JP2018186062A - Anisotropic Conductive Sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、異方導電性シート、詳しくは、被検査装置と検査装置とを互いに電気的に接続するために用いられる異方導電性シートに関する。 The present invention relates to an anisotropic conductive sheet, and more particularly to an anisotropic conductive sheet used for electrically connecting a device to be inspected and an inspection device to each other.
従来より、半導体素子を回路基板に実装する前に、半導体素子や回路基板のそれぞれに対して、正常に機能するか否かの機能検査（導通検査）が実施されている。機能検査では、半導体素子または回路基板などの被検査装置の端子を、プローブテスターなどの検査装置に電気的に接続させる必要があり、そのために、異方導電性シート（コネクター）が用いられている。具体的には、異方導電性シートを被検査装置および検査装置で挟み、異方導電性シートの一方側の接続部を被検査装置の端子に接触させ、他方側の接続部を検査装置のプローブ端子に接触させることにより、これらを電気的に確実に接続している。 Conventionally, before a semiconductor element is mounted on a circuit board, a function test (continuity test) is performed to determine whether or not the semiconductor element and the circuit board function normally. In functional inspection, it is necessary to electrically connect terminals of an inspected device such as a semiconductor element or a circuit board to an inspection device such as a probe tester. For this purpose, anisotropic conductive sheets (connectors) are used. . Specifically, the anisotropic conductive sheet is sandwiched between the inspection apparatus and the inspection apparatus, the connection portion on one side of the anisotropic conductive sheet is brought into contact with the terminal of the inspection apparatus, and the connection section on the other side is connected to the inspection apparatus. By bringing them into contact with the probe terminals, they are securely connected electrically.
このような異方導電性シートとして、例えば、特許文献１の複合導電性シートが知られている。特許文献１の複合導電性シートは、複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、貫通孔のそれぞれに充填され、さらに絶縁性シートの両面のそれぞれから突出するように配置された剛性導体とを有している。
As such an anisotropic conductive sheet, for example, the composite conductive sheet of
ところで、異方導電性シートは、機能検査において、被検査対象および検査対象によって、両側から加圧される。特に、被検査装置に反りや変形があると、被検査装置の一部が、異方導電性シートと接触しないおそれがあるため、接触を確実にするために、加圧を強くする場合がある。 By the way, the anisotropic conductive sheet is pressurized from both sides in the functional inspection by the inspection object and the inspection object. In particular, if the device to be inspected is warped or deformed, a part of the device to be inspected may not come into contact with the anisotropic conductive sheet. Therefore, the pressure may be increased to ensure contact. .
そして、異方導電性シートは、繰り返し再利用されるため、加圧により、異方導電性シートの接続部に加わる損傷が大きくなり、その結果、接続部が変形したり、脱落する不具合が生じる。 And since an anisotropically conductive sheet is reused repeatedly, the damage added to the connection part of an anisotropically conductive sheet by pressurization becomes large, As a result, the malfunction which a connection part deform | transforms or falls arises. .
特許文献１の複合導電性シートによれば、剛性導体が絶縁シートから脱落することなく、取扱いを容易としている。
According to the composite conductive sheet of
しかしながら、特許文献１の複合導電性シートにおいても、加圧の繰り返しによる脱落に対する耐久性は不十分であり、さらなる改良が求められている。
However, the composite conductive sheet of
そのため、本発明の課題は、耐久性に優れた異方導電性シートを提供することにある。 Therefore, the subject of this invention is providing the anisotropically conductive sheet excellent in durability.
本発明［１］は、被検査装置および検査装置を互いに電気的に接続するための異方導電性シートであって、異方性導電部を備え、前記異方性導電部は、厚み方向に貫通する開口部を有する絶縁層と、前記開口部に配置される接続部とを備え、前記絶縁層は、前記接続部の厚み方向一方面の一部および前記厚み方向に直交する直交方向側面を被覆する、異方導電性シートを備えている。 The present invention [1] is an anisotropic conductive sheet for electrically connecting a device to be inspected and an inspection device to each other, comprising an anisotropic conductive portion, and the anisotropic conductive portion is arranged in the thickness direction. An insulating layer having an opening therethrough, and a connecting portion disposed in the opening, wherein the insulating layer includes a part of one surface in the thickness direction of the connecting portion and a side surface in the orthogonal direction orthogonal to the thickness direction. An anisotropic conductive sheet for covering is provided.
このような異方導電性シートによれば、絶縁層は、接続部の厚み方向一方面の一部および直交方向側面を被覆しているため、接続部は、絶縁層によって固定されている。したがって、被検査装置の検査時において、被検査装置および検査装置によって、接続部が厚み方向両側から内側に向かって加圧されたとしても、接続部の脱落を抑制することができる。その結果、耐久性に優れる。 According to such an anisotropic conductive sheet, since the insulating layer covers a part of one surface in the thickness direction of the connecting portion and the side surface in the orthogonal direction, the connecting portion is fixed by the insulating layer. Accordingly, even when the connection portion is pressurized from both sides in the thickness direction by the device to be inspected and the inspection device during the inspection of the device to be inspected, dropping of the connection portion can be suppressed. As a result, the durability is excellent.
本発明［２］は、前記絶縁層は、厚み方向他方面を露出する第１絶縁部と、前記第１絶縁部の厚み方向一方側に配置され、厚み方向一方面を露出する第２絶縁部とを備え、前記第２絶縁部が、前記接続部の前記厚み方向一方面の一部および前記直交方向側面を被覆する、［１］に記載の異方導電性シートを備えている。 In the present invention [2], the insulating layer has a first insulating portion that exposes the other surface in the thickness direction, and a second insulating portion that is disposed on one side in the thickness direction of the first insulating portion and exposes one surface in the thickness direction. The anisotropic insulating sheet according to [1], wherein the second insulating portion covers a part of the one surface in the thickness direction and the side surface in the orthogonal direction of the connection portion.
このような異方導電性シートによれば、第１絶縁部の厚み方向一方側に配置される第２絶縁部が、接続部の厚み方向一方面の一部および直交方向側面を被覆している。そのため、接続部は、第１絶縁部および第２絶縁部によって固定され、厚み方向両側から固定されている。したがって、接続部の脱落をより確実に抑制することができる。 According to such an anisotropic conductive sheet, the second insulating portion disposed on one side in the thickness direction of the first insulating portion covers a part of one surface in the thickness direction of the connecting portion and the side surface in the orthogonal direction. . Therefore, the connecting portion is fixed by the first insulating portion and the second insulating portion, and is fixed from both sides in the thickness direction. Accordingly, it is possible to more reliably suppress the connection portion from dropping off.
本発明［３］は、前記第１絶縁部は、第１開口部を有し、前記第２絶縁部は、前記第１開口部と連通する第２開口部を有し、前記接続部は、第１開口部に充填される第１導体部と、前記第１導体部と厚み方向に連続し、第２開口部に充填される第２導体部と、前記第２導体部と厚み方向と直交する直交方向に連続し、第２開口部に充填される第３導体部とを備え、前記第２絶縁部が、前記接続部における前記第３導体部の前記厚み方向一方面および前記直交方向側面を被覆する、［２］に記載の異方導電性シートを含んでいる。 In the present invention [3], the first insulating portion has a first opening, the second insulating portion has a second opening communicating with the first opening, and the connecting portion is A first conductor portion that fills the first opening, a second conductor portion that is continuous with the first conductor portion in the thickness direction, and that fills the second opening, and is orthogonal to the second conductor portion and the thickness direction. A third conductor portion that is continuous in the orthogonal direction and is filled in the second opening portion, wherein the second insulating portion is one side in the thickness direction of the third conductor portion and the side surface in the orthogonal direction in the connection portion. The anisotropic conductive sheet described in [2] is included.
このような異方導電性シートによれば、第１導体部、第２導体部および第３導体部が、連続しており、第３導体部の厚み方向一方面および直交方向側面が、第２絶縁部で被覆されているため、第３導体部が、第２絶縁部によって固定されている。したがって、被検査装置の検査時において、被検査装置および検査装置によって接続部（具体的には、第１導体部および第２導体部）が厚み方向両側から内側に向かって加圧されたとしても、接続部の脱落を抑制することができる。さらには、被検査装置および検査装置を接続部（具体的には、第１導体部および第２導体部）に確実に接触することができる。これらの結果、確実に被検査装置の検査を可能にしながら、異方導電性シートの耐久性に優れる。 According to such an anisotropic conductive sheet, the first conductor portion, the second conductor portion, and the third conductor portion are continuous, and the one side surface in the thickness direction and the side surface in the orthogonal direction of the third conductor portion are the second side. Since it is coat | covered with the insulation part, the 3rd conductor part is being fixed by the 2nd insulation part. Therefore, even when the connection portion (specifically, the first conductor portion and the second conductor portion) is pressurized inward from both sides in the thickness direction by the inspection device and the inspection device during inspection of the inspection device. , It is possible to suppress the dropout of the connecting portion. Furthermore, the device to be inspected and the inspection device can be reliably brought into contact with the connection portion (specifically, the first conductor portion and the second conductor portion). As a result, the anisotropic conductive sheet is excellent in durability while reliably inspecting the device to be inspected.
本発明［４］は、前記第１開口部が、前記厚み方向一方側から厚み方向他方側に向かうに従って、開口断面積が小さくなるテーパ形状を有する、［３］に記載の異方導電性シートを含んでいる。 The anisotropic conductive sheet according to [3], wherein the present invention [4] has a tapered shape in which the first opening portion has an opening cross-sectional area that decreases from the one side in the thickness direction toward the other side in the thickness direction. Is included.
このような異方導電性シートによれば、第１開口部が、厚み方向他方側に向かうに従って、開口断面積が小さくなるため、第１導体部は、第１開口部から厚み方向他方側に向かって脱落しにくい。そのため、耐久性がより一層優れる。 According to such an anisotropic conductive sheet, the opening cross-sectional area decreases as the first opening moves toward the other side in the thickness direction, and therefore the first conductor portion extends from the first opening to the other side in the thickness direction. It is hard to drop out. Therefore, the durability is further improved.
本発明［５］は、前記第２導体部の厚み方向一方面は、前記第２絶縁部の厚み方向一方面よりも、厚み方向他方側に位置する、［３］または［４］に記載の異方導電性シートを含んでいる。 In the invention [5], the one surface in the thickness direction of the second conductor portion is located on the other side in the thickness direction than the one surface in the thickness direction of the second insulating portion, according to [3] or [4]. An anisotropic conductive sheet is included.
このような異方導電性シートによれば、第２導体部は、第２絶縁部の内部に完全に収容されているため、第２絶縁部から脱落しにくい。そのため、耐久性がより一層優れる。 According to such an anisotropic conductive sheet, since the second conductor portion is completely accommodated in the second insulating portion, it is difficult to drop off from the second insulating portion. Therefore, the durability is further improved.
本発明［６］は、前記異方性導電部が、側断面図において、前記第１開口部の前記直交方向中心点を厚み方向に通過する軸にして対称である、［３］〜［５］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。 In the present invention [6], the anisotropic conductive portion is symmetric with respect to an axis passing through the center point in the orthogonal direction of the first opening in the thickness direction in a side sectional view. ] The anisotropic conductive sheet as described in any one of the above is included.
このような異方導電性シートによれば、第１導体部の直交方向中心点と、第２導体部の直交方向中心点が、直交方向において、同一位置にある。よって、被検査装置の端子と、それに対応する検査装置のプローブとを検査する際に、互いの位置調整が容易となる。 According to such an anisotropic conductive sheet, the orthogonal direction center point of the first conductor portion and the orthogonal direction center point of the second conductor portion are at the same position in the orthogonal direction. Therefore, when inspecting the terminal of the device to be inspected and the probe of the inspection device corresponding thereto, the mutual position adjustment becomes easy.
本発明［７］は、前記第２絶縁部が前記接続部の厚み方向一方面を被覆している直交方向長さが、３μｍ以上である、［３］〜［６］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。 The invention [7] is any one of [3] to [6], wherein the length in the orthogonal direction in which the second insulating portion covers one surface in the thickness direction of the connection portion is 3 μm or more. The anisotropic conductive sheet described is included.
このような異方導電性シートによれば、第２絶縁部が、接続部をより確実に固定しているため、耐久性がより一層優れる。 According to such an anisotropic conductive sheet, since the second insulating portion fixes the connecting portion more reliably, the durability is further improved.
本発明［８］は、前記異方性導電部が、複数配置され、互いに隣接する異方性導電部において、一の異方性導電部の第１開口部の直交方向中心点と、前記一の異方性導電部と隣接する他の異方性導電部の第１開口部の直交方向中心点との距離が、３０μｍ以上、２００μｍ以下である、［３］〜［７］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。 According to the present invention [8], a plurality of the anisotropic conductive portions are arranged, and in the anisotropic conductive portions adjacent to each other, the center point in the orthogonal direction of the first opening of one anisotropic conductive portion, and the one Any one of [3] to [7], wherein a distance between the anisotropic conductive portion of the first and second anisotropic conductive portions adjacent to the center point in the orthogonal direction of the first opening is 30 μm or more and 200 μm or less. The anisotropic conductive sheet described in the item is included.
このような異方導電性シートによれば、隣接する第１開口部の直交方向中心間距離（接続部間ピッチ）が狭いため、より微細化した被検査装置の検査が可能となる。 According to such an anisotropic conductive sheet, since the distance between the centers in the orthogonal direction of the adjacent first openings (the pitch between the connecting portions) is narrow, it is possible to inspect the device to be inspected more finely.
本発明［９］は、前記接続部が、前記第１導体部の厚み方向他方側に設けられる第１バンプと、前記第２導体部の厚み方向一方側に配置される第２バンプとをさらに備える、［３］〜［８］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。 In the present invention [9], the connecting portion further includes a first bump provided on the other side in the thickness direction of the first conductor portion and a second bump disposed on the one side in the thickness direction of the second conductor portion. The anisotropic conductive sheet according to any one of [3] to [8] is provided.
このような異方導電性シートによれば、被検査装置および検査装置に、第１バンプおよび第２バンプを接触させることにより、検査を実施することができる。したがって、より簡易な検査を可能とする。 According to such an anisotropic conductive sheet, the inspection can be performed by bringing the first bump and the second bump into contact with the device under inspection and the inspection device. Therefore, a simpler inspection is possible.
本発明［１０］は、前記接続部が、厚み方向一方面および厚み方向他方面に、Ａｕ層またはＮｉＡｕ層をさらに備える、［１］〜［９］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。 The anisotropic conductivity according to any one of [1] to [9], wherein the connection portion further includes an Au layer or a NiAu layer on the one surface in the thickness direction and the other surface in the thickness direction. Includes sex sheets.
このような異方導電性シートによれば、接続部の酸化を抑制できるため、耐久性がより一層優れる。 According to such an anisotropic conductive sheet, since the oxidation of the connection portion can be suppressed, the durability is further improved.
本発明［１１］は、前記接続部が、金属から形成されている、［１］〜［１０］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。 This invention [11] contains the anisotropically conductive sheet as described in any one of [1]-[10] in which the said connection part is formed from the metal.
このような異方導電性シートによれば、導電性に優れるため、検査感度を向上させたり、接続部間ピッチを狭くすることができる。 According to such an anisotropic conductive sheet, since the conductivity is excellent, the inspection sensitivity can be improved and the pitch between the connection portions can be narrowed.
本発明［１２］は、厚みが、１００μｍ以下である、［１］〜［１１］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。 This invention [12] contains the anisotropically conductive sheet as described in any one of [1]-[11] whose thickness is 100 micrometers or less.
このような異方導電性シートによれば、厚み方向に可撓することが容易であるため、被検査装置の形や反りに容易に追従できる。したがって、より低圧での検査が可能となる。 According to such an anisotropic conductive sheet, since it is easy to bend in the thickness direction, it is possible to easily follow the shape and warpage of the device to be inspected. Therefore, inspection at a lower pressure is possible.
本発明［１３］は、前記異方性導電部の厚み方向一方側および厚み方向他方側の少なくともいずれか一方に配置される弾性層をさらに備え、前記弾性層は、厚み方向に貫通する第３開口部を有する絶縁性弾性部と、前記第３開口部に充填され、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部とを備える、［１］〜［１２］のいずれか一項に記載の異方導電性シートを含んでいる。 The present invention [13] further includes an elastic layer disposed on at least one of the anisotropic conductive portion on one side in the thickness direction and on the other side in the thickness direction, and the elastic layer penetrates in the thickness direction. The insulating elastic part having an opening and the conductive elastic part filled in the third opening and containing conductive particles and a resin, according to any one of [1] to [12]. An anisotropic conductive sheet is included.
このような異方導電性シートによれば、被検査装置の複数の端子の高さなどに、ばらつきが生じている場合であっても、被検査装置を異方導電性シートに押圧する際に、これらの端子の高さに応じて、弾性層が圧縮または変形することができる。その結果、複数の端子の高さが不均一である場合であっても、確実に検査することができる。 According to such an anisotropic conductive sheet, even when variations occur in the height of a plurality of terminals of the device to be inspected, when the device to be inspected is pressed against the anisotropic conductive sheet, Depending on the height of these terminals, the elastic layer can be compressed or deformed. As a result, even if the heights of the plurality of terminals are not uniform, the inspection can be reliably performed.
また、弾性層が、被検査装置からの過度の圧力を吸収するとともに、接続部と被検査装置との直接的な接触を回避する。そのため、耐久性がより一層優れる。 The elastic layer absorbs excessive pressure from the device under test and avoids direct contact between the connection portion and the device under test. Therefore, the durability is further improved.
本発明［１４］は、前記接続部の厚み方向一方面に、第１凹部が形成されており、前記第１凹部に充填され、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部をさらに備える、［１］〜［１２］のいずれか一項に異方導電性シートを含んでいる。 In the present invention [14], a first recess is formed on one surface in the thickness direction of the connection portion, and further includes a conductive elastic portion filled in the first recess and containing conductive particles and a resin. Any one of [1] to [12] includes an anisotropic conductive sheet.
このような異方導電性シートによれば、第１凹部に導電性弾性部が充填されているため、被検査装置の複数の端子の高さなどに、ばらつきが生じている場合であっても、被検査装置を異方導電性シートに押圧する際に、これらの端子の高さに応じて、導電性弾性部が圧縮または変形することができる。その結果、複数の端子の高さが不均一である場合、確実に検査することができる。 According to such an anisotropic conductive sheet, since the conductive elastic portion is filled in the first recess, even if the height of the plurality of terminals of the device to be inspected varies. When the device under test is pressed against the anisotropic conductive sheet, the conductive elastic portion can be compressed or deformed depending on the height of these terminals. As a result, when the heights of the plurality of terminals are not uniform, the inspection can be reliably performed.
また、導電性弾性部が、被検査装置からの過度の圧力を吸収するとともに、接続部と被検査装置との直接的な接触を回避する。そのため、耐久性がより一層優れる。 Further, the conductive elastic portion absorbs excessive pressure from the device under test and avoids direct contact between the connection portion and the device under test. Therefore, the durability is further improved.
本発明［１５］は、前記導電性弾性部の体積割合は、前記異方性導電部の厚み方向一方面に形成される第２凹部の体積に対して、２０％以上２００％以下である、［１４］に記載の異方導電性シートを備えている。 As for this invention [15], the volume ratio of the said electroconductive elastic part is 20% or more and 200% or less with respect to the volume of the 2nd recessed part formed in the thickness direction one surface of the said anisotropic conductive part. [14] An anisotropic conductive sheet according to [14] is provided.
このような異方導電性シートによれば、被検査装置などが備える複数の端子の高さが不均一である場合であっても、より一層確実に検査することができる。また、導電性弾性部が、異方性導電部への圧力や衝撃を確実に和らげることができるため、耐久性がより一層優れる。 According to such an anisotropic conductive sheet, even when the heights of the plurality of terminals included in the device to be inspected are not uniform, the inspection can be performed more reliably. Further, since the conductive elastic part can surely relieve pressure and impact on the anisotropic conductive part, the durability is further improved.
本発明の異方導電性シートによれば、繰り返し使用しても接続部の脱落を抑制できるため、耐久性に優れる。 According to the anisotropic conductive sheet of the present invention, it is excellent in durability because the connection portion can be prevented from dropping even after repeated use.
図１において、紙面上下方向は、前後方向（第１方向）であって、紙面下側が前側（第１方向一方側）、紙面上側が後側（第１方向他方側）である。また、紙面左右方向は、左右方向（第２方向）であって、紙面左側が左側（第２方向一方側）、紙面右側が右側（第２方向他方側）である。また、紙面紙厚方向は、上下方向（厚み方向、第３方向）であって、紙面手前側が上側（厚み方向一方側、第３方向一方側）、紙面奥側が下側（厚み方向他方側、第３方向他方側）である。具体的には、各図の方向矢印に準拠する。 In FIG. 1, the vertical direction of the paper surface is the front-back direction (first direction), the lower side of the paper surface is the front side (one side in the first direction), and the upper side of the paper surface is the rear side (the other side in the first direction). Further, the left-right direction on the paper surface is the left-right direction (second direction), the left side of the paper surface is the left side (second side in the second direction), and the right side of the paper surface is the right side (the other side in the second direction). Also, the paper thickness direction is the vertical direction (thickness direction, third direction), the front side of the paper is the upper side (thickness direction one side, the third direction one side), the back side of the paper is the lower side (the other side in the thickness direction, (The other side in the third direction). Specifically, it conforms to the direction arrow in each figure.
＜第１実施形態＞
図１〜図３を参照して、本発明の異方導電性シートの第１実施形態である異方導電性シート１について説明する。
<First Embodiment>
With reference to FIGS. 1-3, the anisotropic
図１に示すように、異方導電性シート１は、面方向（前後方向および左右方向）に延びる平面視略矩形の平板形状を有している。異方導電性シート１は、複数の異方性導電部２を備えている。
As shown in FIG. 1, the anisotropic
複数の異方性導電部２は、異方導電性シート１の平面視略中央部に、前後方向および左右方向に整列するように隣接配置されている。具体的には、異方導電性シート１は、周端部を除いて、複数の異方性導電部２のみから形成されている。換言すると、異方導電性シート１は、連続する複数の異方性導電部２から形成されている。
The plurality of anisotropic
図２に示すように、複数の異方性導電部２は、それぞれ、絶縁層５０と、接続部としての金属接続部５とを備えている。絶縁層５０は、絶縁層５０を上下方向（厚み方向）に貫通する開口部（後述するベース開口部６およびカバー開口部７）を有している。金属接続部５０は、絶縁層５０の開口部に配置されており、金属接続部５の上面（厚み方向一方面）の一部（周端面）および周側面は、絶縁層５０によって被覆されている。
As shown in FIG. 2, each of the plurality of anisotropic
具体的には、絶縁層５０は、第１絶縁部としてのベース絶縁層３と、第２絶縁部としてのカバー絶縁層４とを備えている。
Specifically, the insulating
ベース絶縁層３は、平面視略矩形状の平板形状を有し、異方性導電部２の下側に配置されている。ベース絶縁層３の下面（厚み方向他方面）は、露出されている。ベース絶縁層３は、第１開口部としてのベース開口部６を備えている。
The
ベース開口部６は、ベース絶縁層３を上下方向に貫通しており、平面視略円形状に形成されている。ベース開口部６は、下側に向うに従って開口断面積が小さくなるテーパ形状を有している。すなわち、ベース開口部６は、下側に向かって縮径している。
The
ベース絶縁層３は、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ニトリル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂などの合成樹脂から形成され、好ましくは、ポリイミド樹脂から形成される。
The
ベース開口部６の下端の開口の直径Ｌ１は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。
The diameter L1 of the lower end opening of the
ベース絶縁層３の下面と、ベース開口部６の斜面（テーパ面）とがなす角度（テーパ角θ）は、例えば、３０°以上、好ましくは、４５°以上であり、また、例えば、８０°以下、好ましくは、６５°以下である。テーパ角θが上記範囲であると、耐久性がより一層優れる。また、接続部間ピッチ（後述）をより微細化することができる。
The angle (taper angle θ) formed between the lower surface of the
ベース絶縁層３の厚み（上下方向長さ）Ｔ１は、例えば、３μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、３０μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。
The thickness (vertical length) T1 of the
カバー絶縁層４は、平面視略矩形状の平板形状を有し、ベース絶縁層３の上側に配置されている。すなわち、カバー絶縁層４は、その下面がベース絶縁層３の上面と接触するように、ベース絶縁層３の上面に配置されている。カバー絶縁層４の上面は、露出されている。
The insulating
カバー絶縁層４は、第２開口部としてのカバー開口部７を備えている。カバー開口部７は、カバー絶縁層４を上下方向に貫通しており、平面視略円形状に形成されている。
The insulating
カバー開口部７は、カバー開口部７の上側を区画する上側カバー開口部８と、カバー開口部７の下側を区画する下側カバー開口部９とを備えている。
The
上側カバー開口部８は、平面視略円形状に形成され、平面視略円形、かつ、側断面視略矩形状に形成されている。すなわち、上側カバー開口部８は、略円柱状に形成されている。
The
下側カバー開口部９は、平面視略円形、かつ、側断面視略矩形状に形成されている。すなわち、下側カバー開口部９は、略円柱状に形成されている。下側カバー開口部９は、下側において上側カバー開口部８と連通し、下側においてベース開口部６と連通している。下側カバー開口部９の上端の開口は、上側カバー開口部８の下端の開口よりも大きく、下側カバー開口部９の下端の開口は、上側カバー開口部８の上端および下端の開口、ならびに、ベース開口部６の上端の開口よりも大きい。下側カバー開口部９の上下方向長さは、上側カバー開口部８の上下方向長さよりも長い。
The lower cover opening 9 is formed in a substantially circular shape in plan view and a substantially rectangular shape in side sectional view. That is, the lower cover opening 9 is formed in a substantially cylindrical shape. The lower cover opening 9 communicates with the upper cover opening 8 on the lower side and communicates with the
カバー絶縁層４は、ベース絶縁層３で上記した合成樹脂と同様の合成樹脂から形成され、好ましくは、ポリイミド樹脂から形成される。
The insulating
上側カバー開口部８の上端または下端の開口の直径Ｌ２は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。上側カバー開口部８の上下方向長さＴ３は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。
The diameter L2 of the upper end or lower end opening of the
下側カバー開口部９の上端または下端の開口の直径（すなわち、金属導体部１０の直径）Ｌ３は、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、２１μｍ以上であり、また、例えば、１９０μｍ以下、好ましくは、１８０μｍ以下、より好ましくは、７０μｍ以下、さらに好ましくは、５６μｍ以下である。下側カバー開口部９の上下方向長さＴ４は、例えば、２μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１８μｍ以下である。 The diameter of the opening at the upper end or the lower end of the lower cover opening 9 (that is, the diameter of the metal conductor portion 10) L3 is, for example, 15 μm or more, preferably 21 μm or more, and for example, 190 μm or less, preferably It is 180 μm or less, more preferably 70 μm or less, and still more preferably 56 μm or less. The vertical length T4 of the lower cover opening 9 is, for example, 2 μm or more, preferably 3 μm or more, and for example, 25 μm or less, preferably 18 μm or less.
カバー絶縁層４の厚みＴ２は、例えば、３μｍ以上、好ましくは、６μｍ以上であり、また、例えば、４５μｍ以下、好ましくは、２８μｍ以下である。
The thickness T2 of the insulating
金属接続部５は、ベース開口部６およびカバー開口部７に配置されている。金属接続部５は、金属導体部１０と、バンプ部１１と、めっき層１２とを備えている。
The
金属導体部１０は、ベース開口部６およびカバー開口部７の内部に配置されている。金属導体部１０は、第１導体部１３と、第２導体部１４と、第３導体部１５とを備えている。
The
第１導体部１３は、ベース開口部６の内部に配置されている。すなわち、第１導体部１３は、ベース開口部６に充填されている。具体的には、第１導体部１３は、ベース開口部６の全体を埋設するように、ベース開口部６に充填されている。第１導体部１３は、ベース開口部６の外形と同一となるように形成されており、第１導体部１３の下面は、ベース絶縁層３の下面と面一である。
The
第２導体部１４は、第１導体部１３の上側に配置され、かつ、カバー開口部７の内部に配置されている。すなわち、第２導体部１４は、カバー開口部７に充填されている。具体的には、第２導体部１４は、下側カバー開口部９の平面視略中央部を埋設するように、カバー開口部７に充填されている一方、上側カバー開口部８には充填されていない。
The
第２導体部１４は、略円柱状に形成されており、その平面視外形は、第１導体部１３の上面の平面視外形、すなわち、ベース開口部６の上端の開口の平面視外形と一致する。また、第２導体部１４の上下方向長さは、下側カバー開口部９の上下方向長さと一致する。
The
第２導体部１４は、第２導体部１４の下端縁が第１導体部１３の上端縁と連続するように、上下方向において、第１導体部１３と一体的に連続している。
The
第３導体部１５は、第２導体部１４の周側方に配置され、かつ、カバー開口部７の内部に配置されている。すなわち、第３導体部１５は、カバー開口部７に充填されている。具体的には、第３導体部１５は、下側カバー開口部９の平面視外周縁を埋設するように、カバー開口部７に充填されている一方、上側カバー開口部８には充填されていない。また、第３導体部１５は、第２導体部１４とともに、下側カバー開口部７の全体を埋設するように、カバー開口部７に充填されている。
The
第３導体部１５は、平面視略円環形状、かつ、側断面視略矩形状に形成されている。第３導体部１５は、第３導体部１５の内周縁が第２導体部１４の周縁と連続するように、径方向（前後方向および左右方向）において、第２導体部１４と一体的に連続している。第３導体部１５の内周縁は、平面視において、ベース開口部６の上端の開口と一致し、第３導体部１５の外周縁は、平面視において、下側カバー開口部９と一致する。また、第３導体部１５の下面は、ベース絶縁層３の上面と接触する。
The
金属導体部１０において、カバー絶縁層４は、金属導体部１０の上面（厚み方向一方面）および周側面（径方向側面、直交方向側面）を被覆している。具体的には、カバー絶縁層４は、第３導体部１５の上面の全部、および、第３導体部１５の外周側面の全部を被覆している。また、ベース絶縁層３は、第３導体部１５の下面（厚み方向他方面）の全面および第１導体部１３の周側面（斜面）の全面を被覆している。
In the
カバー絶縁層４が金属導体部１０の上面を被覆している径方向長さ（直交方向長さ）Ｌ４は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、また、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１０μｍ以下である。上記長さＬ４が上記範囲であれば、カバー絶縁層４が第２導体部１４および第３導体部１５をより確実に固定できるため、耐久性がより一層優れる。
The radial length (orthogonal length) L4 that the
ベース絶縁層３が第３導体部１５の下面を被覆している径方向長さ（すなわち、第３導体部１５の径方向長さ）Ｌ５は、例えば、１μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、１５μｍ以下である。上記長さＬ５が上記範囲であれば、ベース絶縁層３が第３導体部１５をより確実に支持できるため、耐久性がより一層優れる。
A radial length (that is, a radial length of the third conductor portion 15) L5 that the
金属導体部１０の材料としては、例えば、銅、銀、金、ニッケルまたはそれらを含む合金などの金属材料が挙げられ、好ましくは、銅が挙げられる。
As a material of the
バンプ部（突起部）１１は、第１バンプ１６と、第２バンプ１７とを備えている。
The bump part (projection part) 11 includes a
第１バンプ１６は、金属接続部５の下側に配置されている。具体的には、第１バンプ１６は、第１導体部１３の下面の全面およびベース絶縁層３の下面の一部を被覆するように、第１導体部１３およびベース絶縁層３の下側に配置されている。これにより、第１バンプ１６は、ベース開口部６の下端を塞ぎ、第１導体部１３の下面を保護する。
The
第１バンプ１６の下面は、下側に凸となる断面円弧状に突出するように形成され、第１バンプ１６の上面は、平坦となるように形成されている。
The lower surface of the
第２バンプ１７は、金属接続部５の上側に配置されている。具体的には、第２バンプ１７は、第２導体部１４の上面全部を被覆するように、第２導体部１４およびカバー絶縁層４の上側に配置されている。これにより、第２バンプ１７は、カバー開口部７の上端を塞ぎ、第２導体部１４の上面を保護する。
The
第２バンプ１７の上面は、上側に凸となる断面円弧状に突出するように形成され、第２バンプ１７の下面は、平坦となるように形成されている。
The upper surface of the
バンプ部１１の材料としては、例えば、銅、銀、金、ニッケルまたはそれらを含む合金、半田などの金属材料が挙げられる。
Examples of the material of the
めっき層１２は、第１めっき層１８と、第２めっき層１９とを備えている。
The
第１めっき層１８は、第１バンプ１６に配置されている。具体的には、第１めっき層１８は、第１バンプ１６の下面全面を被覆するように、第１バンプ１６の下側に配置されている。
The
第２めっき層１９は、第２バンプ１７に配置されている。具体的には、第２めっき層１９は、第２バンプ１７の上面全面を被覆するように、第２バンプ１７の上側に配置されている。
The
第１めっき層１８および第２めっき層１９は、それぞれ、単層であってもよく、２層以上の複層であってもよい。
Each of the
めっき層１２としては、例えば、Ａｕ層（単層の場合）、ＮｉＡｕ層（２層の場合）などが挙げられる。これにより、金属接続部５の酸化を抑制できるため、耐久性がより一層優れる。
Examples of the
めっき層１２の厚み（単層ごと）は、それぞれ、例えば、０．０１μｍ以上、好ましくは、０．０５μｍ以上であり、また、例えば、７０μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、１２μｍ以下、さらに好ましくは、８μｍ以下である。
The thickness (each single layer) of the
異方性導電部２は、側断面図において、ベース開口部６の径方向の中心点を上下方向に通過する軸（図２に示す仮想線）にして対称である。換言すると、異方性導電部２は、側断面図において左右対称である。
In the sectional side view, the anisotropic
一の異方性導電部２のベース開口部６の直交方向中心点と、隣接する他の異方性導電部２のベース開口部６の径方向中心点との距離Ｌ６（接続部間ピッチ）が、例えば、３０μｍ以上、好ましくは、４０μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、８０μｍ以下、より好ましくは、６０μｍ以下である。接続部間ピッチＬ６が上記範囲内であれば、金属接続部５間同士の間隔が十分に狭いため、より微細化した被検査装置２０の検査が可能となる。
Distance L6 (pitch between connecting portions) between the center point in the orthogonal direction of the
異方導電性シート１の厚みＴ５、すなわち、異方性導電部２の最上端から最下端までの上下方向長さは、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、４０μｍ以下であり、また、例えば、１０μｍ以上である。異方導電性シート１の厚みが上記上限以下であれば、上下方向に可撓することが容易であるため、被検査装置の形状や反りに容易に追従できる。したがって、より低圧での検査が可能となる。
The thickness T5 of the anisotropic
この異方導電性シート１は、例えば、ベース開口部６を有するベース絶縁層３を形成するベース形成工程、金属接続部５を形成する接続部形成工程、カバー開口部７を有するカバー絶縁層４を形成するカバー形成工程、バンプ部１１を形成するバンプ形成工程、および、めっき層１２を形成するめっき工程を順次実施することにより得られる。
The anisotropic
ベース形成工程では、例えば、感光性のワニスを塗布し、乾燥した後、ベース開口部６を有するパターンで露光および現像する。その後、必要により、加熱硬化を実施する。
In the base forming step, for example, a photosensitive varnish is applied, dried, and then exposed and developed with a pattern having a
金属部形成工程では、例えば、アディティブ法、サブトラクティブ法などの公知の配線を形成するパターニング法により、金属接続部５を形成する。
In the metal part forming step, the
カバー形成工程では、例えば、感光性のワニスを塗布し、乾燥した後、カバー開口部７を有するパターンで露光および現像する。その後、必要により、加熱硬化を実施する。
In the cover forming step, for example, a photosensitive varnish is applied, dried, and then exposed and developed with a pattern having a
バンプ形成工程としては、例えば、電解めっき法、無電解めっき法、はんだボールを配置する方法、はんだペースト印刷法、インジェクション法などの公知の方法が挙げられる。 Examples of the bump forming step include known methods such as an electrolytic plating method, an electroless plating method, a method of arranging solder balls, a solder paste printing method, and an injection method.
めっき工程としては、例えば、電解めっき法、無電解めっき法などの公知のめっき方法が挙げられる。 Examples of the plating step include known plating methods such as an electrolytic plating method and an electroless plating method.
そして、この異方導電性シート１は、被検査装置２０および検査装置２１を互いに電気的に接続するために用いられる。
The anisotropic
具体的には、複数の端子２２を備える被検査装置２０、および、複数の検査プローブ２３を備える検査装置２１を用意する。被検査装置２０としては、半導体素子、プリント回路基板などが挙げられる。検査装置２１としては、プローブテスター、プリント基板検査装置などの公知または市販の検査装置が挙げられる。
Specifically, an apparatus to be inspected 20 having a plurality of
次いで、図３に示すように、被検査装置２０の端子２２を、金属接続部５の上面、すなわち、第２バンプ１７の上面と接触させる一方、検査装置２１の検査プローブ２３を、金属接続部５の下面、すなわち、第１バンプ１６の下面と接触させる。
Next, as shown in FIG. 3, the
その後、検査装置２１の作動によって、被検査装置２０に対して導通検査などの機能検査を実施することができる。
Thereafter, a function test such as a continuity test can be performed on the device under
なお、異方導電性シート１は、被検査装置２０および検査装置２１を含まず、異方導電性シート１そのものが、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
The anisotropic
そして、この異方導電性シート１は、複数の異方性導電部２を備えており、複数の異方性導電部２のそれぞれは、ベース開口部６を有するベース絶縁層３と、カバー開口部７を有し、ベース絶縁層３の上側に配置されるカバー絶縁層４と、金属接続部５とを備えている。また、金属接続部５は、ベース開口部６に充填される第１導体部１３と、第１導体部１３の上側に連続し、カバー開口部７に充填される第２導体部１４と、第２導体部１４と径方向に連続し、カバー開口部７に充填される第３導体部１５とを備えている。また、カバー絶縁層４は、第３導体部１５の上面および外周側面を被覆している。
The anisotropic
したがって、第１導体部１３、第２導体部１４および第３導体部１５が連続しており、第３導体部１５の上面および外周側面が、カバー絶縁層４で被覆されている。よって、第３導体部１５が、カバー絶縁層４によって固定されている。被検査装置２０の検査時において、被検査装置２０および検査装置２１によって、第１導体部１３および第２導体部１４が上下方向両側から内側に向かって加圧されたとしても、金属接続部５の脱落を抑制することができる。その結果、耐久性に優れる。
Therefore, the
また、この異方導電性シート１は、金属接続部５（第１導体部１３、第２導体部１４、第３導体部１５）を公知の微細配線などを形成するパターニング方法により形成することができるため、接続部間ピッチＬ６を狭くすることができる。よって、より微細な被検査装置２０を検査することができる。
Further, the anisotropic
また、ベース開口部６が、上側から下側に向かうに従って、開口断面積が小さくなるテーパ形状である。
Further, the
したがって、第１導体部１３は、ベース開口部６から下側に脱落しにくい。そのため、耐久性がより一層優れる。
Therefore, the
また、第２導体部１４の上面は、カバー絶縁層４の上面よりも、下側に位置する。
Further, the upper surface of the
したがって、第２導体部１４は、カバー絶縁層４の内部に完全に収容されているため、カバー絶縁層４から脱落しにくい。そのため、耐久性がより一層優れる。
Therefore, since the
また、異方性導電部２が、側断面図において、ベース開口部６の径方向中心点を上下方向に通過する軸にして対称である。
Further, the anisotropic
したがって、第１導体部１３の径方向中心点と、第２導体部１４の径方向中心点が、径方向において、同一位置にある。よって、被検査装置２０の端子２２と、それに対応する検査装置２１の検査プローブ２３とを検査する際に、互いの位置調整が容易となる。
Therefore, the radial center point of the
また、金属接続部５が、第１導体部１３の下側に設けられる第１バンプ１６と、第２導体部１４の上側に配置される第２バンプ１７とをさらに備えている。
The
したがって、被検査装置２０および検査装置２１に、第１バンプ１６および第２バンプ１７を接触させることにより、検査を実施することができる。そのため、より簡易な検査を可能とする。
Therefore, the inspection can be performed by bringing the
また、金属接続部５が、金属から形成されている。すなわち、金属導体部１０、バンプ部１１およびめっき層１２が、金属から形成されている。
Moreover, the
したがって、導電性に優れるため、検査感度を向上させたり、接続部間ピッチを狭くすることができる。 Therefore, since it is excellent in electroconductivity, inspection sensitivity can be improved and the pitch between connection parts can be narrowed.
＜第１実施形態の変形例＞
図４〜図９を参照して、異方導電性シート１の第１実施形態の変形例について説明する。なお、変形例において、上記した図２などに示す実施形態と同様の部材には、同様の符号を付し、その説明を省略する。
<Modification of First Embodiment>
With reference to FIGS. 4-9, the modification of 1st Embodiment of the anisotropically
（１）図２に示す実施形態では、ベース開口部６は、上側から下側に向かうに従って、開口断面積が小さくなるテーパ形状に形成されているが、例えば、図４に示すように、ベース開口部６は、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状に形成されていてもよい。
(1) In the embodiment shown in FIG. 2, the
すなわち、図４に示す実施形態では、ベース開口部６は、平面視略円形状、かつ、側断面視略矩形状に形成されている。
That is, in the embodiment shown in FIG. 4, the
図４に示す異方導電性シート１においても、図２に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。金属導体部１０がより一層脱落しにくく、耐久性に優れる観点から、好ましくは、図２に示す一実施形態が挙げられる。
Also in the anisotropic
（２）図２に示す実施形態では、第１導体部１３は、ベース開口部６の全体を埋設するように、ベース開口部６に充填されているが、例えば、図５に示すように、第１導体部１３は、ベース開口部６の一部のみを埋設するように、ベース開口部６に充填されていてもよい。
(2) In the embodiment shown in FIG. 2, the
すなわち、図５に示す実施形態では、第１導体部１３の下面は、ベース絶縁層３の下面よりも上側に位置している。
That is, in the embodiment shown in FIG. 5, the lower surface of the
図５に示す異方導電性シート１においても、図２に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。金属導体部１０がより一層脱落しにくく、耐久性に優れる観点から、好ましくは、図２に示す一実施形態が挙げられる。
Also in the anisotropic
（３）図２に示す実施形態では、金属導体部１０の上面は、平坦であるが、例えば、図６に示すように、金属導体部１０の上面には、金属導体凹部３０が形成されていてもよい。
(3) In the embodiment shown in FIG. 2, the upper surface of the
すなわち、図６に示す実施形態では、第２導体部１４は、その上面に下側に向かって凹む金属導体凹部３０を有している。金属導体凹部３０の底面は、略平面視略矩形状であり、平坦となるように形成されている。
That is, in the embodiment shown in FIG. 6, the
図６に示す異方導電性シート１においても、図２に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
Also in the anisotropic
（４）図６に示す実施形態では、ベース開口部６は、上側から下側に向かうに従って、開口断面積が小さくなるテーパ形状に形成されているが、例えば、図７に示すように、ベース開口部６は、上側から下側に向かうに従って開口断面積が小さくなり、その上下方向途中で、下側から上側に向かうに従って開口断面積が小さくなるテーパ形状に形成されていてもよい。
(4) In the embodiment shown in FIG. 6, the
すなわち、図７に示す実施形態では、ベース開口部６は、上側から下側に向かうに従って、開口断面積が小さくなるテーパ形状に形成されている上側ベース開口部３１と、上側から下側に向かうに従って、開口断面積が大きくなるテーパ形状に形成されている下側ベース開口部３２とを備えている。
That is, in the embodiment shown in FIG. 7, the
図７に示す実施形態において、ベース開口部６の最も開口断面積が小さい箇所における開口の直径Ｌ７は、例えば、３μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上、より好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。
In the embodiment shown in FIG. 7, the diameter L7 of the opening at the location where the opening cross-sectional area of the
また、図７に示す実施形態では、仮想線に示されるように、ベース絶縁層３は、上側ベース開口部３１を有する上側ベース絶縁部と、下側ベース開口部３２を有する下側ベース絶縁部とを備えていてもよい。
In the embodiment shown in FIG. 7, the
図７に示す異方導電性シート１においても、図２または図６に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
Also in the anisotropic
（５）図２に示す実施形態では、上側カバー開口部８は、側断面視略矩形状に形成されているが、例えば、図８に示すように、上側カバー開口部８は、下側に向うに従って開口断面積が小さくなるテーパ形状に形成されていてもよい。すなわち、上側カバー開口部８は、上側カバー開口部８は、下側に向かって縮径している。
(5) In the embodiment shown in FIG. 2, the
図８に示す異方導電性シート１においても、図２に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
Also in the anisotropic
（６）図２、図４〜図８に示す実施形態では、金属接続部５の最下部または最上部は、側面視において、ベース絶縁層３の下面またはカバー絶縁層４の上面よりも、突出しているが、例えば、図９に示すように、金属接続部５の下面または上面は、側面視において、ベース絶縁層３の下面またはカバー絶縁層４の上面と面一とすることもできる。
(6) In the embodiment shown in FIGS. 2 and 4 to 8, the lowermost or uppermost portion of the
すなわち、図９に示す実施形態では、第１バンプ１６および第１めっき層１８は、ベース開口部６に充填され、第１めっき層１８の下面は、ベース絶縁層３の下面と面一となっている。また、第２バンプ１７および第２めっき層１９は、カバー開口部７に充填され、第２めっき層１９の上面は、カバー絶縁層４の上面と面一となっている。
That is, in the embodiment shown in FIG. 9, the
図９に示す異方導電性シート１においても、図２、図４〜図８に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。バンプによる被検査装置２０および検査装置２１に対する接触（導通）のし易さから、好ましくは、図２、図４〜図８に示す実施形態が挙げられる。
Also in the anisotropic
（７）図２、図４〜図９に示す実施形態では、金属接続部５は、バンプ部１１を備えているが、例えば、図１０〜図１６に示すように、金属接続部５は、バンプ部１１を備えていなくてもよい。
(7) In the embodiment shown in FIGS. 2 and 4 to 9, the
図１０〜図１６に示す実施形態では、めっき層１２において、第１めっき層１８および第２めっき層１９は、それぞれ、２層から構成されている。
In the embodiment shown in FIGS. 10 to 16, in the
すなわち、第１めっき層１８は、金属導体部１０の下面に配置される第１内側めっき層１８ａと、第１内側めっき層１８ａの下面に配置される第１外側めっき層１８ｂとを備えている。第２めっき層１９は、金属導体部１０の上面に配置される第２内側めっき層１９ａと、第２内側めっき層１９ａの上面に配置される第２外側めっき層１９ｂとを備えている。
That is, the
各めっき層（１８ａ、ｂ、１９ａ、ｂ）としては、例えば、Ａｕ層、Ｎｉ層などが挙げられる。好ましくは、第１内側めっき層１８ａおよび第２内側めっき層１９ａが、Ｎｉ層であり、第１外側めっき層１８ｂおよび第２外側めっき層１９ｂが、Ａｕ層である。これにより、Ａｕ層と複数の端子２２との導通性を高めるとともに、Ａｕ層と金属導体部１０との拡散を抑制することができる。したがって、金属導体部１０の酸化をより一層長期的に抑制できるため、耐久性がより一層優れる。
Examples of the plating layers (18a, b, 19a, b) include an Au layer and a Ni layer. Preferably, the first
各めっき層（１８ａ、ｂ、１９ａ、ｂ）の厚みは、それぞれ、例えば、０．０１μｍ以上、好ましくは、０．０５μｍ以上であり、また、例えば、７０μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下、より好ましくは、１２μｍ以下、さらに好ましくは、８μｍ以下である。 The thickness of each plating layer (18a, b, 19a, b) is, for example, 0.01 μm or more, preferably 0.05 μm or more, and for example, 70 μm or less, preferably 50 μm or less, more preferably. Is 12 μm or less, more preferably 8 μm or less.
これらのうち、特に、図１１〜図１６に示す実施形態では、金属接続部５の上面には、第１凹部としての金属接続凹部３５が形成されている。すなわち、金属接続部５は、その上面に下側に向かって凹む金属接続凹部３５を有している。金属接続凹部３５の底面は、略平面視略矩形状であり、平坦となるように形成されている。
Among these, in particular, in the embodiment shown in FIGS. 11 to 16, a
これにより、異方性導電部２の上面に、第２凹部としてのシート凹部３６が形成されている。シート凹部３６は、金属接続凹部３５を包含し、さらに、金属接続凹部３５の上側に連通するカバー絶縁層４の開口部を包含する。
Thereby, the sheet | seat recessed
金属接続凹部３５の底面の直径Ｌ８は、例えば、３μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、８０μｍ以下、好ましくは、４０μｍ以下である。
The diameter L8 of the bottom surface of the
金属接続凹部３５の深さ（上下方向長さ）Ｄ１は、例えば、３μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、３０μｍ以下、好ましくは、２０μｍ以下である。
The depth (vertical length) D1 of the
シート凹部３６の深さＤ２は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、８μｍ以上であり、また、例えば、６０μｍ以下、好ましくは、４０μｍ以下である。
The depth D2 of the
特に、図１２〜１３に示す実施形態では、ベース開口部６は、上側から下側に向かうに従って開口断面積が小さくなり、その上下方向途中で、下側から上側に向かうに従って開口断面積が小さくなるテーパ形状に形成されている。
In particular, in the embodiment shown in FIGS. 12 to 13, the
すなわち、図１２〜１３に示す実施形態では、図７に参照されるように、ベース開口部６は、上側から下側に向かうに従って、開口断面積が小さくなるテーパ形状に形成されている上側ベース開口部３１と、上側から下側に向かうに従って、開口断面積が大きくなるテーパ形状に形成されている下側ベース開口部３２とを備えている。すなわち、ベース開口部６は、複数（２つ）のテーパ形状を有する。
That is, in the embodiment shown in FIGS. 12 to 13, as shown in FIG. 7, the
異方性導電部２の下面には、下側シート凹部３７が形成されており、下側シート凹部３７の深さＤ３は、シート凹部３６の深さＤ２と同様である。
A
図１２に示す実施形態では、上側カバー開口部８は、開口断面積が均一である円柱形状に形成されており、図１３に示す実施形態では、上側カバー開口部８は、下側から上側に向かうに従って、開口断面積が大きくなるテーパ形状に形成されている。
In the embodiment shown in FIG. 12, the
特に、図１４〜図１５に示す実施形態では、カバー絶縁層４は、第２導体部１４および第３導体部１５を被覆している。具体的には、カバー絶縁層４は、第２導体部１４の上面の周端部（傾斜面）、第３導体部１５の上面、および、第３導体部１５の外周側面を全体的に被覆している。
In particular, in the embodiment shown in FIGS. 14 to 15, the insulating
図１４に示す実施形態では、ベース開口部６は、上側から下側に向かうに従って、開口断面積が小さくなるテーパ形状に形成されており、図１５に示す実施形態では、ベース開口部６は、上下方向において、開口断面積が均一である円柱形状に形成されている。
In the embodiment shown in FIG. 14, the
特に、図１６に示す実施形態では、第１導体部１３は、ベース開口部６の一部（下部）に埋設されるように、ベース開口部６に充填されている。具体的には、第１導体部１３の中央部の上面は、ベース絶縁層３の上面よりも下側に位置している一方、第１導体部１３の下面は、ベース絶縁層３の下面と面一である。第２導体部１４は、内部が空洞である略円筒状に形成されている。
In particular, in the embodiment shown in FIG. 16, the
図１０〜図１６に示す異方導電性シート１においても、図２、図４〜図８に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。バンプによる被検査装置２０および検査装置２１に対する接触（導通）のし易さから、好ましくは、図２、図４〜図８に示す実施形態が挙げられる。
Also in the anisotropic
（８）図２、図４〜図１６に示す実施形態では、金属接続部５は、バンプ部１１およびめっき層１２の少なくとも一つを備えているが、例えば、図示しないが、金属接続部５は、バンプ部１１およびめっき層１２の両方を備えていなくてもよい。
(8) In the embodiment shown in FIG. 2 and FIGS. 4 to 16, the
すなわち、金属接続部５は、金属導体部１０から構成されていてもよい。
That is, the
この異方導電性シート１においても、図２、図４〜図１６に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。被検査装置２０および検査装置２１に対する接触（導通）のし易さ、および、耐久性の観点から、好ましくは、図２、図４〜図１６に示す実施形態が挙げられる。
Also in this anisotropic
（９）図２、図４〜図１６に示す実施形態では、ベース絶縁層３とカバー絶縁層４との境界が図示されているが、例えば、ベース絶縁層３およびカバー絶縁層４が、互いに同種の材料（例えば、ポリイミド樹脂）から形成される場合、ベース絶縁層３（第１絶縁部）とカバー絶縁層４（第２絶縁部）との境界は存在せず、ベース絶縁層３およびカバー絶縁層４は一体的に形成される。図７などに示すベース絶縁層３内部の境界（破線）についても、同様である。なお、これは、後述する図１７〜図２４に示す第２〜第３実施形態およびその変形例についても同様である。
(9) In the embodiment shown in FIGS. 2 and 4 to 16, the boundary between the base
＜第２実施形態＞
図１７を参照して、本発明の異方導電性シートの第２実施形態である異方導電性シート１について説明する。なお、第２実施形態において、第１実施形態と同様の部材には、同様の符号を付し、その説明を省略する。
Second Embodiment
With reference to FIG. 17, the anisotropic
図１７に示すように、第２実施形態の異方導電性シート１は、複数の異方性導電部２と、複数の異方性導電部２の上側に配置される第１弾性層４０とを備えている。
As shown in FIG. 17, the anisotropic
第１弾性層４０は、面方向に延びる平面視略矩形の平板形状を有している。第１弾性層４０は、絶縁性弾性部４１と、複数の導電性弾性部４２とを備えている。
The first
絶縁性弾性部４１は、面方向に延びる平面視略矩形の平板形状を有している。絶縁性弾性部４１は、複数の異方性導電部２に面方向に跨るように、複数の異方性導電部２の上に配置されている。具体的には、絶縁性弾性部４１は、その下面が、金属接続部５の上面（第２めっき層１９の上面）およびカバー絶縁層４の上面に接触するように配置されている。
The insulating
絶縁性弾性部４１は、第３開口部としての弾性層開口部４３を複数備えている。
The insulating
複数の弾性層開口部４３は、複数の異方性導電部２の金属接続部５に対応して形成されている。すなわち、複数の弾性層開口部４３は、複数の金属接続部５と１対１対応するよう前後方向および左右方向に整列するように隣接配置されており、上下方向に投影したときに、弾性層開口部４３は、金属接続部５に含まれる。弾性層開口部４３は、第１弾性層４０を上下方向に貫通しており、平面視略円形状の円筒形状に形成されている。
The plurality of
絶縁性弾性部４１の硬度は、例えば、２５Ｈｓ以上、好ましくは、３５Ｈｓ以上であり、また、例えば、６５Ｈｓ以下、好ましくは、５５Ｈｓ以下である。絶縁性弾性部４１の硬度を上記範囲内とすることにより、複数の端子２２に対応して第１弾性層４０がより一層柔軟に変形することができる。
The hardness of the insulating
硬度は、例えば、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に記載の方法により測定することができる。 The hardness can be measured, for example, by the method described in JIS K 6253.
絶縁性弾性部４１は、例えば、ゴムなどの弾性材料から形成されている。ゴムとしては、例えば、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、ポリイソプレンゴム、クロロプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、例えば、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。
The insulating
導電性弾性部４２は、弾性層開口部４３内に配置されている。すなわち、導電性弾性部４２は、弾性層開口部４３に充填されている。導電性弾性部４２は、その下面が金属接続部５の上面の略中央部に接触するように配置されている。導電性弾性部４２の下面は、金属接続部５の上面に沿うように、上側に凸状となるように、形成されている。また、導電性弾性部４２の上面は、絶縁性弾性部４１の上面と面一となるように、形成されている。
The conductive
導電性弾性部４２の硬度は、例えば、３０Ｈｓ以上、好ましくは、４０Ｈｓ以上であり、また、例えば、７０Ｈｓ以下、好ましくは、６０Ｈｓ以下である。導電性弾性部４２の硬度を上記範囲内とすることにより、複数の端子２２に対応して第１弾性層４０がより一層柔軟に変形することができる。
The hardness of the conductive
導電性弾性部４２は、導電性粒子４４および樹脂を含有する導電性樹脂組成物から形成されている。
The conductive
導電性粒子４４の材料としては、例えば、鉄、コバルト、ニッケル、金、銀、銅、パラジウム、ロジウムおよびこれらの合金などの金属などが挙げられる。
Examples of the material of the
導電性粒子４４は、上記金属である金属粒子であってもよい。また、導電性粒子は、例えば、コア材としての非導電性粒子（ポリマー粒子、ガラスビーズなど）と、そのコア材表面に上記金属であるシェル部とを備えるコアシェル型粒子であってもよい。
The
導電性粒子４４の平均粒子径は、例えば、１μｍ以上、１０μｍ以下である。
The average particle diameter of the
樹脂としては、例えば、絶縁性弾性部４１を形成する弾性材料、ベース絶縁層３を形成する樹脂などが挙げられ、好ましくは、ゴムが挙げられる。
Examples of the resin include an elastic material forming the insulating
導電性弾性部４２の直径（すなわち、弾性層開口部４３の直径）Ｌ９は、例えば、３０μｍ以上、好ましくは、４０μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下である。 The diameter of the conductive elastic part 42 (that is, the diameter of the elastic layer opening 43) L9 is, for example, 30 μm or more, preferably 40 μm or more, and for example, 200 μm or less, preferably 100 μm or less.
第１弾性層４０の厚みＴ６（絶縁性弾性部４１の最下面から最上面までの上下方向長さ）は、例えば、５０μｍ以上、好ましくは、１００μｍ以上であり、また、例えば、２０００μｍ以下、好ましくは、１０００μｍ以下である。 The thickness T6 of the first elastic layer 40 (vertical length from the lowermost surface to the uppermost surface of the insulating elastic portion 41) is, for example, 50 μm or more, preferably 100 μm or more, and, for example, 2000 μm or less, preferably Is 1000 μm or less.
第２実施形態の異方導電性シート１は、例えば、第１実施形態の異方導電性シート１の上面に対し、第１弾性層４０を、熱圧着、または、接着剤を介して圧着することにより、製造することができる。また、例えば、第１実施形態の異方導電性シート１の上面に、弾性層開口部４３を有する絶縁性弾性部４１を、塗布法などにより形成し、次いで、弾性層開口部４３に導電性弾性部４２を充填することもできる。
In the anisotropic
第２実施形態の異方導電性シート１も、第１実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。
The anisotropic
また、第２実施形態では、異方導電性シート１が、異方性導電部２の上側に、絶縁性弾性部４１と導電性弾性部４２とを有する第１弾性層４０を備えている。そのため、被検査装置２０の複数の端子２２の高さ（上下方向位置）に、ばらつきが生じている場合であっても、被検査装置２０を異方導電性シート１に押圧する際に、これらの端子２２の個々の高さに応じて、絶縁性弾性部４１および複数の導電性弾性部４２が圧縮または変形することができる。すなわち、厚みが部分的に変化する。特に、第１弾性層４０の厚みに応じて変化することができ、例えば、第１弾性層４０の厚みが１０００μｍ以上である場合は、数百μｍの厚みを変化することができる。その結果、複数の端子２２の高さが過度に不均一である場合であっても、確実に検査することができる。
In the second embodiment, the anisotropic
また、絶縁性弾性部４１および導電性弾性部４２が、被検査装置２０からの過度の圧力を吸収するとともに、導電性弾性部４２が、金属接続部５と端子２２との直接的な接触を回避する。そのため、耐久性がより一層優れる。
The insulating
＜第２実施形態の変形例＞
図１８を参照して、異方導電性シート１の第２実施形態の変形例について説明する。なお、変形例において、上記した図１７に示す実施形態と同様の部材には、同様の符号を付し、その説明を省略する。
<Modification of Second Embodiment>
With reference to FIG. 18, the modification of 2nd Embodiment of the anisotropically
図１７に示す実施形態では、弾性層は、異方性導電部２の上側のみに配置されているが、例えば、図１８に示すように、弾性層は、異方性導電部２の上側および下側に配置することもできる。すなわち、図１８に示す異方導電性シート１は、複数の異方性導電部２と、複数の異方性導電部２の上側に配置される第１弾性層４０と、複数の異方性導電部の下側に配置される第２弾性層４５とを備えている。
In the embodiment shown in FIG. 17, the elastic layer is disposed only on the upper side of the anisotropic
第２弾性層４５は、面方向に延びる平面視略矩形の平板形状を有し、絶縁性弾性部４１と、複数の導電性弾性部４２とを備えている。第２弾性層４５における絶縁性弾性部４１および導電性弾性部４２は、配置される位置を除いて、第１弾性層４０における絶縁性弾性部４１および導電性弾性部４２と同様である。
The second
第２弾性層４５における絶縁性弾性部４１は、複数の異方性導電部２に面方向に跨るように、複数の異方性導電部２の下に配置されている。具体的には、絶縁性弾性部４１は、その上面が、金属接続部５の下面（第１めっき層１８の下面）およびカバー絶縁層４の下面に接触するように配置されている。また、絶縁性弾性部４１は、弾性層開口部４３を複数備えている。
The insulating
第２弾性層４５における導電性弾性部４２は、弾性層開口部４３内に配置されている。すなわち、導電性弾性部４２は、弾性層開口部４３に充填されている。導電性弾性部４２は、その上面が金属接続部５の下面の略中央部に接触するように配置されている。導電性弾性部４２の上面は、金属接続部５の下面に沿うように、凹状となるように、形成されている。また、導電性弾性部４２の下面は、絶縁性弾性部４１の下面と面一となるように、形成されている。
The conductive
図１８に示す異方導電性シート１においても、図１７に示す一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
Also in the anisotropic
特に、図１８に示す異方導電性シート１は、異方性導電部２の下側に、第２弾性層４５をさらに備えている。そのため、検査装置２１の複数の検査プローブ２３の高さに、ばらつきが生じている場合であっても、検査装置２１を異方導電性シートに押圧する際に、これらの検査プローブ２３の個々の高さに応じて、絶縁性弾性部４１および複数の導電性弾性部４２が上下方向に圧縮することができる。特に、第２弾性層４５の厚みＴ６に応じて厚みが変化することができ、例えば、第２弾性層４５の厚みが１０００μｍ以上である場合は、数百μｍの厚みを圧縮することができる。その結果、検査プローブ２３の高さが不均一である場合であっても、確実に検査することができる。
In particular, the anisotropic
また、第２弾性層４５の絶縁性弾性部４１および導電性弾性部４２が、検査装置２１からの過度の圧力を吸収するとともに、導電性弾性部４２が、金属接続部５と検査プローブ２３との直接的な接触を回避する。そのため、耐久性がより一層優れる。
In addition, the insulating
また、図１７および図１８に示す実施形態では、第１弾性層４０および第２弾性層４５の導電性弾性部４２は、金属接続部５と１対１対応するように、配置されているが、例えば、図示しないが、第１弾性層４０および第２弾性層４５のそれぞれにおいて、複数の導電性弾性部４２が、１つの金属接続部５に対応するように、配置することもできる。すなわち、１つの金属接続部５の上面に、複数の導電性弾性部４２が配置され、他方では、１つの金属接続部５の下面に、複数の導電性弾性部４２が配置される。
In the embodiment shown in FIGS. 17 and 18, the conductive
＜第３実施形態＞
図１９〜図２４を参照して、本発明の異方導電性シートの第３実施形態の一実施形態である異方導電性シート１について説明する。なお、第３実施形態において、第１実施形態および第２実施形態と同様の部材には、同様の符号を付し、その説明を省略する。
<Third Embodiment>
With reference to FIGS. 19-24, the anisotropic
図１９〜図２４に示すように、第３実施形態の異方導電性シート１は、複数の異方性導電部２と、複数の異方性導電部２の上側に配置される複数の導電性弾性部４２とを備えている。具体的には、図１９に示す実施形態は、図１１に示す異方導電性シート１が、さらに導電性弾性部４２を備える実施形態であり、図２０に示す実施形態は、図１２に示す異方導電性シート１が、さらに導電性弾性部４２を備える実施形態であり、図２１に示す実施形態は、図１３に示す異方導電性シート１が、さらに導電性弾性部４２を備える形態であり、図２２に示す実施形態は、図１４に示す異方導電性シート１が、さらに導電性弾性部４２を備える実施形態であり、図２３に示す実施形態は、図１５に示す異方導電性シート１が、さらに導電性弾性部４２を備える実施形態であり、図２４に示す実施形態は、図１６に示す異方導電性シート１が、さらに導電性弾性部４２を備える実施形態である。
As shown in FIGS. 19 to 24, the anisotropic
複数の異方性導電部２では、金属接続部５は、それぞれ、金属導体部１０と、めっき層１２（第１めっき層１８および第２めっき層１９）と備え、第１めっき層１８および第２めっき層１９は、２層構成である。すなわち、第１めっき層１８は、第１内側めっき層１８ａと、第１外側めっき層１８ｂとを備え、第２めっき層１９は、第２内側めっき層１９ａと、第２外側めっき層１９ｂとを備えている。
In the plurality of anisotropic
また、異方性導電部２の上面に、シート凹部３６が形成されており、シート凹部３６において、金属接続部５の上面に、金属接続凹部３５が形成されている。
A
第３実施形態において、導電性弾性部４２は、シート凹部３６（ひいては、金属接続凹部３５）内に配置されている。すなわち、導電性弾性部４２は、シート凹部３６（ひいては、金属接続凹部３５）内に充填されている。導電性弾性部４２の上面は、カバー絶縁層４の上面と面一となるように、形成されている。
In 3rd Embodiment, the electroconductive
導電性弾性部４２の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上であり、また、例えば、１２０μｍ以下、好ましくは、９０μｍ以下である。
The thickness of the conductive
導電性弾性部４２の硬度は、例えば、３０Ｈｓ以上、好ましくは、４０Ｈｓ以上であり、また、例えば、７０Ｈｓ以下、好ましくは、６０Ｈｓ以下である。導電性弾性部４２の硬度を上記範囲内とすることにより、複数の端子２２に対応して導電性弾性部４２がより一層柔軟に変形することができる。
The hardness of the conductive
第３実施形態の異方導電性シート１は、例えば、第１実施形態の異方導電性シート１の上面全面に、導電性粒子４４および樹脂を含有する組成物を塗布し、次いで、スキージで異方導電性シート１の上面をこすり、組成物をシート凹部３６に移動させることによって、製造することができる。具体的には、特開２０１５−２６５８４号公報に記載の製造方法を参照することができる。
In the anisotropic
第３実施形態の異方導電性シート１も、第１実施形態の異方導電性シート１と同様の作用効果を奏することができる。
The anisotropic
また、第３実施形態では、金属接続凹部３５に、導電性弾性部４２が充填されている。そのため、被検査装置２０の複数の端子２２の高さに、ばらつきが生じている場合であっても、被検査装置２０を異方導電性シート１に押圧する際に、これらの端子２２の個々の高さに応じて、導電性弾性部４２が上下方向に圧縮することができる。特に、導電性弾性部４２は、その厚みに応じて圧縮され、例えば、数μｍの厚みを圧縮することができる。その結果、複数の端子２２の高さが不均一である場合であっても、確実に検査することができる。
In the third embodiment, the
また、導電性弾性部４２が、被検査装置２０からの圧力を吸収するとともに、金属接続部５と端子２２との直接的な接触を回避する。そのため、耐久性がより一層優れる。
Further, the conductive
また、図１９〜図２４に示す実施形態では、導電性弾性部４２は、その上面が、カバー絶縁層４の上面と面一となるように、形成されている。すなわち、導電性弾性部４２は、その体積割合が、シート凹部３６の体積に対して、１００％となるように充填されている。しかし、例えば、図示しないが、導電性弾性部４２は、その上面が、カバー絶縁層４の上面よりも上側または下側となるように、形成されていてもよい。そのような場合、導電性弾性部４２の体積割合は、シート凹部３６の体積に対して、例えば、２０％以上、好ましくは、５０％以上であり、また、例えば、２００％以下、好ましくは、１５０％以下である。
In the embodiment shown in FIGS. 19 to 24, the conductive
導電性弾性部４２の体積割合が上記範囲内であれば、被検査装置２０の複数の端子２２の高さが不均一である場合であっても、確実に検査することができる。また、導電性弾性部４２が、異方性導電部２への圧力や衝撃を確実に和らげることができるため、耐久性がより一層優れる。
If the volume ratio of the conductive
以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明は、何ら実施例および比較例に限定されない。以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限値(「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限値(「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。 Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples. In addition, this invention is not limited to an Example and a comparative example at all. Specific numerical values such as blending ratio (content ratio), physical property values, and parameters used in the following description are described in the above-mentioned “Mode for Carrying Out the Invention”, and the corresponding blending ratio (content ratio) ), Physical property values, parameters, etc. The upper limit value (numerical value defined as “less than” or “less than”) or lower limit value (number defined as “greater than” or “exceeded”) may be substituted. it can.
実施例１
図１および図２に示す異方導電性シートを作製した。
Example 1
The anisotropic conductive sheet shown in FIGS. 1 and 2 was produced.
ただし、異方性導電部２は、前後方向に１００列、左右方向に１００列に整列配置し、その数は、合計１０，０００個とした。ベース絶縁層およびカバー絶縁層の材料として、ポリイミド樹脂を用い、金属導体部の材料として、銅を用い、バンプ部の材料として、Ｎｉを用い、めっき材料として、Ａｕを用いた。
However, the anisotropic
また、図２において、Ｌ１を２０μｍ、Ｌ２を３０μｍ、Ｌ３を４０μｍ、Ｌ４を５μｍ、Ｌ５を５μｍ、テーパ角θを６０°、接続部間ピッチＬ６を５０μｍとした。 In FIG. 2, L1 is 20 μm, L2 is 30 μm, L3 is 40 μm, L4 is 5 μm, L5 is 5 μm, the taper angle θ is 60 °, and the pitch L6 between connecting portions is 50 μm.
実施例２
図２において、Ｌ２を３６μｍ、Ｌ４を２μｍに変更した以外は、実施例１と同様にして、異方導電性シートを製造した。
Example 2
In FIG. 2, an anisotropic conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that L2 was changed to 36 μm and L4 was changed to 2 μm.
実施例３
図２において、Ｌ１を３０μｍ、Ｌ５を５μｍ、テーパ角θを３０°に変更した以外は、実施例１と同様にして、異方導電性シートを製造した。このとき、隣接する２つの異方性導電部（金属導体部１０）の距離を実施例１と同程度にするために、接続部間ピッチＬ６を８０μｍとした。
Example 3
In FIG. 2, an anisotropic conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that L1 was changed to 30 μm, L5 was changed to 5 μm, and the taper angle θ was changed to 30 °. At this time, in order to make the distance between two adjacent anisotropic conductive portions (metal conductor portions 10) the same as in Example 1, the pitch L6 between the connecting portions was set to 80 μm.
実施例４
図４に示す異方導電性シートを製造した。すなわち、ベース開口部６において、側断面視略テーパ形状とせずに、円柱状に形成した以外は、実施例１と同様にして、異方導電性シートを製造した。また、Ｌ１を３０μｍ、Ｌ５を５μｍとした。
Example 4
An anisotropic conductive sheet shown in FIG. 4 was produced. That is, an anisotropic conductive sheet was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the
比較例１
カバー絶縁層を形成しなかった以外は、実施例１と同様にして、異方導電性シートを製造した（図２５参照）。
Comparative Example 1
An anisotropic conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the insulating cover layer was not formed (see FIG. 25).
比較例２
カバー絶縁層を金属接続部５の上面と面一となる高さまで形成した以外は、実施例１と同様にして、異方導電性シートを製造した（仮想線が示す図２５参照）。
Comparative Example 2
An anisotropic conductive sheet was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the insulating cover layer was formed to a height that was flush with the upper surface of the metal connection portion 5 (see FIG. 25 indicated by the phantom lines).
（耐久性試験）
各異方性導電部２に３０ｇの荷重が印加されるように、サンプル用測定対象を異方性導電部の上面（第２めっき層）に繰り返し、押圧した。
(Durability test)
The sample measurement object was repeatedly pressed against the upper surface (second plating layer) of the anisotropic conductive portion so that a load of 30 g was applied to each anisotropic
実施例１の異方導電性シートでは、押圧を５０，０００回繰り返しても、異方性導電部は一つも脱落しなかった。 In the anisotropic conductive sheet of Example 1, even when pressing was repeated 50,000 times, none of the anisotropic conductive portions dropped off.
実施例３の異方導電性シートでは、押圧を１０，０００〜５０，０００回繰り返した場合に、異方性導電部が少なくとも１つ脱落した。 In the anisotropic conductive sheet of Example 3, when the pressing was repeated 10,000 to 50,000 times, at least one anisotropic conductive portion dropped off.
実施例２および４の異方導電性シートでは、押圧を１，０００〜１０，０００回繰り返した場合に、異方性導電部が少なくとも１つ脱落した。 In the anisotropic conductive sheets of Examples 2 and 4, when pressing was repeated 1,000 to 10,000 times, at least one anisotropic conductive portion dropped off.
比較例１〜２の異方性導電部の異方性導電部では、押圧回数が１，０００回以下の場合において、異方性導電部が少なくとも１つ脱落した。 In the anisotropic conductive portions of the anisotropic conductive portions of Comparative Examples 1 and 2, at least one anisotropic conductive portion dropped off when the number of times of pressing was 1,000 times or less.
（導電性試験）
異方性導電部の上面および下面のそれぞれに抵抗測定計のプローブを当てて、抵抗値を測定した。その結果、各実施例および各比較例の抵抗値は、いずれも、１×１０−４Ω以下であり、導電性に優れていることが分かった。
(Conductivity test)
The resistance value was measured by applying a probe of a resistance meter to each of the upper surface and the lower surface of the anisotropic conductive portion. As a result, each example and each comparative example had a resistance value of 1 × 10 −4 Ω or less, indicating that the resistance was excellent.
１ 異方導電性シート
２ 異方性導電部
３ ベース絶縁層
４ カバー絶縁層
５ 金属接続部
６ ベース開口部
７ カバー開口部
１１ バンプ部
１２ めっき層
１３ 第１導体部
１４ 第２導体部
１５ 第３導体部
２０ 被検査装置
２１ 検査装置
３５ 金属接続凹部
３６ シート凹部
４０ 第１弾性層
４１ 絶縁性弾性部
４２ 導電性弾性部
４３ 弾性層開口部
４４ 導電性粒子
４５ 第２弾性層
５０ 絶縁層
DESCRIPTION OF
Claims (15)
異方性導電部を備え、
前記異方性導電部は、
厚み方向に貫通する開口部を有する絶縁層と、
前記開口部に配置される接続部と
を備え、
前記絶縁層は、前記接続部の厚み方向一方面の一部および前記厚み方向に直交する直交方向側面を被覆することを特徴とする、異方導電性シート。 An anisotropic conductive sheet for electrically connecting a device to be inspected and an inspection device to each other,
With an anisotropic conductive part,
The anisotropic conductive part is
An insulating layer having an opening penetrating in the thickness direction;
A connecting portion disposed in the opening,
The anisotropic conductive sheet, wherein the insulating layer covers a part of one surface in the thickness direction of the connecting portion and a side surface in the orthogonal direction perpendicular to the thickness direction.
厚み方向他方面を露出する第１絶縁部と、
前記第１絶縁部の厚み方向一方側に配置され、厚み方向一方面を露出する第２絶縁部と
を備え、
前記第２絶縁部が、前記接続部の前記厚み方向一方面の一部および前記直交方向側面を被覆することを特徴とする、請求項１に記載の異方導電性シート。 The insulating layer is
A first insulating portion exposing the other surface in the thickness direction;
A second insulating portion disposed on one side in the thickness direction of the first insulating portion and exposing one surface in the thickness direction;
2. The anisotropic conductive sheet according to claim 1, wherein the second insulating portion covers a part of one surface in the thickness direction and the side surface in the orthogonal direction of the connection portion.
前記第２絶縁部は、前記第１開口部と連通する第２開口部を有し、
前記接続部は、
第１開口部に充填される第１導体部と、
前記第１導体部と厚み方向に連続し、第２開口部に充填される第２導体部と、
前記第２導体部と厚み方向と直交する直交方向に連続し、第２開口部に充填される第３導体部と
を備え、
前記第２絶縁部が、前記接続部における前記第３導体部の前記厚み方向一方面および前記直交方向側面を被覆することを特徴とする、請求項２に記載の異方導電性シート。 The first insulating portion has a first opening,
The second insulating portion has a second opening communicating with the first opening,
The connecting portion is
A first conductor filled in the first opening;
A second conductor portion that is continuous with the first conductor portion in the thickness direction and is filled in the second opening;
A third conductor portion that is continuous with the second conductor portion and in an orthogonal direction orthogonal to the thickness direction and is filled in the second opening;
3. The anisotropic conductive sheet according to claim 2, wherein the second insulating portion covers the one surface in the thickness direction and the side surface in the orthogonal direction of the third conductor portion in the connection portion.
互いに隣接する異方性導電部において、一の異方性導電部の第１開口部の直交方向中心点と、前記一の異方性導電部と隣接する他の異方性導電部の第１開口部の直交方向中心点との距離が、３０μｍ以上、２００μｍ以下であることを特徴とする、請求項３〜７のいずれか一項に記載の異方導電性シート。 A plurality of the anisotropic conductive portions are arranged,
In the anisotropic conductive portions adjacent to each other, the center point in the orthogonal direction of the first opening of one anisotropic conductive portion and the first of the other anisotropic conductive portions adjacent to the one anisotropic conductive portion. The anisotropic conductive sheet according to any one of claims 3 to 7, wherein a distance from the center point in the orthogonal direction of the opening is 30 µm or more and 200 µm or less.
前記弾性層は、
厚み方向に貫通する第３開口部を有する絶縁性弾性部と、
前記第３開口部に充填され、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部と
を備えることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の異方導電性シート。 Further comprising an elastic layer disposed on at least one of the thickness direction one side and the thickness direction other side of the anisotropic conductive portion,
The elastic layer is
An insulating elastic part having a third opening penetrating in the thickness direction;
The anisotropic conductive sheet according to any one of claims 1 to 12, further comprising: a conductive elastic portion that is filled in the third opening and contains conductive particles and a resin.
前記第１凹部に充填され、導電性粒子および樹脂を含有する導電性弾性部をさらに備えることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の異方導電性シート。 A first recess is formed on one surface in the thickness direction of the connection portion,
The anisotropic conductive sheet according to any one of claims 1 to 12, further comprising a conductive elastic part filled in the first recess and containing conductive particles and a resin.
The volume ratio of the conductive elastic part is 20% or more and 200% or less with respect to the volume of the second recess formed on one surface in the thickness direction of the anisotropic conductive part. 14. An anisotropic conductive sheet according to 14.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019027932A (en) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | 日東電工株式会社 | Substrate for inspection and substrate for inspection with conduction protection |
| JP2020145145A (en) * | 2019-03-08 | 2020-09-10 | 日東電工株式会社 | Anisotropic conductive sheet |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03283378A (en) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Canon Inc | Electrical connecting member and manufacture thereof |
| JP2004134183A (en) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Sharp Corp | Electrode sheet and its manufacturing method |
| JP2011090899A (en) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Fujitsu Ltd | Connecting member, manufacturing method of the connecting member and electronic device |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001091579A (en) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Jsr Corp | Sheet-like connector, manufacturing method thereof, semiconductor device connecting apparatus and inspecting apparatus |
| JP2001283996A (en) * | 2000-04-03 | 2001-10-12 | Jsr Corp | Sheet-like connector and its manufacturing method, electrical equipment connecting device and inspection equipment |
| JP4385498B2 (en) * | 2000-06-09 | 2009-12-16 | Ｊｓｒ株式会社 | Sheet-like connector, manufacturing method thereof, and electrical inspection device |
| JP2002208448A (en) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Nitto Denko Corp | Anisotropic conductive film |
| JP4099412B2 (en) * | 2003-03-19 | 2008-06-11 | 株式会社ルネサステクノロジ | Manufacturing method of semiconductor integrated circuit device |
| TW200602645A (en) * | 2004-04-27 | 2006-01-16 | Jsr Corp | Method of manufacturing sheetlike probe and its application |
| JP2007220534A (en) | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Jsr Corp | Composite conductive sheet and its manufacturing method, anisotropic connector, adapter device as well as electric inspection device of circuit device |
| JP4523051B2 (en) * | 2008-05-09 | 2010-08-11 | 日東電工株式会社 | Method for manufacturing printed circuit board |
| KR101104352B1 (en) * | 2009-12-23 | 2012-01-16 | (주)솔리드메카 | Fixing method interposer PCB for BGA package test |
| JP5435493B2 (en) * | 2010-06-22 | 2014-03-05 | 富士フイルム株式会社 | Fine structure and manufacturing method thereof |
| KR101366171B1 (en) * | 2013-02-19 | 2014-02-24 | 주식회사 아이에스시 | Test socket with high density conduction section |
-
2017
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03283378A (en) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Canon Inc | Electrical connecting member and manufacture thereof |
| JP2004134183A (en) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Sharp Corp | Electrode sheet and its manufacturing method |
| JP2011090899A (en) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Fujitsu Ltd | Connecting member, manufacturing method of the connecting member and electronic device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019027932A (en) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | 日東電工株式会社 | Substrate for inspection and substrate for inspection with conduction protection |
| JP2020145145A (en) * | 2019-03-08 | 2020-09-10 | 日東電工株式会社 | Anisotropic conductive sheet |
| JP7403958B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-12-25 | 日東電工株式会社 | Anisotropic conductive sheet |
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