KR970003749A - 프로브시스템 - Google Patents

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KR970003749A
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츠요시 아루가
와타루 모치즈키
슈지 아키야마
히사토미 호사카
유이치 아베
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이노우에 아키라
도쿄 에레쿠토론 가부시키가이샤
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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    • G—PHYSICS
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    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
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Abstract

본 발명은 반도체 등의 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브시스템에 관한 것으로서, 서로 소정거리 이간하여 일렬로 배치되고 테스트헤드를 피검사체의 전극과 전기적으로 도통시켜서 피검사체의 전기적 특성검사를 실시하는 복수의 검사부와, 검사부의 열을 따라서 평행하게 연장되는 반송로와, 복수의 피검사체가 재치되고 반송로와 대향하며, 또한 반송로의 윗쪽에서 반송로에 대하여 수직으로 승강하는 재치부와, 반송로를 따라서 이동하고 재치부와 각 검사부의 사이에서 피검사체를 수수하는 수수기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

Description

프로브시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 관련되는 프로브시스템의 사시도.

Claims (11)

  1. 서로 소정 거리 이간하여 일렬로 배치되고 테스트헤드를 피검사체의 전극과 전기적으로 도통시켜서 피검사체의 전기적 특성검사를 실시하는 복수의 검사부와, 검사부의 열을 따라서 평행하게 연장되는 반송로와, 상기 복수의 피검사체가 재치되고 반송로와 대향하며, 또한 반송로의 윗쪽에서 상기 반송로에 대하여 수직으로 승강하는 재치부와, 상기 반송로를 따라서 이동하고 상기 재치부와 각 검사부의 사이에서 피검사체를 수수하는 수수수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프르브시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 반송로가 복수의 레일로 이루어지고 각 레일이 서로 착탈 가능하게 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 테스트헤드를 피검사체의 전극과 전기적으로 도통시키기 위해 상기 테스트헤드를 선회시키는 선회기구를 구비하고, 상기 선회기구가 서로 이웃하는 검사부끼리의 사이의 공간내에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 수수수단은 받은 피검사체를 일정한 방향으로 방향결정하는 얼라인먼트수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 프로브시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트수단은 상기 수수수단이 상기 재치부와 상기 각 검사부의 사이에서 피검사체를 수수하기까지의 사이에서 피검사체를 일정한 방향으로 방향결정하는 것을 특징으로 하는 프로브시스템.
  6. 제1항에 있어서, 검사부의 열을 따라서 평행하게 이동하고, 각 검사부의 테스트헤드를 지지하여 테스트헤드를 각 검사부에 대하여 착탈하는 테스트헤드지지수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브시스템.
  7. 서로 소정 거리 이간하여 일렬로 배치되고 피검사체의 전극을 프로브 카드의 접촉자에 전기적으로 접촉시키는 복수의 프로브장치와, 각 프로브장치상에 재치되어 프로브카드에 전기적으로 접속됨으로써 프로브장치와 협동하여 피검사체의 전기적 특성검사를 실시하는 테스트헤드와, 프로브장치의 열을 따라서 평행하게 이동하고, 각 프로브장치의 테스트헤드를 지지하여 테스트헤드를 각 프로브장치에 대하여 착탈하는 테스트헤드지지 수단과, 피검사체가 재치되는 재치부와, 재치부와 각 프로브장치의 사이에서 피검사체를 반송하는 반송수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 프르브시스템.
  8. 검사부와 재치부의 사이에서 반도체웨이퍼를 반송하면서 복수의 반도체웨이퍼의 검사를 실시하는 방법이며, 웨이퍼의 전기적 특성검사를 실시하는 제1검사부와 제2검사부의 전방에서 연장되는 반송로를 따라서 이동 가능한 제1반송수단에 의하여 반송로와 대향하고, 또한 반송로의 윗쪽에서 상기 반송로에 대하여 수직으로 승강 가능한 재치부상으로부터 웨이퍼를 받고, 웨이퍼를 상기 제1반송수단으로부터 제1검사부에 설치된 제2반송수단의 로드아암을 수수하고, 제1검사부에서 로드아암을 이동시킴으로써 웨이퍼를 로드아암으로부터 제1검사부의 검출수단에 수수하고, 제1검사부의 검사수단에 의하여 웨이퍼의 검사를 실시하고, 제1반송수단에 의하여 웨이퍼를 제2반송수단의 로드아암에 수수한 후 제1검사부의 검사수단에 의한 웨이퍼의 검사가 종료되기까지의 사이 상기 제1반송수단에 의하여 상기 재치부상으로 부터 웨이퍼를 받아서 이 웨이퍼를 제2검사부에 설치된 제3반송수단의 로드아암으로 수수하고, 또한 제2검사부에서 로드아암을 이동시킴으로써 웨이퍼를 로드아암으로부터 제2검사부의 검사수단에 수수하고, 제2검사부의 검사수단에 의하여 웨이퍼의 검사를 실시하고, 제1반송수단에 의하여 웨이퍼를 제3반송수단의 로드아암에 수수한 후 제1검사부의 검사수단에 의한 웨이퍼의 검사가 종료되기까지의 사이 상기 제1반송수단에 의하여 상기 재치부상의 웨이퍼를 이미 웨이퍼를 검사수단에 수수한 제2 및 제3반송수단의 로드아암에 각각 수수하고, 제1검사부의 검사수단에 의한 웨이퍼의 검사가 종료된 후 제1검사부에서 검사된 검사완료의 웨이퍼를 제1검사부의 검사수단으로부터 제2반송수단의 언로드아암으로 수수하고, 그 후 검사완료의 웨이퍼를 제2반송수단의 언로드아암으로부터 제1반송수단을 통하여 상기 재치부에 재치하고, 또한 미검사의 웨이퍼를 제2반송수단의 로드아암으로부터 제1검사부의 검사수단에 수수하고, 제2검사부의 검사수단에 의한 웨이퍼가 검사가 종료된 후 제2검사부에서 검사된 검사완료의 웨이퍼를 제2검사부의 검수단으로부터 제3반송수단의 언로드아암으로 수수하고, 그 후 검사완료의 웨이퍼를 제3반송수단의 언로드아암으로부터 제1반송수단을 통하여 상기 재치부에 재치하고, 또한 미검사의 웨이퍼를 제3반송수단으로부터 제2검사부의 검사수단에 수수하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 제1반송수단은 제2 또는 제3반송수단과 상기 재치부의 사이를 이동하는 사이 웨이퍼를 일정한 방향으로 방향결정하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 제1반송수단은 웨이퍼의 종류에 따라서 웨이퍼를 제2반송수단과 제3반송수단으로 배분하여 반송하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제8항에 있어서, 상기 재치부가 제1재치부와 제2재치부로 이루어지고, 상기 제1반송수단은 웨이퍼의 종류에 따라서 웨이퍼를 제1재치부와 제2재치부로 배분하여 반송하는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960020012A 1995-06-08 1996-06-05 프로브 시스템 KR100346147B1 (ko)

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