KR960704805A - 순수 또는 초순수의 제조방법 및 제조장치(deionized water or high purity water producing method and apparatus) - Google Patents

순수 또는 초순수의 제조방법 및 제조장치(deionized water or high purity water producing method and apparatus)

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Abstract

본 발명은 순수 또는 초순수의 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로, 반도체 장치의 제조 등에 적절하게 사용되는 붕소 농도를 저감시킨 순수 또는 초순수를 제조하고, 막처리수단 등을 구비하고 전처리장치(1)의 처리수에서 순수를 얻는 1차 순수처리계와, 이 1차 순수를 저장하는 탱크(9)와, 이온교환수단, 막처리수단 등을 구비하여 상기 탱크(9)를 경유한 1차 순수에서 초순수를 얻는 2차 순수 처리계로 구성되어 있으며, 상기 붕소 선택성 이온교환수지를 1차 순수처리계 중 2상 3팁식 이온교환장치(3)의 K탑내에 강산성 양이온교환수지의 상류에 위치하도록 적층하여 설치하며, 이 붕소선택성 이온교환수지의 존재에 의해 처리수 중의 붕소 농도를 장기간 안정되게 저감시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

순수 또는 초순수의 제조방법 및 제조장치(DEIONIZED WATER OR HIGH PURITY WATER PRODUCING METHOD AND APPARATUS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예 1의 초순수 제조장치의 구성개요를 나타낸 블럭도.

Claims (9)

  1. 원수에 포함되는 현탁물질을 제거하는 전처리에 이어서, 상기 전처리가 끝난 이온 및 비이온성 물질을 제거하는 순수처리를 실시하여 순수 또는 초순수를 제조하는 방법에 있어서, 상기 전처리가 끝난 처리수단에 포함되는 붕소 제거를 위해서 상기 순수처리를 하는 공정 중 어느 단계에서 상기 전처리가 끝난 처리수를 붕소 선택성 이온교환수지에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 순수 또는 초순수의 제조방법.
  2. 원수중에 포함되는 현탁물질제거단을 위한 제탁수단를 갖는 전처리장치와, 이 전처리장치에 나오는 처리수 중에 포함되는 이온 및 비이온성 물질을 제거하기 위한 탈염수단 및 막처리수단을 갖는 순수처리장치를 구비한 순수 또는 초순수의 제조장치에 있어서, 상기 전처리장치로부터 처리수 유출로와 상기 순수처리장치로 부터의 처리수 유출로 사이의 통수계 중 적어도 어느 한 위치에 붕소 이온제거 수단으로서 붕소 선택성 이온교환수지를 단독으로 갖거나 또는 다른 이온 교환수지와 적층 또는 혼합하여 갖는 이온교환탑을 설치한 것을 특징으로 하는 순수 또는 초순수의 제조장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 순수처리장치는 막처리수단 등을 구비하고 전처리장치의 처리수에서 순수를 얻는 1차 순수처리계와, 이 1차 순수를 저장하는 탱크와, 이온교환수지, 막처리수단 등을 구비하여 상기 탱크를 거친 1차 순수에서 초순수를 얻는 2차 순수처리계로 이루어지고, 상기 붕소 선택성 이온교환수지를 갖는 이온 교환탑을 이 1차 순수처리계의 도중, 2차 순수처리계의 도중, 또는 1차 순수처리계와 2차 순수처리계 사이중 적어도 어느 한 위치에 설치한 것을 특징으로 하는 순수 또는 초순수의 제조장치.
  4. 제2항에 또는 제3항에 있어서, 상기 부소 선택성 이온교환수지를 갖는 이온교환탑이 재생제로서 산 수용액 또는 알칼리 수용액 또는 그 쌍방을 통약하는 재생설비를 갖는 재생형 이온교환탑인 것을 특징으로 하는 순수 도는 초순수의 제조장치.
  5. 제4항에 있어서, 재생형 이온교환탑이 양이온교환수지를 상기 붕소 선택성 이온교환수지의 하류측에 적층 시킨 일탑형 이온교환탑으로, 재생설비가 재생제로서 산 수용액을 통약하는 것인 것을 특징으로 하는 순수 또는 초순수의 제조장치.
  6. 제4항에 있어서, 재생형 이온교환탑이 음이온 교환수지를 상기 붕소선택성 이온교환수지의 상류측에 적측 시킨 일탑형 이온교환탑이고, 재생설비가 재생제로서 알칼리 수용액을 통약하는 것을 특징으로 하는 순수 또는 초순수의 제조장치.
  7. 제4항에 있어서, 재생형 이온교환탑이 상기 붕소 선택성 이온교환수지, 양이온교환수지 및 음이온교환수지를 혼합하여 갖는 이온교환탑인 것을 특징으로 하는 순수 또는 초순수의 제조장치.
  8. 제3항에 있어서, 상기 붕소 선택성 이온교환수지를 갖는 비재생형 이온교환탑을 1차 순수를 저장하는 탱크에서 2차 순수처리계와 다른 경로에 배관을 분기접속한 배관분기로의 2차 순수처리계측의 하류에 설치한 것을 특징으로 하는 순수 또는 초순수의 제조장치.
  9. 제2항 내지 제8항 중 어는 한 항에 있어서, 붕소 선택성 이온교환수지를 갖는 이온교환탑의 하류에 자외선 산화장치 및 역침투막장치 중 적어도 어느 한쪽을 설치한 것을 특징으로 하는 순수 또는 초순수의 제조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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