KR920007123A - 종형 열처리 장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

종형 열처리 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는, 본 발명의 1실시예에 관한 종형 열처리장치 내의 공기 흐름을 나타내는 투시도,
제2도는 상기 종형 열처리장치의 요부를 나타낸 투시도,
제3도는 종형 열처리장치의 클린에어 흐름 형성부를 나타낸 단면도.

Claims (12)

  1. 피처리물을 반입/반출하기 위한 트인구멍부(63A)를 가지는 케이싱체(1a)와, 상기 케이싱체(1a)내에 설치된 열처리로(2)와, 상기 열처리로(1a)의아래쪽에 설치되어, 상기 피처리물을 열처리로(1a)내에 로오드/언로오드 하기 위한 로오드/언로오드 수단과, 상기 케이싱체(1a)내의 상기 로오드/언로오드 수단을 수용하는 공간에 케이싱체(1a)의 한쪽 측면으로 부터 대향하는 반대측면으로 향해서 횡방향으로 흐르는 클린에어 흐름을 형성하는 클린에어 흐름 형성수단으로 구성된 종형 열처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 클린에어 흐름 형성수단은, 상기 케이싱체(1a)의 측면에 설치된 도어(12)와 이 도어(12)에 수용된 송풍팬(13) 및 필터(14)를 구비하고 있는 종형 열처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 클린에어 흐름 형성수단은, 상기 필터(14)의 에어송출쪽에 설치되어, 상기 필터(14)보다 넓은 면적을 가지고, 에어 흐름을 상기 공간에 거의 균일하게 확산시켜서 송출하는 균압판(84)을 가지고 있는 종형 열처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 클린에어 흐름 형성수단은, 상기 케이싱체(1a)의 한쪽 측면에 설치된 클린에어 송출부와, 이 클린에어 송출부에 대향하는 반대측면에 설치된 측면덕트와, 클린에어 송출부 및 측면덕트(56)를 연결하는 바닥부 덕트(46)를 구비하여, 상기 클린에서 송출부는, 상기 케이싱체(1a)의 외부로 부터 에러를 받아넣는 수단을 가지며, 그 결과로서 받아 넣은 에어는 상기 클린에어 송출부로 부터 송출되고, 송출된 에어는 상기 측면덕트(56)와 상기 바닥부 덕트(46)를 통하여 클린에어 송출부에 되돌아가서 순환되는 종형 열처리장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 측면 덕트(56)는, 외부로부터 받아넣은 상기 에어와 같은 량의 에어를 케이싱체(1a)의 외부에 배출되는 배출수단을 가지고 있는 종형 열처리장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 바닥부 덕트(46)는, 상기 케이싱체(1a)의 바닥면과, 이 바닥면으로부터 떨어져서 배치된 바닥판(66)으로 형성되어 있는 종형 열처리장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 바닥판(66)은, 상기 로오드/언로오드 수단이 언로오드 상태일때에 그것을 수용하는 오목부를 가지고 있는 종형열처리장치.
  8. 장치본체와, 상기 장치본체의 측면에 설치된 클린에어 송출부와, 상기 클린에어 송출부에 대향하는 반대측면에 설치된 측면덕트(56)와, 상기 클린에어 송출부 및 상기 측면덕트(56)를 연결하는 바닥부 덕트(46)를 구비하는 것을 포함하는 클린에어장치와, 상기 클린에어 송출부는, 상기 장치본체의 외부로부터 에어를 받아 넣는 수단을 가지며, 그에 의하여 받아 넣은 에어는 상기 클린에어 송출부로 부터 송출되고, 송출된 에어는 상기 측면덕트(56)와 상기 바닥부 덕트(46)를 통하여 클린에어 송출부로 되돌아가서 순환하도록 구성오된 클린에어장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 측면덕트(56)는, 외부로 부터 받아넣은 상기 에어와 같은 량의 에어를 장치본체의 외부에 배출되는 배출수단을 가지고 있는 클린에어장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 바닥부 덕트(46)는, 상기 장치본체의 바닥면과, 이 바닥면으로부터 이간 배치된 바닥판(66)으로 형성되어 있는 클린 에어장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 바닥판(66)은, 상기 로오드/언로오드 수단이 언로오드 상태일때에, 그것을 수용하는 오목부를 가지고 있는 종형열처리장치.
  12. 웨이퍼 처리장치와, 상기 웨이퍼 처리장치에 반입해야할 웨이퍼를 수납하는 캐리어와, 상기 웨이퍼 처리장치 내에서 상기 웨이퍼를 지시하는 웨이퍼 보우트(3)와, 상기 캐리어와 웨이퍼 보우트(3)와의 사이에서 웨이퍼를 옮겨 싣도록 하는 실어서 이송하는 공간(80)과, 상기 실어서 이송하는 공간(80)에 에어흐름을 형성하는 송풍수단과, 상기 실어서 이송하는 공간(80)의 적어도 한쪽 측면에 설치된 도어(12), 이 도어(12)는 상기 송풍수단으로 보내지는 에어 흐름을 청정화하는 필터(14)를 가지고 있으며, 상기 도어(12)의에어 송출쪽에 설치되고, 상기 필터(14)보다 넓은 면적을 가지고, 에어흐름을 상기 옮겨 싣는 공간(80)으로 거의 균일하게 확산시켜서 송출하는 균압판(84)을 포함하는 웨이퍼를 실어서 이송하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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