KR960035136A - 사입사용 노광마스크 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 사입사용 노광마스크에 관한 것으로서, 다양한 크기의 스페이스가 하나의 노광마스크에 형성되는 경우 최대의 촛점심도를 갖는 스페이스의 크기 보다 스페이스를 갖는 패턴 스페이스에 보조패턴들을 형성한되, 상기 보조 패턴은 웨이터 상에 이미지를 형성하지 않는 정도의 크기를 갖는 돌기 또는 도트 형상을 반복 배열시켜 지엽적인 스페이스의 크기가 최대 촛점심도를 갖는 스페이스의 크기와 비슷하게하여 큰 스페이스를 갖는 패턴의 촛점심도를 향상시켰으므로, 이미지 콘트라스트가 균일하게 미세패턴 형성이 용이하고, 공정여유도가 향상되어 소자동작의 신뢰성 및 공정수율을 향상시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 사입사 노광 공정을 설명하기 위한 사입사 노광장치의 개략도, 제5도는 본 발명에 따른 사입사용 노광마스크의 평면도, 제6도는 제5도에서의 선 B-B′에 따른 단면도.
Claims (7)
- 다양한 스페이스를 갖는 광차단막 패턴들이 투명기판상에 형성되어 있는 사입사용 노광마스크에 있어서, 상기 광차단막 패턴들 중 최소 스페이스를 갖는 패턴 보다 스페이스가 큰 패턴에 대하여 스페이스의 내측에 관분해능 보다 작은 크기의 다수개의 보조 패턴을 구비하는 사입사용 노광마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 보조패턴의 크기를 노광마스크 상에서 최소폭의 크기가 노광원의 파장k에 비해 1/2 내지 5배의 크기 이내로 하는 것을 특징으로 하는 사입사용 노광마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 보조패턴이 형성되는 스페이스는 i라인의 경우 0.4~1.0㎛인 것을 특징으로 하는 사입사용 노광마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 보조패턴이 돌기 또는 렬을 이루는 도트 형상인 것을 특징으로 하는 사입사용 노광마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 보조패턴이 다수열의 도트 형상인 것을 특징으로 하는 사입사용 노광마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 보조패턴이 위상반전물질, SOG, 질화막, TiN, 경화된 감광막 및 투과율 1~10%의 반투명물질로 이루어지는 군에서 임의로 선택되는 하나의 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 사입사용 노광마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 사입사용 노광마스크가 콘택홀 마스크이고, 보조패턴들이 콘택홀의 내측에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 사입사용 노광마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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