KR20210027495A - 기판 컨테이너를 위한 멤브레인 디퓨저 - Google Patents

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KR20210027495A
KR20210027495A KR1020217005299A KR20217005299A KR20210027495A KR 20210027495 A KR20210027495 A KR 20210027495A KR 1020217005299 A KR1020217005299 A KR 1020217005299A KR 20217005299 A KR20217005299 A KR 20217005299A KR 20210027495 A KR20210027495 A KR 20210027495A
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purge gas
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마크 브이. 스미스
니콜라스 텔렌
매튜 에이. 풀러
마이클 씨. 자브카
문성인
존 피. 풀리아
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

기판 운송을 위한 시스템 내 사용을 위한 퍼지 디퓨저는 i) 내부 퍼지 가스 채널, 하나 이상의 디퓨저 포트 및 외부 표면을 갖는 퍼지 디퓨저 코어; ii) 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된 필터 매체; 및 iii) 기판 운송을 위한 기판 컨테이너의 퍼지 포트에 퍼지 디퓨저를 장착시키기 위한 퍼지 포트 커넥터를 포함한다. 퍼지 디퓨저 코어는 일체형 물품일 수 있고, 사출 성형에 의해 형성될 수 있으며, 내부 퍼지 가스 채널 내부의 변환기를 포함할 수 있다.

Description

기판 컨테이너를 위한 멤브레인 디퓨저
관련 출원 상호 참조
본 출원은 이하의 이익을 주장한다: 2018년 8월 28일에 출원된 미국 가출원 제62/723,979호; 2019년 4월 23일에 출원된 미국 가출원 제62/837,389호; 및 2019년 7월 16일에 출원된 미국 가출원 제62/874,647호로서, 이들 모두는 그 전문이 모든 목적을 위해 본원에 참조로 통합된다.
기술 분야
본 개시 내용은 컨테이너(container) 및 컨테이너 내의 환경을 바람직한 레벨(level)의 상대 습도, 산소 및 공기중 미립자(particulate)로 퍼지(purge)하기 위한 시스템을 포함하는 기판 운송을 위한 시스템 및 기판 보관 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 특수 캐리어(carrier) 또는 특수 컨테이너는 웨이퍼(wafer) 공정 또는 기판 공정 전, 중, 후 실리콘 웨이퍼 배치(batch) 또는 기판 배치를 운송 및/또는 보관하기 위해 이용된다. 본원에서 사용된 “기판”이라는 용어는 반도체 웨이퍼, 자기 디스크, 평판 기판, 및 다른 그러한 기판 중 하나 이상을 지칭할 수 있다.
그러한 컨테이너는 일반적으로 슬롯(slot) 내에 기판을 축방향으로 배열하고, 슬롯의 주연 연부에서 또는 슬롯의 주연 연부 부근에서 슬롯 내에 기판을 지지하기 위해 구성된다. 기판은 통상적으로 컨테이너로부터 상향 또는 측방향으로 반경방향으로 제거 가능하다. 웨이퍼 또는 기판을 이송하기 위해 사용되는 예시적인 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod) 또는 FOSB(front opening shipping box)를 포함할 수 있다. 특정 구성에서, 기판 캐리어의 컨테이너 부분에는 오염물질을 함유할 수 있는 주변 공기를 대체하기 위해 캐리어의 내부 환경 내로 질소 또는 다른 정제된 가스와 같은 가스의 도입 및/또는 배기를 용이하게 하기 위한 개구 또는 통로가 제공된다.
반도체 기판 공정 또는 반도체 웨이퍼 공정 중에, 미립자의 존재 또는 미립자의 발생은 상당한 오염 문제를 야기할 수 있다. 오염은 반도체 산업에서 수율 손실의 최대 단일 원인으로 받아들여지고 있다. 집적 회로의 크기가 계속적으로 감소됨에 따라, 집적 회로를 오염시킬 수 있는 입자의 크기 또한 작아지고, 이는 오염물질 최소화를 더욱더 중요하게 만든다.
현재, 기판을 운송하는 경우 또는 기판을 보관하는 경우 기판 수납을 위한 청정 공간을 생성하기 위해, 캐리어의 내부 환경은 불활성 기체 또는 청정건조공기(CDA)를 사용하여 퍼지되며, 불활성 기체 또는 청정건조공기(CDA)는 입구 포트를 통해 컨테이너의 내부로 주입되어 컨테이너 내 공기가 출구 포트를 통해 배출되게 한다. 이들 퍼지 가스 입구 포트 및 퍼지 가스 출구 포트는 일반적으로 컨테이너 본체의 하단부 표면 상에 배치되거나 또는 컨테이너 쉘(shell)의 하단부 표면 상에 배치되고, 퍼지 가스 입구 포트 및 퍼지 가스 출구 포트와 퍼지 가스 전달 시스템이 결부되는 쉘 하단부 표면을 통해 내부로부터 연장한다. 퍼지의 하나의 목표는 미세환경의 내부 부피 내 습도 레벨 또는 산소 레벨을 감소시키는 것이다. 퍼지의 과제는 컨테이너 내의 기판 위에 퍼지 가스를 빠르고 효과적으로 고르게 분배하는 것이다. 퍼지의 또다른 목표는 컨테이너 내 환경으로부터 공기중 오염물질을 제거하는 것이다. 그러나, 이러한 오염물질은 퍼지 시스템 자체의 필터 메커니즘(filtering mechanism) 내에 갇힐 수 있고, 이는 교차 오염으로 이어질 수 있으며, 추가적인 세척을 요할 수 있다.
따라서, 웨이퍼 컨테이너의 내부 환경의 상대 습도 및 산소 농도를 제어함과 동시에, 빠르고 효과적인 방식으로 웨이퍼 컨테이너를 배기(evacuate)시키는 문제를 해결하는 개선된 퍼지 방법 및 개선된 퍼지 장비의 필요성이 존재한다. 추가적으로, 퍼지 시스템 자체의 오염물질을 혼입하는 경향성을 최소화하면서, 낮은 압력차에서 퍼지 가스의 높은 유량을 허용할 수 있는 퍼지 방법 및 퍼지 장치의 필요성이 존재한다.
간략하게, 본 개시 내용은 기판 운송을 위한 시스템 내에서 사용하기 위한 퍼지 디퓨저 및 이러한 퍼지 디퓨저를 포함하는 시스템을 제공한다. 본원에 기술된 다양한 실시예에 따르면, 본 개시 내용은 퍼지 디퓨저를 제공하고, 이 퍼지 디퓨저는 그러한 퍼지 디퓨저를 포함하는 컨테이너의 내부 환경 내의 상대 습도 및 산소 농도를 제어함과 동시에, 미립자 오염을 최소화한다. 추가적으로, 퍼지 디퓨저는 99%를 초과하는 입자 필터 효율을 달성하면서, 불활성 기체의 높은 유량 중에 정적 퍼지 소스(source)와의 정적 밀봉 계면을 잃지 않기 위해 시스템 내 배압(back pressure)을 제어하는 것이 가능하다.
본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저는 일반적으로 i) 내부 퍼지 가스 채널, 하나 이상의 디퓨저 포트, 및 외부 표면을 갖는 퍼지 디퓨저 코어; ii) 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된 필터 매체; 및 iii) 기판 운송을 위한 기판 컨테이너의 퍼지 포트에 퍼지 디퓨저를 장착시키기 위한 퍼지 포트 커넥터를 포함한다. 이들 요소는 퍼지 포트 커넥터를 통해 진입한 퍼지 가스가 내부 퍼지 가스 채널에 진입하고, 디퓨저 포트를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되어, 필터 매체를 통과하여 기판 컨테이너의 내부로 통과하도록 배열된다. 일부 실시예에서, 퍼지 디퓨저 코어는 일체 구조의 일체형 물품이고, 일부 경우에서, 퍼지 디퓨저 코어는 사출 성형 가능한, 용융 공정 가능한 중합체로부터 단일 성형으로 제작된다. 다양한 비제한적 실시예에서, 필터 매체는, 예를 들어 용접 접합에 의해, 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 결합될 수 있거나, 접착제에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정될 수 있거나, 또는 필터 매체 브래킷(bracket)에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정될 수 있으며, 이 경우 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어와 필터 매체 브래킷 사이에 고정되고 필터 매체 브래킷은 퍼지 디퓨저 코어에 부착된다. 그러한 필터 매체 브래킷은 용접, 마찰 끼워맞춤, 접착제, 체결구(fastener), 또는 다른 메커니즘에 의해 퍼지 디퓨저 코어에 부착된다. 특정 실시예에서, 필터 매체는 필터 매체를 보호하기 위해 필터 매체의 외부 표면 위에 안배된 매쉬 스크림(mesh scrim) 또는 필터 매체의 외부 표면 위에 랩핑된 매쉬 스크림을 포함할 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 필터 매체는 다공성 소수성 필름 또는 폴리올레핀, 폴리에스테르, 폴리술폰, 또는 플루오로중합체를 포함하는 멤브레인이고, 필터 매체는 10 마이크로미터 내지 1300 마이크로미터 사이의 두께; 10 마이크로미터 내지 1000 마이크로미터 사이의 두께; 10 마이크로미터 내지 500 마이크로미터 사이의 두께; 또는 40 마이크로미터 내지 150 마이크로미터 사이의 두께를 가질 수 있다. 일부 실시예에서, 필터 매체는 다공성 소수성 멤브레인이고, 특정 실시예에서, 필터 매체는 초고분자량 폴리에틸렌(UPE) 멤브레인이다. 많은 경우에, 멤브레인 또는 필름은 바람직하게는 주름지지 않고, 비주름형 멤브레인 또는 비주름형 필름이다. 필름 또는 멤브레인은, 잠재적 오염물질에 따라, 오염물질의 체질(sieving) 또는 오염물질의 비체질을 가능하게 하도록 채택될 수 있다.
다양한 실시예에 따르면, 퍼지 디퓨저 코어는 복수의 디퓨저 포트를 포함한다. 퍼지 가스는 디퓨저 포트를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되고, 퍼지 가스는 퍼지 디퓨저 코어 위에 안배된 필터 매체 또는 퍼지 디퓨저 코어 위에 랩핑된 필터 매체를 통과하여 기판 컨테이너의 내부로 통과한다.
일부 실시예에서, 퍼지 디퓨저 코어는 내부 퍼지 가스 채널과 접경하는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면으로부터 내부 퍼지 가스 채널 내로 돌출된 하나 이상의 변환기를 추가적으로 포함한다. 일부 실시예에서, 변환기는 단일 성형에서 일체형 물품으로서 퍼지 디퓨저 코어의 사출 성형을 가능하게 하기 위해 엇갈리게 배치된다.
다른 실시예에서, 본 개시 내용은 본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저 및 기판 컨테이너를 포함하는 시스템을 제공하고, 기판 컨테이너는 개구를 포함하는 컨테이너 부분, 기판 컨테이너의 내부 환경을 밀봉하기 위해 개구에 수용되도록 구성된 도어(door), 및 기판 컨테이너의 내부로 퍼지 가스를 유입시키기 위한 퍼지 포트를 포함한다. 퍼지 디퓨저는 퍼지 포트 커넥터를 통해 퍼지 포트에 장착된다. 일부 실시예에서, 기판 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod)이다.
또다른 실시예에서, 본 개시 내용은 본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저를 만드는 방법을 제공하고, 이는 a) 퍼지 디퓨저 코어를 단일 일체형 물품으로 성형하는 단계; 및 b) 필터 매체를 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정시키는 단계를 포함한다. 일부 실시예에서, 단일 일체형 물품으로 퍼지 디퓨저 코어를 성형하는 단계는 사출 성형에 의해 달성된다. 일부 실시예에서, 필터 매체를 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정시키는 단계는 임펄스 용접(impulse welding)과 같은 용접 방법에 의해 달성된다.
여전히 또다른 실시예에서, 본 개시 내용은 퍼지 가스의 유동을 퍼지 포트를 통해 퍼지 디퓨저 내로 통과시키고 그로 인해 기판 컨테이너의 내부로 통과시키는 단계를 포함하는 본 개시 내용에 따른 기판 운송을 위한 시스템을 퍼지하는 방법을 제공한다. 일부 실시예에서, 퍼지 가스는 질소이고 퍼지 디퓨저는 기판 컨테이너의 내부의 상부 부분보다 기판 컨테이너의 내부의 하부 부분으로 더 많은 퍼지 가스의 유동을 제공한다.
본 개시 내용의 이전 요약은 본 개시 내용의 각각의 실시예를 기술하기 위해 의도된 것은 아니다. 개시 내용의 하나 이상의 실시예의 세부사항은 또한 아래의 설명에 기재되어 있다. 개시 내용의 다른 특징, 다른 목적 및 다른 이점은 설명 및 청구항을 통해 명백해질 것이다.
개시 내용은 첨부 도면과 관련하여 다양한 실례가 되는 실시예에 대한 이하의 설명을 고려하여 더 완전히 이해될 수 있다.
도 1은 본 개시 내용에 따른 기판 운송을 위한 시스템의 일 실시예의 사시도를 도시한다.
도 2는 본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저 코어의 일 실시예의 사시도를 도시한다.
도 3은 도 2의 퍼지 디퓨저 코어의 절결도를 도시한다.
도 4는 본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저 코어의 일 실시예의 사시도를 도시한다.
도 5는 도 4의 퍼지 디퓨저 코어를 통합하는 본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저의 일 실시예의 사시도를 도시한다.
도 6a 및 도 6b는 도 4의 퍼지 디퓨저 코어의 일 실시예의 세부 사시도를 도시한다.
도 7a는 본 개시 내용의 실시예에 따른 퍼지 디퓨저의 사시도를 도시한다.
도 7b는 도 7b의 퍼지 디퓨저의 분해도를 도시한다.
도 8은 본 개시 내용의 실시예에 따른 퍼지 디퓨저의 개방 도어 상대 습도 성능을 도시하는 그래프를 도시한다.
본 개시 내용은 다양한 수정 및 다양한 대안의 형태를 잘 받아들이며, 그 세부사항은 도면에 예로서 도시되어 있으며, 상세하게 기술될 것이다. 그러나, 개시 내용의 양태를 기술된 구체적인 실례가 되는 실시예로 제한하도록 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 한다. 그와는 반대로, 의도는 개시 내용의 사상 및 개시 내용의 범주에 포함되는 한 모든 수정, 등가물, 대안을 포함하는 것이다.
본 명세서 및 첨부된 청구범위에서 사용되는 경우, 단수 형태는 문맥상 명확하게 달리 지시하지 않는 한 복수의 대상을 포함한다. 본 명세서 및 첨부된 청구범위에서 사용되는 경우, 용어 "또는"은 일반적으로 문맥상 명백히 달리 지시하지 않으면 "및/또는"을 포함하는 의미로 채택된다.
본 명세서에 사용되는 경우, "갖는다", "갖는", "포함하다", "포함하는" 등은 그들의 개방형 의미로 사용되고, 일반적으로 "포함하지만, 이에 제한되지 않는"을 의미한다. 용어 "로 이루어진" 및 "로 본질적으로 이루어진"은 용어 "포함하는" 등에 포함된다는 것이 이해될 것이다.
용어 "약"은 일반적으로 열거된 값과 등가물(예를 들어, 동일한 기능 또는 동일한 결과를 가짐)로 고려되는 수치의 범위를 지칭한다. 많은 경우에, 용어 "약"은 가장 가까운 유효 숫자(significant figure)로 반올림되는 수치를 포함할 수 있다.
용어 "직접적으로 결합된"은 서로 직접 접촉하고 함께 결합된 2개의 재료를 지칭한다.
용어 "일체" 또는 "일체 구조"는 단일 단편인 구조를 지칭하지만, 이는 개별적으로 명명될 수 있는 요소, 일체형 물품일 수 있는 요소 또는 단일 단편 구조를 형성하기 위해 복수의 단편이 영구적으로 이음(join)(예를 들어, 용접, 영구 접착제, 영구 체결구, 또는 비파괴적으로 되돌릴 수 없는 방법에 의해)되는 복수의 단편으로부터 형성될 수 있는 요소를 포함할 수 있다.
용어 "일체형" 또는 "일체형 물품"은 단일 단편인 물품을 지칭하지만, 이는 개별적으로 명명될 수 있는 요소, 단편 또는 분량의 분할 없이 재료의 단일 단편 또는 단일 분량으로 형성(예를 들어 스탬핑(stamping), 성형, 단조, 기계가공, 조형 등에 의해)되는 요소 및 요소 사이에 이음매(seam) 또는 조인트(joint)가 없는 요소를 포함할 수 있다.
종점을 사용하여 표현되는 수치 범위는 그 범위 내에 포함되는 모든 수치를 포함(예를 들어, 1 내지 5는 1, 1.5, 2, 2.75, 3, 3.80, 4 및 5를 포함)한다.
본원에 사용된 모든 과학 용어 및 모든 기술 용어는 달리 명시되지 않는 한 관련 기술분야에서 통상적으로 사용되는 의미를 갖는다.
다음의 상세한 설명은 상이한 도면에서 유사한 요소가 동일하게 번호 매김된 도면을 참조하여 독해해야 한다. 상세한 설명 및 도면(반드시 크기비를 따르는 것은 아님)은 실례가 되는 실시예를 묘사하고 본 발명의 범주를 제한하고자 의도된 것은 아니다. 묘사된 실례가 되는 실시예는 단지 예시적인 것으로 의도된다. 임의의 실례가 되는 실시예의 선택된 특징은 명확하게 달리 언급되지 않는 한 추가적인 실시예로 통합될 수 있다.
본 개시 내용은 기판 운송을 위한 시스템에서의 사용을 위한 퍼지 디퓨저 및 그러한 퍼지 디퓨저를 포함하는 시스템을 제공한다. 그러한 시스템은 전형적으로 개구를 구성하는 상단부 벽, 하단부 벽, 배면부 벽, 및 2개의 측면부 벽을 포함하는 컨테이너 부분, 내부 환경을 밀봉하기 위해 개구에서 수용되도록 구성된 도어, 및 기판 컨테이너의 내부에 퍼지 가스를 유입시키기 위한 퍼지 포트를 포함하는 기판 컨테이너를 포함한다. 일부 그러한 기판 컨테이너는 전형적으로 FOUP 또는 FOSB로 알려져 있다. 기판은 전형적으로 개방된 전면부를 통해 수평방향으로 삽입 및 제거될 수 있다. 내부 측면부에 형성된 슬롯은 기판(가장 전형적으로는 반도체 웨이퍼)을 유지한다. 도어는 주변의 대기로부터 격리된 밀봉된 내부 공간을 형성하기 위해 이러한 봉입체(enclosure)와 맞물린다. 전형적으로, 도어와 기판 컨테이너는 자동화된 메커니즘 또는 로봇 메커니즘에 의해 조작되도록 구성된다. 마찬가지로, 기판은 자동화된 메커니즘 또는 로봇 메커니즘에 의해 기판 컨테이너에 놓일 수 있거나 또는 기판 컨테이너로부터 제거될 수 있다. 퍼지 포트는 봉입체 부분의 하단부 벽(또는 바닥부)에 있을 수 있고, 퍼지 포트는 전형적으로 퍼지 디퓨저의 퍼지 포트 커넥터와의 장착 및 밀봉부 형성을 위한 하드웨어를 포함한다.
본원에 기술된 다양한 실시예에 따른 퍼지 디퓨저는 기판 컨테이너의 내부에 퍼지 가스를 분배하도록 구성된다. 퍼지 가스는 퍼지 포트와 퍼지 포트 커넥터를 통해 퍼지 가스 채널 내부의 퍼지 디퓨저로 유도된다. 퍼지 가스는 디퓨저 포트를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되고, 필터 매체를 통과하여 기판 컨테이너의 내부로 통과한다. 퍼지 디퓨저의 사용을 통해, 기판 컨테이너 내부 내의 퍼지 가스의 분포는 사점을 회피하도록 제어될 수 있고, 희망하는 분포를 달성하도록 제어될 수 있다. 청정건조공기(CDA) 및 질소와 같은 불활성 기체를 포함하는 어떠한 적합한 퍼지 가스도 사용될 수 있다. 퍼지 디퓨저의 디자인은 선택된 퍼지 가스에 맞게 구성될 수 있다. 예를 들어, 질소와 같이 공기보다 가벼운 가스를 사용하는 경우, 기판 컨테이너의 내부의 하부 부분으로의 더 많은 유동은 오염물질, 미립자, 및 습도로부터 컨테이너 및 컨테이너의 내용물의 더 고른 퍼지를 초래할 수 있다. 일부 실시예에서, 기판 컨테이너는 퍼지 가스가 컨테이너 밖으로 유동할 수 있게 하기 위한 퍼지 출구 포트를 추가적으로 포함한다. 다른 실시예에서, 컨테이너는 도어가 제거된 채로 퍼지되고 퍼지 가스는 컨테이너의 개방된 전면부를 통해 배출된다.
본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저는 내부 퍼지 가스 채널 및 퍼지 가스의 내부 퍼지 가스 채널로부터 퍼지 디퓨저 코어 외부로 그리고 기판 컨테이너의 내부로의 배출을 허용하는 하나 이상의 디퓨저 포트를 갖는 퍼지 디퓨저 코어를 포함한다. 전형적으로 퍼지 포트 커넥터와 대향하는 퍼지 디퓨저 코어의 단부에서, 퍼지 디퓨저 코어는 장착 장치에 대한 부착을 위한 특징을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 퍼지 디퓨저 코어는 일체 구조로 이루어지며, 그래서, 일체형 물품이다. 퍼지 디퓨저 코어는 사출 성형 가능한 재료, 용융 공정 가능한 중합체, 플루오로중합체, 폴리올레핀, 또는 플루오린화 폴리올레핀을 포함할 수 있는 어떠한 적합한 재료로도 제작될 수 있다. 일부 경우에, 퍼지 디퓨저 코어는 정전기 방전(electro-static discharge)의 제거를 용이하게 하기 위한 탄소 충전(carbon-filled)된 재료로부터 제작될 수 있다. 퍼지 디퓨저 코어가 제작되는 재료는 기체 방출을 최소화하도록 선택되어야 한다.
일부 경우에, 퍼지 디퓨저는 기판 컨테이너의 내부 환경 내의 퍼지 디퓨저의 물질량(material mass)을 최소화하도록 크기 설정될 수 있다. 기판 컨테이너 내의 물질량은 붕소, 암모니아, 염소 또는 플루오렌과 같은 웨이퍼 공정으로부터의 폐가스(공기중 분자상 오염물질 - AMC)를 흡수할 수 있고 그 이후에 이들 오염물질을 컨테이너 환경으로 다시 탈착시킬 수 있으며, 이는 잠재적으로 웨이퍼 수율 손실을 유발한다. 내부 환경 내의 물질의 양을 감소시키는 것은 AMC를 흡수하는 경향성 및 AMC를 탈착시키는 경향성을 개선할 수 있다. 웨이퍼 컨테이너의 내부 환경 내의 물질량을 감소시키는 한가지 방법은 기판 컨테이너의 내부 높이에 대한, 그리고 특히 더, 기판 컨테이너의 컨테이너 부분의 상단부 벽으로부터 기판 컨테이너의 컨테이너 부분의 하단부 벽까지 측정된 기판의 내부 높이에 대한, 퍼지 디퓨저의 전체적인 길이 또는 퍼지 디퓨저의 전체적인 높이를 줄이는 것이다. 일부 실시예에서, 퍼지 디퓨저의 길이 및 퍼지 디퓨저의 높이는 기판 컨테이너의 컨테이너 부분의 상단부 벽으로부터 기판 컨테이너의 컨테이너 부분의 하단부 벽까지 측정된 기판 컨테이너의 내부 높이의 85% 이하, 다른 경우 75% 이하, 65% 이하, 60% 이하, 55% 이하, 50% 이하, 45% 이하, 또는 40% 이하이다. 그러한 일부 실시예에서, 퍼지 디퓨저의 길이 또는 퍼지 디퓨저의 높이는 기판 컨테이너의 내부 높이의 적어도 20%, 다른 경우 기판 컨테이너의 내부 높이의 적어도 25%, 기판 컨테이너의 내부 높이의 적어도 30%, 기판 컨테이너의 내부 높이의 적어도 35%이다. 일부 경우, 퍼지 디퓨저는 100㎜부터 170㎜까지 범위의 길이; 105㎜부터 160㎜까지 범위의 길이; 또는 110㎜부터 150㎜까지 범위의 길이를 가질 수 있다. 특정 일 실시예에서, 퍼지 디퓨저는 150㎜의 길이를 갖는다. 또다른 실시예에서, 퍼지 디퓨저는 110㎜의 길이를 갖는다. 기판 컨테이너의 높이에 대해 측정된 퍼지 디퓨저의 전체적인 길이는 의도된 용도에 기초하여 선택될 수 있거나 또는 의도된 용도에 기초하여 최적화될 수 있다. 예를 들어, 퍼지 디퓨저의 길이는 퍼지 가스의 유형, 퍼지 가스의 유량, 및/또는 컨테이너의 환경 내 상대 습도의 용인되는 레벨 및 컨테이너의 환경 내 산소의 용인되는 레벨 및/또는 퍼지 디퓨저에 의해 혼입되는 오염물질의 성질에 기초(그러나, 이들에 제한되지 않음)하여 최적화될 수 있다. 일부 실시예에서, 기판 컨테이너의 높이에 대해 감소된 높이를 갖는 퍼지 디퓨저 또는 기판 컨테이너의 높이에 대해 감소된 길이를 갖는 퍼지 디퓨저는, 컨테이너의 내부 환경 내 오염물질을 감소시키기 위해 사용 및/또는 상대 습도 레벨 제어 및 산소 레벨 제어를 위한 사용과 같이 본원에 개시된 바와 같은, 다른 실시예와 함께 조합되어 사용될 수 있다.
내부 퍼지 가스 채널은 퍼지 디퓨저 코어의 길이와 같은 길이 또는 퍼지 디퓨저 코어의 길이보다 작은 길이를 가질 수 있다. 일부 실시예에서, 내부 가스 채널의 길이는 기판 컨테이너의 내부 높이의 85% 이하이고, 다른 경우 75% 이하, 65% 이하, 60% 이하, 55% 이하, 50% 이하, 45% 이하, 40% 이하이다. 일부 그러한 실시예에서, 내부 가스 채널의 길이는 기판 컨테이너의 내부 높이의 적어도 20%, 다른 경우 적어도 25%, 적어도 30%, 또는 적어도 35%이다.
퍼지 디퓨저는 퍼지 디퓨저 코어의 길이를 따라 분포된 복수의 디퓨저 포트를 포함할 수 있다. 퍼지 가스는 디퓨저 포트를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출된다. 일부 경우에, 퍼지 가스는 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되고, 퍼지 디퓨저 코어 위에 안배된 필터 매체 또는 퍼지 디퓨저 코어 위에 랩핑된 필터 매체를 통과하여 기판 컨테이너의 내부로 통과한다. 디퓨저 포트는 퍼지 디퓨저 코어의 길이에 따라 어떠한 적합한 형상, 크기, 및 위치도 가질 수 있다. 디퓨저 포트의 분포 및 디퓨저 포트의 특성은 바람직한 퍼지 가스 유동의 분포를 달성하도록 선택될 수 있고 디퓨저 포트의 분포 및 디퓨저 포트의 특성은 균일할 수 있거나 또는 달라질 수 있다. 일부 실시예에서, 디퓨저 포트의 열(row)은 퍼지 포트 커넥터와 가장 가까운 디퓨저 포트와 퍼지 포트 커넥터로부터 가장 먼 디퓨저 포트 사이의 내부 퍼지 가스 채널의 모든 부분이 퍼지 디퓨저의 길이에 수직인 라인을 따라 디퓨저 포트를 통해 접근될 수 있도록 서로에 대해 오프셋(offset)되어 있다. 이 디자인은 사이드 풀(side pull), 캠(cam), 캠 작동(cam action) 또는 슬라이드(slide)를 사용하는 사출 성형 공정과 같은 성형 공정에 의해 연속적인 내부 채널(내부 퍼지 가스 채널)과 함께 일체형 물품으로의 퍼지 디퓨저 코어의 제조를 가능하게 한다.
일부 실시예에서, 퍼지 디퓨저 코어는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면(즉, 내부 퍼지 가스 채널과 접경하는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면)으로부터 내부 퍼지 가스 채널 내로 돌출된 변환기를 추가적으로 포함한다. 변환기는 핀(fin) 또는 페그(peg)와 같은 어떠한 적합한 형상일 수 있거나 또는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면 상에 제1 장소로부터 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면의 별개의 제2 장소까지 내부 퍼지 가스 채널을 가로질러 가교(bridge)될 수 있다. 변환기는 내부 퍼지 가스 채널의 더 먼 부분으로의 퍼지 가스의 유동을 저지할 수 있지만 통상적으로 차단하지는 않는다. 변환기의 분포 및 변환기의 특성은 퍼지 가스 유동의 희망하는 분포를 달성하기 위해 선택될 수 있다. 변환기의 분포 및 변환기의 특성은 내부 퍼지 가스 채널의 길이를 따라 균일할 수 있거나 또는 달라질 수 있다. 일부 실시예에서, 디퓨저 코어는 퍼지 포트와 근위의 내부 퍼지 가스 채널의 제1 세그먼트(segment) 내에 변환기를 포함하고 퍼지 포트로부터 원위의 내부 퍼지 가스 채널의 제2 세그먼트 내에는 변환기를 포함하지 않는다.
퍼지 디퓨저 코어는 어떠한 적합한 방법으로도 제작될 수 있다. 전형적으로, 사출 성형과 같은, 핫 멜트(hot melt) 성형 방법이 사용될 수 있다. 일부 경우에, 본원에 기술된 바와 같이, 퍼지 디퓨저 코어는 일체로 형성된 일체형 물품을 생산하기 위해 사출 성형될 수 있다.
본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저는 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면 위에 안배되고 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된 필터 매체를 포함한다. 필터 매체는 세그먼트로 존재할 수 있거나 또는, 더욱 전형적으로, 퍼지 디퓨저 코어의 원주 주위에 랩핑된 단일 시트(sheet) 형태일 수 있다. 일부 실시예에서, 필터 매체는, 용접 접합(열 용접 접합, 임펄스 용접 접합, 및 초음파 용접 접합을 포함하나 이에 제한되지 않음)으로 결합되는 것과 같이, 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 고정된다. 퍼지 디퓨저 코어에 필터 매체를 용접하는 것 또는 퍼지 디퓨저 코어에 필터 매체를 접합하는 것은 접착제 또는 체결구의 사용 없이 퍼지 디퓨저 코어에 필터 매체를 누설 방지(leak-proof) 접합하는 바람직한 특징을 제공한다.
다른 실시예에서, 필터 매체는 접착제에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된다. 또 다른 실시예에서, 필터 매체는 필터 매체 브래킷에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정되며, 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어와 필터 매체 브래킷 사이에 고정되고 필터 매체 브래킷은 퍼지 디퓨저 코어에 부착된다. 필터 매체 브래킷은 용접, 마찰 끼워맞춤, 접착제, 체결구 또는 다른 적합한 메커니즘에 의해 퍼지 디퓨저 코어에 부착될 수 있다. 부착 후, 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어에 더 긴밀한 끼워맞춤을 발생시키기 위해 열을 적용함으로서 제자리에 수축될 수 있다. 전형적으로, 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어의 각각의 디퓨저 포트를 덮는다. 전형적으로, 필터 매체는 디퓨저 포트를 통해 배출되는 퍼지 가스가 필터 매체를 통과 하지 않고는 기판 컨테이너의 내부로 진입할 수 없도록 부착된다. 일부 실시예에서, 필터 매체는 필터 매체에 보호를 제공하고 필터 매체의 안전한 취급을 허용하기 위해 필터 매체 위에 안배된 매쉬 스크림과 함께 제공될 수 있다. 매쉬 스크림은 접착제 또는 체결구 없이 필터 매체에 붙을 수 있다. 일부 경우에, 매쉬 스크림은 필터 매체의 외부 표면 주위에 랩핑될 수 있다. 대안으로, 매쉬 스크림은 필터 매체에 임펄스 용접될 수 있다.
필터 매체는 상대 습도 제어에 유용한 어떠한 적합한 재료로도 구성될 수 있고 산소는 추가적으로 필터 매체를 통과하는 가스 흐름으로부터 미립자를 제거할 수 있다. 다양한 실시예에서, 필터 매체는 제직(woven), 부직(non-woven), 체질(sieving), 비체질(non-sieving), 멜트블로운(melt blown), 코어 및 시스(sheath), 필름, 또는 멤브레인 재료를 포함할 수 있고, 필터 매체는 폴리올레핀(폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 고밀도 폴리에틸렌, 또는 초고분자량 폴리에틸렌을 포함함), 폴리에스테르, 폴리술폰, 플루오로중합체, 폴리아미드 또는 폴리이미드 중합체를 포함할 수 있다. 필터 매체는 바람직하게는 비주름형 필터 매체인 것 같이 주름지지 않는다. 일부 실시예에서, 필터 매체는 다공성 소수성 필름이다. 다른 실시예에서, 필터 매체는 다공성 소수성 멤브레인이다. 일 실시예에서, 필터 매체는 다공성 소수성 초고분자량 폴리에틸렌 멤브레인이다. 필터 매체는 다공성을 수정하기 위해 레이저 삭마될 수 있다. 일부 실시예에서, 필터 매체는 10 마이크로미터 내지 1300 마이크로미터 사이의 두께; 10 마이크로미터 내지 1000 마이크로미터 사이의 두께; 10 마이크로미터 내지 500 마이크로미터 사이의 두께; 또는 40 마이크로미터 내지 150 마이크로미터 사이의 두께를 갖는다.
일 양태에서, 필터 매체는 다공성 필터 멤브레인의 이해된 특성인 “버블 포인트(bubble point)”로서 공지된 특성에 관하여 특징지어질 수 있다. 버블 포인트는, 필터 성능(예를 들어, 포집력에 의해 측정됨)에 대응할 수 있는, 구멍 크기에 대응한다. 더 작은 구멍 크기는 더 높은 버블 포인트와 관련될 수 있고, 보통 더 높은 필터 성능(더 높은 포집력)과 관련될 수 있다. 필터 매체에 선호되는 멤브레인은 상대적으로 더 높은 버블 포인트 및 유용한 레벨의 유동(유량)의 조합을 보인다. 멤브레인 필터 매체의 유용한 평균 버블 포인트의 예시는 2psi 내지 400psi 사이의 범위(예를 들어, 5psi 내지 15psi 사이의 범위)일 수 있다. 평균 버블 포인트를 측정하기 위해, 필터 매체의 샘플은 홀더(holder) 내 위치된다. 공기는 홀더를 통해 가압(pressurize)되고, 유량은 압력의 함수로서 측정된다. 그리고 나서 낮은 표면 장력 유체인 HFE-7200(3M)은 멤브레인을 습윤하게 하기 위해 멤브레인에 도입된다. 공기는 필터 매체의 내부에서 홀더를 통해 가압되고, 공기 유동은 압력의 함수로서 측정된다. 평균 버블 포인트는 습윤 멤브레인의 공기 유동과 건조 멤브레인의 공기 유동의 비율이 0.5인 지점의 압력이다. 시험은 20℃ 내지 25℃ 사이의 범위의 온도에서 수행된다.
일부 실시예에서, 예시적인 멤브레인 필터 매체는 미소공성(microporous) 필터 멤브레인 또는 한외여과(ultrafiltration) 멤브레인 중 하나로 고려되는 구멍의 크기(평균 구멍 크기)를 가질 수 있다. 미소공성 멤브레인은 약 0.05 마이크로미터 내지 약 10 마이크로미터 사이의 범위의 평균 구멍 크기를 가질 수 있다. 한외여과 멤브레인은 0.001 마이크로미터 내지 약 0.05 마이크로미터 사이의 범위의 평균 구멍 크기를 갖을 수 있다. 구멍 크기는 보통 다공성 재료의 평균 구멍 크기(수은 다공도 측정법(MP), 주사 전자 현미경(SEM), 액체 변위(LLDP), 또는 원자력 현미경(AFM)과 같은 공지된 기술에 의해 측정될 수 있음)로서 보고된다.
본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저는 전형적으로 기판 컨테이너의 퍼지 포트에 퍼지 디퓨저를 장착시키기 위한 퍼지 포트 커넥터를 포함한다. 일부 실시예에서, 퍼지 포트 커넥터는 퍼지 디퓨저 코어와 일체 구성이며, 그래서, 퍼지 코어와 퍼지 포트 커넥터는 일체형 물품을 형성한다. 다른 실시예에서, 퍼지 포트 커넥터는 퍼지 디퓨저 코어와 개별 부품이지만 퍼지 포트 커넥터는 퍼지 디퓨저 코어에 부착 가능하다. 퍼지 포트 커넥터 및 퍼지 디퓨저 코어는 전형적으로 퍼지 가스가 퍼지 포트 커넥터와 퍼지 디퓨저 코어 사이에서 퍼지 디퓨저로부터 나가지 않도록 밀봉 가능한 방식으로 연결된다. 퍼지 포트 커넥터는 어떠한 적합한 재료(퍼지 디퓨저 코어를 위해 위에 열거된 재료를 포함)로도 만들어질 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 개시 내용의 일 실시예에 따른 기판 운송을 위한 시스템은 기판 컨테이너(190)를 포함한다. 기판 컨테이너(190)의 전면부 연부(192)는 전면부 개구를 둘러싸고 전면부 연부(192)에 의해 형성되는 개구를 밀봉하도록 구성된 도어(미도시)를 수용하도록 구성된다. 전형적으로, 도어(미도시)와 기판 컨테이너(190)는 자동화된 메커니즘 또는 로봇 메커니즘에 의해 조작되도록 구성된다. 퍼지 디퓨저(110)는 외부 표면에 고정되는 필터 매체 없이 퍼지 디퓨저 코어(120)를 드러낸 상태로 묘사되어 있다. 퍼지 디퓨저 코어(120)는 일 실시예에 따라 종방향 열로 배열된 디퓨저 포트(130, 132)를 포함한다. 도 1에 묘사된 실시예에서, 디퓨저 포트(130)의 제1 열은, 디퓨저 포트(130)의 중심이 일반적으로 디퓨저 포트(132) 사이의 경계와 정열된 채로, 디퓨저 포트(132)의 제2 열로부터 오프셋되어 있고, 그 반대도 마찬가지이다. 퍼지 디퓨저 코어(120)는 또한 내부 퍼지 가스 채널(보이지 않음)을 포함한다. 퍼지 포트 커넥터(140)는 퍼지 디퓨저 코어(120)의 하단부 단부에 부착된다. 퍼지 디퓨저 커넥터(140)는 퍼지 포트(퍼지 포트 커넥터(140)에 의해 점유되고 퍼지 포트 커넥터(140)에 의해 덮임에 따라 보이지 않음)에 장착된다. 퍼지 포트는 기판 컨테이너(190)를 통과한다. 기판 컨테이너(190)의 퍼지 중에, 퍼지 가스는 퍼지 포트를 통해 퍼지 포트 커넥터(140) 내로 진입하고 그로 인해 퍼지 디퓨저 코어(120)의 내부 퍼지 가스 채널 내로 진입한다. 그리고 나서 퍼지 가스는 디퓨저 포트(130, 132)를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출된다. 필터 매체가 퍼지 디퓨저 코어(120)의 외부 표면 상에 설치되는 경우, 디퓨저 포트(130, 132)를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되는 퍼지 가스는 필터 매체를 통해, 기판 컨테이너(190)의 내부(194)로 통과한다. 기판 컨테이너(190)는 또한 주연 연부 옆에 또는 주연 연부 부근에 기판(미도시)의 보관을 위한 슬롯을 구성하는 기판 지지부(196)를 구비한다. 선택적 장착 하드웨어(180)는, 필요에 따라 또는 바람직한 바에 따라, 기판 컨테이너(190)에 퍼지 디퓨저(110)의 추가적인 부착을 제공할 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 도 2 및 도 3은 본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저 코어의 일 실시예의 사시도 및 절결도(각각)이다. 퍼지 디퓨저 코어(220)는 퍼지 디퓨저 코어(220)의 하단부 단부에서 퍼지 포트 커넥터(240)와 연결된다. 퍼지 포트 커넥터(240)는 기판 컨테이너의 퍼지 포트와 연결되도록 구성된다. 퍼지 디퓨저 코어(220)는 퍼지 포트를 통해 진입하는 퍼지 가스의 퍼지 포트 커넥터(240)로부터 모든 디퓨저 포트(230, 232, 234)까지의 통로를 제공하는 내부 퍼지 가스 채널(260)을 포함한다. 퍼지 디퓨저 코어(220)는 종방향 열로 배열된 디퓨저 포트(230, 232, 234)를 포함한다. 일부 실시예에서, 도 2 및 도 3에 묘사된 바와 같이, 디퓨저 포트(230)의 열은 디퓨저 포트(230)의 중심이 일반적으로 디퓨저 포트(232, 234) 사이의 경계와 정열된 채로, 디퓨저 포트(232, 234)의 열로부터 오프셋되며, 그 반대도 마찬가지이다. 디퓨저 포트(230, 232, 234)가 이 방식으로 엇갈리게 배치되면, 퍼지 포트 커넥터와 가장 가까운 디퓨저 포트와 퍼지 포트 커넥터로부터 가장 먼 디퓨저 포트 사이의 내부 퍼지 가스 채널(260)의 모든 부분은 퍼지 디퓨저의 길이와 수직인 라인을 따라 디퓨저 포트를 통해 접근될 수 있다. 이 디자인은 사이드 풀, 캠, 캠 작동 또는 슬라이드를 사용하는 사출 성형 공정과 같은 성형 공정에 의해 연속적인 내부 채널(내부 퍼지 가스 채널(260))과 함께 일체형 물품으로의 퍼지 디퓨저 코어(220)의 제조를 가능하게 한다. 퍼지 디퓨저 코어(220)는 장착 하드웨어 구성품(280)과 맞물리도록 구성된다.
퍼지 디퓨저 코어(220)는 선택적으로 내부 퍼지 가스 채널(260)과 접경하는 퍼지 디퓨저 코어(220)의 내부 표면으로부터 내부 퍼지 가스 채널(260) 내로 돌출된 변환기(265)를 추가적으로 포함할 수 있다. 변환기(265)는 퍼지 가스의 유동을 느리게 하거나 및/또는 퍼지 가스의 유동을 유도하지만, 변환기(265)는 내부 퍼지 가스 채널(260)을 따라 더 먼 지점으로의 퍼지 가스의 유동을 완전히 차단하지는 않는다. 이 실시예에서, 변환기(265)는 퍼지 디퓨저 코어(220)의 내부 표면 상의 제1 장소로부터 퍼지 디퓨저 코어(220)의 내부 표면 상의 제2 별개의 장소까지 내부 퍼지 가스 채널(260)을 가로질러 가교된다. 이 실시예에서, 퍼지 디퓨저 코어(220)는 퍼지 포트 커넥터(240)와 근위의 내부 퍼지 가스 채널(260)의 제1 세그먼트(266) 내에 변환기(265)를 포함하고, 퍼지 포트 커넥터(240)와 원위의 내부 퍼지 가스 채널(260)의 제2 세그먼트(267) 내에는 변환기를 포함하지 않는다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 도 4는 본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저 코어의 일 실시예의 사시도이다. 도 5는 도 4의 퍼지 디퓨저 코어를 통합하는 본 개시 내용에 따른 퍼지 디퓨저의 일 실시예의 사시도이다. 퍼지 디퓨저(410)는 퍼지 디퓨저 코어(420)를 포함한다. 퍼지 디퓨저 코어(420)는 퍼지 디퓨저 코어(420)의 하단부 단부에서 퍼지 포트 커넥터(440)와 연결된다. 퍼지 포트 커넥터(440)는 기판 컨테이너의 퍼지 포트에 연결되도록 구성된다. 퍼지 디퓨저 코어(420)는 퍼지 포트를 통해 진입하는 퍼지 가스의 퍼지 포트 커넥터(440)로부터 모든 디퓨저 포트(430, 432)까지의 통로를 제공하는 내부 퍼지 가스 채널(보이지 않음)을 포함한다. 퍼지 디퓨저 코어(420)는 종방향 열로 배열된 디퓨저 포트(430, 432)를 포함한다. 디퓨저 포트(430)의 열은, 디퓨저 포트(430)의 중심이 일반적으로 디퓨저 포트(432) 사이의 경계와 정열된 채로, 디퓨저 포트(432)의 열로부터 오프셋되고, 반대도 마찬가지이다. 위에서 알려진 바와 같이, 디퓨저 포트(430,432)가 이 방식으로 엇갈리게 배치되는 경우, 퍼지 포트 커넥터와 가장 가까운 디퓨저 포트와 퍼지 포트 커넥터로부터 가장 먼 디퓨저 포트 사이의 내부 퍼지 가스 채널의 모든 부분은 퍼지 디퓨저의 길이와 수직인 라인을 따라 디퓨저 포트를 통해 접근될 수 있다. 이 디자인은 사이드 풀, 캠, 캠 작동 또는 슬라이드를 사용하는 사출 성형 공정과 같은 성형 공정에 의해 연속적인 내부 채널(내부 퍼지 가스 채널)과 함께 일체형 물품으로 퍼지 디퓨저 코어(420)의 제조를 가능하게 한다.
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 도 6a 및 도 6b는 도 4의 퍼지 디퓨저 코어와 도 4의 퍼지 디퓨저 코어의 조립체의 세부 사시도이다. 퍼지 디퓨저 코어(420)는 퍼지 디퓨저 코어(420)의 하단부 단부에서 퍼지 포트 커넥터(440)와 연결된다. 맞물리는 탭(tab)(442)은 퍼지 디퓨저 코어(420)에 퍼지 포트 커넥터(440)를 단단히 부착시킨다. 밀봉부(444)는 퍼지 포트 커넥터(440)와 퍼지 디퓨저 코어(420) 사이의 계면에서 퍼지 가스가 나가는 것을 방지한다. 디퓨저 포트(430, 432)가 도시된다.
도 5를 다시 참조하면, 필터 매체(450)는 퍼지 포트 커넥터(440)를 통해 퍼지 디퓨저(410)에 진입하는 퍼지 포트로부터의 퍼지 가스가 내부 퍼지 가스 채널에 진입하고, 디퓨저 포트(430, 432)를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되며 필터 매체(450)를 통과하여 기판 컨테이너의 내부로 통과하도록 퍼지 디퓨저 코어(420)의 외부 표면에 고정된다.
도 7a는 또다른 실시예에 따른 퍼지 디퓨저(510)의 사시도이고 도 7b는 그 분해도이다. 퍼지 디퓨저(510)는 퍼지 디퓨저 코어(520) 위에 안배된 다공성 멤브레인을 포함한다. 도 4 및 도 5를 참조하여 위에서 논의된 그러한 실시예와 비슷하게, 퍼지 디퓨저 코어(520)는 퍼지 디퓨저 코어(520)의 하단부 단부에서 퍼지 포트 커넥터(540)와 연결된다. 퍼지 포트 커넥터(540)는 기판 컨테이너의 퍼지 포트에 연결되도록 구성된다. 퍼지 디퓨저 코어(520)는, 퍼지 포트를 통해 진입하는 퍼지 가스의 퍼지 포트 커넥터(540)로부터 모든 디퓨저 포트(530, 532)까지의 통로를 제공하는 내부 퍼지 가스 채널(보이지 않음)을 포함한다. 퍼지 디퓨저 코어(520)는 종방향 열로 배열된 디퓨저 포트(530, 532)를 포함한다. 디퓨저 포트(530)의 열은 디퓨저 포트(530)의 중심이 일반적으로 디퓨저 포트(532) 사이의 경계와 정열된 채로, 디퓨저 포트(532)의 열로부터 오프셋되고 그 반대도 마찬가지이다. 위에서 알려진 바와 같이, 디퓨저 포트(530, 532)가 이 방식으로 엇갈리게 배치되는 경우, 퍼지 포트 커넥터와 가장 가까운 디퓨저 포트와 퍼지 포트 커넥터로부터 가장 먼 디퓨저 포트 사이의 내부 퍼지 가스 채널의 모든 부분은 퍼지 디퓨저의 길이와 수직인 라인을 따라 디퓨저 포트를 통해 접근될 수 있다. 필터 매체(550)는 퍼지 포트 커넥터(540)를 통해 퍼지 디퓨저(510)에 진입하는 퍼지 포트로부터의 퍼지 가스가 내부 퍼지 가스 채널에 진입하고, 디퓨저 포트(530, 532)를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되며 필터 매체(550)를 통과하여 기판 컨테이너의 내부로 통과하도록 퍼지 디퓨저 코어(520)의 외부 표면에 고정된다.
도 7b에 도시된 바와 같이, 매쉬 스크림(545)은 필터 매체(550)에 보호를 제공하고 필터 매체(550)의 안전한 취급을 허용하기 위해 필터 매체(550) 위에 안배될 수 있다. 매쉬 스크림은 접착제 또는 체결구 없이 필터 매체에 붙을 수 있다. 일부 경우에, 매쉬 스크림(545)은 필터 매체(550)의 외부 표면 주위에 랩핑될 수 있다. 대안으로, 매쉬 스크림(545)은 필터 매체(550)에 임펄스 용접될 수 있다.
본원에 기술된 바와 같이, 필터 매체(450, 550)는 상대 습도를 제어하는데 유용한 어떠한 적합한 재료일 수도 있고 산소는 필터 매체를 통과하는 가스 흐름으로부터 미립자를 추가적으로 제거할 수 있다. 다양한 실시예에서, 필터 매체는 제직, 부직, 체질(sieving), 비체질(non-sieving), 멜트블로운, 코어 및 시스, 필름, 또는 멤브레인 재료를 포함할 수 있고, 필터 매체는 폴리올레핀(폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 고밀도 폴리에틸렌, 또는 초고분자량 폴리에틸렌을 포함함), 폴리에스테르, 폴리술폰, 플루오로중합체, 폴리아미드 또는 폴리이미드 중합체를 포함할 수 있다. 필터 매체는 바람직하게는 주름지지 않고, 그래서, 비주름형 매체이다. 일부 실시예에서, 필터 매체는 다공성 소수성 필름이다. 다른 실시예에서, 필터 매체는 다공성 소수성 멤브레인이다. 바람직한 실시예에서, 필터 매체는 다공성 소수성 초고분자량 폴리에틸렌(UPE) 멤브레인이다. 일부 경우에, UPE 멤브레인은 99%를 초과하는 입자 포집력을 제공하면서 65kPa 미만의 시스템 내 배압을 제공하도록 선택된다.
도 8은, 본원에 기술된 실시예에 따른, UPE 멤브레인을 포함하는 퍼지 디퓨저의 개방 도어 상대 습도(RH%) 성능을 도시한다. 상대 습도 레벨은 기판 컨테이너의 전면부, 기판 컨테이너의 좌측부, 기판 컨테이너의 우측부 및 기판 컨테이너의 배면부에 위치한 센서를 사용하여 측정된다. 환경 내 초기 상대 습도 레벨은 50% RH이다. 퍼지 가스는 도어가 제거된 채로 기판 컨테이너 내로 도입된다. 시험은 기판 컨테이너 내 보유된 25개의 웨이퍼 각각에 대해 반복된다. 도 8에 도시된 바와 같이, UPE 멤브레인 퍼지 디퓨저는 개방 도어 퍼지 시험 중에 각 웨이퍼의 컨테이너 환경 내 상대 습도 레벨을 최소화하는데 효과적이고 UPE 멤브레인 퍼지 디퓨저는 개방 도어 퍼지 시험 중에 각 위치에서 컨테이너 환경 내 상대 습도 레벨을 최소화하는데 효과적이다.
선택된 실시예
이하의 번호 매김된 실시예는 본 개시 내용을 더욱 도시하기 위해 의도되지만 이 개시 내용을 과도하게 제한하도록 해석되어서는 안된다.
실시예 1.
기판 운송을 위한 시스템이며,
a) 기판 컨테이너로서, 개구를 포함하는 컨테이너 부분, 개구를 밀봉하도록 구성된 도어, 기판 컨테이너 내부로 퍼지 가스를 유입시키기 위한 퍼지 포트를 포함하는, 기판 컨테이너; 및
b) 퍼지 포트에 장착된 퍼지 디퓨저로서,
i) 내부 퍼지 가스 채널, 하나 이상의 디퓨저 포트, 및 외부 표면을 갖는 퍼지 디퓨저 코어; 및
ii) 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된 필터 매체;를 포함하며,
퍼지 가스가 퍼지 포트 커넥터를 통해 내부 퍼지 가스 채널에 진입하고,
디퓨저 포트를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되어, 필터 매체를 통과하여 기판 컨테이너 내부로 통과하기 위한 연속적인 경로가 존재하도록 배열된다.
실시예 2.
실시예 1에 따른 시스템에 있어서, 퍼지 디퓨저 코어는 일체형 물품이다.
실시예 3.
실시예 1에 따른 시스템에 있어서, 퍼지 디퓨저 코어는 사출 성형 가능한 재료를 포함하고 단일 성형으로 만들어진 일체형 물품이다.
실시예 4.
실시예 3에 따른 시스템에 있어서, 사출 성형 가능한 재료는 용융 공정 가능한 중합체이다.
실시예 5.
실시예 1 내지 실시예 4 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 결합된다.
실시예 6.
실시예 5에 따른 시스템에 있어서, 필터 매체는 용접 접합에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 결합된다.
실시예 7.
실시예 5에 따른 시스템에 있어서, 필터 매체는 열 용접 접합, 임펄스 용접 접합 및 초음파 용접 접합으로부터 선택된 용접 접합에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 결합된다.
실시예 8.
실시예 1 내지 실시예 4 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 필터 매체는 접착제에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된다.
실시예 9.
실시예 1 내지 실시예 4 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 필터 매체는 필터 매체 브래킷에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정되고, 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어와 필터 매체 브래킷 사이에 고정되며 필터 매체 브래킷은 퍼지 디퓨저 코어에 부착된다.
실시예 10.
실시예 1 내지 실시예 9 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 필터 매체는 폴리올레핀, 폴리에스테르, 폴리술폰, 또는 플루오로중합체를 포함하는 다공성 소수성 필름이다.
실시예 11.
실시예 1 내지 실시예 9 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 필터 매체는 소수성 초고분자량 폴리에틸렌 멤브레인이다.
실시예 12.
실시예 1 내지 실시예 11 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 퍼지 포트는 기판 컨테이너의 내부를 가로질러 기판 컨테이너의 대향하는 벽과 마주보고 있는 기판 컨테이너의 제1 벽에 포함되며; 퍼지 포트와 대향하는 벽 사이의 최소 거리는 기판 컨테이너의 내부의 높이이고; 퍼지 디퓨저는 퍼지 디퓨저가 퍼지 포트에 장착되는 경우 대향하는 벽을 향해 연장하는 거리인 퍼지 디퓨저 길이를 갖고; 퍼지 디퓨저 길이는 기판 컨테이너의 내부의 높이의 85% 이하이다.
실시예 13.
실시예 12에 따른 시스템에 있어서, 퍼지 디퓨저 길이는 기판 컨테이너의 내부의 높이의 60% 이하이다.
실시예 14.
실시예 12 또는 실시예 13에 따른 시스템에 있어서, 퍼지 디퓨저 길이는 기판 컨테이너의 내부의 높이의 적어도 20%이다.
실시예 15.
실시예 1 내지 실시예 14 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 퍼지 포트는 기판 컨테이너의 내부를 가로질러 기판 컨테이너의 대향하는 벽과 마주보고 있는 기판 컨테이너의 제1 벽에 포함되며; 퍼지 포트와 대향하는 벽 사이의 최소 거리는 기판 컨테이너의 내부의 높이이고; 내부 퍼지 가스 채널은 내부 퍼지 가스 채널이 퍼지 디퓨저가 퍼지 포트에 장착되는 경우 대향하는 벽을 향해 연장하는 거리인 내부 퍼지 가스 채널 길이를 갖고; 내부 퍼지 가스 채널 길이는 기판 컨테이너의 내부의 높이의 85% 이하이다.
실시예 16.
실시예 14에 따른 시스템에 있어서, 내부 퍼지 가스 채널 길이는 기판 컨테이너의 내부의 높이의 60% 이하이다.
실시예 17.
실시예 14 또는 실시예 15에 따른 시스템에 있어서, 내부 퍼지 가스 채널 길이는 기판 컨테이너의 내부의 높이의 적어도 20%이다.
실시예 18.
실시예 1 내지 실시예 17 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 퍼지 디퓨저 코어는 추가적으로 내부 퍼지 가스 채널과 접경하는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면으로부터 내부 퍼지 가스 채널 내로 돌출된 하나 이상의 변환기를 포함한다.
실시예 19.
실시예 18에 따른 시스템에 있어서, 하나 이상의 변환기는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면 상의 제1 장소로부터 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면 상의 제2 장소까지 내부 퍼지 가스 채널을 가로질러 가교되고, 제2 장소는 제1 장소로부터 분리되어 있다.
실시예 20.
실시예 17 또는 실시예 19에 따른 시스템에 있어서, 디퓨저 코어는 퍼지 포트에 근위의 내부 퍼지 가스 채널의 제1 세그먼트 내에 하나 이상의 변환기를 포함하고 디퓨저 코어는 퍼지 포트에 원위의 내부 퍼지 가스 채널의 제2 세그먼트 내에는 변환기를 포함하지 않는다.
실시예 21.
실시예 20에 따른 시스템에 있어서, 제1 세그먼트는 제2 세그먼트보다 작다.
실시예 22.
실시예 1 내지 실시예 21 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 디퓨저 포트는 퍼지 포트 커넥터와 가장 가까운 디퓨저 포트와 퍼지 포트 커넥터로부터 가장 먼 디퓨저 포트 사이의 내부 퍼지 가스 채널의 모든 부분이 퍼지 디퓨저의 길이에 수직인 라인을 따라 퍼지 디퓨저 포트를 통해 접근될 수 있도록 엇갈리게 배치된다.
실시예 23.
실시예 1 내지 실시예 22 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 기판 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod)이다.
실시예 24.
실시예 1 내지 실시예 23 중 어느 실시예에 따른 시스템에 있어서, 기판은 반도체 웨이퍼이다.
실시예 25.
기판 운송을 위한 시스템에 사용하기 위한 퍼지 디퓨저이며,
i) 내부 퍼지 가스 채널, 하나 이상의 디퓨저 포트 및 외부 표면을 갖는 퍼지 디퓨저 코어;
ii) 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된 필터 매체; 및
iii) 기판 운송을 위한 기판 컨테이너의 퍼지 포트에 퍼지 디퓨저를 장착시키기 위한 퍼지 포트 커넥터;를 포함하며,
퍼지 포트 커넥터를 통해 진입한 퍼지 가스가 내부 퍼지 가스 채널에 진입하고, 디퓨저 포트를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되어, 필터 매체를 통과하기 위한 연속적인 경로가 존재하도록 배열된다.
실시예 26.
실시예 25에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 퍼지 디퓨저 코어는 일체 구조이다.
실시예 27.
실시예 25에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 퍼지 디퓨저 코어는 일체형 물품인, 퍼지 디퓨저 코어를 도시한다.
실시예 28.
실시예 24 내지 실시예 25 중 어느 실시예에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 퍼지 디퓨저 코어는 사출 성형 가능한 재료를 포함하는 일체형 물품이고 퍼지 디퓨저 코어는 단일 성형으로 만들어진다.
실시예 29.
실시예 28에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 사출 성형 가능한 재료는 용융 공정 가능한 중합체이다.
실시예 30.
실시예 25 내지 실시예 29 중 어느 실시예에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 결합된다.
실시예 31.
실시예 25 내지 실시예 29 중 어느 실시예에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 필터 매체는 용접 접합에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 결합된다.
실시예 32.
실시예 31에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 필터 매체는 열 용접 접합, 임펄스 용접 접합 및 초음파 용접 접합으로부터 선택된 용접 접합에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 결합된다.
실시예 33.
실시예 25 내지 실시예 29에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 필터 매체는 접착제에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된다.
실시예 34.
실시예 25 내지 실시예 29에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 필터 매체는 필터 매체 브래킷에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정되며, 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어와 필터 매체 브래킷 사이에 고정되고 필터 매체 브래킷은 퍼지 디퓨저 코어에 부착된다.
실시예 35.
실시예 25 내지 실시예 29에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 필터 매체는 폴리올레핀, 폴리에스테르, 폴리술폰, 또는 플루오로중합체를 포함하는 다공성 소수성 필름이다.
실시예 36.
실시예 25 내지 실시예 35에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 필터 매체는 10 마이크로미터 내지 1300 마이크로미터 사이의 두께를 갖는다.
실시예 37.
실시예 25 내지 실시예 36에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 퍼지 디퓨저 코어는 추가적으로 내부 퍼지 가스 채널과 접경하는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면으로부터 내부 퍼지 가스 채널 내로 돌출된 하나 이상의 변환기를 포함한다.
실시예 38.
실시예 37에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 하나 이상의 변환기는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면의 제1 장소로부터 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면의 제2 장소까지 내부 퍼지 가스 채널을 가로질러 가교되고, 제2 장소는 제1 장소로부터 분리되어 있다.
실시예 39.
실시예 37 또는 실시예 38에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 디퓨저 코어는 퍼지 포트 커넥터와 근위의 내부 퍼지 가스 채널의 제1 세그먼트 내에 하나 이상의 변환기를 포함하고 디퓨저 코어는 퍼지 포트 커넥터와 원위의 내부 퍼지 가스 채널의 제2 세그먼트 내에는 변환기를 포함하지 않는다.
실시예 40.
실시예 39에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 제1 세그먼트는 제2 세그먼트보다 작다.
실시예 41.
실시예 25 내지 실시예 40 중 어느 실시예에 따른 퍼지 디퓨저에 있어서, 디퓨저 포트는 퍼지 포트 커넥터와 가장 가까운 디퓨저 포트와 디퓨저 포트 커넥터로부터 가장 먼 디퓨저 포트 사이의 내부 퍼지 가스 채널의 모든 부분이 퍼지 디퓨저의 길이와 수직인 라인을 따라 디퓨저 포트를 통해 접근될 수 있도록 엇갈리게 배치된다.
실시예 42.
실시예 25 내지 실시예 41 중 어느 실시예에 따른 퍼지 디퓨저를 만드는 방법이며,
a) 단일 일체형 물품으로 퍼지 디퓨저 코어를 성형하는 단계; 및
b) 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 필터 매체를 고정시키는 단계를 포함한다.
실시예 43.
실시예 42에 따른 방법에 있어서, a) 단계는 사출 성형에 의해 달성된다.
실시예 44.
실시예 42 또는 실시예 43에 따른 방법에 있어서, b) 단계는 용접에 의해 달성된다.
실시예 45.
실시예 42 또는 실시예 43에 따른 방법에 있어서, b) 단계는 임펄스 용접에 의해 달성된다.
실시예 46.
실시예 42 또는 실시예 43에 따른 방법에 있어서, b) 단계는 필터 매체 브래킷을 부착함으로서 달성되며, 필터 매체는 퍼지 디퓨저 코어와 필터 매체 브래킷 사이에 고정되고 필터 매체 브래킷은 퍼지 디퓨저 코어에 부착된다.
실시예 47.
실시예 1 내지 실시예 24 중 어느 실시예에 따른 기판 운송을 위한 시스템을 퍼지하는 방법에 있어서, 퍼지 가스의 유동을 퍼지 포트를 통해 퍼지 디퓨저 내로 통과시키고, 그에 의해 기판 컨테이너의 내부로 통과시키는 단계를 포함한다.
실시예 48.
실시예 45에 따른 방법에 있어서, 퍼지 가스는 질소이다.
실시예 49.
실시예 45에 따른 방법에 있어서, 퍼지 가스는 청정건조공기(CDA)이다.
실시예 50.
실시예 47에 따른 방법에 있어서, 퍼지 디퓨저는 기판 컨테이너의 내부의 상부 부분보다 기판 컨테이너의 내부의 하부 부분으로 더 많은 퍼지 가스의 유동을 제공한다.
본 개시 내용의 다양한 수정 및 다양한 변경은 본 개시 내용의 범주 및 원리로부터 벗어나지 않고 통상의 기술자에게 명백할 것이며, 본 개시 내용은 전술된 실례가 되는 실시예에 과도하게 한정되는 것이 아니라는 것이 이해되어야 한다.

Claims (19)

  1. 기판 운송을 위한 시스템에 사용하기 위한 퍼지 디퓨저이며,
    i) 내부 퍼지 가스 채널, 하나 이상의 디퓨저 포트 및 외부 표면을 갖는 퍼지 디퓨저 코어;
    ii) 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정된 필터 매체; 및
    iii) 기판 운송을 위한 기판 컨테이너의 퍼지 포트에 퍼지 디퓨저를 장착시키기 위한 퍼지 포트 커넥터;를 포함하며,
    퍼지 포트 커넥터를 통해 진입한 퍼지 가스가 내부 퍼지 가스 채널에 진입하고, 디퓨저 포트를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되고, 필터 매체를 통과하기 위한 연속적인 경로가 존재하도록 배열된, 퍼지 디퓨저.
  2. 제1항에 있어서,
    퍼지 디퓨저 코어는 일체형 물품인, 퍼지 디퓨저.
  3. 제1항에 있어서,
    퍼지 디퓨저 코어는 사출 성형 가능한 용융 공정 가능한 중합체를 포함하는 일체형 물품인, 퍼지 디퓨저.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    필터 매체는 용접 접합에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 직접적으로 결합된, 퍼지 디퓨저.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    필터 매체는 접착제에 의해 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정되는, 퍼지 디퓨저.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    필터 매체 위에 안배된 스크림을 더 포함하는, 퍼지 디퓨저.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    필터 매체는 폴리올레핀, 폴리에스테르, 폴리술폰, 또는 플루오로중합체를 포함하는 다공성 소수성 필름인, 퍼지 디퓨저.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    필터 매체는 폴리올레핀, 폴리에스테르, 폴리술폰, 또는 플루오로중합체를 포함하는 소수성 멤브레인인, 퍼지 디퓨저.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    필터 매체는 소수성 초고분자량 폴리에틸렌 멤브레인인, 퍼지 디퓨저.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    퍼지 디퓨저 코어는 내부 퍼지 가스 채널과 접경하는 퍼지 디퓨저 코어의 내부 표면으로부터 내부 퍼지 가스 채널 내로 돌출된 하나 이상의 변환기를 추가적으로 포함하는, 퍼지 디퓨저.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    디퓨저 포트는 퍼지 포트 커넥터와 가장 가까운 디퓨저 포트와 퍼지 포트 커넥터로부터 가장 먼 디퓨저 포트 사이의 내부 퍼지 가스 채널의 모든 부분이 퍼지 디퓨저의 길이에 수직인 라인을 따라 디퓨저 포트를 통해 접근될 수 있도록 엇갈리게 배치된, 퍼지 디퓨저.
  12. 기판 운송을 위한 시스템이며,
    a) 개구부를 포함하는 컨테이너 부분, 개구부에서 수용되도록 구성된 도어, 및 퍼지 가스를 컨테이너 부분의 내부로 유입시키기 위한 퍼지 포트를 포함하는 기판 컨테이너; 및
    b) 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 퍼지 디퓨저로서, 퍼지 포트 커넥터에 의해 퍼지 포트에 장착되고, 퍼지 포트를 통해 진입한 퍼지 가스가 내부 퍼지 가스 채널에 진입하고, 디퓨저 포트를 통해 내부 퍼지 가스 채널로부터 배출되고, 필터 매체를 통해 기판 컨테이너의 내부로 통과하기 위한 연속적인 경로가 존재하도록 배열된, 퍼지 디퓨저를 포함하는, 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    퍼지 포트는 기판 컨테이너의 내부를 가로질러 기판 컨테이너의 대향하는 벽과 마주보고 있는 기판 컨테이너의 제1 벽에 포함되며; 기판 컨테이너의 높이는 컨테이너 부분의 상단부 벽으로부터 컨테이너 부분의 하단부 벽까지 측정되며, 퍼지 디퓨저의 길이는 기판 컨테이너의 높이의 85% 이하인, 시스템.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    기판 컨테이너는 FOUP(front opening unified pod)인, 시스템.
  15. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 퍼지 디퓨저를 만드는 방법이며,
    a) 퍼지 디퓨저 코어를 단일 일체형 물품으로 성형하는 단계; 및
    b) 필터 매체를 퍼지 디퓨저 코어의 외부 표면에 고정시키는 단계를 포함하는, 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    a) 단계는 사출 성형에 의해 달성되는, 방법.
  17. 제15항 또는 제16항에 있어서,
    b) 단계는 용접에 의해 달성되는, 방법.
  18. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 기판 운송을 위한 시스템을 퍼지하는 방법이며,
    퍼지 가스의 유동을 퍼지 포트를 통해 퍼지 디퓨저 내로 통과시키고 그에 의해 기판 컨테이너의 내부로 통과시키는 단계를 포함하는, 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    퍼지 가스는 질소이고 퍼지 디퓨저는 기판 컨테이너의 내부의 상부 부분보다 기판 컨테이너의 내부의 하부 부분에 더 많은 퍼지 가스의 유동을 제공하는, 방법.
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