CN104634087A - 一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于单片清洗工艺的技术领域,具体地说是一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置。包括风刀喷嘴、氮气加热装置和氮气供应***,所述风刀喷嘴通过供气管路与氮气供应***连接,所述氮气加热装置设置于风刀喷嘴和氮气供应***之间的供气管路上;由所述氮气供应***供应的氮气经过氮气加热装置加热、并由所述风刀喷嘴形成热风幕吹扫晶圆的表面,实现晶圆的快速干燥。本发明可以降低甩干时对电机转速的要求,由于自身的风刀喷嘴效果,又可以极大限度地节省氮气。
Description
技术领域
本发明属于单片清洗工艺的技术领域,具体地说是一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置。
背景技术
目前,在单片清洗工艺中,会应用到大量液体,如清洗剂、丙酮、去离子水等。清洗后的晶圆需要通过自身的高速旋转和氮气吹扫进行干燥。常用的氮气吹扫方式是采用柱状喷嘴,沿晶圆的半径进行扫描,以到达吹干的目的。常用的柱状喷嘴吹干方式,如图1所示,晶圆2在驱动装置的作用下进行高速的旋转运动,由旋转产生的离心力和柱状喷嘴吹出的氮气共同作用,使晶圆干燥。为了加快晶圆的干燥速度,柱状喷嘴通常采用扫描的方式进行吹干。如图2所示,喷嘴在运动机构的驱动下沿扫描轨迹3进行运动。此种方式对晶圆旋转速度、喷嘴口径、氮气流量都有要求,且需要较长的工艺时间来完成。
发明内容
针对上述问题,本发明的目的在于提供一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置。本发明应用风刀喷嘴,将加热氮气形成热风幕吹扫在晶圆表面,配合晶圆自身的高速旋转,实现快速干燥晶圆的功能。该装置具有结构简单、利于实现的优点。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置,包括风刀喷嘴、氮气加热装置和氮气供应***,所述风刀喷嘴通过供气管路与氮气供应***连接,所述氮气加热装置设置于风刀喷嘴和氮气供应***之间的供气管路上;由所述氮气供应***供应的氮气经过氮气加热装置加热、并由所述风刀喷嘴形成热风幕吹扫晶圆的表面,实现晶圆的快速干燥。
所述风刀喷嘴的喷口为直线型喷口。所述风刀喷嘴的长度要大于晶圆的直径,并且晶圆完全处于风刀喷嘴所形成的热风幕的范围内。
所述氮气供应***包括依次通过供气管路连接的氮气源头、减压阀、及通断阀,其中通断阀与所述氮气加热装置连接。所述供气管路上设有流量计。
所述风刀喷嘴安装在可移动手臂上,在吹干工艺时,所述风刀喷嘴通过可移动手臂移动到晶圆的上方。所述晶圆以1000r/min的速度旋转,以实现快速干燥。
本发明的优点及有益效果是:
1.本发明具有结构简单、利于实现的优点。
2.本发明与常用的柱状喷嘴相比,既可以省略掉扫描吹干的步骤,又可以缩短工艺时间。
3.本发明节省了氮气用量。
4.本发明采用的是热风幕吹干的方式,风幕宽度大于晶圆直径,只需晶圆进行旋转,即可快速的实现晶圆表面干燥效果。
附图说明
图1为常用柱状喷嘴吹干方式示意图;
图2为常用柱状喷嘴的运动轨迹示意图;
图3为本发明的工作示意图;
图4为本发明的氮气供应***的原理图。
其中:1为柱状喷嘴,2为晶圆,3为柱状喷嘴的扫描轨迹,4为风刀喷嘴,5为热风幕,6为氮气源头,7为减压阀,8为流量计,9为通断阀,10为氮气加热装置。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。
如图3所示,本发明包括风刀喷嘴4、氮气加热装置10和氮气供应***,所述风刀喷嘴4通过供气管路与氮气供应***连接,所述氮气加热装置10设置于风刀喷嘴4和氮气供应***之间的供气管路上,氮气加热装置10要尽量接近风刀喷嘴4,以确保加热效果良好。由所述氮气供应***供应的氮气经过氮气加热装置10加热、并由所述风刀喷嘴4形成热风幕5吹扫晶圆2的表面。所述风刀喷嘴4的喷口为直线型喷口,所述风刀喷嘴4的长度要大于晶圆2的直径,并且晶圆2完全处于风刀喷嘴4所形成的热风幕5的范围内,实现晶圆2的快速干燥。
如图4所示,所述氮气供应***包括依次通过供气管路连接的氮气源头6、减压阀7、流量计8及通断阀9,其中通断阀9与氮气加热装置10连接,氮气源头6是由厂务***提供的高纯氮气。经过减压阀7,可以设定氮气的所需压力,流量计8用来设定氮气的用量,如10L/min。通断阀9是用来控制氮气的通断,加热装置10用来给氮气加热。工作时,需先设定好减压阀7、流量计8、加热装置10。完成设定后,使用通断阀9来控制氮气的开关。
所述风刀喷嘴4安装在可移动手臂上,在吹干工艺时,所述风刀喷嘴4通过可移动手臂移动到晶圆2的上方,所述晶圆2以1000r/min的速度旋转,以实现快速干燥。
本发明的工作过程是:
完成清洗工艺后,风刀喷嘴4移动到晶圆2的正上方,打开通断阀9,风刀喷嘴4喷出氮气热风幕5作用在晶圆2的表面。晶圆2旋转,配合离心力甩干液体,热风幕5加速残余水分的蒸发,达到快速干燥的目的。
本实施例中风刀喷嘴4为市购产品,其型号为3/8F SLNH-H160x0.1PVC,购置于雾的池内公司。
Claims (7)
1.一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置,其特征在于:包括风刀喷嘴(4)、氮气加热装置(10)和氮气供应***,所述风刀喷嘴(4)通过供气管路与氮气供应***连接,所述氮气加热装置(10)设置于风刀喷嘴(4)和氮气供应***之间的供气管路上;由所述氮气供应***供应的氮气经过氮气加热装置(10)加热、并由所述风刀喷嘴(4)形成热风幕(5)吹扫晶圆(2)的表面,实现晶圆(2)的快速干燥。
2.按权利要求1所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置,其特征在于:所述风刀喷嘴(4)的喷口为直线型喷口。
3.按权利要求2所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置,其特征在于:所述风刀喷嘴(4)的长度要大于晶圆(2)的直径,并且晶圆(2)完全处于风刀喷嘴(4)所形成的热风幕(5)的范围内。
4.按照权利要求1所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置,其特征在于:所述氮气供应***包括依次通过供气管路连接的氮气源头(6)、减压阀(7)、及通断阀(9),其中通断阀(9)与所述氮气加热装置(10)连接。
5.按照权利要求4所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置,其特征在于:所述供气管路上设有流量计(8)。
6.按照权利要求1-4任一项所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置,其特征在于:所述风刀喷嘴(4)安装在可移动手臂上,在吹干工艺时,所述风刀喷嘴(4)通过可移动手臂移动到晶圆(2)的上方。
7.按照权利要求1所述的快速干燥晶圆表面的吹扫装置,其特征在于:所述晶圆(2)以1000r/mi n的速度旋转,以实现快速干燥。
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