CN104634087A - 一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置 - Google Patents

一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104634087A
CN104634087A CN201310553853.3A CN201310553853A CN104634087A CN 104634087 A CN104634087 A CN 104634087A CN 201310553853 A CN201310553853 A CN 201310553853A CN 104634087 A CN104634087 A CN 104634087A
Authority
CN
China
Prior art keywords
nitrogen
knife nozzle
air knife
wafer
supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201310553853.3A
Other languages
English (en)
Inventor
张杨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenyang Solidtool Co Ltd
Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd filed Critical Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority to CN201310553853.3A priority Critical patent/CN104634087A/zh
Publication of CN104634087A publication Critical patent/CN104634087A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明属于单片清洗工艺的技术领域，具体地说是一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置。包括风刀喷嘴、氮气加热装置和氮气供应***，所述风刀喷嘴通过供气管路与氮气供应***连接，所述氮气加热装置设置于风刀喷嘴和氮气供应***之间的供气管路上；由所述氮气供应***供应的氮气经过氮气加热装置加热、并由所述风刀喷嘴形成热风幕吹扫晶圆的表面，实现晶圆的快速干燥。本发明可以降低甩干时对电机转速的要求，由于自身的风刀喷嘴效果，又可以极大限度地节省氮气。

Description

一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置
技术领域
本发明属于单片清洗工艺的技术领域，具体地说是一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置。
背景技术
目前，在单片清洗工艺中，会应用到大量液体，如清洗剂、丙酮、去离子水等。清洗后的晶圆需要通过自身的高速旋转和氮气吹扫进行干燥。常用的氮气吹扫方式是采用柱状喷嘴，沿晶圆的半径进行扫描，以到达吹干的目的。常用的柱状喷嘴吹干方式，如图1所示，晶圆2在驱动装置的作用下进行高速的旋转运动，由旋转产生的离心力和柱状喷嘴吹出的氮气共同作用，使晶圆干燥。为了加快晶圆的干燥速度，柱状喷嘴通常采用扫描的方式进行吹干。如图2所示，喷嘴在运动机构的驱动下沿扫描轨迹3进行运动。此种方式对晶圆旋转速度、喷嘴口径、氮气流量都有要求，且需要较长的工艺时间来完成。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的在于提供一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置。本发明应用风刀喷嘴，将加热氮气形成热风幕吹扫在晶圆表面，配合晶圆自身的高速旋转，实现快速干燥晶圆的功能。该装置具有结构简单、利于实现的优点。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置，包括风刀喷嘴、氮气加热装置和氮气供应***，所述风刀喷嘴通过供气管路与氮气供应***连接，所述氮气加热装置设置于风刀喷嘴和氮气供应***之间的供气管路上；由所述氮气供应***供应的氮气经过氮气加热装置加热、并由所述风刀喷嘴形成热风幕吹扫晶圆的表面，实现晶圆的快速干燥。
所述风刀喷嘴的喷口为直线型喷口。所述风刀喷嘴的长度要大于晶圆的直径，并且晶圆完全处于风刀喷嘴所形成的热风幕的范围内。
所述氮气供应***包括依次通过供气管路连接的氮气源头、减压阀、及通断阀，其中通断阀与所述氮气加热装置连接。所述供气管路上设有流量计。
所述风刀喷嘴安装在可移动手臂上，在吹干工艺时，所述风刀喷嘴通过可移动手臂移动到晶圆的上方。所述晶圆以1000r/min的速度旋转，以实现快速干燥。
本发明的优点及有益效果是：
1.本发明具有结构简单、利于实现的优点。
2.本发明与常用的柱状喷嘴相比，既可以省略掉扫描吹干的步骤，又可以缩短工艺时间。
3.本发明节省了氮气用量。
4.本发明采用的是热风幕吹干的方式，风幕宽度大于晶圆直径，只需晶圆进行旋转，即可快速的实现晶圆表面干燥效果。
附图说明
图1为常用柱状喷嘴吹干方式示意图；
图2为常用柱状喷嘴的运动轨迹示意图；
图3为本发明的工作示意图；
图4为本发明的氮气供应***的原理图。
其中：1为柱状喷嘴，2为晶圆，3为柱状喷嘴的扫描轨迹，4为风刀喷嘴，5为热风幕，6为氮气源头，7为减压阀，8为流量计，9为通断阀，10为氮气加热装置。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。
如图3所示，本发明包括风刀喷嘴4、氮气加热装置10和氮气供应***，所述风刀喷嘴4通过供气管路与氮气供应***连接，所述氮气加热装置10设置于风刀喷嘴4和氮气供应***之间的供气管路上，氮气加热装置10要尽量接近风刀喷嘴4，以确保加热效果良好。由所述氮气供应***供应的氮气经过氮气加热装置10加热、并由所述风刀喷嘴4形成热风幕5吹扫晶圆2的表面。所述风刀喷嘴4的喷口为直线型喷口，所述风刀喷嘴4的长度要大于晶圆2的直径，并且晶圆2完全处于风刀喷嘴4所形成的热风幕5的范围内，实现晶圆2的快速干燥。
如图4所示，所述氮气供应***包括依次通过供气管路连接的氮气源头6、减压阀7、流量计8及通断阀9，其中通断阀9与氮气加热装置10连接，氮气源头6是由厂务***提供的高纯氮气。经过减压阀7，可以设定氮气的所需压力，流量计8用来设定氮气的用量，如10L/min。通断阀9是用来控制氮气的通断，加热装置10用来给氮气加热。工作时，需先设定好减压阀7、流量计8、加热装置10。完成设定后，使用通断阀9来控制氮气的开关。
所述风刀喷嘴4安装在可移动手臂上，在吹干工艺时，所述风刀喷嘴4通过可移动手臂移动到晶圆2的上方，所述晶圆2以1000r/min的速度旋转，以实现快速干燥。
本发明的工作过程是：
完成清洗工艺后，风刀喷嘴4移动到晶圆2的正上方，打开通断阀9，风刀喷嘴4喷出氮气热风幕5作用在晶圆2的表面。晶圆2旋转，配合离心力甩干液体，热风幕5加速残余水分的蒸发，达到快速干燥的目的。
本实施例中风刀喷嘴4为市购产品，其型号为3/8F SLNH-H160x0.1PVC，购置于雾的池内公司。

Claims (7)

1.一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置，其特征在于：包括风刀喷嘴(4)、氮气加热装置(10)和氮气供应***，所述风刀喷嘴(4)通过供气管路与氮气供应***连接，所述氮气加热装置(10)设置于风刀喷嘴(4)和氮气供应***之间的供气管路上；由所述氮气供应***供应的氮气经过氮气加热装置(10)加热、并由所述风刀喷嘴(4)形成热风幕(5)吹扫晶圆(2)的表面，实现晶圆(2)的快速干燥。
2.按权利要求1所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置，其特征在于：所述风刀喷嘴(4)的喷口为直线型喷口。
3.按权利要求2所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置，其特征在于：所述风刀喷嘴(4)的长度要大于晶圆(2)的直径，并且晶圆(2)完全处于风刀喷嘴(4)所形成的热风幕(5)的范围内。
4.按照权利要求1所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置，其特征在于：所述氮气供应***包括依次通过供气管路连接的氮气源头(6)、减压阀(7)、及通断阀(9)，其中通断阀(9)与所述氮气加热装置(10)连接。
5.按照权利要求4所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置，其特征在于：所述供气管路上设有流量计(8)。
6.按照权利要求1-4任一项所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置，其特征在于：所述风刀喷嘴(4)安装在可移动手臂上，在吹干工艺时，所述风刀喷嘴(4)通过可移动手臂移动到晶圆(2)的上方。
7.按照权利要求1所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置，其特征在于：所述晶圆(2)以1000r/mi n的速度旋转，以实现快速干燥。
CN201310553853.3A 2013-11-07 2013-11-07 一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置 Pending CN104634087A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310553853.3A CN104634087A (zh) 2013-11-07 2013-11-07 一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310553853.3A CN104634087A (zh) 2013-11-07 2013-11-07 一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104634087A true CN104634087A (zh) 2015-05-20

Family

ID=53213115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310553853.3A Pending CN104634087A (zh) 2013-11-07 2013-11-07 一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104634087A (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109427550A (zh) * 2017-08-31 2019-03-05 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种增粘单元hmds吹扫结构
CN111457692A (zh) * 2019-01-18 2020-07-28 弘塑科技股份有限公司 批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置
CN111725090A (zh) * 2019-03-20 2020-09-29 长鑫存储技术有限公司 半导体生产设备及晶圆背面清洁方法
CN112053938A (zh) * 2020-07-07 2020-12-08 北京华卓精科科技股份有限公司 一种晶圆键合方法
CN112509943A (zh) * 2020-11-10 2021-03-16 芯米(厦门)半导体设备有限公司 晶圆表面干燥吹扫设备

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5261167A (en) * 1990-09-27 1993-11-16 Tokyo Electron Sagami Limited Vertical heat treating apparatus
JPH11195635A (ja) * 1998-01-05 1999-07-21 Rohm Co Ltd 半導体ウエハーの洗浄・乾燥装置
CN101331588A (zh) * 2005-12-15 2008-12-24 东京毅力科创株式会社 涂敷设备和涂敷方法
CN102148133A (zh) * 2010-12-06 2011-08-10 北京七星华创电子股份有限公司 单晶圆干燥装置及方法
CN201935527U (zh) * 2010-12-08 2011-08-17 北京有色金属研究总院 一种用于硅片清洗后的快速干燥装置
CN202041055U (zh) * 2011-03-14 2011-11-16 无锡康力电子有限公司 超薄玻璃清洗后的干燥装置
CN202307832U (zh) * 2011-10-29 2012-07-04 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 晶圆干燥装置
KR20120133776A (ko) * 2011-06-01 2012-12-11 도광회 기판의 이물질 제거장치
CN103047839A (zh) * 2012-12-17 2013-04-17 上海集成电路研发中心有限公司 一种半导体硅片干燥装置及干燥方法
CN203013687U (zh) * 2012-11-26 2013-06-19 北京七星华创电子股份有限公司 一种晶圆干燥装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5261167A (en) * 1990-09-27 1993-11-16 Tokyo Electron Sagami Limited Vertical heat treating apparatus
JPH11195635A (ja) * 1998-01-05 1999-07-21 Rohm Co Ltd 半導体ウエハーの洗浄・乾燥装置
CN101331588A (zh) * 2005-12-15 2008-12-24 东京毅力科创株式会社 涂敷设备和涂敷方法
CN102148133A (zh) * 2010-12-06 2011-08-10 北京七星华创电子股份有限公司 单晶圆干燥装置及方法
CN201935527U (zh) * 2010-12-08 2011-08-17 北京有色金属研究总院 一种用于硅片清洗后的快速干燥装置
CN202041055U (zh) * 2011-03-14 2011-11-16 无锡康力电子有限公司 超薄玻璃清洗后的干燥装置
KR20120133776A (ko) * 2011-06-01 2012-12-11 도광회 기판의 이물질 제거장치
CN202307832U (zh) * 2011-10-29 2012-07-04 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 晶圆干燥装置
CN203013687U (zh) * 2012-11-26 2013-06-19 北京七星华创电子股份有限公司 一种晶圆干燥装置
CN103047839A (zh) * 2012-12-17 2013-04-17 上海集成电路研发中心有限公司 一种半导体硅片干燥装置及干燥方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109427550A (zh) * 2017-08-31 2019-03-05 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种增粘单元hmds吹扫结构
CN109427550B (zh) * 2017-08-31 2021-04-16 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 一种增粘单元hmds吹扫结构
CN111457692A (zh) * 2019-01-18 2020-07-28 弘塑科技股份有限公司 批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置
CN111457692B (zh) * 2019-01-18 2021-08-24 弘塑科技股份有限公司 批次基板干燥设备及其基板干燥风刀装置
CN111725090A (zh) * 2019-03-20 2020-09-29 长鑫存储技术有限公司 半导体生产设备及晶圆背面清洁方法
CN112053938A (zh) * 2020-07-07 2020-12-08 北京华卓精科科技股份有限公司 一种晶圆键合方法
CN112509943A (zh) * 2020-11-10 2021-03-16 芯米(厦门)半导体设备有限公司 晶圆表面干燥吹扫设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104634087A (zh) 一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置
KR101267922B1 (ko) 폴리싱장치 및 폴리싱방법
CN103506339B (zh) 晶圆背面清洗装置及清洗方法
WO2013035624A1 (ja) 洗浄装置
CN209045505U (zh) 湿法处理设备
CN111312581B (zh) 一种可提升晶圆干燥效率的排气方法
CN104952768A (zh) 基板处理装置
CN105021005A (zh) 一种玻璃表面水渍去除及烘干装置
CN108604546A (zh) 基板处理方法和基板处理装置
CN203695323U (zh) 一种卧式中空玻璃涂胶机
CN207288188U (zh) 玻璃清洗装置
CN202461072U (zh) 洗瓶风干机
CN104511402A (zh) 一种在晶片表面涂布固体熔融物质的旋涂装置
CN103811383B (zh) 晶圆干燥装置及其干燥方法
CN102809275B (zh) 同步运行喷射式瓶腔干燥装置及方法
JP2009088359A (ja) 洗浄乾燥装置及び洗浄乾燥方法
CN111312580A (zh) 一种用于高深宽比图形晶圆的微幅震动方法
JP2017123402A (ja) 洗浄装置
JP2016109364A (ja) 容器内部乾燥装置及び容器内部乾燥方法
KR20070037173A (ko) 식기세척기의 건조장치
CN208510964U (zh) 洗盘机
KR20160116563A (ko) 세정시스템의 관절장치
CN208757284U (zh) 一种脱硫调温塔
CN103700610B (zh) 一种改善晶圆腐蚀均匀性装置及方法
CN203800020U (zh) 一种改善晶圆腐蚀均匀性装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20150520

RJ01 Rejection of invention patent application after publication