NL7909351A

NL7909351A - Gelaagd elektronisch deel evenals werkwijze ter vervaardiging daarvan.

Info

Publication number: NL7909351A
Application number: NL7909351A
Authority: NL
Original assignee: Tdk Electronics Co Ltd
Priority date: 1978-12-28
Filing date: 1979-12-28
Publication date: 1980-07-01
Also published as: GB2045540A; DE2952441A1; GB2045540B; NL186278B; US4322698A; NL186278C

Description

' 793^0 vA/mm \ <!. Ö-* V' -;:- & \ '- o ',: b'· ‘ \

Titel : Gelaagd elektronisch deel evenals werkwijze ter vervaardiging daarvan.

De uitvinding heeft betrekking op een gelaagd elektronisch deel evenals een werkwijze ter vervaardiging daarvan. Meer in het bijzonder treft de uitvinding een gelaagd elektronisch element, voorzien van gelamineerde lagen van 5 een isolerend materiaal en gedrukte patronen van een spoel-vormend, elektrisch geleidend materiaal.

De bestaande inductoren hebben gewoonlijk de vorm van spoelen die gevormd zijn door het wikkelen van een geïsoleerde geleidende draad om een magnetische kern. De 10 noodzaak van het wikkelen van draad heeft de vermindering van de afmeting van de inductoren beperkt, ondanks de voortdurende behoefte aan het microminiaturiseren. van elektronische componenten teneinde de ontwikkeling van de micro-schakelingen bij te blijven. Bovendien heeft het lage fa-15 bricage rendement de kwantiteitsproduktie van inductoren bemoeilijkt.

Voorts hebben conventionele, samengestelde elektronische delen, die als hun één of meer induetorelementen een samengesteld deel omvatten, voorzien van een condensator en een 20 inductor (een LC element) of van twee of meer inductoren (een transformator) moeilijkheden ondervonden bij het samenstellen en microminiaturiseren, als gevolg van de betrekkelijk grote afmetingen van de inductoren en het grote verschil tussen de fabricagemethoden van de inductor en de 25 condensator. In tegenstelling tot de zeer uitgesproken vooruitgang die plaatsvindt bij de ontwikkeling van dunnere en kleinere condensatoren, zoals bijvoorbeeld de gelaagde chip condensatoren, zijn er moeilijkheden opgetreden bij het lamineren en in afmeting reduceren van inductoren, als gevolg 7909351 r -* Λ 2 van het feit dat hun constructie het wikkelen vereist van geleidende draad om een magnetische kern. In het geval van een samengesteld deel, dat twee of meer inductoren omvat, zoals een transformator, vond de fabricage plaats door het 5 gebruiken van een magnetische kern, in de vorm van de letters E en I gecombineerd, uitsluitend E, of de combinatie van E en omgedraaide E en het wikkelen van een paar geleidende draden om één of meer gekozen benen van de magnetische kern. De transformator vereist hierdoor bij zijn fabricage een 10 ingewikkelde wikkelwerkwijze terwijl er toch problemen optreden, zoals de grote afmeting.

Het hoofddoel van de uitvinding is het verschaffen van een elektronisch deel, dat tenminste een inductor omvat, zoals een inductiespoel, een transformator, een samengesteld 15 deel zoals een LC element, een filterelement, enz., dat gemakkelijk kan worden vervaardigd, geschikt is voor massa-produktie, compact van afmeting is en gemakkelijk op een schakelingpaneel kan worden gemonteerd.

Een ander doel van de uitvinding is het verschaffen 20 van een elektronisch deel, dat tenminste een inductor omvat, die bestaat uit gelamineerde lagen isolatiemateriaal en elektrisch geleidend materiaal en, in bepaalde uitvoeringsvormen, verder tenminste een condensator omvat, waardoor dit elektronische deel de vorm aanneemt van een chip van kleine af-25 meting.

Een volgend doel van de uitvinding is het verschaffen van een werkwijze voor de vervaardiging van een gelamineerd elektronisch deel van de bovengenoemde soort.

Kort samengevat omvat het elektronische deel volgens 30 de uitvinding een aantal isolerende lagen, waaronder isolerende of geïsoleerde magnetische lagen of dielektrische lagen en een aantal elektrisch geleidende lagen in de vorm van één of meer spoelen, waarbij de twee soorten lagen afwisselend zijn gelamineerd. Het elektronische deel omvat in 35 bepaalde uitvoeringsvormen een enkele inductor,, in andere uitvoeringsvormen twee of meer inductoren, en in nog andere uitvoeringsvormen één of meer inductoren en één of meer condensatoren.

Het gelaagde elektronische deel volgens de uitvinding 79 0 9 3 5 1 > i 3 wordt vervaardigd door het eerstvormen van een isolerend vel of isolerende laag uit magnetisch of dielektrisch materiaal, en het daarna hierop vormen van een geleidend patroon, het daarop aanbrengen van een volgende elektrisch isolerende 5 of elektrisch geïsoleerd magnetisch .vel of laag, het vervolgens daarop vormen van een tweede geleidend patroon, dat elektrisch is verbonden met het eerste geleidende patroon.

Deze werkwijzen worden herhaald totdat er een gewenst aantal afwisselende lagen is verkregen. Tenslotte worden dunne eind-10 elektroden bevestigd aan twee of meer zijranden van het aldus gevormde, gelamineerde elektronische chipdeel. Bij bepaalde uitvoeringsvormen zijn de geleidende patronen zodanig gekoppeld dat er twee of meer inductoren worden gevormd, en in andere uitvoeringsvormen wordt de stap toegepast van het 15 vormen van één of meer dunne elektroden voor het opnemen van een condensator in het elektronische deel.

De uitvinding zal thans nader worden toegelicht aan de hand van de bijgaande tekening van enkele uitvoeringsvoor-beelden.

20 Figuur 1 toont de eerste stap van de fabricage van een gelaagde inductor volgens de eerste uitvoeringsvorm van de uitvinding.

Figuur 2 t/m 11 tonen respectievelijk de tweede t/m de elfde stap.

25 Figuur 12 is een bovenaanzicht van de voltooide ge lamineerd e inductor volgens de eerste uitvoeringsvorm van de uitvinding.

Figuur 13 is een zijaanzicht van een tweede uitvoeringsvorm van de gelaagde inductor volgens de uitvinding in 30 een tussenstadium van fabricage.

Figuren 14 t/m 26 zijn een reeks aanzichten die de opbouw en de volgorde van fabricage tonen van de derde uitvoeringsvorm van het samengestelde deel volgens de uitvinding.

Figuren 14 t/m 24 tonen respectievelijk de eerste t/m 35 de elfde stap van de fabricage.

Figuur 25 is een bovenaanzicht van het voltooide samengestelde deel volgens de derde uitvoeringsvorm van de uitvinding.

Figuur 26 toont een equivalent schakeldiagram van het 79 0 93 5 f ar -a \ 4 samengestelde deel.

Figuur 27 is een bovenaanzicht van de vierde uitvoeringsvorm van het samengestelde deel in een stadium van fabricage.

3 Figuren 28 t/m 33 zijn een reeks aanzichten die de opbouw en de volgorde van fabricage tonen van de vijfde uitvoeringsvorm van het samengestelde deel, waarbij de figuren 28 t/m 33 respectievelijk de eerste t/m de zesde stap tonen.

Figuur 34 is een doorsnede-aanzicht van de zesde uit-10 voeringsvorm van het samenge stelde deel volgens de uitvinding.

Figuur 35 is een bovenaanzicht van het samengestelde deel volgens figuur 34.

Figuur 36 is een equivalent schakeldiagram van het samengestelde deel volgens de zesde uitvoeringsvorm.

15 Figuren 37 t/m 45 zijn een reeks aanzichten die de volgorde van fabricage tonen van een samengesteld elektronisch LC deel volgens de zevende uitvoeringsvorm van de uitvinding, waarbij de figuren 37 t/m 43 bovenaanzichten zijn.

Figuur 44 toont een uitslag van de raeerlaagsstruktuur 20 in een tussenstadium van de fabricage.

Figuur 45 is een perspectivisch aanzicht van een voltooid samengesteld elektronisch LC deel volgens de uitvinding.

Figuur 46 is een equivalent schakeldiagram van het 25 samengestelde LC deel weergegeven in figuur 45 en volgens de zevende uitvoeringsvorm van de uitvinding.

Figuren 47 t/m 52 zijn bovenaanzichten die een volgorde van stappen tonen voor de vervaardiging van een gelamineerde transformator volgens de achtste uitvoeringsvorm 30 van de uitvinding.

Figuur 53 is een equivalent schakeldiagram van de eerste uitvoeringsvorm van de gelamineerde transformator.

Figuren 54 t/m 63 zijn bovenaanzichten die een volgorde van stappen tonen voor het fabriceren van een gelaagde 35 transfprmator volgens de negende uitvoeringsvorm van de uitvinding.

Bij het uitvoeren van de uitvinding kunnen de te gebruiken isolatievellen bestaan uit een magnetisch materiaal dat of wel uit zich zelf isolerend is of met een isolatie 7909351 * * 5

Is bedekt, of in bepaalde gevallen een dielektrisch materiaal is. Zij kunnen met uiteenlopende procedures worden gevormd welke fundamenteel gelijk zijn. Het poeder van een magnetisch, materiaal met of zonder een isolerende eigenschap 5 of het poeder van een dielektrisch. materiaal wordt gekneed met een normaal geschikt bindmiddel, zoals methylcellulose of polyvinylbutyral, en een gemeenschappen jk geschikt oplosmiddel voor het bereiden van een pasta, en vervolgens wordt de pasta geëxtrudeerd of door een rakel uitgespreid 10 tot vellen met een dikte van bijvoorbeeld 12 tot 10 micron (welke werkwijze in het onderstaande wordt aangeduid met "velvorming”). Als alternatief kan de pasta met behulp van de drukmethode tot soortgelijke vellen worden gevormd.

Volgens de uitvinding worden deze vellen afwisselend gela-15 mineerd met elektrisch geleidende patronen, terwijl het verkregen laminaat wordt gesinterd. Het toe te passën magnetische materiaal is bij voorkeur een magnetisch ferriet.

Indien het magnetische materiaal elektrisch geleidend is kan de procedure zodanig worden gewijzigd, dat de fabricage 20 voortschrijdt met de tussenplaatsing van een isolatielaag tussen de aangrenzende lagen van het magnetische materiaal.

Voor het dielektrische materiaal kan een geschikt materiaal worden gekozen uit de groep die omvat glaspoeder, aluminium-oxide, bariumtitanaat, titaniumoxide en dergelijke.

25 De geleider die dient te worden gebruikt voor het vormen van de geleidende patronen is een pasta die is samengesteld uit het poeder van een Ag-Pd (75:25 - 50:50) legering, Pd of ander hittebestendig metaal en een bindmiddel.

De geleider voor het vormen van de uitwendige aansluitklem-30 men kan dezelfde geleidende pasta zijn zoals onmiddellijk hierboven is gemeld, of indien de klemmen uitsluitend moeten worden bevestigd en later worden gesinterd kan een soortgelijke pasta of het poeder van koper, zilver of dergelijke worden gebruikt.

35 Hoewel bepaalde uitvoeringsvormen van de uitvinding die in het onderstaande zullen worden beschreven afhankelijk zijn van de druktechniek voor de vorming van zowel isolatorlagen als geleidende patronen, zal het duidelijk zijn dat de velvorm methode eveneens van toepassing is.

7909351 6 * -t

Figuren 1 t/m 13 tonen de vervaardiging van een eerste uitvoeringsvorm van de gelamineerde inductor volgens de uitvinding en het produkt in de opeenvolgende fabricagestadia, in bovenaanzicht aan de linkerzijde en in eindaanzicht aan 5 de rechterzijde. Met verwijzing naar eerst figuur 1, een platoppervlak van aluminium of dergelijke wordt bedekt met een draaglaag uit een polyesterfoelie (zoals uit Mylar, niet weergegeven), en vervolgens wordt op het draagoppervlak door drukken een magnetisch materiaal 1 afgezet dat is samen-10 gesteld uit ferrietpoeder. Vervolgens wordt een isolator uit glaspoeder over het gehele oppervlak van het magnetische materiaal 1 gedrukt. Het zal duidelijk zijn, dat hoewel dit niet door een verwijzingscijfer wordt aangegeven, de isolator steeds is aangebracht tussen het magnetische materiaal 1 5 en het elektrisch geleidende materiaal dat daarop in een patroon is aangebracht. Hierdoor dient bij deze uitvoeringsvorm het met behulp van een verwijzingscijfer uitsluitend verwijzen naar het magnetische materiaal te worden beschouwd als het impliceren van de aanwezigheid van een isolatielaag 20 tussen het magnetische materiaal en het daarop te vormen geleidende patroon. In figuur 2 is een geleidend patroon 2, voorzien van een aansluitklem S aan een rand van het magnetische materiaal 1 voorzien van de isolatielaag, op het materiaal 1 gedrukt. Daarna wordt een volgende isolatielaag 25 gedrukt voor het bedekken van de onderhelft van het geleidende patroon en een volgende magnetische materiaallaag 3 wordt gedrukt, gevolgd door het drukken van een weer volgende isolatielaag, op hetzelfde oppervlak. Zoals figuur 4 aangeeft, wordt een geleidend patroon 4 gedrukt in de vorm van een 30 "gedraaide L" over het magnetische materiaal 3 met de isolatielaag, waarbij het boveneinde van de letter het aansluit-klemvrije einde overlapt van het patroon 2. Op deze wijze zijn de geleidende patronen 2 en 4 bij de overlapping 5 elektrisch verbonden. Figuur 5 toont, dat op dit tijdstip een 55 isolatielaag wordt 'gedrukt voor het bedekken van de bovenhelft van het geleidende patroon 4, terwijl bijkomende lagen magnetisch materiaal 6 en isolator op hetzelfde oppervlak worden gedrukt. Vervolgens wordt, zoals in figuur 6, een geleidend patroon 7 gedrukt in de vorm van een Homge- 79 0 9 3 5 1 > f 7 keerde Ln op het magnetische materiaal 6 met de isolatielaag, teneinde het vrijliggende einde te overlappen van het geleidende patroon 4. De resulterende overlapping 8 verbindt vanzelfsprekend elektrisch de patronen 4 en 7· Volgens ejfiguur 7 wordt een volgende isolatielaag, magnetisch materiaal 9» en isolatielaag in volgorde van aanbrenging op dezelfde wijze gedrukt als reeds beschreven werd met betrekking tot figuur 3· Daarna wordt, zoals in figuur 8, een geleidend patroon 10 gedrukt en elektrisch verbonden met het 10patroon 7 bij de overlapping!1,en verder, zoals in figuur 9» worden een isolatielaag, magnetisch materiaal 12, en nog een volgende isolatielaag in de genoemde volgorde gedrukt. Tenslotte wordt een geleidend patroon 13 niet een aansluit klsnF gedrukt, zoals is aangegeven in figuur 10. Indien •jejnoodzakelijk worden een volgende isolatielaag en magnetisch materiaal l4 gedrukt zoals in figuur 11. Het zal duidelijk zijn, dat de aansluitklemmen S en F blootliggen aan de tegenovergestelde randen van het aldus verkregen laminaat (figuur 11). Het laminaat wordt in een sinteroven geplaatst 2oen behandeld bij de temperatuur en gedurende het tijdsverloop noodzakelijk voor het sinteren van het bepaalde magnetische materiaal (ferriet). Aan de eindvlakken van de aldus verkregen gelamineerde inductor met de blootliggende aansluitklemmen S en F, wordt dezelfde elektrisch geleidende 2^pasta toegepast welke gebruikt is voor het vormen van de geleidende patronen, welke wordt gebakken bij een geschikte temperatuur voor het verschaffen van de uitwendige klemmen 15, 16 (figuur 12). Als alternatief kunnen de buitenklemmen voorafgaande aan het sinteren worden aangebracht.

2q Bij de thans beschreven uitvoeringsvorm van de ge laagde inductor vormt de combinatie van de geleidende patronen 2, 4, 7i 10 en 13 een spiraal. Doordat de isolatielaag is aangebracht tussen het magnetische materiaal en elk daarop gevormd geleidend patroon kan dit magnetische mate-^niaal worden gekozen uit de groep van ferrieten met goede magnetische eigenschappen en zelfs lage elektrische weerstanden. Bovendien verschaft de uitvoeringsvorm een magnetische baan door de spiraal van geleidende patronen, welke baan gevormd wordt door het magnetische materiaal buiten de

7909J5T

* * •l \ 8 patronen, waardoor wordt tegengegaan dat de door de baan circulerende magnetische flux naar de buitenzijde uitlekt. Dit is een andere factor die bijdraagt tot de verbeterde karakteristieken van de inductor volgens de uitvinding.

3 Figuur 13 toont een tweede uitvoeringsvorm van de uitvinding. Een magnetisch materiaal 20 met een isolatielaag aan het oppervlak wordt eerst met regelmatige tussenafstanden bedrukt met een linkshellend, geleidend patroon 22 (bij de weergegeven uitvoeringsvorm.zijn drie van derge-•jO lijke patronen gevormd). Tegelijkertijd wordt eveneens een eindgeleider 25 gedrukt. Daarna wordt een magnetisch materiaal 21 op zodanige 'wijze gedrukt dat voorkomen wordt dat dit de boven-en ondereinden overlapt van de linkshellende patronen 22. Hierna worden er rechtshellende, geleidende pa-15 tronen 23 op zodanige wijze gedrukt, dat zij de beide einden van de patronen 22 overlappen. Op deze wijze wordt een platte spiraal van geleidende patronen rondom het magnetische materiaal 21 gevormd. Het verwijzingscijfer Zk duidt een andere eindgeleider aan. Indien noodzakelijk kan een 20 isolator van dezelfde afmeting als het magnetische materiaal daarop worden gedrukt, gevolgd door het verdere bedrukken van het magnetische materiaal. Tenslotte worden de buitenverbindingen 26, 27 door middel van drukken of een andere techniek aangebracht die bestemd zijn om kontakt te maken 25 met de respectieve aansluitingen 2h, 25· Het samenstel krijgt een warmtebehandeling in een sinteroven teneinde een voltooi? de gelamineerde inductor te verschaffen.

Deze tweede uitvoeringsvorm is wat betreft functie en bereikbaar effect niet ongelijksoortig aan de eerste uit-30 voeringsvorm, maar verschilt van de eerste doordat de richting van de baan van de magnetische flux vlakker is. Het zal , eveneens duidelijk zijn, dat de inductor een constructie heeft met een gesloten magnetische kringloop.

De eerste en de tweede uitvoeringsvormen passen af-33 zonderlijke glaslagen toe voor het isoleren van de magnetische lagen. Er dient echter te worden opgemerkt, dat wanneer het magnetische materiaal wordt gekozen uit een elektrische isolator, zoals magnetisch ferriet met een zeer hoge weerstand, het drukken van glas of andere isolerende lagen 79-0 9 Ti t I ·» 9 achterwege kan blijven.

De figuren 14 t/m 26 tonen de derde uitvoeringsvorm van de uitvinding, welke een gelaagd, chipvormig samengesteld LC deel is.

5 Deze figuren tonen de werkwijze voor de vervaardi ging van het samengestelde, chipvormige deel in een op eenvoi gende reeks stappen, in bovenaanzicht aan de linkerzijde en in eindaanzicht aan de rechterzijde. Eerst verwijzend naar figuur 14, een plat oppervlak van aluminium of derge-10 lijke (niet weergegeven) wordt bedekt met een draaglaag, zoals van polyesterfoelie (bijvoorbeeld van Mylar, niet weergegeven), en daarna wordt een isolerende ferrietpoeder-pasta door drukken op het draagoppervlak afgezet voor het vormen van een vel of laag 101 van magnetisch materiaal .

15 Hierdoor dient het magnetische materiaal in het onderstaande als isolerend te worden beschouwd. Daarna wordt, zoals in figuur 15 is weergegeven, een patroon 102 van een elektrisch geleidend materiaal met een aansluiting S aan een rand van het magnetische materiaal 101 in de vorm van een omgekeerde 20 Z gedrukt. De vervaardiging gaat voort naar de stap van figuur 16, waarin een volgende laag 103 van magnetisch materiaal wordt gedrukt voor het bedekken van de onderhelft van het geleidende patroon 102. Zoals in figuur 17 is weergegeven wordt een volgend geleidend patroon 104 in de vorm 25 van een "gedraaide L" over het magnetische materiaal 103 gedrukt, waarbij het boveneinde van de letter L een blootliggend einde overlapt van het patroon 102. Op deze wijze zijn de geleidende patronen 102 en 104 elektrisch verbonden bij de overlapping 105· In figuur *18 wordt een volgende 30 magnetische laag 106 thans gedrukt voor het bedekken van de bovenhelft van het geleidende patroon 1θ4· Daarna wordt in de stap van figuur 19 een geleidend patroon 107 in de vorm van een "omgekeerde L" op het magnetische materiaal 106 gedrukt teneinde het blootliggende einde te overlappen van het 35 geleidende patroon 104. Hierdoor geeft de verkregen overlapping 108 de elektrische verbinding van de patronen 104 en 107· Volgens figuur 20 wordt een volgende laag 109 van magnetisch materiaal op dezelfde wijze gedrukt als in figuur 16 is weergegeven, gevolgd door het drukken van een geleidend 7909351 10 patroon 110, zoals in figuur 21 is weergegeven, in elektrische verbinding daarmede bij een overlapping 111. Nog een andere laag 112 van magnetisch materiaal wordt gedrukt, zoals in figuur 22 is weergegeven. Daarna wordt, zoals in fi-5 guur 23 is weergegeven, een geleidend patroon 113 gedrukt voorzien van een aansluiting F, en zoals in figuur 24 is weergegeven, wordt een laatste magnetische laag 114 over het gehele oppervlak gedrukt.. Tenslotte wordt een geleidende laag 117 over een breed oppervlak gedrukt voor het ver-10 krijgen van capaciteit. Het is zichtbaar (uit het rechter-aanzicht van figuur 24) dat de eindgeleider F blootligt aan de rechterrand van het verkregen laminaat, tegenovergesteld aan de rand waar de eindgeleider S is. Het is eveneens zichtbaar, dat het ondereinde van het geleidende patroon 117 is 15 blootgesteld aan de onderrand van de meerlaagsstructuur.

Zoals uit de voorgaande beschrijving duidelijk zal zijn, vormt de combinatie van de geleidende patronen 102, 104, 107» 110 en 113 een spiraalvormige winding en zij verschaffen een capaciteit tussen zichzelf en het geleidende patroon 117.

20 Indien noodzakelijk kan een bijkomende isolerende laag (welke of wel magnetisch of dielektrisch is) worden gedrukt. Daarna wordt het laminaat in een sinteroven geplaatst en behandeld bij de temperatuur en gedurende het tijdsverloop dat noodzakelijk is voor het sinteren van het bepaalde magnetische 25 materiaal (ferriet). Aan de eindvlakken van het verkregen gesinterde lichaam, waaraan de aansluitingen S en F blootliggen (en indien noodzakelijk, eveneens aan het eindvlak waaraan het geleidende patroon 117 blootligt)t wordt een elektrisch geleidende pasta (bijvoorbeeld van zilver) aangebracht en bij 30 een geschikte temperatuur gebrand voor het verschaffen van de aansluitklemmen 115, 116 voor de uitwendige verbindingen (figuur 25). Als alternatief kunnen de uitwendige aansluitklemmen voorafgaande aan het sinteren worden aangebracht.

Figuur 25 is een buitenaanzicht van het aldus verkre-35 gen samengestelde deel, en in figuur 26 is een schakeldia-gram weergegeven dat elektrisch equivalent is aan de schakeling van dit samengestelde deel van figuur 25· Het samengestelde deel volgens deze uitvoeringsvorm van de uitvinding heeft toepassingen als samengesteld LC deel, zoals bijvoor- 7909351 r · 11 beeld filters met een lage doorlaat band en componentele-menten van vertragingsleidingen. De uitvoeringsvorm kan worden gemicrominiaturizeerd door met voordeel gebruik te maken van de technologie van de gedrukte schakelingen. Door-5 dat bovendien een aantal elementen gelijktijdig op een enkele polyesterfoelie kan worden vervaardigd is dit produkt geschikt voor massaproduktie en is tevens verzekerd van een uniforme kwaliteit. Het deel volgens de uitvinding, waarbij de uitwendige aansluitklemmen aan de beide zijranden van de 10 chip blootliggen (soms eveneens aan de onderrand) kan gemakkelijk op een paneel van een gedrukte schakeling of een ander substraat worden gemonteerd. Dit is een andere factor die bijdraagt tot de gemakkelijke fabricage. Het zal duidelijk zijn, dat het aantal lagen van het magnetische mate-15 riaal evenals van de geleidende patronen naar wens kan worden gekozen.

Figuur 27 toont de vierde uitvoeringsvorm van de uitvinding, welke een modificatie is van de derde uitvoeringsvorm met een vergrote capaciteit. De volgorde van fabricage 20 tot aan het stadium volgens figuur 15 is gelijk aan die welke reeds is weergegeven en beschreven, zodat uitsluitend het bijkomende, verschilkenmerk van de gewijzigde constructie in bovenaanzicht is weergegeven. Van de werkwijze stappen weergegeven in de figuren 14 t/m 25, is de stap van figuur 25 21 reeds beschreven als het drukken van het geleidende patroon 110 op het magnetische materiaal 109. Bij deze vierde uitvoeringsvorm wordt tegelijkertijd bijkomend een plat, capaciteit verschaffend geleidend patroon 118 gedrukt, dat gedeeltelijk is verbonden met het patroon 110. Hierdoor 30 heeft het aldus verkregen, meer laags, chipvormige, samengestelde deel een grotere capaciteit dan dat vervaardigd volgens de stappen van de figuren 14 t/m 25.

De figuren 28 t/m 33 tonen de vijfde uitvoeringsvorm van de uitvinding in een volgorde van fabricagestappen, in 35 bovenaanzicht aan de linkerzijde en in zijaanzicht aan de rechterzijde. In figuur 28 wordt een dun vel 121 van ferriet als magnetisch materiaal met de druktechniek bevestigd aan een polyesterfoelie (in deze uitvoeringsvorm is het magnetische materiaal eveneens een isolator).

790 935 f % 12

Hierna worden, zoals in figuur 29 is weergegeven, een aantal rechte geleidende lijnen 122, welke met regelmatige tussenafstanden onder een hellingshoek verlopen, door drukken op het magnetische materiaal 121 afgezet.

5 De lijnen van de geleider 122 kunnen zijn gevormd uit een pasta, zoals bijvoorbeeld een Pd-Ag legeringspoeder. Zoals is weergegeven, hebben zij de vorm van een beginaansluiting S en een reeks naar rechts-hellende, rechte lijnen die gelijke onderlinge afstanden hebben. Deze geleidende lijnen 10 vormen de achterzijde van geleidende delen.

Vervolgens wordt, zoals in figuur 30 is weergegeven, een band 123 van magnetisch materiaal gevormd door het drukken van deze band dwars over de geleidende lijnen 122, waarbij slechts de boven-en ondereinden van deze lijnen vrij-15 blijven. Deze magnetische band 123 doet dienst als magnetische kern.

Volgens figuur 31 wordt nu een aantal linkshellende geleidende lijnen 124 op zodanige wijze gedrukt, dat elke, schuinverlopende lijn twee bijbehorende geleidende lijnen 20 122 aan de achterzijde verbindt aan de vrijliggende tegenovergestelde einden. Het zal duidelijk zijn, dat de twee reeksen van tegenovergesteld hellende, geleidende lijnen 122 en 124 aan respectievelijk de achter-en de voorzijde op deze wijze worden verbonden voor het vormen van een spi-25 raalvormige wikkeling om het magnetische materiaal 123·

De geleidende lijn 124 aan het rechtereinde van de opstelling aan de voorzijde is naar rechts doorgetrokken voor het verschaffen van een aansluiting F.

In figuur 32 is een laag 125 van magnetisch materiaal 30 gedrukt over de geleidende lijnen 124 aan de voorzijde, waar* bij slechts de aansluitingen S en F vrijblijven. Daarna wordt een capaciteit verschaffend, geleidend patroon 128 over een groot gebied van het opppervlak gedrukt.

Na de stap van figuur 32 wordt de op deze wijze ver-35 vaardigde, meer laagsconstructie behandeld bij de temperatuur en gedurende het tijdsverloop dat noodzakelijk is voor het sinteren van het bepaalde ferriet. Tenslotte, zoals in figuur 33 is weergegeven, worden de eindaansluitingen 126, 127 aangebracht voor de verbinding met de aansluitingen F en 7909351 13 S en krijgen daarna een warmtebehandeling voor bet voltooien van deze uitvoeringsvorm van het samengestelde deel.

Het ligt voor de hand, dat hét verkregen meerlaags, chipvormige, samengestelde deel volgens de uitvinding een 3 gelijkwaardige schakeling heeft soortgelijk aan die weergegeven in figuur 26. De geleider 128, die als gemeenschappelijke elektrode dienst doet, vormt een capaciteit tussen de geleiders 122 en 124.

De figuren 34 en 35 tonen de zesde uitvoeringsvorm 10 van de uitvinding. Dit is een modificatie voor een grotere capaciteit van de hierboven aan de hand van de figuren 28 t/m 33 beschreven uitvoeringsvorm. Deze voorgaande figuren en bijbehorende beschrijving van de stappen, zijn tezamen met dezelfde verwijzingscijfers eveneens van toepassing op 15 deze zesde uitvoeringsvorm.

Zoals in figuur 34 is weergegeven, wordt een (niet weergegeven) polyesterfoelie voorafgaande aan de stap van figuur 28 bedrukt met een geleider 131· De geleider 131 heeft dezelfde vorm als het geleidende patroon 128 van fi-20 guur 33» waarbij het ondereinde hiervan wordt uitgericht met de onderranden van de lagen die in de volgende stappen worden afgezet. Hierna wordt een dielektrische laag 129 gedrukt. Deze laag 129 is gevormd om hetzelfde oppervlakte-gebied te hebben als het magnetische materiaal 121. Over 25 deze laag 129 worden in dezelfde volgorde van stappen die zijn weergegeven in de figuren 28 t/m 31 bet magnetische materiaal 121, de geleider 122, het magnetische materiaal 123, de geleider 124, en het magnetische materiaal 125 in de genoemde volgorde gedrukt. Daarna wordt voorafgaande aan het 30 drukken van de geleider 128 een andere laag 130 van dielek-trisch materiaal (figuur 33) gedrukt, en tenslotte wordt de geleider 128 gedrukt. De verkregen meerlaags structuur wordt in een sinteroven behandeld, en zoals is weergegeven in de figuren 34 en 35 worden de uitwendige verbindingsaanslui-35 tingen 126 en 127 bevestigd en met warmte behandeld. Op soortgelijke wijze wordt een andere uitwendige aansluiting 132 aangebracht tussen de geleidende lagen 128 en 131 die vrij liggen aan het ondereinde van de structuur. Op deze wijze wordt de uitvoeringsvorm van het samengestelde deel 7909351 * Λ s 14 voltooid. De equivalente schakeling van dit samengestelde deel is weergegeven in figuur 36.

De vijfde en zesde uitvoeringsvorm van de uitvinding hebben voordelen, soortgelijk aan die geboden door de 5 derde en vierde uitvoeringsvorm, doordat de magnetische weerstand gering is, aangezien de magnetische baan gericht is langs het vlak van het magnetische materiaal, terwijl de geleidende;lijnen 122, 124, die tussen de lagen magnetisch materiaal zijn aangebracht, een gesloten magnetische kring-10 loop vormen en daardoor een grotere induetantie geven.

De zesde uitvoeringsvorm heeft zelfs een grotere capaciteit dan de vijfde uitvoeringsvorm.

De figuren 37 t/m 46 tonen de zevende uitvoeringsvorm van de uitvinding. Deze uitvoeringsvorm verschaft een 15 zeer klein, gelaagd, samengesteld, elektronisch LC deel en een werkwijze voor de vervaardiging daarvan.

Figuur 37' toont de eerste stap van de vervaardiging van een samengesteld elektronisch deel volgens de uitvinding. Allereerst wordt een isolatielaag met een groot opper-20 vlakte gebied gevormd door velvorming of het drukken op een geschikte* (niet weergegeven), vlakke substraat. Het isolatie materiaal dient op geschikte wijze te worden gekozen, zodat een magnetisch materiaal wordt gebruikt waar er een hogere waarde van de inductantie L moet worden be-25 reikt of een dielektrisch materiaal wanneer er een vergrote capaciteit C gewenst is. Hetzelfde geldt voor de andere isolatielagen die later met betrekking tot deze uitvoeringsvorm worden beschreven. De lijnen A en B in figuur 37 zijn denkbeeldige lijnen en verlopen zodanig dwars op elkaar dat 30 het oppervlak verdeeld wordt in secties 201, die elk een onderste laag vormen waarop een enkel samengesteld deel dient te worden opgebouwd. Eenvoudigheidshalve is de onderstaande beschrijving beperkt tot de vervaardiging bovenop een derge-lijke sectie, maar het zal duidelijk zijn, dat in werkelijk-35heid een aantal delen parallel aan elkaar en gelijktijdig worden vervaardigd. Figuur 38 is een aanzicht op vergrote schaal van een dergelijke sectie van een isolatielaag 201, weergegeven in figuur 37· In de stap volgens figuur 39 worden een geleidend patroon 202, dat een deel vormt van een 7909351 15 spoel, en een elektrodelaag 203 parallel aan elkaar afgezet door middel van drukken op de isolatielaag 201. Het geleidende patroon 202 omvat een eindgedeelte 204 dat vrijligt aan de recliterrand van de isolatielaag 201, een rechtgedeelte 5 205, dat zich links uitstrekt vanaf het eindgedeelte, en een haakvormig gedeelte 206. Anderzijds omvat de elektrodelaag 208 een rechtgedeelte 207 dat zich in de dichte nabijheid uitstrekt van, en parallel aan, het rechte gedeelte 205 van het patroon 202, waarbij een aansluiting gedeelte 10 208 bovenwaarts is af getakt vanaf een middenpunt van het rechte gedeelte en vrijligt aan de bovenrand van de isolatielaag 202. De naast elkaar liggende verlengingen van de rechte delen 205 en 207, die op korte, voorafbepaalde afstand van elkaar liggen, verschaft vanzelfsprekend een capa-15 citeit tussen deze twee verlengingen. Deze rechte delen kunnen in plaats daarvan boogvormig zijn, mits zij relatief lang, dichtbij elkaar en evenwijdig verlopen. In de volgende stap van figuur 40 wordt een enigszins smalle isolatielaag 209 door drukken of velvorming gevormd over de 20 isolatielaag 201, zodanig dat het einde van het haakvormige deel 206 van het de spoelvormende geleidende patroon onbedekt blijft. In figuur 41 wordt een geleidend patroon 210 voor spoelen gevormd, verbonden met het einde van het haakvormige deel 206 van het onderliggende patroon. E*en deel van 25 dit geleidende patroon 210 heeft een einde van het haakvormige gedeelte 211 doorgetrokken over de isolatielaag 209·

Zoals in figuur 42 is weergegeven, wordt een enigszins smalle isolatielaag 212 gevormd door drukken of velvorming over de isolatielagen 201, 209, waarbij het haakvormige einde 30 211 van het geleidende patroon onbedekt blijft. Daarna worden evenals in figuur 43, een ander spoelvormend geleidend patroon 213» dat aan het rechte einde is verbonden met het haakvormige einde 211 van het onderliggende patroon, en een elektrodelaag 215 dicht evenwijdig aan elkaar gedrukt, 35 waarbij een aansluitgedeelte 216 verloopt vanaf een middenpunt van de elektrodelaag naar de bovenrand van het laminaat. De tot dusver beschreven procedure wordt een even groot aantal malen herhaald als gewenst wordt voor het opbouwen van een bedoelde, meerlaags, spoelcapaciteitstructuur (welke nog 79 0 93 5 1 Λ 16 moet worden gesinterd). Hierdoor worden de geleidende patronen 202, 210, 213 enz. voor de spoel gedrukt, terwijl zij aan de einden zijn verbonden tussen de opeenvolgende isolatielagen totdat zij, als geheel, een spoel of inductantie 5 vormen, terwijl op soortgelijke wijze de elektrodelagen 203» 213, enz. rechtstreeks een capaciteit verschaffen tussen zichzelf en de spoel uit de geleidende patronen. Hoewel bij de beschreven uitvoeringsvorm de elektrodelagen 203, 2T5 een voor een op de voltooide patroon-isolatielaag zijn ge-10 vormd, is het als alternatief mogelijk om de elektrodelaag op elke andere of elke derde volledige laag te vormen, afhankelijk van wat noodzakelijk is, voor het verkrijgen van een gewenste capaciteit.

Figuur 44 geeft andere aanzichten van een laminaat 15 als een tussenprodukt vervaardigd door de voorgaande volgorde van stappen en in secties verdeeld door de lijnen A en B, zoals reeds werd vermeld met betrekking tot figuur 37·

In figuur 44 is (a) een bovenaanzicht van de meerlaags-structuur die aan het oppervlak door de isolator wordt be-20 dekt (de onderzijde van de structuur heeft hetzelfde uiterlijk) , (b) is een achteraanzicht, waarin de aansluitgedeelten 208 zichtbaar zijn van de elektrodelagen die een aansluiting vormen van de capaciteit welke vrijligt aan de achterzijde van het laminaat, (c) is een vooraanzicht, en (ü), (E) zijn 25 respectievelijk een linker en rechtereindvlak van de meer-laagsstructuur, waarbij de beide einden 204, 204’ van de spoel vrijliggen aan de tegenovergestelde eindvlakken van de structuur. Het laminaat van figuur 44 wordt in een sinter oven geplaatst en bij een geschikte temperatuur gebakken, 30 zoals bijvoorbeeld bij 1000°C, voor het sinteren van de isolator, zoals een dielektrisch of magnetisch materiaal. Deze behandeling geeft de omzetting van het laminaat tot een integrale eenheid in de vorm van een massief elektronisch deel. Hierna wordt, zoals in figuur 45 is weergegeven, een zilver-35 pasta of dergelijke· aangebracht aan de linker en rechtereind-vlakken en de nabijliggende delen en eveneens aan en om het boveneindvlak van het gesinterde laminaat en gebakken voor het vormen van de aansluitelektroden 216, 217» 218, waardoor een samengesteld elektronisch LC deel volgens de uitvinding 7909351 17 •wordt voltooid.

Zoals zichtbaar is in de figuren 39 en 43 omvat het elektronische deel volgens de uitvinding de elektroden 203, 215 en de spoelvormende, geleidende patronen 202, 210 en 213 5 die dichtbij elkaar zijn gevormd, waardoor hiertussen een capaciteit wordt verkregen en een gewenste waarde van de capaciteit gemakkelijk voordelig kan worden verkregen door de verandering van de lengte van de elektroden 203» 215 en hun afstand tot de spoelvormende, geleidende patronen.

10 Eveneens vormen de geleidende patronen, zoals is weergegeven in combinatie een spoel door hun verbinding aan de einden, waardoor zij continu spiraalvormig verlopen vanaf de ene ruimte tussen een bepaald paar isolatielagen naar de andere ruimte tussen de isolatie. Hierdoor verschaft het samenge-15 stelde elektronische deel volgens de uitvinding een equivalente schakeling zoals in figuur 46 is weergegeven, en is daardoor bruikbaar als bijvoorbeeld een filterelement.

Door de voorgaande constructie verschaft de uitvinding de verschillende hierbovenbeschreven voordelen.

20 De figuren 47 t/m 63 tonen twee uitvoeringsvormen van gelaagde transformators.

Figuren 47 t/m 53 tonen een gelaagde transformator volgens de achtste uitvoeringsvorm van de uitvinding en de volgorde van fabricage hiervan voor de toepassing van de uit-25 vinding. Allereerst wordt een (niet weergegeven) basisfoelie van polyetbyleentereftalaat of dergelijke gereedgemaakt, waarna een isolatielaag 301 van magnetisch materiaal of dergelijke in de vorm van een dun vel (foelie) of wel door drukken wordt afgezet of op de basis wordt vastgehecht. De hier-30 in gebruikte uitdrukking "drukken" betekent de vorming van een dunne laag van een magnetisch of ander isolerend materiaal, een geleidend patroon of dergelijke met behulp van de druktechniek. Onder "velvorming" wordt de werkwijze bedoeld van het lamineren van isolatielagen die tevoren zijn gevormd 35 met behulp van de velvormmethode.

Figuur 47 toont een isolatielaag. Op het oppervlak van deze isolatielaag worden door drukken een paar spoelvormende patronen 302, 30β af gezet van een elektrisch geleidend materiaal in de vorm .van haken. De geleidende patronen 302, 303 7909351 18 verlopen benedenwaarts, zoals gezien in de figuur, waarbij zij eindigen aan de einden 304, 305 strokend met de onderrand van de isolatielaag 301 van magnetisch, materiaal, terwijl hun binneneinden 306, 307 evenals de punten van de 5 haken dichtbij elkaar zijn geplaatst· De spleet g tussen de binneneinden 3θ6 en 307 wordt op geschikte wijze gekozen, afhankelijk t?an de koppelingscoëfficiënt k van de bedoelde gelamineerde transformator. De fabricage gaat voort met de stap weergegeven in figuur 48, waarin de rechthoekige iso-10 latielagen 308, 309 worden gevormd als laminatiea door vel-vorming of drukken op de onderliggende geleidende patronen en isolatielaag. De haakeinden 306, 307 van de geleidende patronen worden vrijliggend gelaten voor hieropvolgend gebruik als verbindingen. Daarna wordt, zoals in de figuur 15 49 is weergegeven, een volgend paar spoelvormende, geleidende patronen 310, 311 gedrukt. Deze patronen zijn elk in hoofdzaak U—vormig en zijn aangebracht evenwijdig aan de binnenzijde dichtbij elkaar. Hun binneneinden 314, 315 overlappen de bijbehorende einden.306-,.. 307 van de onderliggende 20 patronen, waardoor verbindingen worden gevormd, terwijl hun buiteneinden 312, 313 verlopen tot de bovenrand van de gelamineerde structuur. Zoals uit de beschrijving tot op dit punt duidelijk zal zijn, zijn de geleidende patronen 302, 310 een eerste combinatie of stel die een continu spiraal— 25 patroon vormt dat een eerste spoel vormt, en op soortgelijke wijze vormen de patronen 303, 311 een tweede stel dat een tweede spoel vormt, De beide einden van de twee spoelen liggen vrij aan de boven-en onderrandvlakken van het laminaat. Hoewel het aantal beschreven lagen eenvoudigheidshalve be-jq perkt is, zal het duidelijk zijn, dat de fabricagestappen weergegeven in de figuren 47 t/m 49 even veel malen kunnen worden herhaald als noodzakelijk is voor het bereiken van het doel, zonder dat het raam van de uitvinding wordt verlaten. Zoals in figuur 50 is weergegeven, wordt hierdoor het 35 oppervlak van het verkregen laminaat door middel van vel-vorming of bedrukken geheel met een isolatielaag 316 bedekt. Tenslotte, zoals reeds met betrekking tot figuur 37 werd toegelicht, kan de gehel meerlaagsstructuur een aantal laminaat eenheden bevatten die op de wijze zijn. opgebouwd welke 7909351 19 tot dusver als voorbeeld is beschreven en in afzonderlijke laminaten kan worden gesneden, waarbij elk van deze laminaten de vrijliggende einden 304, 305 en 312, 313 hebben van de stellen geleidende patronen aan respectievelijk de onder-5 en bovenrandvlakken. De aldus verkregen afzonderlijke laminaten worden in een sinteroven gesinterd tot integrale, chipvormige, meerlaagsprodukten, waarin de lagen of lamina-ties stevig aan elkaar zijn gehecht. Vervolgens wordt, zoals in de figuren 51 en 52 is weergegeven, zilverpasta of 10 dergelijke op elk laminaat aangebracht of gedrukt voor het vormen van de aansluitelektroden 317, 318, 319 en 320 die verbonden zijn met de einden 304, 305, 312 en 313 van de geleidende patronen aan de binnenzijde, terwijl de aansluit-elektroden op hun beurt bij een geschikte temperatuur ste-15 vig aan het laminaat worden gebakken. Het zal voor de deskundigen duidelijk zijn, dat de aldus vervaardigde, gelamineerde transformator een equivalente schakeling heeft zoals in figuur 53 is weergegeven.

Thans zal een andere uitvoeringsvorm van de gelami— 20 neerde transformator volgens de uitvinding worden beschreven, welke de negende uitvoeringsvorm van de uitvinding is. Allereerst wordt een geleidend patroon 322 gedrukt, dat bestemd is voor het vormen van een gedeelte van de eerste spoel, in de vorm van een omgekeerde letter L over een isolatie-25 laag 321 die door drukken of velvorming is gevormd, zoals in figuur 54 is weergegeven. Een einde 323 van het geleidende patroon 322 ligt vrij aan het onderrandvlak van de isolatielaag 321, terwijl het binneneinde eindigt met een aansluiting 324. In de volgende stap van figuur 55 wordt meer 30 dan de linkerhelft van de isolatielaag 321 en het geleidende patroon met uitzondering van het aansluiteinde 324 bedekt door een volgende isolatielaag 325 door velvorming of bedrukken. Daarna wordt, zoals figuur 56 toont, een geleiden! patroon 326 in de vorm van een gedraaide letter L gedrukt, 35 dat bestemd is voor het vormen van een gedeelte van de tweede spoel, verwijderd van het aansluiteinde 324. Op dit tijdstip ligt het ene einde 327 vrij van het geleidende patroon 326, strokend met het bovenrandvlak van de isolatielaag 321, terwijl het binneneinde van het patroon eindigt met een aan- 7909351 20 ' , sluiting 323. Daarna wordt het middengedeelte van het geleidende patroon 326 bedekt, op de wijze weergegeven in figuur 57» door een isolatielaag 329 die door drukken of velvor-ming wordt gevormd, terwijl een L-vormig, tweede spoel 5 vormend, geleidend patroon 330 wordt gedrukt, zoals in figuur 58 is weergegeven. Dit geleidende patroon eindigt met een aansluiteinde 331 dat het aansluiteinde 328 van het onderliggende geleidende patroon 326 overlapt, en eveneens met een inwendig aansluiteinde 332. Zoals figuur 59 toont, 10 wordt een isolatielaag 333 door bedrukken of velvorming aangebracht, waarbij slechts het.aansluiteinde 332 van het patroon 330 onbedekt blijft, gevolgd door het drukken van een in hoofdzaak XJ-vormig geleidend patroon 334 voor het vormen van een gedeelte van de eerste spoel, zoals in fi-15 guur 60. Een einde van het patroon 33^· overlapt aan het aansluiteinde 324 van het onderliggende patroon 322 dat een deel vormt van de eerste spoel, terwijl het andere einde 336 vrijligt aan het bovenrandvlak van het laminaat. Het gehele oppervlak van het laminaat, met uitzondering van het 20 aansluiteinde 332 van het tweede spoel vormende patroon, . wordt met een isolatielaag 337 bedekt, door middel van vel vorming of bedrukken, zoals in figuur 61 is weergegeven, terwijl een bijkomend geleidend patroon 338 wordt gedrukt op de wijze volgens figuur 62. Een aansluiteinde 339 van 25 dit patroon 338 overlapt het aansluiteinde 332 van het onderliggende patroon, terwijl het andere einde 340 van het laatste patroon doorgetrokken wordt strokende met het onder-eindvlak van het laminaat. Daarna wordt, zoals in figuur 63 is weergegeven, een isolatielaag 341 gevormd door velvorming 30 of drukken over het oppervlak van het laminaat. Bij dit stadium van de laminatie, wordt de gehele meerlaagsstructuur met een veel groter oppervlak dan het onmiddellijk hierbo- venbeschreven laminaat, dat slechts een sectie vormt, door- » ’ gesneden, terwijl de delen in een sinteroven worden gesin-35 terd voor het verkrijgen van monolitische gesinterde delen. Elk van de gesinterde laminaten toont de einden 323, 336 van de eerste spoel vormende geleidende patronen en de einden 327 34o van de tweede spoel vormende, geleidende patronen vrij-liggend aan de boven-en onderrand vlakken, en daarna worden 7909351 21 de eindelektroden 3^-2, 3^3 en 3^-5 door bakken verbonden met deze vrijliggende einden. Het uiterlijk van elke aldus voltooide, gelamineerde transformator is in figuur 63 weergegeven, en is analoog aan dat weergegeven in figuur 52 als 5 de achtste uitvoeringsvorm van de uitvinding.

De gelamineerde, chipvormige, elektronische delen volgens de uitvinding zijn klein en hebben een monolitische constructie. Een groot aantal gelamineerde inductoren of dergelijke kunnen gelijktijdig worden vervaardigd door de 10 integrale uitvoering van druk en velvormende werkwijzen, waardoor de stabiele kwaliteit wordt verzekerd en de massa-produktie mogelijk wordt gemaakt. De kleine, chipvormige, gelamineerde elektronische delen hebben voordelen op het punt van samenstelling, waaronder het gemak van montage 15 op een paneel van een gedrukte schakeling of een ander soortgelijk substraat.

Het zal duidelijk zijn, dat de uitvinding niet beperkt is tot de weergegeven en beschreven uitvoeringsvoor-beelden van de gelamineerde of gelaagde elektronische delen, 20 maar dat de· uitvinding zich uitstrekt tot alle variaties en modificaties daarvan.

7909351

Claims

1. Gelaagd elektronisch deel, voorzien van tenminste een inductor, gekenmerkt door een aantal vellen van een isolerend materiaal, en door elektrisch geleidende patronen die elk zijn gevormd op het oppervlak van elk van de vellen, wel- 5 ke patronen zodanig zijn verbonden dat zij één of meer spoelen vormen voor het verschaffen van tenminste een inductor, waarbij de aslijn van elke spoel in hoofdzaak loodrecht staat op de vellen.

2. Gelaagd elektronisch deel volgens conclusie 1, met 10 het kenmerk, dat het isolerend materiaal wordt gekozen uit geïsoleerd magnetisch materiaal, isolerend magnetisch materiaal en diëlektrisch materiaal.

3. Gelaagd elektronisch deel voigens conclusie 2, met het kenmerk, dat het isolerende materiaal magnetisch ferriet 15 is.

4. Gelaagd elektronisch deel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de elektrisch geleidende patronen uit warm-tebestendig metaal zijn gevormd.

5· Gelaagd elektronisch deel volgens conclusie 4, met 20 het kenmerk, dat het warmtebestendige metaal wordt gekozen uit Pd en Pd-Ag.

6. Gedaagd elektronisch deel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het elektronisch deel verder tenminste een elektrodelaag omvat die gevormd is op éém of meer gekozen vel-25 len van het isolatiemateriaal voor het verschaffen van tenminste een capaciteit.

7· Gelaagd elektronisch deel voorzien van tenminste een inductor, gekenmerkt door een aantal vellen van een isolatiemateriaal, waarbij op het oppervlak van elk van de vel-30 len telkens elektrisch geleidende patronen zijn gevormd,welke patronen zodanig zijn verbonden voor het vormen van één of meer spoelen voor het verschaffen van tenminste een inductor, terwijl tenminste twee dunne aansluitingen op zodanige wijze met het elektronische deel zijn verbonden, dat de aansluit-35 elektroden zijn verbonden met de uitvoereinden van de één of meer spoelen.

8. Gelaagd elektronisch deel volgens conclusie 7» met het kenmerk, dat het elektronische deel verder tenminste een elektrodelaag omvat die op één of meer gekozen vellen is ge- 7909351 -2J- vormd van de veilenisolatiemateriaal voor het verschaffen van tenminste een capaciteit.

9. Gelaagd elektronisch deel volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat tenminste een elektrode een capaciteit 5 vormt tussen tenminste een elektrode en tenminste één van de elektrisch geleidende patronen.

10. Werkwijze voor de vervaardiging van een gelaagd elektronisch deel dat tenminste een inductor omvat, gekenmerkt door het vormen van een eerste laag van een isolatie- 10 materiaal, het vormen van tenminste een eerste, elektrisch geleidend, spoelvormend patroon door het drukken op het vel, het aanbrengen van een tweede laag isolatiemateriaal over de eerste laag en het eerste patroon terwijl een vrij einde van het eerste patroon vrij of blootliggend wordt ge-15 laten, het vormen van een tweede elektrisch geleidend, spoelvormend patroon door drukken op de tweede laag en op het vrije einde, het herhalen van deze stappen totdat een gewenst aantal lagen of laminaties is bereikt, en het bakken van het verkregen laminaat.

11. Werkwijze voor de vervaardiging van een gelaagd elektronisch deel volgens conclusie 10, met het kenmerk, dat het gebakken laminaat op zodanige wijze wordt bedekt met tenminste twee dunne aansluitingen, dat de naar buiten leidende einden van de spoelvormende patronen met deze aan-25 sluitingen of klemmen zijn verbonden.

12. Werkwijze voor de vervaardiging van een gelaagd elektronisch deel volgens conclusie 10 of 11, met het kenmerk. dat tenminste een elektrode wordt gevormd voor een capaciteit op één of meer gekozen lagen van de lagen iso-30 latiemateriaal. 7909351