KR950033389A - 세라믹 히터 및 그의 제조방법 - Google Patents

Abstract

전기 절연 세라믹 재료, 예를 들어, 용융 실리카 글래스로 만들어지는 평탄한 기판 플레이트와 전기 히터 요소 페턴으로 기판 플레이트의 일면에 형성된 전기 전도성 재료층을 포함하며, 소자의 기판으로서 반도체 실리콘 웨이퍼 또는 글래스 플레이트와 같은 소재를 가열하기 위한 반도체 장치와 액정 표시 패널과 같은 다양한 전자 장치의 제조 공정에서 사용되는 세라믹 히터에 있어서 개선된 방법을 제안하였다. 종래의 세라믹 히터 와는 달리, 특정한 표면 조도를 갖기 위하여 히터층의 형성전에, 히터층이 형성되는 절연 기판 플레이트 표면들 층의 일면에 표면 조도 처리, 예를 들어, 모래 분사 처리를 하여 열이 히터층에서 발생되고, 열선이 불규칙하게 산란됨에 따라 타표면으로 전달되어서 가열하에 있는 소재에서의 온도 분포의 균일성을 대단히 향상시킨다.

Description

세라믹 히터 및 그의 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 소재가 장착된 본 발명의 세라믹 히터의 수직 단면도.

Claims (8)

1. (a) 반대로 향하는 평탄한 두 표면을 갖고, 전기 절연 세라믹 재료로 이루어지며 상기 반대로 향하는 평탄한 두 표면들 중의 하나가 2㎛∼200㎛의 범위의 표면 조도 Rmax를 갖는 기판 플레이트; 그리고 (b)전기 히터 요소의 패턴으로 2㎛∼200㎛의 범위의 표면조도 Rmax를 갖는 기판 플레이트의 표면상에 직접 접촉하여 형성된 전기 전도성 열저항 재료로 이루어진 층을 일체로서 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.
2. 제1항에 있어서, 상기 전기 절연 세라믹 재료가 용융 실리카 글래스인 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.
3. 제1항에 있어서, 상기 기판 플레이트의 반대로 향하는 평탄한 두 표면들 중의 하나가 50㎛∼170㎛의 범위의 표면 조도 Rmax를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.
4. 제3항에 있어서, 상기 기판 플레이트의 반대로 향하는 평탄한 두 표면들 중의 하나가 100㎛∼150㎛의 범위의 표면 조도 Rmax를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.
5. 전기 절연 세라믹 재료로 이어지고, 반대로 향하는 평탄한 두 표면을 갖는 기판 플레이트의 일면에 전기 히터 요소의 패턴으로 전기 전도성 열저항 재료층을 형성하는 단계를 포함하는 세라믹 히터의 제조 방법에 있어서, 반대로 향하는 평탄한 두 표면들중의 일표면에 상기 전기 전도층을 형성하기전에, 전기 전도층이 형성되는 기판 플레이트의 표면을 표면 조도 조절 처리함으로써 표면이 2㎛∼200㎛의 범위의 표면 조도 Rmax를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 제조방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 표면 조도 조절 처리가 모래 분사법에 의해서 행해지는 것을 특징으로 하는 방법.
7. 제5항에 있어서, 상기 표면 조도 조절 처리후의 표면이 50㎛∼170㎛의 범위의 표면 조도 Rmax를 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 표면 조도 조절 처리후의 표면이 100㎛∼150㎛ 의 범위의 표면 조도 Rmax를 갖는 것을 특징으로 하는 방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.