JP5184316B2 - キセノン精留装置 - Google Patents
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Description
高エネルギーを有する粒子やガンマ線などが液体キセノン中に飛び込むと、キセノン原子を励起し、励起された原子が元の状態に戻る時に紫外光を発光する。液体キセノン検出装置では、この光を電子増倍管で検出することにより、液体キセノン中に入ってきた粒子やガンマ線のエネルギーなどを詳しく調べることができる。液体キセノンは、光子を発生させるために必要なエネルギーが小さくて済むため、高い感度を期待することができるとともに、応答速度が速いという特長がある。さらに、液体キセノンは、密度が高いため、粒子などと衝突する確率が高く、検出効率も高い。
通常、キセノンやクリプトンのような希ガスを得るための精留は、空気中には希ガスが極微量(大気中のクリプトン濃度1.14ppm、キセノン濃度0.087ppm)しか含有していないため、大型空気分離プラントに併設した希ガスを採取する精留装置によって行われるが、通常、この精留では、キセノンガス中の残留クリプトンの含有量が100〜50ppm程度までにしか精製していない。
また、ユーザーサイトに超高純度精製後のキセノンガスを輸送するためには、ボンベなどの輸送手段によってキセノンガスを移送する必要があり、ボンベや移送管内の残留成分やパーティクルによる輸送中の汚染が生じ、超高純度を維持することは不可能であった。したがって、素粒子の検出実験などを行うユーザーサイトにて、キセノンガスの超高純度精留を行う必要があった。
なお、素粒子の検出実験は宇宙から降り注がれる数多くの粒子から目的の粒子を測定するために地下深く(坑道など)に設置されるため、ユーザーサイトで低温液化ガス(液体窒素など)を調達することが極めて難しく、例え低温液化ガスを調達できたとしても、前述の通り、装置全体が大きくなるので設置が難しく、また低温ガスを精度よく温度制御するのは極めて困難であった。
請求項1に係る発明は、超高純度キセノンの使用場所に設置され、リボイラーと、該リボイラーの上部に順に連設された精留筒およびコンデンサーとを備えた精留塔と原料ガス液化器を有するキセノン精留装置であって、前記コンデンサーは、キセノンガスの凝縮部をなす内部空間に設けられた柱状の伝熱部をもつ凝縮部本体と、該凝縮部本体の頂部に該凝縮部本体を冷却する冷却部ヘッドをもつ蓄冷式小型冷凍機と、前記凝縮部本体の上部と前記蓄冷式小型冷凍機の冷却部ヘッドとの間に設けられた前記凝縮部本体を加熱する電気ヒーターと、前記凝縮部本体上部の温度を計測し制御する第一の温度センサーと、前記凝縮部の本体下部の温度を計測し制御する第二の温度センサーとを備え、前記第一の温度センサーおよび前記第二の温度センサーの少なくともいずれか一方で前記電気ヒーターを制御し、前記凝縮部には、前記凝縮部本体の頂部側の内面から垂下する多数の柱状の伝熱部が互いに間隔を置いて設けられたキセノン精留装置である。
また、コンデンサーの凝縮部は凝縮部本体の頂部側の内面から垂下する多数の柱状の伝熱部が互いに間隔を置いて設けられているので、キセノン精留装置をコンパクトにすることができる。
なお、この形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
この実施形態のキセノン精留装置10は、素粒子の検出実験などを行う超高純度キセノンの使用場所に設置され、精留塔11と、熱交換器12と、原料ガス液化器13と、コールドボックス14とから概略構成されている。
精留塔11は、リボイラー15と、リボイラー15の上部に連設された精留筒16と、精留筒16の上部に連設されたコンデンサー17とから概略構成されている。すなわち、リボイラー15とコンデンサー17が、精留筒16を介して接続され、これらは全て連通している。
また、液溜20の下部には、精留塔11によるキセノンガスの精留によって生成された液体キセノンをキセノン精留装置10外に取出し、超高純度キセノンとして回収するための製品取出ライン21が接続されている。
この凝縮部28には、凝縮部本体23の頂部側の内面28aから伝熱面積を大きくするため、垂下する多数の柱状の伝熱部29が互いに所定の間隔を置いて設けられている。この伝熱部29の先端部29aは、図2に示すように、先端29bに向かって次第に縮径するテーパー状をなしており、凝縮部本体および柱状の伝熱部29に接触したキセノンガスが凝縮する。さらに、柱状の伝熱部29にて凝縮した液体キセノンが、伝熱部29の表面を伝って、その先端29bに集まり液滴50としてスムーズに滴下させることができる。
また、伝熱部29同士の隙間は、凝縮部28において伝熱部29に対してキセノンガスを効率的に接触させるとともに、凝縮した液体キセノンを効率的に流下するためには、2mm〜4mmの範囲が好ましい。
なお、伝熱部29は、凝縮部本体23の径に応じて、凝縮部28において伝熱部29に対してキセノンガスを効率的に凝縮させるために必要な本数を設ければよい。
蓄冷式小型冷凍機24としては、GM冷凍機、スターリング冷凍機、パルスチューブ冷凍機などの極低温冷凍機が用いられる。
また、第二の温度センサー27は、凝縮部本体23において、凝縮部28の下部に設けられており、凝縮部本体23下部の温度を計測し、電気ヒーター25を制御して凝縮部本体23の温度を高精度に一定にするためのものである。
なお、熱交換部35は、原料キセノンガスが蓄冷式小型冷凍機36の冷却部ヘッド39と効率よく熱交換して液化できるような構造とする。例えば、熱交換部35は、スパイラル状の溝を付けた熱伝導のよい金属材料ブロックの外径と嵌め合いとなるような内径の熱伝導のよい金属材料製の胴を取り付け、溝の部分を原料キセノンガスが流れるようにした構造とし、充分な伝熱面積が取れるようにしている。
また、冷却源である蓄冷式小型冷凍機36の冷却部ヘッド39は熱交換部35の金属ブロック頂部に密着させて取り付け、蓄冷式小型冷凍機36の冷却源が冷却部ヘッド39から伝熱して熱交換部35を直接冷却する。
電気ヒーター37は、熱交換部35を加熱するためのものであり、温度センサー38は熱交換部35の温度計を計測し、電気ヒーター37を制御して熱交換部35での原料キセノンガスの液化温度を高精度に一定にするものである。
また、コールドボックス14内に配置された、精留塔11、熱交換器12、原料ガス液化器13、製品取出ライン21、原料導入ライン22,原料供給ライン34などは、これらの中を流動するキセノンガスあるいは液体キセノンを保冷するために多層のアルミマイラーが巻き付けられている。
ゲッター式キセノン精製装置などにより、水、二酸化炭素、酸素、窒素、メタンなどの不純物が極微量になるまで除去された高純度のキセノンガスを原料として、原料供給ライン34を介して、キセノン精留装置10内に供給する。
ここで、原料として用いられる高純度のキセノンガスは、超高純度の製品キセノンガス中のクリプトンガスの含有量を0.1ppb以下、好ましくは10ppt以下、より好ましくは0.1ppt以下とするために、クリプトンガスの含有量が例えば、100ppb程度のガスを用いている。
原料ガス液化器13では、蓄冷式小型冷凍機36によって冷却された冷却部ヘッド39および電気ヒーター37を温度センサー38により所定の温度に高精度に制御された熱交換部35によって、原料導入ライン22を流れる原料キセノンガスが凝固せずに液化される。
このコンデンサー17における温度制御では、蓄冷式小型冷凍機24の冷却部ヘッド32からの伝熱によって凝縮部本体23が冷却され、第一の温度センサー26および/または第二の温度センサー27による温度測定値をPID制御により制御し電気ヒーター25によって凝縮部本体23が所定の温度となるように加熱することによって、凝縮部28内の温度を均一かつ高精度に制御する。
したがって、本発明のキセノン精留装置においては、コンデンサー17の温度制御を凝縮部本体23の設定温度を例えば、±0.1℃の範囲に制御する必要があり、本方式による高精度の温度制御を行うものである。
そして、コンデンサー17の凝縮部28に溜まったクリプトンガスの含有量が多いキセノンガスは、オフガスとして、オフガス排出ライン31を介して、精留塔11外に排出される。ちなみに、クリプトンの沸点は、大気圧で−152.9℃である。
また、コンデンサーの凝縮部は凝縮部本体の頂部側の内面から垂下する多数の柱状の伝熱部が互いに間隔を置いて設けられているので、キセノン精留装置をコンパクトにすることができる。
Claims (2)
- 超高純度キセノンの使用場所に設置され、リボイラーと、該リボイラーの上部に順に連設された精留筒およびコンデンサーとを備えた精留塔と原料ガス液化器を有するキセノン精留装置であって、
前記コンデンサーは、キセノンガスの凝縮部をなす内部空間に設けられた柱状の伝熱部をもつ凝縮部本体と、該凝縮部本体の頂部に該凝縮部本体を冷却する冷却部ヘッドをもつ蓄冷式小型冷凍機と、前記凝縮部本体の上部と前記蓄冷式小型冷凍機の冷却部ヘッドとの間に設けられた前記凝縮部本体を加熱する電気ヒーターと、前記凝縮部本体上部の温度を計測し制御する第一の温度センサーと、前記凝縮部の本体下部の温度を計測し制御する第二の温度センサーとを備え、前記第一の温度センサーおよび前記第二の温度センサーの少なくともいずれか一方で前記電気ヒーターを制御し、
前記凝縮部には、前記凝縮部本体の頂部側の内面から垂下する多数の柱状の伝熱部が互いに間隔を置いて設けられたことを特徴とするキセノン精留装置。 - 前記柱状の伝熱部の先端部は、先端に向かって次第に縮径するテーパー状をなしていることを特徴とする請求項1に記載のキセノン精留装置。
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Families Citing this family (4)
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CN103759501A (zh) * | 2014-01-16 | 2014-04-30 | 上海交通大学 | 一种获得超高纯氙气的低温精馏装置 |
CN103983085B (zh) * | 2014-06-03 | 2019-06-04 | 上海启元空分技术发展股份有限公司 | 一种氪氙分离塔的温度控制方法 |
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---|---|---|---|---|
JPS58205072A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-29 | 株式会社島津製作所 | 空気分離装置 |
JPH07189876A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Hitachi Ltd | アイドル回転制御装置 |
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US6461583B1 (en) * | 1998-11-09 | 2002-10-08 | Nippon Sanso Corporation | Method for enrichment of heavy component of oxygen isotopes |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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