KR900005178A - 자기교정형 가속도계 - Google Patents

자기교정형 가속도계 Download PDF

Info

Publication number
KR900005178A
KR900005178A KR1019890012485A KR890012485A KR900005178A KR 900005178 A KR900005178 A KR 900005178A KR 1019890012485 A KR1019890012485 A KR 1019890012485A KR 890012485 A KR890012485 A KR 890012485A KR 900005178 A KR900005178 A KR 900005178A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bridge
voltage
accelerometer
frame
resistance
Prior art date
Application number
KR1019890012485A
Other languages
English (en)
Other versions
KR940008199B1 (ko
Inventor
더블유. 화이트 크레이그
더블유. 베르 레오나르드
이. 뮤저 케빈
Original Assignee
진 에이 테난트
오토모티브 시스템스 라보라토리 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 진 에이 테난트, 오토모티브 시스템스 라보라토리 인코포레이티드 filed Critical 진 에이 테난트
Publication of KR900005178A publication Critical patent/KR900005178A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR940008199B1 publication Critical patent/KR940008199B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P21/00—Testing or calibrating of apparatus or devices covered by the preceding groups
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0802—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
    • G01P15/123—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance by piezo-resistive elements, e.g. semiconductor strain gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

자기교정형 가속도계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 가속도감지기의 제1실시형태를 보인 단면도,
제2도는 기부를 제거하여 본 발명 가속도 감지기의 제1실시형태의 저면을 보인 저단면도,
제3도는 본 발명 가속도 감지기로부터 교정출력신호를 발생하기 위한 전기회로의 회로도.

Claims (27)

  1. 자기 교정형 가속도계에 있어서, 견고한 프레임, 상기 프레임으로부터 연장된 탄성빔, 상기 빔에 의하여 지지되어 상기 프레임에 대한 초기 위치로부터 상기 프레임에 대한 제2위치로 이동되도록 상기 프레임의 가속에 응답하므로서 상기 빔이 편향되게하는 감지체, 상기 빔으 편향에 응답하여 저항값이 변화하는 상기 빔의 저항, 가속에 관계없이 상기 제2위치에 가까운 제3위치로 상기 감지체를 정전기적으로 이동시키기 위한 수단과, 출력신호를 발생하기 위하여 상기 저항의 저항값에 응답하는 전기회로로 구성되고, 상기 출력신호는 상기 정전기변위수단에 의하여 상기 감지체를 상기 제3위치로 이동시켜 교정됨을 특징으로 하는 가속도계.
  2. 청구범위 1항에 있어서, 상기 빔이 반도체 물질로 구성되고 상기 빔의 저항이 상기 반도체물질의 도핑부분으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  3. 청구범위 1항에 있어서, 상기 정전기변위수단이 상기 프레임상의 비자기성 전기적 전도성 물질의 제1층, 상기 프레임의 상기 제1층에 대향된 상기 감지체상의 비자기성 전기적 전도성 물질의 제2층과, 상기 제1 및 제2층에 다른 전하를 대전시키기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  4. 청구범위 3항에 있어서, 상기 제1 및 제2층에 다른 전하를 대전시키기 위한 상기 수단이 상기 층을 가로질러 전환가능하게 연결된 전압원으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  5. 청구범위 1항에 있어서, 상기 프레임에 대하여 상기 감지체의 변위랴을 제한하기 위한 정지수단을 포함함을 특징으로 하는 가속도계.
  6. 청구범위 5항에 있어서, 상기 정지수단이 상기 감지체와 결합가능하게 상기 프레임으로부터 돌출된 다수의 돌출부로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  7. 청구범위 1항에 있어서, 상기 감지체를 지지하기 위하여 상기 프레임으로부터 연장된 제2탄성 빔을 포함하고, 상기 빔이 상기 감지체를 지지하기 위한 직경방향 지지체를 제공함을 특징으로 하는 가속도계.
  8. 청구범위 1항에 있어서, 상기 감지체의 변위를 완충시키기 위한 가스댐핑수단을 포함함을 특징으로하는 가속도계.
  9. 청구범위 1항에 있어서, 상기 전기회로가 한 쌍의 입력단자와 적어도 하나가 빔 저항으로 구성되는 4개의 지선을 형성하는 한 쌍의 출력단자를 갖는 휘트스톤 브릿지, 상기 브릿지의 입력단자를 가로질러 전압을 인가하는 수단과, 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압을 측정하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  10. 청구범위 9항에 있어서, 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압을 측정하기 위한 수단이 전압을 판독하기 위하여 각 출력단자에 연결된 수단을 갖는 마이크로프로세서로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  11. 청구범위 10항에 있어서, 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압을 판독하기 위한 상기 프로세서의 상기 수단이 차동증폭기에 의하여 출력단자에 연결된 상기 마이크로프로세서의 아날로그-디지탈 변환기 포트로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  12. 청구범위 10항에 있어서, 상기 브릿지의 상기 지선중 적어도 하나가 가변저항값을 갖는 제1저항으로 구성되고, 상기 제1저항의 저항값이 상기 마이크로프로세서에 의하여 제어됨을 특징으로 하는 가속도계.
  13. 청구범위 10항에 있어서, 상기 제1저항이 상기 브릿지의 상기 지선을 형성하는 단자사이에서 빔 저항과 직렬로 배치됨을 특징으로 하는 가속도계.
  14. 청구범위 12항에 있어서, 가변저항값을 갖는 상기 제1저항이 고정저항값의 제2저항과 역시 고정저항값을 갖는 적어도 하나의 부가적인 저항으로 구성되고, 상기 각 부가적인 저항이 상기 마이크로프로세서에 의하여 작동가능한 동수의 스위치수단에 의하여 상기 제2저항과 병렬이 되게 전환됨을 특징으로 하는 가속도계.
  15. 청구범위 14에 있어서, 상기 제2저항에 병렬이 되고 상기 부가저항의 하나를 전환시키기 위하여 상기 마이크로프로세서에 의해 작동가능한 상기 각 스위치 수단이 트랜지스터로 구성되고, 상기 트랜지스터의 에미터가 상기 브릿지의 단자에 연결되며, 상기 트랜지승터의 콜렉터는 상기 부가적인 저항에 연결되고, 상기 트랜지스터의 베이스는 상기 마이크로프로세서에 연결되며, 상기 부가적인 저항이 상기 마이크로프로세서에 의하여 상기 트랜지스터의 베이스에 전류를 인가할 때에 상기 제2저항과 병렬로 전환가능하게 연결됨을 특징으로 하는 가속도계.
  16. 청구범위 9항에 있어서, 상기 전기회로가 상기 정전기 변위수단을 작동시키기 위한 수단, 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압의 변화를 측정하기 위한 수단과, 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 순간 전압으로부터 유도된 교정출력신호를 발생하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  17. 청구범위 10항에 있어서, 상기 교정출력신호를 발생하기 위한 상기수단이 상기 프레임에 대한 상기 감지수단의 가속에 의한 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러나타난 전압의 변화를 상기 프레임에 대한 상기 감지체의 정전기변위에 의한 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압의 변화와 비교하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  18. 청구범위 16항에 있어서, 상기 교정출력신호를 발생하기 위한 상기 수단이 상기 프레임에 대한 상기 감지체의 가속에 의해 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압의 순간변화를 상기 프레임에 대한 상기 감지체의 정전기 변위에 의한 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압의 변화와 비교하여 상기 감지기의 순간감도를 측정하기 위한 수단과, 상기 순간감도에 의하여 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 순간전압을 교정하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  19. 자기교정형 가속도계에 있어서, 견고한 프레임, 상기 프레임으로부터 연장된 탄성빔, 사이 빔에 의하여 상기 프레임에 대해 지지되고 상기 프레임에 대한 초기위치로부터 상기 프레임에 대한 제2위치를 향하여 상기 프레임의 가속에 의해 이동될 수 있도록 이러한 가속에 응답하며 이에 따라서 상기 빔이 편향되게 하는 감지체, 저항값이 상기 빔의 편향에 응답하여 변화하는 상기 빔의 저항, 출력신호를 발생하기 위하여 상기 빔 저항의 저항값에 응답하는 수단과, 상기 초기위치로부터 알려진 정전기장을 갖는 상기 제2위치에 근접한 제3위치로 상기 감지체를 이동시켜 상기 출력신호를 교정하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  20. 청구범위 19항에 있어서, 상기 제1신호를 발생하기 위하여 상기 빔 저항의 저항값에 응답하는 상기 수단이 한쌍의 입력단자와 적어도 하나가 상기 빔 저항으로 구성되는 4개의 지선을 형성하는 한 쌍의 출력단자를 갖는 휘스트톤 브릿지, 상기 브릿지의 입력단자를 가로질러 전압을 인가하기 위한수단과, 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압을 측정하기 위한 수단으로 구성되고, 상기 출력신호를 교정하기 위한 상기 수단이 상기 정전기장을 발생하도록 작동하는 수단과, 상기 프레임에 대하여 상기 감지체의 가속에 의해 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압의 변화를 상기 프레임에 대하여 상기 감지체의 정전기변위로부터 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압의 변화를 비교하기 위한 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 가속도계.
  21. 청구범위 20항에 있어서, 상기 정전기장이 단일 중력장에 관련하여 교정됨을 특징으로 하는 가속도계.
  22. 청구범위 20항에 있어서, 상기 브릿지의 한 지선의 저항을 변화시키기 위하여 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압에 응답하는 수단을 포함하고, 이로써 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압이 요구된 범위로 유지됨을 특징으로 하는 가속도계.
  23. 자기교정형 가속도계에 있어서, 견고한 프레임, 상기 프레임으로부터 연장된 탄성 빔, 상기 빔에 의하여 상기 프레임에 대해 지지되고 상기 프레임에 대한 제1위치로부터 상기 프레임에 대한 제2위치로 상기 프레임의 가속에 의하여 이동되도록 이러한 가속에 응답하므로서 상기 빔이 편향되게하는 감지체, 저항값이 상기 빔의 편향에 응답하여 변화하는 상기 빔의 저항과, 출력신호를 발생하기 위한 전기회로로 구성되고, 상기 전기 회로는 한 쌍의 입력단자와 적어도 하나가 상기 빔 저항으로 구성되는 4개의 지선을 형성하는 한쌍의 출력단자를 갖는 휘트스톤 브릿지, 상기 브릿지의 입력단자를 가로질러 전압을 인가하기 위한 수단, 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압을 측정하기 위한 수단과, 상기 브릿지의 한 지선의 저항값을 변화시키기 위하여 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 발생된 전압에 응답하는 수단으로 구성되고, 이로써 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압이 요구된 범위로 유지됨을 특징으로 하는 가속도계.
  24. 청구범위 23항에 있어서, 상기 브릿지의 한 지선의 저항값을 변화시키기 위한 상기 수단이 상기 브릿지의 출력단자를 가로질러 나타난 전압을 판독하기 위한 수단을 갖는 마이크로프로세서와, 상기 브릿지의 한 지선의 가변저항값을 갖는 제1항으로 구성되고 상기 제1저항의 저항값이 상기 마이크로프로세서에 의하여 제어됨을 특징으로 하는 가속도계.
  25. 청구범위 24항에 있어서, 상기 제1저항이 상기 브릿지의 상기 지선을 형성하는 다자사이의 빔 저항과 직렬로 배치됨을 특징으로 하는 가속도계.
  26. 청구범위 24항에 있어서, 가변저항값을 갖는 상기 제1저항이 고정저항값을 갖는 제2저항과 역시 고정저항값을 갖는 적어도 하나의 부가적인 저항으로 구성되고, 상기 각 부가적인 저항이 상기 마이크로프로세서에 의하여 작동가능한 동수의 스위치수단에 의해 상기 제2저항과 병렬이 되게 전환됨을 특징으로 하는 가속도계.
  27. 청구범위 26항에 있어서, 상기 부가적인 저항의 하나를 사이 제2저항과 병렬이 되게 전환하기 위하여 상기 마이크로프로세서에 의해 작동가능한 상기 각 스위치 수단이 트랜지스터로 구성되고, 상기 트랜지스터의 에미터가 상기 브릿지의 단자에 연결되며, 상기 트랜지스터의 콜렉터는 상기 부가적인 저항에 연결되고, 상기 트랜지스터의 베이스는 상기 마이크로프로세서에 연결되며, 이로써 상기 부가적인 저항이 상기 마이크로프로세서에 의해 상기 트랜지스터의 베이스에 전류인가시 상기 제2트랜지스터와 병령이되게 전환 가능하게 연결됨을 특징으로 하는 가속도계.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890012485A 1988-09-23 1989-08-31 가속도 감지기 KR940008199B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US24836288A 1988-09-23 1988-09-23
US248,362 1988-09-23

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR900005178A true KR900005178A (ko) 1990-04-13
KR940008199B1 KR940008199B1 (ko) 1994-09-08

Family

ID=22938766

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019890012485A KR940008199B1 (ko) 1988-09-23 1989-08-31 가속도 감지기

Country Status (6)

Country Link
EP (2) EP0368446B1 (ko)
JP (1) JPH0766010B2 (ko)
KR (1) KR940008199B1 (ko)
AU (2) AU624172B2 (ko)
CA (1) CA1330265C (ko)
DE (1) DE68910641T2 (ko)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2681215B2 (ja) * 1989-05-29 1997-11-26 株式会社ワコー 積層基板を用いたセンサの製造方法
JPH03134552A (ja) * 1989-10-20 1991-06-07 Hitachi Ltd 自己較正機能付検出装置
US5295386A (en) 1989-12-28 1994-03-22 Kazuhiro Okada Apparatus for detecting acceleration and method for testing this apparatus
US6864677B1 (en) 1993-12-15 2005-03-08 Kazuhiro Okada Method of testing a sensor
US5412986A (en) * 1990-12-21 1995-05-09 Texas Instruments Incorporated Accelerometer with improved strain gauge sensing means
JPH04258175A (ja) * 1991-02-12 1992-09-14 Mitsubishi Electric Corp シリコン半導体加速度センサの製造方法
WO1992017759A1 (en) * 1991-03-30 1992-10-15 Kazuhiro Okada Method of testing performance of device for measuring physical quantity by using change of distance between electrodes and physical quantity measuring device provided with function of executing this method
US5345822A (en) * 1991-06-28 1994-09-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibratory gyroscope having a support member
JP2737481B2 (ja) * 1991-10-02 1998-04-08 日本電気株式会社 半導体加速度センサー
JP2773495B2 (ja) * 1991-11-18 1998-07-09 株式会社日立製作所 三次元加速度センサ
JPH05215769A (ja) * 1992-02-06 1993-08-24 Nec Corp 半導体加速度センサ
JP2831195B2 (ja) * 1992-03-25 1998-12-02 富士電機株式会社 半導体加速度センサ
GB2266151B (en) * 1992-03-25 1996-09-11 Fuji Electric Co Ltd Semiconductor acceleration sensor
US5665915A (en) * 1992-03-25 1997-09-09 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor capacitive acceleration sensor
FR2694403B1 (fr) * 1992-07-31 1994-10-07 Sagem Accéléromètre pendulaire électrostatique à électrode de test et procédé de fabrication d'un tel accéléromètre.
JP2999088B2 (ja) * 1993-04-28 2000-01-17 株式会社日立製作所 エアバッグシステム
JP2549815B2 (ja) * 1993-06-03 1996-10-30 富士通テン株式会社 半導体加速度センサおよびその試験方法
IT1267374B1 (it) * 1994-01-28 1997-02-05 Marelli Autronica Dispositivo di autotaratura di un sensore a ponte.
JPH08122359A (ja) * 1994-10-21 1996-05-17 Fuji Electric Co Ltd 半導体加速度センサとその製造方法および試験方法
US6084257A (en) * 1995-05-24 2000-07-04 Lucas Novasensor Single crystal silicon sensor with high aspect ratio and curvilinear structures
US6316796B1 (en) 1995-05-24 2001-11-13 Lucas Novasensor Single crystal silicon sensor with high aspect ratio and curvilinear structures
FR2736723B1 (fr) * 1995-07-12 1997-09-19 Sagem Accelerometre pendulaire a actionneur capacitif de test
US5596144A (en) * 1995-08-04 1997-01-21 Delco Electronics Corporation Piezoresistive force rebalance accelerometer
US5721162A (en) * 1995-11-03 1998-02-24 Delco Electronics Corporation All-silicon monolithic motion sensor with integrated conditioning circuit
US5665899A (en) * 1996-02-23 1997-09-09 Rosemount Inc. Pressure sensor diagnostics in a process transmitter
US6347541B1 (en) * 1998-06-29 2002-02-19 Continental Teves, Inc. Two-point calibration of a longitudinal acceleration sensor
JP4367165B2 (ja) * 2004-02-13 2009-11-18 株式会社デンソー 半導体力学量センサの検査方法
DE102004030380B4 (de) * 2004-06-23 2010-07-29 Eads Deutschland Gmbh Mikromechanischer Drucksensor und Verfahren zum Selbsttest eines solchen
ITTO20070335A1 (it) 2007-05-15 2008-11-16 Sequoia It S R L Accelerometro ad ampia banda con autoriconoscimento della calibrazione
DE102007057136A1 (de) * 2007-11-28 2009-06-04 Robert Bosch Gmbh Schaltung für einen mikromechanischen Körperschallsensor und Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Körperschallsensors
WO2015032092A1 (en) * 2013-09-09 2015-03-12 Robert Bosch Gmbh Shock sensor and method for adjusting sensitivity thereof
JP6513519B2 (ja) * 2015-07-17 2019-05-15 株式会社日立製作所 物理量センサ
US11525941B2 (en) 2018-03-28 2022-12-13 Halliburton Energy Services, Inc. In-situ calibration of borehole gravimeters
CN112014596B (zh) * 2019-05-30 2022-10-28 武汉杰开科技有限公司 加速度计及其制作方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3120622A (en) * 1960-03-29 1964-02-04 Gulton Ind Inc Self-calibrating accelerometer
FR2421385A1 (fr) * 1978-03-29 1979-10-26 Singer Co Accelerometre electrostatique
CH642573A5 (de) * 1979-09-24 1984-04-30 Gw Maschinen Ag Verfahren und vorrichtung zum ueberpruefen von banderolierten koerpern.
US4611304A (en) * 1983-07-27 1986-09-09 Sundstrand Data Control, Inc. Transducer memory circuit
EP0261555B1 (en) * 1986-09-22 1992-07-08 Nippondenso Co., Ltd. Semiconductor accelerometer
JPS6385461A (ja) * 1986-09-30 1988-04-15 Aisin Seiki Co Ltd 加速度センサの校正方法と加速度センサ
DE3717677C1 (en) * 1987-05-26 1988-12-22 Bayerische Motoren Werke Ag Method for calibrating acceleration pick-ups (sensors), and device for carrying out the method
US4827091A (en) * 1988-09-23 1989-05-02 Automotive Systems Laboratory, Inc. Magnetically-damped, testable accelerometer

Also Published As

Publication number Publication date
CA1330265C (en) 1994-06-21
DE68910641D1 (de) 1993-12-16
DE68910641T2 (de) 1994-04-28
EP0542719A3 (en) 1993-06-02
KR940008199B1 (ko) 1994-09-08
JPH02116755A (ja) 1990-05-01
JPH0766010B2 (ja) 1995-07-19
EP0368446A2 (en) 1990-05-16
AU4017189A (en) 1990-03-29
AU644547B2 (en) 1993-12-09
AU2977492A (en) 1993-02-18
AU624172B2 (en) 1992-06-04
EP0368446B1 (en) 1993-11-10
EP0368446A3 (en) 1990-10-31
EP0542719A2 (en) 1993-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR900005178A (ko) 자기교정형 가속도계
EP0103360B1 (en) Capacitive load cell
JP3498318B2 (ja) 容量検出システム及び方法
US5194819A (en) Linearized capacitance sensor system
US5511420A (en) Electric field attraction minimization circuit
US5060504A (en) Self-calibrating accelerometer
US3986109A (en) Self-calibrating dimension gauge
JP2936286B2 (ja) 精密容量性トランスデューサ回路と方法
US5051937A (en) Low cost high precision sensor
US4982351A (en) Low cost high precision sensor
GB1575167A (en) Capacitance-to-voltage transformation circuit
CA2575648A1 (en) Linear capacitance measurement and touchless switch
US4951236A (en) Low cost high precision sensor
KR830006999A (ko) 저항성 센서 어레이를 위한 매트릭스 엔코더
US5311140A (en) Circuit for measuring variations in the capacitance of a variable capacitor using a continuously rebalanced detection bridge
US5163325A (en) Self-compensating accelerometer
US6066976A (en) Apparatus and method for improved dynamic range
JP2582160B2 (ja) センサ装置
CA1197994A (en) Capacitor monitoring circuit
EP0245031B1 (en) Low cost high precision sensor
US5287724A (en) Method for calibrating an accelerometer
JP2823539B2 (ja) 位置検出装置
US20050066704A1 (en) Method and device for the electrical zero balancing for a micromechanical component
JP3282360B2 (ja) 容量型センサ
JP4272267B2 (ja) 静電容量型センサ回路

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 19970813

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee