KR940007215A - 마이크로파가 강화된 스퍼터링 장치 - Google Patents

마이크로파가 강화된 스퍼터링 장치 Download PDF

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롤란트 게쉐
루돌프 라츠
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페터 좀머캄프, 에릭투테
라이볼트 악티엔게젤샤프트
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Abstract

본 발명은 마이크로파가 강화된 스퍼터링 장치에 관한 것이다. 이 스퍼터링 장치에서 마그네트론 음극은 그 타겟이 기판의 반대편에 놓여진 하우징 안에 배치되어 있다. 타켓의 양쪽에는 각 경우에 공동 공진기로 결합된 도파관으로 구성되는 마이크로파 흡입구가 마련되어 있다. 이 도파관은 마이크로파가 타켓 표면에 평행하여 연장되도록 설치된다. 타켓 주위로 첫번째 자장을 발생시키는 첫번째 자석 코일이 고리 형상을 이루고, 그 반면 도파관의 L-형 말단부 주위에는 두번째 자석 코일이 고리 모양으로 감겨져 있다.

Description

마이크로파가 강화된 스퍼터링 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 마그네트론 음극과 마이크로파 조사를 포함하는 플라즈마 챔버를 도시한 도면,
제2도는 제1도의 마이크로파가 조사되는 영역을 도시한 투시도,
제3도는 본 발명에 의한 T E10공동 공진기의 슬릿을 도시한 도면이다.

Claims (9)

  1. 진공 채버(1); 전원 장치(6)에 접속된 전극(8)에 연결외어 이 진공 챔버(1)안에 위치한 타켓(7); 자장(31,32)이 타켓(7)으로부터 나오고 다시 타켓 속으로 들어가는자석(14,15,16); 타켓(7)의 영역 속으로 향하는 마이크로파(50)로 구성되는 마이크로파가 강화된 스프터링 장치에 있어서, 타켓(7)의 주위에 위치한 전자석(21,22)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강화된 스프터링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 서로 다른 것과 일정한 거리에 배치되어 있으며 거기로부터 타켓(7) 앞쪽의 챔버안에 도달하는 두개의 공동 공진기(25,26)속으로 마이크로파(50)가 공급되어 지는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강화된 스프터링 장치.
  3. 제1항에 있어서, 첫번째 도파관(25)과 두번째 도파관(17)이 마련되어 양쪽 도파관 사이에서 마이크로파가 투과할수 있는 창유리(29)가 배치도어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강화된 스프터링 장치.
  4. 제1항에 있어서, 자석 장치는 요크(13)와 더불어 서로 다른 것과 연결된 세개의 개별적인 자석들(14,15,16)로 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강화된 스프터링 장치.
  5. 제1항에 있어서, 자석 장치(14∼16)와 요크(13)는 전위에 연결된 음극전조(8)내에 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강화된 스프터링 장치.
  6. 제5항에 있어서, 음극 전조(8)는 진공 챔버(1)의 하우징(2)에 절연체(9,10)를 경유하여 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강화된 스퍼터링 장치.
  7. 제3항에 있어서, 두번째 도파관(17,18)은 그 종단부에 돌기부(19,20)를 포함하고 그 주위에 두번째 전자석(41)이 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강화된 스퍼터링장치.
  8. 제3항에 있어서, 마이크로파(50)는 첫번째 도파관(25)으로 부터 슬릿(34,35)을 통하여 두번째 도파관(17) 속으로 통과하는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강회된 스퍼터링 장치.
  9. 제8항에 있어서, 슬릿(34,35)의 중앙은 다른 슬릿으로부터 λ/2(λ는 마이크로파의 파장)의 거리에 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파가 강화된 스퍼터링 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930017228A 1992-09-10 1993-08-31 마이크로파가 강화된 스퍼터링 장치 KR940007215A (ko)

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