KR950001887A - 에너지 절약형 포토마스크 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 석영 기판(4)상에 형성된 예정된 형태의 주 패턴(3)과, 상기 석영 기판(4) 영역중 크롬이 도포된 영역에 소정의 형태로 형성되되 노광원이 통과하는 간격(slit)이 노광원의 파장길이보다 크고 3배의 파장길이 보다는 작게 형성된 다수의 보조 패턴(3′)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 에너지 절약형 포토마스크에 관한 것으로, 적은 노광 에너지로 충분한 노광공정을 실시할 수 있으므로 공정시간의 단축과 노광장치의 램프 수명을 단축하고, 파워가 약한 엑시머 노광장치용 마스크에 유용하게 쓸 수 있는 효과가 있다.

Description

에너지 절약형 포토마스크
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 마스크 정면도, 제5도는 본 발명에 따른 마스크를 사용한 리소그래피 공정을 나타낸 단면도, 제6도는 제4도의 A-A′ 단면의 공간상 이미지 강도 분포도, 제7도는 리소그래피 공정에 의한 잔류 감광수지 두께와 노광 에너지와의 관계 그래프.

Claims (2)

  1. 석영 기판(4)상에 형성된 예정된 형태의 주 패턴(3)과, 상기 석영 기판(4) 영역중 크롬이 도포된 영역에 소정의 형태로형성되되 노광원이 통과하는 간격(slit)이 노광원의 파장 길이 보다 크고 3배의 파장길이보다는 작게 형성된 다수의 보조패턴(3′)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 에너지 절약형 포토마스크.
  2. 제1항에 있어서, 상기 주 패턴(3) 및 보조패턴(3′)는 크롬이 도포되거나 도포되지 않는 양각 또는 음각 형태중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 에너지 절약형 포토마스크.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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