NL7810509A - Niet-iriserende glasstructuren. - Google Patents

Description

%\ -Ji 4 - . 1 l Ψ

Roy Gerald, Gordon , Cambridge, Massachusetts, Ver. St. v. Amerika

Niet-iriserende glasstructuren.

De uit vinding hee it het rekking qp glasstructuren, die een dunne, fisxctionele anorganische bekleding dragen (hijvoorbeeld een bekleding van tinoryde, dat een middel is voor het bevorderen van de reflect! viteit van infrarood licht}, welke structuren een verbeterd uiter-5 lijk bezitten als gevolg van een verminderde i rise ring, welke ixisezing historisch verbonden is met de-ze dunne bekledingen en op werkwijzen voor het verkrijgen vsn de bovengenoemde structuren.

Glas en andere transparante materialen kinnen worden bekleed met transparante halfgeleiderfilms, zoals tinoryde, indium- .

10 ooyde of cadmiumstannaat, teneinde infrarode straling te reflecteren. Der-gelijke materialen zijn bruikbaar voor het verschaffen van vensters met een verbeterde isolatie-waarde (lager warmtetransport) in ovens, architecturale vensters, etc. Bekledingen van deze zelfde materialen geleiden eveneens elektriciteit en worden gebruikt als weerstandsvexhitters voor 15 het verwarmen van ruiten bij voertuigen teneinde vocht aanslag (mist) of ijs te verwijderen.

Een bezwaarlijk aspect van deze beklede vensters is dat zij interfarentiekleuren (irisering) vertonen in gereflecteerd licht en in mindere mate in doorgelaten licht. Deze irisering vormde een 20 ernstige barrière voor de wijd verspreide toepassing van deze beklede vensters (zie bijvoorbeeld American Institute of Physics Conference Proceeding No. 25, New ïork, 1975» peg. 288).

Onder sommige omstandigheden, dat wil zeggen wanneer het glas tamelijk dcsdter van toen ia (bijvoorbeeld met een lichtdoor-25 lating van minder dan ongeveer 25 %), wordt deze irisering gedempt en kan deze worden getolereerd. Bij de meeste architecturale wand- en venster-toepassingen is het i raserende effect, dat normaal gepaard gaat met bekledingen van minder dan ongeveer 0,75 aderen, echter voor veel mensen esthetisch onaanvaardbaar (zie bijvoorbeeld Amerikaans octrooi schrift 30 3.710.07*0. Weinig of geen sueoes is bereikt met het aanzienlijk vermin deren of elimineren van de bezwaarlijke en duidelijke irisering bij helde- 78 1 05 0 9 \ 2 re, blauwgroene en licht getinte glassoorten.

Iriseren de kleuren zijn een tamelijk algemeen verschijnsel bij transparante films met een dikte-traject van ongeveer 0,1-1 micron, in het bijzonder bij dikten beneden ongeveer 0,85 micron. On-5 gelukkigerwijze is juist dit dikte-traject van praktisch belang bij de meeste technische toepassingen. Half gelei de rbek le dingen, dunner dan engere er 0,1 micron, vertonen geen intersferentiekleuren, maar dergelijke dunne bekledingen vertonen een duidelijk inferieure reflectie van infrarood licht en een duidelijk verminderd vermogen voor het geleiden ven elektri-10 citeit.

Bekledingen, dikker dan ongeveer 1 micron, vertonen eveneens geen zichtbare ixisering bij belichting in daglicht, maar dergelijke dikke bekledingen leiden tot hogere vervaardigingskosten, omdat grotere hoeveelheden bekledingsm&terialen nodig zijn en de voor de afzetting 15 van de bekleding benodigde tijd overeenkomstig langer is. Verder hebben films, dikker dan 1 micron, de neiging een troebeling te vertonen, die voortkomt uit de lichtverstrooiing door oppe rvlakte- on re ge Imati ghe den, die groter zijn cp een dergelijke film. Ook vertonen dergelijke films een grotere neiging tot barsten onder thermische spanning vanwege het verschil 20 in de thermische uitzetting.

Als resultaat van deze technische en economische factoren omvat nagenoeg de gehele huidige technische produktie van dergelijke beklede glas voorwerpen films in het dikte-t reject van ongeveer 0,1-0,3 micron, die uitgesproken iriserende kleuren vertonen. In de archi-25 tectuur wordt momenteel nagenoeg geen gebruik gemaakt van dit beklede glas, ondanks het feit dat het voordelig zou zijn dit te doen vanwege de hiermee bereikbare energiebesparing. Het warmteverlies door infrarood-streling door de glasoppervlakken van een verwarmd gebouw kan bijvoorbeeld, ongeveer de helft bedragen van het warmteverlies door onbeklede vensters.

30 De aanwezigheid van iriserende kleuren op deze beklede glas pro dikten is de belangrijkste reden voor het niet toepassen van deze bekledingen.

De uitvinding beoogt te voorzien in een middel voor het elimineren van de zichtbare irisering uit halfgeleidende dunne film-bekledingen op glas onder handhaving van hun gevente eigenschappen van 35 zichtbare transparantie, infrarood-reflectiviteit en elektrisch gelei-dings vermogen, 78 1 0 5 0 9

, : * ·' .'· V

. 3 '' in het bereiken ran de bovengenoemde doeleinden zonder aanzienlijke -verhoging -ren de produktiekoeten in -vergelijking net de kosten bij toepassing van gewone iriserende films, in het bereiken van de bovengenoemde doeleinden cn-5 der toepassing van een proces, dat continu is en volledig kan worden ingepast in de moderne vervaardigingspxoceesen in de glasindustrie, in het bereiken van de bovengenoemde doeleinden met produkten, die in hoge mate duurzaam en bestand tegen licht, chemicaliën en mechanische slijtage zijn, 10 in het hereiken van de bovengencemde doeleinden on- , ^ der gebruikmaking van materialen, die in voldoende mate voorhanden en gemakkelijk beschikbaar zijn cm de wijd -verspreide toepassing mogelijk te maken, in een nieuwe dubbel-geglaasde structuur, die een 15 ultrar-dmne, infrarood-reflectieve stof draagt, welke structuur vrij is van een bezwaarlijke i rise ring, in een glasstructuur, omvattende een samengestelde bekleding, waarbij een buitenbekleding wordt gevormd uit een infrarood-reflecterend oppervlak van ongeveer 0,7 micron of minder en waarbij een 20 binnenbekleding voorziet in middelen voor (a) bet verminderen van de troebeling op het beklede glas en gelijktijdig en onafhankelijk (b) het verminderen van de ixisering van de glasstructuur door middel van een coherente toevoeging van gereflecteerd licht, en in een glasstructuur met de bovengenoemde niet-25 iriserende eigenschappen, welke structuur wordt gekarakteriseerd door een trapsgewijze of een geleidelijke verandering in de békledingsaamenatel-ling tussen glas en lucht.

Andere doeleinden van de uitvinding zullen duidelijk worden uit de cnderstasnde beschrijving.

30 Volgens ëén aspect van de uitvinding wordt gebruik gemaakt van de vorming van één of méér lagen van transparant materiaal tussen het glas en de halfgeleiderfilm. Deze lagen bezitten brekingsindices, die liggen tussen die van het glas en de halfgeleiderfilm. Bij geschikte keuzen van de dikte- en brekingsindex-waarden kinnen, zoals ge-35 vonden werd, de iriserende kleuren te zwak worden gemaakt om waarneembaar te kunnen zijn voor de meeste mensen en zeker te zwak om Oen belemmering 78 1 05 0 9 >1 % k te vormen voor de wijd verspreide technische toepassing, zelfs bij architecturale toepassingen. Geschikte materialen voor deze intermediaire lagen zovel als werkwijzen voor de vorming van deze lagen zijn hieronder eveneens beschreven.

5 Een andere nieuwe methode volgens de uitvinding is het assembleren van twee glasoppervlakken met bekledingen, van elkaar gescheiden door 0,25 van een zichtbare golflengte-dikte (bijvoorbeeld ongeveer 0,07 micron vanneer tinoxyde-bekledingen vorden gebruikt) in register met elkaar op zodanige wijze, dat licht, dat de i rise rende kleuren 10 zou vormen, incoherent wordt toegevoegd, waardoor een eventueel ongewenst i rise rend effect tot beneden de drempel van esthetische bezwaren qp doeltreffende wijze wordt verminderd.

Voorbeelden van deze uitvinding omvatten dubbel geglaasde vensters (ruiten) met één bekleding qp elke plaat of een enkel-15 voudige glasplaat met een bekleding op elk glasoppervlak.

Een verenigend aspect van deze verschillende uitvoeringsvormen is dat zij alle gebruik maken van een dwne half geleide labelt le ding, congruent aangebracht met een tweede bekleding, die een middel vormt voor het aanzienlijk verminderen van de i rise ring door te voorzien 20 in tenminste twee verdere tussenvlakken, die, met de massa van de tweede bekleding, middelen vormen voor bet reflecteren en breken van licht qp zodanige wijze, dat hierdoor de waarneming van iriseren de kleuren in aanzienlijke mate wordt belemmerd.

Vanwege het subjectieve karakter van de kleurwaar-25 neming wordt gemeend dat het wenselijk is een beschrijving te geven van de methodes en veronderstellingen, die gebruikt zijn bij het evalueren van de produkten volgens de uitvinding. Men dient zich echter te realiseren dat de toepassing van een groot gedeelte van de hieronder beschreven theorie retrospectief van aard is omdat de informaties noodzakelijker-30 wijze achteraf worden verschaft, dat wil zeggen door een deskundige die bekend is met de hier beschreven uitvinding.

Teneinde een geschikte kwantitatieve evaluatie te verkrijgen van de verschillende mogelijke constructies, die iriseren de kleuren onderdrukken, werden de intensiteiten van dergelijke kleuren be-35 rekend cnder gebruikmaking van optische gegevens en kleurvaarnemings- gegevens. Bij deze discussie worden de filmlagen verondersteld vlak te 78 1 0 5 0 9 . .. 5.

zijn met een uniforme dikte en een mi forme brekingsindex binnen elke laag. De brekingsinderveranderingen vorden aangenomen abrupt te zijn bij de tussenvlakken tussen de aangrenzende filmlagen. Werkelijke brekingsindices vorden gebruikt, overeenkomende met verwaarloosbare absoxptie-5 verliezen binnen de lagen. De reflectie-coëfficiënten vorden bepaald voor normaal invallende vlakke golven van ongepolariseerd licht.

Onder gebruikmaking van de bovengenoemde vooronderstellingen vorden de amplitudes voor de reflectie en doorlating uit elk tussenvlak berekend met de formules van Fresnel. Vervolgens vorden deze ï'' 10 amplitudes opgeteld, waarbij rekening vordt gehouden met de fase-verschillen, bewerkstelligd door de voortplanting door de betreffende lagen.

Deze resultaten zijn gebleken equivalent te zijn aan de formules van Airy (zie bijvoorbeeld Opties of Thin Films, F. Khittl, Wiley and Sons,

Nev York, 1976) voor de veelvoudige reflectie en interferentie in dunne 15 films, vanneer deze formules, toegepast op dezelfde gevallen, in beschouwing ver den genomen.

De berekende intensiteit van gereflecteerd licht is gebleken te variëren met de golflengte en vordt dus bij zekere kleuren meer vergroot dan bij andere. Ter berekening van de gereflecteerde kleur, 20 die gezien vordt door een waarnemer, ie het wenselijk eerst de spectrale verdeling van het invallende licht te specificeren. Voor dit doel kan men gebruikmaken van de International Commission of Illumination Standard Illuminant C, die een normale belichting met daglicht benadert. De spectrale verdeling van het gereflecteerde licht ie het produkt van de be-23 rekende reflectie-coëfficiënt en het spectrum van Illuminant C. De kleurtint en de kleurverzadiging als gezien bij reflectie door een menselijke vaernemer vorden vervolgens berekend uit dit gereflecteerde spectrum onder gebruikmaking van da uniforme kleurschalen, zoals die welke in de techniek bekend zijn. Een van de bruikbare scheden is die beschre-30 ven door Hunter in Food Technology, Vol. 21, pag. 100-105 (1967). Deze schaal is gebruikt bij het afleiden van de hieronder te beschrijven relatie.

De resultaten van berekeningen voor elke combinatie ven brekingsindices en dikten Van de lagen zijn een stel getallen, 35 dat vil zeggen ”a" en "b”. "a" vertegenwoordigt een rode (indien positief) of een groene (indien negatief) kleurtint, terwijl "b" een gele (indien 7810509 % 6 positief) of "blauwe (indien negatief) tint beschrijft. Deze kleurtint-resultaten zijn bruikbaar bij het controleren van de berekeningen ten opzichte ven de waarneembare kleuren van monsters, waaronder die volgens de uitvinding. Een enkelvoudig getal, "c", stelt voor de "kleurverzadi-5 ging": c * (a + b' ) . Deze kleurverzadigingsindex, V', staat in di rect verband met het vermogen van het oog de lastige iriseren de kleurtinten vaar te nemen. Wanneer de verzadigingsindex beneden een zekere vaarde ligt is men niet in staat enige kleur in het gereflecteerde licht te zien. De numerieke vaarde van deze drenpelverzadiging voor de vaar· 10.. neembaarheid is afhankelijk van de gebruik te speciale uniforme kleurschaal en van de vaaxnemingsomstandigheden en de mate van de belichting (zie bijvoorbeeld B.S. Hunter, The Measurement of Appearance, Wiley and Sons, Nev York, 1973, voor een recent overzicht met betrekking tot numerieke kleurschalen).

15 Teneinde een basis voor de vergelijking van struc

turen vast te stellen verd een eerste reeks berekeningen uitgevoerd tanende een enkelvoudige half geleiderlaag cp glas na te bootsen. De brekingsindex van de half geleiderlaag verd genomen als 2,0, velke vaarde die van tinoxyde-, indiumoxyde- of cadmiumstannaat-films benadert. De vaarde 2Q 1,52 verd gebruikt voor het glassubstraat; dit is een vaarde, die typisch is voor technisch vensterglas. De berekende kleurverzadigingsvaarden zijn in figuur 1 afgezet als functie van de half geleide rfilmdikte. De kleurverzadiging blijkt hoog te zijn voor reflecties uit films in het dikte-traject van 0,1-0,5 micron. Voor films, dikker dan 0,5 micron, neemt de 25 kleurverzadiging af met toenemende dikte. Deze resultaten zijn in overeenstemming met kwalitatieve waarnemingen bij feitelijke films. De uitgesproken oscillaties worden veroorzaakt door de variërende gevoeligheid van het oog voor verschillende spectrale golflengten. Elk van de pieken komt overeen met een speciale kleur, zoals aangegeven cp de curve (R

30 rood, Y = geel, G = groen en B - blauw).

Onder gebruikmaking van deze resultaten verd de minimaal waarneembare vaarde van de kleurverzadiging vastgesteld met het volgende experiment: tinoxyde films met continu variërende dikte tot ongeveer 1,5 micron werden af ge zet cp glasplaten door oxydatie van tetramethyl-35 tindamp. Het dikte-profiel verd vastgesteld door een teaperatuurvariatie van ongeveer 1*50°C tot 500°C door het glasoppervlak. Het dikte-profiel 781 05 0 9 -Λ ·%'' . λ : Τ: verd vervolgens gemeten door vaaxneming van de in terfte ren tierenden onder monochromatisch licht. Bij vaaxneming onder diffuus daglicht vertoonden de films interfterentiekleuren cp de correcte plaatsen, aangegeven in figuur 1. De geded. ten van de films met dikten, groter dan 0,85 micron, 5 vertoonden geen vaarneenbare intereferentiekleuren in diffuus daglicht.

De groene piek, die berekend werd te liggen bij een dikte van 0,88 micron, kon niet worden gezien. De vaai&eeabaAXheidsdxeapel ligt daarom boven 8 van deze kleureenheden. Op analoge wijze kon de berekende blauwe piek bij 0,03/u niet worden gezien, zodat de drexapel ligt boven 11 kleurt 10 eenheden, de berekende waarde voor deze piek. Een zwak rode piek bij 0,81^u kon echter worden gezien onder goede waaroemngsomstandigheden, bijvoorbeeld bij toepassing vat een zwart fluwelen achtergrond en geen gekleurde voorwerpen in het gereflecteerde ziohtveld, zodat de drempel ligt beneden 13 kleuxeenheden, berekend voor deze kleur. Uit deze onder-15 zoekingen wordt geconcludeerd dat de dreapel voor de waazneming van gereflecteerde kleur ligt tussen 11 en 13 kleuxeenheden op deze schaal en daarom werd een waarde van 12 eenheden aangenomen als vaaxneembaarheids-drempel van gereflecteerde kleur onder daglicht-vaaxnemingsomstandigbeden.

Een kleurverzadiging van meer dan 12 eenheden verschijnt met andere 20 woorden als een zichtbaar gekleurde iriaering, terwijl een kleurverzadiging van minder dan 12 eenheden wordt gezien als neutraal.

Aangenomen wordt dat er weinig bezwaar zal bestaan tegen de technische toepassing van produkten met kleurverzadigingsvaar-den van 13 of minder. Het ia echter van voorkeur dat de waarde 12 ofnin-25 der is en zoals hieronder meer uitvoerig zal worden toegelicht is er geen praktische reden waarom de meeat voordelige pxodukten volgens de uitvinding, dat vil zeggen die welke worden gekarakteriseerd door volledig kleurvrije oppervlakken, dat vil zeggen beneden ongeveer 8, niet economisch zouden kunnen worden vervaardigd.

30 Een vaarde Van 12 of minder is een indicatie voor een reflectie, die de kleur van een gereflecteerd beeld niet cp waarneembare wijze vernietigt. Deze drempelwaarde van 12 eenheden wordt aangenomen als een kwantitatieve standaard, waarmee men het succes of het falen van variërende multilaag-ontvexpen bij het onderdrukken van de iriseren-35 de kleuren kan bepalen.

Bekledingen met een dikte van 0,85 micron of groter 78 1 0 5 0 9 8 'bezitten kleurverzadi gingsvaarden ran minder dan deze drempelwaarde van 12, zoals blijkt uit figuur 1. De proeven, beschreven in voorbeeld XV, bevestigen dat deze dikkere bekledingen geen bezwaarlijke iriseren de kleuren vertonen bij belichting in daglicht.

5 Toepassing van een enkelvoudige laag tussen glas en halfgeleider.

Eén uitvoeringsvorm van de uitvinding omvat de toepassing van een enkelvoudige onderbekleding voor het voorkomen van gereflecteerde kleurverzadiging. Deze vereist de toepassing van een zorgvuldig gekozen enkelvoudige laag met een brekingsindex (n^), die inter-10 mediair is tussen de brekingsindex van het glas (n^ of ongeveer 1,52) en de brekinlindex van de halfgeleider (n of ongeveer 2,0). Een inter- SC 1/2 mediaire brekingsindex, die het geometrisch gemiddelde n. * (η n .) ' 1 SC gx of ongeveer 1,7^ is» zal resulteren in de reflecties uit de twee oppervlakken van de intermediaire laag met dezelfde amplitudo. Door kiezen van 15 de dikte van de intermediaire laag van 1/U golflengte neutraliseren deze twee gereflecteerde golven elkaar en leveren zij geen bijdrage aan de iriserende kleuren. Deze neutralisering is exact bij slechts één enkele golflengtevaarde en de golflengte moet zorgvuldig worden gekozen. Daarom werd een onderzoek uit gevoerd teneinde de waarden te vinden, die de kleur-20 verzadigingsindex verlagen voor halfgeleiderfilms, in het bijzonder in het diktetraject van Q,15-0,^u, welke halfgeleiders in het bijzonder van belang zijn voor de varnrte-reflectie en bijzondere moeilijkheden veroorzaakten met betrekking tot de i rise ring. De optimale intermediaire film-dikte voor een cnderbekleding (dat wil zeggen een bekleding tussen glas 25 en halfgeleider) bleek ongeveer 0,072^u (72 nanometer) te zijn, hetgeen overeenkomt met 1/U golflengte voor een (vacuum) golflengte van 500 nanometer. De kleurverzadiging blijft beneden de drempelwaarde van 12 eenheden voor halfgeleiderfilms van alle dikten, zoals blijkt uit de curve in figuur 1. De gebruikelijke sterke iriserende kleuren uit een vaxmte-30 reflecterende film met een dikte van bijvoorbeeld 0,3^u kan dus zelfs door deze enkelvoudige intermediaire film-onderbekleding worden onderdrukt.

De gevoeligheid van deze enkelvoudige anti-irise ren de ondczbekle dings laag voor variaties in de brekingsindex en de dik-35 te werd onderzocht. Veranderingen van + 0,02 in de brekingsindex of +, 10Ü in de dikte zijn voldoende om de kleurverzadiging te verhogen tot waar- 78 1 0 5 0 9 9 neembare vaarden. Een accurate regeling van deze parameters kan worden bereikt bij bekende glasbekledingsbewerkingen. Bet Amerikaanse octrooi-schrift 3.850.679 beschrijft bijvoozheeld een inrichting, waarmee een bekleding met een dikte-mi form text van +, 2 % kan worden bewerkstelligde 5 Resultaten bi.i toepassing van een dubbele tussenlaag.

Een doeltreffend produkt kan eveneens worden verkregen cnder gebruikmaking van twee lagen met intermediaire brekingsindices cp het glas onder de halfgeleiderUl·. Voor halfgeleideriilms in het dikte-traject van 0,1-0 ,^u bleek het mogelijk te voorzien in een kleurverzadi-10 ging van slechts ongeveer één eenheid of minder. Dit traject ligt zeer aanzienlijk beneden de vaazneeehaaxheidsdreapel. De twee intermediaire brekingsindices (n^ en n2) vocht een dergelijke constructie worden bijvoorbeeld gegeven door n, - <» >0-V,>°-Tk of 1,63 1 SC gJL .

15 n2 (ngc)0,^(ngl)0*2^ of ongeveer 1,86.

De optimale dikten zijn ongeveer 1A golflengte voor (vacuum) golflengte 500 nanometer of ongeveer d1 * 76,7 nm 20 dg * 67,2 na

De laag «et de lagere brekingsinde-x (n^ ligt tegen het glas, terwijl die met de hogere index (n2) tegen de halfgelei-derillm ligt.

Dit dubbele onderbekle dings ontwerp is zelfs meer 25 tolerant ten aanzien ven afwijkingen van zijn parameters van de optimale vaarden dan het enkelvoudige oÉderbekledingsontwerp. Variaties van + 25 % ten opzichte van de optimale dikte onderdrukken de iriseringsvaar-den nog tot beneden de waameeshare grens, dat vil zeggen beneden een kleurverzadigingsvaarde van 10. Zeer doeltreffende structuren kunnen dus 30 worden gebaseerd op brekingsindices in de trajecten 1 sc' gl *0.03( ,0.26.0.03 c. SC gl 35 hetgeen overeenkomt met een traject van n1 van 1,62-1,65 en een traject van n2 van 1,88-1,8¾. De vereiste vervaard!gings-accuratiegraad voor het 7810509 10 verkrijgen van een bekle dings dikte net een tolerantie van + 25 % kan gemakkelijk worden bereikt net de in de stand der techniek bekende procedures. Op analoge wijze is de voor de brekingsindices vereiste accuraatheid volledig te bereiken, zelfs wanneer gemengde materialen nodig 5 zijn ter verkrijging van de vereiste waarden.

Toepassing van een tussenlaag net gegradeerde brekingsindex.

Eveneens werd gevonden dat een film tussen het glassubstraat en een halfgeleiderlaag kan worden op gebouwd net een gegradeerde samenstelling, dat wil zeggen een samenstelling, die geleide-10 lijk verandert van een siliciumoryde-film tot een tinoryde-film. Een dergelijke film kan het beste worden o inschreven als een film, die een zeer groot aantal intermediaire lagen omvat.

Bruikbare materialen.

Een breed traject van transparante materialen is 15 beschikbaar, waaruit de materialen kunnen worden gekozen voor de vervaardiging van de produkten, die voldoen aan de bovengenoemde kriteria bij de vorming van een anti-iriserende onderbekledingslaag of anti-iriserende cndeibekledingslagen. Verschillende metaaloxyden en -nitrieden en hun mengsels bezitten de geschikte optische eigenschappen van transparantie 20 en brekingsindex. Tabel A geeft een aantal mengsels die de correcte brekingsindex bezitten, voor een enkelvoudige laagbekleding tussen glas en een tinoxyde- of indiumoxyde-film. De benodigde gewichtspercentages zijn verkregen uit de bepaling van curven, waarin de brekingsindex is afgezet tegen de samenstelling, of zijn berekend uit de bekende 25 Lorentz-Lorenz wet voor brekingsindices van mengsels (Z, Khittl, Opties of Thin Films, Wiley and Sons, New York, 1976, peg. U73), onder gebruikmaking van de gemeten brekingsindices voor de zuivere films. Deze mengvet geeft in het algemeen voldoende accurate interpolaties voor optisch werk, hoewel de berekende brekingsindices soms enigszins lager zijn dan de ge-30 meten waarden. Film-brekingsindices variëren eveneens enigszins met de afzet tings methode en de toegepaste omstandigheden.

Een routine-voorproduktie-ccntrole kan gemakkelijk worden uitgevoerd en indien dit noodzakelijk is kan men de samenstellingen instellen cp de optimale waarden als een dergelijke gedrag werkelijk 35 vereist is.

Aluminiumoryde-films vertonen bijvoorbeeld enige 78 1 0 5 0 9 11 ·'·» . I* variabiliteit in de brekingsindex van ongeveer 1,6b tot 1,75 ia afhankelijkheid van de afzettingsomstandidbedea. In tabellen A, B en C heeft AlgO^-h betrekking cp de film· met hoge index (n 1,75)» terwijl AlgO^-l betrekking heeft op films met lage index (n * 1,6b). Films met 5 een intermediaire brekingsindex vereisen intermediaire samenstellingen ter verkrijging van de gewenste brekingsindices.

Tabellen 8 en C beschrijven enkele mengsels, die de correcte brekingsindex (van ongeveer 1,63 respectievelijk 1,68) bezitten voor de toepassing daarvan in een dubbele tussenlaag tussen glas-10 substraat en een primaire halfgeleidexbekleding.

Behalve op grond van deze optische eigenschappen vorden geschikte cnderbekledingslagen zodanig gekozen, dat zij chemisch duurzaam en bestand tegen lucht, vocht, reinigingsoplossingen, etc., zijn. Een dergelijke eis elimineeSPSs meeste doeleinden germaniuadiozyde-15 films van het type, die onderhevig zijn aan een gemakkelijke hydrolyse in tegenwoordigheid van water. Films, voor de helft gevormd uit GeOg en voer de andere helft uit SnOg, blijken onoplosbaar en bestand tegen aantasting door water te zijn.

20 78 1 0 5 0 9

Tabel A

Diëlektrische films met brekings- indices van ongeveer 1,73 - 1.77 12

Mengsels Component A Gew.ff Component B Gew,% 1 Si^ 67 + 1* Si02 33 + b 2 Al203-h 100 — 3 ZnO 78+3 Si02 22+3 k Al203~1 55+8 ZnO + 8 5 MgO 76+11 ZnO 2k + 11 6 Sn02 81+3 Si02 19+3 7 Sn02 50+7 Al2°3"1 5° + 7 8 MgO 73+11 Sn02 27+11 9 ln203 81+3 Si02 19+3 10 ln203 50 + 7 Al^-I 50 + 7 11 MgO 73+12 ln203 27 + 12 12 Ge02 55 + 7 ZnO 1*5 + 7 13 Ge02 52 + 7 Sn02 1*8 + 7 11* Ge02 51 + 7 ln203 1*9 + 7 15 Ga^ 91 + 3 Si02 9 +3 16 Ga^ 71 + 10 Α12°3-1 29 - 10 17 MgO 53 + 20 Ga^ 1*7 + 20 18 Ga^ 70 + 10 GeOg 30 + 10 7810509

tabel B

Diëlektriecbe films met brekings- indices van ongeveer 1.62 - 1.6^ 13

Mengsel Component A Genr.% Component B (rest) 1 SiOg 53 ♦ V Si 2 Al203-1 100 3 Al2°3-1 97+3 Si02 k Al203-h 7^ + 5 SiOg 5 ZnO 59 + h Si02 6 MgO 79+5 SiOg 7 SnOg 62 + 3 Si02 8 ln203 63 + 3 Si02 9 GeOg 100 10 Ge203 71+3 SiOg 78 1 0 5 0 9

Tabel C

Diëlektrische films set brekings indices van ongeveer 1,86 jf 0,02 1¾

Mengsel Component A Gev.% Component B (rest) 1 Si 81+ + 3 sio2 2 ZnO 91+2 SiOg 3 ZnO 76+5 Al203-1 1+ ZnO 59 + 9 AlgO^-h

5 ZnO 68+7 MgO

6 Sn02 91+2 SiOg 7 SnOg 78+5 Alg03-1 8 SnOg 60 + 8 Alg03-h

9 SnOg 70+6 MgO

10 Ing03 91 + 2 SiOg 11 ln203 78 + 5 Alg03-1 12 ln203 61+8 AlgO -h

13 ln203 71+6 MgO

1¼ ZnO 75+7 GeOg 15 SnOg 76+7 GeOg 16 ln203 76 + 2+ GeOg

17 Gag03 80 + 1¾ ZnO

18 G8g03 79+1¾ SnOg 19 Gag03 78+15 Ing03

Opmericing: Al^-h = hoge index nl»ini— oxyde-film; n ongeveer 1,75 Al203-1 - lege index eleednion- oxyde-film; n ongeveer 1,6¾ 78 1 0 5 0 9 /: 15

Werkwijze voor de vorming van films»

Al deze film kunnen vorden gevormd door gelijktijdige vacuumverdasping van de geschikte materialen van een geschikt mengsel. Voor de bekleding ven grote oppervlakken, zoals vensterglas, 5 is een chemische dasp af zetting (CVD) bij normale atmosferische druk meer geschikt en minder kostbaar. De CVD-methode vereist echter geschikte vluchtige verbindingen voor devorming van elk materiaal. De meest geschikte bronnen voor CVD zijn gassen bij kamertesperatuur. Silicium en germanium kiemen vorden afgezet door CVD uit gassen, zoals silan, Sifi^, 10 aimthjn.il» (ffl yiHg « (Gtó,,). no.i.toff«., di. «160«* * vluchtig zijn bij kamertesperaiuur, zijn vrijwel even geschikt als gassen; tetramethyltin is een dergelijke bron voor CVD ven tinverbindingen, ter- ..·.· -&>. '· ',L' vijl (CgH^JgSiHg en SiCl^ vluchtige vloeistofbrcnnen zijn voor silicium.

Op analoge wijze verschaffen tximethyl aluminium en dimethyl-15 zink en hun hogere alkylhomologen vluchtige bronnen voor deze metalen.

Minder geschikte maar nog vel bruikbare bronnen voor CVD zijn vaste stoffen of vloeistoffen, die vluchtig zijn bij een tesperatuur boven kamer-tesperatuur maar nog beneden de tesperatuur, waarbij zij reageren onder afzetting van films. Voorbeelden van deze laatste categorie zijn de ace-20 tylacetcnaten van aluminium, gallium, indium en zink (eveneens aangeduid als 2.H-pentaandionaten), alumuaiumalkoxyden, zoals aluminiumiscpropozarde en alumni umethy laat, en zinkpropionact. Voor magnesium zijn geen ge-> schikte verbindingen bekend, die vluchtig zijn beneden de afzettings-tesperatuur, zodat gassend wordt dat CVD-proceaaen niet kunnen vorden 25 toegepast voor de bereiding van magnesiumoxyde-films.

Typische omstandij^eden, waaronder metaaloxyde-films succesvol zijn gevormd door chemische daopafzetting, zijn aangegeven in tabel D. De organometaaldaap is in het algemeen aanwezig in een hoeveelheid van ongeveer 1 vol.jC in lucht. De aldus gevormde films ver-30 tonen een goede hechting aen zowel het glassubstrast als aan de daama af ge zette lagen ven tinoryde of indiumcayde. Gemengde oryde-lagen zijn gevormd tussen al deze paren metalen onder toepassing van CVD-technie-ken (uitgezonderd voor magnesium, waarvoor een geschikte vluchtige verbinding niet beschikbaar was). De brekingsindices vut de gemengde films 35 vorden cp geschikte wijze bepaald door meting van de zichtbare reflectie-spectra als functie van de golflengte. De plaatsen en hoogten van de 781 05 0 9 16 maxima en minima in de gereflecteerde intensiteit kunnen vervolgens in verband vorden gebracht met de brekingsindex van de afgezette film. De concentraties van de reagerende stoffen vorden vervolgens ingesteld teneinde de gevenste brekingsindex te verkrijgen.

5 Onder toepassing van deze methodes verd een aantal monsters vervaardigd op boorsilicaatglas (Pyrex) onder gebruikmaking van (Si02 - Si^), (Si02 - Sn02), (Ge02 - SnOg), (Al^ - SnOg), (AlgO^ - Ga^) of (AlgO^ - ZnO) gemengde lagen onder een 0,3/U dikke SnOg halfgeleiderlaag. Wanneer de brekingsindex en de dikte op correcte 10 vijze zijn ingesteld is het gereflecteerde daglicht neutraal en kleurloos voor het oog. De bekledingen zijn helder en transparant en vrij van een zichtbare troebeling (verstrooid licht).

78 1 0 5 0 9 π

Tabel D

Enkele vluchtige oxydeerbare organomet aal verbindingen» die geschikt zijn voor de afzetting van setaaloxyde-lagen en gemengde setaaloxyde-lagen set oxy derende gassen, zoals O2 of NgO

Verbinding Vervluchtingstenpe- Afzettingstesperar- _ ratuur (°C) tuur (° C)_— 1 SiH^ gas bij 20 300-500 2 (CH3)2SiH2 gas bij 20 1*00-600 3 (C2H5)2SiH2 20 1*00-600 1* Geïï^ gas bij 20 300-1*50 5 (CH3)3A1 20 1*00-650 6 A1(0C2H5)3 200-300 1*00-650 7 AliOC^^ 200-220 1*00-600 8 Al(C_H_0_)_ 200-220 500-650

J ( ** J

9 Ga(C5HT02)3 200-220 350-650 10 In(C_H_0o). 200-220 300-600 p 7 & 3 11 (CH3)2Zn 20 100-600 12 Zn(C3H502)2 200-250 1*50-650 13 (CH )^Sn 20 1*50-650 11* Ta(0C, Hn)c 150-250 1*00-600 15 TiiOC^)^ 100-150 1*00-600 16 ZriOC^H^ 200-250 1*00-600 17 HfiOC^)^ 200-250 1*00-600 7810509 18

Het troebelingsprob leent.

Wanneer deze zelfde afzettingen worden geprobeerd op gewoon vensterglas ("soda” of "zacht" glas) vertoonden vele van de resulterende bekledingen een aanzienlijke troebeling of lichtverstrooiing.

5 Wanneer de laag, die het eerst wordt af gezet op zacht glas, amorf is en bestaat uit Si02, Si^N^ of GeOg of mengsels daarvan is de bekleding troe-belingsvrij, ongeacht welke de daarna volgende lagen zijn. AlgO^ geeft eveneens heldere bekledingen, mits het wordt afgezet in de amorfe vorm, met voordeel beneden een temperatuur van ongeveer 550°C. Indien de begin-10 laag grote hoeveelheden ZnO, ln20^ of Sn02 bevat, is het optreden van een troebeling waarschijnlijk.

De eerste anti-iriserende laag, die moet worden afgezet cp een vensterglas oppervlak, is met voordeel amorf in plaats van kristallijn van structuur. Siliiumoxynitri de geniet de voorkeur. Daarna 15 afgezette lagen kunnen een polykristalli jne vorm bezitten zonder enige troebeling te veroorzaken.

Natrium- en andere alkali me taal ionen oefenen een nadelig effect uit cp de infrarood-reflectiviteit en het elektrisch gelei dings vermogen van tinoxyde- en indiumoxyde-films.

20 Be bovengenoemde amorfe films en speciaal silicium- oxynitride-films vormen goede barrières tegen de diffusie van natriναοί onen uit het glas in de half geleiderlaag. Door verandering van de zuurstof/stikstof-verhouding in de films kan het gehele traject van brekingsindex vanaf die van glas met een brekingsindex van ongeveer 1,5 tot die 25 van tinoxyde of indiumoxyde met brekingsindices van ongeveer 2 worden omvat. Aldus kunnen met dezelfde basisre agentia anti-iriserende structuren met een willekeurig aantal brekings in de xt rappen worden vervaardigd. Inderdaad kunnen zelfs films met een continu veranderende verhouding van de re actie conponenten worden bereid. Slechts overvloedige en goedkope 30 materialen zijn nodig voor de vorming van siliciumoxynitride.

Talloze vluchtige reagentia zijn beschikbaar voor de vorming van sili ci umoxyni tri de-fllms. Tabel £ vermeldt enkele van de meer geschikte vluchtige materialen voor de chemische damp afzetting van sili ci umoxyni tri de. De reactie SiH^ -)-10+ geniet de voorkeur omdat 35 deze hogere afzettingssnelheden blijkt te geven binnen het voor vensterglas van belang zijnde tesperatuurtraject, dat wil zeggen 500-600°C.

78 1 0 5 0 9 . 19

Talloze andere conbinatiea van reagentia kunnen echter eveneens succesvolle siliciumozynit ride-films geven.

/·. ' Tabel E ' .

Bronmaterialen voor chemisch» flampaftetting 5 van Biriciumoxynitride-fllms

Bronnen van silicium: si&k («2*5 >2 «“2 10 (CH_). Si

Sic V

SiBrj,

Bronnen van zuurstof: °2

15 HgO

»2°

Brcnnen van stikstof: CHgNHBHg BH3 (CH3)2HMH2 2° HH3

Brcnnen van zovel zuurstof als stikstof: NO·.,"

NHgOH

W20 25 I rise ring-vri.ie structuren, gebaseerd, op van elkaar gescheiden bekledingen.

Interferentiekleuren, dat vil zeggen de irisering, kunnen worden verminderd door toepa&ng van reflecties uit twee dunne 30 bekledingen van een functionele anorganische bekleding op afzonderlijke maar evenwijSige glasoppervlakken. Waaneer bekledingsdikten, bijvoorbeeld dikten van tinozyde-bekledingen, worden gekozen, die ongeveer 1/4 van een golflengte verschillen (ongeveer 0»07 mieren voor λ 0,50^um en n = 2,0), verdwijnt de interefferentiekleuring nagenoeg volledig. Deze 35 wordt in ieder geval verminderd tot het punt waarbij deze ophoudt een esthetisch probleem te worden voor de fabrikant en gebruiker. De additieve 781 05 0 9 20 kleuring van bijvoorbeeld een ride reflectie in één bekleding en een groene reflectie van een aangrenzende interferentie-orde in een tweede bekleding combineren onder vorming van een nagenoeg vitte (neutrale) reflectie. Op analoge wijze is de doorlating van licht door een derge-5 lijke combinatie van complementaire bekledingen eveneens neutraal van kleur.

Deze kleur condensatie wordt gebruikt in dubbele beglazing ter vermindering van de sterkte van de interfferentiekleuren uit de vaxmte-reflecterende halfgeleiderbekledingen. Wanneer bijvoorbeeld 10 bekledingen van Sn02 worden gebruikt op de twee binnen oppervlakken van een dubbelglazig venster kunnen zij zodanig worden gekozen dat zij in dikte met 0,07^u verschillen. Voor grote lichtbronnen vorden de refledLe-kleuren goed ondervangen indien de glasoppervlakken redelijk evenwijdig zijn. Voor kleine lichtbronnen of voor lichtbronnen met scherpe grenzen 15 zal de compensatie in reflectie niet volledig zijn tenzij de bekledings-oppervlakken in hoge mate evenwijdig zijn. Voor waarnemingen ten aanzien van de doorlating zijn de eisen met betrekking tot de evenwijdige oppervlakken minder drastisch.

Opgemerkt kan eveneens vorden dat films, waarbij 20 de in te re fe rentiekle uren in intensiteit zijn verminderd door een onder-bekleding met een intermediaire of gegradeerde brekingsindex, eveneens in paren kunnen vorden gecombineerd ter verkrijging van een nog verdere kleurcompensatie.

Illustratieve voorbeelden van de uitvinding.

25 In deze beschrijving en de bijgaande tekeningen zijn een voorkeursuitvoeringsvoxm van de uitvinding en verschillende alternatieven en modificaties daarvan weergegeven en beschreven, maar het zal duidelijk zijn dat de uitvinding niet daartoe beperkt is en dat andere veranderingen en modificaties mogelijk zijn binnen het raam van de uit-30 vinding. De hier voorgestelde alternatieven en modificaties dienen ter illustratie van de uitvinding en kinnen worden gebruikt voor het modificeren daarvan tot een verscheidenheid van vormen in afhankelijkheid van de meest geschikte vorm coder de omstaadigieden van eer^speciaal geval.

Verwezen wordt nu naar de tekeningen.

35 Figuur 1 is een grafiek, die de variatie van de be rekende kleurintensiteit van verschillende kleuren met de dikte van de 21 -fc. .V» ' halfgeleiderfilm illustreert.

Figuur 2 illustreert schematisch en ia doorsnede een niet-iriserende beklede glasstructuur, vervaardigd volgens de uitvinding» met een enkelvoudige anti-iriserende tussenlaag.

5 Figuur 3 illustreert schematisch en in doorsnede een niet-iriserende beklede glasstructuur, vervaardigd, volgens de uitvinding, met meerdere anti-iriserende tussenlagen.

Figuur k illustreert schematisch en in doorsnede een dubbelglazige vensterstructuur, die een aanzienlijk verbeterd uiter-10 lijk vertoont als resultaat van daarop aangebrachte bekledingen, die de bezwaarlijke irisering verminderen of elimineren.

Verwezen vordt nu naar figuur 2. Transparante plaat 20 omvat een glassübstraat 22, dast een intermediaire film 2k van 0.072 meren rm Si^/SiOg (of Tm « » » m*» in 15 tabel A) met een brekingsindex van 1,7kk draagt. Op film 2k bevindt zich een bekleding 26 van 0,1* micron van een infrarood-reflecterende halfgeleider, namelijk tinoxyd».

Figuur 3 illustreert een venster 36 , vervaardigd uit de zelfde halfgeleiderfilm 26 en hetzelfde glas 22 en twee inter-20 mediaire bekledingen, namelijk bekleding 30 met een dikte van 0,077 micron en een brekingsindex van ongeveer 1,63 en een bekleding 32 met een dikte van ongeveer 0,067 micron en een brekingsindex van ongeveer 1,66. Bekleding 30 wordt gevormd uit een van de in tabel B aangegeven materialen. Bekleding 32 wordt gevormd uit een van de in tabel C aange-25 geven materialen.

Figuur U illustreert een dubbelglazige venater-structuur Uo, die een isolerende luchtruimte U2 amsluit tussen een inwendige transparante plaat Uk en een uitwendige transparante plaat k6.

Elke van de platen Uk en k6 zijn gevormd uit glas k5 en een halfgeleider-30 bekleding köa of k8b op het binnenqppervlak van het glas.

De half gelei dezbekleding k8a bezit een dikte van ongeveer 0,2 micron, maar bekleding k8b bezit een dikte van ongeveer 0,27 micron; er is dus een verschil van ongeveer 1/k golflengte tussen de twee bekledingen.

35 Voorbeeld I

Een glas met een enkelvoudige anti-iriserende onder- 7810509 22 bekledingslaag werd vervaardigd door verhitting van een heldere vensterglasschijf net een diameter van 15 ,2H cm op ongeveer 580°C. Een gasmengsel , bevattende ongeveer Q,h % silan (SiH^), 0,1 f stikstofoxyde (NO), 2 % hydrazine (N2H^) en voor de rest stikstof (N^), verd gedurende onge-5 veer 1 minuut over het glasgpervlak geleid in een hoeveelheid van 1 liter/ minuut. Hierdoor verd het glasoppervlak bekleed met een uniforme transparante Him van siliciumozynitride. Het oppervlak verd vervolgens verder bekleed met een fluor-ge doopte tinoxydelaag door een gasmengsel van 1 % tetramethyltin (CH^J^Sn, 3 % broomtrifluormethaan CF^Br, 20 % zuur-10 stof Og en voor de rest stikstof Ng te laten stromen langs het siliciυπό xyni tri de-oppervlak bij een teaperatuurvan 5é0°C gedurende ongeveer 1 minuut. Vervolgens liet men het beklede glas langzaam in lucht aikoelen tot kamertemperatuur over een periode van ongeveer 1 uur.

Het volgens deze procedure beklede glas vertoonde 15 geen zichtbare interferentiekleuren in gereflecteerd of doorgelaten daglicht. Het oppervlak reflecteerde ongeveer 90 % infTaroodstraling bij een golflengte van 10 micron en liet ongeveer 90 f zichtbaar licht door.

De elektrische plaatveerstand verd gemeten en bleek ongeveer 3 ohm/vierkant te bedragen.

20 Teneinde de eigenschappen van de siliciumorynitride- laag te meten verd de tinoxyde-film van een gedeelte van het beklede oppervlak verwijderd door vrij ven met een mengsel van zinkstof en verdund chlooxvaterstofzuur. Dit etsmiddel had geen invloed op de siliciumoxyni-tride-cnderbekleding. De brekingsindex van de siliciumozynitride-fllm 25 verd gemeten volgens de hieronder beschreven ch2j2 vloeistofproef en bleek 1,7^ te zijn. De zichtbare reflectiviteit van de siliciumozyni-tride-film verd gemeten, waarbij een maximum verd gevonden bij 5000 R en een dikte van 0,072 micron, overeenkomende met de gevenste 1Λ golf-lengte-dikte voor licht van 5000 £.

30 De brekingsindices van deze siliciumoxynitride- films zijn aihankelijk van de verhouding van stikstof tot zuurstof in de films. Deze samenstelling vordt gemakkelijk ingesteld door variëren van de NgH^/NO verhouding in het gas. Door vergroting van de N/O verhouding stijgt de brekingsindex. De exacte brekingsindex is eveneens aihankelijk 35 van de zuiverheid van de uitgangsmaterialen en in het bijzonder van de hoeveelheid vater, dat als verontreiniging in het hydrazine aanwezig is* 78 1 0 5 0 9 23

Technisch hydrazine bevat altijd tenminste enkele procenten water. Door droging van het hydrazine door destillatie vanaf een droogmiddel, zoals natriuuhydrijtyde, kaliwmhydroayde of bariumoxyde, kan man de brekingsindex van de film vergroten. Omgekeerd kan men de brekingsindex verlagen door 5 toevoeging van water am het hydrazine. De brekingsindex van de film is eveneens afhankelijk van de exacte omstandigheden van de fllmgroei, waaronder de afzettingstemperatuur, de gasstroomenelheid, etc. Daarom kinnen de bovengenoemde omstandigheden niet worden verwacht een film te geven met een brekingsindex van exact η » 1,7!* vanneer andere reagen-tia 10 of afzettingsomstandigheden worden toegspast. Kleine instellingen van de samenstelling kunnen echter voldoende zijn voor de vorming van films met de gewenste breküqpindexiraarden.

De halfgaleiderfilma kunnen eveneens brekingsindices bezitten, die verschillen van de waarde 2,0, waargenomen voor de hier 15 beschreven tinozyde-films. De overeenkomstigs optimum waarde of -waarden voor een enkelvoudige (of dubbele) ondefbekledingslaag of lagen kan (kunnen) worden ingesteld op grond van de boven aangegeven relaties. De overeenkomstige gasfase-mengsels, die de gewenste brekingsindex-films geven voor de aati-iziserende cnderbekleding- of-bekledingen kunnen vervolgens 20 door routine-proeven worden gevonden teneinde te voldoen aan de exacte omstandigheden van iedere fabrikant of onderzoeker met een normale deskundigheid cp het gebied van de CVD.

De dikte van een film met een gemeten brekingsindex __ _ wordt gemakkelijk bepaald door meting van het reflectiespectrum daarvan 25 in zichtbaar en infrarood licht. Dit spectrum wordt gemakkelijk als func-tie van de filmdikte berekend onder gebrudkmakingvan de standaard optische formules van Fresnel en Airy. Bij de meeste hierboven beschreven praktische ontwerpen wenst men een film te vormen met een dikte van 1A golflengte voor een golflengte (in lucht) van ongeveer 5000 X. In dit 30 geval vertoont let re flectiespect rum vaneen dergelijke enkelvoudige film cp glas een breed maximum, dat gecentreerd is bij een golflengte ven 5000 S.

Voorbeeld II

Aluniiiiu»-£.l+-p«iteeidiaitttl AKc^O^, <e«n-35 eens bekend als alumni umacetylacetcnaat), is een witte vaste stof, die bij 189°C smelt tot een heldere vloeistof, die bij 315°C kookt. Dit mar- 7810509 21+ texiaal verd gebracht in een kook apparaat ("bubbler"), verhit op ongeveer 250°C, door welk apparaat stikstof-dragergas werd geleid. Wanneer dit gasmengsel verd gemengd met droge zuurstof bij 250°C werd geen reactie waargenomen. Wannes* echter vocht verd toegevoegd aan de zuurstof 5 werden sterke vitte nevels gevormd in het gasmengsel. Dergelijke nevels vormen een aanwijzing voor de hydrolyse. Teneinde deze voortijdige hydro-lyse-reactie te voorkomen moeten de gasstromen zo droog mogelijk worden gehouden.

Het mengsel van aluminium-2. l+-pentaandi onaat-damp, 1Q stikstof-dragergas en 20 % zuurstof verd geleid over verhitte glasoppervlakken. Bij 500°C verd een zwakke afzetting gevormd met een dikte van minder dan 0,1^u, waarvan de aanwezigheid slechts bleek door de verhoogde reflect!viteit daarvan. Bij 525°C vas een film met een dikte van 0 ,3^u gegroeid in ongeveer 3 minuten. Deze film vertoonde zwakke interferentie-15 kleuren onder wit licht en duidelijke intereferentiebanden bij monochro-matische belichting. Bij 550°C groeide de aluminiumozyde-films nog sneller en een kleine hoeveelheid poeder werd gevormd door homogene kiem-vorming en afgezet cp het oppervlak van het apparaat.

Vervolgens liet men fluor-ge doopte tinozy de- films 20 groeien cp de alumni umoxy de-films bij temperaturen in het traject van 500-5^0°C. De dikten in het traject van 0,3-0,5/U werden zorgvuldig onder^ zocht omdat deze dikten de sterkste interferentiekleuren vertonen. De intensiteiten van de kleuren varen aanzienlijk verminderd in vergelijking met tinoxyde-films van dezelfde dikte zonder de alumniumoxyde-cnderbe-25 kleding.

Films, waarin de aluminiumoxyde-film een 1/U golflengte-dikte bezit (500 nm golflengte, hetgeen dicht is bij de piek van de spectrale gevoeligheid van het oog voor daglicht), vertonen de grootste onderdrukking van de iriserende kleur. Voor deze dikten (ongeveer 30 0,072yu voor 1A golflengte) neutraliseren de reflecties uit de glas-

AlgO^ en AlgO^-SnOg tussenvlakken elkaar het meest doeltreffend. Er treedt echter eveneens een aanzienlijke vermindering in de kleurintensi-teit pp, zelfs wanneer de dikte van het AlgO^ niet optimaal is.

Als glassubstraten verden zovel Pyrex-boorsilicaat-35 glas als soda (venster) glas gebruikt. Goede resultaten verden verkregen pp beide substraten.

78 1 0 5 0 9 25.'

De aluminiumoxyde-laag was eveneens werkzaam'bij het voorkomen van de cppervlakte-verglazing van het sodaglas oppervlak vaaneer tinoxyde werd af gezet bij 500-5^0°C. Gemeend wordt daarom dat het alumini-umoxyde werkt hij het beschermen van het sodaglas oppervlak tegen kzis-5 tallisatie rond de kiemen, die verschaft worden door de tinoxyde-kristal-len, en bijgevolg het optreden van een troebeling in het glas gedurende het bekledingsproces voorkomt.

Voorbeeld III

Een dubbelglazig venster wordt vervaardigd uit bel-10 der glas van het soda-type. Het glas wordt behandeld met een bekleding van het siliciumoxyde-type ter verwijdering van troebeling volgens de gebruikelijke procedure als beschreven in het Amerikaanse octrooiechrift 2.617.7^5.

De structuur van het dubbelglazi ge venster is ene-15 loog aan die weergegeven in figuur U. Binnencppervlak A draagt een 0,26 micron dikke bekleding van tinoxyde. Binnencppervlak B draagt een 0,33 + 0,02 micron dikke bekleding van een tinoxyde-mengsel. Elke van deze bekledingen vertoont, wanneer deze alleen wordt waargenomen, een gemakke-lijk zichtbare, in hoge mate gekleurde, ixiaexende kleur, die overwegend 20 rood of groen is voor de meeste waarnemers. Indien nagenoeg evenwijdig ten opzichte van elkaar gaasserisleerd, zoals in de structuur van figuur k, wordt de iriserende kleur in sterke mate verminderd, ongeacht of gekeken wordt vanaf de zijde van de dubbelglazige structuur, gezicht naar de zen, of vanaf de andere zijde van dezelfde structuur.

25 Voorbeeld IV

Proeven werden uitgeveerd ter bereiding van gegradeerde brekingsindexlagan tussen glas (n ongeveer 1,5) en tinoxyde (n ongeveer 2,0) bekledingen. Een gegradeerde laag van Si^Sta^Og werd gebruikt, waarbij z geleidelijk afkarn van 1 tot 0 naarmate de laag werd 30 opgebouwd op het glasoppervlak» De SnOg-laag was ongeveer 0,3 micron dik; het onderliggende, gegradeerde gebied was ongeveer 0,3 micron dik. De resulterende structuren vertonen een aanzienlijk verminderde interfieren-tiekleuring in Wrg.lijking 1«. « Sn02 ran d.Ml«e dikte nur zonder het gegradeerde tussenlaaggebied tussen het glas en het SnOg.

35 De vluchtige bronnen van silicium zijn in een geval

SiH^ (uit een 1 %'z mengsel in Mg-dragergas) ia enter geval 78 1 0 5 0 9 26 (CH^gSiHg (uit een cilinder van het zuivere gas). Se afzetting werd uitgevoerd bij een oppervlakte-temperatuur van W30°C. Se gasconcentraties varen aanvankelijk ongeveer 0tk % silan (of door alkyl gesubstitueerd silan), 10 % zuurstof en de rest stikstof· Vervolgens verd tetramethyl-5 tin (CH^)^Sn geleidelijk toegevoerd tot een concentratie van 1 % over een periode van enge veer 3 minuten, tervijl de silan-concentratie geleidelijk verd verminderd tot 0 over dezelfde periode. Vervolgens verd het drager gas voor het tetramethyltin afgesneden en het apparaat gedurende ongeveer 5 minuten gespoeld met lucht ter verwijdering van de laatste 10 sporen van het silan. Vervolgens verd een gasstroom van 1 % (CH^)^Sn, 3 % CF^Br, 20 % 02 en voor de rest stikstof onder het oppervlak geleid gedurende 3 minuten teneinde een laag van fluor-ge doopt tinozyde met een dikte van ongeveer 0,U micron af te zetten.

De interferentiekleuren varen aanzienlijk minder 15 levendig cp deze bekledingen met een gegradeerde brekingsindex-onderbe-kleding.

Voorbeeld V

Een analoog proces vordt uitgevoerd en der gebruikmaking van GeH^ in plaats van SiH^. De gegradeerde laag vordt gevormd 20 uit Ge^n^Og, waarbij x geleidelijk aiheemt van 1 tot 0 naarmate de laag qp bet glas vordt opgebouwd. Daar de brekingsindex van zuiver GeC>2 ongeveer 1,65 bedraagt heeft de gegradeerde laag nog een brekingsindex-discontinuiteit van die van glas (ongeveer 1,5)· De uniformiteit van de afzetting vas echter enigszins beter dan die verkregen met het SiH^. De 25 verminderingen in de zichtbaarheid van de irisering, die werden waargenomen, varen analoog aan die welke werden waargenomen in voorbeeld IV. Voorbeelden VI - IX

Voorbeeld I vordt herhaald onder gebruikmaking als de intermediaire laag tussen glas en tinoxyde van de volgende materialen, 30 gekozen uit tabel A: voorbeeld VI: 82 % Ιη^/ΐδ % SiOg

voorbeeld VII: 58 % GeOg/tó % ZnO

voorbeeld VIII: 70 % Ga^/30 % AlgO^I

voorbeeld IX: 60 f Al^-l/UO % ZnO.

35 Een lage irisering vordt in al deze gevallen ver kregen.

781 05 0 9 .. 27

Voorteelden X - XIV

De volgende materialen, alle gekozen uit tabel B en C, worden gebruikt als de twee intermediaire lagen ter vervanging van de enkelvoudige intermediaire lagen van voorbeelden I en VI-IX: 5 n van ongeveer 1.63 n van ongeveer 1.86

Voorbeeld X 97 % SiOg Bk $ Si^/16 1 SiO?

Voorbeeld XI 60 % ZnO/UO * SiOg 90 % Zn0/10 JÉ SiC>2

Voorbeeld XII 63 JÉ ^0^37 % SiOg 60 JÉ SnOg/UO JÉ Al^-h

Voorteeld XIII 70 JÉ GagO^/29 JÉ Si02 76 X SnO/2U JÉ GeOg 10 Voorteeld XIV 62 JÉ SnOg/38 JÉ SiOg 61 JÉ IngO^S9 * AlgO^h

Voorteeld XV

Een tinoxyde-beklediag wordt aangebracht op een glassübstraat bij verschillende dikten (het glasaubstraat wordt eerst bekleed met een ultradunne film van siliciumoxynitride teneinde te voor-15 zien ineen amorf, troebelings-re amend oppervlak).

Dikte van tinoxyde Zichtbaarheid i rise ring 0,3 sterk 0,6 duidelijk, maar zwakker 0,9 nauwelijks waameenfoaar, uitgezonderd 20 in fluorescerend licht 1,3 zwak, zelfs in fluorescerend licht.

De laatste twee materialen zijn esthetisch niet bezwaarlijk bij toepassing in de architectuur.

Werkwijze voor het bevestigen van de bekledingskwaliteit.

25 Een eenvoudige methode voor het snel controleren van de brekingsindex van dunne films werd ontwikkeld teneinde de afzet-tingsomstandigheden voor films met de gewenste brekingsindex te kunnen vinden. Verondersteld wordt bijvoorbeeld dat een film met een brekingsindex n = 1,7¼ gewenst is voor een ondertekledingslaag. Een vloeistof met deze 30 brekingsindex wordt gekozen. Voor dit voorteeld wordt dijoodmethaan (n = 1,7¼) gebruikt. Een film, waarvan de diktejongeveer 0,2-2 micron is, wordt af gezet op een glasoppervlak. Het beklede glas wordt waargenomen door gereflecteerd licht uit een monochrematieche lichtbron, zoals een gefilterde kwiklanp bij λ » 5½ 1 £. Het beklede glas vertoont een inter-35 ferentiepatroce van donkere en heldere banden indien de dikte van de film varieert over het glasoppervlak. Een druppel van de vloeistof met bekende brekingsindex 7810509 28 wordt op de film gebracht. Indien de brekingsindex van de film exact is aangepast aan die van de vloeistof verdwijnt het interferentiepatroon onder de druppel.

Indien de brekingsindices van film en druppel niet 5 exact aan elkaar zijn aangepast is het interferentiepatroon nog zichtbaar onder de druppel, maar is de intensiteit daarvan zwakker. In dien dit zwak» ke interferentiepatroon onder de druppel een directe voortzetting is van het bandpatrocn cp de rest van de film dan is de brekingsindex van de film groter dan die van de referentievloeistof. Indien anderzijds het band-10 patroon onder de druppel omgekeerd is (lichte en donkere gebieden omgekeerd) ten opzichte van het bandpatrocn dat aanwezig is zonder de vloei-s tof druppel dan is de brekingsindex van de film kleiner dan die van de referentievloeistof.

Door toepassing van deze eenvoudige maar nauwkeurige 15 meting van de brekingsinde-x van de film kunnen de omstandigheden voor de vorming van een film gemakkelijk worden ingesteld bij een reeks van proeven voor het vilten van de gewenste waarde. Door het kiezen van andere referentie vloei stoffen kan men films instellen op verschillende andere waarden, n = 1,63, gebruikt in een uit twee lagen bestaande ondexbekleding, 20 kan worden ingesteld onder gebruikmaking van 1.1.2.2-tetrabroomethaan als referentievloeistof. n = 1,86, voor de andere laag in een uit twee lagen bestaande onderbekleding, kan worden ingesteld op een oplossing van zwavel en fosfor in dijoodmethaan, beschreven door West in American Mineral,

Vol. 21, 21*5 (1936). Uit het bovenstaande zal het voor deskundigen even-25 eens duidelijk zijn dat de algemene procedure kan worden gebruikt als een kvaliteits controle- ge ree ds chap bij de 'vervaardiging. Vloeistoffen met bekende brekingsindex worden eveneens geleverd door Cargille Laboratories, New Jersey.

Op gemerkt wordt dat de voordelige werkwijzen vol-30 gens de uitvinding omvatten de varmtebe sparing in gebouwen met aanzienlijke glasoppervlakken en eveneens omvatten de elektrische verhitting van vensters, zoals in automobielen en vliegtuigen, onder gebruikmaking van de weerstandseigenschcppen van de bekledingen volgens de uitvinding. In het algemeen zijn deze bekledingen 35 ohmisch, gewocnlijk halfgeleidend.

7810509

Claims (43)

1. Een structuur, gevormd uit tenminste één transparante glasplaat van het type, omvattende een eerste anorganische bekleding van een infrarood — reflectief materiaal en van het type dat een transparante halfgeleider is an iriseren de kleuren vertoont bij belichting 5 in daglicht, met het kenmerk* dat de eerste bekleding congruent is aangebracht met een tweede bekleding, die middelen verschaft voor het aanzienlijk verminderen van de irisexende kleuren van de eerste bekleding door te voorzien in tenminste twee tussenvlakken, die, samen met de massa van .¾ de tweede bekleding, middelen vormen voor het reflecteren en breken van 10 licht op zodanige wijze, dat de vaameenfcaarfaeid bij belichting in daglicht van deze irisexende kleuren aanzienlijk wordt verminderd.

2. Structuur volgens conclusie 1. met het kenmerk, dat de tweede bekleding aanwezig is tussen de eerste bekleding en het glas en middelen vormt voor het reflecteren en breken van licht teneinde 15 coherent te worden toegevoegd aan en daardoor te dempen de irisexende reflectie uit de eerste bekleding. 3* Een structuur, gevormd uit tenminste één transparante glasplaat van het type, omvattende een eerste anorganische bekleding van aan infrarood-reflectief materieel en van het type, dat een 20 transparante halfgeleider is en irisexende kleuren vertoont hij belichting in daglicht, met het kenmerk, dat de eerste bekleding congruent is aangebracht met een tweede bekleding, die middelen vormt voor het aanzienlijk verminderen van de irisexende kleuren van de eerste bekleding door te voorzien in tenminste twee tussenvlaken , die, samen met de massa van 25 de tweede bekleding, middelen vormen voor het reflecteren en breken van licht op zodanige wijze, dat de waarneembaarheid bij belichting in daglicht van deze irisexende kleuren aanzienlijk wordt verminderd, en waarbij de tweede bekleding aanwezig is tussen de eerste bekleding en het glas en middelen vormt voor het reflecteren en breken van licht teneinde 30 coherent te worden toegevoegd aan en daardoor te dempen de izdserende reflectie uit de eerste bekleding en waarbij de tweede bekleding een brekingsindex bezit, die gedefinieerd wordt als ongeveer de vierkantswortel van het produkt van de brekingsindices van het glas en de eerste bekleding. 35 1*. Structuur volgens conclusie 2, met het kenmerk. 7810509 dat de tweede bekleding een dikte van cm ge-veer \/k golflengte van licht met een vacuum-golflengte van ongeveer 500 nanometer bezit,

5, Structuur, gevormd uit tenminste één transparante glasplaat van het type, omvattende een eerste anorganische bekleding van 5 een infrarood-reflecterend materiaal en van het type, dat een transpar rante halfgeleider is en iriseren de kleuren vertoont bij belichting in daglicht, met het kenmerk. dat de eerste bekleding congruent is aangebracht met een tweede bekleding, die middelen vormt voor het aanzienlijk verminderen van de i rise rende kleuren van de eerste bekleding door te 10 voorzien in tenminste tvee tussenvlakken, die, samen met de massa van de tweeds bekleding, middelen vormen voor het reflecteren en breken van licht op zodanige wijze, dat de waarneembaarheid bij belichting in daglicht van deze iriserende kleuren aanzienlijk wordt verminderd, en waarbij de tweede bekleding aanwezig is tussen de eerste bekleding en het 15 glas en middelen vormt voor het reflecteren en breken van licht teneinde coherent te worden toe gevoegd aan en daardoor te deepen de iriserende reflectie uit de eerste bekleding, en waarbij de tweede bekleding een brekingsindex van ongeveer 1,7-1,8 bezit en ongeveer 6H-80 nanometer dik is, en waarbij de eerste bekleding een brekingsindex van ongeveer 2 en 20 het glas een brekingsindex van enge veer 1,5 bezit,

6. Structuur volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de tweede bekleding wordt gevormd uit metaaloxyde, metaal nitride of een mengsel daarvan.

7, Structuur volgens conclusie 6, met het kenmerk, 25 dat de metaaloxyde- en nitride-mengsels worden gekozen uit die welke zijn aangegeven in tabel A van de beschrijving.

8, Structuur volgens conclusie 5, met het kenmerk. dat de tweede bekleding in hoofdzaak is gevormd uit aluminiumoxyde.

9. Structuur volgens conclusie 5, met het kenmerk. 30 dat de tweede bekleding in hoofdzaak is gevormd uit siliciumozynitride.

10. Structuur volgens conclusie 1, met let kenmerk, dat de tweede bekleding een amorf materiaal is en middelen vormt voor het voorkomen van een troebe lings vorming op het glas gedurende de aanbrenging van de eerste bekleding. 35 11· Structuur volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de tweede bekleding een amorf materiaal is en middelen vormt voor het 7810509 s . - 31 vorkomen van een troebelingsvondng cp het glas gedurende de aanbrenging van de eerste bekleding.

12. Structuur volgens conclusie 1. met het kenmerk, dat de tveede bekleding aanwezig is tussen de eerste bekleding en het glas, 5 waarbij de tweede bekleding met betrekking tot de brekingsindex een grar· diént vormt tussen bet glas en de eerste bekleding.

13. Structuur volgens conclusie 12. met het kenmerk, dat de eerste bekleding fluoivgedoopt stenni-oryde is. 1¾. Structuur volgens conclusie 12, met het kenmerk. _ 10 dat de gradiënt trapsgewijze verloopt met een veelheid van bekledings-incrementen met verschillende brekingsindices.

15. Structuur gevormd uit tenminste één transparante glasplaat van het type, omvattende een eerste anorganische bekleding van een infraroodt-reflecterend material en van het type, dat een transparante 15 halfgeleider is en iraserende kleuren vertoont bij belichting in daglicht, met het kenmerk, dat de eerste bekleding congruent is aangebracht met een tweede bekleding, die middelen vormt voor het aanzienlijk verminderen van de iriseren de kleuren ven de eerste bekleding door te voorzien in tenminste twee tussenvlakken, die, samen met de massa van de tweede bekleding, 20 middelen vormen voor het reflecteren en breken van licht op zodanige wijze, dat de vaarneesfcaarheid bij belichting in daglicht van deze iri-serende kleuren aanzienlijk wordt verminderd, en waarbij de. tveede bekleding aanwezig is tussen de eerste bekleding en het glas, waarbij de tweede bekleding met betrekking tot de brekingsindex een gradiënt vormt 25 tussen het glas en de eerste bekleding, en waarbij deze gradiënt continu is met een geleidelijke verandering van de brekingsindex tussen glas en hé infrarood-re flecterende materiaal.

16. Structuur volgens conclusie 12, met het kenmerk, dat de tveede bekleding omvat een siliciumoryxiitride-mengsel van

30 XSi02(l-X)Si^f wMrtij X «redert val ongi-wer 1 bij het gleeppperTl* tot bijna nul bij de grens van de eerste bekleding. 17* Structuur volgens conclusie 13. met het kenmerk, dat de tweede bekleding mengsels omvat van Si^Sn^Qg of Ge Sn^Og, waarin x varieert van ongeveer 1 bij het glasoppervlak tot nul bij de 35 grens van de eerste bekleding.

18. Structuur, gevormd uit tenminste één transparante 78 1 05 0 9 glasplaat van het type, omvattende een eerste anorganische bekleding van een infrarood-re flecterend materiaal en van het type, dat een transparante halfgeleider is en iriseren de kleuren vertoont bij belichting in daglicht, met het kenmerk, dat de eerste bekleding congruent is aangebracht 5 met een tweede bekleding, die middelen vormt voor het aanzienlijk verminderen van de iriseren de kleuren van de eerste bekleding door te voorzien in tenminste twee tussenvlakken, die, samen met de massa van de tweede bekleding, middelen vormen voor het reflecteren en breken van licht qp zodanige wijze, dat de waarneembaarheid bij belichting in dag-10 licht van deze iriseren de kleuren aanzienlijk wordt verminderd, en waar-bij de tveede bekleding twee lagen omvat, vaaronder (a) een film, dichter bij het glas, en met een brekingsindex, die bij benadering wordt aangegeven door de formule 0,26 OjU η = η ’ n * a sc gl 15 en (b) een tweede film, dichter bij de eerste bekleding, en met een brekingsindex, die bij benadering wordt gegeven door de formule 0,7U 0,26 η, = η n ’ , o sc gl * 20 waarin ngc de brekingsindex van de eerste bekleding en n^ de brekingsindex van het glas is.

19· Structuur, gevormd uit tenminste één transparante glasplaat van het type, omvattende een eerste anorganische bekleding van een infrarood-re flecterend materiaal en van het type, dat een trans-25 parente halfgeleider is en iriserende kleuren vertoont bij belichting in daglicht, met het kenmerk, dat de eerste bekleding congruent is aangebracht met een tweede bekleding, die middelen vormt voor het aanzienlijk verminderen van de iriserende kleuren van de eerste bekleding door te voorzien in tenminste twee tussenvlakken, die, samen met de massa van de twee-30 de bekleding, middelen vormen voor het reflecteren en breken van licht op zodanige wijze, dat de waarneembaarheid bij belichting in daglicht van deze iriserende kleuren aanzienlijk wordt verminderd, en waarbij de tweede bekleding twee lagen omvat, waaronder (a) één film dichter bij het glas, en met een bre-35 kingsindex in het tr?pct van ongeveer 1,6-1,7, en (b) een tweede film, dichter bij de eerste bekle- 78 1 0 5 0 9 33 - ding, en net een brekingsindex ia het traject van ongeveer 1,8-1,9, velke vaarden doeltrefftend zijn voor de eerste bekleding met een brekingsindex van ongeveer 2 en glas met een brekingsindex van ongeveer 1,5.

20. Structuur volgens conclusie 19, met het kenmerk. 5 dat de tveede bekleding twee lagen omvat .waaronder (a) één film, dichter bij het glas, en met een samenstelling als vermeld in tabel B, en (b) een tveede film, dichter bij de eerste bekleding en met een samenstelling als aangegevea in tabel C van de beschrijving.

21. Structuur volgens conclusie 1. met het kenmerk, dat de eerste bekleding stanni-iöxyde ia. 22.Structuur volmens conclusie 19. met het kenmerk, dat de eerste bekleding stanni-oxyde .

23. Structuur volgens conclusie 1, met het kenmerk. 15 dat het glas een amorfe film daarop bevat. ,2b. Structuur volgens conclusie 12. met het kenmerk, dat het glas een amorfe film daarop bevat.

25. Structuur volgens conclusie 18. met het kenmerk, dat het glas een amorfe film daaropbevat.

26. Structuur volgens conclusie 22. met het kenmerk, dat de tveede bekleding siliciuaosqrnitride is.

27. Structuur volgens conclusie 23. met het kenmerk, dat de amorfe film silici umoxynitn.de is.

28. Structuur volgens conclusie 25, met het kenmerk. 25 dat de amorfe film silici umoxyni tri de is.

29. Structuur volgens conclusie 1. met het kenmerk, dat deze een kleurverzadigingsvaerde beneden 13 vertoont.

30. Structuur volgens conclusie 1. met het kenmerk, dat deze een kleurverzadigingsvaarde beneden 8 bezit.

31. Structuur volgens conclusie 1. met het kenmerk. dat deze een kleurverzadigingsvaarde beneden 5 bezit*

32. Structuur volgens conclusie 1, met het kenmeafc. dat de eerste en tveede bekledingen semen een dikte van minder dan 0,85 micron bezitten.

33. Structuur volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de half geleiderlaag een dikte van minder dan 0,b mieren bezit. 781 0 5 0 9 3¼ 3¼. Structuur volgens conclusie 2, act het kenmerk, dat de haLfgeleiderlaag een dikte van minder dan 0,1* micron bezit.

35· Structuur volgens conclusie 12, met het kenmerk, dat de half geleiderlaag een dikte van minder dan 0,¼ micron bezit.

36. Structuur volgens conclusie 18, met het kenmerk, dat de halfgeleiderlaag een dikte van minder dan 0,¼ micron bezit.

37· Structuur volgens conclusie 30, met het kenmerk, dat de halfgeleiderlaag een dikte van minder dan 0,¼ micron bezit.

38. Structuur volgens conclusie 2, met het kenmerk. 10 dat de structuur slechts glasplaten omvat, die gevormd zijn uit helder glas of glas met een lifcte tint, waarbij dit glas vrij is van metallische, grijze of brons achtige en andere donkert enige tinten, die de zichtbaarheid van de i rise ring kunnen onderdrukken.

39· Structuur volgens conclusie 12, met het kenmerk, 15 dat de structuur slechts glasplaten omvat, die gevormd zijn uit helder glas of glas met lichte tint, waarbij dit glas vrij is van metallische, grijze of bronskleurige en andere donkert enige tinten, die de zichtbaar^ heid van de irisering kunnen onderdrukken. kO. Structuur volgens conclusie 19» met het kenmerk. 20 dat de structuur slechts glasplaten omvat, die gevormd zijn uit helder glas of glas met lichte tint, waarbij dit glas vrij is van metallische, grijze of bronskleurige en andere donkertonige tinten, die de zichtbaarheid van de irisering kunnen onderdrukken. U1. Structuur volgens conclusie 30, met het kenmerk, 25 dat de structuur slechts glasplaten omvat, die gevormd zijn uit helder glas of glas met lichte tint, waarbij dit glas vrij is van metallische, grijze of bronskleurige en andere donkert enige tinten,die de zichtbaarheid van de irisering kunnen onderdrukken. ¼2. Structuur volgens conclusie 23» met het kenmerk. 30 dat de structuur slechts glasplaten omvat, die gevormd zijn uit helder glas of glas van lichte tint, waarbij dit glas vrij is van metallische, grijze of bronskleurige en andere donkertonige tinten, die de zichtbaarheid van de irisering kunnen onderdrukken en de doorlating van de structuren tot minder dan ongeveer 25 % kunnen verminderen.

35 U3.Structuur volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de eerste bekleding en de tweede bekleding ruimtelijk van elkaar ge- 7810509 35' scheiden elk worden gevormd, uit materialen, waarbij een van deze bekledingen van de andere van deze bekledingen in dikte verschilt met ongeveer 1A golflengte van 500 nanometer ligt, opzodanige wijze dat deze bekledingen samen middelen vormen voor bet reflecteren en breken van licht, 5 dat incoherent wordt toe gevoegd en de waarneembare irisering van deze structuur aanzienlijk vermindert. M. Structuur volgens conclusie U3, met het kenmerk, dat de eerste en tweede bekledingen aanwezig zijn pp afzonderlijke glasplaten, bevestigd in een dubbelglazige vensterstructuur. 10 1(5. Structuur volgens conclusie 1(3. met het kenmezk« dat een van de bekledingen ongeveer 0,26 micron dik en de andere van de bekledingen ongeveer 0,33 micron dik is, waarbij de beide bekledingen een brekingsindex van ongeveer 2 bezitten. 1*6. WErkwijze voor bet bekleden van transparant 15 glas met een primaire dunne transparante bekleding van een infrarooct-reflecterende halfgeleider, met het kenmerk, dat men pp het glas, alvorens een primaire infraroed-reflecterende halfgeleider pp dit glas aante brengen, een intermediaire bekleding vormt, waarbij deze intermediaire bekleding wordt gevormd uit een metaaloxyde, een metaalnitride of meng-20 seis daarvan, en met met deze intermediaire bekleding voorziet in tenminste twee tussenvlakken, die, samen met de massa van de intermediaire bekleding, middelen vormt voor het reflecteren en breken van licht pp zodanige wijze dat de aantoonbaarheid van iriserende kleuren aanzienlijk wordt verminderd.

25 U7. Werkwijze volgens conclusie U6, met het kenmerk, dat de intermediaire bekleding een brekingsindex bezit, die gedefinieerd wordt als ongeveer de vierkantswortel van het produkt van de brekingsindices van het glas en de primaire bekleding. 1(8. Werkwijze volgens conclusie 1(6, met het kenmerk. 30 dat de intermediaire bekleding een dikte van ongeveer 1A golflengte van licht met een vacuum-golflengte van ongeveer 500 nanometer bezit. 1*9. Werkwijze volgens conclusie 1(7, met het kenmerk, dat de intermediaire bekleding een brekingsindex van ongeveer 1,7-1,0 en een dikte van ongeveer 6U-80 nanometer bezit.

50. Werkwijze volgens conclusie 1(6. met het kenmerk, dat de intermediaire bekleding een amorf materiaal is, pp zijn minst bij 78 1 05 09 het tussenvlak daarvan met het glas, en middelen vormt voor het voorkomen van een troébelingsvorming cp het glas.

51. Werkwijze volgens conclusie k6t met het kenmerk, dat de intermediaire bekleding vordt gevormd als een gegradeerde samen- 5 stelling, die geleidelijk vermindert in het siliciumoxyde-gabalte vanaf het tussenvlak daarvan met het glas tot het tussenvlak daarvan met de primaire dunne bekleding.

52. Werkwijze volgens conclusie U6, met het kenmerk, dat de intermediaire bekleding siliciumorynitride omvat.

53. Werkwijze volgens conclusie U6, met het kenmerk, dat de intermediaire bekleding wordt afgezet in twee lagen en wel (a) één film, dichter bij het glas, en met een brekingsindex in het traject van ongeveer 1,6-1,7, en (b) een tweede film, dichter bij de primaire bekle-15 ding, en met een brekingsindex in het traject van ongeveer 1,8-1,9, en waarbij het glas een brekingsindex van aageveer 1,5 en de primaire bekleding een brekingsindex van ongeveer 2,0 bezit. 51*. Werkwijze volgens conclusie b6, met het kenmerk, dat de primaire halfgeleiderlaag een dikte van minder dan 0,U micron be-20 zit.

55. Werkwijze volgens conclusie b6, met het kenmerk, dat de halfgeleiderlaag een dikte van minder dan 0,85 micron bezit.

56. Werkwijze voor het voorkomen van warmteverlies uit een gebouw door transparant beglaasde oppervlakken van het gebouw, 25 terwijl men een irisering-vrij uiterlijk voor deze oppervlakke bewerkstelligt, waarbij men infraroodstraling in het gebouw terugreflecteert vanaf een dunne bekleding van een infrarood-reflecterende halfgeleider· film op het oppervlak van het glas, met het kenmerk, dat men een intermediaire laag van een metaalnitride, metaaloxyde of een mengsel daarvan 30 gebruikt tussen het glas en de dunne bekleding teneinde te voorzien in tenminste twee tussenvlakken, verbonden met de intermediaire laag, waarbij deze tussenvlakken, samen met de massa van de intermediaire laag, worden gebruikt voor het verkrijgen van het irisering-vrije uiterlijk.

57· Werkwijze voor het elektrisch verhitten van 35 een vensteroppervlak, terwijl men eeniriserings-vrij uiterlijk voor dit venstercppervlak bewerkstelligt, waarbij men een spanning aanlegt over de 781 0 5 0 9 dunne bekleding van een half geleiderlaag op het venster, met het kenmerk, dat men een intermediaire laag van een geleidend metaal nitride, metaal-oxyde of een mengsel daarvan ttesen bet glas en de dunne bekleding gebruikt teneinde te voorzien in tenminste twee tussenvlakken, verbonden met 5 de intermediaire laag, waarbij deze tussenvlakken, samen met de massa van de intermediaire laag, worden gebruikt voor het bewerkstelligen van bet iriserings-vrije uiterlijk.

58. Structuur, gevormd uit tenminste één transparante glasplaat ven het type, omvattende een anorganische bekleding van 10 een infrarood-reflecterënd en otmdsch materiaal, met het kenmerk, dat de anorganische bekleding tenminste 0,85 micron dik is en middelen vormt voor het onderdrukken van een zichtbaar iriserend uiterlijk van deze bekleding, welke verschijnt bij bekledingen van het ohmische materiaal bij dikten aanzienlijk beneden 0,85 micron.

59. Structuren en werkwijzen de beschreven in de beschrijving en/of voorbeelden en/of als weergegeven door de tekeningen. 781 0 5 0