を後工程で砥イコ加工等に
より形成し、ギヤツブ面とは斜めの位置関係にあるこの
平面上に強磁性金属薄膜（２８）を真空薄膜形成技術で
形成している。そして少なくとも磁気ギャップ近傍にお
いては斜めの平ｊｆｕ上に成長しているＩＮのみが残る
ようにギャップ面研磨加工を行っζいることがら、磁気
ギャップｇを形成する強磁性金属）Ｍｆ膜Ｃｌ２ａ ）
、（１２ｂ ）は各部におい゛ζ均一な膜構造となり
ヘッド出力の商安定化が可能となっており、また磁気ギ
ャップｇの両側のトラック幅規制凹部（ｌｌａ ’）
、（Ｉｌｂ ’）の端面（ｆｌａｘ’） （１１ａ２’
） 、（１ｌｂｔ’） （１ｌｂ２’）は」二記高融点
ガラス（２２八）をパンクした切り溝（２１）の多角形
状内壁面のほぼ半分により形成されていることから２段
階的に屈曲変化しており、そのためアジマスガードパン
ドレス記録において隣接及び隣々接トラックからのクロ
ストークを避けることができて記録再生効率の大きな信
頼性の商い磁気ヘッドとなっている。As explained above, the magnetic head according to the present invention is manufactured in 1-
At the same time, an angle of 45' (any range from 20" to 80° is sufficient) is made adjacent to the cut fi (21), which has previously been punctured in the high melting point glass (22^), with respect to the plane that will become the magnetic gap forming surface. A flat plane (26) is formed in a later process by grinding and grinding, and a ferromagnetic metal thin film (28) is formed by vacuum thin film forming technology on this plane, which is diagonally positioned with respect to the gear surface. At least in the vicinity of the magnetic gap, the gap surface is polished so that only IN grown on the oblique plane jfu remains.
, (12b) has a uniform film structure in each part, making it possible to stabilize the head output quotient, and track width regulating recesses (lla') on both sides of the magnetic gap g.
, (Ilb') end face (flax') (11a2'
) , (1lbt') (1lb2') is formed by approximately half of the polygonal inner wall surface of the cut groove (21) punctured in the high melting point glass (228), so the bending changes in two steps. Therefore, in azimuth guard panless recording, crosstalk from adjacent and adjacent tracks can be avoided, resulting in a highly reliable magnetic head with high recording and reproducing efficiency.
まな上記磁気ヘッドはヘッドの後部側の接合面部ちバッ
クギャップ向において強磁性酸化物どうしが直接ガラス
融着されていることからヘッドデツプの耐破壊強度が大
きく製造し易いヘッドとなっ°ζおり歩留りの向上を図
ることができる。In addition, in the magnetic head described above, the ferromagnetic oxides are directly glass-fused to each other at the joint surface on the rear side of the head in the back gap direction, so the head depth has a high fracture resistance and is easy to manufacture. You can improve your performance.
第１３図、第１４図及び第１５図は本発明の他の実施例
におけるテープ対接面を丞ず平面図である。（れら他の
実施例においては磁気ギャップｇの両側のトラック幅規
制四部（ｌｌａ ’） 、（ｌｌｂ ’≦の端面形状を
変えた場合である。即ち第１３図に承ず実施例はコア半
休（ｌｌａ ） （ｌｌｂ ）に形成するｌ・ランク幅
規制凹部（ｌｌａ ’） 、（Ｉｌｂ ’）の端面をイ
１３９斜のゆるい２折領斜而（ｆｌａｘ’） （１ｌａ
２’） 、（１ｌｂｚ’）（ｌｌｂ２’）に形成した場
合であり、第１４図に示すものはコア半休（ｌｌａ ）
（Ｉｌｂ ）に形成するトラック幅規制四部（ｌｌａ
’） 、（ｌｌｂ ’）の２折傾斜面（ｆｌａｘ’）
（ｌ１ａ２’） 、（１ｌｂｚ’） （１ｌｂ２’）
の屈曲部のアールを大径に形成した場合、第１５図に示
すものはコア半休（Ｉｌａ ） （ｌｌｂ ）に形成ず
やトラック幅規制凹部（ｌｌａ ’） 、（ｆｌｂ ’
）の端面を３折領斜面（ｆｌａｘ’） （ｌｌａ２’）
（Ｉｌａ３’） 、 （ｌｌｂｚ’） （ｌｌｂ２’
）（ｌｌｂ３’）に形成した場合である。FIGS. 13, 14, and 15 are plan views without showing the tape contact surface in other embodiments of the present invention. (In these other embodiments, the shape of the end face of the track width regulating portions (lla') and (llb'≦) on both sides of the magnetic gap g is changed.In other words, unlike FIG. (lla) (llb).
2'), (1lbz') (llb2'), and the one shown in Fig. 14 is a half-core core (lla).
(Ilb) track width regulation four parts (lla)
'), (llb') two-fold inclined plane (flax')
(l1a2') , (1lbz') (1lb2')
When the radius of the bending part is formed to have a large diameter, the one shown in Fig. 15 is formed without forming the core half-open (Ila) (llb) and track width regulating recesses (lla'), (flb').
) with a three-fold slope (flax') (lla2')
(Ila3'), (llbz') (llb2'
) (llb3').
尚、トラック幅規制四部の端面は２折傾斜面の各々の傾
斜角度を変えた形状、３折傾斜面以上の多折領斜面等に
形成してもよい。図中（１２ａ）。The end faces of the four track width regulating parts may be formed into two-fold inclined surfaces with different inclination angles, a three-fold inclined surface or more, or a multi-fold inclined surface, or the like. In the figure (12a).
（１２ｂ）は強磁性金属薄膜、（１３ａ ） （１３ｂ
）（１４）は非磁性材である。(12b) is a ferromagnetic metal thin film, (13a) (13b
)(14) is a non-magnetic material.
また上述の第１２図に示すように合体されたブロック（
３３）のスライシング加工において第１６図に示すよう
に所定のテープ対接面幅と同間隔またはそれより狭い間
隔でｉ’ｆｆｌ （３４） 、’（３４’）を形成し、
実際のスライシング厚をテープ対接面幅即ち溝（３４）
、（３４’）で挾まれた部分の厚みより厚くしζ溝（
３４） 、＜３４’）内におけるｂ−ｂ線、ｂ’−ｂ′
線の位置でスライシングし”（ヘッドチップを得ること
ができ、このヘッドチップのテープ対接面を円筒研磨す
ることにより第１７図に不ず磁気ヘッドが得られる。Also, as shown in FIG. 12 above, the combined blocks (
In the slicing process of 33), as shown in FIG. 16, i'ffl (34) and '(34') are formed at intervals equal to or narrower than a predetermined tape contacting surface width,
The actual slicing thickness is the width of the tape contacting surface, i.e. the groove (34).
, (34') is thicker than the thickness of the part sandwiched by ζ groove (
34), bb line within <34'), b'-b'
A head chip can be obtained by slicing at the line position, and by cylindrical polishing of the tape contacting surface of this head chip, a magnetic head as shown in FIG. 17 can be obtained.
このようにして行う合体ブロック（３３）のスライシン
グ加工において、溝（３４） 、（３４’）の形成時に
は砥石が強磁性金属薄Ｂ’Ａ （１２ａ ） 、（１２
ｂ ）となる金属薄膜（２８＾）、（２８Ｂ）、磁気コ
ア半休（ｌｌａ ） 、（ｌｌｂ ）を形成するフェラ
イト基板（２０） （３０）及び非磁性材（１３ａ）
、（１３ｂ） 。In the slicing process of the combined block (33) performed in this manner, the grinding wheel is used to form the ferromagnetic metal thin B'A (12a), (12a) when forming the grooves (34) and (34').
b) Metal thin films (28^), (28B), ferrite substrates (20) (30) forming magnetic core half-holes (lla), (llb), and non-magnetic material (13a)
, (13b).
（１４ンに対応するガラス材（２２Ａ ） 、（２２Ｂ
） 。(Glass material corresponding to 14mm (22A), (22B)
).
（２９）を通過するが、この通過１ｆｔｉ積は極めて小
さく、これに対して通過ｊｆｌ積の大きい実際のスライ
シング時にはフェライト基板（２０） 、（３０）と非
磁性材（２２八） 、（２２Ｂ） 、（２９）のみをｉ
１遇することによりスライシング加工時の強磁性金属薄
膜（２８＾）、（２８Ｂ）の剥れひび等の不良項目を低
減することができる。また凹段状の溝（３４）（３４’
）に代え゛ζ第１８図に示すようにテーバ状面（３５）
（３５’）を形成し”Ｃもよい。(29), but this passing 1fti product is extremely small, whereas in actual slicing, where the passing jfl product is large, ferrite substrates (20), (30) and non-magnetic materials (228), (22B) are used. , (29) only i
By doing so, it is possible to reduce defects such as peeling cracks in the ferromagnetic metal thin films (28^) and (28B) during slicing. Also, concave stepped grooves (34) (34'
) instead of ゛ζ as shown in Fig. 18, a tapered surface (35)
(35') and "C" is also good.
またスライシング幅を大にした場合は第１９図に示すよ
う強磁性金属薄’ｆｌ’Ａ （１２ａ ） （１２ｂ
）の屈曲部がコ“７半体（ｌｌａ ） 、（ｌｌｂ ）
中に存在するごとになるが、フェライトと金属との磁気
的接合は金属薄膜の平曲部において充分行われる寸法関
係にあるため即ち金属薄膜の平面部が充分法いためヘッ
ドの出力を１月な・うことがほとんどない構造となって
いる。In addition, when the slicing width is increased, the ferromagnetic metal thin 'fl'A (12a) (12b
) has a bent part of 7 halves (lla), (llb)
However, since the magnetic bond between the ferrite and the metal is sufficiently formed in the flat curved part of the metal thin film, the flat part of the metal thin film is sufficiently curved, so that the output of the head can be reduced within a month.・The structure is such that there is almost nothing to do.
このようにし°ζスライシング加工することによりテー
プ対接面近傍の幅をヘッド自体の強度を損なうことなく
ある程度薄くすることができるのでテープに馴やすく、
また高耐摩耗性の磁気ヘッドを形成することができる。By performing the °ζ slicing process in this way, the width near the tape contacting surface can be made thinner to some extent without compromising the strength of the head itself, making it easier to adapt to the tape.
Furthermore, a magnetic head with high wear resistance can be formed.
またこの磁気ヘッドはバンク側のコア厚がＩ￥いためバ
ック側の磁気抵抗は更に小さくなり再生効率が増すため
より商出力のヘッドとなる。In addition, since the core thickness of this magnetic head on the bank side is larger, the magnetic resistance on the back side is further reduced, and the reproduction efficiency is increased, resulting in a head with higher commercial output.
次に磁気ギャップ近傍部にのみ強磁性金属薄膜を形成す
るのではなくヘッドの前面部、即ちフロントギャップ形
成面より後部即ちバックギャップ形成面まで連続して強
磁性金属薄膜を形成した本発明の他の実施例となる第２
０図の磁気へソドについて説明する。Next, instead of forming the ferromagnetic metal thin film only in the vicinity of the magnetic gap, the ferromagnetic metal thin film is formed continuously from the front side of the head, that is, the front gap forming surface to the rear side, that is, the back gap forming surface. The second example is
The magnetic helix shown in Figure 0 will be explained.
この磁気ヘッドは磁気コア半休（４１ａ ） 、（４１
ｂ ）が強磁性酸化物である例えばＭｎ−Ｚｎフェライ
トで形成され、このコア半休（４１ａ ） 、（４１ｂ
＞の突き合わせ面である磁気ギャップｇの形成面とコ
ア半休（４１ａ ） 、（４１ｂ ）の接合面近傍に被
着形成されたセンダスト膜である強磁性金属８１９（４
２ａ ） 、（４２ｂ ）の形成面とは例えば４５°の
角度で傾斜している。またこの金属薄膜（４２ａ）。This magnetic head has magnetic cores half closed (41a), (41
b) is formed of a ferromagnetic oxide such as Mn-Zn ferrite, and this core half-hole (41a), (41b
A ferromagnetic metal 819 (4), which is a sendust film, is deposited near the abutting surface of the magnetic gap g and the bonding surface of the core halves (41a) and (41b).
2a) and (42b) are inclined at an angle of 45°, for example. Also, this metal thin film (42a).
（４２ｂ）はフロントギャップ形成面よりバックギャッ
プ形成面に至るまで連続して形成され、この金属薄膜（
４２ａ ） 、（４２ｂ ）のめにより磁気ギャップｇ
がアジマス角度で傾斜して形成されζいる。(42b) is formed continuously from the front gap forming surface to the back gap forming surface, and this metal thin film (
42a), (42b) due to the magnetic gap g
is formed to be inclined at an azimuth angle.
またトラック幅を規制する凹部（４１ａ ’） 、°（
４１ｂ ’）の端面形状は第２１図にテープ対接面を拡
大し゛（不ずように２折仰斜而（４１ａｘ’） （４１
ａ２’） 、（４１ｂ％）（４１ｂ２’）に形成されて
おり、このトランク幅規制凹部に？ｉｌｉ強材となる非
磁性材（４３ａ ） 、、（４３ｂ ）と（４４）が接
合面近傍に充填されている。また一方の磁気コア半休（
４１ｂ）には巻線孔（４５）が形成されている。In addition, there are recesses (41a') that regulate the track width, °(
The end face shape of 41b') is shown in Fig. 21 when the tape contacting surface is enlarged.
a2'), (41b%) (41b2'), and is formed in this trunk width regulating recess? Non-magnetic materials (43a), (43b) and (44), which serve as ili reinforcement materials, are filled in the vicinity of the joint surface. Also, one of the magnetic cores is half-off (
A winding hole (45) is formed in 41b).
ところで強磁性金属薄１ｌＩＸＩ（４２ａ ） 、（４
２ｂ ）は磁気コア半休（４１ａ ） 、（４１ｂ ）
の突起部の一方の傾斜面から非磁性材（４３ａ ） （
４３ｂ ）にかけて形成される一平面上に形成されてい
ることから、この強磁性金属薄膜（４２ａ ） （４２
ｂ ）は各部において膜構造が均一となっており磁気ヘ
ッドの磁路方向に沿ってごの強磁性金属薄膜（４２ａ
） 、（４２ｂ ）の全体が高い透磁率を示し磁気ヘッ
ドの記録再生出力が晶められている。By the way, ferromagnetic metal thin 1lIXI (42a), (4
2b) is a magnetic core half-closed (41a), (41b)
Non-magnetic material (43a) (
This ferromagnetic metal thin film (42a) (42
b) has a uniform film structure in each part, and a ferromagnetic metal thin film (42a) is formed along the magnetic path direction of the magnetic head.
) and (42b) all exhibit high magnetic permeability, and the recording/reproducing output of the magnetic head is crystallized.
また、強磁性金属ｓＭ （４２ａ ） 、（４２ｂ ）
は各１−の強磁性金属ｓ股が５ｔ０２、Ｔａ２０５、八
１２０３、Ｚ「０２．５ｉＪ４等の高耐摩耗性絶縁膜を
介して積層されることで構成され、ごの強磁性金属薄膜
の積Ｊ−数は任意に設定できる。In addition, ferromagnetic metal sM (42a), (42b)
is constructed by laminating ferromagnetic metal thin films of 5T02, Ta205, 81203, Z"02.5iJ4, etc. with high wear-resistant insulating films interposed therebetween. The J-number can be set arbitrarily.
次に、このような磁気ヘッドの製造工程を第２２図〜第
２Ｂ図に基づき説明する。Next, the manufacturing process of such a magnetic head will be explained based on FIGS. 22 to 2B.
先ず第２２図に７１＜−ＪようにＭｎ、−Ｚｎフェライ
ト等の強磁性酸化物基板（５０）の上面部に回転砥石等
を用いて上面部を横切るような１ｔｌｉ ＋１＋１多角
形状の１（５１）を複数形成する。First, as shown in FIG. 22, a 1tli +1+1 polygonal 1 (51 ).
次に第２３図に承ずように上記溝（５１）に商融点ガラ
ス（５２Δ）を溶融充填した後、平面研磨加工を行なう
。そして、第２４図に刀くずように」＝、記構（５１）
と平行に一部オーバラソプし”ζ１＃ｒ面ｖ字状の溝（
５３）を複数形成する。この溝（５３）の内壁面の傾斜
角度は上面部に対しζ例えば４５°とな−２ており、一
方の内壁面に商融点ガラス（５’２Ａ ”）の一部が露
出し°ζいる。Next, as shown in FIG. 23, after the groove (51) is melted and filled with commercial melting point glass (52Δ), a surface polishing process is performed. And, in Figure 24, it looks like a sword scrap” =, Kikaku (51)
Partially overlap parallel to ``ζ1#r side v-shaped groove (
53). The inclination angle of the inner wall surface of this groove (53) is, for example, 45° with respect to the upper surface, and a part of the commercial melting point glass (5'2A'') is exposed on one inner wall surface. .
次に、第２５図に不ずように上記基娠（５０）の−１゜
面部にセンダスト等をスパンクリング、イ」ンブレーテ
ィング、蒸着等の真空薄膜形成技術を用い゛ζ高耐摩耗
性絶縁股を介して積層し、上記溝（５：Ｄに強磁性金属
薄１１Ｑ （５４）を形成する。Next, as shown in Fig. 25, sendust or the like is applied to the −1° surface of the base plate (50) using vacuum thin film forming techniques such as spankling, in-blating, and vapor deposition. The ferromagnetic metal thin film 11Q (54) is formed in the groove (5:D) by laminating the two layers with the crotch in between.
そして、金属薄膜（５４）が被着された。［、記構（５
３）即ぢ金属薄膜（５４）上に溝（５３）と対応し７て
形成される溝（５３’）に上記ガラス（５２Ａ）より低
融どλのガラス（５５）を充填し、第２６図に示すよう
に上記基板（５０）の上１１部及び前面部を上記強４ｍ
性金属′ａ模（５４）力月二記溝部（５３）のみ残るよ
うに平面研磨加工することにより、溝部（５３）の内壁
向に強磁性金属薄膜（５４＾）が被着された状態となり
、この金属薄膜（５４Ａ ）上の溝（５３’）に低融点
ガラス（５５）が残ることになる。A thin metal film (54) was then deposited. [, writing structure (5
3) Immediately, a groove (53') formed on the metal thin film (54) corresponding to the groove (53) is filled with a glass (55) having a melting point λ lower than that of the glass (52A). As shown in the figure, the upper 11 parts and front part of the board (50) are
By polishing the surface of the ferromagnetic metal 'a pattern (54) so that only the groove part (53) remains, a ferromagnetic metal thin film (54^) is adhered to the inner wall of the groove part (53). , the low melting point glass (55) remains in the groove (53') on this metal thin film (54A).
また巻線溝側のコア半休を形成するために第２６図に不
ずように加工を施した上記基板（５０）に巻線溝（６１
）を形成する溝加工を行い第２７図に示す強磁性酸化物
基板（６０）を得る。この基板（６０）で溝（５１）に
は高融点ガラス（５２Ｂ ）が充填され、溝（５３）に
は強磁性金属薄膜（５４Ｂ）が被着形成されている。In addition, the winding groove (61) is attached to the substrate (50) which has been processed as shown in FIG.
) to obtain a ferromagnetic oxide substrate (60) shown in FIG. In this substrate (60), the groove (51) is filled with high melting point glass (52B), and the groove (53) is coated with a ferromagnetic metal thin film (54B).
次に、第２８図にボずように上記基板（５０）と」二記
基板（６（１）とを強磁性金属薄膜（５４八）と（５４
Ｂ）が被着された側の平面部が向い合い上記金属薄膜（
５４Ａ ）と（５４Ｂ ）の一方の面側が連続状に対向
するようにギャップスペーサを介して突き合わせガラス
融着することで合体ブロック（６２）とする。Next, as shown in FIG.
The flat part of the side to which B) was deposited faces the metal thin film (B).
54A) and (54B) are butted and glass-fused via a gap spacer so that one side of each side continuously faces each other to form a combined block (62).
尚、以上の工程におい”ζ基板（４０）に被着形成され
た強磁性金属薄膜（４４）の上側に溝（４３）と対応し
て形成される溝（４３’）には低融点ガラス（４５）を
充填せず、第２７図に不ず工程におい゛ζ巻線溝（６１
）と所要間隔離れて平行にガラス充填溝を形成し°ζお
き、基板（５０）と（６０）の接合の際巻線溝（６１）
及びガラス充填溝に低融点ガラス棒を挿入してこのガラ
スを溶融することにより上記溝（４３’）に充填されて
両基扱（５０）と（６θ）は接合されるごとになり合体
ブロック（６２）とすることができる。In addition, in the above process, a low melting point glass ( 45), and in the process shown in Fig. 27, the winding groove (61
) and are spaced apart from each other by a required distance and parallel to the winding groove (61).
By inserting a low melting point glass rod into the glass filling groove and melting this glass, the groove (43') is filled, and each time the two groups (50) and (6θ) are joined, a combined block ( 62).
次に、このように形成された合体ブロック（６２）を接
合面に対してアジマス角だけ傾けたＣ７Ｃ線Ｃ′−ｃ′
線の位置でスライシング加工することでアジマス角で傾
斜する磁気ギャップが後部まで形成された複数個のへソ
ドチップを得ることができる。その後、このヘッドチッ
プの磁気妄−フ敢・１接向を円筒研磨することで第２０
図に示した磁気ヘッドとなる。ここでこの磁気ヘッドの
一方のコア半休（４１ａ）は上記基板（５０）を母相と
しており、他方のコア半休（４１ｂ）は上記基＆（６０
）を母材としている。また強磁性金属Ｓ膜（４２ａ ）
、（４２ｂ ）は上記金属薄膜（５４八）、（５４Ｂ
）に対応し、非磁性材（４３ａ ） 、（４３ｂ ）は
上記高融点ガラス（５２＾）、（５２Ｂ）に対応し、更
に非磁性材（４４）は上記低融点ガラス（５５）に対応
している。また巻線孔（４５）は上記巻線溝（６１）に
対応している。Next, the combined block (62) formed in this way is drawn along the C7C line C'-c', which is inclined by the azimuth angle with respect to the joint surface.
By slicing at the position of the line, it is possible to obtain a plurality of hesode chips in which magnetic gaps tilted at the azimuth angle are formed all the way to the rear. After that, by cylindrical polishing the magnetic delta-1 contact of this head chip, the 20th
This results in the magnetic head shown in the figure. Here, one half-core core (41a) of this magnetic head has the substrate (50) as its parent phase, and the other half-core (41b) has the base &(60) as the base phase.
) is used as the base material. Also, ferromagnetic metal S film (42a)
, (42b) are the metal thin films (548), (54B)
), the nonmagnetic materials (43a) and (43b) correspond to the high melting point glasses (52^) and (52B), and the nonmagnetic material (44) corresponds to the low melting point glass (55). ing. Further, the winding hole (45) corresponds to the winding groove (61).
そし゛ζζ上記気気ヘッドトラック幅規制凹部（４１ａ
’） 、（４１ｂ ’）は上記基ｋ （５０） 、（
６０）の多角形溝（５１） 、（５１）に対応している
。そのため」二記トランク幅規制四部（４１ａ ’）
、（４１ｂ ’）の？１１ｉ１ ｉｈｉ部（４１ａｚ’
） （４１ａ２’） 、（４１ｂｔ’） （４１ｂ２’
）は−ｌ二記記構５１） 、（５１）の多角形内壁面の
一部分に対応し、２段階に折曲した形状となっている。Then, the air head track width regulating recess (41a)
'), (41b') are the above groups k (50), (
It corresponds to the polygonal grooves (51) and (51) of 60). Therefore, Part 4 of Trunk Width Regulation (41a')
, (41b')? 11i1 ihi part (41az'
) (41a2') , (41bt') (41b2'
) corresponds to a part of the polygonal inner wall surface of (51), and has a shape bent in two steps.
このように、磁気ギャップｇの両側の１−ラック幅規制
四部（４１ａ ’） 、（４１ｂ ’）の端面が高融点
ガラスをバンクした溝（５１）の多角形状内壁面の一部
分により形成されて屈曲し°ζいるためアジマスガード
パンドレス記録におい°ζ隣接及び隣々接トランクから
のクロストークを低減することができて記録再生効率の
大きな信頼性の商い磁気ヘッドとなっている。In this way, the end faces of the four 1-rack width regulating parts (41a') and (41b') on both sides of the magnetic gap g are formed by a part of the polygonal inner wall surface of the groove (51) banked with high melting point glass, and are bent. Because of this, crosstalk from adjacent and adjacent trunks can be reduced in azimuth guard panless recording, resulting in a magnetic head with high reliability and recording/reproducing efficiency.
また以上の磁気ヘッドの製造］二程におい′Ｃ溝（５１
）を深く形成することによりトランク幅規制凹部（４１
ａ’）と（４１ｂ’）の端面間の距離を犬に、例えば約
５０μ以上にするごとによりヘッド空隙損失を利用して
クロスト−り成分を低減させることができる。[Manufacture of the above magnetic head] C groove (51)
) by forming the trunk width regulating recess (41
By increasing the distance between the end faces of a') and (41b') to, for example, about 50 .mu. or more, the head gap loss can be utilized to reduce the cross-storage component.
ところで上述の製造工程において、強磁性金属薄膜（４
２ａ ） 、（４２ｂ ）の膜構造の不均一な部分は第
２６図で説明した研磨工程即らギヤツブ面ωＦ磨加工時
に削りとられると共に第２８図にボしたスライシングに
より切除され”ζしまうため均一な膜構造を有する強磁
性金属薄膜（４２ａ ） 、（４２ｂ ）のみが残る。By the way, in the above manufacturing process, a ferromagnetic metal thin film (4
The uneven parts of the film structure in 2a) and (42b) are removed during the polishing process explained in Fig. 26, that is, the gear tooth surface ωF polishing process, and are removed by the slicing shown in Fig. 28, so that they become uniform. Only the ferromagnetic metal thin films (42a) and (42b) having a similar film structure remain.
このため上記磁気ヘッドは一平面」−に形成された上記
＠磁性金属薄Ｍ９！（４２ａ ） 、（４２ｈ ）が磁
路に沿ってその各部が曲選磁率となる°ごとで安定した
高出力が得られるようになる。For this reason, the magnetic head is formed in one plane (@magnetic metal thin M9!). (42a) and (42h) become stable and high output can be obtained at every degree where each part thereof has a magnetic selectivity along the magnetic path.
尚、第２８図の合体したブロック（６２）をスライシン
グするｃ−ｃ線、Ｃ／ Ｃ／線は両コア半休ブロック（
５０） 、（６０）の突き合わゼ面に対して佃斜即ちア
ジマス角を有する磁気ギャップｇが得られるようにスラ
イシング方向を傾斜させ°ζあるが、これを突き合わせ
面に対して垂直にスライシングしてもよい。Note that the c-c line and C/C/ line for slicing the combined block (62) in Fig. 28 are both core half-closed blocks (
50) The slicing direction is inclined so as to obtain a magnetic gap g having an azimuth angle with respect to the abutting planes of (60) and 60). It's okay.
また本例においても合体させたブロック（６２）のスラ
イシング加工において第１６図に示すように所定のテー
プ対接面幅と同間隔またはそれより狭い間隔で溝（６３
） 、（６３’）を形成し実際のスライシング厚をテー
プ対接面幅即ち溝（６３） 、（６３’）で挾まれた部
分の厚みより厚くした位置でスライシングすることによ
り第２９図に示す磁気ヘッドが得られる。Also in this example, in the slicing process of the combined block (62), as shown in FIG. 16, grooves (63
) and (63') and perform slicing at a position where the actual slicing thickness is thicker than the width of the tape contacting surface, that is, the thickness of the part sandwiched by the grooves (63) and (63'), as shown in Fig. 29. A magnetic head is obtained.
発明の効果
以上のように本発明によれば強磁性酸化物材料と強磁性
金属材料との複合材料からなりテープ対接面に磁気ギャ
ップに対して傾斜し°ζ形成される強磁性金属Ｓ膜と強
磁性酸化物及び非磁性材が配されてなる磁気ヘッドにお
いて強磁性酸化物と非磁性材料との界面を屈曲して形成
したので゛ｒジマスガードバンドレス記録におい°ζ隣
接及び隣々接トラックからのクロストークが減少され記
録再生効率の大きな信頼性の晶い磁気ヘッドを得ること
ができる。また磁気ギヤツブは強磁性金属薄膜のみによ
り形成されることでヘッドの出力がｌ１１４１＜例えば
メタルテープ等の商い抗磁力Ｈｃをもつ磁気テープに好
適なヘッドであり、史に磁気テープ対接面のほとんどが
強磁性酸化となっ°ζいるため優れた＊４ｔｌｉＥ耗性
を有する磁気ヘッドとなっている。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, a ferromagnetic metal S film made of a composite material of a ferromagnetic oxide material and a ferromagnetic metal material is formed on the tape contacting surface at an angle with respect to the magnetic gap. In a magnetic head in which a ferromagnetic oxide and a nonmagnetic material are arranged, the interface between the ferromagnetic oxide and the nonmagnetic material is bent. Crosstalk from the track is reduced, and a highly reliable magnetic head with high recording and reproducing efficiency can be obtained. In addition, since the magnetic gear is formed only from a ferromagnetic metal thin film, the head output is l1141<, for example, a head suitable for magnetic tapes such as metal tapes, which have a coercive force Hc. is a ferromagnetic oxidation, resulting in a magnetic head with excellent *4tliE wear resistance.
第１図は従来の磁気ヘッドの斜視図、第２図は第１図の
磁気ヘッドのテープ対接面を拡大して月くず平面図、第
３図は本発明の一実施例の磁気ヘッドの斜視図、第４図
は第３図の磁気ヘッドのテープ対接面を拡大してボず平
ＩＩＬＩ図、第５図はＶ ｉ” Ｒ用磁気テープのアジ
マス記録パターン図、第６図乃至第１２図は第３図の磁
気ヘッドを作製する工４ｖを順に示す斜視図、第１３図
乃至第１５図は第３図の磁気ヘッドのテープ対接面の変
形例を拡大して示す平面図、第１６図は本発明の磁気ヘ
ッドを作！ｆＩ！！する工程中の他側のスライシング工
程を不ず斜視図、第１７図は第１６図に示すスライシン
グ工程によって作製される磁気ヘッドの斜視図、第１８
図及び第１９図は他側のスライシング工程によっ゛ζ作
製される磁気ヘッドの斜視図、第２０図は本発明の磁気
ヘッドの他の実施例の斜視図、第２１図は第２０図の磁
気ヘッドのテープ対接面を拡大して不ず平面図、第２２
図乃至第２８図は第２０図の磁気ヘッドを作製する工程
を順に示す斜視図、第２９図は他のスライシング工程に
より作製される本発明の磁気ヘッドの他の実施例の斜視
図である。
（１’ｌａ ） 、（ｌｌｂ ） ”磁気コア半休、（
１２ａ）（１２ｂ ） ・・−・強磁性金属薄膜、（１
３，１） 、（１３ｂ ）（１４） ・−・−非磁性材
、（ｌｌａ ’） 、（ｌｌｂ ’） ＝ ＝ ）ラッ
ク％＋ｍ制凹部、（ｆｌａｘ’） （１ｌａ２’） 、
（１ｌｂｚ’）（ｌｌｂ２’） ・・”ｆ’ｒｌ斜端而
、端面１ａ ） 、（４１ｂ ） ・・・・磁気コア半
休、（４２ａ ） 、（４２ｂ ）・・・・強磁性金属
薄膜、（４３ａ） 、（４３ｂ） 、（４４） ・・・
・非磁性材、（４１ａ ’） 、（４１ｂ ’） ・・
・・）ラック幅規制四部、（４１ａｔ’） （４１ａ２
’） 、（４１ｂ１’） （４１ｂ２’） ・・”Ｍ斜
端面。
−、曳−
第１図
１ｍ
第２図
第５図
第１６図
第１７図
第１９図 １．。
手続補正書
昭和５９年７ 月 ２３日
１、事件の表示 自
昭和５９年特、許願第 ７８２４２ 号２、発明の名称
磁気、ッ、。
３、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住所 東京部品用区北品用６丁目７番３５号名称（２１
ｇ） ソニー株式会社
代表取締役 大 賀 典 雄
５、補正命令の日付 昭和 年 月 日６、補正により
増加する発明の数
（１） 明細書中、第２頁第３行「時速」とあるな「磁
束」と訂正する。
（２） 同、第２頁第１３行「よう」とあるを「より」
と訂正する。
（３） 同、第３頁第１６行〜第１９行「非磁性材・・
・・場合」とあるを「相対する反対側のコアの一部とな
る強磁性金属薄膜のそれぞれ（２ａ）（２ｂ）との間隔
が狭くなるため長波長域において」と訂正する。
（４）同、第７頁第１３行「おた」とあるな「おり、Ｊ
と訂正する。
（５） 同、第１１頁第１４行「ようにする。」の後に
「尚、この場合強磁性金属薄膜を一層で形成しても本発
明から逸脱するものでないことはもちろんである。」を
加入する。
（６）同、第１４ｊｊｇＱ行及び！１２行ｒＷ、ＷＪと
あるをｒ１２ａ、（２）」と訂正する。
（７）同、亀１６頁第２０行「端面な」と「傾糾の」と
の間に「ヘッドチップの下面、上面に対し」を加入する
。
（８） 同、第２８頁第４行「できる。」と「またＪと
の間ＶＣ［そして、溝が屈曲していることにより、強磁
性酸化物と強磁性金属薄膜との接合面積を大きくしたま
まで隣接及び隣々接トラックにおける強磁性酸化物と強
磁性金属薄膜との距離を大きくすることが出来るため、
長波長域においてもクロスト、−りの少ない高出力ヘッ
ドを得ることが出来る。」を加入する。
（９）図面中、第２０図を別紙朱書の通り補正する。
以上
第２０図
第２１図FIG. 1 is a perspective view of a conventional magnetic head, FIG. 2 is an enlarged plan view of the tape-contacting surface of the magnetic head of FIG. 1, and FIG. 3 is a diagram of a magnetic head according to an embodiment of the present invention. 4 is an enlarged view of the tape-contacting surface of the magnetic head in FIG. 3, and FIG. 5 is an azimuth recording pattern diagram of the magnetic tape for V i"R, and FIGS. 12 is a perspective view sequentially showing the process 4v for manufacturing the magnetic head shown in FIG. 3; FIGS. 13 to 15 are enlarged plan views showing modifications of the tape-facing surface of the magnetic head shown in FIG. 3; FIG. 16 is a perspective view of the slicing process on the other side during the process of manufacturing the magnetic head of the present invention!FIG. 17 is a perspective view of the magnetic head manufactured by the slicing process shown in FIG. , 18th
19 and 19 are perspective views of the magnetic head manufactured by the slicing process on the other side, FIG. 20 is a perspective view of another embodiment of the magnetic head of the present invention, and FIG. Enlarged plan view of the tape contacting surface of the magnetic head, No. 22
28 are perspective views sequentially showing the steps of manufacturing the magnetic head of FIG. 20, and FIG. 29 is a perspective view of another embodiment of the magnetic head of the present invention manufactured by another slicing process. (1'la), (llb) "Magnetic core half-off, (
12a) (12b) ---Ferromagnetic metal thin film, (1
3,1), (13b) (14) - Non-magnetic material, (lla'), (llb') = =) Rack% + m concave portion, (flax') (1la2'),
(1lbz') (llb2')..."f'rl oblique end, end face 1a), (41b)...Magnetic core half-closed, (42a), (42b)...Ferromagnetic metal thin film, ( 43a), (43b), (44)...
・Non-magnetic material, (41a'), (41b')...
...) Rack width regulation 4 parts, (41at') (41a2
') , (41b1') (41b2') ・・・M slope end face. July 23rd 1. Indication of the case 1982 patent, Application No. 78242 2. Name of the invention Magnetism. 3. Relationship with the case by the person making the amendment Patent applicant address Tokyo Parts Co., Ltd. 6-7-35 Name (21
g) Norio Ohga, Representative Director of Sony Corporation 5, Date of amendment order: 1935, Month, Day 6, Number of inventions increased by amendment (1) In the specification, page 2, line 3, ``per hour''"Magneticflux" is corrected. (2) Same, page 2, line 13, ``you'' is replaced with ``yori.''
I am corrected. (3) Same, page 3, lines 16 to 19 “Non-magnetic material...
. . .'' is corrected to read ``In the long wavelength range because the distance between the ferromagnetic metal thin films (2a) and (2b) that form part of the core on the opposite side becomes narrow.'' (4) Same, page 7, line 13, “Ota” and “Ori, J.
I am corrected. (5) Same, page 11, line 14, after "Do so.""In this case, it goes without saying that it does not deviate from the present invention even if the ferromagnetic metal thin film is formed in a single layer." join. (6) Same, 14th jjgQ line and! In line 12, "rW, WJ" is corrected to "r12a, (2)." (7) In the same article, page 16, line 20, add ``with respect to the bottom and top surfaces of the head chip'' between ``end face'' and ``tilt''. (8) Same, page 28, line 4, “Can be done.” The distance between the ferromagnetic oxide and the ferromagnetic metal thin film in adjacent and adjacent tracks can be increased while
It is possible to obtain a high output head with less cross and loss even in the long wavelength range. ” to join. (9)Amend Figure 20 in the drawings as indicated in red on the attached sheet. Above Figure 20 Figure 21
Claims (1)
膜形成技術により強磁性金属薄膜を形成し、この磁気コ
ア半休対を突き合わせて磁気ギャップを形成し°ζなる
磁気ヘッドにおいて、磁気ギャップと強磁性金属薄層−
形成面とが所定角度で傾斜しており、上記強磁性金属ｉ
！！膜のみにより磁気ギャップを形成しテープ対接面に
上記強磁性金属＊ｉ＊と上記強磁性酸化物及び非磁性材
が配され、且つ上記強磁性酸化物と上記非磁性材との界
面が屈曲していることを特徴とする磁気ヘッド。In a magnetic head, a ferromagnetic metal thin film is formed by Arashiku thin film formation technology on the joint surface of a magnetic core semi-vacant pair made of ferromagnetic oxide, and a magnetic gap is formed by butting these magnetic core semi-vacant pairs. and ferromagnetic metal thin layer
The forming surface is inclined at a predetermined angle, and the ferromagnetic metal i
! ! A magnetic gap is formed only by the film, the ferromagnetic metal *i*, the ferromagnetic oxide, and the nonmagnetic material are arranged on the tape contact surface, and the interface between the ferromagnetic oxide and the nonmagnetic material is bent. A magnetic head characterized by:
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59078242A JPS60223012A (en) | 1984-04-18 | 1984-04-18 | Magnetic head |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59078242A JPS60223012A (en) | 1984-04-18 | 1984-04-18 | Magnetic head |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60223012A true JPS60223012A (en) | 1985-11-07 |
| JPH0475564B2 JPH0475564B2 (en) | 1992-12-01 |
Family
ID=13656549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59078242A Granted JPS60223012A (en) | 1983-12-30 | 1984-04-18 | Magnetic head |
Country Status (2)
| Country | Link |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |