KR20150039702A - 제논 회수를 위한 시스템 및 방법 - Google Patents

제논 회수를 위한 시스템 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20150039702A
KR20150039702A KR20140134547A KR20140134547A KR20150039702A KR 20150039702 A KR20150039702 A KR 20150039702A KR 20140134547 A KR20140134547 A KR 20140134547A KR 20140134547 A KR20140134547 A KR 20140134547A KR 20150039702 A KR20150039702 A KR 20150039702A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
xenon
pressure vessel
crude
article
manufacture
Prior art date
Application number
KR20140134547A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101648482B1 (ko
Inventor
크리스토퍼 마이클 알브라이트
앤드류 데이비드 존슨
데이비드 찰스 윈체스터
Original Assignee
에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 filed Critical 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
Publication of KR20150039702A publication Critical patent/KR20150039702A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101648482B1 publication Critical patent/KR101648482B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/52—Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B02—CRUSHING, PULVERISING, OR DISINTEGRATING; PREPARATORY TREATMENT OF GRAIN FOR MILLING
    • B02C—CRUSHING, PULVERISING, OR DISINTEGRATING IN GENERAL; MILLING GRAIN
    • B02C19/00—Other disintegrating devices or methods
    • B02C19/0056—Other disintegrating devices or methods specially adapted for specific materials not otherwise provided for
    • B02C19/0068—Other disintegrating devices or methods specially adapted for specific materials not otherwise provided for specially adapted for breaking-up fluorescent tubes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
    • C01B23/001—Purification or separation processes of noble gases
    • C01B23/0036—Physical processing only
    • C01B23/0052—Physical processing only by adsorption in solids
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
    • C01B2210/0029—Obtaining noble gases
    • C01B2210/0037—Xenon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
    • C01B2210/0043—Impurity removed
    • C01B2210/0068—Organic compounds
    • C01B2210/007—Hydrocarbons
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
    • C01B2210/0043—Impurity removed
    • C01B2210/0098—Other impurities
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W30/00—Technologies for solid waste management
    • Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
    • Y02W30/82—Recycling of waste of electrical or electronic equipment [WEEE]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Processing Of Solid Wastes (AREA)
  • Disintegrating Or Milling (AREA)
  • Discharge Lamp (AREA)

Abstract

제논은 제조 물품, 예컨대, 전구 내에 함유된다. 본원에서는 제조 물품, 예컨대, 결함이 있는 전구에 함유된 제논을 회수 및/또는 재사용을 위해서 포획하고 수거하는 장치, 시스템 및 방법을 기재하고 있다.

Description

제논 회수를 위한 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR XENON RECOVERY}
본원에서는 제조 물품으로부터 제조 물질, 예를 들어, 제논을 회수하는 장치, 시스템 및 방법이 기재되고 있다. 본원에서는 또한 제조 물질을 회수하고 이어서 재사용하는 시스템 및 방법이 기재되고 있다. 더욱 특히, 본원에서는 제조 물품, 예컨대, 이로 한정되는 것은 아니지만, 제논을 포함하는 전구 부품으로부터의 제논의 회수, 및 특정 구체예에서는 재사용을 위한 장치, 시스템 및 방법이 기재되고 있다.
저전압 제논 전구 및 선간 전압 제논 전구는 사실상 모든 적용을 위한 백열 전구의 대안이며 많은 이유로 백열 전구를 대신하고 있다. 저전압 제논 전구 및 선간 전압 제논 전구는 20,000 시간 지속되는 반면에, 백열 전구는 전형적으로는 2,000 시간 지속된다. 맨손에 의한 백열 전구의 취급은 전구의 수명을 극단적으로 단축시킨다. 추가로, 저전압 제논 전구 및 선간 전압 제논 전구는 UV 선을 방출하지 않는다. 이러한 품질은 저전압 제논 전구 및 선간 전압 제논 전구가 감광성 직물 및 공예품 둘레에 사용하기에 이상적이게 한다.
제논 전구를 제조하기 위한 제조 공정 동안에, 이들 전구의 특정한 백분율의 이들 전구는 결함이 있으며, 예컨대, 전구가 모양이 정상이 아니거나, 전극이 점화되지 않거나, 그 밖의 이유가 있다. 결함이 있는 전구는 생산 라인에서 제거되고 폐기를 위해서 보내진다. 이어서, 결함이 있는 제논 전구는 유리 용융 노에 던져지고, 그에 함유된 제논은 연통을 통해서 노로부터 빠져나간다.
따라서, 제조 물품, 예컨대, 이로 한정되는 것은 아니지만, 전구에서 제논을 포획하여 다른 제조 물품, 예컨대, 새로운 제논 전구의 생산을 위해서 재사용하거나 제논 전구 이외의 다른 생산 공정에 재사용하기 위한 방법, 시스템, 장치 또는 이들의 조합을 제공하는 것이 요구되고 있다.
발명의 간단한 요약
본원에서 기재된 방법, 시스템 및 장치는 본 기술분야에서의 요구 중 하나 이상을 충족시키고 있다. 본원에 기재된 방법, 시스템 및 장치는 제조 물품, 더욱 특히, 제논(Xe), 질소(N2), 임의로 크립톤(Kr) 및 다른 미량 가스(예, 포스핀, 메틸 브로마이드 등)를 포함하는 전구로부터 제논 가스를 회수한다. 방법, 시스템 및 장치는 유리구(glass bulb)를 그에 함유된 가스와 분리하여 재생하고, 특정의 구체예에서는, 제조 공정에서 재사용한다.
한 가지 양태로, 하기 구성요소를 포함하여 제조 물품으로부터 제논 가스를 포획 및 회수하기 위한 장치가 제공된다:
(a) 안에 함유된 제논 가스를 지니는 제조 물품을 포함하는 공급물을 받아들이며 압력 용기로 향한 도관을 지니는 공급 호퍼(feed hopper);
(b) 공급물을 받아들이는 개구를 지닌 리드, 수거 용기와 소통관계에 있는 바닥부, 및 안에 함유된 분쇄기를 지니는 압력 용기로서, 진공 펌프와 유체 소통관계에 있으며, 안에 있는 분쇄기가 제조 물품을 분쇄하여 Xe와 유리 잔류물을 포함하는 미정제 가스 혼합물을 제공하도록 구성되어 있는 압력 용기;
(c) 압력 용기로부터의 유리 잔류물을 받아들이는 수거 용기;
(d) 압력 용기와 유체 소통관계에 있으며 유리 잔류물로부터 유발되는 어떠한 잔류 더스트를 제거하기 위한 임의의 벌크 더스트 수거기(bulk dust collector);
(e) 압력 용기와 연결되어 있으며 압력 용기로부터 제논을 포함하는 미정제 가스를 제거하고 이를 회수 용기에 보낼 수 있는 회수 라인;
(f) 공정 제어기에 대한 신호 접속부를 지니는 회수 라인 내의 자동 밸브;
(g) 공정 제어기; 및
(h) 미정제 제논을 수용할 수 있는 회수 용기.
특정의 구체예에서, 압력 용기는 임의로 환기되는 엔클로저(enclosure)에 수용된다.
또 다른 양태로, 하기 구성요소를 포함하여 제논이 안에 함유되어 있는 제조 물품으로부터 제논을 포획 및 회수하기 위한 시스템이 제공된다:
밀봉이 가능한 압력 용기로서, 제논이 안에 함유되어 있는 제조 물품을 받아들이기 위한 입구 및 제조 물품을 받아서 유리 잔류물을 형성시키는 분쇄기를 포함하며, 진공 펌프 및 임의의 벌크 더스트 수거기와 유체 소통관계에 있고 공정 제어기와 전기 소통 관계에 있는 하나 이상의 라인이 구비된 압력 용기;
압력 용기로부터 미정제 제논을 제거하고 이를 회수 용기로 보낼 수 있는 압력 용기로부터의 회수 라인; 및
공정 제어기.
본 발명의 추가의 양태는 이하를 포함한다:
1. 제조 물품으로부터 공정 가스를 포획 및 회수하기 위한 장치로서,
(a) 안에 함유된 제논(Xe)을 포함한 공정 가스를 지니는 제조 물품을 포함하는 공급물을 받아들이며 압력 용기로 향한 도관을 지니는 공급 호퍼(feed hopper);
(b) 공급물을 받아들이는 개구를 지닌 리드, 수거 용기와 소통관계에 있는 바닥부, 및 안에 함유된 분쇄기를 지니는 압력 용기로서, 진공 펌프와 유체 소통관계에 있으며, 안에 있는 분쇄기가 제조 물품을 분쇄하여 Xe와 유리 잔류물을 포함하는 미정제 가스을 제공하도록 구성되어 있는 압력 용기;
(c) 압력 용기로부터의 유리 잔류물을 받아들이는 수거 용기;
(d) 압력 용기와 유체 소통관계에 있으며 유리 잔류물로부터 유발되는 어떠한 잔류 더스트를 제거하기 위한 임의의 벌크 더스트 수거기(bulk dust collector);
(e) 압력 용기와 연결되어 있으며 압력 용기로부터 제논을 포함하는 미정제 가스를 제거하고 이를 회수 용기에 보낼 수 있는 회수 라인;
(f) 공정 제어기에 대한 신호 접속부를 지니는 회수 라인 내의 자동 밸브;
(g) 공정 제어기; 및
(h) 공정 제어기와 전기 소통 관계에 있고 미정제 제논을 수용할 수 있는 회수 용기를 포함하는 장치.
2. 상기 항목 1에 있어서, 압력 용기가 통풍되는 엔클로저(enclosure)에 수용되는 장치.
3. 상기 항목 1에 있어서, 회수 용기가 저장 실린더를 포함하는 장치.
4. 상기 항목 1에 있어서, 미정제 제논 혼합물이 회수 용기에 보내지기에 앞서 정제되는 정제기를 추가로 포함하는 장치.
5. 제논이 안에 함유되어 있는 제조 물품으로부터 제논을 포획 및 회수하기 위한 시스템으로서,
제논이 안에 함유되어 있는 제조 물품을 받아들이기 위한 입구 및 제조 물품을 받아서 유리 잔류물을 형성시키는 분쇄기를 포함하며, 진공 펌프 및 임의의 벌크 더스트 수거기와 유체 소통관계에 있고 공정 제어기와 전기 소통 관계에 있는 하나 이상의 라인이 구비된 밀봉이 가능한 압력 용기;
압력 용기로부터 미정제 제논을 제거하고 이를 회수 용기로 보낼 수 있는 압력 용기로부터의 회수 라인; 및
공정 제어기를 포함하는 시스템.
6. 상기 항목 5에 있어서, 미정제 제논 혼합물로부터 불순물을 제거하기 위한 정제기를 추가로 포함하는 시스템.
7. 상기 항목 5에 있어서, 미정제 제논으로부터 질소를 제거하기 위한 분리기를 추가로 포함하는 시스템.
본 발명의 한 양태와 관련하여 기재된 특징은 본 발명의 어떠한 다른 양태와 관련하여 이용될 수 있다.
도 1은 유리 전구로부터의 Xe를 회수하고 회수된 Xe를 회수 용기(도면에는 도시되지 않음)로 보내기 위해서 사용될 수 있는 장치의 구체예의 등각투상도(isometric view)를 제공한다.
도 2는 유리 전구로부터 Xe를 회수하기 위해서 사용되는 시스템의 예를 제공한다.
도 3은 전구로부터 방출된 Xe를 포획하여 저장 용기에 전달하기 위해서 사용되는 도 2의 시스템의 예를 제공한다.
도 4는 유리 전구로부터 Xe를 회수하고 미정제 Xe 혼합물로부터 촉매 물질을 사용하여 독성 불순물을 제거하고, 포획된 Xe를 도 5에 도시된 저장 용기에 보내기 위해서 사용되는 시스템의 예를 제공한다.
도 5는 도 4의 시스템의 예로서, 미정제 Xe가 스크러버(scrubber)를 통해서 정제되고, 비독성의 정제된 제논 및 질소 혼합물이 저장을 위해서 보내지는 시스템의 예를 제공한다. 비독성의 정제된 제논 및 질소 혼합물은 추가의 정제 후에 유리 전구 제조 공정에 재사용되거나 다른 제조 공정을 위해서 재사용될 수 있다.
도 6은 유리 전구로부터 Xe를 회수하고 미정제 제논으로부터 촉매 물질을 사용하여 초기 불순물을 제거하고 제논을 회수 용기로 보내기 위해서 사용되는 시스템의 예를 제공한다.
도 7은 도 2, 도 4 또는 도 6에 도시된 시스템 중 어느 하나에서 도시된 시스템에서 추출된 미정제 Xe 혼합물을, 회수 용기에 보내고/거나 재사용하기 전에, 정제하여 초기 및/또는 독성 불순물을 제거하고, 질소를 제거하고, 비독성의 고도로 농축된 Xe(예, 순도 90% 초과의 Xe)를 제공하는 방법의 예를 제공한다.
도 8은 도 6 및 도 7의 시스템의 예로서, 정제된 Xe가 압축되고, 이어서, 회수 용기에 전달되고, 그러한 회수 용기에서, 정제된 Xe가 유기 전구 제조 공정에서 현장 재사용되거나, 달리, 또 다른 제조 공정을 위해서 재사용될 수 있게 하는 시스템의 예를 제공하고 있다.
물질 회수는 제논 전구 제조 공정에 의해서 생성된 폐기물의 비용 및 양을 줄이기 위한 기회를 제공한다. 결함이 있거나 기준을 이탈한(out of specification) 전구 캡슐, 예컨대, 켜지지 않거나 미관상 결함을 지니는 전구는 Xe, N2, 임의의 Kr, 및 다른 성분(예, 포스핀, 메틸 브로마이드, 실란 또는 다른 가스)를 포함하는 가스 혼합물을 함유한다. 한 가지 특정의 구체예에서, 제조 물품은 약 90부피% 또는 그 초과의 Xe, 8부피% 또는 그 미만의 N2, 및 나머지 그 밖의 성분, 예컨대, 이로 한정되는 것은 아니지만, 포스핀, 메틸 브로마이드, 실란 등을 지니는 유리 전구를 포함하며, 여기서, 부피 백분율의 모두는 100%까지 더해진다. 종래 기술의 방법은 결함이 있는 제논 전구 캡슐을 유리 용융 노(glass melt furnace)에 단순히 버렸으며, 그에 함유된 가스성 Xe가 연통을 통해서 빠져나갔다. 본원에 기재된 장치, 방법 및 시스템은 폐기물로서 처리하기보다는 전구 제조 또는 다른 사용을 위한 재사용을 위해서 Xe를 회수하고 있다. 물질 회수는 이용 효율을 향상시키고 제조 공정에 의해서 생성된 폐기물의 양을 감소시킨다. 본원에 기재된 방법, 시스템 및/또는 장치가 전구 제조 공정으로부터 Xe를 포획하고 이를 재사용하기 위해서 이용되지만, 이들 방법, 시스템 및/또는 장치는 다른 제조 공정 또는 안에 함유된 가스성 성분을 지니는 다른 제조 물품으로 확대될 수 있는 것으로 사료된다.
본원에서는 생성 폐기물을 최소화시키는 수율로 요망되는 물질, 예컨대, 이로 한정되는 것은 아니지만, Xe를 회수하고, 특정의 구체예에서는, 요망되는 물질을 제조 공정에서의 재사용을 위해서 포획하고 저장하게 하는 수단이 기재되고 있다. 결함이 있는 유리구 내의 Xe는 이전에는 유리구 및 그와 연관된 모든 성분과 함께 폐기물로서 처리되었다. 본원에 기재된 방법, 시스템 및 장치는 결함이 있는 유리구 내에 함유된 생산 폐기물 또는 Xe가 저장 용기, 예컨대, 실린더에 포획되고, 이어서, 향후의 생산에 재사용되게 한다. 특정의 구체예에서, 회수된 Xe는 저장 전에 유체로 응축될 수 있다. 이들 구체예에서, 회수된 Xe는 응축된 상으로 용기내에 포획된다. 후속하여, Xe는 용기를 가열하고 Xe를 기화시킴으로써 재사용될 수 있다. 본원에서 사용된 용어 "유체"는 기체, 액체, 초임계 유체, 증기 및 이들의 조합을 의미한다.
한가지 특정의 구체예에서, 결함이 있는 전구 캡슐은 각각 약 4.65 그램(gm)의 무게를 지니며, 각각의 전구는 5 기압(atm)에서 약 2 입방 센티미터(cc)의 Xe, N2, 및 다른 물질 포함 가스를 함유한다. 이러한 구체예에서, 100,000개의 결함이 있는 전구가 1,025 파운드(lbs.)의 전체 중량으로 가공되면, 약 35.3 표준 입방 피트(standard cubic feet: SCF)의 가스를 회수할 잠재성이 있다. 가스 처리 단계가 4 시간이 소요되면, 이는 0.15의 분당 표준 입방 피트(standard cubic feet per minute: SCFM)의 흐름을 발생시킨다. 본원에 기재된 방법을 이용한 재사용을 위한 Xe에 대한 얻을 수 있는 예시적인 수득률은, 유리 전구 캡슐의 공급 원료에 함유된 Xe의 전체 물질 공급을 기준으로 하여, 다음 끝점, 50 부피% 또는 그 초과, 55 부피% 또는 그 초과, 60 부피% 또는 그 초과, 65 부피% 또는 그 초과, 70 부피% 또는 그 초과, 75 부피% 또는 그 초과, 80 부피% 또는 그 초과, 또는 90 부피% 또는 그 초과 중 하나 이상을 포함한다. 본원에서는 또한 제조 물품으로부터 미정제 Xe 혼합물을 효율적으로 포획하고, 임의로, 미정제 Xe 혼합물로부터 불순물을 제거하고, 임의로, 미정제 Xe 혼합물로부터 질소를 제거하고, 임의로, 회수된 Xe 또는 다른 요망되는 공정 가스를 생산 공정으로 다시 재생하는 장치 및 시스템이 기재되고 있다.
도 1은 본원에 기재된 장치의 한 가지 구체예를 제공한다. 도 1에서 예시되고 있는 바와 같이, 장치(10)는 리드(lid: 22), 바닥부(24) 및 게이트 밸브(gate valve: 26)를 지니는 압력 용기(20)를 포함한다. 장치(10)의 특정의 부품, 예컨대, 게이트 밸브(26) 및 분쇄기(32)/모터(34)는 공정 제어기(50)와 전기 소통관계에 있다. 공정 제어기(50)는 장치(10) 내의 하나 이상의 구성요소를 작동시키거나 정지시키기 위해서 장치(10) 내의 하나 이상의 구성요소로부터의 전기적 신호를 보내거나, 받거나, 이들 둘 모두를 할 수 있는 중앙처리장치(central processing unit), 무선 신호 수신기(wireless signal receiver) 또는 그 밖의 수단일 수 있다. 공정 제어기(50)는 또한 장치(10)의 특정의 양태, 예컨대, 압력, 독성, Xe의 백분률 또는 다른 파라미터를 모니터링하기 위해서 사용될 수 있다. 장치(10)는 임의로 환기되는(환기 시스템은 도시되지 않음) 엔클로저(15)에 하우징될 수 있다. 압력 용기(20)는 완전 진공에서 15 PSIG까지 범위의 압력이 가능할 수 있고 펌프(도 1에는 도시되지 않음)와 유체 소통관계에 있다. 압력 용기(20)의 상부 상의 리드(22)는 결함이 있는 전구 캡슐이 공급 호퍼(5)로부터 압력 용기(20)의 챔버(21) 내로 로딩(loading)되게 한다. 바닥부(24) 상의 밸브(26)는 분쇄된 유리 또는 유리 잔류물 및 폐 금속이 용기(20)로부터 도관(28)을 통해서 수거 드럼(collection drum: 30) 내로 제거되게 한다. 전구 캡슐이 용기(20)의 챔버(21)내로 로딩되면, 압력 용기에 대한 모든 접근 점은 폐쇄된다. 특정의 구체예에서, 이어서, 펌프(도 1에는 도시되지 않음)가 압력 용기(20)를 배기(evacuate)시켜서 전구 캡슐로부터 방출되게 될 미정제 Xe를, 그렇지 않으면, 오염시킬 공기의 양을 감소시키기 위해서 사용될 수 있다. 펌프는 진공 펌프 또는 반밀폐형 스크롤 펌프(semi-hermetic scroll pump) 중 하나 일 수 있으며, 그러한 펌프는 펌프 밀봉 누출로 인한 제한된 오염으로 고압축률(high compression ratio)을 제공한다. 이들 또는 다른 구체예에서, 펌프는 공정 제어기와 전기 소통관계에 있다. 압력 용기(20)의 챔버가 배기되면, 분쇄기(32)가 부호 34로 나타낸 모터에 의해서 작동하고, 그러한 분쇄기는 결함이 있는 전구를 깨뜨리고 그 안에 함유되었던 N2 및 미량의 포스핀, 메틸 브로마이드, 및 실란을 추가로 포함하는 미정제 Xe를 방출시킨다.
도 1에 도시된 구체예에서, 분쇄기는 압력 용기(20) 내부에 위치하고, 예를 들어, "자(jaw)" 유형의 분쇄기(32), 예컨대, 이로 한정되는 것은 아니지만, JC-15 Jaw 분쇄기일 수 있다. 분쇄기 및 압력 용기의 특정의 크기 및/또는 유형은 분쇄되는 전구의 크기, 분쇄기에 대한 예상되는 로딩, 및 요망되는 처리량을 기준으로 하여 다양할 수 있다. 도 1에 도시된 구체예에서, 모터(34)는 공정 제어기(50)과 전기 소통관계에 있다. 도 1의 장치는 임의로 압력 용기 내의 가스로부터 유리 입자를 제거하기 위한 사이클론 녹아웃 포트(cyclone knockout pot)를 사용하는 벌크 더스트 수거 시스템((도시되지 않음))을 지닐 수 있다
도 2 및 도 3은 본원에 기재된 시스템의 구체예의 예를 제공한다. 도 2에 도시된 구체예에서, 용량은 약 12,500개의 전구이다. 이러한 구체예에서, 12,500개의 전구를 분쇄하는 것은 125,000 cc 또는 4.4 평방 피트(cu. ft.)의 Xe 가스를 생성시킨다. 이제, 도 2에서의 시스템(100)을 참조하면, 시스템(100)에 대한 벌크 더스트 수거를 위한 송풍기(111)이 압력 용기(120)의 내부에 위치하여, 송풍기의 하우징이 외부 공기에 노출되면 발생하는 가능한 시스템내 누출을 없앤다. 앞서 언급된 바와 같이, 결함이 있는 전구 또는 안에 함유된 Xe 가스를 지니는 공급 원료의 부하물은 공급 호퍼(105) 내로 로딩되고 특정의 용량으로 충전되고 리드(106)가 그 위에 볼트로 고정된다. 압력 용기(120)는 추가로 압력 변환기(115)를 포함한다. 밸브(107)가 개방되고, 진공 펌프(140)가 시스템을 진공이 되게 하여 어떠한 잔류 공기를 제거한다. 도 2에서 도시된 시스템에서, 진공 라인은 추가로 압력 용기(120)와 유체 소통관계에 있는 필터(113)를 포함한다. 공기가 제거된 후에, 전구 분쇄기(132)가 작동하고 그 안에 함유된 전구를 분쇄한다. 결함이 있는 전구가 분쇄기(132) 안에서 분쇄된 후에 압력 용기(120) 내부의 대기는 주로 Xe와 함께 나머지 질소 및 다른 미량의 가스로 구성된 미정제 Xe 가스 혼합물일 것이다. 미정제 Xe 가스 혼합물은 이어서 진공 펌프(140)에 의해서 압력 용기(120)로부터 제거되고, 그러한 진공 펌프에서 그러한 혼합물은 결국에는 회수 용기(도 3에서 부호 160으로 도시됨)로 보내진다. 펌프(111)를 사용하며 필터(125)를 지니는 더스트 수거 시스템은 압력 용기(120)의 진공 배기 동안 꺼져 있다. 전구가 분쇄된 후에, 더스트 수거 시스템이 켜져서 분쇄 공정 동안 생성된 어떠한 잔류 더스트를 수거한다. 더스트가 수거되는 때에, 벌크 더스트 수거 시스템은 차단되어 있다. 압력 용기(120)내의 전구 부하물(load)이 분쇄되고 Xe를 포함하는 회수된 가스가 회수 용기(160)로 보내어진 후에, 밸브(126)가 개방되어 압력 용기(120) 내의 분쇄된 전구의 유리 및 금속 잔류물이 수거 호퍼(130) 내로 방출되게 하고, 압력 용기(120)가 대기압에 도달되게 한다. 이어서, 분쇄된 전구로부터의 수거된 유리는, 예를 들어, 유리 용융물을 위한 유리 부스러기로서 재생될 수 있다. 미정제 Xe 혼합물의 모두가 압력 용기(120)로부터 회수된 후에, 분쇄기(132)가 꺼지며, 압력 용기(120)의 내부 챔버가 밸브(109)를 개방시킴으로써 대기압으로 다시 통기된다. 추가의 압력 변환기(117 및 119)가 시스템(100)에 추가되어 유체 라인내의 압력을 모니터링한다. 추가의 밸브가 라인의 추가의 통기(venting)를 위해서 121에 제공된다. 도 2에 도시된 시스템은 추가로 시스템 내의 다음 구성요소, 예컨대, 이로 제한되는 것은 아니지만, 진공 펌프(140), 밸브(107), 더스트 수거 펌프(111), 밸브(145), 통기 밸브(121) 및 통기 밸브(145) 중 하나 이상과 전기 소통관계에 있는 공정 제어기(150)를 포함한다. 공정 제어기(150)는 또한 압력 변환기(115, 117 및 119) 중 하나 이상과 전기 소통관계에 있어서 유체 라인내의 압력을 모니터링할 수 있다. 장치(10)에서와 유사하게, 공정 제어기(150)는 시스템(100) 내의 하나 이상의 구성요소를 작동시키거나 정지시키기 위해서 시스템(100) 내의 하나 이상의 구성요소로부터의 전기적 신호를 보내거나, 받거나, 이들 둘 모두를 할 수 있는 중앙처리장치, 무선 신호 수신기 또는 그 밖의 수단일 수 있다.
이제, 도 3을 참조하면, 저장 실린더로 도시되는 회수 용기(160)가 빈 실린더(도시되지 않음)와의 교체를 위해서 주요 프레임워크(main framework)의 외부에 위치될 수 있다. 이어서, 미정제 Xe 혼합물을 함유하는 충전된 저장 실린더는 정제를 위해서 현장 밖으로(offsite) 보내질 수 있다. 정제되면, Xe는 유리 전구 제조 또는 다른 제조 공정에서의 사용을 위해서 상품 가스로서 판매될 수 있다.
도 2 및 도 3 둘 모두를 다시 참조하면, 진공 펌프(140)가 작동되고, 진공 밸브(145)가 개방되며, 회수된 미정제 Xe 혼합물이 회수 용기 또는 도 3에 도시된 저장 실린더(160) 또는 그 밖의 수단에 저장된다. 진공 펌프(140)가 압력 용기(120)를 다시 진공이 되게 하는 때에, 분쇄기(132)는 꺼지고, 압력 용기 밸브(145)가 폐쇄되며, 진공 펌프(140)가 중단되고, 콤프레셔 펌프(compressor pump: 165)가 출구 압력이 안정화될 때까지 작동한다. 폐쇄된 회수 밸브(145)에 의해서, 통기 밸브(109)가 개방되어서 압력 용기의 챔버내의 압력을 균등하게 한다. 게이트 밸브(126)가 개방되어서, 분쇄된 전구 또는 유리 잔류물을 수거 호퍼(130)(도 1에서는 부호 30으로 도시됨)내로 비운다. 통기 밸브(109)가 폐쇄되고, 게이트 밸브(126)가 폐쇄되며, 이어서, 벌크 더스트 수거 시스템과 연관된 펌프(111)가 꺼진다. 이어서, 도 2 및 도 3에 도시된 시스템은 결함이 있는 전구의 그 다음 공급 원료를 받아들일 준비가 된다. 도 3에서, 결함이 있는 전구의 공급 물량으로부터의 미정제 Xe 혼합물이 제논 센서(170)를 통해 통과한다. 도 3에 도시된 구체예에서, 제논 센서(170)는 공정 제어기(150)와 전기 소통관계에 있다. 이어서, 콤프레셔 펌프(165)가 일련의 밸브, 예컨대, 밸브(182) 및 체크 밸브(183)를 통한 입자 필터(180)를 통해서 미정제 Xe 혼합물을 회수 용기 또는 저장 실린더(160)에 공급한다. 압력 게이지(pressure gauge: 185)가 회수 용기(160) 내의 미정제 Xe 혼합물의 부피를 측정한다. 밸브(181)는 시스템 내에서 출구 압력을 균등화시키는 밸브 바이패스(valve bypass)이다.
도 4 내지 도 8은 결함이 있는 전구 캡슐로부터의 미정제 Xe 혼합물을 포획하고 이어서 회수하며, 이어서, 미정제 Xe 혼합물에 함유된 어떠한 불순물을 제거함으로써 정제하여 정제된 Xe 혼합물을 수득하는 시스템의 구체예를 제공한다. 도 6 내지 도 8에 제공된 시스템은 추가로 미정제 또는 정제된 Xe 가스 혼합물로부터 질소를 제거하여 현장 재사용되게 하거나 대안적으로 또 다른 제조 공정에서 사용되게 한다. 도 2 및 도 3에 도시된 시스템과는 달리, 도 4 및 도 5에서의 시스템(200)은 통풍 엔클로저(ventilated enclosure: 210)를 지녀서 미정제 Xe 가스 혼합물로부터 어떠한 독성 불순물의 제거를 가능하게 한다. 이들 시스템에서, 부호 223은 Xe-함유 가스 스트림 중의 어떠한 독성 불순물, 예컨대, 이로 제한되는 것은 아니지만, SiH4, PH3, 및 CH3Br을 제거하도록 설계된 흡수기 또는 흡착기-용기이고; 부호 243은 누출 시에 전구 로딩 동안 개인의 노출을 방지하기 위한 배기 송풍기이며; 부호 247은 장비 엔클로저를 통풍시키고 독성 가스의 축적이 엔클로저 내부에 누적되지 않게 하는 배기 송풍기이다. 도 7은 도 1에 도시된 장치 또는 도 2, 도 4 및 도 6에 도시된 시스템 중 어떠한 하나 이상으로부터 생성된 미정제 Xe 혼합물이 정제되는 구체예를 제공한다. 정제된 Xe는 도 3에 도시된 저장 용기와 같은 저장 용기로 보내지거나 제사용될 수 있다. 도 8은 정제된 Xe가 압축되고 이어서 회수 용기 또는 저장 용기(360)로 전달되어 사용되는 시스템을 도시하고 있다.
도 4를 참조하면, 시스템(200)은 통풍 엔클로저를 개방하여 해치(hatch: 208)를 충전시킴으로써 작동하고, 밸브(239)가 자동적으로 개방되며, 펌프(243)가 켜진다. 압력 용기(220) 상의 리드(206)가 제거되어 공급 호퍼(205)로부터의 전구 캡슐의 부하물을 받아드리고, 압력 용기(220)의 리드(260)가 고정된다. 통풍 엔클로저(210)가 밀봉되어 개인적인 접근을 방지하고 밸브(239)가 폐쇄되며 펌프(243)가 꺼진다. 밸브(207 및 231)가 개방된 후에, 펌프(240)는 시스템을 진공이 되게 하여 압력 용기(220) 내의 어떠한 잔류 공기를 제거하고, 공기는 밸브(221)를 통해서 배출된다. 펌프(240)가 꺼지고 밸브(207)이 폐쇄된다. 전구 분쇄기(232)가 켜지고 전구를 분쇄하여 미정제 Xe 가스 혼합물을 생성시키고 방출시킨다. 전구가 유리 잔류물을 제공하도록 분쇄된 후에, 벌크 더스트 수거 시스템이 펌프(211)를 통해서 켜진다. 펌프(240)가 켜지고, 밸브(245)가 개방되고, 펌프(265)가 켜지고, 미정제 Xe 가스 혼합물이 회수 용기 또는 저장 실린더(260)에 저장을 위해서 보내진다(도 5 참조). 펌프(240)가 압력 용기(220)를 진공이 되게 되돌아가는 때에, 펌프(240)가 꺼지고, 밸브(207 및 231)가 폐쇄되며, 펌프(265)가 출구 압력이 안정화될 때까지 가동된다. 밸브(245)가 폐쇄되고, 밸브(209)가 개방되어서 압력 용기의 챔버 내의 압력을 균등화시키고, 밸브(239)가 개방되고, 펌프(243)가 켜진다. 바닥 밸브 또는 밸브(226)가 압력 용기(220)에서 개방되어서 분쇄된 전구 또는 유리 잔류물을 수거 호퍼(230) 내로 비운다. 밸브(226)는 압력 용기(220) 내의 대기를 희석시키기 위해서 특정한 기간 동안의 개방되어 유지된다. 그 후에, 밸브(209)가 폐쇄되고 밸브(226)가 폐쇄된다. 펌프(211)가 꺼지고, 밸브(239)가 폐쇄되며, P-243이 꺼진다. 이어서, 시스템은 그 다음의 유리구 공급물을 받아들일 준비가 된다.
앞서 언급된 바와 같이, 도 6 및 도 7에 도시된 시스템(300) 및/또는 도 8에 도시된 시스템은 도 4 및 도 5에 도시된 시스템(200)과 유사하게 미정제 Xe 혼합물 내의 불순물을 제거하지만, 미정제 Xe 혼합물에 함유된 질소를 제거함으로써 미정제 Xe 혼합물을 추가로 정제하고 있다. 도 6을 다시 참조하면, 시스템(300)은 통풍 엔클로저를 개방하여 해치(308)를 충전시킴으로써 작동하며, 밸브(339)가 자동적으로 개방되고 펌프(343)를 켠다. 압력 용기(320) 상의 리드(306)가 제거되어 공급 호퍼(305)로부터의 전구 캡슐의 부하물을 받아들이고, 압력 용기(320)의 리드(306)가 고정된다. 통풍 엔클로저(310)가 밀봉되어 개인적인 접근을 방지하고, 밸브(339)가 폐쇄되며 펌프(343)가 꺼진다. 밸브(307 & 334)가 개방된 후에, 펌프(337)이 시스템을 진공이 되게 하여 압력 용기(320) 내의 어떠한 잔류 공기를 제거한다. 펌프(337)가 꺼지고 밸브(334)가 폐쇄된다. 전구 분쇄기(332)가 켜지고, 전구를 분쇄하여 미정제 Xe 가스 혼합물을 생성시키고 방출시킨다. 도 6 및 도 8 둘 모두를 참조하면, 전구가 유리 잔류물을 제공하도록 분쇄된 후에, 벌크 더스트 수거 시스템이 펌프(311)를 통해서 켜지고, 밸브(345)가 개방되고, 펌프(365)가 켜지고, 미정제 Xe 가스 혼합물이 회수 용기 또는 저장 실린더(360)에 저장을 위해서 보내진다. 펌프(365)가 압력 용기(320)를 진공이 되게 되돌아가는 때에, 분쇄기(332)가 꺼지고, 밸브(307 & 331)가 폐쇄되며, 펌프(365)(도 8 참조)가 출구 압력이 안정화될 때까지 가동된다. 밸브(345)가 폐쇄되고, 밸브(303)가 개방되어서 압력 용기(320)의 챔버내의 압력을 균등화시키고, 밸브(339)가 개방되고, 펌프(343)가 켜진다. 바닥 밸브 또는 밸브(326)는 압력 밸브에서 개방되어서 분쇄된 전구 또는 유리 잔류물을 수거 통(collection bin 330)내로 비운다. 밸브(326)는 압력 용기 내의 대기를 희석시키기 위해서 특정한 기간 동안의 개방되어 유지된다. 그 후에, 밸브(303)가 폐쇄되고 밸브(326)가 폐쇄된다. 펌프(311)가 꺼지고, 밸브(339)가 폐쇄되며, 펌프(343)가 꺼진다. 이어서, 시스템(300)은 그 다음의 유리구 공급물을 받아들일 준비가 된다. 도 6에서의 시스템(300)은 미정제 Xe 혼합물로부터의 메틸 브로마이드의 제거를 위한 정제기(325)를 도시하고 있다.
도 7에 도시된 구체예와 같은 특정의 구체예에서, 열 교환기(408)가 액체 질소 및/또는 다른 냉매(들) 공급원(415)과 유체 소통관계에 있어서 도 2, 도 4, 또는 도 6에 도시된 시스템으로부터의 미정제 Xe 가스 혼합물을 액체로 응축시키고, 저수준 센서(419) 및 고수준 센서(418)에 의해서 모니터링되며; 상 분리기(423)가 순수한 액체 제논을 압축 및 저장되게 하고, 질소 퍼지 공급원(nitrogen purge source: 425)과 유체 소통관계에 있고; 배출 스크러버(427)가 어떠한 잔류 독성 가스, 예컨대, 이로 한정되는 것은 아니지만, SiH4 및/또는 PH3가 앞으로 배출(429)되기 전에 이를 수거한다.
도 7은 추가로 실란 및 포스핀 정제기(427), 미정제 Xe 혼합물을 액체로 응축시키는 응축기(408), 및 미정제 Xe 혼합물 내에 함유된 질소를 제거하여 새로운 유리 전구 캡슐의 제조에 현장 재사용하거나 대안적으로 다른 제조 공정에 사용될 수 있는 정제된 Xe를 제공하기 위한 분리기(423)를 도시하고 있다. 도 7에 도시된 정제 시스템(400)에서, 공정 제어기(450)는 응축기(408), 분리기(423), 정제기(427), 센서(417-419) 및 밸브(403)와 같은 구성요소 중 하나 이상과 전기 소통관계에 있다.
본원에 기재된 시스템 모두는 하나 이상의 처리 장치(50, 150, 250, 350, 및 450) 공정 제어기(들), 중앙처리장치 등을 추가로 포함할 수 있고, 이는 시스템의 구성요소 중 어떠한 하나 이상, 예컨대, 이로 한정되는 것은 아니지만, 압력 용기, 밸브, 진공 펌프, 벌크 더스트 수거 시스템, 분쇄기, 및/또는 미정제 Xe 또는 정제된 Xe 회수 또는 저장 용기와 전기 소통관계에 있다.
본원에 기재된 구체예의 일부에서, 장치, 시스템 또는 방법에 도시된 유체 라인 모두 또는 그 중 일부는 스테인리스 강, 예컨대, 이로 한정되는 것은 아니지만, 1/8"(0.3cm) 또는 1/4"(0.6cm) 튜빙(tubing)으로 구성된다. 그러나, 다른 구성 재료가 또한 본원에서 사용될 수 있다.

Claims (15)

  1. 제논이 안에 함유되어 있는 제조 물품으로부터 제논을 포획 및 회수하기 위한 장치(10; 100; 200; 300)로서,
    밀봉이 가능한 압력 용기(20; 120; 220; 320)로서, 제논이 안에 함유되어 있는 제조 물품을 받아들이기 위한 입구 및 제조 물품을 받아서 미정제 제논을 방출시키고 잔류물을 형성시키는 분쇄기(32; 132; 232; 332)를 포함하며, 진공 펌프(140; 240) 및 임의의 벌크 더스트 수거기(111; 211; 311)와 유체 소통관계에 있는 하나 이상의 라인이 구비된 압력 용기(20; 120; 220; 320);
    압력 용기(20; 120; 220; 320)로부터 미정제 제논을 제거할 수 있는 압력 용기(20; 120; 220; 320)로부터의 회수 라인; 및
    공정 제어기(50; 150; 250; 350; 450)를 포함하는 장치((10; 100; 200; 300).
  2. 제 1항에 있어서,
    (a) 제조 물품을 포함하는 공급물을 받아들이며 압력 용기(20; 120; 220; 320)의 입구로 향한 도관을 지니는 공급 호퍼(feed hopper)(5; 105; 205; 205);
    (b) 잔류물을 받아들이기 위해서 압력 용기(20; 120; 220; 320)와 소통관계에 있는 수거 용기(30; 130; 230; 330);
    (c) 잔류물로부터 유발되는 어떠한 잔류 더스트를 제거하기 위해서 압력 용기(20; 120; 220; 320)와 유체 소통관계에 있는 벌크 더스트 수거기(bulk dust collector)(111/125; 211/125; 311/325);
    (d) 회수 라인 내의 자동 밸브(107; 207; 307);
    (e) 진공 펌프(140; 240); 및
    (f) 미정제 제논을 함유할 수 있는 회수 용기(160; 260; 360) 중 하나 이상을 추가로 포함하는 장치(10; 100; 200; 300).
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 압력 제어기(50; 150; 250; 350; 450)가 압력 용기(20; 120; 220; 320), 분쇄기(32; 132; 232; 332), 회수 라인 내의 자동 밸브(107; 207; 307) 및 회수 용기(160; 260; 360)와 신호 접속 관계에 있는 장치(10; 100; 200; 300).
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 압력 용기(20; 120; 220; 320) 가 통풍되는 엔클로저(enclosure)(210; 310)에 수용되는 장치(10; 100; 200; 300).
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 회수 용기(160; 260; 360)가 저장 실린더를 포함하는 장치(10; 100; 200; 300).
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 미정제 제논 혼합물이 회수 용기(160; 260; 360)에 보내지기에 앞서 이를 정제하도록 구성된 정제기(225; 235; 427)를 추가로 포함하는 장치(10; 100; 200; 300).
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 미정제 제논으로부터 질소를 제거하기 위한 분리기(423)를 추가로 포함하는 장치(10; 100; 200; 300).
  8. 임의로, 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항의 장치(10; 100; 200; 300)를 사용하여, 제논이 안에 함유되어 있는 제조 물품으로부터 제논을 포획하고 회수하는 방법으로서,
    제조 물품을 압력 용기(20; 120; 220; 320)에 공급하는 단계;
    임의로, 진공 펌프(140; 240)를 사용하여 밀봉된 압력 용기를 배기(evacuating)시키는 단계;
    제조 물품을 분쇄하여 잔류물을 형성시키고 미정제 제논을 방출시키는 단계;
    회수 라인을 통해서 압력 용기(20; 120; 220; 320)로부터 미정제 제논 가스를 제거하는 단계; 및
    압력 용기(20; 120; 220; 320)로부터 잔류물을 제거하는 단계를 포함하는 방법.
  9. 제 8항에 있어서, 제조 물품이 유리를 포함하는 방법.
  10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서, 제조 물품이 전구이고, 바람직하게는 결함이 있는 전구인 방법.
  11. 제 8항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서, 임의로 질소, 포스핀, 실란 및 메틸 브로마이드 중 하나 이상의 일부 또는 전부의 제거에 의해서 미정제 제논을 정제시켜서 정제된 제논을 형성시키는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  12. 제 8항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서, 제논 가스를 응축시켜서 액체 제논을 형성시키는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  13. 제 8항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서, 미정제 또는 정제된 제논 가스 또는 제논 액체를 회수 용기(160; 260; 360)에 보내는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  14. 제 8항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서, 제논이 후속하여 재사용되는 방법.
  15. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항의 장치를 포함하는 시스템.
KR1020140134547A 2013-10-03 2014-10-06 제논 회수를 위한 시스템 및 방법 KR101648482B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201361886383P 2013-10-03 2013-10-03
US61/886,383 2013-10-03
US14/498,354 2014-09-26
US14/498,354 US10892132B2 (en) 2013-10-03 2014-09-26 System and method for xenon recovery

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150039702A true KR20150039702A (ko) 2015-04-13
KR101648482B1 KR101648482B1 (ko) 2016-08-17

Family

ID=51661933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140134547A KR101648482B1 (ko) 2013-10-03 2014-10-06 제논 회수를 위한 시스템 및 방법

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10892132B2 (ko)
EP (1) EP2857352B1 (ko)
JP (1) JP6110352B2 (ko)
KR (1) KR101648482B1 (ko)
CN (1) CN104550198B (ko)
SG (1) SG10201406259QA (ko)
TW (1) TWI532676B (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180128744A (ko) * 2017-05-24 2018-12-04 주식회사 에프알디 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛
KR102280043B1 (ko) * 2020-07-24 2021-07-27 김돈한 제논 가스 회수 장치 및 회수 방법

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105632854B (zh) * 2016-04-07 2017-06-16 深圳凯世光研股份有限公司 一种氙气回收装置及应用此装置回收氙气的方法
US10005018B2 (en) * 2016-09-02 2018-06-26 Battelle Memorial Institute Xenon collection method and system
KR102184646B1 (ko) * 2018-10-29 2020-12-01 주식회사 에프알디 제논 고순도화 장치
RU2715491C1 (ru) * 2019-05-08 2020-02-28 Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" (ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ") Способ разделения частиц по плотности методом тяжелосредной сепарации
RU2715857C1 (ru) * 2019-09-24 2020-03-03 Владимир Юрьевич Дробенков Устройство и способ для извлечения инертного газа из изделия, содержащего инертный газ
KR20230045202A (ko) 2021-09-28 2023-04-04 임은지 제논 가스 회수 장치
KR102520705B1 (ko) * 2022-09-15 2023-04-10 허윤정 폐램프내 충진 희귀가스 자동회수시스템 및 이를 이용한 방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4545540A (en) * 1982-09-08 1985-10-08 Akira Nakamura Apparatus for storing mercury-containing used products
US4858833A (en) * 1987-06-29 1989-08-22 Recytec S.A. Process for recycling fluorescent and television tubes

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5946145A (ja) * 1982-09-08 1984-03-15 中村　彰 水銀等有害物質を含むガラス器具の処理方法と装置
US5205497A (en) 1992-08-13 1993-04-27 Dextrite, Inc. Fluorescent lamp crusher
JPH0733417A (ja) 1993-07-14 1995-02-03 Japan Pionics Co Ltd 希ガスの精製方法
US5492278A (en) * 1993-11-09 1996-02-20 Raboin; James P. Single motion mobile fluorescent lamp crusher, cleaner and material classifier
CN1109203A (zh) 1994-03-22 1995-09-27 周连友 一种高压钠灯电弧管生产设备的氙气回收利用***
US5586730A (en) * 1995-03-10 1996-12-24 Budget Lamp Reclaimers, Inc. Fluorescent lamp collection and separation method and apparatus
US5934103A (en) * 1997-04-22 1999-08-10 Northrop Grumman Corporation Method and apparatus for production of spin-polarized medical-grade xenon 129 gas by laser optical pumping
US5899395A (en) * 1997-06-09 1999-05-04 Dextrite, Inc. Multipurpose fluorescent lamp crusher
US6089282A (en) * 1998-05-08 2000-07-18 Aeronex, Inc. Method for recovery and reuse of gas
CA2262216A1 (en) 1999-02-18 2000-08-18 Dana Emmerson Environmentally-safe portable apparatus for disposing of cylindrical light bulbs
CA2301958C (en) * 2000-03-22 2010-06-15 Kazuo Kamiya Filter system for environmentally-safe portable apparatus for disposing of cylindrical light bulbs
CN1517162A (zh) 2002-10-30 2004-08-04 育f科技股份有限公司 废弃含汞灯具的处理设备
KR20050069365A (ko) 2003-12-31 2005-07-05 삼성전자주식회사 폐형광등 재처리 방법 및 이를 이용한 장치
CN2746981Y (zh) 2004-07-26 2005-12-21 大连力达环境工程有限公司 废旧日光灯管处理粉碎吸收设备
CN100400168C (zh) 2004-07-26 2008-07-09 大连力达环境工程有限公司 废旧日光灯管处理方法
JP5255776B2 (ja) * 2006-03-21 2013-08-07 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置
CN2930896Y (zh) * 2006-07-18 2007-08-08 陈超 废料回收机
EP2058052A1 (en) * 2007-11-09 2009-05-13 Roy N. Gilliam Lamp collecting apparatus and method for collecting used lamps
JP5184316B2 (ja) * 2008-11-27 2013-04-17 大陽日酸株式会社 キセノン精留装置
JP2011057491A (ja) 2009-09-09 2011-03-24 Panasonic Corp ガス回収方法
US8591634B2 (en) 2010-01-28 2013-11-26 Air Products And Chemicals, Inc. Method and equipment for selectively collecting process effluent
US8535414B2 (en) 2010-09-30 2013-09-17 Air Products And Chemicals, Inc. Recovering of xenon by adsorption process
CN202025707U (zh) * 2011-03-23 2011-11-02 北京金隅红树林环保技术有限责任公司 一种移动式废旧灯管安全回收处理装置
CN102693890A (zh) 2011-03-23 2012-09-26 北京金隅红树林环保技术有限责任公司 一种移动式废旧灯管安全回收处理的方法和装置
CN202549774U (zh) 2012-03-01 2012-11-21 深圳市格林美高新技术股份有限公司 废旧灯管回收装置
CN202666654U (zh) 2012-07-04 2013-01-16 河南省久亚光源电子科技有限公司 废旧荧光灯管汞蒸气回收装置
CN202736879U (zh) 2012-07-13 2013-02-13 荆门市格林美新材料有限公司 一种废旧灯管无害化破碎回收装置
CN203082543U (zh) 2013-02-04 2013-07-24 上海启元空分技术发展股份有限公司 一种回收钢瓶中氪氙的装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4545540A (en) * 1982-09-08 1985-10-08 Akira Nakamura Apparatus for storing mercury-containing used products
US4858833A (en) * 1987-06-29 1989-08-22 Recytec S.A. Process for recycling fluorescent and television tubes

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180128744A (ko) * 2017-05-24 2018-12-04 주식회사 에프알디 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치 및 상기 반도체 제조 공정에 사용되는 제논 및 크립톤 회수 장치용 회수 필터 유닛
KR102280043B1 (ko) * 2020-07-24 2021-07-27 김돈한 제논 가스 회수 장치 및 회수 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN104550198A (zh) 2015-04-29
EP2857352A2 (en) 2015-04-08
US20150099416A1 (en) 2015-04-09
JP6110352B2 (ja) 2017-04-05
EP2857352B1 (en) 2018-11-21
CN104550198B (zh) 2018-03-16
US10892132B2 (en) 2021-01-12
EP2857352A3 (en) 2015-07-08
TWI532676B (zh) 2016-05-11
KR101648482B1 (ko) 2016-08-17
TW201514091A (zh) 2015-04-16
JP2015071534A (ja) 2015-04-16
SG10201406259QA (en) 2015-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101648482B1 (ko) 제논 회수를 위한 시스템 및 방법
JP7219858B2 (ja) 特に充電式バッテリのような使用済みバッテリを処理するリサイクル方法およびバッテリ処理設備
CN107636875B (zh) 用于处理用过的电池、特别是能充电的电池的方法和电池处理设备
TW438654B (en) Vacuum-type automatic dehumidifying and drying apparatus for powdered or granular material
CN103561846A (zh) 从废气流吸附回收高价值成分的方法和***
CN102701223A (zh) 高温氯化法生产高纯石英砂的方法及氯化装置
WO1992022778A1 (en) System and method for recovering and purifying a halocarbon composition
US6686086B1 (en) Battery reclamation system
CN204987019U (zh) 一种带有骨灰自动收集装置的火化机
NL1037665C2 (nl) Verwerking van platte beeldschermen.
JP3847489B2 (ja) 六フッ化硫黄ガスの回収装置およびその回収方法
RU101384U1 (ru) Установка по переработке отработанных ртутьсодержащих ламп
CN108493085A (zh) 一种废旧荧光灯玻璃管绿色回收***及方法
JPH08506422A (ja) 放射能で汚染された表面の除染装置
RU134452U1 (ru) Передвижная установка по утилизации ртутьсодержащих изделий
KR20220052906A (ko) 절연 매질로서 사용하기 위한 대안적인 가스 혼합물의 분리 방법
US3434669A (en) Apparatus and process for producing powdered metal from ductile elemental metal or alloys thereof
JP2001179231A (ja) Ｐｃｂ含有コンデンサの処理方法
KR20140110606A (ko) 폐 전기,전자제품의 재활용을 위한 처리방법
JP2007512129A (ja) 残留物から水銀を除去する装置及び方法
US20200189222A1 (en) Aerosol recycling process and system
CN114210435A (zh) 粉体物料输送载气回收***以及物料粉碎***
CN112509723A (zh) 一种放射性泥浆处理方法及***
JPH0959419A (ja) 発泡断熱材の発泡ガスの回収方法及び装置
US20140318317A1 (en) Systems and methods for extracting precious metal from fouled carbon

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190718

Year of fee payment: 4