KR940003058A - Am-lcd의 구조 및 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 AM-LCD의 구조 및 제조방법에 관한 것으로, 종래의 AM-LCD에 있어서의 화학기상 증착법으로 절연기관의 스트레스를 해소하기 위해 베이스 코팅을 하는데, 이 공정은 효율이 작고 장비가 고가이어서, 공정에 어려움이 있고, 화소전극에 대항한 스토리지 커패시터 전극을 게이트 전극과 같이 만들어 게이트 절연막층만을 사이에 두어 커패시터를 형성함으로 해서 게이트 절연막의 불량에 의해 화소가 동작하지 않을수 있을 뿐만 아니라, 스토리지 커패시터 버스라인과 데이터 버스라인의 교차부분에 단차가 발생하여 단선될 수 있는 등의 문제점을 개선하기 위한 것이다.
이와같은 본 발명은 절연기판위에 스토리지 커패시터 공통전극용 투명 도전막을 전면에 증착하고 그위에 양극산화 절연막과 게이트 절연막을 증착하여 2구조의 커패시터 유전층을 형성하였다.
따라서 데이타 버스 라인과 커패시터 버스 라인 교차부분의 단차가 없고, 개구율이 향상되었다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 AM-LCD의 구조단면도.
제5도는 본 발명의 AM-LCD 한 화소의 레이아웃도.
제6도는 제5도의 A-A'선상 및 B-B'선상의 구조단면도.
Claims (2)
- 절연기판과, 절연기판상에 형성되는 스토리지 커패시터 공통전극과, 스토리지 커패시터 공통 전극 상측에 형성되는 게이트 전극과, 상기 스토리지 커패시터 공통 전극상에서 상기 게이트 전극을 감싸도록 형성되는 양극 산화 절연막과, 양극산화 절연막상에 형성되는 게이트 절연막과, 박막 트랜지스터 영역의 상기 게이트 절연막상에 형성되는 반도체층과, 화소영역의 게이트 절연막상에 형성되는 화소전극과, 상기 반도체층 양측 상측에 형성되는 소오스/드레인전극과 소오스/드레인전극과 반도체층 사이에 형성되는 불순물 주입된 반도체층으로 구성됨을 특징으로 하는 AM-LCD 구조.
- 절연기판상에 스토리지 커패시터 전극용 투명도전막을 증착하는 공정과, 투명도전막위에 양극 산화용 금속층을 증착하고 양극 산화하여 양극 산화 절연막을 형성하는 공정과, 양극 산화 절연막상의 소정 부위에 게이트전극을 패터닝하고 표면 부위를 양극산화하여 양극 산화절연막을 형성하는 공정과, 양극 산화절연막위에 게이트 절연막과 반도체층, 불순물 주입된 반도체층을 차례로 형성하는 공정과, 상기 반도체층과 불순물 주입된 반도체 층의 불필요한 부분을 제거하는 공정과, 상기 게이트 절연막위의 화소영역에 화소전극을 형성하는 공정과, 상기 게이트 절연막과 양극 산화절연막 소정의 부위에 콘택홀을 형성하는 공정과 투명도전막에 공통 전압을 판넬 외곽 부분에서 인가할 수 있도록 소오스/드레인 물질을 증착하고 패터닝하여 공통전압을 인가할 전극과 소오스/드레인 전극을 형성하는 공정과, 전면에 보호막을 형성하는 공정으로 이루어짐을 특징으로 하는 AM-LCD 제조방법.※ 참고사항：최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920012234A KR940003058A (ko) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | Am-lcd의 구조 및 제조방법 |
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| KR1019920012234A KR940003058A (ko) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | Am-lcd의 구조 및 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940003058A true KR940003058A (ko) | 1994-02-19 |
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ID=67147352
Family Applications (1)
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| KR1019920012234A KR940003058A (ko) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | Am-lcd의 구조 및 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940003058A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100635042B1 (ko) * | 2001-12-14 | 2006-10-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전면전극을 구비한 평판표시장치 및 그의 제조방법 |
| KR100696518B1 (ko) * | 2005-05-02 | 2007-03-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판표시장치 |
-
1992
- 1992-07-09 KR KR1019920012234A patent/KR940003058A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100635042B1 (ko) * | 2001-12-14 | 2006-10-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전면전극을 구비한 평판표시장치 및 그의 제조방법 |
| KR100696518B1 (ko) * | 2005-05-02 | 2007-03-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판표시장치 |
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