KR970048472A - 마이크로 자이로스코프 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, 기판(44)과; 스트라이프 형상 부분(35,35'), 다수의 연결부분(36) 및, 코움(40,42)을 구비한 진동 구조물(35,35',36')과; 상기 진동 구조물(35,35',36')을 탄성적으로 유지시키는 탄성 부재(32,32')와; 상기 진동 구조물(35,35',36)을 가진시킬 수 있는 구동 수단(33)과; 상기 진동 구조물(35,35',36)의 일 방향 운동을 감지할 수 있는 감지 수단(34)과; 상기 진동 구조물(35,35',36)에 코리올리의 힘에 의한 변위를 감지하도록 배치된 다수의 감지 전극(38);을 구비한 마이크로 자이로스코프가 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는 신규한 진동 구조물과 감지 전극을 도입함으로써, 종래 기술에 따른 진동 구조물의 가공상 문제점을 해결하는 동시에 성능을 향상시킬 수 있는 장점을 지닌다.

Description

마이크로 자이로스코프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 마이크로 자이로스코프에 대한 평면도.

Claims (7)

  1. 기판(44)과; 평행하게 배치된 2개의 스트라이프 형상을 지닌 부분(35,35'), 상기 스트라이프 형상 부분(35,35')을 상호 연결하는 다수의 연결부분(36) 및, 상기 스트라이프 형상 부분(35,35')의 일측에 형성된 코움(40,42)을 구비한 진동 구조물(35,35',36')과; 상기 진동 구조물(35,35',36')을 상기 기판(44)으로부터 소정의 간격으로 이격되게 탄성적으로 유지시키는 탄성 부재(32,32')와; 상기 진동 구조물(35,35',36')을 정전력에 의해 일 방향으로 가진시킬 수 있도록, 항기 하나의 스트라이프 형상 부분(35)의 코움(40)사이에 배치되는 코움(39)을 구비한 구동 수단(33)과; 상기 구동 수단(33)에 의한 상기 진동 구조물(35,35',36)의 일 방향 운동을 정전 용량의 변화를 통해 감지할 수 있도록, 상기 다른 하나의 스트라이프 형상 부분(36)의 코움(42) 사이에 배치되는 코움(41)을 구비한 감지 수단(34)과; 상기 진동 구조물(35,35',36)에 코리올리의 힘에 의한 변위가 발생하였을때 이를 정전 용량의 변화를 통해 감지할 수 있도록, 상기 진동 구조물의 연결부분(36)들 사이에서 상기 기판(44)으로부터 소정의 간격으로 이격되어 상기 진동 구조물(35,35,36)과 동일 평면상에 배치된 다수의 감지 전극(38);을 구비한 마이크로 자이로스코프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 진동 구조물(35,35',36')이 코리올리의 힘에 의해 과도하게 변위되는 것을 억제할 수 있도록, 상기 진동 구조물의 연결 부분(36)중 최외곽의 것과 평행하게 상기 기판(44)으로부터 소정의 간격으로 이경되어 상기 진동 구조물(35,35',36')과 동일 평면상에 배치된 정위치 제어용 전극(37)을 더 구비하는 마이크로 자이로스코프.
  3. 제1항에 있어서, 상기 진동 구조물(35,35',36')이 코리올리의 힘에 의해 과도하게 변위되어 상기 감지 전극(38)에 접촉하는 것을 방지할 수 있도록 과다 운동 방지 부재를 더 구비하는 마이크로 자이로스코프.
  4. 제1항에 있어서, 상기 탄성 부재의 한 부분(32)는 상기 스트라이프 형상 부분의 길이 방향으로 연장되며, 상기 탄성 부재의 다른 부분(32')은 상기 한 부분(32)의 단부를 상호 연결하며, 상기 탄성부재(32')의 중간부분에 지지부(31)가 형성됨으로써 상기 진동 구조물(35,35',36)을 상기 기판(44)으로부터 소정의 간격으로 이격되게 탄성적으로 유지하는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프.
  5. 제1항에 있어서, 상기 감지 전극(38)은 상기 진동 구조물의 연결 부분(36)들 사이에서 3개의 부분이 2열로 평행하게 배치되며, 상기 3개의 부분중 길이가 긴 전극은 중간 부분(45)이 지지되고, 상기 3개의 부분중 길이가 짧은 전극은 일 단부(46)가 지지된 상태로 일렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프.
  6. 제1항에 있어서, 상기 감지 전극(38)에 인가되는 전압을 변화시킴으로써 상기 진동 구조물의 고유 진동수가 조정될 수 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 자이로스코프.
  7. 제1항에 있어서, 상기 진동 구조물의 고유 진동수를 조정할 수 있도록 상기 진동 구조물의 연결 부분(36)에 평행하게 배치된 고유 진동수 조정용 전극을 더 구비하는 마이크로 자이로스코프.
    ※ 참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2732467B1 (fr) * 1995-02-10 1999-09-17 Bosch Gmbh Robert Capteur d'acceleration et procede de fabrication d'un tel capteur
DE19643342A1 (de) * 1996-10-21 1998-04-30 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe
JPH112526A (ja) * 1997-06-13 1999-01-06 Mitsubishi Electric Corp 振動型角速度センサ
FR2772469B1 (fr) * 1997-12-15 2000-01-07 Commissariat Energie Atomique Gyroscope vibrant
US6230563B1 (en) 1998-06-09 2001-05-15 Integrated Micro Instruments, Inc. Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability
JP4075022B2 (ja) * 1998-06-24 2008-04-16 アイシン精機株式会社 角速度センサ
JP3811304B2 (ja) 1998-11-25 2006-08-16 株式会社日立製作所 変位センサおよびその製造方法
KR100363786B1 (ko) 1999-05-13 2002-12-11 삼성전기주식회사 마이크로 자이로스코프
KR100363785B1 (ko) 1999-06-04 2002-12-11 삼성전기주식회사 마이크로 자이로스코프
JP2001264072A (ja) * 2000-03-17 2001-09-26 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
US6508126B2 (en) 2000-07-21 2003-01-21 Denso Corporation Dynamic quantity sensor having movable and fixed electrodes with high rigidity
US6928872B2 (en) * 2001-04-27 2005-08-16 Stmicroelectronics S.R.L. Integrated gyroscope of semiconductor material with at least one sensitive axis in the sensor plane
DE60120921T2 (de) 2001-04-27 2007-02-01 Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza Aus Halbleitermaterial hergestellter integrierter Kreisel
JP2002333321A (ja) 2001-05-07 2002-11-22 Pioneer Electronic Corp 角速度検出方法及び装置、角度検出方法及び装置、ナビゲーションシステム及びコンピュータプログラム
JP4722333B2 (ja) * 2001-07-02 2011-07-13 富士通株式会社 静電アクチュエータおよびその製造方法
KR100439908B1 (ko) * 2002-02-28 2004-07-12 (주)엠투엔 정전형 미세 구동기
US6837108B2 (en) * 2002-04-23 2005-01-04 Honeywell International Inc. Increasing the dynamic range of a MEMS gyroscope
DE60221103T2 (de) * 2002-05-21 2008-04-03 Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza Aus Halbleitermaterial hergestellter integrierter Kreisel mit wenigstens einer empfindlichen Achse in der Sensorebene
FR2849183B1 (fr) * 2002-12-20 2005-03-11 Thales Sa Gyrometre vibrant avec asservissement de la frequence de detection sur la frequence d'excitation
KR100476562B1 (ko) * 2002-12-24 2005-03-17 삼성전기주식회사 수평형 및 튜닝 포크형 진동식 마이크로 자이로스코프
JP2004347475A (ja) * 2003-05-22 2004-12-09 Denso Corp 容量式力学量センサ
KR100616641B1 (ko) 2004-12-03 2006-08-28 삼성전기주식회사 튜닝포크형 진동식 ｍｅｍｓ 자이로스코프
JP2007263742A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Matsushita Electric Works Ltd 静電容量式センサ
JP4595864B2 (ja) * 2006-03-28 2010-12-08 パナソニック電工株式会社 静電容量式センサ
WO2008083336A2 (en) * 2006-12-29 2008-07-10 Abu-Ageel Nayef M Method and system for speckle reduction using an active device
US20090310038A1 (en) 2008-06-17 2009-12-17 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Projection in response to position
US8944608B2 (en) 2008-06-17 2015-02-03 The Invention Science Fund I, Llc Systems and methods associated with projecting in response to conformation
US8384005B2 (en) * 2008-06-17 2013-02-26 The Invention Science Fund I, Llc Systems and methods for selectively projecting information in response to at least one specified motion associated with pressure applied to at least one projection surface
US8608321B2 (en) * 2008-06-17 2013-12-17 The Invention Science Fund I, Llc Systems and methods for projecting in response to conformation
US20090309826A1 (en) 2008-06-17 2009-12-17 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Systems and devices
US8430515B2 (en) 2008-06-17 2013-04-30 The Invention Science Fund I, Llc Systems and methods for projecting
US8820939B2 (en) 2008-06-17 2014-09-02 The Invention Science Fund I, Llc Projection associated methods and systems
US8540381B2 (en) 2008-06-17 2013-09-24 The Invention Science Fund I, Llc Systems and methods for receiving information associated with projecting
US8267526B2 (en) * 2008-06-17 2012-09-18 The Invention Science Fund I, Llc Methods associated with receiving and transmitting information related to projection
US8641203B2 (en) 2008-06-17 2014-02-04 The Invention Science Fund I, Llc Methods and systems for receiving and transmitting signals between server and projector apparatuses
US8723787B2 (en) 2008-06-17 2014-05-13 The Invention Science Fund I, Llc Methods and systems related to an image capture projection surface
US8308304B2 (en) * 2008-06-17 2012-11-13 The Invention Science Fund I, Llc Systems associated with receiving and transmitting information related to projection
US8733952B2 (en) 2008-06-17 2014-05-27 The Invention Science Fund I, Llc Methods and systems for coordinated use of two or more user responsive projectors
US8936367B2 (en) * 2008-06-17 2015-01-20 The Invention Science Fund I, Llc Systems and methods associated with projecting in response to conformation
US8664951B2 (en) * 2009-03-30 2014-03-04 Honeywell International Inc. MEMS gyroscope magnetic sensitivity reduction
CN102278981B (zh) * 2010-06-11 2014-01-08 张家港丽恒光微电子科技有限公司 陀螺仪及其制造方法
CN106415203A (zh) 2014-06-26 2017-02-15 路梅戴尼科技公司 用于从来自传感器的非线性周期信号提取***参数的***和方法
EP3298414A1 (en) 2015-05-20 2018-03-28 Lumedyne Technologies Incorporated Extracting inertial information from nonlinear periodic signals
CN104931034B (zh) * 2015-06-16 2017-07-14 中北大学 基于偶极子补偿法的微机械陀螺仪带宽拓展方法
JP6562878B2 (ja) * 2016-06-30 2019-08-21 株式会社東芝 角速度取得装置
US10234477B2 (en) 2016-07-27 2019-03-19 Google Llc Composite vibratory in-plane accelerometer
CN106597839B (zh) * 2016-12-08 2019-04-09 东南大学 一种基于负刚度效应的mems陀螺自动模态匹配控制装置及方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5359893A (en) * 1991-12-19 1994-11-01 Motorola, Inc. Multi-axes gyroscope
US5349855A (en) * 1992-04-07 1994-09-27 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Comb drive micromechanical tuning fork gyro
DE19500800A1 (de) * 1994-06-16 1995-12-21 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungssensor
DE4428405A1 (de) * 1994-08-11 1996-02-15 Karlsruhe Forschzent Drehratensensor
DE4442033C2 (de) * 1994-11-25 1997-12-18 Bosch Gmbh Robert Drehratensensor
DE19530007C2 (de) * 1995-08-16 1998-11-26 Bosch Gmbh Robert Drehratensensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE19654304A1 (de) 1997-07-03
DE19654304B4 (de) 2005-12-08
US5747690A (en) 1998-05-05
KR100327481B1 (ko) 2002-06-24
JPH09189557A (ja) 1997-07-22
JP3770677B2 (ja) 2006-04-26

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