KR970024300A - 섀도우 마스크를 이용한 박막 트랜지스터 제조공정 - Google Patents
섀도우 마스크를 이용한 박막 트랜지스터 제조공정 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 섀도우 마스크를 이용한박막 트랜지스터 제조공정에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 3층 구조의 게이트 절연막과 보호막(SiNx)을 증착할 때 섀도우 마스크를 이용하여 패드(pad)부를 보호하여 박막 트랜지스터를 제조하는 공정에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 섀도우 마스크를 이용한 박막 트랜지스터의 단면도.
Claims (2)
- 아이티오막이 상층으로 가는 상층 아이티오 구조에서 패드 부분의 게이트 절연막(SiNx)와 보호막(SiNx) 증착시 섀도우 마스크를 이용하는 이용하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조방법.
- 제1항에서, 보호막 에칭시 패드부의 절연막(SiNx)까지 에칭하는 패드부위의 절연막(SiNx)와 보호막(SiNx)를 2단계로 에칭하는 것을 생략할 수 있는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 제조공정.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950035166A KR970024300A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 섀도우 마스크를 이용한 박막 트랜지스터 제조공정 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950035166A KR970024300A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 섀도우 마스크를 이용한 박막 트랜지스터 제조공정 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970024300A true KR970024300A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66583696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950035166A KR970024300A (ko) | 1995-10-12 | 1995-10-12 | 섀도우 마스크를 이용한 박막 트랜지스터 제조공정 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970024300A (ko) |
-
1995
- 1995-10-12 KR KR1019950035166A patent/KR970024300A/ko not_active Application Discontinuation
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