KR20190055121A - Anisotropically conductive sheet - Google Patents

Abstract

이방 도전성 시트는, 피검사 장치 및 검사 장치를 서로 전기적으로 접속하기 위한 이방 도전성 시트로서, 두께 방향으로 관통하는 관통 구멍을 갖는 절연층과, 관통 구멍에 배치되는 도체부를 갖는 이방 도전부를 구비하고, 도체부의 두께 방향 한쪽 면 및 관통 구멍의 둘레 측면이, 제 1 오목부를 구획한다.The anisotropically conductive sheet is an anisotropically conductive sheet for electrically connecting an inspecting device and an inspecting device with each other, the anisotropically conductive sheet comprising an anisotropic conductive portion having an insulating layer having a through hole penetrating in the thickness direction and a conductor portion arranged in the through- One surface in the thickness direction of the conductor portion and a circumferential surface of the through hole define the first concave portion.

Description

이방 도전성 시트Anisotropically conductive sheet

본 발명은, 이방 도전성 시트, 자세하게는, 피검사 장치와 검사 장치를 서로 전기적으로 접속하기 위해 이용되는 이방 도전성 시트에 관한 것이다.The present invention relates to an anisotropically conductive sheet, and more particularly, to an anisotropic conductive sheet used for electrically connecting an inspecting apparatus and an inspecting apparatus to each other.

종래로부터, 반도체 소자를 회로 기판에 실장하기 전에, 반도체 소자나 회로 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 기능하는지 여부의 기능 검사(도통 검사)가 실시되고 있다. 기능 검사에서는, 반도체 소자 또는 회로 기판 등의 피검사 장치의 단자를, 프로브 테스터 등의 검사 장치에 전기적으로 접속시킬 필요가 있고, 그 때문에, 이방 도전성 시트(커넥터)가 이용되고 있다. 구체적으로는, 이방 도전성 시트를 피검사 장치 및 검사 장치의 사이에 두고, 이방 도전성 시트의 한쪽의 접속부를 피검사 장치의 단자에 접촉시키고, 다른 쪽의 접속부를 검사 장치의 프로브 단자에 접촉시키는 것에 의해, 이들을 전기적으로 확실히 접속하고 있다.Conventionally, before semiconductor elements are mounted on a circuit board, functional inspection (conduction inspection) is performed on each of semiconductor elements and circuit boards to determine whether they function normally or not. In the functional inspection, it is necessary to electrically connect the terminals of devices to be inspected such as semiconductor devices or circuit boards to an inspection apparatus such as a probe tester, and therefore, an anisotropically conductive sheet (connector) is used. Concretely, the anisotropic conductive sheet is placed between the inspecting device and the inspecting device, one of the connecting portions of the anisotropic conductive sheet is brought into contact with the terminal of the inspecting device, and the other connecting portion is brought into contact with the probe terminal of the inspecting device So that they are electrically connected to each other.

이와 같은 이방 도전성 시트가, 예컨대, 특허문헌 1에 개시되어 있다. 특허문헌 1에 기재된 복합 도전성 시트는, 복수의 관통 구멍이 형성된 절연성 시트와, 관통 구멍의 각각에 충전되고, 또한 절연성 시트의 양면의 각각으로부터 돌출하도록 배치된 강성 도체를 갖고 있다.Such an anisotropically conductive sheet is disclosed, for example, in Patent Document 1. The composite conductive sheet described in Patent Document 1 has an insulating sheet in which a plurality of through holes are formed and a rigid conductor which is filled in each of the through holes and arranged so as to project from each of both surfaces of the insulating sheet.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 2007-220534호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-220534

그런데, 복합 도전성 시트에서는, 강성 도체를 보호하기 위해, 강성 도체의 표면에 도금층을 마련하거나, 도전성 입자 및 수지를 함유하는 도전성 탄성부(쿠션부)를 마련하거나 하는 것이 검토된다.However, in the composite conductive sheet, it is considered that a plated layer is provided on the surface of the rigid conductor or a conductive elastic portion (cushion portion) containing the conductive particles and resin is provided in order to protect the rigid conductor.

그렇지만, 특허문헌 1에 기재된 복합 도전성 시트에서는, 강성 도체가 시트 표면으로부터 돌출되어 있기 때문에, 도금층이나 도전성 탄성부를 형성하면, 인접하는 강성 도체의 사이(우묵한 부분)에 도금층이나 도전성 탄성부가 부착되기 쉽다. 그 결과, 인접하는 강성 도체끼리가, 도금층이나 도전성 탄성부를 통해서, 도통(단락)하기 쉬운 문제가 생긴다.However, in the composite conductive sheet described in Patent Document 1, since the rigid conductor is protruded from the sheet surface, if the plating layer or the conductive elastic portion is formed, the plating layer or the conductive elastic portion tends to adhere to the space between the adjacent rigid conductors . As a result, there arises a problem that adjacent rigid conductors are easily connected (short-circuited) through the plating layer or the conductive elastic portion.

본 발명은, 인접하는 이방 도전부의 도통을 억제할 수 있는 이방 도전성 시트를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide an anisotropic conductive sheet capable of suppressing conduction between adjacent anisotropic conductive portions.

본 발명 [1]은, 피검사 장치 및 검사 장치를 서로 전기적으로 접속하기 위한 이방 도전성 시트로서, 두께 방향으로 관통하는 관통 구멍을 갖는 절연층과, 상기 관통 구멍에 배치되는 도체부를 갖는 이방 도전부를 구비하고, 상기 도체부의 두께 방향 한쪽 면 및 상기 관통 구멍의 둘레 측면이, 제 1 오목부를 구획하는, 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.The present invention [1] is an anisotropic conductive sheet for electrically connecting a device to be inspected and an inspecting device to each other, comprising: an insulating layer having a through hole penetrating in the thickness direction; and an anisotropically conductive portion having a conductor portion disposed in the through hole And one side in the thickness direction of the conductor portion and a peripheral side surface of the through hole define a first concave portion.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 도체부의 두께 방향 한쪽 면 및 관통 구멍의 둘레 측면이 제 1 오목부를 구획하기 때문에, 이방 도전부의 두께 방향 한쪽 면에 도금층이나 도전성 탄성부를 배치할 때에, 도금층이나 도전성 탄성부를 제 1 오목부 내에 수용할 수 있다. 따라서, 도금층 등이 절연층의 두께 방향 한쪽 면에 부착되기 어렵고, 그 결과, 인접하는 이방 도전부의 도체부끼리가 도통하는 것을 억제할 수 있다.According to such an anisotropically conductive sheet, since one surface in the thickness direction of the conductor portion and the peripheral surface of the through hole define the first recess, when the plating layer or the conductive elastic portion is disposed on one surface in the thickness direction of the anisotropic conductive portion, Can be accommodated in the first concave portion. Therefore, it is difficult for the plating layer or the like to adhere to one side in the thickness direction of the insulating layer, and as a result, conduction between the conductor portions of the adjacent anisotropic conductive portions can be suppressed.

본 발명 [2]는, 상기 절연층은, 상기 관통 구멍에 있어서 두께 방향에 직교하는 면 방향으로 우묵한 피감합부를 갖고, 상기 도체부는, 상기 피감합부에 감합(嵌合)하는 감합부를 갖는, [1]에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.In the present invention [2], it is preferable that the insulating layer has a recessed portion that is recessed in the surface direction orthogonal to the thickness direction in the through hole, and the conductor portion has a fitting portion to be fitted to the fitted portion, And the anisotropically conductive sheet described in [1].

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 도체부는, 절연층에 감합하고 있기 때문에, 도체부가, 감합부에 의해 절연층에 고정되어 있다. 따라서, 피검사 장치의 검사시에 있어서, 피검사 장치 및 검사 장치에 의해 도체부가 두께 방향 양측으로부터 안쪽으로 향해 가압되었다고 하더라도, 도체부의 탈락을 억제할 수 있다. 그 결과, 내구성이 우수하다.According to such an anisotropic conductive sheet, since the conductor portion fits into the insulating layer, the conductor portion is fixed to the insulating layer by the mating portion. Therefore, even when the conductor portions are pressed inward from both sides in the thickness direction by the inspecting device and the inspecting device at the time of inspecting the inspecting device, the detachment of the conductor portions can be suppressed. As a result, the durability is excellent.

본 발명 [3]은, 상기 도체부는, 두께 방향 및 면 방향의 양쪽에 교차하는 교차 방향으로 연장되는 경사부를 구비하는, [2]에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.In the present invention [3], the conductor section includes the anisotropically conductive sheet described in [2], which has an inclined section extending in the cross direction crossing both the thickness direction and the surface direction.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 도체부는, 경사하고 있기 때문에, 보다 확실히 제 1 오목부를 형성할 수 있다.According to such an anisotropic conductive sheet, since the conductor portion is inclined, the first concave portion can be formed more reliably.

본 발명 [4]는, 상기 도체부는, 상기 경사부의 면 방향 가장자리로부터 면 방향으로 연장되는 단부를 더 구비하는, [3]에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.In the present invention [4], the conductor section further includes an anisotropic conductive sheet according to [3], further comprising an end portion extending in a planar direction from a planar edge of the inclined portion.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 도체부가, 경사부로부터 연장되는 단부를 절연층의 피감합부에 감합시킬 수 있기 때문에, 도체부는, 보다 한층 강고하게 절연층에 고정될 수 있다. 그 결과, 도체부의 탈락을 보다 확실히 억제할 수 있다. 따라서, 내구성이 보다 한층 우수하다.According to such an anisotropic conductive sheet, since the conductor portion can fit the end portion extending from the inclined portion to the surface-to-be-inspected portion of the insulating layer, the conductor portion can be fixed more firmly to the insulating layer. As a result, detachment of the conductor portion can be suppressed more reliably. Therefore, the durability is further improved.

본 발명 [5]는, 상기 제 1 오목부는, 두께 방향 한쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖는, [1]~[4]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.In the present invention [5], the first concave portion includes the anisotropic conductive sheet described in any one of [1] to [4], which has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening increases toward one side in the thickness direction.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 피검사 장치의 검사시에 있어서, 피검사 장치의 단자를 두께 방향 한쪽으로부터 도체부에 용이하게 전기적으로 접속시킬 수 있다.According to such an anisotropically conductive sheet, it is possible to easily electrically connect the terminal of the device under test to the conductor portion from one side in the thickness direction at the time of inspecting the device under test.

본 발명 [6]은, 상기 도체부의 두께 방향 다른 쪽 면은, 상기 절연층의 두께 방향 다른 쪽 면보다 두께 방향 한쪽에 위치하고, 상기 도체부의 두께 방향 다른 쪽 면 및 상기 관통 구멍의 둘레 측면이, 제 2 오목부를 구획하는, [1]~[5]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.In the present invention [6], the other surface in the thickness direction of the conductor portion is located on one side in the thickness direction than the other surface in the thickness direction of the insulating layer, and the other surface in the thickness direction of the conductor portion and the peripheral surface side of the through- The present invention includes the anisotropically conductive sheet described in any one of [1] to [5], wherein the anisotropic conductive sheet is divided into two recesses.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 도체부의 두께 방향 다른 쪽 면 및 관통 구멍의 둘레 측면이 제 2 오목부를 구획하기 때문에, 도전부의 두께 방향 다른 쪽 면에 도금층이나 도전성 탄성부를 배치할 때에, 도금층이나 도전성 탄성부를 제 2 오목부 내에 수용할 수 있다. 따라서, 도금층 등이 절연층의 두께 방향 다른 쪽 면에 부착되기 어렵고, 그 결과, 인접하는 이방 도전부의 도체부끼리가 도통하는 것을 억제할 수 있다.According to such an anisotropic conductive sheet, since the second recessed portion is defined by the other surface in the thickness direction of the conductor portion and the peripheral side surface of the through hole, when the plating layer or the conductive elastic portion is disposed on the other surface in the thickness direction of the conductive portion, And the elastic portion can be accommodated in the second concave portion. Therefore, it is difficult for the plating layer or the like to adhere to the other surface in the thickness direction of the insulating layer, and as a result, conduction between the conductor portions of the adjacent anisotropic conductive portions can be suppressed.

본 발명 [7]은, 상기 제 2 오목부는, 두께 방향 다른 쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖는, [6]에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.[7] In the present invention [7], the second concave portion includes the anisotropic conductive sheet described in [6], which has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening becomes larger as it goes toward the other side in the thickness direction.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 피검사 장치의 검사시에 있어서, 검사 장치의 단자를 두께 방향 다른 쪽으로부터 도체부에 용이하게 전기적으로 접속시킬 수 있다.According to such an anisotropically conductive sheet, the terminals of the inspecting apparatus can be easily electrically connected to the conductor section from the other side in the thickness direction at the time of inspecting the inspecting apparatus.

본 발명 [8]은, 상기 이방 도전부는, 상기 도체부의 두께 방향 한쪽 면 및 두께 방향 다른 쪽 면에, 도금층을 더 구비하는, [1]~[7]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.The anisotropic conductive part of the present invention [8] is characterized in that the anisotropic conductive part further comprises an anisotropic conductive sheet according to any one of [1] to [7], further comprising a plating layer on one side in the thickness direction and the other side in the thickness direction of the conductor part .

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 도체부의 산화를 억제할 수 있기 때문에, 내구성이 우수하다.According to such an anisotropic conductive sheet, oxidation of the conductor portion can be suppressed, and therefore, durability is excellent.

본 발명 [9]는, 상기 도체부의 두께 방향 한쪽에 배치되고, 도전성 입자 및 수지를 함유하는 도전성 탄성부를 더 구비하는, [1]~[8]의 어느 한 항에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.The present invention [9] includes the anisotropic conductive sheet described in any one of [1] to [8], further comprising a conductive elastic portion disposed on one side in the thickness direction of the conductive portion and containing conductive particles and resin have.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 제 1 오목부에 도전성 탄성부가 충전되어 있기 때문에, 피검사 장치의 복수의 단자의 높이 등에, 격차가 생겨 있는 경우에도, 피검사 장치를 이방 도전성 시트에 가압할 때에, 이들 단자의 높이에 따라, 도전성 탄성부가 압축 또는 변형될 수 있다. 그 결과, 복수의 단자의 높이가 불균일한 경우, 확실히 검사할 수 있다.According to such an anisotropically conductive sheet, since the first concave portion is filled with the conductive elastic portion, even when there is a gap in the height of a plurality of terminals of the device under test, when the device to be inspected is pressed onto the anisotropically conductive sheet , Depending on the height of these terminals, the conductive elastic part can be compressed or deformed. As a result, when the heights of the plurality of terminals are uneven, it is possible to reliably inspect them.

또한, 도전성 탄성부가, 피검사 장치로부터의 과도한 압력을 흡수함과 아울러, 도체부와 피검사 장치의 직접적인 접촉을 회피한다. 따라서, 내구성이 우수하다.Further, the conductive elastic portion absorbs excessive pressure from the device under test, and avoids direct contact between the conductor and the device under test. Therefore, durability is excellent.

본 발명 [12]는, 상기 도금층의 두께 방향 한쪽 면 및 상기 관통 구멍의 둘레 측면이, 제 3 오목부를 구획하고, 상기 도전성 탄성부의 체적 비율은, 상기 제 3 오목부의 체적에 대하여, 20% 이상 200% 이하인, [9]에 기재된 이방 도전성 시트를 포함하고 있다.In the present invention [12], one surface in the thickness direction of the plating layer and the peripheral surface of the through hole define a third recess, and the volume ratio of the conductive elastic part is 20% or more And an anisotropic conductive sheet according to [9], wherein the anisotropic conductive sheet has a thickness of 200% or less.

이와 같은 이방 도전성 시트에 의하면, 피검사 장치 등이 구비하는 복수의 단자의 높이가 불균일한 경우에도, 보다 한층 확실히 검사할 수 있다. 또한, 도전성 탄성부가, 이방 도전부로의 압력이나 충격을 확실히 완화시킬 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.According to such an anisotropically conductive sheet, even when the height of a plurality of terminals provided in an apparatus to be inspected or the like is non-uniform, it is possible to perform inspection more reliably. Further, since the conductive elastic portion can reliably relieve the pressure and impact to the anisotropic conductive portion, the durability is further improved.

본 발명의 이방 도전성 시트에 의하면, 인접하는 이방 도전부의 도통을 억제할 수 있다.According to the anisotropically conductive sheet of the present invention, conduction of the adjacent anisotropically conductive portions can be suppressed.

도 1은 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 1 실시 형태의 일 실시 형태의 평면도를 나타낸다.
도 2는 도 1의 A-A선에 있어서의 부분 확대 측단면도를 나타낸다.
도 3은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트를 사용할 때의 측단면도를 나타낸다.
도 4는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트를 이용한 도금층을 갖는 이방 도전성 시트의 측단면도를 나타낸다.
도 5는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트를 이용한 도전성 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트의 측단면도를 나타낸다.
도 6은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(커버 절연층이, 차양부의 상면 전면을 피복하는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 7은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(제 2 오목부가, 아래쪽으로 향함에 따라 지름이 축소되는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 8은 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(제 1 베이스층을 구비하지 않고, 중앙부의 하면이 제 2 베이스층의 하면과 단차가 없는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 9는 도 1에 나타내는 이방 도전성 시트의 변형예(제 1 베이스층을 구비하지 않고, 중앙부가 아래쪽으로 돌출하는 형태)의 측단면도를 나타낸다.
도 10은 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 2 실시 형태의 일 실시 형태의 부분 확대 측단면도를 나타낸다.
도 11은 도 10에 나타내는 이방 도전성 시트를 이용한 도금층을 갖는 이방 도전성 시트의 측단면도를 나타낸다.
도 12는 도 10에 나타내는 이방 도전성 시트를 이용한 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트의 측단면도를 나타낸다.
도 13은 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 3 실시 형태의 일 실시 형태의 부분 확대 측단면도를 나타낸다.
도 14는 도 13에 나타내는 이방 도전성 시트를 이용한 도금층을 갖는 이방 도전성 시트의 측단면도를 나타낸다.
도 15는 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 4 실시 형태의 일 실시 형태의 부분 확대 측단면도를 나타낸다.
도 16은 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 5 실시 형태의 일 실시 형태의 부분 확대 측단면도를 나타낸다.
도 17은 본 발명의 이방 도전성 시트의 제 6 실시 형태의 일 실시 형태의 부분 확대 측단면도를 나타낸다.Fig. 1 shows a plan view of an embodiment of the first embodiment of the anisotropic conductive sheet of the present invention.
Fig. 2 is a sectional enlarged cross-sectional view taken along line AA of Fig.
3 is a side sectional view when the anisotropic conductive sheet shown in Fig. 1 is used.
4 is a side sectional view of an anisotropically conductive sheet having a plated layer using the anisotropic conductive sheet shown in Fig.
5 is a side sectional view of an anisotropic conductive sheet having a conductive elastic portion using the anisotropically conductive sheet shown in Fig.
6 is a side sectional view of a modified example of the anisotropically conductive sheet shown in Fig. 1 (a form in which the cover insulating layer covers the entire upper surface of the covering portion). Fig.
Fig. 7 is a side sectional view of a modified example of the anisotropic conductive sheet shown in Fig. 1 (the second concave portion is a shape in which the diameter is reduced as it goes downward).
Fig. 8 is a side cross-sectional view of a modified example of the anisotropic conductive sheet shown in Fig. 1 (a configuration in which the first base layer is not provided and the lower surface of the anisotropically conductive sheet is not stepped from the lower surface of the second base layer).
9 is a side cross-sectional view of a modified example of the anisotropic conductive sheet shown in Fig. 1 (a configuration in which the central portion protrudes downward without the first base layer).
10 is a partially enlarged cross-sectional view of an embodiment of the anisotropic conductive sheet of the present invention.
11 is a side sectional view of an anisotropic conductive sheet having a plated layer using the anisotropic conductive sheet shown in Fig.
12 is a side sectional view of an anisotropic conductive sheet having an elastic portion using the anisotropic conductive sheet shown in Fig.
13 is a partially enlarged cross-sectional view of an embodiment of the anisotropic conductive sheet of the third embodiment of the present invention.
14 is a side sectional view of an anisotropic conductive sheet having a plated layer using the anisotropic conductive sheet shown in Fig.
15 is a partially enlarged cross-sectional view of an embodiment of the anisotropic conductive sheet of the fourth embodiment of the present invention.
16 is a partially enlarged cross-sectional view of an embodiment of the anisotropic conductive sheet of the fifth embodiment of the present invention.
17 is a partially enlarged side sectional view of an embodiment of the anisotropic conductive sheet of the sixth embodiment of the present invention.

도 1에 있어서, 지면 종이 두께 방향은, 상하 방향(두께 방향, 제 1 방향)이고, 지면 앞쪽이 위쪽(두께 방향 한쪽, 제 1 방향 한쪽), 지면 안쪽이 아래쪽(두께 방향 다른 쪽, 제 1 방향 다른 쪽)이다. 또한, 지면 좌우 방향은, 좌우 방향(제 1 방향과 직교하는 제 2 방향)이고, 지면 좌측이 좌측(제 2 방향 한쪽), 지면 우측이 우측(제 2 방향 다른 쪽)이다. 또한, 지면 상하 방향은, 전후 방향(제 1 방향 및 제 2 방향과 직교하는 제 3 방향)이고, 지면 아래쪽이 앞쪽(제 3 방향 한쪽), 지면 위쪽이 뒤쪽(제 3 방향 다른 쪽)이다. 구체적으로는, 각 도면의 방향 화살표에 준거한다.1, the sheet paper thickness direction is a vertical direction (thickness direction, first direction), and the front side of the sheet is upward (one side in the thickness direction, one side in the first direction) and the inside of the sheet is downward The other direction). The left and right direction of the paper is a left and right direction (second direction perpendicular to the first direction), the left side of the paper is left (one side in the second direction), and the right side of the paper is right side (the other side in the second direction). Further, the vertical direction of the paper surface is the front (backward direction) (the third direction orthogonal to the first direction and the second direction), the lower side of the paper is the front side (one side in the third direction) and the upper side is the back side (the other side in the third direction). Specifically, it is based on the directional arrows in each drawing.

<제 1 실시 형태>&Lt; First Embodiment >

1. 이방 도전성 시트1. Anisotropically conductive sheet

도 1~도 3을 참조하여, 본 발명의 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트의 일 실시 형태에 대하여 설명한다.1 to 3, an embodiment of the anisotropic conductive sheet according to the first embodiment of the present invention will be described.

도 1에 나타내는 바와 같이, 이방 도전성 시트(1)는, 면 방향(전후 방향 및 좌우 방향)으로 연장되는 평면에서 볼 때 대략 직사각형의 평판 형상을 갖고 있다. 이방 도전성 시트(1)는, 복수의 이방 도전부(2)를 구비하고 있다.As shown in Fig. 1, the anisotropic conductive sheet 1 has a substantially rectangular flat plate shape when viewed in plan view extending in the planar direction (front-back direction and lateral direction). The anisotropically conductive sheet 1 is provided with a plurality of anisotropic conductive parts 2. [

복수의 이방 도전부(2)는, 이방 도전성 시트(1)의 평면에서 볼 때 대략 중앙부에, 전후 방향 및 좌우 방향으로 정렬되도록 인접 배치되어 있다. 구체적으로는, 이방 도전성 시트(1)는, 둘레 단부를 제외하고, 복수의 이방 도전부(2)만으로 형성되어 있다. 즉, 이방 도전성 시트(1)는, 연속하는 복수의 이방 도전부(2)로 형성되어 있다.The plurality of anisotropically conductive portions 2 are disposed adjacent to each other in the front-rear direction and in the left-right direction at a substantially central portion when viewed from the plane of the anisotropically conductive sheet 1. Specifically, the anisotropic conductive sheet 1 is formed of only a plurality of anisotropically conductive portions 2 except for the peripheral end portion. That is, the anisotropically conductive sheet 1 is formed of a plurality of continuous anisotropically conductive portions 2.

도 2에 나타내는 바와 같이, 복수의 이방 도전부(2)는, 각각, 절연층(3) 및 도체부(4)를 구비하고 있다. 절연층(3)에는, 면 방향으로 연장되는 피감합부(32)를 갖는 관통 구멍(16)이 형성되어 있고, 또한, 도체부(4)는, 관통 구멍(16)에 배치되어 있고, 피감합부(32)에 감합하고 있는 감합부(31)를 구비하고 있다.As shown in Fig. 2, the plurality of anisotropically conductive portions 2 are provided with an insulating layer 3 and a conductor portion 4, respectively. The insulating layer 3 is provided with a through hole 16 having a to-be-inspected portion 32 extending in the planar direction and the conductor portion 4 is disposed in the through hole 16, And an engaging portion 31 that engages with the engaging portion 32. [

구체적으로는, 절연층(3)은, 베이스 절연층과, 제 3 절연부로서의 커버 절연층(커버층)(7)을 구비하고 있다. 베이스 절연층은, 제 1 절연부로서의 제 1 베이스 절연층(제 1 베이스층)(5)과, 제 2 절연부로서의 제 2 베이스 절연층(제 2 베이스층)(6)을 일체적으로 구비하고 있다.Specifically, the insulating layer 3 includes a base insulating layer and a cover insulating layer (cover layer) 7 as a third insulating portion. The base insulating layer integrally includes a first base insulating layer (first base layer) 5 as a first insulating portion and a second base insulating layer (second base layer) 6 as a second insulating portion .

제 1 베이스층(5)은, 절연층(3)의 최하부에 위치하고, 도체부(4)의 중앙부(21)(후술)의 하면(두께 방향 다른 쪽 면)보다 아래쪽에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제 1 베이스층(5)은, 제 1 베이스층(5)의 상면(두께 방향 한쪽 면)이 제 2 베이스층(6)의 하면과 연속(접촉)하도록, 제 2 베이스층(6)의 하면에 배치되어 있다. 제 1 베이스층(5)의 하면은, 노출되어 있다.The first base layer 5 is disposed at the lowermost portion of the insulating layer 3 and below the lower surface (the other surface in the thickness direction) of the central portion 21 (described later) of the conductor portion 4. Specifically, the first base layer 5 is formed so that the upper surface (one side in the thickness direction) of the first base layer 5 is in continuous contact with the lower surface of the second base layer 6, 6). The lower surface of the first base layer 5 is exposed.

제 1 베이스층(5)은, 제 1 베이스층(5)을 상하 방향으로 관통하는 제 1 개구부(11)를 갖고 있다. 제 1 개구부(11)는, 저면에서 볼 때 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 아래쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 즉, 제 1 개구부(11)는, 아래쪽으로 향함에 따라 지름이 확대되는 대략 원뿔대 형상을 갖고 있다. 제 1 개구부(11)는, 위쪽에 있어서 제 2 개구부(12)와 연통하고 있다.The first base layer (5) has a first opening (11) penetrating the first base layer (5) in the vertical direction. The first opening 11 has a circular shape when viewed from the bottom, and has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening increases as it faces downward when viewed from the side end. That is, the first opening 11 has a substantially truncated cone shape whose diameter increases as it goes downward. The first opening 11 communicates with the second opening 12 on the upper side.

제 2 베이스층(6)은, 절연층(3)의 상하 방향 중간에 위치하고, 제 1 베이스층(5)의 위쪽에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제 2 베이스층(6)은, 제 2 베이스층(6)의 하면이 제 1 베이스층(5)의 상면과 연속하고, 제 2 베이스층(6)의 상면이 커버층(7)의 하면과 연속하도록, 제 1 베이스층(5)의 상면 및 커버층(7)의 하면에 배치되어 있다.The second base layer 6 is located in the middle of the insulating layer 3 in the vertical direction and above the first base layer 5. Specifically, the second base layer 6 is formed such that the lower surface of the second base layer 6 is continuous with the upper surface of the first base layer 5 and the upper surface of the second base layer 6 is covered with the cover layer 7 The upper surface of the first base layer 5 and the lower surface of the cover layer 7 are continuous.

제 2 베이스층(6)은, 제 2 개구부(12)(후술)를 구획하는 경사면(17)과, 경사면(17)의 상단으로부터 제 2 개구부(12)의 바깥쪽으로 연속하는 상단면(18)을 구비하고 있다. 제 2 베이스층(6)은, 도체부(4)의 둘레 측부의 하면을 피복하고 있다. 구체적으로는, 제 2 베이스층(6)은, 그 경사면(17)이 경사부(22)(후술)의 하면 전면과 접촉하고, 그 상단면(18)이 차양부(23)(후술)의 하면 전면과 접촉하도록, 도체부(4)의 하면을 피복하고 있다.The second base layer 6 includes an inclined surface 17 defining a second opening 12 (to be described later), a top surface 18 extending from the top of the inclined surface 17 to the outside of the second opening 12, . The second base layer 6 covers the lower surface of the peripheral portion of the conductor portion 4. Specifically, the second base layer 6 is formed such that the inclined surface 17 thereof is in contact with the lower surface of the inclined portion 22 (described later), and the upper surface 18 thereof is in contact with the surface of the oblique portion 23 The bottom surface of the conductor section 4 is covered so as to be in contact with the front surface.

제 2 베이스층(6)은, 제 2 베이스층(6)을 상하 방향으로 관통하는 제 2 개구부(12)를 갖고 있다. 제 2 개구부(12)는, 저면에서 볼 때 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 즉, 제 2 개구부(12)는, 위쪽으로 향함에 따라 지름이 확대되는 대략 원뿔대 형상을 갖고 있다. 제 2 개구부(12)는, 아래쪽에 있어서 제 1 개구부(11)와 연통하고, 위쪽에 있어서 제 3 아래쪽 개구부(14)와 연통하고 있다. 제 2 개구부(12)의 하단의 개구는, 제 1 개구부(11)의 하단의 개구와 일치한다.The second base layer (6) has a second opening (12) penetrating the second base layer (6) in the vertical direction. The second opening 12 has a circular shape when viewed from the bottom, and has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening increases as it faces upward. That is, the second opening 12 has a substantially truncated cone shape whose diameter increases as it goes upward. The second opening portion 12 communicates with the first opening portion 11 on the lower side and the third lower opening portion 14 on the upper side. The opening of the lower end of the second opening portion 12 coincides with the opening of the lower end of the first opening portion 11.

커버층(7)은, 절연층(3)의 최상부에 위치하고, 제 2 베이스층(6)의 위쪽에 배치되어 있다. 구체적으로는, 커버층(7)은, 커버층(7)의 하면이 제 2 베이스층(6)의 상면과 연속하도록, 제 2 베이스층(6)의 상면에 배치되어 있다. 커버층(7)은, 도체부(4)의 차양부(23)(후술)의 하면보다 위쪽에 배치되어 있다. 또한, 커버층(7)의 상면은, 노출되어 있다. 커버층(7)은, 측단면에서 볼 때 갈고리 형상을 갖고, 도체부(4)의 둘레 측면 및 상면(구체적으로는, 차양부(23)의 둘레 측면 전면 및 상면 전면)을 피복하고 있다.The cover layer 7 is located on the uppermost portion of the insulating layer 3 and is disposed above the second base layer 6. Specifically, the cover layer 7 is disposed on the upper surface of the second base layer 6 such that the lower surface of the cover layer 7 is continuous with the upper surface of the second base layer 6. The cover layer 7 is disposed above the lower surface of the flange portion 23 (to be described later) of the conductor portion 4. The upper surface of the cover layer 7 is exposed. The cover layer 7 has a hook shape when viewed from the side end face and covers the circumferential side surface and the upper surface (concretely, the circumferential side surface and the upper surface front side of the flange portion 23) of the conductor portion 4.

커버층(7)은, 커버층(7)을 상하 방향으로 관통하는 제 3 개구부(13)를 갖고 있다. 제 3 개구부(13)는, 제 3 개구부(13)의 아래쪽을 구획하는 제 3 아래쪽 개구부(14)와, 제 3 개구부(13)의 위쪽을 구획하는 제 3 위쪽 개구부(15)를 구비하고 있다.The cover layer (7) has a third opening (13) penetrating the cover layer (7) in the vertical direction. The third opening 13 is provided with a third lower opening 14 for partitioning the lower side of the third opening 13 and a third upper opening 15 for partitioning the upper side of the third opening 13 .

제 3 아래쪽 개구부(14)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상을 갖고 있다. 즉, 제 3 아래쪽 개구부(14)는, 대략 원기둥 형상을 갖고 있다. 제 3 아래쪽 개구부(14)는, 아래쪽에 있어서 제 2 개구부(12)와 연통하고, 위쪽에 있어서 제 3 위쪽 개구부(15)와 연통하고 있다. 제 3 아래쪽 개구부(14)의 하단의 개구는, 제 2 개구부(12)의 상단의 개구보다 넓고, 상하 방향으로 투영했을 때에, 제 3 아래쪽 개구부(14)는, 제 2 개구부(12)를 포함한다.The third lower opening 14 has a substantially circular shape in a plan view and a substantially rectangular shape in a side view. That is, the third lower opening 14 has a substantially columnar shape. The third lower opening 14 communicates with the second opening 12 on the lower side and communicates with the third upper opening 15 on the upper side. The opening at the lower end of the third lower opening portion 14 is wider than the opening at the upper end of the second opening portion 12 and the third lower opening portion 14 includes the second opening portion 12 when projected in the vertical direction do.

제 3 위쪽 개구부(15)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 즉, 제 3 위쪽 개구부(15)는, 위쪽으로 향함에 따라 지름이 확대되는 대략 원뿔대 형상을 갖고 있다. 제 3 위쪽 개구부(15)는, 아래쪽에 있어서 제 3 아래쪽 개구부(14)와 연통하고 있다. 제 3 위쪽 개구부(15)의 하단의 개구는, 제 3 아래쪽 개구부(14)의 상단의 개구보다 좁고, 상하 방향으로 투영했을 때에, 제 3 위쪽 개구부(15)는, 제 3 아래쪽 개구부(14)에 포함된다.The third upper opening portion 15 has a substantially circular shape in plan view and has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening becomes larger as viewed from the side end face. That is, the third upper opening 15 has a substantially truncated cone shape whose diameter increases as it goes upward. The third upper opening (15) communicates with the third lower opening (14) on the lower side. The upper opening of the third upper opening 15 is narrower than the opening of the upper end of the third lower opening 14. When the upper opening is projected in the vertical direction, .

제 1 개구부(11), 제 2 개구부(12) 및 제 3 개구부(13)는, 상하 방향으로 연통하고 있고, 절연층(3)을 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(16)을 구성한다.The first opening 11, the second opening 12 and the third opening 13 communicate with each other in the vertical direction to form a through hole 16 penetrating the insulating layer 3 in the vertical direction.

제 1 베이스층(5), 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)은, 각각, 예컨대, 폴리이미드 수지, 폴리아미드이미드 수지, 아크릴 수지, 폴리에테르 수지, 니트릴 수지, 폴리에테르설폰 수지, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 수지, 폴리에틸렌 나프탈레이트 수지, 폴리염화비닐 수지 등의 합성수지로 형성되고, 바람직하게는, 폴리이미드 수지로 형성된다.The first base layer 5, the second base layer 6 and the cover layer 7 may be formed of a resin such as a polyimide resin, a polyamideimide resin, an acrylic resin, a polyether resin, a nitrile resin, a polyether sulfone resin , A polyethylene terephthalate resin, a polyethylene naphthalate resin, a polyvinyl chloride resin, or the like, preferably a polyimide resin.

제 1 개구부(11)의 하단(관통 구멍(16)의 하단)의 개구의 직경(면 방향 길이) L1은, 예컨대, 5㎛ 이상, 바람직하게는, 15㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 120㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하이다.The diameter (plane direction length) L1 of the lower end of the first opening 11 (the lower end of the through hole 16) is 5 탆 or more, preferably 15 탆 or more, Or less, preferably 50 mu m or less.

제 2 개구부(12)의 하단(제 1 개구부(11)의 상단)의 개구의 직경 L2(즉, 중앙부(21)의 직경)는, 예컨대, 5㎛ 이상, 바람직하게는, 15㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하이다. L1의 L2에 대한 비(L1/L2)는, 예컨대, 1.0 이상이고, 또한, 예컨대, 2.0 이하, 바람직하게는, 1.5 이하이다.The diameter L2 of the opening of the lower end of the second opening 12 (the upper end of the first opening 11) (that is, the diameter of the central portion 21) is 5 탆 or more, For example, 100 mu m or less, preferably 50 mu m or less. The ratio (L1 / L2) of L1 to L2 is 1.0 or more, for example, 2.0 or less, and preferably 1.5 or less.

제 3 아래쪽 개구부(14)의 상단 또는 하단의 개구의 직경 L3(즉, 도체부(4) 전체의 직경)은, 예컨대, 15㎛ 이상, 바람직하게는, 21㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 190㎛ 이하, 바람직하게는, 70㎛ 이하이다.The diameter L3 of the opening at the upper or lower end of the third lower opening 14 is 15 mu m or more and preferably 21 mu m or more, Mu m or less, preferably 70 mu m or less.

제 3 위쪽 개구부(15)의 하단의 개구의 직경 L4는, 예컨대, 5㎛ 이상, 바람직하게는, 15㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하이다.The diameter L4 of the opening at the lower end of the third upper opening portion 15 is, for example, 5 mu m or more, preferably 15 mu m or more and 100 mu m or less, preferably 50 mu m or less.

제 3 위쪽 개구부(15)의 상단(관통 구멍(16)의 상단)의 개구의 직경 L5는, 예컨대, 5㎛ 이상, 바람직하게는, 15㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하이다. L5의 L2에 대한 비(L5/L2)는, 예컨대, 1.0 이상이고, 또한, 예컨대, 3.0 이하, 바람직하게는, 2.0 이하이다.The diameter L5 of the opening of the upper end of the third upper opening 15 (the upper end of the through hole 16) is, for example, 5 mu m or more, preferably 15 mu m or more, Is 50 mu m or less. The ratio (L5 / L2) of L5 to L2 is 1.0 or more, for example, 3.0 or less, and preferably 2.0 or less.

제 2 베이스층(6)이 차양부(23)의 하면을 피복하고 있는 면 방향 길이 L6(즉, 차양부(23)의 면 방향 길이)은, 예컨대, 1㎛ 이상, 바람직하게는, 5㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 50㎛ 이하, 바람직하게는, 15㎛ 이하이다. L6의 L3에 대한 비(L6/L3)는, 예컨대, 0.06 이상, 바람직하게는, 0.1 이상이고, 또한, 예컨대, 0.35 이하, 바람직하게는, 0.30 이하이다. 상기 길이 L6이나 비가 상기 범위이면, 제 1 베이스층(5)이 차양부(23)를 아래쪽으로부터 확실히 고정할 수 있기 때문에, 보다 강고하게 도체부(4)를 고정할 수 있다.The surface direction length L6 of the second base layer 6 covering the lower surface of the flange portion 23 (that is, the surface direction length of the flange portion 23) is, for example, 1 탆 or more, For example, 50 mu m or less, and preferably 15 mu m or less. The ratio (L6 / L3) of L6 to L3 is, for example, 0.06 or more, preferably 0.1 or more, and is, for example, 0.35 or less, preferably 0.30 or less. When the length L6 or the ratio is within the above range, the first base layer 5 can firmly fix the flange portion 23 from below, so that the conductor portion 4 can be more firmly fixed.

커버층(7)이 차양부(23)(도체부(4))의 상면을 피복하고 있는 지름 방향 길이 L7은, 예컨대, 1㎛ 이상, 바람직하게는, 3㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 20㎛ 이하, 바람직하게는, 10㎛ 이하이다. 상기 길이 L7이 상기 범위이면, 제 1 베이스층(5)이 차양부(23)를 위쪽으로부터 확실히 고정할 수 있기 때문에, 보다 강고하게 도체부(4)를 고정할 수 있다.The radial length L7 of the cover layer 7 covering the upper surface of the flange portion 23 (conductor portion 4) is, for example, 1 mu m or more, preferably 3 mu m or more, Mu m or less, preferably 10 mu m or less. When the length L7 is in the above range, the first base layer 5 can firmly fix the flange portion 23 from above, so that the conductor portion 4 can be more firmly fixed.

제 1 베이스층(5)의 두께(상하 방향 길이) T1(즉, 제 1 개구부(11)의 깊이)은, 예컨대, 1㎛ 이상, 바람직하게는, 5㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 50㎛ 이하, 바람직하게는, 30㎛ 이하이다.The thickness T1 of the first base layer 5 (i.e., the depth of the first opening 11) is, for example, 1 占 퐉 or more, preferably 5 占 퐉 or more, Or less, preferably 30 mu m or less.

제 2 베이스층(6)의 두께 T2(즉, 제 2 개구부(12)의 깊이)는, 예컨대, 2㎛ 이상, 바람직하게는, 3㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 25㎛ 이하, 바람직하게는, 18㎛ 이하이다.The thickness T2 of the second base layer 6 (that is, the depth of the second opening 12) is, for example, 2 mu m or more, preferably 3 mu m or more, , And 18 μm or less.

커버층(7)의 두께 T3(즉, 제 3 개구부(13)의 깊이)은, 예컨대, 3㎛ 이상, 바람직하게는, 6㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 45㎛ 이하, 바람직하게는, 28㎛ 이하이다.The thickness T3 of the cover layer 7 (that is, the depth of the third opening portion 13) is 3 mu m or more, preferably 6 mu m or more, for example, 45 mu m or less, Mu m or less.

커버층(7)의 차양부(23)의 상면에 있어서의 두께 T4(즉, 제 3 위쪽 개구부(15)의 깊이)는, 예컨대, 1㎛ 이상, 바람직하게는, 3㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 20㎛ 이하, 바람직하게는, 10㎛ 이하이다.The thickness T4 (that is, the depth of the third upper opening portion 15) on the upper surface of the flange portion 23 of the cover layer 7 is, for example, 1 mu m or more, preferably 3 mu m or more, For example, 20 mu m or less, preferably 10 mu m or less.

절연층(3)의 총 두께 T5(즉, 관통 구멍(16)의 깊이)는, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 40㎛ 이하이고, 또한, 예컨대, 10㎛ 이상이다. 절연층(3)의 두께가 상기 상한 이하이면, 상하 방향으로 휘는 것이 용이하기 때문에, 피검사 장치(41)의 형상이나 휘어짐에 용이하게 추종할 수 있다. 따라서, 보다 저압에서의 검사가 가능하게 된다.The total thickness T5 of the insulating layer 3 (that is, the depth of the through hole 16) is, for example, 100 占 퐉 or less, preferably 50 占 퐉 or less, more preferably 40 占 퐉 or less, 10 mu m or more. If the thickness of the insulating layer 3 is less than the upper limit, it is easy to bend in the up and down direction, so that the shape and warpage of the device under test 41 can be easily followed. Therefore, inspection at a lower pressure becomes possible.

도체부(4)는, 관통 구멍(16)에 배치되어 있다. 구체적으로는, 도체부(4)는, 제 2 개구부(12) 및 제 3 개구부(13)에 충전되어 있다. 도체부(4)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상을 갖고 있다. 도체부(4)는, 도체부(4)의 지름 방향(면 방향 중심)으로 배치되는 중앙부(21)와, 중앙부(21)의 지름 방향 바깥쪽에 배치되는 경사부(22)와, 경사부(22)의 지름 방향 바깥쪽에 배치되는 단부로서의 차양부(23)(플랜지부)를 일체적으로 구비하고 있다.The conductor section (4) is arranged in the through hole (16). Specifically, the conductor portion 4 is filled in the second opening portion 12 and the third opening portion 13. The conductor portion 4 has a substantially circular shape in plan view. The conductor portion 4 includes a central portion 21 disposed in the radial direction (planar direction center) of the conductor portion 4, an inclined portion 22 disposed in the radial direction outer side of the central portion 21, 22 (flange portion) as an end portion disposed on the radially outer side.

중앙부(21)는, 제 2 개구부(12)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 중앙부(21)는, 제 2 개구부(12)에 충전되어 있다. 중앙부(21)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상을 갖고 있다. 즉, 중앙부(21)는, 원판 형상을 갖고 있다. 중앙부(21)의 둘레 가장자리는, 제 1 개구부(11)의 상단의 개구와 일치한다. 또한, 중앙부(21)의 상면 및 하면은, 절연층(3)(제 2 베이스층(6))으로부터 노출되어 있다.The central portion 21 is disposed inside the second opening portion 12. That is, the central portion 21 is filled in the second opening portion 12. The central portion 21 has a substantially circular shape in a plan view and a substantially rectangular shape in a side end view. That is, the central portion 21 has a disk shape. The peripheral edge of the central portion 21 coincides with the opening at the upper end of the first opening 11. The upper surface and the lower surface of the central portion 21 are exposed from the insulating layer 3 (second base layer 6).

경사부(22)는, 제 2 개구부(12) 및 제 3 아래쪽 개구부(14)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 경사부(22)는, 제 2 개구부(12) 및 제 3 아래쪽 개구부(14)의 내부에 충전되어 있다. 경사부(22)는, 평면에서 볼 때 대략 고리 형상, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상을 갖고 있다. 경사부(22)는, 그 안쪽 가장자리가 중앙부(21)의 둘레 가장자리(면 방향 가장자리)와 연속하고, 그 외주 가장자리가 차양부(23)의 내주연(內周緣)과 연속하도록, 중앙부(21) 및 차양부(23)와 일체적으로 연속하고 있다. 경사부(22)는, 측단면에서 볼 때, 중앙부(21)의 둘레 가장자리로부터, 상하 방향 및 지름 방향(면 방향)의 양쪽에 교차하는 교차 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 경사부(22)는, 중앙부(21)의 둘레 가장자리로부터, 지름 방향 바깥쪽으로 향함에 따라 위쪽으로 경사하는 경사 방향으로 직선 형상으로 연장되도록 형성되어 있다.The inclined portion 22 is disposed inside the second opening portion 12 and the third lower opening portion 14. That is, the inclined portion 22 is filled in the second opening portion 12 and the third lower opening portion 14. The inclined portion 22 has a substantially annular shape in plan view and a substantially rectangular shape in a side view. The inclined portion 22 is formed so that the inner edge of the inclined portion 22 is continuous with the peripheral edge (surface direction edge) of the central portion 21 and the outer peripheral edge thereof is continuous with the inner peripheral edge of the flange portion 23, And the flange portion 23 integrally. The inclined portion 22 is formed so as to extend from the peripheral edge of the central portion 21 in the cross direction intersecting both the vertical direction and the radial direction (planar direction) when viewed from the side end face. Specifically, the inclined portion 22 is formed so as to extend linearly in an oblique direction inclined upward as it goes outward in the radial direction from the peripheral edge of the central portion 21. [

경사부(22)의 내주연은, 제 2 개구부(12)의 하단의 개구와 일치하고, 경사부(22)의 외주연(外周緣)은, 제 2 개구부(12)의 상단의 개구와 일치한다. 경사부(22)의 상면은, 노출되고, 경사부(22)의 하면은, 제 2 베이스층(6)에 피복되어 있다.The inner circumferential edge of the inclined portion 22 coincides with the opening of the lower end of the second opening portion 12 and the outer circumferential edge of the inclined portion 22 coincides with the opening of the upper end of the second opening portion 12 do. The upper surface of the inclined portion 22 is exposed and the lower surface of the inclined portion 22 is covered with the second base layer 6. [

차양부(23)는, 제 3 아래쪽 개구부(14)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 차양부(23)는, 제 3 개구부(13)의 외주부에 충전되어 있다. 차양부(23)는, 평면에서 볼 때 대략 고리 형상, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상을 갖고 있다. 차양부(23)는, 그 안쪽 가장자리가 경사부(22)의 외주연과 연속하도록, 경사부(22)와 일체적으로 연속하고 있다. 차양부(23)는, 측단면에서 볼 때, 경사부(22)의 외주연(면 방향 가장자리)으로부터, 지름 방향(면 방향)으로 연장되도록 형성되어 있다.The flange portion 23 is disposed inside the third lower opening portion 14. That is, the flange portion 23 is filled in the outer peripheral portion of the third opening portion 13. The flange portion 23 has a substantially annular shape in a plan view and a substantially rectangular shape in a side end view. The flange portion 23 is integrally continuous with the inclined portion 22 so that the inner edge thereof is continuous with the outer periphery of the inclined portion 22. The flange portion 23 is formed so as to extend in the radial direction (surface direction) from the outer peripheral edge (surface direction edge) of the inclined portion 22 when viewed from the side end surface.

차양부(23)의 내주연은, 제 2 개구부(12)의 상단의 개구와 일치하고, 차양부(23)의 외주연은, 제 3 아래쪽 개구부(14)의 개구와 일치한다.The inner periphery of the flange portion 23 coincides with the opening of the upper end of the second opening portion 12 and the outer periphery of the flange portion 23 coincides with the opening of the third lower opening portion 14.

차양부(23)의 상면 및 외주 측면은, 커버층(7)에 피복되고, 차양부(23)의 하면은, 제 2 베이스층(6)에 피복되어 있다. 구체적으로는, 차양부(23)의 상면의 일부(외측부), 및, 차양부(23)의 외주 측면의 전부는, 커버층(7)과 접촉하고, 차양부(23)의 하면 전면은, 제 2 베이스층(6)의 전면과 접촉하고 있다. 이 때문에, 차양부(23)는, 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)에 의해 구획되고, 면 방향으로 우묵한 제 3 아래쪽 개구부(14)의 외주부에 감합하고 있다. 즉, 차양부(23)는, 감합부(31)를 구성하고, 제 3 아래쪽 개구부(14)의 외주부는, 감합부(31)를 감합하는 피감합부(32)를 구성하고 있다.The upper surface and the outer peripheral side of the flange portion 23 are covered with the cover layer 7 and the lower surface of the flange portion 23 is covered with the second base layer 6. [ Specifically, the entire upper surface of the flange portion 23 (the outer side portion) and the outer peripheral side surface of the flange portion 23 are in contact with the cover layer 7, and the lower surface of the flange portion 23, And is in contact with the front surface of the second base layer 6. Therefore, the flange portion 23 is partitioned by the second base layer 6 and the cover layer 7, and is engaged with the outer peripheral portion of the recessed third lower opening portion 14 in the surface direction. That is, the flange portion 23 constitutes the fitting portion 31, and the outer peripheral portion of the third lower opening portion 14 constitutes the fitted portion 32 to which the fitting portion 31 is fitted.

중앙부(21)의 두께 T6, 및, 차양부(23)의 두께 T7은, 각각, 예컨대, 2㎛ 이상, 바람직하게는, 3㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 25㎛ 이하, 바람직하게는, 18㎛ 이하이다.The thickness T6 of the center portion 21 and the thickness T7 of the flange portion 23 are respectively 2 mu m or more and preferably 3 mu m or more and 25 mu m or less, Mu m or less.

중앙부(21)에 대한 경사부(22)의 경사각 θ(즉, 제 2 베이스층(6)에 있어서의 하면과 경사면(17)이 이루는 각)은, 예컨대, 30° 이상, 바람직하게는, 45° 이상이고, 또한, 예컨대, 80° 이하, 바람직하게는, 65° 이하이다.The inclination angle? Of the inclined portion 22 with respect to the central portion 21 (that is, the angle between the lower surface and the inclined surface 17 in the second base layer 6) is, for example, 30 degrees or more, °, and is, for example, not more than 80 °, preferably not more than 65 °.

이방 도전부(2)에서는, 도체부(4)의 상면 및 관통 구멍(16)의 둘레 측면이, 제 1 오목부(33)를 구획하고 있다. 구체적으로는, 중앙부(21) 및 경사부(22)의 상면, 및, 제 3 위쪽 개구부(15)의 둘레 측면이, 제 1 오목부(33)를 구획하고 있다.In the anisotropically conductive portion 2, the upper surface of the conductor portion 4 and the peripheral side surface of the through hole 16 define the first recessed portion 33. Concretely, the upper surface of the central portion 21 and the inclined portion 22, and the peripheral surface of the third upper opening 15 define the first concave portion 33.

제 1 오목부(33)는, 이방 도전부(2)의 상면이 아래쪽으로 향해 우묵하도록 형성되어 있다. 제 1 오목부(33)는, 그 저면(중앙부(21)의 상면)으로부터 위쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다.The first concave portion 33 is formed so that the top surface of the anisotropic conductive portion 2 is recessed downward. The first concave portion 33 has a tapered shape in which the cross sectional area of the opening becomes larger as it goes upward from the bottom surface (the upper surface of the central portion 21).

또한, 도체부(4)의 하면은, 제 1 베이스층(5)의 하면보다 위쪽에 위치하고 있고, 도체부(4)의 하면 및 관통 구멍(16)의 둘레 측면이, 제 2 오목부(34)를 구획하고 있다. 구체적으로는, 중앙부(21)의 하면 및 제 1 개구부(11)의 둘레 측면이, 제 2 오목부(34)를 구획하고 있다.The lower surface of the conductor portion 4 is located above the lower surface of the first base layer 5 and the lower surface of the conductor portion 4 and the peripheral side surface of the through hole 16 are covered with the second concave portion 34 ). Specifically, the lower surface of the central portion 21 and the peripheral side surface of the first opening 11 define the second recessed portion 34.

제 2 오목부(34)는, 이방 도전부(2)의 하면이 위쪽으로 향해 우묵하도록 형성되어 있다. 제 2 오목부(34)는, 그 저면(중앙부(21)의 하면)으로부터 아래쪽으로 향함에 따라, 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다.The second concave portion 34 is formed so that the lower surface of the anisotropic conductive portion 2 is recessed upward. The second concave portion 34 has a tapered shape in which the cross sectional area of the opening becomes larger as it goes downward from the bottom surface (the lower surface of the central portion 21).

제 1 오목부(33)의 깊이(상하 방향 길이) D1 및 제 2 오목부(34)의 깊이 D2는, 각각, 예컨대, 3㎛ 이상, 바람직하게는, 5㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 40㎛ 이하, 바람직하게는, 25㎛ 이하이다.The depth D2 of the first concave portion 33 and the depth D2 of the second concave portion 34 are 3 mu m or more and preferably 5 mu m or more, Mu m or less, preferably 25 mu m or less.

도체부(4)의 재료로서는, 예컨대, 구리, 은, 금, 니켈 또는 그들을 포함하는 합금 등의 금속 재료를 들 수 있고, 바람직하게는, 구리를 들 수 있다.As the material of the conductor portion 4, for example, a metal material such as copper, silver, gold, nickel or an alloy containing them may be used, and copper is preferable.

이 이방 도전성 시트(1)는, 예컨대, 베이스 절연층을 형성하는 베이스 절연층 형성 공정, 도체부(4)를 형성하는 도체부 형성 공정, 커버층(7)을 형성하는 커버층 형성 공정, 및, 제 1 개구부(11)를 형성하는 개구 형성 공정을 순차적으로 실시하는 것에 의해 얻을 수 있다.This anisotropically conductive sheet 1 is formed by, for example, a base insulating layer forming step of forming a base insulating layer, a conductor portion forming step of forming a conductor portion 4, a cover layer forming step of forming a cover layer 7, , And an opening forming step of forming the first opening (11) are sequentially performed.

베이스 절연층 형성 공정에서는, 예컨대, 감광성의 바니시를 기재에 도포하고, 건조한 후, 제 2 개구부(12)에 대응하는 오목부를 갖는 패턴으로 노광 및 현상 한다. 그 후, 필요에 따라, 가열 경화를 실시하고, 기재를 제거한다. 이것에 의해, 제 1 개구부(11)를 갖지 않는 제 1 베이스층(5) 및 제 2 개구부(12)(오목부)를 갖는 제 2 베이스층(6)을 구비하는 베이스 절연층을 얻는다.In the base insulating layer forming step, for example, a photosensitive varnish is applied to a base material, dried, and then exposed and developed in a pattern having a concave portion corresponding to the second opening portion 12. [ Thereafter, if necessary, heat curing is performed and the substrate is removed. Thereby, the base insulating layer including the first base layer 5 having no first opening 11 and the second base layer 6 having the second opening 12 (concave portion) is obtained.

도체부 형성 공정에서는, 예컨대, 애디티브법, 서브트랙티브법 등의 공지의 배선을 형성하는 패터닝법에 의해, 베이스 절연층의 오목부 및 그 주변에 도체부(4)를 형성한다.In the conductor portion forming step, the conductor portion 4 is formed in the concave portion of the base insulating layer and the periphery thereof by a patterning method in which a known wiring such as an additive method or a subtractive method is formed.

커버층 형성 공정에서는, 예컨대, 감광성의 바니시를 제 2 베이스층(6) 및 도체부(4)의 상면에 도포하고, 건조한 후, 제 3 개구부(13)를 갖는 패턴으로 노광 및 현상한다. 그 후, 필요에 따라, 가열 경화시키고 나서 커버층(7)을 형성한다.In the cover layer forming step, for example, a photosensitive varnish is applied to the upper surface of the second base layer 6 and the conductor portion 4, dried, and then exposed and developed in a pattern having the third openings 13. Thereafter, if necessary, the cover layer 7 is formed by heating and curing.

개구 형성 공정에서는, 예컨대, 베이스 절연층의 하면(제 1 베이스층(5))에 대하여, 공지의 에칭 등에 의해, 제 1 개구부(11)를 형성한다.In the opening forming step, for example, the first opening 11 is formed on the lower surface (first base layer 5) of the base insulating layer by known etching or the like.

이방 도전부(2)는, 측단면도에 있어서, 도체부(4)의 중앙부(21)의 지름 방향의 중심점을 상하 방향으로 통과하는 축(도 2에 나타내는 가상선)에 대하여 대칭이다. 바꾸어 말하면, 이방 도전부(2)는, 측단면도에 있어서 좌우 대칭이다.The anisotropic conductive portion 2 is symmetrical with respect to an axis passing through the central point in the radial direction of the central portion 21 of the conductor portion 4 in the vertical direction (imaginary line shown in Fig. In other words, the anisotropically conductive portions 2 are symmetrical in the lateral cross-sectional view.

하나의 도체부(4)(중앙부(21))의 지름 방향 중심점과, 인접하는 다른 도체부(4)의 지름 방향 중심점의 거리 L8(도체부 사이의 피치)은, 예컨대, 30㎛ 이상, 바람직하게는, 40㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 200㎛ 이하, 바람직하게는, 80㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 60㎛ 이하이다. 도체부 사이의 피치 L8이 상기 범위 내이면, 도체부(4)끼리의 간격이 충분히 좁기 때문에, 보다 미세화한 피검사 장치(41)의 검사가 가능하게 된다.The distance L8 (pitch between the conductor portions) between the radial center point of one conductor portion 4 (center portion 21) and the radial center point of the adjacent other conductor portion 4 is, for example, For example, not more than 200 mu m, preferably not more than 80 mu m, and more preferably not more than 60 mu m. When the pitch L8 between the conductor portions is within the above range, the distance between the conductor portions 4 is sufficiently narrow, so that the inspecting device 41 can be inspected more finely.

이방 도전성 시트(1)의 두께 T8, 즉, 이방 도전부(2)의 상단으로부터 하단까지의 상하 방향 길이는, 예컨대, 100㎛ 이하, 바람직하게는, 50㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 40㎛ 이하이고, 또한, 예컨대, 10㎛ 이상이다. 이방 도전성 시트(1)의 두께가 상기 상한 이하이면, 상하 방향으로 휘는 것이 용이하기 때문에, 피검사 장치(41)의 형상이나 휘어짐에 용이하게 추종할 수 있다. 따라서, 보다 저압에서의 검사가 가능하게 된다.The thickness T8 of the anisotropically conductive sheet 1, that is, the length in the vertical direction from the upper end to the lower end of the anisotropically conductive portion 2 is, for example, 100 m or less, preferably 50 m or less, For example, 10 mu m or more. If the thickness of the anisotropic conductive sheet 1 is less than the upper limit, it is easy to bend in the up and down direction, so that the shape and warpage of the device under test 41 can be easily followed. Therefore, inspection at a lower pressure becomes possible.

그리고, 이 이방 도전성 시트(1)는, 피검사 장치(41) 및 검사 장치(42)를 서로 전기적으로 접속하기 위해 이용된다.The anisotropically conductive sheet 1 is used to electrically connect the device under test 41 and the inspection device 42 with each other.

구체적으로는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 복수의 단자(43)를 구비하는 피검사 장치(41), 및, 복수의 검사 프로브(44)를 구비하는 검사 장치(42)를 준비한다. 피검사 장치(41)로서는, 반도체 소자, 프린트 회로 기판 등을 들 수 있다. 검사 장치(42)로서는, 프로브 테스터, 프린트 기판 검사 장치 등의 공지 또는 시판의 검사 장치를 들 수 있다.Specifically, as shown in Fig. 3, an inspecting apparatus 41 having a plurality of terminals 43 and an inspecting apparatus 42 having a plurality of inspecting probes 44 are prepared. Examples of the inspected apparatus 41 include a semiconductor element, a printed circuit board, and the like. Examples of the inspection apparatus 42 include a known inspection apparatus such as a probe tester and a printed board inspection apparatus or a commercially available inspection apparatus.

그 다음에, 피검사 장치(41)의 단자(43)를, 도체부(4)의 상면, 즉, 중앙부(21)의 상면과 접촉시키는 한편, 검사 장치(42)의 검사 프로브(44)를, 도체부(4)의 하면, 즉, 중앙부(21)의 하면과 접촉시킨다.The terminal 43 of the inspected device 41 is brought into contact with the upper surface of the conductor portion 4, that is, the upper surface of the central portion 21, and the inspection probe 44 of the inspection device 42 And the lower surface of the conductor portion 4, that is, the lower surface of the central portion 21. [

그 후, 검사 장치(42)의 작동에 의해, 피검사 장치(41)에 대하여 도통 검사 등의 기능 검사를 실시할 수 있다.Thereafter, by the operation of the inspecting device 42, the inspecting device 41 can be subjected to functional inspections such as conduction inspection.

또, 이방 도전성 시트(1)는, 피검사 장치(41) 및 검사 장치(42)를 포함하지 않고, 이방 도전성 시트(1) 그 자체가, 부품 단독으로 유통되어, 산업상 이용 가능한 디바이스이다. 또한, 이 이방 도전성 시트는, 후술하는 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50) 및 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)의 한 부품으로서도 사용할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 1 does not include the inspecting device 41 and the inspecting device 42 and the anisotropically conductive sheet 1 itself is a device which is circulated by the component itself and is industrially usable. This anisotropically conductive sheet can also be used as a component of an anisotropic conductive sheet 50 having a plating layer and a anisotropically conductive sheet 60 having an elastic portion, which will be described later.

그리고, 이 이방 도전성 시트(1)는, 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(16)을 갖는 절연층(3)과, 관통 구멍(16)에 배치되는 도체부(4)를 갖는 이방 도전부(2)를 구비하고 있고, 도체부(4)의 상면 및 관통 구멍(16)의 둘레 측면이, 제 1 오목부(33)를 구획하고 있다.The anisotropic conductive sheet 1 has an anisotropically conductive portion 2 having an insulating layer 3 having a through hole 16 penetrating in the up and down direction and a conductor portion 4 disposed in the through hole 16, And the upper surface of the conductor portion 4 and the peripheral side surface of the through hole 16 partition the first concave portion 33.

그 때문에, 이방 도전부(2)의 상면에 도금층(51, 52)(후술)이나 도전성 탄성부(61)(후술)를 배치할 때에, 도금층(51)이나 도전성 탄성부(61)를 제 1 오목부(33) 내에 수용할 수 있다. 따라서, 도금층(51) 등이 커버층(7)의 상면에 부착되기 어렵다. 그 결과, 인접하는 이방 도전부(2)의 도체부(4)끼리가 도통하는 것을 억제할 수 있다.Therefore, when the plating layers 51 and 52 (described later) and the conductive elastic portions 61 (described later) are disposed on the upper surface of the anisotropic conductive portion 2, the plating layer 51 and the conductive elastic portions 61 And can be accommodated in the concave portion 33. Therefore, it is difficult for the plating layer 51 or the like to adhere to the upper surface of the cover layer 7. As a result, conduction between the conductor portions 4 of the adjacent anisotropic conductive portions 2 can be suppressed.

또한, 피검사 장치(41)의 단자(43)의 선단이, 목적으로 하는 접촉점(제 1 오목부(33) 내의 도체부)으로부터 약간 어긋난 경우에도, 피검사 장치(41)의 단자(43)의 선단을 제 1 오목부(33) 내에 유도하여 거두어들일 수 있다. 따라서, 피검사 장치(41)의 단자(43)가 도체부(4)에 용이하고 확실히 접촉할 수 있어, 도통 신뢰성이 향상된다.Even when the tip of the terminal 43 of the inspected apparatus 41 slightly deviates from the intended contact point (the conductor in the first recess 33) The first concave portion 33 can be guided by the leading end thereof. Therefore, the terminal 43 of the device under test 41 can easily and reliably contact the conductor portion 4, and the conduction reliability is improved.

또한, 이 이방 도전성 시트(1)는, 도체부(4)(중앙부(21), 경사부(22), 차양부(23))를 공지의 미세 배선 등을 형성하는 패터닝 방법에 의해 형성할 수 있기 때문에, 도체부 사이의 피치 L8을 좁게 할 수 있다. 따라서, 보다 미세한 피검사 장치(41)를 검사할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 1 can be formed by a patterning method in which the conductor portion 4 (the central portion 21, the inclined portion 22, the flange portion 23) is formed with a known fine wiring or the like The pitch L8 between the conductor portions can be narrowed. Therefore, a finer inspection apparatus 41 can be inspected.

또한, 절연층(3)은, 관통 구멍(16)에 있어서 면 방향으로 우묵한 피감합부(32)(제 3 아래쪽 개구부(14)의 외주부)를 갖고, 도체부(4)는, 피감합부(32)에 감합하는 감합부(31)(차양부(23))를 갖고 있다.The insulation layer 3 has a recessed portion 32 (the outer peripheral portion of the third lower opening portion 14) recessed in the surface direction in the through hole 16 and the conductor portion 4 has a portion 32 (Flange portion 23) for fitting the flange portion 31 to the flange portion 31. As shown in Fig.

그 때문에, 도체부(4)가, 차양부(23) 및 제 3 아래쪽 개구부(14)의 감합에 의해 절연층(3)에 고정되어 있다. 따라서, 피검사 장치(41)의 검사시에 있어서, 도체부(4)가, 피검사 장치(41)의 단자(43) 및 검사 장치(42) 및 검사 프로브(44)에 의해 위쪽이나 아래쪽으로부터 가압되었다고 하더라도, 도체부(4)가 관통 구멍(16)으로부터 탈락하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 내구성이 우수하다.Therefore, the conductor portion 4 is fixed to the insulating layer 3 by the engagement of the flange portion 23 and the third lower opening portion 14. Therefore, when the inspected device 41 is inspected, the conductor portion 4 is separated from the upper side and the lower side by the terminal 43 of the inspected device 41, the inspection device 42 and the inspection probe 44 It is possible to prevent the conductor portion 4 from falling off from the through hole 16 even if it is pressurized. As a result, the durability is excellent.

또한, 도체부(4)는, 중앙부(21)와, 비스듬한 방향(특히, 지름 방향 바깥쪽으로 향함에 따라 위쪽으로 향하는 방향)으로 연장되는 경사부(22)를 구비하고 있다.The conductor portion 4 is provided with a central portion 21 and an inclined portion 22 extending in an oblique direction (in particular, upward in a radially outward direction).

그 때문에, 중앙부(21)를 관통 구멍(16)의 아래쪽에 배치할 수 있고, 보다 확실히 이방 도전부(2)에 제 1 오목부(33)를 형성할 수 있다.Therefore, the central portion 21 can be disposed below the through hole 16, and the first recess 33 can be formed more reliably in the anisotropically conductive portion 2.

또한, 도체부(4)는, 경사부(22)의 외주 가장자리로부터 지름 방향 바깥쪽으로 연장되는 차양부(23)를 더 구비하고 있다.The conductor portion 4 further includes a flange portion 23 extending radially outwardly from the outer circumferential edge of the inclined portion 22.

그 때문에, 차양부(23)를 절연층(3)의 피감합부(32)에 감합시킬 수 있다. 이것에 의해, 차양부(23)의 상면, 하면 및 외주 측면의 각각이, 절연층(3)(제 1 베이스층(5) 및 제 2 베이스층(6))에 고정되어 있다. 따라서, 피검사 장치(41)의 단자(43)에 의한 위쪽으로부터의 가압, 검사 장치(42)의 검사 프로브(44)에 의한 아래쪽으로부터의 가압, 및, 이들에 의한 면 방향으로의 응력의 어느 것에 대해서도, 도체부(4)가 강고하게 고정되고, 위치 어긋남이 생기기 어렵다. 그 결과, 도체부(4)의 탈락을 보다 확실히 억제할 수 있다. 따라서, 내구성이 보다 한층 우수하다.Therefore, the flange portion 23 can be fitted to the surface-to-be-exposed portion 32 of the insulating layer 3. The upper face, lower face and outer peripheral face of the flange portion 23 are fixed to the insulating layer 3 (the first base layer 5 and the second base layer 6), respectively. Therefore, it is possible to suppress the pressure from above by the terminal 43 of the inspected device 41, the pressure from the lower side of the inspecting device 42 by the inspection probe 44, The conductor portion 4 is firmly fixed and the positional deviation is unlikely to occur. As a result, detachment of the conductor portion 4 can be suppressed more reliably. Therefore, the durability is further improved.

또한, 제 1 오목부(33)는, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다.Further, the first concave portion 33 has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening becomes larger as it goes upward.

그 때문에, 피검사 장치(41)의 검사시에 있어서, 피검사 장치(41)의 단자(43)를 위쪽으로부터 중앙부(21)의 상면에 용이하게 전기적으로 접속시킬 수 있다. 특히, 피검사 장치(41)의 단자(43)의 선단이, 목적으로 하는 접촉점(제 1 오목부(33) 내의 도체부)으로부터 약간 어긋난 경우에도, 피검사 장치(41)의 단자(43)의 선단을 제 1 오목부(33) 내에, 보다 부드럽게 유도하여 거두어들일 수 있다. 따라서, 도통 신뢰성이 더 향상된다.Therefore, the terminal 43 of the device under test 41 can be easily electrically connected to the upper surface of the central portion 21 from above when the inspected device 41 is inspected. Especially when the tip of the terminal 43 of the inspected device 41 is slightly displaced from the intended contact point (the conductor in the first recess 33) The first concave portion 33 can be guided more smoothly. Therefore, conduction reliability is further improved.

또한, 도체부(4)의 하면은, 제 1 베이스층(5)의 하면보다 위쪽에 위치하고, 도체부(4)의 하면 및 관통 구멍(16)의 둘레 측면이, 제 2 오목부(34)를 구획하고 있다.The lower surface of the conductor portion 4 is located above the lower surface of the first base layer 5 and the lower surface of the conductor portion 4 and the peripheral side surface of the through hole 16 are covered with the second concave portion 34, Respectively.

그 때문에, 도체부(4)의 하면에 제 2 도금층(52)이나 도전성 탄성부(61)를 배치할 때에, 제 2 도금층(52)이나 도전성 탄성부(61)를 제 2 오목부(34) 내에 수용할 수 있다. 따라서, 제 2 도금층(52) 등이 제 1 베이스층(5)의 하면에 부착되기 어렵고, 그 결과, 인접하는 이방 도전부(2)의 도체부(4)끼리가 도통하는 것을 억제할 수 있다.The second plating layer 52 and the conductive elastic portion 61 are formed in the second concave portion 34 when the second plating layer 52 or the conductive elastic portion 61 is disposed on the lower surface of the conductor portion 4, . Therefore, the second plating layer 52 and the like are less likely to adhere to the lower surface of the first base layer 5, and as a result, conduction between the conductor portions 4 of the adjacent anisotropically conductive portions 2 can be suppressed .

또한, 제 2 오목부(34)는, 아래쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다.Further, the second concave portion 34 has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening becomes larger as it goes downward.

그 때문에, 피검사 장치(41)의 검사시에 있어서, 검사 장치(42)의 검사 프로브(44)를 아래쪽으로부터 중앙부(21)의 하면에 용이하게 전기적으로 접속시킬 수 있다. 특히, 검사 장치(42)의 검사 프로브(44)의 선단이, 목적으로 하는 접촉점(제 2 오목부(34) 내의 도체부)으로부터 약간 어긋난 경우에도, 검사 장치(42)의 검사 프로브(44)의 선단을 제 2 오목부(34) 내에, 보다 부드럽게 유도하여 거두어들일 수 있다. 따라서, 도통 신뢰성이 더 향상된다.Therefore, the inspection probe 44 of the inspection device 42 can be easily electrically connected to the lower surface of the central portion 21 from below when the inspected device 41 is inspected. Particularly, even when the tip of the inspection probe 44 of the inspection apparatus 42 slightly deviates from the intended contact point (the conductor section in the second recess 34), the inspection probe 44 of the inspection apparatus 42, The second concave portion 34 can be guided more smoothly. Therefore, conduction reliability is further improved.

2. 도금층을 갖는 이방 도전성 시트2. Anisotropically conductive sheet having a plated layer

이방 도전성 시트(1)는, 도금층을 더 구비할 수 있다. 구체적으로는, 도 4에 나타내는 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50)는, 도체부(4)의 상면(두께 방향 한쪽 면)에 배치되는 제 1 도금층(51)과, 도체부(4)의 하면(두께 방향 다른 쪽 면)에 배치되는 제 2 도금층(52)을 더 구비하고 있다.The anisotropically conductive sheet 1 may further include a plating layer. Specifically, the anisotropically conductive sheet 50 having the plating layer shown in Fig. 4 has a first plating layer 51 disposed on the upper surface (one side in the thickness direction) of the conductor portion 4, (The other side in the thickness direction) of the second plating layer.

제 1 도금층(51)은, 도체부(4)의 상면 전면 및 커버층(7)의 측면(경사면)의 일부를 피복하도록, 도체부(4)의 상면에 배치되어 있다.The first plating layer 51 is disposed on the upper surface of the conductor portion 4 so as to cover the entire upper surface of the conductor portion 4 and a part of the side surface (inclined surface) of the cover layer 7.

제 1 도금층(51)은, 제 1 안쪽 도금층(53) 및 제 1 바깥쪽 도금층(54)을 구비하고 있다.The first plating layer 51 includes a first inner plating layer 53 and a first outer plating layer 54.

제 1 안쪽 도금층(53)은, 도체부(4)의 상면 전면 및 커버층(7)의 측면의 일부를 피복하도록, 도체부(4)의 상면에 배치되어 있다.The first inner plating layer 53 is disposed on the upper surface of the conductor section 4 so as to cover the entire upper surface of the conductor section 4 and a part of the side surface of the cover layer 7.

제 1 바깥쪽 도금층(54)은, 제 1 안쪽 도금층(53)의 상면 전면을 피복하도록, 제 1 안쪽 도금층(53)의 상면에 배치되어 있다.The first outer plating layer 54 is disposed on the upper surface of the first inner plating layer 53 so as to cover the entire upper surface of the first inner plating layer 53.

제 1 도금층(51)의 재료로서는, 예컨대, 금, 은, 구리, 니켈 등의 금속 재료를 들 수 있다.Examples of the material of the first plating layer 51 include metal materials such as gold, silver, copper, and nickel.

제 1 안쪽 도금층(53)으로서는, 바람직하게는, 니켈 도금층을 들 수 있고, 제 1 바깥쪽 도금층으로서는, 바람직하게는, 금 도금층을 들 수 있다. 이것에 의해, 도전성이 보다 한층 우수하기 때문에, 검사 감도를 향상시키거나, 도체부 사이의 피치 L8을 좁게 할 수 있다.The first inner plating layer 53 is preferably a nickel plating layer, and the first outer plating layer is preferably a gold plating layer. As a result, since the conductivity is further improved, the inspection sensitivity can be improved or the pitch L8 between the conductor portions can be narrowed.

제 2 도금층(52)은, 도체부(4)의 하면 전면 및 제 1 베이스층(5)의 측면(경사면)의 일부를 피복하도록, 도체부(4)의 하면에 배치되어 있다.The second plating layer 52 is disposed on the lower surface of the conductor section 4 so as to cover the lower surface of the conductor section 4 and a part of the side surface (sloped surface) of the first base layer 5.

제 2 도금층(52)은, 제 2 안쪽 도금층(55) 및 제 2 바깥쪽 도금층(56)을 구비하고 있다.The second plating layer 52 includes a second inner plating layer 55 and a second outer plating layer 56.

제 2 안쪽 도금층(55)은, 도체부(4)의 하면 전면 및 제 1 베이스층(5)의 측면의 일부를 피복하도록, 도체부(4)의 하면에 배치되어 있다.The second inner plating layer 55 is disposed on the lower surface of the conductor section 4 so as to cover the lower surface of the conductor section 4 and a part of the side surface of the first base layer 5.

제 2 바깥쪽 도금층(56)은, 제 2 안쪽 도금층(55)의 하면 전면을 피복하도록, 제 2 안쪽 도금층(55)의 하면에 배치되어 있다.The second outer plating layer 56 is disposed on the lower surface of the second inner plating layer 55 so as to cover the lower front surface of the second inner plating layer 55.

제 2 도금층(52)의 재료로서는, 예컨대, 금, 은, 구리, 니켈 등의 금속 재료를 들 수 있다.Examples of the material of the second plating layer 52 include metal materials such as gold, silver, copper, and nickel.

제 2 안쪽 도금층(55)으로서는, 바람직하게는, 니켈 도금층을 들 수 있고, 제 2 바깥쪽 도금층으로서는, 바람직하게는, 금 도금층을 들 수 있다. 이것에 의해, 도전성이 보다 한층 우수하기 때문에, 검사 감도를 향상시키거나, 도체부 사이의 피치 L8을 좁게 할 수 있다.The second inner plating layer 55 is preferably a nickel plating layer, and the second outer plating layer is preferably a gold plating layer. As a result, since the conductivity is further improved, the inspection sensitivity can be improved or the pitch L8 between the conductor portions can be narrowed.

각 도금층(53, 54, 55, 56)의 두께는, 각각, 예컨대, 0.01㎛ 이상, 바람직하게는, 0.05㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 50㎛ 이하, 바람직하게는, 12㎛ 이하, 보다 바람직하게는, 8㎛ 이하이다.The thickness of each of the plating layers 53, 54, 55 and 56 is, for example, 0.01 탆 or more, preferably 0.05 탆 or more, and more preferably 50 탆 or less, Or less.

도금층(51, 52)을 마련하는 방법으로서는, 예컨대, 전해 도금법, 무전해 도금법 등의 공지의 도금 방법을 들 수 있다.Examples of the method of providing the plating layers 51 and 52 include known plating methods such as an electrolytic plating method and an electroless plating method.

제 1 도금층(51)의 상면 및 관통 구멍(16)의 둘레 측면이, 제 3 오목부(57)를 구획하고, 제 2 도금층(52)의 하면 및 관통 구멍(16)의 둘레 측면이, 제 4 오목부(58)를 구획한다. 구체적으로는, 제 1 바깥쪽 도금층(54)의 상면 및 제 3 위쪽 개구부(15)의 둘레 측면이, 제 3 오목부(57)를 구획하고, 제 2 바깥쪽 도금층(56)의 하면 및 제 1 개구부(11)의 둘레 측면이, 제 4 오목부(58)를 구획하고 있다.The upper surface of the first plating layer 51 and the peripheral surface of the through hole 16 partition the third recess 57 and the lower surface of the second plating layer 52 and the peripheral surface of the through hole 16 4 recesses 58 are defined. Concretely, the upper surface of the first outer plating layer 54 and the peripheral surface of the third upper opening 15 partition the third recess 57, the lower surface of the second outer plating layer 56, The peripheral surface of the first opening 11 defines a fourth recess 58.

제 3 오목부(57)의 저면의 직경 L9 및 제 4 오목부(58)의 저면의 직경 L10은, 각각, 예컨대, 3㎛ 이상, 바람직하게는, 5㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 80㎛ 이하, 바람직하게는, 40㎛ 이하이다.The diameter L9 of the bottom surface of the third concave portion 57 and the diameter L10 of the bottom surface of the fourth concave portion 58 are each 3 mu m or more and preferably 5 mu m or more, Or less, preferably 40 m or less.

제 3 오목부(57)의 깊이 D3 및 제 4 오목부(58)의 깊이 D4는, 각각, 예컨대, 5㎛ 이상, 바람직하게는, 8㎛ 이상이고, 또한, 예컨대, 60㎛ 이하, 바람직하게는, 40㎛ 이하이다.The depth D3 of the third concave portion 57 and the depth D4 of the fourth concave portion 58 are each 5 mu m or more, preferably 8 mu m or more, and preferably 60 mu m or less, Is 40 mu m or less.

도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50)는, 도금층(51, 52)을 구비하고 있다. 그 때문에, 도체부(4)의 산화를 억제할 수 있고, 내구성이 보다 한층 우수하다.The anisotropic conductive sheet 50 having a plating layer is provided with plating layers 51 and 52. Therefore, the oxidation of the conductor portion 4 can be suppressed, and the durability is further improved.

3. 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트3. Anisotropically conductive sheet having an elastic part

이방 도전성 시트(1)는, 도전성 탄성부(61)를 더 구비할 수 있다. 구체적으로는, 도 5에 나타내는 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)는, 이방 도전부(2)에 있어서, 도체부(4)의 위쪽에 배치되는 도전성 탄성부(61)를 더 구비하고 있다.The anisotropic conductive sheet 1 may further include a conductive elastic part 61. [ Specifically, the anisotropically conductive sheet 60 having the elastic portion shown in Fig. 5 further includes the conductive elastic portion 61 disposed above the conductor portion 4 in the anisotropic conductive portion 2. As shown in Fig.

이방 도전부(2)는, 도체부(4), 도금층(제 1 도금층(51), 제 2 도금층(52)), 및, 도전성 탄성부(61)를 구비하고 있다.The anisotropically conductive portion 2 is provided with a conductor portion 4, a plated layer (a first plated layer 51, a second plated layer 52), and a conductive elastic portion 61.

도전성 탄성부(61)는, 이방 도전부(2)에 있어서, 제 3 오목부(57) 내에 배치되어 있다. 즉, 도전성 탄성부(61)는, 제 3 오목부(57) 내에 충전되어 있다. 도전성 탄성부(61)의 형상은, 제 3 오목부(57)의 형상과 일치하고 있고, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 위쪽으로 향함에 따라 평단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다.The conductive elastic portion 61 is disposed in the third concave portion 57 in the anisotropically conductive portion 2. That is, the conductive elastic portion 61 is filled in the third concave portion 57. The shape of the conductive elastic part 61 coincides with the shape of the third concave part 57. The conductive elastic part 61 has a substantially circular shape in plan view and has a tapered area Shape.

도전성 탄성부(61)의 상면은, 커버층(7)의 상면과 단차가 없도록, 형성되어 있다.The upper surface of the conductive elastic portion 61 is formed so as to be free of a step from the upper surface of the cover layer 7. [

도전성 탄성부(61)는, 도전성 입자(62) 및 수지를 함유하는 도전성 수지 조성물로 형성되어 있다.The conductive elastic part 61 is formed of a conductive resin composition containing conductive particles 62 and a resin.

도전성 입자(62)의 재료로서는, 예컨대, 철, 코발트, 니켈, 금, 은, 구리, 팔라듐, 로듐 및 이들의 합금 등의 금속 등을 들 수 있다.Examples of the material of the conductive particles 62 include metals such as iron, cobalt, nickel, gold, silver, copper, palladium, rhodium and their alloys.

도전성 입자(62)는, 상기 금속인 금속 입자이더라도 좋다. 또한, 도전성 입자는, 예컨대, 코어재로서의 비도전성 입자(폴리머 입자, 유리 비즈 등)와, 그 코어재 표면에 상기 금속인 셸부를 구비하는 코어셸형 입자이더라도 좋다.The conductive particles 62 may be metal particles that are the above-described metals. The conductive particles may be, for example, core-shell particles having non-conductive particles (polymer particles, glass beads, etc.) as a core material and a shell part made of the metal on the surface of the core material.

도전성 입자(62)의 평균 입자 지름은, 예컨대, 1㎛ 이상, 10㎛ 이하이다.The average particle diameter of the conductive particles 62 is, for example, 1 占 퐉 or more and 10 占 퐉 or less.

수지로서는, 예컨대, 고무 등의 탄성 재료, 절연층(3)을 형성하는 수지 등을 들 수 있고, 바람직하게는, 고무를 들 수 있다.As the resin, for example, an elastic material such as rubber, a resin for forming the insulating layer 3 and the like can be mentioned, and rubber is preferably used.

고무로서는, 예컨대, 천연 고무, 폴리부타디엔 고무, 폴리이소프렌 고무, 클로로프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무, 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 예컨대, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다.Examples of the rubber include natural rubber, polybutadiene rubber, polyisoprene rubber, chloroprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile-butadiene copolymer rubber, styrene-butadiene-diene block copolymer rubber, styrene- Such as urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber and the like, .

도전성 탄성부(61)의 경도는, 예컨대, 30Hs 이상, 바람직하게는, 40Hs 이상이고, 또한, 예컨대, 70Hs 이하, 바람직하게는, 60Hs 이하이다. 도전성 탄성부(61)의 경도를 상기 범위 내로 하는 것에 의해, 복수의 단자(43)에 대응하여 도전성 탄성부(61)가 보다 한층 유연하게 변형할 수 있다. 경도는, 예컨대, JIS K 6253에 기재된 방법에 의해 측정할 수 있다.The hardness of the conductive elastic portion 61 is, for example, 30 Hs or more, preferably 40 Hs or more, and more preferably 70 Hs or less, and preferably 60 Hs or less. By making the hardness of the conductive elastic part 61 fall within the above range, the conductive elastic part 61 can be more flexibly deformed corresponding to the plurality of terminals 43. [ The hardness can be measured, for example, by the method described in JIS K 6253.

탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)는, 예컨대, 이방 도전성 시트(1)의 상면 전면에, 도전성 입자(62) 및 수지를 함유하는 조성물을 도포하고, 그 다음에, 스퀴지로 이방 도전성 시트(1)의 상면을 문질러, 조성물을 제 3 오목부(57)에 이동시키는 것에 의해, 제조할 수 있다. 구체적으로는, 일본 특허 공개 2015-26584호 공보에 기재된 제조 방법을 참조할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 60 having an elastic part is obtained by applying a composition containing conductive particles 62 and a resin to the entire upper surface of an anisotropic conductive sheet 1 and then applying an anisotropic conductive sheet 1 ), And moving the composition to the third concave portion 57, as shown in Fig. Specifically, the production method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-26584 can be referred to.

탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)는, 제 3 오목부(57) 내에 도전성 탄성부(61)를 구비하고 있다. 그 때문에, 피검사 장치(41)의 복수의 단자(43)의 높이에, 격차가 생겨 있는 경우에도, 피검사 장치(41)를 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)에 가압할 때에, 이들 단자(43)의 개개의 높이에 따라, 도전성 탄성부(61)가 아래쪽으로 압축될 수 있다. 특히, 도전성 탄성부(61)는, 그 두께에 따라 압축되고, 예컨대, 수 ㎛의 두께를 압축할 수 있다. 그 결과, 복수의 단자(43)의 높이가 불균일한 경우에도, 확실히 검사할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 60 having the elastic portion has the conductive elastic portion 61 in the third recessed portion 57. Therefore, even when there is a gap in the height of the plurality of terminals 43 of the inspected device 41, when the inspecting device 41 is pressed against the anisotropic conductive sheet 60 having elastic portions, The conductive elastic part 61 can be downwardly compressed according to the individual height of the conductive elastic part 43. [ In particular, the conductive elastic part 61 is compressed in accordance with its thickness, and can compress, for example, a thickness of several mu m. As a result, even when the heights of the plurality of terminals 43 are uneven, it is possible to reliably inspect them.

또한, 도전성 탄성부(61)가, 피검사 장치(41)로부터의 압력을 흡수함과 아울러, 도체부(4)와 단자(43)의 직접적인 접촉을 회피한다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.The conductive elastic portion 61 absorbs the pressure from the device under test 41 and avoids direct contact between the conductor portion 4 and the terminal 43. [ Therefore, the durability is further improved.

또, 도 5에 나타내는 실시 형태에서는, 도전성 탄성부(61)는, 그 상면이, 커버층(7)의 상면과 단차가 없도록, 형성되어 있다. 즉, 도전성 탄성부(61)는, 그 체적 비율이, 제 3 오목부(57)의 체적에 대하여, 100%가 되도록 충전되어 있다. 그러나, 예컨대, 도시하지 않지만, 도전성 탄성부(61)는, 그 상면이, 커버층(7)의 상면보다 위쪽 또는 아래쪽이 되도록, 형성되어 있더라도 좋다. 그와 같은 경우, 도전성 탄성부(61)의 체적 비율은, 제 3 오목부(57)의 체적에 대하여, 예컨대, 20% 이상, 바람직하게는, 50% 이상이고, 또한, 예컨대, 200% 이하, 바람직하게는, 150% 이하이다.In the embodiment shown in Fig. 5, the conductive elastic portion 61 is formed so that the upper surface thereof does not have a step with the upper surface of the cover layer 7. That is, the conductive elastic portion 61 is filled so that the volume ratio thereof becomes 100% with respect to the volume of the third concave portion 57. However, for example, although not shown, the conductive elastic part 61 may be formed such that its upper surface is above or below the upper surface of the cover layer 7. [ In such a case, the volume ratio of the conductive elastic portion 61 is, for example, 20% or more, preferably 50% or more, and preferably 200% or less, for example, to the volume of the third concave portion 57 , Preferably not more than 150%.

도전성 탄성부(61)의 체적 비율이 상기 범위 내이면, 피검사 장치(41)의 복수의 단자(43)의 높이가 불균일한 경우에도, 확실히 검사할 수 있다. 또한, 도전성 탄성부(61)가, 이방 도전부(2)로의 압력이나 충격을 확실히 완화시킬 수 있기 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다.When the volume ratio of the conductive elastic portions 61 is within the above range, even when the height of the plurality of terminals 43 of the device under test 41 is uneven, it can be reliably inspected. Further, since the conductive elastic portion 61 can reliably relieve the pressure or impact on the anisotropic conductive portion 2, the durability is further improved.

4. 변형예4. Variations

도 6~도 9를 참조하여, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)의 변형예에 대하여 설명한다. 또, 변형예에 있어서, 상기한 도 2 등에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 부재에는, 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.A modified example of the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment will be described with reference to Figs. 6 to 9. Fig. In the modified example, the same reference numerals are given to the same members as those in the embodiment shown in Fig. 2 and so on, and the description is omitted.

(1) 도 2에 나타내는 실시 형태에서는, 커버층(7)이, 차양부(23)의 상면의 일부만을 피복하고 있지만, 예컨대, 도 6에 나타내는 바와 같이, 커버층(7)이, 차양부(23)의 상면 전면을 피복하고 있더라도 좋다.(1) In the embodiment shown in Fig. 2, the cover layer 7 covers only a part of the upper surface of the flange portion 23. However, for example, as shown in Fig. 6, Or may cover the entire upper surface of the base 23.

도 6에 나타내는 실시 형태에서는, 커버층(7)의 경사면은, 도체부(4)의 경사면(17)의 상면과, 도체부(4)의 경사면(17)이 연장되는 방향에 있어서, 단차가 없도록 형성되어 있다.6, the inclined surface of the cover layer 7 is inclined in the direction in which the upper surface of the inclined surface 17 of the conductor portion 4 and the inclined surface 17 of the conductor portion 4 extend, Respectively.

도 6에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.The anisotropically conductive sheet 1 shown in Fig. 6 can exhibit the same operational effects as the embodiment shown in Fig.

(2) 도 2에 나타내는 실시 형태에서는, 제 1 개구부(11)가, 아래쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있지만, 예컨대, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제 1 개구부(11)는, 아래쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상을 갖고 있더라도 좋고, 또한, 도시하지 않지만, 제 1 개구부(11)는, 상하 방향에 있어서, 개구 단면적이 균일한 원기둥 형상을 갖고 있더라도 좋다.(2) In the embodiment shown in Fig. 2, the first opening 11 has a tapered shape in which the opening cross-sectional area becomes larger as it goes downward. For example, as shown in Fig. 7, The first opening 11 may have a cylindrical shape with a uniform opening sectional area in the up-and-down direction, although not shown in the figure.

또한, 도 7에 나타내는 실시 형태에서는, 제 3 개구부(13)는, 상하 방향에 있어서, 개구 단면적이 균일한 원기둥 형상을 갖고 있다.In the embodiment shown in Fig. 7, the third openings 13 have a cylindrical shape with a uniform cross-sectional area in the vertical direction.

도 7에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다. 바람직하게는, 검사 장치(42)의 검사 프로브(44)나 피검사 장치(41)의 단자(43)에 있어서의 접속 용이성으로부터, 도 2에 나타내는 실시 형태를 들 수 있다.The anisotropic conductive sheet 1 shown in Fig. 7 can also exhibit the same operational effects as the embodiment shown in Fig. The embodiment shown in Fig. 2 is preferable from the viewpoint of easiness of connection in the inspection probe 44 of the inspection apparatus 42 and the terminal 43 of the inspection subject apparatus 41. Fig.

(3) 도 2에 나타내는 실시 형태에서는, 이방 도전부(2)는, 제 1 베이스층(5)을 구비하고 있지만, 예컨대, 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 이방 도전부(2)는, 제 1 베이스층(5)을 구비하지 않더라도 좋다.(3) In the embodiment shown in Fig. 2, the anisotropically conductive portion 2 includes the first base layer 5, but for example, as shown in Figs. 8 and 9, , And the first base layer 5 may not be provided.

도 8 및 도 9에 나타내는 실시 형태에서는, 절연층(3)은, 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)만을 구비하고 있고, 제 2 베이스층(6)의 하면은, 노출되어 있다. 또한, 절연층(3)은, 제 1 개구부(11)를 구비하지 않고, 제 2 개구부(12) 및 제 3 개구부(13)가 관통 구멍(16)을 구성하고 있다. 이방 도전부(2)는, 제 2 오목부(34)를 갖지 않는다.8 and 9, the insulating layer 3 includes only the second base layer 6 and the cover layer 7, and the lower surface of the second base layer 6 is exposed . The insulating layer 3 does not have the first openings 11 and the second openings 12 and the third openings 13 constitute the through holes 16. [ The anisotropically conductive portion 2 does not have the second concave portion 34.

도 8에 나타내는 실시 형태에서는, 중앙부(21)의 하면은, 제 2 베이스층(6)의 하면과 단차가 없도록 형성되어 있다.In the embodiment shown in FIG. 8, the lower surface of the central portion 21 is formed so as not to have a step with the lower surface of the second base layer 6.

도 9에 나타내는 실시 형태에서는, 중앙부(21)의 하면은, 제 2 베이스층(6)의 하면보다 아래쪽에 위치하고 있다. 즉, 중앙부(21)는, 절연층(3)의 하면보다 아래쪽으로 돌출하고 있다. 또한, 경사부(22)의 하면의 일부는, 제 2 베이스층(6)으로부터 노출되어 있다.In the embodiment shown in Fig. 9, the lower surface of the central portion 21 is located below the lower surface of the second base layer 6. That is, the central portion 21 protrudes downward from the lower surface of the insulating layer 3. A part of the lower surface of the inclined portion 22 is exposed from the second base layer 6.

도 8 및 도 9에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다. 바람직하게는, 제 2 도금층(52) 등을 배치할 때에, 인접하는 이방 도전부(2)의 도체부(4)끼리가 도통하는 것을 억제할 수 있는 관점으로부터, 도 2에 나타내는 실시 형태를 들 수 있다.The anisotropic conductive sheet 1 shown in Figs. 8 and 9 can also exhibit the same operational effects as the embodiment shown in Fig. Preferably, from the viewpoint of suppressing conduction between the conductor portions 4 of the adjacent anisotropic conductive portions 2 when the second plating layer 52 or the like is disposed, .

(4) 도 6~도 9에 나타내는 이방 도전성 시트(1)에 대해서도, 도 4에 나타내는 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50) 및 도 5에 나타내는 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)가 참조되는 바와 같이, 도금층(51, 52) 및 도전성 탄성부(61)를 구비할 수 있다.(4) The anisotropic conductive sheet 1 shown in Figs. 6 to 9 is also referred to as an anisotropic conductive sheet 50 having a plated layer shown in Fig. 4 and an anisotropic conductive sheet 60 having an elastic part shown in Fig. Likewise, the plating layers 51 and 52 and the conductive elastic portion 61 may be provided.

(5) 도 2~도 9에 있어서, 제 1 베이스층(5), 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)이, 서로 동종의 재료(예컨대, 폴리이미드 수지)로 형성되는 경우, 제 1 베이스층(5)과 제 2 베이스층(6)의 경계, 및, 제 2 베이스층(6)과 커버층(7)의 경계(각 도면에 있어서의 절연층(3) 내의 파선)는 존재하지 않고, 제 1 베이스층(5), 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)은 일체적으로 형성된다. 또, 이것은, 후술하는 도 10~도 15에 나타내는 실시 형태 및 그 변형예에 대해서도 마찬가지이다.(5) When the first base layer 5, the second base layer 6 and the cover layer 7 are formed of the same kind of material (for example, polyimide resin) as shown in Figs. 2 to 9, The boundary between the first base layer 5 and the second base layer 6 and the boundary between the second base layer 6 and the cover layer 7 (broken lines in the insulating layer 3 in the respective drawings) And the first base layer 5, the second base layer 6 and the cover layer 7 are integrally formed. This also applies to the embodiment shown in Figs. 10 to 15 and modifications thereof to be described later.

<제 2 실시 형태>&Lt; Second Embodiment >

1. 이방 도전성 시트1. Anisotropically conductive sheet

도 10을 참조하여, 본 발명에 있어서의 제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트의 일 실시 형태에 대하여 설명한다. 또, 제 2 실시 형태에 있어서, 상기한 제 1 실시 형태와 마찬가지의 부재에는 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.An embodiment of the anisotropic conductive sheet of the second embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. In the second embodiment, the same reference numerals are given to members similar to those of the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도체부(4)는, 중앙부(21), 경사부(22) 및 차양부(23)를 구비하고 있지만, 제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 도체부(4)는, 중앙부(21) 및 경사부(22)만을 구비하고 있고, 차양부(23)를 구비하고 있지 않더라도 좋다.In the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment, the conductor portion 4 includes the central portion 21, the inclined portion 22, and the flange portion 23. However, the anisotropically conductive sheet 1 of the second embodiment 10, the conductor portion 4 includes only the central portion 21 and the inclined portion 22 and may not be provided with the flange portion 23. As shown in Fig.

또한, 제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 절연층(3)은, 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)만을 구비하고 있고, 제 1 베이스층(5)을 구비하고 있지 않다.In the anisotropically conductive sheet 1 of the second embodiment, the insulating layer 3 includes only the second base layer 6 and the cover layer 7, and includes the first base layer 5 It is not.

제 2 베이스층(6)은, 절연층(3)의 최하부에 위치하고, 제 2 개구부(12)를 갖고 있다. 제 2 개구부(12)는, 저면에서 볼 때 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 제 2 개구부(12)는, 위쪽에 있어서, 제 3 안쪽 개구부(19) 및 제 3 바깥쪽 개구부(20)와 연통하고 있다. 제 2 개구부(12)의 상단의 개구는, 제 3 바깥쪽 개구부(20)(후술)의 하단의 개구와 일치한다.The second base layer 6 is located at the lowermost portion of the insulating layer 3 and has the second opening portion 12. The second opening 12 has a circular shape when viewed from the bottom, and has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening increases as it faces upward. The second opening portion 12 communicates with the third inner opening portion 19 and the third outer opening portion 20 on the upper side. The opening at the upper end of the second opening portion 12 coincides with the opening at the lower end of the third outer opening portion 20 (described later).

커버층(7)은, 절연층(3)의 최상부에 위치하고, 제 2 베이스층(6)의 위쪽에 배치되어 있다. 구체적으로는, 커버층(7)은, 커버층(7)의 하면이 제 2 베이스층(6)의 상면과 연속하도록, 제 2 베이스층(6)의 상면에 배치되어 있다. 커버층(7)의 상면은, 노출되어 있다.The cover layer 7 is located on the uppermost portion of the insulating layer 3 and is disposed above the second base layer 6. Specifically, the cover layer 7 is disposed on the upper surface of the second base layer 6 such that the lower surface of the cover layer 7 is continuous with the upper surface of the second base layer 6. The upper surface of the cover layer 7 is exposed.

커버층(7)은, 제 3 개구부(13)를 갖고 있다. 제 3 개구부(13)는, 제 3 개구부(13)의 안쪽을 구획하는 제 3 안쪽 개구부(19)와, 제 3 안쪽 개구부(19)의 바깥쪽을 구획하는 제 3 바깥쪽 개구부(20)를 구비하고 있다.The cover layer (7) has a third opening (13). The third opening 13 has a third inner opening 19 partitioning the inside of the third opening 13 and a third outer opening 20 partitioning the outside of the third inside opening 19 Respectively.

제 3 안쪽 개구부(19)는, 커버층(7)을 상하 방향으로 관통하고 있다. 제 3 안쪽 개구부(19)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 제 3 안쪽 개구부(19)는, 아래쪽에 있어서, 제 2 개구부(12)의 내측과 연통하고 있다.The third inner opening 19 penetrates the cover layer 7 in the up and down direction. The third inner opening 19 has a substantially circular shape when seen in plan view and has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening increases as it faces upward. The third inner opening (19) communicates with the inner side of the second opening (12) on the lower side.

제 3 바깥쪽 개구부(20)는, 평면에서 볼 때 대략 고리 형상, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 삼각형 형상을 갖고 있다. 제 3 바깥쪽 개구부(20)는, 아래쪽에 있어서 제 2 개구부(12)의 바깥쪽과 연통하고 있다.The third outer opening 20 has a substantially annular shape in plan view and a substantially triangular shape in a side view. The third outer opening portion 20 communicates with the outer side of the second opening portion 12 at the lower side.

제 1 개구부(11) 및 제 3 개구부(13)는, 상하 방향으로 서로 연통하고 있고, 절연층(3)을 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(16)을 구성한다.The first opening 11 and the third opening 13 communicate with each other in the vertical direction and constitute a through hole 16 penetrating the insulating layer 3 in the vertical direction.

도체부(4)는, 중앙부(21) 및 경사부(22)만을 구비하고 있고, 차양부(23)를 구비하고 있지 않다.The conductor portion 4 includes only the central portion 21 and the inclined portion 22 and does not have the flange portion 23. [

중앙부(21)의 하면은, 제 2 베이스층(6)의 하면보다, 아래쪽에 위치하고 있다. 즉, 중앙부(21)는, 제 2 베이스층(6)의 하면보다 아래쪽으로 돌출하고 있다. 이 때문에, 중앙부(21)의 전면 및 경사부(22)의 하면의 일부(하부)는, 제 2 베이스층(6)으로부터 노출되어 있다.The lower surface of the central portion 21 is located below the lower surface of the second base layer 6. That is, the central portion 21 protrudes downward from the lower surface of the second base layer 6. Therefore, the front surface of the central portion 21 and a part (lower portion) of the lower surface of the inclined portion 22 are exposed from the second base layer 6.

경사부(22)의 상면 및 외주 측면은, 커버층(7)에 피복되고, 경사부(22)의 하면은, 제 2 베이스층(6)에 피복되어 있다. 구체적으로는, 경사부(22)의 상면의 전면, 및, 경사부(22)의 외주 측면의 전면은, 커버층(7)과 접촉하고, 경사부(22)의 하면의 일부(상부)는, 제 2 베이스층(6)의 경사면(17)과 접촉하고 있다. 이 때문에, 경사부(22)는, 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)에 의해 구획되고, 면 방향(특히 비스듬한 방향)으로 우묵한 제 3 바깥쪽 개구부(20) 및 제 2 개구부(12)에 감합하고 있다. 즉, 경사부(22)는, 감합부(31)를 구성하고, 제 3 바깥쪽 개구부(20), 및, 제 2 개구부(12)의 외주부는, 감합부(31)를 감합하는 피감합부(32)를 구성하고 있다.The upper surface and the outer peripheral side of the inclined portion 22 are covered with the cover layer 7 and the lower surface of the inclined portion 22 is covered with the second base layer 6. [ Specifically, the front surface of the upper surface of the inclined portion 22 and the entire surface of the outer peripheral side surface of the inclined portion 22 are in contact with the cover layer 7, and a portion (upper portion) of the lower surface of the inclined portion 22 And the inclined surface 17 of the second base layer 6. [ The inclined portion 22 is divided by the second base layer 6 and the cover layer 7 so that the third outer openings 20 and the second openings 20 (in particular, the oblique directions) 12). That is, the inclined portion 22 constitutes the fitting portion 31, and the outer peripheral portion of the third outer opening portion 20 and the outer peripheral portion of the second opening portion 12 constitute the fitted portion 31 32).

제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.Also in the anisotropic conductive sheet 1 of the second embodiment, the same effects as those of the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment can be exhibited.

특히, 제 2 실시 형태에서는, 비스듬한 방향으로 연장되는 경사부(22)가 감합부(31)를 구성하고, 비스듬한 방향으로 우묵한 피감합부(32)(제 3 바깥쪽 개구부(20) 및 제 2 개구부(12))에 감합되어 있다. 그 때문에, 도체부(4)는, 보다 확실히 절연층(3)에 고정되어 있다. 따라서, 피검사 장치(41)의 단자(43)에 의한 위쪽으로부터의 가압, 검사 장치(42)의 단자에 의한 아래쪽으로부터의 가압, 및, 양 단자에 의한 면 방향으로의 응력의 어느 것에 대해서도, 도체부(4)가 강고하게 고정되고, 위치 어긋남이 생기기 어렵다. 그 결과, 도체부(4)가 관통 구멍(16)으로부터 탈락하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 내구성이 우수하다.Particularly, in the second embodiment, the inclined portion 22 extending in the oblique direction constitutes the fitting portion 31, and the recessed portion 32 (the third outer opening portion 20 and the second opening portion 20 in the oblique direction) (12). Therefore, the conductor portion 4 is fixed to the insulating layer 3 more reliably. Therefore, with respect to both the pressing from above by the terminal 43 of the inspected device 41, the pressing from below by the terminal of the inspecting device 42, and the stress in the plane direction by both terminals, The conductor portion 4 is firmly fixed and the positional deviation is unlikely to occur. As a result, it is possible to prevent the conductor portion 4 from falling off from the through hole 16. Therefore, durability is excellent.

또한, 차양부(23)를 구비하고 있지 않기 때문에, 도체부(4)의 면 방향 길이를 단축할 수 있다. 그 결과, 도체부 사이의 피치 L8을 보다 미세화할 수 있다.Further, since the flange portion 23 is not provided, the length in the plane direction of the conductor portion 4 can be shortened. As a result, the pitch L8 between the conductor portions can be further reduced.

또한, 제 1 베이스층(5)을 구비하고 있지 않기 때문에, 이방 도전성 시트(1)의 박막화를 도모할 수 있다. 또한, 가요성이 우수하고, 피검사 장치(41)의 형상이나 휘어짐에 용이하게 추종할 수 있기 때문에, 보다 저압에서의 검사가 가능하게 되고, 그 결과, 내구성이 더 우수하다.Further, since the first base layer 5 is not provided, the anisotropically conductive sheet 1 can be made thinner. Further, since it is excellent in flexibility and can easily follow the shape and warpage of the inspected device 41, inspection at a lower pressure becomes possible, and as a result, durability is more excellent.

2. 도금층을 갖는 이방 도전성 시트, 및, 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트2. An anisotropic conductive sheet having a plated layer and an anisotropically conductive sheet having an elastic part

제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)는, 도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 도금층(51, 52) 및 도전성 탄성부(61)의 적어도 한쪽을 더 구비할 수 있다. 도금층(51, 52) 및 도전성 탄성부(61)는, 제 1 실시 형태에 나타내는 도금층(51, 52) 및 도전성 탄성부(61)와 마찬가지이다.The anisotropic conductive sheet 1 of the second embodiment may further include at least one of the plating layers 51 and 52 and the conductive elastic portion 61 as shown in Figs. 11 and 12. The plating layers 51 and 52 and the conductive elastic part 61 are the same as the plating layers 51 and 52 and the conductive elastic part 61 shown in the first embodiment.

제 2 실시 형태의 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50), 및, 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)에 대해서도, 제 1 실시 형태의 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50), 및, 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 50 having the plating layer and the anisotropic conductive sheet 60 having the elastic portion according to the second embodiment are also applicable to the anisotropic conductive sheet 50 having the plating layer of the first embodiment, The same effects as those of the conductive sheet 60 can be obtained.

3. 변형예3. Variations

제 2 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)의 변형예에 대하여 설명한다. 또, 변형예에 있어서, 상기한 도 2 등에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 부재에는, 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.A modified example of the anisotropic conductive sheet 1 of the second embodiment will be described. In the modified example, the same reference numerals are given to the same members as those in the embodiment shown in Fig. 2 and so on, and the description is omitted.

(1) 도 10에 나타내는 실시 형태에서는, 커버층(7)은, 경사부(22)의 상면의 전부를 피복하고 있지만, 예컨대, 도시하지 않지만, 커버층(7)은, 경사부(22)의 상면의 일부(상부)만을 피복하더라도 좋다. 이 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 10에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.(1) In the embodiment shown in Fig. 10, the cover layer 7 covers the entire upper surface of the inclined portion 22. For example, although not shown, the cover layer 7 is formed by the inclined portion 22, (Upper part) of the upper surface of the substrate. In this anisotropic conductive sheet 1, the same action and effect as those of the embodiment shown in Fig. 10 can be obtained.

(2) 도 10에 나타내는 실시 형태에서는, 절연층(3)은, 제 1 베이스층(5)을 구비하고 있지 않지만, 예컨대, 도시하지 않지만, 절연층(3)은, 제 2 베이스층(6)의 하면에 배치되는 제 1 베이스층(5)을 구비하고 있더라도 좋다.(2) In the embodiment shown in Fig. 10, the insulating layer 3 does not include the first base layer 5. For example, although not shown, the insulating layer 3 is formed on the second base layer 6 And a first base layer 5 disposed on the lower surface of the first base layer 5.

제 1 베이스층(5)은, 제 1 개구부(11)를 갖고 있다. 이것에 의해, 중앙부(21) 및 제 1 개구부(11)가, 제 2 오목부(34)를 구획한다. 제 1 개구부(11)는, 도 2 및 도 7이 참조되는 바와 같이, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 또는 작아지는 테이퍼 형상을 갖더라도 좋고, 상하 방향에 있어서, 개구 단면적이 균일한 원기둥 형상을 갖고 있더라도 좋다.The first base layer (5) has a first opening (11). As a result, the central portion 21 and the first opening 11 define the second recessed portion 34. As shown in Figs. 2 and 7, the first opening 11 may have a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening becomes larger or smaller as it is directed upward. In the vertical direction, .

이 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 도 2에 나타내는 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다. 박막화 및 저압에서의 검사의 관점으로부터는, 바람직하게는, 도 10에 나타내는 실시 형태를 들 수 있다.In this anisotropic conductive sheet 1, the same operational effects as those of the embodiment shown in Fig. 2 can be obtained. From the viewpoint of thinning and inspection at a low pressure, the embodiment shown in Fig. 10 is preferable.

<제 3 실시 형태>&Lt; Third Embodiment >

1. 이방 도전성 시트1. Anisotropically conductive sheet

도 13을 참조하여, 본 발명에 있어서의 제 3 실시 형태의 이방 도전성 시트의 일 실시 형태에 대하여 설명한다. 또, 제 3 실시 형태에 있어서, 상기한 제 1~2 실시 형태와 마찬가지의 부재에는 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.An embodiment of the anisotropic conductive sheet of the third embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. In the third embodiment, the same reference numerals are given to members similar to those of the first and second embodiments, and a description thereof will be omitted.

제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도체부(4)는, 중앙부(21), 경사부(22) 및 차양부(23)를 구비하고 있지만, 제 3 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도 13에 나타내는 바와 같이, 도체부(4)는, 중앙부(21) 및 차양부(23)만을 구비하고 있고, 경사부(22)를 구비하지 않더라도 좋다.In the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment, the conductor portion 4 includes the central portion 21, the inclined portion 22, and the flange portion 23. However, the anisotropically conductive sheet 1 of the third embodiment 13, the conductor portion 4 includes only the central portion 21 and the flange portion 23, and may not include the inclined portion 22. In this case,

또한, 제 3 실시 형태에서는, 절연층(3)은, 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)만을 구비하고 있고, 제 1 베이스층(5)을 구비하고 있지 않다.In the third embodiment, the insulating layer 3 includes only the second base layer 6 and the cover layer 7, and does not have the first base layer 5. [

제 2 베이스층(6)은, 절연층(3)의 최하부에 위치하고 있다. 구체적으로는, 제 2 베이스층(6)은, 제 2 베이스층(6)의 상면이 커버층(7)의 하면과 연속하도록, 커버층(7)의 하면에 배치되어 있다. 제 2 베이스층(6)의 하면은, 노출되어 있다.The second base layer 6 is located at the lowermost part of the insulating layer 3. Specifically, the second base layer 6 is disposed on the lower surface of the cover layer 7 so that the upper surface of the second base layer 6 is continuous with the lower surface of the cover layer 7. The lower surface of the second base layer 6 is exposed.

제 2 베이스층(6)은, 제 2 개구부(12)를 갖고 있다. 제 2 개구부(12)는, 저면에서 볼 때 대략 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 제 2 개구부(12)는, 위쪽에 있어서, 제 3 아래쪽 개구부(14)와 연통하고 있다. 제 2 개구부(12)의 상단의 개구는, 제 3 아래쪽 개구부(14)의 하단의 개구와 일치한다.The second base layer (6) has a second opening (12). The second opening portion 12 has a substantially circular shape when viewed from the bottom, and has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening increases as it faces upward. The second opening portion 12 communicates with the third lower opening portion 14 on the upper side. The opening at the upper end of the second opening portion 12 coincides with the opening at the lower end of the third lower opening portion 14.

커버층(7)은, 절연층(3)의 최상부에 위치하고, 제 2 베이스층(6)의 위쪽에 배치되어 있다. 구체적으로는, 커버층(7)은, 그 하면이 제 2 베이스층(6)의 상면과 연속하도록, 제 2 베이스층(6)의 상면에 배치되어 있다. 커버층(7)의 상면은, 노출되어 있다.The cover layer 7 is located on the uppermost portion of the insulating layer 3 and is disposed above the second base layer 6. Specifically, the cover layer 7 is disposed on the upper surface of the second base layer 6 so that its lower surface is continuous with the upper surface of the second base layer 6. The upper surface of the cover layer 7 is exposed.

커버층(7)은, 제 3 개구부(13)를 갖고 있다. 제 3 개구부(13)는, 제 3 개구부(13)의 아래쪽을 구획하는 제 3 아래쪽 개구부(14)와, 제 3 개구부(13)의 위쪽을 구획하는 제 3 위쪽 개구부(15)를 구비하고 있다.The cover layer (7) has a third opening (13). The third opening 13 is provided with a third lower opening 14 for partitioning the lower side of the third opening 13 and a third upper opening 15 for partitioning the upper side of the third opening 13 .

제 3 아래쪽 개구부(14)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 제 3 아래쪽 개구부(14)는, 아래쪽에 있어서 제 2 개구부(12)와 연통하고, 위쪽에 있어서 제 3 위쪽 개구부(15)와 연통하고 있다. 제 3 아래쪽 개구부(14)의 하단의 개구는, 제 2 개구부(12)의 상단의 개구와 일치한다.The third lower opening 14 has a substantially circular shape in plan view and has a tapered shape in which the cross sectional area of the opening becomes smaller as viewed from the side end face. The third lower opening 14 communicates with the second opening 12 on the lower side and communicates with the third upper opening 15 on the upper side. The opening of the lower end of the third lower opening 14 coincides with the opening of the upper end of the second opening 12.

제 3 위쪽 개구부(15)는, 평면에서 볼 때 대략 원형 형상을 갖고, 측단면에서 볼 때, 위쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 제 3 위쪽 개구부(15)는, 아래쪽에 있어서 제 3 아래쪽 개구부(14)와 연통하고 있다. 제 3 위쪽 개구부(15)의 하단의 개구는, 제 3 아래쪽 개구부(14)의 상단의 개구보다 좁고, 상하 방향으로 투영했을 때에, 제 3 위쪽 개구부(15)는, 제 3 아래쪽 개구부(14)에 포함된다.The third upper opening portion 15 has a substantially circular shape in plan view and has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening becomes larger as viewed from the side end face. The third upper opening (15) communicates with the third lower opening (14) on the lower side. The upper opening of the third upper opening 15 is narrower than the opening of the upper end of the third lower opening 14. When the upper opening is projected in the vertical direction, .

제 1 개구부(11), 제 2 개구부(12) 및 제 3 개구부(13)는, 상하 방향으로 서로 연통하고 있고, 절연층(3)을 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(16)을 구성한다.The first opening 11, the second opening 12 and the third opening 13 communicate with each other in the vertical direction to constitute a through hole 16 penetrating the insulating layer 3 in the vertical direction.

도체부(4)는, 중앙부(21) 및 차양부(23)를 구비하고 있다.The conductor section (4) has a central section (21) and a flange section (23).

중앙부(21)는, 제 2 개구부(12) 및 제 3 아래쪽 개구부(14)의 내부에 배치되어 있다. 중앙부(21)의 상면의 일부(중앙부)는, 커버층(7)으로부터 노출되어 있다. 중앙부(21)의 하면 전면은, 제 2 베이스층(6)으로부터 노출되어 있고, 제 2 베이스층(6)의 하면과 단차가 없도록 형성되어 있다.The central portion 21 is disposed inside the second opening portion 12 and the third lower opening portion 14. A portion (central portion) of the upper surface of the central portion 21 is exposed from the cover layer 7. [ The lower surface of the central portion 21 is exposed from the second base layer 6 and is formed so as to have no step with the lower surface of the second base layer 6. [

차양부(23)는, 중앙부(21)의 외주 가장자리로부터 면 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 차양부(23)는, 평면에서 볼 때 대략 고리 형상을 갖고, 또한, 측단면에서 볼 때, 바깥쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 작아지는 대략 삼각형 형상을 갖고 있다.The flange portion 23 is formed to extend from the outer peripheral edge of the central portion 21 in the surface direction. The flange portion 23 has a substantially annular shape in plan view and has a substantially triangular shape in which the cross section of the opening becomes smaller as viewed from the side end face toward the outside.

차양부(23)의 상면(경사면)은, 커버층(7)에 피복되고, 차양부(23)의 하면(경사면)은, 제 2 베이스층(6)에 피복되어 있다. 구체적으로는, 차양부(23)의 상면 전면은, 커버층(7)과 접촉하고, 차양부(23)의 하면 전면은, 제 2 베이스층(6)의 경사면(17)과 접촉하고 있다. 이 때문에, 차양부(23)는, 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)에 의해 구획되고, 면 방향으로 우묵한 제 2 개구부(12) 및 제 3 아래쪽 개구부(14)의 외주부에 감합하고 있다. 즉, 차양부(23)는, 감합부(31)를 구성하고, 제 2 개구부(12) 및 제 3 아래쪽 개구부(14)의 외주부는, 감합부(31)를 감합하는 피감합부(32)를 구성하고 있다.The upper surface (inclined surface) of the flange portion 23 is covered with the cover layer 7 and the lower surface (inclined surface) of the flange portion 23 is covered with the second base layer 6. [ Concretely, the upper surface of the flange portion 23 is in contact with the cover layer 7, and the lower surface of the flange portion 23 is in contact with the inclined surface 17 of the second base layer 6. Therefore, the flange portion 23 is divided by the second base layer 6 and the cover layer 7 and fitted to the outer periphery of the recessed second opening portion 12 and the third lower opening portion 14 in the surface direction . The outer peripheral portion of the second opening 12 and the outer peripheral portion of the third lower opening 14 constitute a fitted portion 32 for fitting the fitting portion 31 Respectively.

이방 도전부(2)에서는, 중앙부(21)의 상면 및 제 3 위쪽 개구부(15)의 둘레 측면이, 제 1 오목부(33)를 구획하고 있다.In the anisotropically conductive portion 2, the upper surface of the central portion 21 and the peripheral surface of the third upper opening 15 partition the first recessed portion 33.

제 3 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.Also in the anisotropically conductive sheet 1 of the third embodiment, the same operational effects as those of the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment can be exhibited.

특히, 제 3 실시 형태에서는, 도체부(4)가, 제 2 개구부(12) 및 제 3 아래쪽 개구부(14)에 배치되어 있기 때문에, 그 두께를 두껍게 할 수 있다. 그 때문에, 내구성이 보다 한층 우수하다. 또한, 피검사 장치(41)의 단자(43)로부터의 가압에 대하여, 이방 도전성 시트(1)가 상하 방향으로 휘기 어렵고, 복수의 단자(43)에 대하여 균등하게 이방 도전부(2)가 접촉할 수 있다.Particularly, in the third embodiment, since the conductor portion 4 is disposed in the second opening portion 12 and the third lower opening portion 14, the thickness of the conductor portion 4 can be increased. Therefore, the durability is further improved. The anisotropically conductive sheet 1 is hard to bend in the up and down direction against the pressing of the terminal 43 of the inspected device 41 and the anisotropically conductive portions 2 are uniformly contacted with the plurality of terminals 43 can do.

2. 도금층을 갖는 이방 도전성 시트2. Anisotropically conductive sheet having a plated layer

제 3 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)는, 도 14에 나타내는 바와 같이, 도금층(51, 52)을 더 구비할 수 있다.As shown in Fig. 14, the anisotropic conductive sheet 1 of the third embodiment may further include plating layers 51 and 52. [

제 3 실시 형태의 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50)에서는, 제 1 안쪽 도금층(53)은, 제 1 오목부(33)를 완전하게 충전하도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 제 1 안쪽 도금층(53)은, 커버층(7)의 상면보다 위쪽으로 돌출하도록, 형성되어 있다.In the anisotropic conductive sheet 50 having the plating layer of the third embodiment, the first inner plating layer 53 is formed so as to completely fill the first recessed portion 33. [ Specifically, the first inner plating layer 53 is formed so as to protrude upward from the upper surface of the cover layer 7.

제 3 실시 형태의 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50)에 있어서도, 제 1 실시 형태의 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 50 having the plating layer of the third embodiment can exhibit the same operational effects as those of the anisotropic conductive sheet 50 having the plating layer of the first embodiment.

또한, 제 3 실시 형태의 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50)에서는, 제 1 안쪽 도금층(53), 나아가서는, 제 1 도금층(51)이 두꺼워지도록 형성되어 있다. 그 때문에, 제 1 도금층(51)에 의해, 도체부(4)를 보다 확실히 보호할 수 있고, 도체부(4)의 산화를 보다 한층 억제할 수 있다.In the anisotropic conductive sheet 50 having the plating layer of the third embodiment, the first inner plating layer 53 and further the first plating layer 51 are formed to be thick. Therefore, the conductor portion 4 can be more reliably protected by the first plating layer 51, and oxidation of the conductor portion 4 can be further suppressed.

특히, 제 3 실시 형태의 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50)는, 제 1 오목부(33)를 갖는 이방 도전성 시트(1)로부터 얻어지기 때문에, 제 1 안쪽 도금층(53)의 두께, 나아가서는, 제 1 도금층(51)의 두께를 두껍게 하더라도, 제 1 안쪽 도금층(53)은, 커버층(7)의 상면 전면에 유출되기 어렵다. 그 때문에, 인접하는 이방 도전부(2)의 도체부(4)끼리가 도통하는 것을 억제하면서, 도체부(4)를 보다 확실히 보호할 수 있다.Particularly, since the anisotropic conductive sheet 50 having the plating layer of the third embodiment is obtained from the anisotropic conductive sheet 1 having the first recess 33, the thickness of the first inner plating layer 53, Even if the thickness of the first plating layer 51 is increased, the first inner plating layer 53 hardly flows out to the entire upper surface of the cover layer 7. [ Therefore, it is possible to more reliably protect the conductor portion 4 while suppressing conduction between the conductor portions 4 of the adjacent anisotropically conductive portions 2.

<제 4 실시 형태>&Lt; Fourth Embodiment &

도 15를 참조하여, 본 발명에 있어서의 제 4 실시 형태의 이방 도전성 시트의 일 실시 형태에 대하여 설명한다. 또, 제 4 실시 형태에 있어서, 상기한 제 1~3 실시 형태와 마찬가지의 부재에는 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.An embodiment of the anisotropic conductive sheet of the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. In the fourth embodiment, members similar to those of the first to third embodiments described above are denoted by similar reference numerals, and description thereof is omitted.

도 8에 나타내는 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도체부(4)는, 중앙부(21), 경사부(22) 및 차양부(23)를 일체적으로 구비하고 있지만, 제 4 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도체부(4)는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 중앙부(21), 경사부(22), 차양부(23) 및 충전부(24)를 일체적으로 구비할 수도 있다.In the anisotropically conductive sheet 1 of the first embodiment shown in Fig. 8, the conductor portion 4 integrally includes the central portion 21, the inclined portion 22 and the flange portion 23, In the anisotropic conductive sheet 1 of the embodiment, the conductor portion 4 is formed by integrally forming the central portion 21, the inclined portion 22, the flange portion 23 and the charging portion 24 as shown in Fig. 15 .

충전부(24)는, 제 2 개구부(12) 및 제 3 아래쪽 개구부(14)의 내부에 배치되어 있다. 충전부(24)는, 도 15의 파선에 나타내는 바와 같이, 대략 원뿔대 형상을 갖고 있다. 충전부(24)는, 그 하면이 중앙부(21) 및 경사부(22)와 연속하도록, 중앙부(21) 및 경사부(22)와 일체적으로 연속하고 있다. 또한, 충전부(24)의 상면은, 차양부(23)의 상면과 단차가 없도록, 형성되어 있다. 즉, 도체부(4)의 상면은, 평탄면으로 되어 있다.The charging portion 24 is disposed inside the second opening portion 12 and the third lower opening portion 14. The charging section 24 has a substantially frusto-conical shape as shown by the broken line in Fig. The charging part 24 is integrally continuous with the central part 21 and the inclined part 22 so that the lower surface thereof is continuous with the central part 21 and the inclined part 22. The upper surface of the charging portion 24 is formed so as not to have a step with the upper surface of the flange portion 23. That is, the upper surface of the conductor portion 4 is a flat surface.

이방 도전부(2)에서는, 충전부(24) 및 경사부(22)의 둘레 측면이, 제 1 오목부(33)를 구획하고 있다.In the anisotropically conductive portion 2, the peripheral surface of the charging portion 24 and the inclined portion 22 divides the first concave portion 33.

제 4 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)도, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 1 of the fourth embodiment can also exhibit the same operational effects as the anisotropically conductive sheet 1 of the first embodiment.

이방 도전성 시트(1)를 이용한 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50) 및 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)도, 상기한 제 1~3 실시 형태와 마찬가지이다. 또한, 상기한 제 1~3 실시 형태의 변형예도, 제 4 실시 형태에 마찬가지로 적용할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 50 having a plated layer using the anisotropic conductive sheet 1 and the anisotropically conductive sheet 60 having an elastic part are also the same as those of the first to third embodiments described above. The modified examples of the first to third embodiments described above can also be applied to the fourth embodiment.

<제 5 실시 형태>&Lt; Embodiment 5 >

도 16을 참조하여, 본 발명에 있어서의 제 5 실시 형태의 이방 도전성 시트의 일 실시 형태에 대하여 설명한다. 또, 제 5 실시 형태에 있어서, 상기한 제 1~4 실시 형태와 마찬가지의 부재에는 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.An embodiment of the anisotropic conductive sheet of the fifth embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. In the fifth embodiment, members similar to those of the first to fourth embodiments described above are denoted by similar reference numerals, and description thereof is omitted.

제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도체부(4)는, 중앙부(21), 경사부(22) 및 차양부(23)를 일체적으로 구비하고, 절연층(3)이, 제 2 베이스층(6) 및 커버층(7)을 구비하고 있지만, 제 5 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도 16에 나타내는 바와 같이, 도체부(4)는, 중앙부(21) 및 차양부(23)만을 일체적으로 구비하고, 절연층(3)은, 커버층(7)만을 구비할 수도 있다.In the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment, the conductor portion 4 has the central portion 21, the inclined portion 22, and the flange portion 23 integrally, 16, the conductor portion 4 has the central portion 21 and the second base layer 6, and the second base layer 6 and the cover layer 7. In the anisotropically conductive sheet 1 of the fifth embodiment, Only the cover portion 23 is integrally provided, and the insulating layer 3 may include only the cover layer 7. [

절연층(3)은, 커버층(7)만을 구비하고 있고, 제 1 베이스층(5) 및 제 2 베이스층(6)을 구비하고 있지 않다. 커버층(7)은, 제 3 아래쪽 개구부(14) 및 제 3 위쪽 개구부(15)를 갖는다.The insulating layer 3 includes only the cover layer 7 and does not include the first base layer 5 and the second base layer 6. [ The cover layer (7) has a third lower opening (14) and a third upper opening (15).

도체부(4)에 있어서, 차양부(23)는, 중앙부(21)의 둘레 가장자리로부터 지름 방향 바깥쪽으로 연장되도록 형성되어 있다. 차양부(23)는, 평면에서 볼 때 대략 고리 형상, 또한, 측단면에서 볼 때 대략 직사각형 형상을 갖고 있다. 차양부(23)의 상면 및 하면은, 각각, 중앙부(21)의 상면 및 하면과 단차가 없도록 형성되어 있다.In the conductor portion 4, the flange portion 23 is formed to extend outward in the radial direction from the peripheral edge of the central portion 21. The flange portion 23 has a substantially annular shape in a plan view and a substantially rectangular shape in a side end view. The upper surface and the lower surface of the flange portion 23 are formed so as not to have a step with the upper surface and the lower surface of the central portion 21, respectively.

차양부(23)의 상면 및 둘레 측면은, 커버층(7)에 피복되어 있다. 구체적으로는, 차양부(23)의 상면 전면 및 외주 측면 전면은, 커버층(7)과 접촉한다. 이 때문에, 차양부(23)는, 커버층(7)에 의해 구획되고, 면 방향으로 우묵한 제 3 아래쪽 개구부(14)의 외주부에 감합하고 있다. 즉, 차양부(23)는, 감합부(31)를 구성하고, 제 3 아래쪽 개구부(14)의 외주부는, 감합부(31)를 감합하는 피감합부(32)를 구성하고 있다. 또, 차양부(23)(감합부(31))의 하면은, 절연층(3)으로부터 노출되어 있다.The upper surface and the peripheral surface of the flange portion 23 are covered with the cover layer 7. [ Specifically, the top surface and the outer peripheral side surface of the flange portion 23 are in contact with the cover layer 7. Therefore, the flange portion 23 is partitioned by the cover layer 7 and is engaged with the outer peripheral portion of the recessed third lower opening portion 14 in the surface direction. That is, the flange portion 23 constitutes the fitting portion 31, and the outer peripheral portion of the third lower opening portion 14 constitutes the fitted portion 32 to which the fitting portion 31 is fitted. The lower surface of the flange portion 23 (the fitting portion 31) is exposed from the insulating layer 3.

이방 도전부(2)에서는, 중앙부(21)의 상면 및 제 3 위쪽 개구부(15)의 둘레 측면이, 제 1 오목부(33)를 구획하고 있다.In the anisotropically conductive portion 2, the upper surface of the central portion 21 and the peripheral surface of the third upper opening 15 partition the first recessed portion 33.

제 5 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 제 1 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.Also in the anisotropic conductive sheet 1 of the fifth embodiment, the same operational effects as those of the anisotropic conductive sheet 1 of the first embodiment can be exhibited.

바람직하게는, 절연층(3)이 제 2 베이스층(6)을 구비하고, 감합부(31)의 하면이 제 2 베이스층(6)에 의해 피복되어 있는 제 1~4 실시 형태를 들 수 있다. 제 1~4 실시 형태에서는, 피검사 장치(41)의 단자(43)에 의한 위쪽으로부터의 가압, 검사 장치(42)의 단자에 의한 아래쪽으로부터의 가압, 및, 양 단자에 의한 면 방향으로의 응력의 어느 것에 대해서도, 관통 구멍(16) 내의 도체부(4)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 특히, 위쪽으로부터의 가압에 대해서도, 관통 구멍(16) 내의 도체부(4)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 그 결과, 도체부(4)가 관통 구멍(16)으로부터 탈락하는 것을 효과적으로 억제할 수 있고, 내구성이 우수하다.The first to fourth embodiments in which the insulating layer 3 has the second base layer 6 and the lower surface of the fitting portion 31 is covered with the second base layer 6 have. In the first to fourth embodiments, the pressing of the inspecting device 41 from the upper side by the terminal 43, the pressing from the lower side by the terminal of the inspecting device 42, The displacement of the conductor portion 4 in the through hole 16 can be suppressed against any stress. Particularly, even in the case of pressing from above, displacement of the conductor portion 4 in the through hole 16 can be suppressed. As a result, detachment of the conductor portion 4 from the through hole 16 can be effectively suppressed, and durability is excellent.

이방 도전성 시트(1)를 이용한 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50) 및 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)도, 상기한 제 1~3 실시 형태와 마찬가지이다. 또한, 상기한 제 1~3 실시 형태의 변형예도, 제 5 실시 형태에 마찬가지로 적용할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 50 having a plated layer using the anisotropic conductive sheet 1 and the anisotropically conductive sheet 60 having an elastic part are also the same as those of the first to third embodiments described above. The modified examples of the first to third embodiments described above can also be applied to the fifth embodiment.

<제 6 실시 형태>&Lt; Sixth Embodiment &

도 17을 참조하여, 본 발명에 있어서의 제 6 실시 형태의 이방 도전성 시트의 일 실시 형태에 대하여 설명한다. 또, 제 6 실시 형태에 있어서, 상기한 제 1~5 실시 형태와 마찬가지의 부재에는 마찬가지의 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.An embodiment of the anisotropic conductive sheet of the sixth embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. In the sixth embodiment, members similar to those of the first to fifth embodiments described above are denoted by similar reference numerals, and description thereof is omitted.

제 5 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도체부(4)는, 중앙부(21) 및 차양부(23)를 일체적으로 구비하고 있지만, 제 6 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 도체부(4)는, 중앙부(21)만을 구비할 수도 있다.In the anisotropically conductive sheet 1 of the fifth embodiment, the conductor portion 4 includes the central portion 21 and the flange portion 23 integrally, but in the anisotropically conductive sheet 1 of the sixth embodiment, , As shown in Fig. 17, the conductor portion 4 may have only the central portion 21.

제 6 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에서는, 커버층(7)은, 제 3 개구부(13)를 갖고 있다. 제 3 개구부(13)는, 상하 방향에 있어서, 개구 단면적이 균일한 원기둥 형상을 갖고 있다.In the anisotropic conductive sheet 1 of the sixth embodiment, the cover layer 7 has the third openings 13. The third opening portion 13 has a cylindrical shape with a uniform cross-sectional area in the vertical direction.

도체부(4)에 있어서, 중앙부(21)의 외주 측면은, 제 3 개구부(13)(관통 구멍(16))의 둘레 측면과 접촉하고 있다. 이 때문에, 제 6 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)는, 감합부 및 피감합부를 구비하고 있지 않다.In the conductor portion 4, the outer peripheral side surface of the central portion 21 is in contact with the peripheral side surface of the third opening portion 13 (through hole 16). For this reason, the anisotropic conductive sheet 1 of the sixth embodiment does not have the fitting portion and the fitting portion.

이방 도전부(2)에서는, 중앙부(21)의 상면 및 제 3 개구부(13)의 둘레 측면이, 제 1 오목부(33)를 구획하고 있다.In the anisotropically conductive portion 2, the upper surface of the central portion 21 and the peripheral surface of the third opening 13 partition the first recessed portion 33.

제 6 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)에 있어서도, 제 1~5 실시 형태의 이방 도전성 시트(1)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있다.Also in the anisotropic conductive sheet 1 of the sixth embodiment, the same effects as those of the anisotropically conductive sheet 1 of the first to fifth embodiments can be exhibited.

바람직하게는, 도체부(4)가 감합부(31)를 갖고, 절연층(3)이 피감합부(32)를 갖는 제 1~5 실시 형태를 들 수 있다. 제 1~5 실시 형태에서는, 검사 장치(42)의 검사 프로브(44)에 의한 아래쪽으로부터의 가압에 대해서도, 관통 구멍(16) 내에서의 도체부(4)의 위쪽으로의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 그 결과, 도체부(4)가 관통 구멍(16)으로부터 탈락하는 것을 억제할 수 있고, 내구성이 우수하다.The first to fifth embodiments in which the conductor portion 4 has the fitting portion 31 and the insulating layer 3 has the fitted portion 32 can be cited. In the first to fifth embodiments, the pressing of the inspection device 42 from below by the inspection probe 44 also suppresses the displacement of the upper portion of the conductor portion 4 in the through hole 16 . As a result, the conductor portion 4 can be prevented from falling off from the through hole 16, and the durability is excellent.

이방 도전성 시트(1)를 이용한 도금층을 갖는 이방 도전성 시트(50) 및 탄성부를 갖는 이방 도전성 시트(60)도, 상기한 제 1~3 실시 형태와 마찬가지이다. 또한, 상기한 제 1~3 실시 형태의 변형예도, 제 6 실시 형태에 마찬가지로 적용할 수 있다.The anisotropic conductive sheet 50 having a plated layer using the anisotropic conductive sheet 1 and the anisotropically conductive sheet 60 having an elastic part are also the same as those of the first to third embodiments described above. The modified examples of the first to third embodiments described above can also be applied to the sixth embodiment.

또, 상기 발명은, 본 발명의 예시의 실시 형태로서 제공했지만, 이것은 단순한 예시에 지나지 않고, 한정적으로 해석해서는 안 된다. 당해 기술 분야의 당업자에 의해 분명한 본 발명의 변형예는, 후기 청구의 범위에 포함된다.While the present invention has been described as an exemplary embodiment of the present invention, it is to be understood that this is merely illustrative and not restrictive. Variations of the invention that are evident to one skilled in the art are included in the scope of the latter claims.

(산업상 이용가능성)(Industrial applicability)

본 발명의 이방 도전성 필름은, 각종 공업 제품에 적용할 수 있고, 예컨대, 반도체 소자나 회로 기판에 대한 도통 검사 등에 적합하게 이용된다.The anisotropic conductive film of the present invention can be applied to various industrial products and is suitably used, for example, for conducting tests on semiconductor elements and circuit boards.

1 : 이방 도전성 시트
2 : 이방 도전부
3 : 절연층
4 : 도체부
16 : 관통 구멍
22 : 경사부
23 : 차양부
31 : 감합부
32 : 피감합부
33 : 제 1 오목부
34 : 제 2 오목부
41 : 피검사 장치
42 : 검사 장치
51 : 제 1 도금층
52 : 제 2 도금층
61 : 도전성 탄성부
62 : 도전성 입자1: Anisotropically conductive sheet
2: anisotropic conductive part
3: Insulating layer
4:
16: Through hole
22:
23:
31:
32:
33: first concave portion
34: second concave portion
41: blood test device
42: Inspection device
51: First plating layer
52: Second plating layer
61: conductive elastic part
62: conductive particles

Claims (10)

피검사 장치 및 검사 장치를 서로 전기적으로 접속하기 위한 이방 도전성 시트로서,
두께 방향으로 관통하는 관통 구멍을 갖는 절연층과, 상기 관통 구멍에 배치되는 도체부를 갖는 이방 도전부를 구비하고,
상기 도체부의 두께 방향 한쪽 면 및 상기 관통 구멍의 둘레 측면이, 제 1 오목부를 구획하는
것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
An anisotropic conductive sheet for electrically connecting a device to be inspected and an inspecting device to each other,
An insulating layer having a through hole penetrating in the thickness direction, and an anisotropically conductive portion having a conductor portion arranged in the through hole,
One surface in the thickness direction of the conductor portion and a peripheral side surface of the through hole define a first concave portion
And an anisotropic conductive sheet.
제 1 항에 있어서,
상기 절연층은, 상기 관통 구멍에 있어서 두께 방향에 직교하는 면 방향으로 우묵한 피감합부를 갖고,
상기 도체부는, 상기 피감합부에 감합(嵌合)하는 감합부를 갖는
것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating layer has a recessed portion that is recessed in the surface direction orthogonal to the thickness direction in the through hole,
The conductor portion has an engagement portion that is fitted to the fitted portion
And an anisotropic conductive sheet.
제 2 항에 있어서,
상기 도체부는, 두께 방향 및 면 방향의 양쪽에 교차하는 교차 방향으로 연장되는 경사부를 구비하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
3. The method of claim 2,
Wherein the conductor portion has an inclined portion extending in an intersecting direction intersecting with both the thickness direction and the surface direction.
제 3 항에 있어서,
상기 도체부는, 상기 경사부의 면 방향 가장자리로부터 면 방향으로 연장되는 단부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
The method of claim 3,
Wherein the conductor portion further comprises an end portion extending in a planar direction from a planar edge of the inclined portion.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 오목부는, 두께 방향 한쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the first concave portion has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening increases as it is directed toward one side in the thickness direction.
제 1 항에 있어서,
상기 도체부의 두께 방향 다른 쪽 면은, 상기 절연층의 두께 방향 다른 쪽 면보다 두께 방향 한쪽에 위치하고,
상기 도체부의 두께 방향 다른 쪽 면 및 상기 관통 구멍의 둘레 측면이, 제 2 오목부를 구획하는
것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
The method according to claim 1,
The other surface in the thickness direction of the conductor portion is located on one side in the thickness direction with respect to the other surface in the thickness direction of the insulating layer,
The other surface in the thickness direction of the conductor portion and the peripheral side surface of the through hole define the second concave portion
And an anisotropic conductive sheet.
제 6 항에 있어서,
상기 제 2 오목부는, 두께 방향 다른 쪽으로 향함에 따라 개구 단면적이 커지는 테이퍼 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
The method according to claim 6,
Wherein the second concave portion has a tapered shape in which the cross-sectional area of the opening becomes larger as it goes toward the other side in the thickness direction.
제 1 항에 있어서,
상기 이방 도전부는, 상기 도체부의 두께 방향 한쪽 면 및 두께 방향 다른 쪽 면에, 도금층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
The method according to claim 1,
Wherein the anisotropically conductive portion further comprises a plating layer on one surface in the thickness direction and the other surface in the thickness direction of the conductor portion.
제 1 항에 있어서,
상기 도체부의 두께 방향 한쪽에 배치되고, 도전성 입자 및 수지를 함유하는 도전성 탄성부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.
The method according to claim 1,
And an electrically conductive elastic portion disposed on one side in the thickness direction of the conductor portion and containing conductive particles and a resin.
제 9 항에 있어서,
상기 도금층의 두께 방향 한쪽 면 및 상기 관통 구멍의 둘레 측면이, 제 3 오목부를 구획하고,
상기 도전성 탄성부의 체적 비율은, 상기 제 3 오목부의 체적에 대하여, 20% 이상 200% 이하인
것을 특징으로 하는 이방 도전성 시트.10. The method of claim 9,
Wherein one side in the thickness direction of the plating layer and a peripheral side surface of the through hole define a third recess,
The volume ratio of the conductive elastic part to the volume of the third concave part is not less than 20% and not more than 200%
And an anisotropic conductive sheet.

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