KR20210106889A - 가공 장치 - Google Patents

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KR20210106889A
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wafer
cassette
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노부유키 후쿠시
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 가공 장치의 풀 오토 동작에 있어서의 일부의 동작과 그 동작의 결과를, 신속하게 확인할 수 있는 가공 장치를 제공한다.
(해결 수단) 가공 장치로서, 유지 수단과, 가공 수단과, 로봇 수단과, 임시 배치 수단과, 반입 수단과, 세정 수단과, 반출 수단을 포함하는 복수의 구성요소로부터 2 개 이상의 구성요소를 선택하는 선택 수단과, 복수의 구성요소를 이용하여 풀 오토로 피가공물을 가공할 때에 피가공물이 통과하는 루트 중, 선택 수단에 의해서 선택된 구성요소에 대응하는 루트의 일부에서 피가공물을 처리하는 제어 수단을 포함한다.

Description

가공 장치{Machining Apparatus}
본 발명은, 가공 장치에 관한 것이다.
특허 문헌 1에 개시된 바와 같이, 피가공물을 풀 오토 가공하기 위한 가공 장치는, 예컨대, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 가공 도구를 이용하여 피가공물을 가공하는 가공 수단과, 피가공물을 척 테이블에 반송하는 반입 수단과, 피가공물을 선반형으로 수용하고 있는 카세트를 재치하기 위한 카세트 스테이지와, 피가공물을 세정하는 세정 수단과, 척 테이블에 유지되어 있는 피가공물을 세정 수단에 반송하는 반출 수단과, 가공 장치의 가공 조건의 입력 및 가공 상태의 표시에 이용되는 터치 패널을 적어도 구비하고 있다.
이러한 가공 장치에서는, 풀 오토 동작이 개시되면, 피가공물은, 로봇에 의해서 카세트로부터 취출되어서, 반입 수단에 의해서 척 테이블에 반송된다. 척 테이블에 유지된 피가공물은, 가공 수단에 의해서 가공된다. 그 후, 피가공물은, 반출 수단에 의해서 세정 수단에 운반되어서, 세정 수단에 의해서 세정되고, 로봇에 의해서 카세트에 수납된다.
일본 공개 특허 공보 2018-122421호 공보
그런데, 처음 사용되는 가공 조건에 기초하여 피가공물을 가공할 때에는, 가공 결과를 신속하게 확인하고 싶다고 하는 요구가 있다. 또한, 반입 수단 및 반출 수단의 반송 패드, 또는, 로봇의 로봇 핸드를 교환했을 경우에는, 피가공물을 정상적으로 반송할 수 있는 것을 신속하게 확인하고 싶다고 하는 요구가 있다.
그러나, 일련의 풀 오토 동작을 실시하면, 가공 결과 또는 반송 상황을 확인할 수 있기까지, 시간이 걸린다.
따라서, 본 발명의 목적은, 풀 오토 동작에 있어서의 일부의 동작과 그 동작의 결과를, 신속하게 확인할 수 있는 가공 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 풀 오토로 피가공물을 가공하는 가공 장치로서, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 가공 도구를 이용하여 피가공물을 가공하는 가공 수단과, 복수의 피가공물을 수용하는 선반형의 카세트를 재치하기 위한 카세트 스테이지 수단과, 상기 카세트로부터 피가공물을 꺼내거나, 또는, 피가공물을 상기 카세트에 수납하는 로봇 수단과, 상기 카세트로부터 꺼내진 피가공물을 임시 배치하기 위한 임시 배치 수단과, 상기 임시 배치 수단에 임시 배치된 피가공물을 상기 유지 수단에 반입하는 반입 수단과, 상기 피가공물을 세정하는 세정 수단과, 상기유지 수단에 유지된 피가공물을 상기 세정 수단에 반송하는 반출 수단과, 상기 유지 수단과, 상기 가공 수단과, 상기 로봇 수단과, 상기 임시 배치 수단과, 상기 반입 수단과, 상기 세정 수단과, 상기 반출 수단을 포함한 복수의 구성요소로부터 2 개 이상의 구성요소를 선택하는 선택 수단과, 상기 복수의 구성요소를 이용하여 풀 오토로 피가공물을 가공할 때에 피가공물이 통과하는 루트 중, 상기 선택 수단에 의해서 선택된 구성요소에 대응하는 상기 루트의 일부에서 피가공물을 처리하는 제어 수단을 포함한 가공 장치가 제공된다.
바람직하게는, 상기 복수의 구성요소의 각각 대응하는 복수의 일러스트에 의해서 상기 복수의 구성요소를 위에서 본 배치를 나타내는 배치도를 표시하는 터치 패널을 더 구비하고, 상기 선택 수단은, 상기 터치 패널에 표시된 상기 배치도에 있어서 터치된 일러스트에 대응하는 구성요소를 선택한다.
본 발명의 일 측면에 관련된 가공 장치에서는, 피가공물에 실시되는 처리 중, 작업자에 의해서 선택된 구성요소에 관한 일부의 처리만을, 선택적으로 실시할 수 있다. 즉, 확인하고 싶은 처리만을 실시할 수 있으므로, 작업자에 의한 확인 시간을 단축할 수 있다.
도 1은 가공 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 터치 패널의 표시예를 나타내는 설명도이다.
도 3은 작업자에 의해서 선택된 구성요소가 나타나 있는 배치도의 예를 나타내는 설명도이다.
도 4는 작업자에 의해서 선택된 구성요소가 나타나 있는 배치도의 다른 예를 나타내는 설명도이다.
도 5는 작업자에 의해서 선택된 구성요소가 나타나 있는 배치도의 또 다른 예를 나타내는 설명도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 관해서 상세하게 설명한다. 도 1에 나타내는 가공 장치(1)는, 조(粗) 연삭 수단(30) 및 마무리 연삭 수단(31)을 구비하고, 어느 하나의 척 테이블(5) 상에 유지된 웨이퍼(100)를, 조 연삭 수단(30) 및 마무리 연삭 수단(31)에 의해 연삭한다.
도 1에 나타내는 웨이퍼(100)는, 피가공물의 일례이고, 예컨대, 원형의 반도체 웨이퍼이다. 웨이퍼(100)의 표면(101)에는, 도시하지 않는 디바이스가 형성되어 있다. 웨이퍼(100)의 표면(101)은, 도 1에 있어서는 하방을 향하고 있고, 보호 테이프(105)가 첩착되는 것에 의해서 보호되고 있다. 웨이퍼(100)의 이면(104)은, 연삭 처리가 행해지는 피가공면이 된다.
가공 장치(1)는, 제1 장치 베이스(10)와 제1 장치 베이스(10)의 후방(+Y 방향 측)에 배치된 제2 장치 베이스(11)를 가지고 있다. 제1 장치 베이스(10) 상은, 웨이퍼(100)의 반출입 등이 행해지는 영역인 반출입 영역(401)이 되고 있다. 제2 장치 베이스(11) 상은, 가공 영역(402)이 되고 있다. 이 가공 영역(402)에서는, 조 연삭 수단(30) 또는 마무리 연삭 수단(31)에 의해서, 척 테이블(5)에 유지된 웨이퍼(100)가 가공된다.
제1 장치 베이스(10)의 정면 측(-Y 방향 측)에는, 카세트 스테이지 수단의 일례인 제1 카세트 스테이지(160) 및 제2 카세트 스테이지(162)가 마련되어 있다. 제1 카세트 스테이지(160)에는, 가공 전의 웨이퍼(100)가 수용되는 제1 카세트(언로드 카세트)(161)이 재치되어 있다. 제2 카세트 스테이지(162)에는, 가공 후의 웨이퍼(100)가 수용되는 제2 카세트(로드 카세트)(163)가 재치되어 있다.
제1 카세트(161) 및 제2 카세트(163)는, 내부에 복수의 선반을 구비하고 있고, 각 선반에 한 장씩 웨이퍼(100)가 수용되어 있다. 즉, 제1 카세트(161) 및 제2 카세트(163)는, 복수의 웨이퍼(100)를 수용하는 선반형으로 구성되어 있다.
제1 카세트(161) 및 제2 카세트(163)의 개구(도시하지 않음)는, +Y 방향 측을 향하고 있다. 이러한 개구의 +Y 방향 측에는, 로봇 수단의 일례인 로봇(155)이 배치되어 있다. 로봇(155)은, 웨이퍼(100)를 유지하는 유지면을 구비하고 있다. 로봇(155)은, 가공 후의 웨이퍼(100)를 제2 카세트(163)에 반입(수납)한다. 또한, 로봇(155)은, 제1 카세트(161)로부터 가공 전의 웨이퍼(100)를 취출하여, 임시 배치 수단(152)의 임시 배치 테이블(154)에 재치한다.
임시 배치 수단(152)은, 제1 카세트(161)로부터 꺼내진 웨이퍼(100)를 임시 배치하기 위해서 이용되고, 로봇(155)에 인접하는 위치에 설치되어 있다. 임시 배치 수단(152)은, 임시 배치 테이블(154), 및, 위치 맞춤 수단(153)을 가지고 있다. 위치 맞춤 수단(153)은, 임시 배치 테이블(154)을 둘러싸도록 외측에 배치되는 복수의 위치 맞춤 핀과, 위치 맞춤 핀을 임시 배치 테이블(154)의 직경 방향으로 이동시키는 슬라이더를 구비하고, 위치 맞춤 핀을 임시 배치 테이블(154)의 직경 방향으로 중앙을 향해 이동하는 것에 의해, 복수의 위치 맞춤 핀을 잇는 원이 직경이 축소되고 임시 배치 테이블(154)에 이면(104)을 위로 하여 재치된 웨이퍼(100)를, 미리 정해진 위치에 위치 맞춤(센터링)한다.
임시 배치 수단(152)에 인접하는 위치에는, 반입 수단(170)이 설치되어 있다. 반입 수단(170)은, 임시 배치 수단(152)에 임시 배치된 웨이퍼(100)를, 척 테이블(5)에 반입한다. 반입 수단(170)은, 웨이퍼(100)의 이면(104)을 흡인 유지하는 흡인면을 가지는 흡인 패드(반송 패드)(171)를 구비하고 있다. 반입 수단(170)은, 임시 배치 테이블(154)에 임시 배치된 웨이퍼(100)를 흡인 패드(171)에 의해서 흡인 유지하여, 가공 영역(402) 내에 있어서의 임시 배치 수단(152)의 근방에 위치하고 있는 척 테이블(5)에 반송하고, 그 유지면(50)에 재치한다.
척 테이블(5)은, 웨이퍼(100)를 유지하는 유지 수단의 일례이고, 웨이퍼(100)를 흡인 유지하는 유지면(50)을 구비하고 있다. 유지면(50)은, 도시하지 않는 흡인원에 연통되어서, 보호 테이프(105)를 통해, 웨이퍼(100)를 흡인 유지하는 것이 가능하다. 척 테이블(5)은, 유지면(50)에 의해서 웨이퍼(100)를 흡인 유지한 상태로, 유지면(50)의 중심을 통과하고 Z축 방향으로 연장되는 중심축을 중심으로 하여, 회전 가능하다.
본 실시 형태에서는, 제2 장치 베이스(11) 상에 배치된 턴 테이블(6)의 상면에, 3 개의 척 테이블(5)이, 턴 테이블(6)의 중심을 중심으로 하는 원 상에 등간격으로 배치되어 있다. 턴 테이블(6)의 중심에는, 턴 테이블(6)을 자전시키기 위한 도시하지 않는 회전축이 배치되어 있다. 턴 테이블(6)은, 이 회전축에 의해서, Z축 방향으로 연장되는 축심을 중심으로 자전(自轉)할 수 있다. 턴 테이블(6)이 자전함으로써, 3개의 척 테이블(5)이 공전한다. 이에 따라, 척 테이블(5)을, 임시 배치 수단(152)의 근방, 조 연삭 수단(30)의 하방, 및, 마무리 연삭 수단(31)의 하방에, 순차, 위치시킬 수 있다.
제2 장치 베이스(11) 상의 후방(+Y 방향 측)에는, 제1 칼럼(12)이 입설되어 있다. 제1 칼럼(12)의 전면에는, 웨이퍼(100)를 조 연삭하는 조 연삭 수단(30), 및, 조 연삭 수단(30)을 연삭 이송하는 조 연삭 이송 수단(20)이 배치되어 있다. 조 연삭 수단(30)은, 가공 도구를 이용하여 웨이퍼(100)를 가공하는 가공 수단의 일례이다.
조 연삭 이송 수단(20)은, Z축 방향에 평행한 한 쌍의 가이드 레일(201), 이 가이드 레일(201) 상을 슬라이드하는 승강 테이블(203), 가이드 레일(201)과 평행한 볼 나사(200), 볼 나사(200)를 회전 구동하는 모터(202), 및, 승강 테이블(203)의 전면(표면)에 장착된 홀더(204)를 구비하고 있다. 홀더(204)는, 조 연삭 수단(30)을 유지하고 있다.
승강 테이블(203)은, 가이드 레일(201)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 도시하지 않는 너트부가, 승강 테이블(203)의 후면 측(이면 측)에 고정되어 있다. 이 너트부에는, 볼 나사(200)가 나사 결합되어 있다. 모터(202)는, 볼 나사(200)의 일단부에 연결되어 있다.
조 연삭 이송 수단(20)에서는, 모터(202)가 볼 나사(200)를 회전시키는 것에 의해, 승강 테이블(203)이, 가이드 레일(201)을 따라서, Z축 방향으로 이동한다. 이에 따라, 승강 테이블(203)에 장착된 홀더(204), 및, 홀더(204)에 유지된 조 연삭 수단(30)도, 승강 테이블(203)과 함께 Z축 방향으로 이동한다. 이와 같이 하여, 조 연삭 이송 수단(20)은, 조 연삭 수단(30)을 Z축 방향을 따라서 연삭 이송한다.
조 연삭 수단(30)은, 홀더(204)에 고정된 스핀들 하우징(301), 스핀들 하우징(301)에 회전 가능하게 유지된 스핀들(300), 스핀들(300)을 회전 구동하는 모터(302), 스핀들(300)의 하단에 장착된 휠 마운트(303), 및, 휠 마운트(303)의 하면에 착탈 가능하게 접속된 연삭 휠(304)을 구비하고 있다.
스핀들 하우징(301)은, Z축 방향으로 연장되도록 홀더(204)에 유지되어 있다. 스핀들(300)은, 척 테이블(5)의 유지면(50)과 직교하도록 Z축 방향으로 연장되고, 스핀들 하우징(301)에 회전 가능하게 지지를 받고 있다.
모터(302)는, 스핀들(300)의 상단 측에 연결되어 있다. 이 모터(302)에 의해, 스핀들(300)은, Z축 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전한다.
휠 마운트(303)는, 원판형으로 형성되어 있고, 스핀들(300)의 하단(선단)에 고정되어서, 스핀들(300)의 회전에 따라 회전한다. 휠 마운트(303)는, 연삭 휠(304)을 지지하고 있다.
연삭 휠(304)은, 휠 마운트(303)와 대략 동직경을 가지도록 형성되어 있다. 연삭 휠(304)은, 알루미늄 합금 등의 금속 재료로 형성된 원환 형상의 휠 베이스(환형 베이스)(305)를 포함한다. 휠 베이스(305)의 하면에는, 전체 둘레에 걸쳐서, 대략 직육면체 형상의 복수의 조 연삭 지석(306)이, 환형으로 배치 및 고정되어 있다. 조 연삭 지석(306)은, 스핀들(300)의 회전에 의해 회전되고, 척 테이블(5)에 유지된 웨이퍼(100)의 이면(104)을 연삭한다. 조 연삭 지석(306)은, 가공 도구의 일례이고, 비교적 큰 지립을 포함한 지석이다.
스핀들(300)의 내부에는, Z축 방향에 늘어나는 연삭수 유로가 형성되어 있고, 이 연삭수 유로에 도시하지 않는 연삭수 공급 수단이 연통하고 있다(함께 도시하지 않음). 연삭수 공급 수단으로부터 스핀들(300)에 대해서 공급되는 연삭수는, 연삭수 유로의 하단의 개구로부터 조 연삭 지석(306)을 향해 하방으로 분출하고, 조 연삭 지석(306)과 웨이퍼(100)와의 접촉 부위에 도달한다.
조 연삭 수단(30)의 하방에 배치된 척 테이블(5)에 인접하는 위치에는, 제1 하이트(Height) 게이지(51)가 배치되어 있다. 제1 하이트 게이지(51)는, 예컨대 조 연삭 중에, 웨이퍼(100)의 두께를 접촉식 또는 비접촉식으로 측정한다.
또한, 제2 장치 베이스(11) 상의 후방에는, 제2 칼럼(13)이, X축 방향을 따라서 제1 칼럼(12)에 인접하도록, 입설되어 있다. 제2 칼럼(13)의 전면에는, 웨이퍼(100)를 마무리 연삭하는 마무리 연삭 수단(31), 및, 마무리 연삭 수단(31)을 연삭 이송하는 마무리 연삭 이송 수단(21)이 배치되어 있다. 마무리 연삭 수단(31)은, 가공 도구를 이용하여 웨이퍼(100)를 가공하는 가공 수단의 일례이다.
마무리 연삭 이송 수단(21)은, 조 연삭 이송 수단(20)과 같은 구성을 가지고 있고, 마무리 연삭 수단(31)을 Z축 방향을 따라서 연삭 이송할 수 있다. 마무리 연삭 수단(31)은, 조 연삭 지석(306)에 대신하여, 마무리 연삭 지석(307)을 구비하고 있는 것을 제외하고, 조 연삭 수단(30)과 같은 구성을 가지고 있다. 마무리 연삭 지석(307)은, 가공 도구의 일례이고, 비교적 작은 지립을 포함한 지석이다.
마무리 연삭 수단(31)의 하방에 배치된 척 테이블(5)에 인접하는 위치에는, 제2 하이트 게이지(52)가 배치되어 있다. 제2 하이트 게이지(52)는, 예컨대 마무리 연삭 중에, 웨이퍼(100)의 두께를 접촉식 또는 비접촉식으로 측정한다.
마무리 연삭 후의 웨이퍼(100)는, 반출 수단(172)에 의해서 반출된다. 반출 수단(172)은, 척 테이블(5)에 유지된 웨이퍼(100)를 세정 수단(156)에 반송한다.
반출 수단(172)은, 웨이퍼(100)의 이면(104)을 흡인 유지하는 흡인면을 가지는 흡인 패드(반송 패드)(173)을 구비하고 있다. 반출 수단(172)은, 척 테이블(5)에 재치되어 있는 마무리 연삭 후의 웨이퍼(100)의 이면(104)을, 흡인 패드(173)에 의해서 흡인 유지한다. 그 후, 반출 수단(172)은, 웨이퍼(100)를 척 테이블(5)로부터 반출하여, 매엽식의 세정 수단(156)의 스피너 테이블(157)에 반송한다.
세정 수단(156)은, 웨이퍼(100)를 세정하는 스피너 세정 유닛이다. 세정 수단(156)은, 웨이퍼(100)를 유지하는 스피너 테이블(157), 및, 스피너 테이블(157)을 향해서 세정수 및 건조 에어를 분사하는 노즐(158)을 구비하고 있다.
세정 수단(156)에서는, 웨이퍼(100)를 유지한 스피너 테이블(157)이 회전함과 함께, 웨이퍼(100)의 이면(104)을 향해서 세정수가 분사되어서, 이면(104)이 스피너 세정된다. 그 후, 웨이퍼(100)에 건조 에어가 분무되어서, 웨이퍼(100)가 건조된다.
세정 수단(156)에 의해서 세정된 웨이퍼(100)는, 로봇(155)에 의해, 제2 카세트 스테이지(162) 상의 제2 카세트(163)에 반입된다.
또한, 가공 장치(1)는, 제1 장치 베이스(10) 및 제2 장치 베이스(11)를 덮는 케이스(15)를 구비하고 있다. 케이스(15)의 측면에는, 터치 패널(60)이 설치되어 있다. 터치 패널(60)에는, 가공 장치(1)에 관한 가공 조건 등의 각종 정보가 표시된다. 또한, 터치 패널(60)은, 가공 조건 등의 각종 정보를 설정하기 위해서도 이용된다. 이와 같이, 터치 패널(60)은, 정보를 입력하기 위한 입력 수단으로서 기능함과 함께, 정보를 표시하기 위한 표시 수단으로서도 기능한다.
또한, 가공 장치(1)는, 그 내부에, 제어 수단(70)을 가지고 있다. 제어 수단(70)은, 제어 프로그램에 따라서 연산 처리를 실시하는 CPU, 및, 메모리 등의 기억 매체 등을 구비하고 있다. 제어 수단(70)은, 각종의 처리를 실행하고, 가공 장치(1)의 각 구성요소를 통괄 제어한다. 또한, 제어 수단(70)은, 선택 수단(72)을 구비하고 있다.
이하에, 제어 수단(70) 및 선택 수단(72)의 기능과 함께, 가공 장치(1)의 동작에 대해 설명한다.
본 실시 형태에 관련된 가공 장치(1)에서는, 상술한 복수의 구성요소(수단, 부재)를 이용하여, 풀 오토로 웨이퍼(100)를 가공할 수 있다.
즉, 제어 수단(70)은, 로봇(155)을 이용하여 웨이퍼(100)를 제1 카세트(161)로부터 취출하여 임시 배치 수단(152)에 반송하는 것, 반입 수단(170)을 이용하여 웨이퍼(100)를 척 테이블(5)에 반입하는 것, 조 연삭 수단(30) 및 마무리 연삭 수단(31)을 이용하여 웨이퍼(100)를 연삭 가공하는 것, 반출 수단(172)을 이용하여 웨이퍼(100)를 세정 수단(156)에 반송하는 것, 세정 수단(156)을 이용하여 웨이퍼(100)를 세정하는 것, 및, 로봇(155)을 이용하여 세정 후의 웨이퍼(100)를 제2 카세트(163)에 수납하는 것을 풀 오토로 실행할 수 있다.
또한, 가공 장치(1)에서는, 작업자의 요청에 따라, 상기한 각 구성요소에 의한 처리의 일부만을 선택적으로 실시할 수 있다. 즉, 복수의 구성요소를 이용하여 풀 오토로 웨이퍼(100)를 가공할 때에 웨이퍼(100)가 통과하는 루트 중, 선택한 구성요소에 대응하는 루트의 일부에서만 웨이퍼(100)를 처리 할 수 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 가공 장치(1)의 터치 패널(60)의 좌측에는, 작업자에게로의 메세지를 표시하기 위한 메세지 표시란(400), 및, 설정되어 있는 가공 장치(1) 상태(장치 상태)를 나타내는 장치 상태 표시란(600)이 나타나 있다.
이 장치 상태 표시란(600)에는, 사용되는 척 테이블(5)의 종류, 제1 카세트(언로드 카세트)(161)에 있어서의 선택되는 카세트(1 또는 2) 및 슬롯(1 ~ 25), 및, 제2 카세트(로드 카세트)(163)에서의 선택되는 카세트(1 또는 2) 및 슬롯(1 ~ 25)이 나타나 있다.
또한, 장치 상태 표시란(600)에는, 임시 배치 수단(152), 반입 수단(170), 반출 수단(172), 유지면 세정 수단, 및 세정 수단(156)의 사용 상황(사용 또는 미사용), 및, 조 연삭 수단(30) 및 마무리 연삭 수단(31)의 상황(사용, 미사용, 또는, 확인 유)이 나타나 있다. 유지면 세정 수단은, 척 테이블(5)의 유지면(50)을 세정하는 것이다.
또한, 터치 패널(60)의 우측에는, 각 구성요소(수단)의 일러스트를 포함한 배치도(500)가 표시된다. 이 배치도(500)는, 가공 장치(1)의 각 구성요소의 상면으로부터 본 배치를 나타내기 위한, 각 구성요소의 일러스트를 포함한 도면이다.
또한, 도 2에 나타낸 배치도(500)에서는, 각 구성요소의 일러스트에, 각 구성요소의 명칭을 기재함과 함께, 도 1에 나타낸 부호를 괄호로 표시하고 있다.
또한, 배치도(500)에서는, 제1 카세트 스테이지(160) 상의 제1 카세트(161) 및 제2 카세트 스테이지(162)의 제2 카세트(163)에 있어서의, 웨이퍼(100)에 관한 정보(반출수, 반입수 및 수납수)가 나타나 있다. 또한, 제1 하이트 게이지(51) 및 제2 하이트 게이지(52)에 의한, 웨이퍼(100)의 두께의 측정 결과를 나타낼 수도 있다.
또한, 배치도(500)에서는, 각 구성요소의 일러스트 간에, 화살표(501 ~ 510)가 나타나 있다. 이러한 화살표(501 ~ 510)는, 각 구성요소 간을 잇는, 웨이퍼(100)의 가공에 관하는 모든 루트(가공 루트)에 있어서의 일부를 이루는 루트(부분 루트)에 대응한다. 예컨대, 화살표(501)는, 제1 카세트 스테이지(160)(제1 카세트(161))로부터 로봇(155)까지의 부분 루트, 즉, 로봇(155)에 의한 웨이퍼(100)의 취출(언로드)에 관하는 부분 루트에 대응한다.
그리고, 본 실시 형태에서는, 작업자가, 터치 패널(60)에 나타나 있는 배치도(500)에 있어서의 적어도 2 개의 구성요소의 일러스트를 터치한다. 이에 따라, 제어 수단(70)의 선택 수단(72)이, 터치된 일러스트에 대응한다, 적어도 2 개의 구성요소를 선택한다.
또한, 제어 수단(70)이, 선택된 적어도 2 개의 구성요소, 및, 이러한 구성요소를 통과하는, 가공 루트 중 일부의 루트(부분 루트)를, 배치도(500)를 이용하여 명시한다. 또한, 제어 수단(70)은, 작업자의 지시에 따라, 선택된 구성요소를 이용하여, 이러한 구성요소에 관한 부분 루트에 있어서 웨이퍼(100)를 처리한다.
예컨대, 도 3에 나타내는 예에서는, 작업자는, 이하의 (1-1) ~ (1-5)에 나타닌 처리를 실시하는 것을 희망하고 있다.
(1-1) 제1 카세트 스테이지(160)의 제1 카세트(161)로부터 임시 배치 수단(152)에 웨이퍼(100)를 반송.
(1-2) 임시 배치 수단(152)으로부터 반입 수단(170)에 의해서 척 테이블(5)에 웨이퍼(100)를 반입.
(1-3) 척 테이블(5)에 유지된 웨이퍼(100)를, 조 연삭 수단(30)에 의해서 조 연삭.
(1-4) 조 연삭된 웨이퍼(100)를 반출 수단(172)에 의해서 세정 수단(156)에 반출.
(1-5) 세정 수단(156)에 의해서 웨이퍼(100)를 세정하여 종료.
이 경우, 작업자는, 배치도(500)에 있어서, 로봇(155)의 우측, 임시 배치 수단(152), 반입 수단(170), 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 반출 수단(172) 및 세정 수단(156)의 일러스트를 터치한다. 이에 따라, 제어 수단(70)의 선택 수단(72)이, 로봇(155), 임시 배치 수단(152), 반입 수단(170), 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 반출 수단(172) 및 세정 수단(156)을 선택한다.
또한, 본 실시 형태에서는, 로봇(155)의 일러스트는, 우측과 좌측으로 분할되어 있고, 작업자는, 어느 한쪽 또는 양쪽 모두에 터치할 수 있다. 작업자는, 로봇(155)의 일러스트의 우측을 터치하는 것에 의해서, 로봇(155)에 의해서 제1 카세트 스테이지(160) 상의 제1 카세트(161)로부터 웨이퍼(100)를 꺼내는 처리를 선택할 수 있다. 한편, 작업자는, 로봇(155)의 일러스트의 좌측을 터치하는 것에 의해서, 로봇(155)에 의해서 제2 카세트 스테이지(162) 상의 제2 카세트(163)에 웨이퍼(100)를 수납하는 처리를 선택할 수 있다.
그리고, 제어 수단(70)이, 배치도(500)에 있어서, 선택된 구성요소인 로봇(155), 임시 배치 수단(152), 반입 수단(170), 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 반출 수단(172) 및 세정 수단(156)의 일러스트에, 음영(예컨대 도트 형상의 음영)을 실시하고, 선택되지 않았던 다른 구성요소의 일러스트를 백색으로 나타낸다. 또한, 이 예에서는, 제어 수단(70)은, 로봇(155)에 대해서는, 일러스트의 우측에만 음영을 실시한다.
또한, 제어 수단(70)은, 선택된 구성요소에 따라, 웨이퍼(100)가 통과하는 부분 루트를 특정하고, 특정한 부분 루트를 나타내는 화살표에 음영(예컨대 사선형의 음영)을 실시하는 한편, 다른 화살표를 백색으로 나타낸다. 이 예에서는, 화살표(501), 화살표(502), 화살표(503), 화살표(504), 화살표(506), 화살표(507), 및 화살표(508)에, 음영이 실시된다.
그리고, 제어 수단(70)이, 예컨대 작업자에 의한 터치 패널(60)을 이용한 개시 지시에 따라, (1-1) ~ (1-5)에 나타내는 처리를 실시한다.
또한, 도 4에 나타내는 예에서는, 작업자는, 이하의 (2-1) ~ (2-6)에 나타내는 처리를 실시하는 것을 희망하고 있다.
(2-1) 임시 배치 수단(152)에 웨이퍼(100)를 재치하여 스타트.
(2-2) 임시 배치 수단(152)으로부터 반입 수단(170)에 의해서 척 테이블(5)에 웨이퍼(100)를 반입.
(2-3) 척 테이블(5)에 유지된 웨이퍼(100)를, 조 연삭 수단(30)에 의해서 조 연삭.
(2-4) 조 연삭된 웨이퍼(100)를, 마무리 연삭 수단(31)에 의해서 마무리 연삭.
(2-5) 마무리 연삭된 웨이퍼(100)를, 반출 수단(172)에 의해서 세정 수단(156)에 반출.
(2-6) 세정 수단(156)에 의해서 웨이퍼(100)를 세정하여 종료.
이 경우, 작업자는, 배치도(500)에 있어서, 임시 배치 수단(152), 반입 수단(170), 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 마무리 연삭 수단(31), 반출 수단(172) 및 세정 수단(156)의 일러스트를 터치한다. 이에 따라, 제어 수단(70)의 선택 수단(72)이, 임시 배치 수단(152), 반입 수단(170), 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 마무리 연삭 수단(31), 반출 수단(172) 및 세정 수단(156)을 선택한다.
그리고, 제어 수단(70)이, 선택된 구성요소인 임시 배치 수단(152), 반입 수단(170), 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 마무리 연삭 수단(31), 반출 수단(172) 및 세정 수단(156)의 일러스트에 음영을 실시함과 함께, 선택되지 않았던 다른 구성요소의 일러스트를 백색으로 나타낸다.
또한, 제어 수단(70)은, 선택된 구성요소에 따라, 웨이퍼(100)가 통과하는 부분 루트를 특정하고, 특정한 부분 루트를 나타내는 화살표에 음영을 실시하는 한편, 다른 화살표를 백색으로 나타낸다. 이 예에서는, 화살표(503), 화살표(504), 화살표(505), 화살표(506), 화살표(507), 및 화살표(508)에, 음영이 실시된다.
그리고, 작업자는, (2-1)에 나타낸 바와 같이, 임시 배치 수단(152)에 웨이퍼(100)를 재치한다. 그 후, 작업자는, 예컨대 터치 패널(60)을 이용하여, 제어 수단(70)에 개시 지시를 내린다. 이에 따라, 제어 수단(70)이, (2-2) ~ (2-6)에 나타내는 처리를 실시한다.
또한, 도 5에 나타내는 예에서는, 작업자는, 이하의 (3-1) ~ (3-7)에 나타난 처리를 실시하는 것을 희망하고 있다.
(3-1) 척 테이블(5)에 웨이퍼(100)를 유지시켜서 스타트.
(3-2) 척 테이블(5)에 유지된 웨이퍼(100)를, 조 연삭 수단(30)에 의해서 조 연삭.
(3-3) 조 연삭된 웨이퍼(100)의 피연삭면인 이면(104)을 확인하기 위해, 웨이퍼(100)를 유지하고 있는 척 테이블(5)을, 장치 전방(반입 수단(170)의 근방)으로 이동.
(3-4) 확인 결과에 따라, 작업자가 중지를 선택하면, 조 연삭만으로 종료. 세정도 하지 않음. 작업자가 계속을 선택하면, 조 연삭된 웨이퍼(100)를, 마무리 연삭 수단(31)에 의해서 마무리 연삭.
(3-5) 마무리 연삭된 웨이퍼(100)를, 반출 수단(172)에 의해서 세정 수단(156)에 반출.
(3-6) 세정 수단(156)에 의해서 웨이퍼(100)를 세정.
(3-7) 세정된 웨이퍼(100)를, 로봇(155)에 의해서, 제2 카세트 스테이지(162)의 제2 카세트(163)에 수납.
이 경우, 작업자는, 배치도(500)에 있어서, 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 마무리 연삭 수단(31), 반출 수단(172), 세정 수단(156), 및, 로봇(155)의 좌측의 일러스트를 터치한다. 이에 따라, 제어 수단(70)의 선택 수단(72)이, 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 마무리 연삭 수단(31), 반출 수단(172), 세정 수단(156) 및 로봇(155)을 선택한다.
그리고, 제어 수단(70)이, 선택된 구성요소인 척 테이블(5), 조 연삭 수단(30), 마무리 연삭 수단(31), 반출 수단(172), 세정 수단(156) 및 로봇(155)의 일러스트에 음영을 실시함과 함께, 선택되지 않았던 다른 구성요소의 일러스트를 백색으로 나타낸다. 또한, 이 예에서는, 제어 수단(70)은, 로봇(155)에 대해서는, 일러스트의 좌측에만 음영을 실시한다.
또한, 제어 수단(70)은, 선택된 구성요소에 따라, 웨이퍼(100)가 통과하는 부분 루트를 특정하고, 특정한 부분 루트를 나타내는 화살표에 음영을 실시하는 한편, 다른 화살표를 백색으로 나타낸다. 이 예에서는, 화살표(505), 화살표(506), 화살표(507), 화살표(508), 화살표(509), 및 화살표(510)에, 음영이 실시된다.
그리고, 작업자는, (3-1)에 나타낸 바와 같이, 척 테이블(5)에 웨이퍼(100)를 유지시킨다. 그 후, 작업자는, 예컨대 터치 패널(60)을 이용하여, 제어 수단(70)에 개시 지시를 내린다. 이에 따라, 제어 수단(70)이, (3-2) ~ (3-7)에 나타내는 처리를 실시한다.
또한, 이 예에서는, (3-3)에 나타낸 바와 같이, 조 연삭된 웨이퍼(100)의 피연삭면인 이면(104)을 확인하기 위해, 웨이퍼(100)를 유지하고 있는 척 테이블(5)을, 장치 전방(반입 수단(170)의 근방)에 이동시킨다.
이 때문에, 작업자는, 이 동작의 실행을 제어 수단(70)에 지시하기 위한 미리 정해진 양태로, 배치도(500)에 있어서의 조 연삭 수단(30)의 일러스트를 터치한다. 예컨대, 작업자는, 배치도(500)에 있어서의 조 연삭 수단(30)의 일러스트를, 다른 선택되는 구성요소의 일러스트에 대한 터치와는 다른 양태(예컨대 길게 누르기 또는 두 번 밀기)로, 터치한다.
이에 따라, 제어 수단(70)은, 조 연삭 수단(30)의 일러스트에, 다른 선택된 구성요소의 일러스트와는 다른 양태(예컨대 그물 모양)의 음영을 실시함과 함께, (3-3)에 나타낸 바와 같이, 조 연삭 후에, 척 테이블(5)을 전방으로 이동시키는 처리를 실시한다. 그리고, 제어 수단(70)은, 작업자에 의한 피연삭면의 확인 후, 작업자로부터의 지시에 따라, 처리를 종료하든가, 또는, (3-4) ~ (3-7)에 나타난 처리를 실시한다.
이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 가공 장치(1)에 있어서 웨이퍼(100)에 실시되는 처리 중, 작업자에 의해서 선택된 구성요소에 관한 일부의 처리만을, 선택적으로 실시할 수 있다. 따라서, 작업자는, 확인하고 싶은 처리만을 실시할 수 있으므로, 확인 시간을 단축할 수 있다.
예컨대, 도 4를 이용하여 설명한 예에서는, 새롭게 작성한 가공 조건의 가공 결과를, 단시간에 확인할 수 있다. 즉, 제1 카세트(161)로부터의 웨이퍼(100)의 반출이나, 제2 카세트(163)로의 웨이퍼(100)의 수납 등의 동작을 생략할 수 있으므로, 가공 결과를 확인하기 위한 시간을 단축할 수 있다.
또한, 예컨대, 작업자는, 임시 배치 수단(152)에 웨이퍼(100)를 재치함과 함께, 배치도(500)에 있어서의 임시 배치 수단(152), 반입 수단(170) 및 척 테이블(5)의 일러스트에 터치하여, 제어 수단(70)에 개시 지시를 내리는 것에 의해, 웨이퍼(100)를 척 테이블(5)에 반입하는 반입 동작만을, 단시간에 확인할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 작업자는, 터치 패널(60)에 나타나 있는 배치도(500)에 있어서의 적어도 2 개의 구성요소(수단)의 일러스트를 터치하는 것에 의해, 제어 수단(70)의 선택 수단(72)이, 터치된 일러스트에 대응한다, 적어도 2 개의 구성요소를 선택하고 있다. 이때, 도 2에 나타낸, 설정된 가공 장치(1)의 상태(장치 상태)를 나타내는 장치 상태 표시란(600)에 있어서 "미사용"이라고 되어 있는 구성요소에 대해서는, 선택할 수 없도록 설정되어 있어도 좋다.
또한, 선택된 적어도 2 개의 구성요소는, 미리 설정된 루트에서 연속되고 있으면 된다.
100: 웨이퍼　101: 표면　104: 이면　105: 보호 테이프
1: 가공 장치 10: 제1 장치 베이스 11: 제2 장치 베이스
12: 제1 칼럼　13: 제2 칼럼　15: 케이스
20: 조 연삭 이송 수단　21: 마무리 연삭 이송 수단
30: 조 연삭 수단 31: 마무리 연삭 수단
5: 척 테이블 50: 유지면　6: 턴 테이블
51: 제1 하이트 게이지 52: 제2 하이트 게이지
60: 터치 패널　70: 제어 수단 72: 선택 수단
152: 임시 배치 수단　155: 로봇　156: 세정 수단
160: 제1 카세트 스테이지　161: 제1 카세트
162: 제2 카세트 스테이지　163: 제2 카세트
170: 반입 수단　172: 반출 수단
500: 배치도　501 ~ 510: 화살표　600: 장치 상태 표시란

Claims (2)

  1. 풀 오토로 피가공물을 가공하는 가공 장치로서,
    피가공물을 유지하는 유지 수단과,
    가공 도구를 이용하여 피가공물을 가공하는 가공 수단과,
    복수의 피가공물을 수용하는 선반형의 카세트를 재치하기 위한 카세트 스테이지 수단과
    상기 카세트로부터 피가공물을 꺼내거나, 또는, 피가공물을 상기 카세트에 수납하는 로봇 수단과,
    상기 카세트로부터 꺼내진 피가공물을 임시 배치하기 위한 임시 배치 수단과,
    상기 임시 배치 수단에 임시 배치된 피가공물을 상기 유지 수단에 반입하는 반입 수단과,
    상기 피가공물을 세정하는 세정 수단과,
    상기 유지 수단에 유지된 피가공물을 상기 세정 수단에 반송하는 반출 수단과,
    상기 유지 수단과, 상기 가공 수단과, 상기 로봇 수단과, 상기 임시 배치 수단과, 상기 반입 수단과, 상기 세정 수단과, 상기 반출 수단을 포함하는 복수의 구성요소로부터 2 개 이상의 구성요소를 선택하는 선택 수단과,
    상기 복수의 구성요소를 이용하여 풀 오토로 피가공물을 가공할 때에 피가공물이 통과하는 루트 중, 상기 선택 수단에 의해서 선택된 구성요소에 대응하는 상기 루트의 일부에서 피가공물을 처리하는 제어 수단
    을 포함하는 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 구성요소의 각각 대응하는 복수의 일러스트에 의해서 상기 복수의 구성요소를 위에서 본 배치를 나타내는 배치도를 표시하는 터치 패널을 더 포함하고,
    상기 선택 수단은, 상기 터치 패널에 표시된 상기 배치도에 있어서 터치된 일러스트에 대응하는 구성요소를 선택하는 것인, 가공 장치.
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