JP6542396B2 - 機器フロントエンドモジュールのための流れ変更固定具 - Google Patents
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Description
本出願は、2015年6月17日に出願された米国仮特許出願第62/181018号、2015年10月13日に出願された米国仮特許出願第62/240925号、および2017年3月9日に出願された米国仮特許出願第62/305652号の利益および優先権を主張するものであり、上記仮出願の全体はあらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
FOUPパージは、EFEM内の損傷したFFUまたは可動部品から発生する可能性がある粒子またはAMCがFOUP内に浸入するのを防止することでも知られている。図20は、粒子汚染からのウエハ保護に対するEFC効果を評価するための試験設定200を示す。この試験は、EFC/ディフューザパージの有り/無しの場合について、ウエハ上の粒子加算器を測定することによって、EFC粒子防止効率を評価するものである。100nmのPSL粒子が、CDAパージ(40slpm/ポート)の間に30秒間アトマイザ204によって生成された。ウエハ1および25上の粒子加算器は、スキャン前およびスキャン後(KLA Tencor、SP1−TBI)に90〜120nmサイズのビンにおける粒子数を比較することによって測定した。(1)EFCを用いたディフューザパージ、(2)ディフューザパージのみ、(3)パージもEFCも無し、の3つの試験条件を評価した。
Claims (8)
- 機器フロントエンドモジュールの開口部の上方の内壁に接続されて、前記内壁から離れて前記機器フロントエンドモジュールの内部まで、ある角度で延在する金属メッシュを含む材料のシートを含み、前記シートは、前記機器フロントエンドモジュールの前記開口部に沿って延在するようにサイズが決められた第1の辺であって、前記機器フロントエンドモジュールのロードポート開口部の幅と少なくとも等しい第1の寸法を有する第1の辺と、前記機器フロントエンドモジュールの前記内部まで延在する第2の辺であって、前記材料のシートが前記機器フロントエンドモジュールの前記内部まで延在する場合に、前記機器フロントエンドモジュールの内部のガス流を変更する第2の寸法を有する第2の辺と、を有する、流れ変更固定具。
- 前記固定具は、前記機器フロントエンドモジュールの内壁と一体に形成されている、請求項1に記載の流れ変更固定具。
- 前記固定具は、前記機器フロントエンドモジュールの前記内壁に物理的に接続されている、請求項1に記載の流れ変更固定具。
- 前記固定具は、前記内壁に対して測定された角度で前記機器フロントエンドモジュールの前記内部まで延在する、請求項1に記載の流れ変更固定具。
- 前記角度は、前記内壁に対して測定された90度の角度である、請求項4に記載の流れ変更固定具。
- 前記角度は、前記内壁の上方側に対して測定された角度が90度よりも大きい、請求項4に記載の流れ変更固定具。
- 機器フロントエンドモジュールであって、
前記流れ変更固定具が前記機器フロントエンドモジュールの前記内壁から離れて前記機器フロントエンドモジュールの内部まで、ある角度で突出するように、前記機器フロントエンドモジュールの開口部の上方の内壁に結合された請求項1に記載の前記流れ変更固定具を含み、前記流れ変更固定具は、前記機器フロントエンドモジュールの開口部を横切って前記機器フロントエンドモジュールの上部から底部に流れるガスの流れを変更する、機器フロントエンドモジュール。 - 機器フロントエンドモジュール内の空気流を変更する方法であって、前記流れ変更固定具が前記機器フロントエンドモジュールの内壁から離れて前記機器フロントエンドモジュールの内部まで、ある角度で突出するように、請求項1に記載の前記流れ変更固定具を前記機器フロントエンドモジュールの開口部の上方に配置するステップを含み、前記流れ変更固定具は、前記機器フロントエンドモジュールの開口部を横切って前記機器フロントエンドモジュールの上部から底部に流れるガスの流れを変更する、方法。
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