KR960003515A - 자석 마이크로 접촉기 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

하나 또는 둘이상의 전도재(13,14,15)로 만들어진 가요성 비임(5)로 이루어진 자석에 의해 활성될 수 있는 마이크로 접촉기로서, 그 한단부(4)가 다리부(3)의 중간을 경유하여 한 절연기부(1)에 부착되며, 그 말단부(6)은 상기 기부(1)상에 배치된 한 접촉 스터드(2) 위에 배치되고, 상기 다리부(3)과 스터드(2)는 전도재로 형성되고, 한 외부 전자회로로의 연결수단(7,8,9,10)이 제공되며, 상기 비임(5)가 적어도 부분적으로 강가성재로 구성되고, 비이(5), 다리부(3) 그리고 스터드(2)가 기부 두 면적(9,10)으로부터의 전도재 전착에 의해 형성되며, 상기 전착이 뒤에 제거되는 연속된 마스크(20,30,40)을 통해 수행된다.

Description

자석 마이크로 접촉기 및 그 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 첫번째 실시예에 따른 MMC 접촉기의 단면을 도시한 도면.

제2도는 자석에 의해 활성화되는 때 첫번째 실시예에 따른 MMC 접촉기의 사시도.

제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 MMC 접촉기의 사시도.

제4도는 자석에 의해 활성화되는 때 두번째 실시예에 따른 MMC 접촉기의 사시도.

Claims (6)

1. 하나 또는 둘이상의 전도재(13,14,15)로 만들어진 가요성 비임(5)로 이루어진 자석 마이크로접촉기(MMC)를 제조하는 방법으로서, 그 한단부(4)가 다리부의 중간을 경유하여 한 절연기부(1)에 부착되며, 그 말단부(6)은 상기 기부(1)상에 배치된 한 접촉 스터드 위에 배치되고, 상기 다리부(3)과 스터드(2)는 전도재로 형성되고, 한 외부 전자회로로의 연결수단(7,8,9,10)이 제공되며, 상기 비임의 적어도 한 부분이 자석(16)에 의해 활성화 될 수 있는 강자성재로 구성되고, 비임의 말단부(6)이 접촉 스터드(2)를 향하거나 이로부터 멀어지도록 하여 전기적 접촉을 하거나 떨어지도록 할수 있도록 하는 MMC 접촉기 제조방법에 있어서; a) 절연기부(

   1)상에 각각이 그립핑 금속화층(9a,10a)와 비-산화 가능 금속층(9b,10b)으로 구성된 두개의 분리된 전도지역을 형성시키고; b) 감광성내식막(20)을 침착시키므로써 첫번째 마스크를 형성시키고 이를 구성시키어 전도지역 위에 이들의 마주하는 에지 가까이에 각각 배치되는 적어도 두개의 원도우를 형성하도록 하며, 상기 원도우가 수직벽을 가지도록 하고; c) 전착에 의해 금속을 성장시키어 금속이 감광성내식막 표면과 같은 표면을 이룰때까지 원도우내에 스터드(2,3a,7,8)을 얻도록 전도재를 성장시키며; d) 감광성내식마층(30)을 전착시키므로써 두번째 마스크를 형성시키고 전 두께에 걸쳐 한 단일 스터드(3a)위로 원도우를 구성시키며, 그원도우가 낮은 종횡비, 즉 테이퍼벽을 갖고; e) 감광성내식막층, 벽 그리고 단계 d)에서 형성된 원도우 저부 전표면에서 중간 금속화층(31)을 성장시키며; f) 두꺼운 감광성내식막층

   (40)을 전착시키므로써 세번째 마스크를 형성시키고, 전도지역(9,10)과 마주하는 에지에 배치되는 스터드(2,3a)의 가장 멀리 있는 에지들 사이에서 연장되는 한 채널(45)를 구성시키며; g) 전착에 의해 강자성재(14)를 성장시키며 비임을 형성하도록 하고, 이 같은 단계가 접촉을 개선시키기 위해 비 자석재(13)의 얇은 두께를 전착시키므로써 처리되며; h) 압축재의 전착에 의해 성장시키고; i) 하나 또는 둘이상의 단계로 화학적 및 기계적 또는 단지 화학적으로 감광성내식막층 및 중간 금속화층을 제거하도록 하는 연속적인 단계를 포함함을 특징으로 하는 MMC 접촉기 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 강자성재(14)가 각각 20/80비의 철-니켈 합금임을 특징으로 하는 MMC 접촉기 제조방법.
3. 제1항에 있어서, 압축재(15)가 크롬임을 특징으로 하는 MMC 접촉기 제조방법.
4. 제1항에 있어서, 접촉을 개선시킬 수 있는 재료가 금(gold)임을 특징으로 하는 MMC 접촉기 제조방법.
5. 제1항에 따른 방법 중 단계 a)-g)와i)를 수행하므로써 얻어지는 자석 마이크로 접촉기에 있어서, 자장이 부재시에 단계i)에 의해 마스크를 제거한 뒤에 비임(5)의 말단부(6)과 접촉 스터드(2) 사이에 자유공간이 존재함을 특징으로 하는 자석 마이크로 접촉기.
6. 제1항에 따른 방법 중 단계 a)-i)를 수행하므로써 얻어지는 자석 마이크로 접촉기에 있어서, 자장이 존재하지 않는 때에 비임(5)의 말단부(6)이 단계 i)에 의해 마스크(20,30,40)을 제거한 뒤에 접촉 스터드(2)와 접촉함을 특징으로 하는 자석 마이크로 접촉기.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.