KR970014491A - 기판의 회전처리 방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

비산 방지컵의 세정능력이 높고, 세정기구등의 착탈 조작이 불필요하며, 게다가 통상의 기판 회전처리시에는 스핀천만을 저토크에서 양호하게 회전 구동할 수 있는 기판의 회전처리방법 및 장치를 개새하고 있다. 통상의 기판회전처리시에는 컵 세정부재는 스핀척의 회전축과 분리되어 스핀천만이 회전구동된다. 컵 세정시에는 스핀척과 비산 방지컵을 상대 승강시킴으로써 컵 세정부재를 컵 세정높이에 위치시킴과 동시에, 컵 세정부재를 회전 전달부를 통하여 회전축에 걸어맞추어 연결한다. 이 상태에서 컵 세정부재를 회전시킴과 동시에 세정액 공급노즐에서 컵 세정부재의 세정액 안내부에 공급된 세정액을 원심력에 의해 비산시켜 비산 방지컵의 내면을 세정한다.

Description

기판의 회전처리 방법 및 그 장치

제1도는 본 발명에 관계되는 기판회전처리 장치의 일실시예의 회전처리 공정을 나타내는 종단면도,

제2도는 실시예장치의 기판교환 공정을 나타내는 종단면도,

제3도는 실시예장치의 컵 세정공정을 나타내는 종단면도,

제5도는 실시예장치의 컵 세정부재를 나타내는 절단사시도.

Claims (15)

1. 기판을 회전시키는 것에 의해 기판표면을 처리액으로 처리함과 동시에, 기판의 회전과 함께 비산한 처리액을 비산 방지컵으로 받아 회수하는 기판의 회전처리 방법에 있어서, 세정액을 외주부로 안내하는 세정액 안내부가 형성된 캡 세정부재를, 기판을 유지하는 기판유지수단의 회전축에 상대 승강가능하게 삽입 통과해 두고, 기판유지수단과 컵세정부재를 상대 승강시켜 설정한 제1의 위치에서는, 기판유지수단의 회전축과 컵 세정부재의 걸어맞춤을 해제하여 기판유지수단만을 회전시키는 것에 의해 기판의 표면처리를 행하는 기판의 회전처리공정과, 기판유지수단과 컵 세정부재를 상대 승강시켜 설정한 제2의 위치에서는, 기판유지수단의 회전축과 컵 세정부재를 걸어맞추어 연결시키고, 기판유지수단과 컵 세정부재를 일체 회전시키면서 컵 세정부재에 세정액을 공급하고, 원심력에 의해 컵 세정부재의 외주부에서 분출한 비산액으로 비산 방지컵의 내면을 세정하는 컵 세정공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 방법.
2. 제1항에 있어서, 기판의 회전처리 공정에서의 기판유지수단과 컵 세정부재가 상대 승강하여 양자가 접근한 위치를 제1의 위치로 하고, 컵 세정공정에서는 기판 유지수단과 컵 세정부재가 상대 승강하여 양자가 이간한 위치를 제2의 위치로 하는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 방법.
3. 제2항에 있어서, 기판유지수단과 컵 세정부재를 상대승강시켜 설정한 상기 제1의 위치와 제2의 위치의 중간위치에 해당하는 제3의 위치에서는, 기판유지수단에 대한 기판의 반출/반입을 행하는 기판 교환공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 방법.
4. 기판을 회전시키는 것에 의해 기판표면에 처리액으로 처리하는 기판의 회전처리장치에 있어서, 기판을 유지하는 기판유지수단과, 상기 기판유지수단을 회전축을 통하여 연직측심 주위로 회전구동하는 회전구동수단과, 상기 기판상에 처리액을 공급하는 처리액 공급수단과, 상기 기판유지수단의 주위를 둘러싸듯이 배치되어, 기판에 공급된 처리액이 기판의 회전과 함께 비산하는 것을 방지하는 비산 방지컵과, 세정액을 공급하는 세정액 공급수단과, 상기 기판유지수단의 회전축에 삽입 통과 배치되고, 상기 세정액 공급수단에서 공급된 세정액을 안내하는 세정액 안내부가 형성된 컵 세정부재와, 기판의 회전처리시에는 상기 기판유지수단과 상기 컵 세정부재가 접근함과 동시에, 상기 기판유지수단의 주위를 비산 방지컵이 둘러 싸고, 컵 세정시에는 상기 기판유지수단과 컵 세정부재가 사이가 떨어짐과 동시에, 상기 컵 세정부재의 외주부에 비산 방지컵의 내면이 대향하도록 상기 기판유지수단에 대해 컵 세정부재 및 비산 방지컵을 상대 승강시키는 승강수단과, 상기 기판유지수단과 컵 세정부재가 접근하였을 때는 컵 세정부재와 상기 회전축과의 걸어맞춤을 해제하고, 상기 기판유지수단과 컵 세정부재가 사이에 떨어졌을 때는 컵 세정부재와 상기 회전축과를 걸어맞추어 연결하는 걸어맞춤 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 세정액 공급수단은 컵 세정부재의 하측에 배치되고, 또한, 상기 컵 세정부재는 원반상이며, 상기 세정액 공급수단에서 공급된 세정액을 외주부로 안내하는 세정액 안내부를 그 하면 외주부에 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 세정액 안내부는 컵 세정부재의 외측을 향해 위로 경사진 환상경사면으로 형성되고, 컵 세정부재의 둘레부에는 상기 환상경사면에서 안내된 세정액을 분출하는 다수의 세정액 토출구가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 세정액 안내부에는 회전 중심측을 향하여 개방된 환상의 오목부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 세정액 토출구는 상하로 방향이 다른 것이 컵 세정부재의 둘레 방향으로 분산하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
9. 제4항에 있어서, 기판 이면을 향해 세정액을 공급하기 위한 이면 세정액 공급수단을 더 포함하며, 또한 상기 컵 세정부재는 합성수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
10. 제5항에 있어서, 상기 컵 세정부재는, 세정액 안내부보다 상방의 위치에서 비산 방지컵 측으로 튀어나온 플랜지를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 기판유지수단에 유지된 기판의 이면을 향하도록 상기 비산 방지컵의 바닥부에 배치되어, 기판처리시에 기판 이면의 기류를 정류하는 정류부재를 더 구비하며, 또한 상기 컵 세정부재의 플랜지는 기판의 회전처리시에 상기 정류부재의 상부에 겹쳐 상기 정류부재와 협동하여 기류를 정류하는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
12. 제4항에 있어서, 상기 승강수단은 비산 방지컵을 승강시키는 것이며, 기판의 회전처리시에는 비산 방지컵을 가장 높은 위치까지 변이시킴과 동시에, 이 상승 변이 과정에서 비산 방지컵과 연결되어 있는 베이스판이 컵 세정부재를 들어올려 컵 세정부재를 기판유지수단에 접근시키며, 컵 세정시에는 비산 방지컵을 가장 낮은 위치까지 변이시킴과 동시에 이 하강변이 과정에서 컵 세정부재가 상기 걸어맞추기 수단에 걸려 컵 세정부재와 기판유지수단의 회전축이 걸어 맞추어져 연결되는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 승강수단은, 기판유지수단에 대해 기판의 반출/반입을 행할 때는 기판 회전처리의 상승위치와 컵 세정시의 하강위치와의 중간위치에 비산 방지컵을 변이시키는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
14. 제13항에 있어서, 상기 승강수단은 상하 한 쌍의 에어실린더의 조합에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.
15. 제4항에 있어서, 상기 걸어 맞추기 수단은 회전유지수단의 회전축에 튀어나와 형성된 회전 전달부재를 포함하고, 상기 회전축을 따라 컵 세정부재가 상대적으로 상승하였을 때, 컵 세정부재와 회전전달부재가 사이가 떨어짐으로써 컵 세정부재와 회전축과의 걸어맞춤이 해제되며, 상기 회전축을 따라 컵 세정부재가 상대적으로 하강하였을 때, 컵 세정부재와 회전전달부재가 끼워 맞추어져 연결됨으로써 컵 세정부재와 회전축이 걸어 맞추어져 연결되는 것을 특징으로 하는 기판의 회전처리 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.